JP5732583B1

JP5732583B1 - 平板状部材吸引装置

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Publication number: JP5732583B1
Application number: JP2014201448A
Authority: JP
Inventors: 和彦河東; 慎一羽生; 稜介河東
Original assignee: Beac Co Ltd
Current assignee: Beac Co Ltd
Priority date: 2014-09-30
Filing date: 2014-09-30
Publication date: 2015-06-10
Anticipated expiration: 2034-09-30
Also published as: KR101653930B1; CN105472958B; JP2016068217A; CN105472958A; KR20160038766A

Abstract

【課題】平板状部材吸引装置全体の構成を大掛かりとすることなく平板状部材のサイズに対応した吸引領域を簡単な操作で形成する。【解決手段】ベースプレート２１０に積層され、基準位置とスライド位置とにすることが可能な部材対面プレート２２０とを有し、ベースプレート２１０にはベースプレート側吸引孔２１１が設けられ、部材対面プレート２２０には部材対面プレート側吸引孔２２１が設けられており、部材対面プレート側吸引孔２２１は、基準吸引孔２２１ａと基準吸引孔間に設けられた追加吸引孔２２１ｂ，２２１ｃとからなり、部材対面プレート２２０を基準位置としたときには基準吸引孔２２１ａとベースプレート側吸引孔２１１とが対向して基準吸引領域が形成され、スライド位置としたときには例えば追加吸引孔２２１ｂとベースプレート側吸引孔２１１とが対向して基準吸引領域とは異なる大きさを有する特定吸引領域が形成される。【選択図】図２

Description

本発明は、平板状部材を負圧吸引する平板状部材吸引装置に関する。

従来、回路基板（以下、基板という。）や当該基板に実装されている電子部品を被覆するカバーレイフィルムなどの平板状部材に対して何らかの加工を施したり、当該平板状部材を次の工程に搬送したりする際に当該平板状部材を一時的に保持する吸引装置（以下、平板状部材吸引装置という。）は種々提案されている。

このような平板状部材吸引装置は、多数の吸引孔が形成されている吸引プレートを吸引対象となる平板状部材に対面接触させて当該平板部材を負圧吸引するものである。このとき、吸引力の低下を招かないようにするためには、吸引漏れを可能な限り減らすことが重要である。なお、「吸引漏れ」というのは、平板状部材の吸引動作を行っているときに、多数の吸引孔のうちの一部の吸引孔が平板状部材から露出した状態となっていることを指すものとする。

吸引漏れを可能な限り減らすためには、吸引プレートに平板状部材を対面させたときに、吸引プレートにおける吸引領域が平板状部材とほぼ同等か平板状部材のサイズよりもやや小さくなるように設定しておくことが重要である。ここで、「吸引領域」というのは、吸引プレートに設けられている吸引孔のうち、吸引対象となる平板状部材の吸引が可能となっている領域を指すものとする。なお、当該吸引領域は様々な形状とすることができるが、ここでは、矩形であるとする。

ここで、吸引対象となる平板状部材のサイズが一種類であれば、吸引領域が当該平板状部材とほぼ同等か当該平板状部材のサイズよりもやや小さくなるように設定しておけば、吸引漏れを生じることなく当該平板状部材を吸引することができるが、吸引領域のサイズよりも小さなサイズの平板状部材の吸引を行いたい場合もある。このような場合においては、吸引領域の大きさが固定的であると、吸引領域のサイズよりも小さなサイズの平板状部材は吸引領域全体を覆うことができず、吸引漏れが生じてしまうこととなる。

このように、平板状部材吸引装置における吸引プレートの吸引領域のサイズよりも小さなサイズの平板状部材を、吸引漏れを起こすことなく吸引可能とする平板状部材吸引装置は従来から知られている（例えば、特許文献１参照。）。

図１１は、特許文献１に記載されている平板状部材吸引装置９００を説明するために示す図である。図１１（ａ）は、平板状部材吸引装置９００の構成を示す斜視図であり、図１１（ｂ）は平板状部材吸引装置９００において使用される帯状シート９１０を示す平面図である。

特許文献１に記載されている平板状部材吸引装置９００（特許文献１においては基板吸引固定装置としている。）の構成について説明する前に、まずは、図１１（ｂ）により帯状シート９１０について説明し、その後で図１１（ａ）により平板状部材吸引装置９００の構成について説明するする。

帯状シート９１０は、図１１（ｂ）に示すように、複数のシート部９１０ａ，９１０ｂ，９１０ｃ，・・・からなり、各シート部９１０ａ，９１０ｂ，９１０ｃ，・・・には、吸引対象となる平板状部材（基板とする。）のサイズに対応した吸引領域Ｑａ，Ｑｂ，Ｑｃ、・・・が形成されている。

一方、平板状部材吸引装置９００は、図１１（ａ）に示すように、基板載置台９２０の上面に取り付けられている吸引プレート９３０と、吸引対象となる基板９４０に印刷されたバーコード９４１を読み取って、当該基板９４０のサイズを示すシート選択信号を出力するバーコードリーダー９５０と、バーコードリーダー９５０が出力するシート選択信号に基づいて、帯状シート９１０に形成されている複数の吸引領域Ｑａ，Ｑｂ，Ｑｃ、・・・の中から基板９４０のサイズに対応した吸引領域（吸引領域Ｑｂとする。）を有するシート部（シート部９１０ｂとする。）を選択して、選択したシート部９１０ｂを吸引プレート９３０上に配置するシート配置部９６０とを有している。

なお、吸引プレート９３０には、当該吸引プレート９３０の全面に多数の吸引孔（図示せず。）が設けられており、吸引プレート９３０のほぼ全面が吸引領域となっている。これに対して、シート配置部９６０によって選択されるシート部の吸引領域は、吸引プレート９３０の吸引領域よりも小さいものとなっている。また、シート配置部９６０は、帯状シート９１０が架け渡されるロール９６１，９６２と、ロール９６１，９６２を回転駆動する駆動部９６３と、駆動部９６３を制御する制御部９６４とを有している。

特許文献１に記載されている平板状部材吸引装置９００によれば、吸引対象となる基板９４０のサイズを示すシート選択信号に基づいて、当該基板９４０のサイズに対応した吸引領域Ｑｂを有するシート部９１０ｂが吸引プレート９３０上に配置されるため、基板９４０のサイズに対応した領域以外の吸引孔による吸引漏れが生じないようにすることができる。

特開２００４−３２２２５４号公報

しかしながら、特許文献１に記載されている平板状部材吸引装置９００においては、基板のサイズに対応した吸引領域を有するシート部を、吸引対象となる基板のサイズごとに準備しておく必要があり、また、基板のサイズに対応した吸引領域を有するシート部を吸引プレート上に配置させるための機構としてのロール及び当該ロールを駆動する駆動部を設ける必要があるとともに、駆動部を制御する制御部を設ける必要がある。このため、特許文献１に記載されている平板状部材吸引装置９００においては、吸引装置全体の構成が大掛かりとなるという課題がある。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、平板状部材吸引装置全体の構成を大掛かりとすることなく、吸引対象となる平板状部材のサイズに対応した吸引領域を簡単な操作で形成することができる平板状部材吸引装置を提供することを目的とする。

［１］本発明の平板状部材吸引装置は、平板状部材を負圧吸引する平板状部材吸引装置であって、負圧室を形成する吸引装置本体に取り付けられているベースプレートと、前記平板状部材に対面し、前記ベースプレートに平面的に密接した状態で積層され、前記ベースプレートに対して基準位置と当該基準位置からスライドさせたスライド位置とすることが可能な部材対面プレートと、を有し、前記ベースプレートには多数個の吸引孔がベースプレート側吸引孔として設けられ、前記部材対面プレートには、多数個の吸引孔が部材対面プレート側吸引孔として設けられており、前記ベースプレート側吸引孔は、前記ベースプレートに所定の配置で設けられており、前記部材対面プレート側吸引孔は、当該部材対面プレートが前記基準位置にあるときに、前記ベースプレート側吸引孔のすべての吸引孔又はベースプレート側吸引孔のうちの所定の吸引孔に対向するように設けられている複数の基準吸引孔と、前記部材対面プレートの所定領域において当該部材対面プレートのスライド方向に沿って隣り合う基準吸引孔の間に設けられている追加吸引孔と、からなり、前記部材対面プレートが前記基準位置にあるときにおいては、前記基準吸引孔と、当該基準吸引孔と同位置に設けられている前記ベースプレート側吸引孔とが対向することにより、前記部材対面プレートには、基準吸引領域が形成され、前記部材対面プレートが前記スライド位置にあるときにおいては、前記追加吸引孔と、当該追加吸引孔と同位置に設けられている前記ベースプレート側吸引孔とが対向することにより、前記部材対面プレートには前記基準吸引領域とは異なる大きさを有する特定吸引領域が形成されることを特徴とする。

本発明の平板状部材吸引装置によれば、部材対面プレートが基準位置にあるときとスライド位置にあるときとで、平板状部材を吸引可能とする吸引領域を基準吸引領域と当該基準吸引領域とは異なった大きさを有する特定吸引領域を形成することができる。このように、本発明の平板状部材吸引装置によれば、ベースプレートに対する部材対面プレートの位置を変えるだけで、吸引領域の大きさを変更することができる。このため、平板状部材吸引装置全体の構成を大掛かりとすることなく、吸引対象となる平板状部材のサイズに対応した吸引領域を簡単な操作で形成することができる。具体的には、本発明の平板状部材吸引装置がもともと有する吸引領域（基準吸引領域）よりも小さい吸引領域（特定吸引領域）を形成することができる。これにより、本発明の平板状部材吸引装置がもともと有する吸引領域（基準吸引領域）に適合したサイズを有する平板状部材よりも小さいサイズの平板状部材を吸引する場合であっても、当該小さいサイズの平板状部材を吸引漏れすることなく吸引することができる。

なお、部材対面プレートをベースプレートに対して基準位置と当該基準位置からスライドさせたスライド位置とする際には、ベースプレートの位置を吸引装置本体とともに固定として、部材対面プレートをスライドさせるようにしてもよく、これとは逆に、部材対面プレートの位置を固定として、ベースプレートを吸引装置本体とともにスライドさせるようにしてもよい。

［２］本発明の平板状部材吸引装置においては、前記部材対面プレートが前記基準位置にあるときと、前記部材対面プレートが前記スライド位置にあるときとのそれぞれにおいて、前記部材対面プレートを前記基準位置又は前記スライド位置に位置決めする位置決め部をさらに有することが好ましい。

このような位置決め部を有することにより、部材対面プレートの各部材対面プレート側吸引孔とベースプレートの各ベースプレート側吸引孔とはそれぞれが正確に対向し、かつ、両者の対向関係を保持することができる。これにより、吸引動作中においても、部材対面プレートの各部材対面プレート側吸引孔とベースプレートの各ベースプレート側吸引孔との対向関係が崩れることなく、長期間、適切な吸引動作を行うことができる。

［３］本発明の平板状部材吸引装置においては、前記位置決め部は、前記ベースプレートを貫通するように設けられているベースプレート側位置決め孔と、前記部材対面プレートに設けられ、当該部材対面プレートが前記基準位置又は前記スライド位置にあるときに、当該基準位置及び当該スライド位置のそれぞれにおいて前記ベースプレート側位置決め孔に対向する複数の部材対面プレート側位置決め孔と、前記ベースプレート側位置決め孔と、当該ベースプレート側位置決め孔に対向している前記部材対面プレート側位置決め孔とに差し込み可能な位置決めピンと、を有することが好ましい。

位置決め部をこのような構成とすることにより、位置決め部の機構を単純なものとすることができる。また、位置決めを行うための操作は、位置決めピンをベースプレート側位置決め孔と、当該ベースプレート側位置決め孔に対向している部材対面プレート側位置決め孔とに差し込むだけの簡単な操作を行うだけでよく、このような操作を行うだけで確実な位置決めが可能となる。

［４］本発明の平板状部材吸引装置においては、前記位置決め部は、前記部材対面プレートを前記スライドさせるための駆動装置と、当該駆動装置を制御する制御装置と、を有し、前記制御装置によって前記駆動装置を制御することにより、前記部材対面プレートを前記基準位置又は前記スライド位置に位置決めすることも好ましい。

位置決め部をこのような構成とすることにより、部材対面プレートの位置決めを自動的に行うことができる。例えば、オペレーターがスライド位置を選択するための選択ボタンを操作することによって、自動的に所定のスライド位置としたり、スライド位置から基準位置としたりすることができる。なお、駆動装置としては、例えば、モーター及びアクチュエーターを有する駆動装置を例示できる。また、このような位置決め部を構成する場合、画像処理技術を用いて、吸引対象となる平板部材を撮像した画像データに基づいて吸引対象となる平板部材のサイズを認識して、その認識結果に基づいて、自動的に部材対面プレートが所定の位置となるように制御することも可能である。

［５］本発明の平板状部材吸引装置においては、前記隣り合う基準吸引孔の間に設けられている前記追加吸引孔が前記スライド方向に沿ってｎ個（ｎは２以上の整数）設けられている領域が存在し、前記ｎ個の追加吸引孔をスライド方向に沿って順に第１段目の追加吸引孔から第ｎ段目の追加吸引孔としたときに、前記スライド位置は、前記第１段目から第ｎ段目までのｎ段階での設定が可能であり、前記ｎ段階の各スライド位置ごとに前記ｎ個の追加吸引孔が順次前記ベースプレートのベースプレート側吸引孔に対向することによって、前記ｎ段階の各スライド位置ごとに前記特定吸引領域がそれぞれ異なった大きさで形成されることが好ましい。

これにより、部材対面プレートには、部材対面プレートが基準位置にあるときに形成される基準吸引領域の他に、部材対面プレートが複数段階（ｎ段階）のスライド位置にあるときにそれぞれ形成されるｎ種類の特定吸引領域の形成が可能となる。

［６］本発明の平板状部材吸引装置においては、前記基準引孔及び前記追加吸引孔は、前記基準吸引領域及び前記特定吸引領域のうちの一部の領域においては、前記ベースプレート側吸引孔に対向する前記基準引孔及び前記追加吸引孔の個数が、当該一部の領域以外の領域よりも多くなるように、前記部材対面プレートに設けられていることが好ましい。

このように、前記基準吸引領域及び前記特定吸引領域のうちの一部の領域においては、当該一部の領域以外の領域よりも、部材対面プレートの基準吸引孔及び追加吸引孔を、より多くの個数を設けることにより、前記基準吸引領域及び前記特定吸引領域における一部の領域においては、当該一部の領域以外の領域よりも、より確実な吸引が可能となる。このようにすることにより、例えば、平板状部材の所定の領域を、より確実に吸引する必要がある場合に好適なものとなる。

［７］本発明の平板状部材吸引装置においては、前記一部の領域は、前記平板状部材の一方の端部側の領域に対向する領域であることが好ましい。

このように、一部の領域が平板状部材の一方の端部側に対向する領域であることにより、例えば、台紙に剥離可能に貼着されているフィルを台紙から剥離させる際にフィルムを吸引保持するための吸引装置として好適なものとなる。すなわち、このような台紙付きフィルムからフィルムを剥離する際には、フィルムの先端部の剥離を確実に行うことが重要であり、そのためには、先端部側の領域をより確実に吸引保持することが好ましいからである。従って、このような場合、基準吸引領域又は特定吸引領域のうちの一部の領域がフィルムの先端側の領域に対向するように設定しておけば、フィルムの剥離を確実に行うことができる。

［８］本発明の平板状部材吸引装置においては、平板状部材は、シート状部材であることが好ましい。
このように、平板状部材がシート状部材であることにより、様々なサイズのフィルムやフレキシブル基板などを吸引することが可能となる。

［９］本発明の平板状部材吸引装置においては、シート状部材は、カバーレイフィルムであることが好ましい。
このように、シート状部材がカバーレイフィルムであることにより、台紙に剥離可能に貼着されているカバーレイフィルムを台紙から剥離させる際にカバーレイフィルムを吸引保持するための吸引装置として好適なものとなる。

実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０を説明するために示す図である。実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０の吸引プレート２００を構成するベースプレート２１０及び部材対面プレート２２０を説明するために示す模式図である。部材対面プレート２２０が基準位置Ｐａにあるときに当該部材対面プレート２２０に形成される吸引領域を説明するために示す模式図にある。部材対面プレート２２０が第１スライド位置Ｐｂにあるときに当該部材対面プレート２２０に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。部材対面プレート２２０が第２スライド位置Ｐｂにあるときに当該部材対面プレート２２０に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０の吸引プレート２００を構成するベースプレート２１０及び部材対面プレート２２０を説明するために示す模式図である。部材対面プレート２２０'が基準位置Ｐａにあるときに当該部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。部材対面プレート２２０'が第１スライド位置Ｐｂにあるときに当該部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。部材対面プレート２２０'が第２スライド位置Ｐｃにあるときに当該部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。フィルムの剥離装置の剥離機構部５００を説明するために示す図である。特許文献１に記載されている平板状部材吸引装置９００を説明するために示す図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。

［実施形態１］
図１は、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０を説明するために示す図である。実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０は、図１に示すように、内部に負圧室（図示せず。）を形成し、一方の面が開口面となっている吸引装置本体１００と、吸引装置本体１００の開口面を覆うよう設けられている吸引プレート２００と、吸引装置本体１００の負圧室と負圧生成ポンプ（図示せず。）との間に接続されている吸引パイプ３００とを備えている。

吸引プレート２００は、吸引装置本体１００に固定されているベースプレート２１０と、吸引対象となる平板状部材（図示せず。）に対面する部材対面プレート２２０とを有している。

部材対面プレート２２０は、ベースプレート２１０に平面的に密接した状態で積層され、ベースプレート２１０に対してｘ軸とｙ軸によって形成されるｘｙ平面上において、ｙ軸に沿ったｙ−ｙ'方向（前方及び後方）に所定範囲でスライド可能となっている。このため、部材対面プレート２２０は、ベースプレート２１０に対して基準位置（後述する。）と当該基準位置からスライドさせた位置（スライド位置という。）とに設定することができる。

なお、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０においては、部材対面プレート２２０をベースプレート２１０に対して基準位置と当該基準位置からスライドさせたスライド位置とする際には、ベースプレート２１０を吸引装置本体１００とともに固定として、部材対面プレート２２０をスライドさせるものとする。これは、後述する実施形態２に係る平板状部材吸引装置についても同様である。

ベースプレート２１０には多数個の吸引孔２１１（図２参照。）が所定の配置で設けられ、また、部材対面プレート２２０にも多数個の吸引孔２２１も所定の配置で設けられている。ただし、ベースプレート２１０に設けられている多数個の吸引孔２１１と、部材対面プレート２２０に設けられている多数個の吸引孔２２１とは、それぞれの吸引孔の配置が一部において異なっている。これについては図２により後述する。なお、ベースプレート２１０に設けられている吸引孔２１１を「ベースプレート側吸引孔２１１」と呼ぶ場合もあり、部材対面プレート２２０に設けられている吸引孔２１１を「部材対面プレート側吸引孔２２１」と呼ぶ場合もある。

図１に説明が戻る。部材対面プレート２２０には、オペレーターが部材対面プレート２２０を摘まむことができる摘み部２２５が形成されている。部材対面プレート２２０をスライドさせる際には、オペレーターは摘み部２２５を摘んで手前側（前方側）に引いたり奥側（後方側）に押し込んだりする。

オペレーターがこのような操作を行うことにより、部材対面プレート２２０を吸引装置本体１００における左右のガイド部１１０Ｌ，１１０Ｒに沿ってスライドさせることができる。そして、部材対面プレート２２０をベースプレート２１０上で吸引装置本体１００の奥側（後方側）にスライドさせると、当該部材対面プレート２２０は吸引装置本体１００の後端部側に設けられている壁部１２０に当接して、それ以上、スライドさせることができなくなる。なお、部材対面プレート２２０が吸引装置本体１００の後端部側に設けられている壁部１２０に当接したときの当該部材対面プレート２２０の位置を「基準位置Ｐａ」とする。

また、部材対面プレート２２０は、上記した基準位置Ｐａから、当該部材対面プレート２２０を前方側にスライドさせることにより、第１スライド位置Ｐｂ、第２スライド位置Ｐｃの各位置に設定可能となっている。すなわち、部材対面プレート２２０は、基準位置Ｐａを含めた複数段階（この場合、基準位置Ｐａ、第１スライド位置Ｐｂ及び第２スライド位置Ｐｃの３段階）の位置に設定可能となっている。そして、３段階それぞれの位置において位置決め部４００による位置決めが可能となっている。

なお、基準位置Ｐａは、部材対面プレート２２０が吸引装置本体１００の壁部１２０に当接したときの当該部材対面プレート２２０の位置であるが、後述する各図（例えば、図３及び図７など。）においては、当該基準位置Ｐａを部材対面プレート２２０の前方側端部２２６の位置として示されている。第１スライド位置Ｐｂ及び第２スライド位置Ｐｃも同様に、後述する各図（例えば、図４、図５、図８及び図９など。）においては、当該第２スライド位置Ｐｂ及び第２スライド位置Ｐｃを部材対面プレート２２０の前方側端部２２６の位置として示されている。

位置決め部４００は、ベースプレート２１０を貫通するように設けられている１個のベースプレート側位置決め孔２１０ａ（図２参照。）と、部材対面プレート２２０に設けられている複数個（この場合、３個）の部材対面プレート側位置決め孔２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃと、ベースプレート側位置決め孔２１０ａと当該ベースプレート側位置決め孔２１０ａに対向している部材対面プレート側位置決め孔とに差し込み可能な位置決めピン４１０と、を有している。

ベースプレート側位置決め孔２１０ａ（以下、ベース位置決め孔２１０ａと略記する。）は、ベースプレート２１０の前面側縁部に近い左右方向（ｘ軸に沿った方向）の中央部に設けられている。また、部材対面プレート側位置決め孔２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃは、当該部材対面プレート２２０の左右方向（ｘ軸に沿った方向）の中央部にｙ軸に沿って設けられている。

部材対面プレート側位置決め孔２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃは、３段階それぞれの位置（基準位置Ｐａ、第１スライド位置Ｐｂ及び第２スライド位置Ｐｃ）に対応して設けられている。

これら部材対面プレート側位置決め孔２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃのうちの、部材対面プレート側位置決め孔２２０ａは、部材対面プレート２２０が基準位置Ｐａにあるときの位置決めを行うものである。このため、当該部材対面プレート側位置決め孔２２０ａを「基準位置用位置決め孔２２０ａ」とする。

また、部材対面プレート側位置決め孔２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃのうちの、部材対面プレート側位置決め孔２２０ｂは、部材対面プレート２２０が第１スライド位置Ｐｂにあるときの位置決めを行うものである。このため、当該部材対面プレート側位置決め孔２２０ｂを「第１スライド位置用位置決め孔２２０ｂ」とする。

また、部材対面プレート側位置決め孔２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃのうちの、部材対面プレート側位置決め孔２２０ｃは、部材対面プレート２２０が第２スライド位置Ｐｃにあるときの位置決めを行うものである。このため、当該部材対面プレート側位置決め孔２２０ｃを「第２スライド位置用位置決め孔２２０ｃ」とする。

基準位置用位置決め孔２２０ａは、部材対面プレート２２０を基準位置としたときに、ベースプレート２１０に設けられているベース位置決め孔２１０ａに対向する。この状態で、ベース位置決め孔２１０ａから位置決めピン４１０を差し込むことにより、当該位置決めピン４１０は、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａを貫通して部材対面プレート２２０の基準位置用位置決め孔に差し込まれる。これにより、部材対面プレート２２０は基準位置Ｐａに位置決めされる。

第１スライド位置用位置決め孔２２０ｂは、部材対面プレート２２０を第１スライド位置Ｐｂとしたときに、ベースプレート２１０に設けられているベース位置決め孔２１０ａに対向する。この状態で、ベース位置決め孔２１０ａから位置決めピン４１０を差し込むことにより、当該位置決めピン４１０は、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａを貫通して部材対面プレート２２０の第１スライド位置用位置決め孔２２０ｂに差し込まれる。これにより、部材対面プレート２２０は第１スライド位置Ｐｂに位置決めされる。

第２スライド位置用位置決め孔２２０ｃは、部材対面プレート２２０を第２スライド位置Ｐｃとしたときに、ベースプレート２１０に設けられているベース位置決め孔２１０ａに対向する。この状態で、ベース位置決め孔２１０ａから位置決めピン４１０を差し込むことにより、当該位置決めピン４１０は、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａを貫通して部材対面プレート２２０の第２スライド位置用位置決め孔に差し込まれる。これにより、部材対面プレート２２０は第２スライド位置Ｐｃに位置決めされる。

図２は、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０の吸引プレート２００を構成するベースプレート２１０及び部材対面プレート２２０を説明するために示す模式図である。図２（ａ）はベースプレート２１０の平面図であり、図２（ｂ）は部材対面プレート２２０の平面図である。なお、図２は模式図であるため、簡略化されたものとなっており、吸引孔の数や配置などは実際のものとは異なる。

ベースプレート２１０には、図２（ａ）に示すように、ベースプレート側吸引孔２１１（ベース吸引孔２１１と略記する場合もある。）が当該ベースプレート２１０において所定の広がりを有して設けられている。実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０においては、ｘ軸及びｙ軸に沿って所定の間隔ｄ１ごとにマトリクス状の配置で多数個設けられている。図２（ａ）における一点鎖線で示す矩形の領域Ａ０をベースプレート２１０の「吸引領域Ａ０」とする。なお、ベース吸引孔２１１は、ｚ軸に沿って見たときの形状が円形をなしている。

一方、部材対面プレート２２０には、図２（ｂ）に示すように、部材対面プレート側吸引孔２２１が多数設けられている。部材対面吸引孔２２１もベース吸引孔２１１と同様にｚ軸に沿って見たときの形状が円形をなしている。

部材対面プレート側吸引孔２２１は、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａにあるときに、各ベース吸引孔２１１に対向するように設けられている多数の吸引孔（基準吸引孔２２１ａという。）と、当該基準吸引孔２２１ａのうち、部材対面プレート２２０の所定領域（図２（ｂ）において、部材対面プレート２２０の中央付近の破線で示す領域Ｃ１及び二点鎖線で示す領域Ｃ２とする。）において当該部材対面プレート２２０のスライド方向（矢印ｙ−ｙ'方向）に沿って隣り合う基準吸引孔の間に設けられている追加吸引孔とからなる。

また、部材対面プレート２２０には、スライド方向（矢印ｙ−ｙ'方向）に沿って隣り合う基準吸引孔の間に複数個（２個とする。）の追加吸引孔が設けられている領域が存在する（例えば、図２（ｂ）において二点鎖線で示す領域Ｃ２にほぼ相当する領域）。これら２個の追加吸引孔を追加吸引孔２２１ｂ，２２１ｃとする。なお、追加吸引孔２２１ｂ，２２１ｃもベース吸引孔２１１と同様にｚ軸に沿って見たときの形状が円形をなしている。

これら２個の追加吸引孔２２１ｂ，２２１ｃのうち、スライド方向前方側の（矢印ｙ方向前方側）に位置する追加吸引孔を「第１追加吸引孔２２１ｂ」とし、当該第１追加吸引孔２２１ｂの後方側に位置する追加吸引孔を「第２追加吸引孔２２１ｃ」とする。また、説明を分かりやすくするため、基準吸引孔２２１ａは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１と同じく白抜きの丸印で図示し、第１追加吸引孔２２１ｂは灰色の丸印で図示し、第２追加吸引孔２２１ｃは黒色の丸印で図示している。

なお、灰色で示す「第１追加吸引孔２２１ｂ」は、スライド方向（ｙ−ｙ'方向）に直交する仮想的なライン上（ｘ軸に沿った線上）に並んで設けられており、黒色で示す「第２追加吸引孔２２１ｃ」も、スライド方向（ｙ−ｙ'方向）に直交する仮想的なライン（ｘ軸に沿うライン上）に並んで配置されている。ここで、第１追加吸引孔２２１ｂが並ぶｘ軸に沿った仮想的なラインは、スライド方向に沿って隣り合う基準吸引孔の間において、スライド方向に沿った第１段目の仮想的なラインであり、第２追加吸引孔２２１ｂが並ぶｘ軸に沿った仮想的なラインは、スライド方向に沿って隣り合う基準吸引孔の間において、スライド方向に沿った第２段目の仮想的なラインである。

このため、各第１追加吸引孔２２１ｂは、スライド方向に沿って隣り合う基準吸引孔において第１段目の追加吸引孔として存在し、各第２追加吸引孔２２１ｃは、同じく、第２段目の追加吸引孔として存在することとなる。

これにより、部材対面プレート２２０が各スライド位置（第１スライド位置Ｐｂ及び第２スライド位置Ｐｃ）にスライドすると、第１段目の追加吸引孔として存在する各第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２段目の追加吸引孔として存在する第２追加吸引孔２２１ｃは、それぞれが同じスライド量だけスライドすることとなる。そして、各スライド位置（第１スライド位置Ｐｂ及び第２スライド位置Ｐｃ）ごとに第１段目の追加吸引孔として存在する各第１追加吸引孔２２１及び第２段目の追加吸引孔として存在する各第２追加吸引孔２２１ｃが順次、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対向する。

具体的には、部材対面プレート２２０が第１スライド位置Ｐｂに達すると、第１段目の追加吸引孔として存在する各第１追加吸引孔２２１ｂが、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１にそれぞれ対向し、部材対面プレート２２０が第２スライド位置Ｐｃに達すると、第２段目の追加吸引孔として存在する各第２追加吸引孔２２１ｃが、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１にそれぞれ対向する。

ところで、図２（ｂ）における破線で示す領域Ｃ１は、部材対面プレート２２０を第１スライド位置Ｐｂとしたときに部材対面プレート２２０において形成される吸引領域Ａｂ（図４参照。）に対応する領域である。また、図２（ｂ）における二点鎖線で示す領域Ｃ２は、部材対面プレート２２０を第２スライド位置Ｐｃとしたときに部材対面プレート２２０において形成される吸引領域Ａｃ（図５参照。）に対応する領域である。これら吸引領域Ａｂ，Ａｃについては後述する。

基準吸引孔２２１ａは、各ベース吸引孔２１１と同様に、ｘ軸及びｙ軸に沿って所定の間隔ｄ１ごとに形成されている。一方、スライド方向（矢印ｙ−ｙ'方向）で隣り合う基準吸引孔２２１ａの間に設けられている２個の追加吸引孔（第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）は、当該隣り合う基準吸引孔２２１ａのスライド方向の間隔ｄ１を等分（この場合、３等分）した間隔ｄ２ごとの位置に設けられている。

また、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１の径と、部材対面プレート２２０の吸引孔２２１（基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）の径は、部材対面プレート２２０の吸引孔２２１（基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）の径が、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１の径をよりも小径となっている。

ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１の径及び部材対面プレート２２０の吸引孔２２１の径をこのように設定することによって、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に部材対面プレート２２０の吸引孔２２１を対向させて吸引動作を行ったときに、ベース吸引孔２１１の中心に対して部材対面プレート２２０の吸引孔２２１の中心が多少ずれたとしても、吸引漏れを生じにくくすることができる。

このように構成されているベースプレート２１０及び部材対面プレート２２０において、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａにあるときと、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対してスライドした位置（第１スライド位置Ｐｂ及び第２スライド位置Ｐｃ）にあるときとでは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対向する部材対面プレート２２０の吸引孔２２１が異なる。

すなわち、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａにあるときは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対向する部材対面プレート２２０の吸引孔２２１は、基準吸引孔２２１ａとなる。また、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して第１スライド位置Ｐｂにあるときは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対向する部材対面プレート２２０の吸引孔は、第１追加吸引孔２２１ｂとなる。また、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して第２スライド位置Ｐｃにあるときは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対向する部材対面プレート２２０の吸引孔は、第２追加吸引孔２２１ｃとなる。

このように、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａと、第１スライド位置Ｐｂと、第２スライド位置Ｐｃとにあるときとでは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対向する部材対面プレート２２０の吸引孔２２１が異なる。このため、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａと、第１スライド位置Ｐｂと、第２スライド位置Ｐｃとにそれぞれの位置において形成される吸引領域は、それぞれ異なった大きさを有するものとなる。

図３は、部材対面プレート２２０が基準位置Ｐａにあるときに当該部材対面プレート２２０に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。
図３に示すように、部材対面プレート２２０が基準位置Ｐａにあるときにおいては、部材対面プレート２２０の各基準吸引孔２２１ａ（白抜きの丸印で示す。）は、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１（破線で示されている。）に対向する。

このため、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１と部材対面プレート２２０の各基準吸引孔２２１ａとは貫通状態となる。したがって、部材対面プレート２２０に形成される吸引領域は、図３における一点鎖線で示す矩形の領域Ａａであり、当該矩形の領域Ａａ（吸引領域Ａａという。）は、ベースプレート２１０における吸引領域Ａ０と同様の大きさを有する。なお、吸引領域Ａａは、部材対面プレート２２０が基準位置Ｐａにあるときに当該部材対面プレート２２０に形成される吸引領域であるため、「基準吸引領域Ａａ」と表記する場合もある。

ところで、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａにある場合においては、基準位置用位置決め孔２２０ａがベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａに対向する。この状態で、位置決めピン４１０（図１参照。）をベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａから差し込むことにより、当該位置決めピン４１０は、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａを貫通して部材対面プレート２２０の基準位置用位置決め孔２２０ａに差し込まれる。

これにより、部材対面プレート２２０は、ベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａに正確に位置決めされ、基準吸引孔２２１ａ（白抜きの丸印で示す。）と、当該基準吸引孔２２１ａと同位置に存在するベースプレート２１０のベース吸引孔２１１とはそれぞれが正確に対向し、かつ、両者の対向関係を保持することができる。

このような状態で、基準吸引領域Ａａとほぼ同じか、やや大きいサイズの平板状部材（例えば、カバーレイフィルム）に基準吸引領域Ａａが対面するように平板状部材吸引装置１０の部材対面プレート２２０を配置して、当該平板状部材を吸引することによって、吸引プレート２００（ベースプレート２１０及び部材対面プレート２２０）の各吸引孔からの吸引漏れはなくなり、当該平板状部材を確実に吸引することができる。

図４は、部材対面プレート２２０が第１スライド位置Ｐｂにあるときに当該部材対面プレート２２０に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。
図４に示すように、部材対面プレート２２０が第１スライド位置Ｐｂにあるときにおいては、部材対面プレート２２０に設けられている各基準吸引孔２２１ａは、ベースプレート２１０に設けられている各ベース吸引孔２１１（破線で示されている。）から外れた位置となり、その代わりに、第１段目の追加吸引孔として存在する第１追加吸引孔２２１ｂ（灰色の丸印で示す。）が、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１のうち、当該第１追加吸引孔２２１ｂと同位置に存在するベース吸引孔２１１にそれぞれ対向する。

このため、第１追加吸引孔２２１ｂ（灰色の丸印で示す。）と、当該第１追加吸引孔２２１ｂと同位置に存在するベース吸引孔２１１とが貫通状態となる。したがって、このときの吸引領域は、図４における一点鎖線で示す矩形の領域Ａｂであり、当該矩形の領域Ａｂ（吸引領域Ａｂという。）は、ベースプレート２１０における吸引領域Ａ０（部材対面プレート２２０における基準吸引領域Ａａ）よりも小さい領域となる。なお、吸引領域Ａｂを基準吸引領域Ａａと区別するために、「特定吸引領域Ａｂ」と表記する場合もある。

また、部材対面プレート２２０がベースプレート２１０に対して第１スライド位置Ｐｂにある場合には、第１スライド位置用位置決め孔２２０ｂがベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａに対向する。この状態で、位置決めピン４１０（図１参照。）をベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａから差し込むことにより、当該位置決めピン４１０は、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａを貫通して部材対面プレート２２０の第１スライド位置用位置決め孔２２０ｂに入り込む。

これにより、部材対面プレート２２０は、ベースプレート２１０に対して第１スライド位置Ｐｂに正確に位置決めされ、各第１追加吸引孔２２１ｂ（灰色の丸印で示す。）と、当該各第１追加吸引孔２２１ｃと同位置に存在するベースプレート２１０のベース吸引孔２１１とはそれぞれが正確に対向し、かつ、両者の対向関係を保持することができる。

このような状態で、特定吸引領域Ａｂとほぼ同じか、やや大きいサイズの平板状部材（例えばカバーレイフィルム）に特定吸引領域Ａｂが対面するように平板状部材吸引装置１０の部材対面プレート２２０を配置して、当該平板状部材を吸引することによって、吸引プレート２００（ベースプレート２１０及び部材対面プレート２２０）の各吸引孔からの吸引漏れはなくなり、当該平板状部材を確実に吸引することができる。

図５は、部材対面プレート２２０が第２スライド位置Ｐｃにあるときに当該部材対面プレート２２０に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。
図５に示すように、部材対面プレート２２０が第２スライド位置Ｐｃにあるときにおいては、部材対面プレート２２０に設けられている各基準吸引孔２２１ａ及び第１追加吸引孔２２１ｂは、ベースプレート２１０に設けられている各ベース吸引孔２１１（破線で示されている。）からそれぞれ外れた位置となり、その代わりに、第２段目の追加吸引孔として存在する第２追加吸引孔２２１ｃ（黒色の丸印で示す。）が、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１のうち、当該第２追加吸引孔２２１ｂと同位置に存在するベース吸引孔２１１にそれぞれ対向する。

このため、第２追加吸引孔２２１ｃ（黒色の丸印で示す。）と、当該第２追加吸引孔２２１ｃと同位置に存在するベース吸引孔２１１とが貫通状態となる。したがって、このときの吸引領域は、図５における一点鎖線で示す矩形の領域Ａｃであり、当該矩形の領域Ａｃ（吸引領域Ａｃという。）は、部材対面プレート２２０における特定吸引領域Ａｂ（図４参照。）よりも小さい領域となる。なお、当該吸引領域Ａｃについても基準吸引領域Ａａと区別するために、「特定吸引領域Ａｃ」と表記する場合もある。

また、このように、部材対面プレート２２０をベースプレート２１０に対して第２スライド位置Ｐｃとした場合においては、第２スライド位置用位置決め孔２２０ｃがベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａに対向する。この状態で、位置決めピン４１０（図１参照。）をベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａから差し込むことにより、当該位置決めピン４１０は、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａを貫通して部材対面プレート２２０の第２スライド位置用位置決め孔２２０ｃに差し込まれる。

これにより、部材対面プレート２２０は、ベースプレート２１０に対して第２スライド位置Ｐｃに正確に位置決めされ、各第２追加吸引孔２２１ｃ（黒色の丸印で示す。）と、当該各第２追加吸引孔２２１ｃと同位置に存在するベースプレート２１０のベース吸引孔２１１とはそれぞれが正確に対向し、かつ、両者の対向関係を保持することができる。

このような状態で、特定吸引領域Ａｃとほぼ同じか、やや大きいサイズの平板状部材（例えばカバーレイフィルム）に特定吸引領域Ａｃが対面するように平板状部材吸引装置１０の部材対面プレート２２０を配置して、当該平板状部材を吸引することによって、吸引プレート２００（ベースプレート２１０及び部材対面プレート２２０）の各吸引孔からの吸引漏れはなくなり、当該平板状部材を確実に吸引することができる。

以上説明したように、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０によれば、吸引プレート２００をベースプレート２１０と、当該ベースプレート２１０に対してスライド可能な部材対面プレート２２０とによって構成し、部材対面プレート２２０をベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａ、第１スライド位置Ｐｂ又は第２スライド位置Ｐｃのいずれかに設定する操作を行うだけで、大きさの異なる吸引領域を形成することができる。

すなわち、部材対面プレート２２０を基準位置Ｐａとした場合には、ベースプレート２１０の吸引領域Ａ０と同様の吸引領域（基準可能領域Ａａ）を形成することができる。また、部材対面プレート２２０を第１スライド位置Ｐｂとした場合には、ベースプレート２１０の吸引領域Ａ０よりも小さい特定吸引領域Ａｂを形成することができ、部材対面プレート２２０を第２スライド位置Ｐｃとした場合には、特定吸引領域Ａｂよりも小さい特定吸引領域Ａｃを形成することができる。これにより、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０がもともと有する吸引領域（この場合、ベースプレート２１０の吸引領域Ａ０）に適合したサイズを有する平板状部材よりも小さいサイズの平板状部材を吸引する場合であっても、当該小さいサイズの平板状部材を吸引漏れすることなく吸引することができる。

また、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０においては、部材対面プレート２２０を基準位置Ｐａ、第１スライド位置又は第２スライド位置のいずれかに設定スライドさせたときに当該部材対面プレート２２０の位置決めを行うための位置決め部４００が設けられている。

位置決め部４００は、部材対面プレート２２０が基準位置Ｐａにあるときには、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａと部材対面プレート２２０の基準位置用位置決め孔２２０ａとが対向するようになっているため、部材対面プレート２２０を基準位置Ｐａに正確に位置決めすることができる。

また、部材対面プレート２２０が第１スライド位置Ｐｂにあるときには、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａと部材対面プレート２２０の第１スライド位置用位置決め孔２２０ｂとが対向するようになっているため、部材対面プレート２２０を第１スライド位置Ｐｂに正確に位置決めすることができる。

また、部材対面プレート２２０が第２スライド位置Ｐｃにあるときには、ベースプレート２１０のベース位置決め孔２１０ａと部材対面プレート２２０の第２スライド位置用位置決め孔２２０ｃとが対向するようになっているため、部材対面プレート２２０を第２スライド位置Ｐｃに正確に位置決めすることができる。

このため、吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃのいずれかを形成したときに、それぞれの吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃにおいてそれぞれ対向する吸引孔同士の対向関係を保持することができる。これにより、吸引動作中においても、部材対面プレート２２０の各吸引孔２２１とベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１との対向関係が崩れることなく、長期間、適切な吸引動作を行うことができる。

［実施形態２］
上記実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０においては、部材対面プレート２２０の吸引孔２２１（基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）は、部材対面プレート２２０に形成される吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃにおいては、各吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃに存在するベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１にそれぞれ対応するように部材対面プレート２２０に設けられているが、部材対面プレート２２０の吸引孔２２１は、各吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃに存在するベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１に対して間引かれた状態で部材対面プレート２２０に設けられていてもよい。

このとき、部材対面プレート２２０に形成される各吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃごとに当該吸引領域（例えば、基準吸引領域Ａａとする。）において当該基準吸引領域Ａａに存在するベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１に対して部材対面プレート２２０の吸引孔２２１を間引いて設けるようにしてもよく、また、当該基準吸引領域Ａａの一部の領域（後述する。）以外の領域についてだけ、部材対面プレート２２０の吸引孔２２１を間引いて設けるようにしてもよい。

実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０においては、各吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃの一部の領域（後述する。）以外の領域についてだけ、部材対面プレート２２０の吸引孔２２１を間引いて設ける場合を説明する。

実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０は、基本的な外観構成は実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０と同様の構成となっている（図１参照。）。実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０においては、部材対面プレート２２０の吸引孔２２１（基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）の配置の仕方が実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０と異なる。なお、実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０を説明するための各図において、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０と同一構成要素には同一符号が付されている。

図６は、実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０の吸引プレート２００を構成するベースプレート２１０及び部材対面プレート２２０を説明するために示す模式図である。図６（ａ）はベースプレート２１０の平面図であり、図６（ｂ）は部材対面プレート２２０の平面図である。

なお、実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０におけるベースプレート２１０は実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０のベースプレート２１０と同様の構成であるため、説明は省略する。一方、実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０における部材対面プレート２２０は、吸引孔２２１（基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）の配置の仕方が実施形態１に係る平板状部材吸引装置の部材対面プレート２２０と異なる。なお、実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０における部材対面プレート２２０を「部材対面プレート２２０'」として説明する。

なお、実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０は、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０における部材対面プレート２２０を部材対面プレート２２０'としたものである。このため、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０における部材対面プレート２２０をベースプレート２１０に対して着脱自在としておけば、部材対面プレート２２０を部材対面プレート２２０'に付け替えるだけで、実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０を構成することができる。

部材対面プレート２２０'は、図６（ｂ）に示すように、当該部材対面プレート２２０'の吸引孔（基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２吸引孔２２１ｃ）が、当該部材対面プレート２２０'における一部の領域Ｓ０（図６（ｂ）の左端側の領域とする。）においては、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１にそれぞれ対応するように設けられているが、当該一部の領域Ｓ０以外の領域においては、ベースプレート２１０に対して間引いて設けられている。なお、以下、「一部の領域Ｓ０」を「部分領域Ｓ０」という。

図７は、部材対面プレート２２０'が基準位置Ｐａにあるときに当該部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。このとき、部材対面プレート２２０'は、基準位置用位置決め孔２２０ａに位置決めピン４１０が差し込まれていることによって基準位置Ｐａに位置決めされているものとする。

図７に示すように、部材対面プレート２２０'が基準位置Ｐａにあるときにおいては、部材対面プレート２２０'に設けられている各基準吸引孔２２１ａは、ベースプレート２１０に設けられている各ベース吸引孔２１１（破線で示されている。）のうち、各基準吸引孔２２１ａと同位置に存在するベース吸引孔２１１に対向する。

このため、各基準吸引孔２２１ａと、当該各基準吸引孔２２１ａと同位置に存在するベース吸引孔２１１とが貫通状態となる。したがって、部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域は、図７における一点鎖線で示す矩形の領域Ａａであり、当該矩形の領域Ａａ（基準吸引領域Ａａ）は、実施形態１に係る平板状部材吸引装置１０において説明したように、ベースプレート２１０における吸引領域Ａ０と同様の大きさを有するものである。

ここで、図７に示す基準吸引領域Ａａの右端側に位置する一部の領域Ｓａ（図６（ｂ）における部分領域Ｓ０に対応する領域）においては、部材対面プレート２２０'の基準吸引孔２２１ａは、当該一部の領域Ｓａ（以下、部分領域Ｓａという。）に存在するベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１にそれぞれ対応するように設けられている。このため、部材対面プレート２２０'が基準位置Ｐａにあるときには、当該部分領域Ｓａにおいて、部材対面プレート２２０'の各基準吸引孔２２１ａは、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１にそれぞれ対向する。

一方、基準吸引領域Ａａにおける部分領域Ｓａ以外の領域においては、部材対面プレート２２０'の基準吸引孔２２１ａは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対して間引いて設けられている。このため、部材対面プレート２２０'が基準位置Ｐａにあるときには、当該部分領域Ｓａ以外の領域において、部材対面プレート２２０'の基準吸引孔２２１ａは、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔のうち、部材対面プレート２２０'の基準吸引孔２２１ａと同位置に存在するベース吸引孔２１１のみに対向することとなる。

図８は、部材対面プレート２２０'が第１スライド位置Ｐｂにあるときに当該部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域を説明するために示す模式図のである。このとき、部材対面プレート２２０'は、第１スライド位置用位置決め孔２２０ｂに位置決めピン４１０が差し込まれていることによって第１スライド位置Ｐｂに位置決めされているものとする。

図８に示すように、部材対面プレート２２０'が第１スライド位置Ｐｂにあるときにおいては、部材対面プレート２２０'に設けられている各第１追加吸引孔２２１ｂは、ベースプレート２１０に設けられている各ベース吸引孔２１１（破線で示されている。）のうち、各第１追加吸引孔２２１ｂと同位置に存在するベース吸引孔２１１に対向する。

このため、各第１追加吸引孔２２１ｂと、当該各第１追加吸引孔２２１ｂと同位置に存在するベース吸引孔２１１とが貫通状態となる。したがって、部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域は、図８における一点鎖線で示す矩形の領域Ａｂであり、当該矩形の領域Ａｂ（特定吸引領域Ａｂ）は、図７に示す基準吸引領域Ａａよりも小さい領域である。

ここで、図８に示す特定吸引領域Ａｂの右端側に位置する一部の領域Ｓｂ（以下、部分領域Ｓｂという。）においては、部材対面プレート２２０'の第１追加吸引孔２２１ｂは、当該部分領域Ｓｂに存在するベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１にそれぞれ対応するように設けられている。このため、部材対面プレート２２０'が第１スライド位置Ｐｂにあるときには、当該部分領域Ｓｂにおいて、部材対面プレート２２０'の第１追加吸引孔２２１ｂは、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１にそれぞれ対向する。

一方、特定吸引領域Ａｂにおける部分領域Ｓｂ以外の領域においては、部材対面プレート２２０'の第１追加吸引孔２２１ｂは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対して間引いて設けられている。このため、部材対面プレート２２０'が第１スライド位置Ｐｂにあるときには、当該部分領域Ｓｂ以外の領域において、部材対面プレート２２０'の第１追加吸引孔２２１ｂは、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔のうち、部材対面プレート２２０'の第１追加吸引孔２２１ｂと同位置に存在するベース吸引孔２１１のみに対向することとなる。

図９は、部材対面プレート２２０'が第２スライド位置Ｐｃにあるときに当該部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域を説明するために示す模式図である。このとき、部材対面プレート２２０'は、第２スライド位置用位置決め孔２２０ｃに位置決めピン４１０が差し込まれていることによって第２スライド位置Ｐｃに位置決めされているものとする。

図９に示すように、部材対面プレート２２０'が第２スライド位置Ｐｃにあるときにおいては、部材対面プレート２２０'に設けられている各第２追加吸引孔２２１ｃは、ベースプレート２１０に設けられている各ベース吸引孔２１１（破線で示されている。）のうち、各第２追加吸引孔２２１ｃと同位置に存在するベース吸引孔２１１に対向する。

このため、各第２追加吸引孔２２１ｃと、当該各第２追加吸引孔２２１ｃと同位置に存在するベース吸引孔２１１とが貫通状態となる。したがって、部材対面プレート２２０'に形成される吸引領域は、図９における一点鎖線で示す矩形の領域Ａｃであり、当該矩形の領域Ａｃ（特定吸引領域Ａｃ）は、図８に示す特定吸引領域Ａｂよりも小さい領域である。

ここで、図９に示す特定吸引領域Ａｃの右端側に位置する一部の領域Ｓｃ（以下、部分領域Ｓｃという。）においては、部材対面プレート２２０'の第２追加吸引孔２２１ｃは、当該部分領域Ｓｃに存在するベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１にそれぞれ対応するように設けられている。このため、部材対面プレート２２０'が第２スライド位置Ｐｃにあるときには、当該部分領域Ｓｃにおいて、部材対面プレート２２０'の第２追加吸引孔２２１ｃ、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１にそれぞれ対向する。

一方、特定吸引領域Ａｃにおける部分領域Ｓｃ以外の領域においては、部材対面プレート２２０'の第２追加吸引孔２２１ｃは、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対して間引いて設けられている。このため、部材対面プレート２２０'が第２スライド位置Ｐｃにあるときには、当該部分領域Ｓｃ以外の領域において、部材対面プレート２２０'の第２追加吸引孔２２１ｃは、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔のうち、部材対面プレート２２０'の第２追加吸引孔２２１ｃと同位置に存在するベース吸引孔２１１のみに対向することとなる。

このように、実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０においては、部材対面プレート２２０の基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃは、それぞれの吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃにおける各部分領域Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ以外の領域においては、ベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１のすべてに対応して設けられているのではなく、ベースプレート２１０における各ベース吸引孔２１１に対して間引いて設けられている。

換言すれば、各部分領域Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃにおいては、当該部分領域Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ以外の領域よりも、部材対面プレート２２０の基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃは、より高密度にベースプレート２１０の各ベース吸引孔２１１に対向可能となるように設けられている。このようにすることにより、各吸引領域Ａａ，Ａｂ，Ａｃにおける各部分領域Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃにおいては、当該部分領域Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ以外の領域よりも、より確実な吸引が可能となる。

このような平板状部材吸引装置（実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０）は、例えば、台紙に剥離可能に貼着されているカバーレイフィルムなどのフィルム（台紙付きフィルムという。）を台紙から剥離させる「フィルムの剥離装置の剥離機構部」において、フィルム剥離する際にフィルムを吸引保持するための吸引装置として好適なものとなる。

図１０は、フィルムの剥離装置の剥離機構部５００を説明するために示す図である。フィルムの剥離装置の剥離機構部５００は、図１０に示すように、台紙Ｗｍに剥離可能に貼着されているフィルムＷｃ（台紙付きフィルムＷｃともいう。）における台紙Ｗｍの下面を支持する水平面５１１及び当該水平面５１１に対して鋭角θ（例えばθ＝４５度）をなす傾斜面５１２を有する剥離部５１０と、剥離部５１０が先端側に取り付けられている台座部５２０と、剥離部５１０で折り返された台紙Ｗｍの進行方向を変えるロール５３０と、剥離部５１０の上方にｚ軸に沿って矢印ｚ−ｚ'方向に上下動可能に設けられている吸引装置としての平板状部材吸引装置２０とを備えている。なお、平板状部材吸引装置２０は、部材対面プレート２２０が台紙付きフィルムＷｃに対面するように、当該部材対面プレート２２０が下向きとなるように設置されている。

また、剥離部５１０の先端部（水平面５１１と傾斜面５１２との接続部）には、台紙折り返し部５１３が形成されている。なお、当該台紙折り返し部５１３よりも台紙Ｗｍの進行方向前方（矢印ｘ'方向）の側においては、台紙ＷｍからフィルムＷｃが剥がされたあとであるため、台紙Ｗｍのみが進行することとなる。

また、台座部５２０は、剥離部５１０とともにｘ軸に沿って矢印ｘ−ｘ'方向に往復動可能となっている。また、台紙付きフィルムＷｃは、図１０における一点鎖線枠内に示すように、進行方向（矢印ｘ'方向）に直交するプリカットラインＬに沿って台紙Ｗｍを残した状態でプリカットされており、所定サイズのフィルム片Ｗｃ１，Ｗｃ２、・・・として台紙Ｗｍに貼着されているものとする。そして、各々のフィルム片Ｗｃ１，Ｗｃ２のサイズは、平板状部材吸引装置２０における部材対面プレート２２０の基準吸引領域Ａａ（図７参照。）に対応するサイズであるとする。

なお、図７は模式図であるため、ベースプレート２１０に設けられているベース吸引孔２１１及び部材対面プレート２２０に設けられている基準吸引孔２２１ａ、追加吸引孔（第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）の数や配置は、実際のものとは異なる。

このように構成されている剥離機構部５００におけるフィルムの剥離は次のように行われる。まず、現時点において剥離すべきフィルム片（フィルム片Ｗｃ１とする。）の先端部ｅ１は剥離部５１０における折り返し部５１３に達しているものとする。この状態で、平板状部材吸引装置２０の部材対面プレート２２０がフィルム片Ｗｃ１に接触した状態で当該フィルム片Ｗｃ１を吸引している。このとき、部材対面プレート２２０の各基準吸引孔２２１ａはベースプレート２１０のベース吸引孔２１１に対して図７に示すように対向している。

なお、部材対面プレート２２０の基準吸引領域Ａａにおける部分領域Ｓａは、フィルム片Ｗｃ１の先端部ｅ１の側に対向した状態となっている。すなわち、部分領域Ｓａは、当該部分領域Ｓａの長手方向がフィルム片Ｗｃ１の先端部ｅ１におけるプリカットラインＬに沿うようにフィルム片Ｗｃ１に対向する（図１０における一点鎖線枠内参照。）。

この状態で、台紙Ｗｍに矢印ｘ'方向（図１０における左方向）への引っ張り力を与えながら台座部５２０を矢印ｘ方向（図１０における右方向）に移動させる。これにより、フィルム片Ｗｃ１を台紙Ｗｍから剥がすことができる。このような剥離動作を行う際においては、フィルム片Ｗｃ１の先端部ｅ１の剥離を確実に行うことが重要であり、そのためには、先端部ｅ１の側の領域をより確実に吸引保持することが好ましい。

この場合、部材対面プレート２２０は、図７に示すように、部分領域Ｓａに、より多くの吸引可能な吸引孔が存在していることにより、確実に先端部ｅ１を吸引保持することができ、それによって、フィルム片Ｗｃ１を台紙Ｗｍから引き剥がす動作を確実に行うことができる。

なお、上記したように、図７は模式図であるため、部分領域Ｓａ以外の領域においては、吸引可能な吸引孔（基準吸引孔２２１ａ）が、まばらにしか存在していないように図示されているが、実際には、部分領域Ｓａ以外の領域においても、フィルム片Ｗｃ１を引き剥がす際に十分な吸引力をフィルム片Ｗｃ１に与えることができる程度の吸引孔が設けられている。

実施形態２に係る平板状部材吸引装置２０においては、図７に示す基準吸引領域Ａａによる剥離動作について説明したが、フィルム片Ｗｃ１，Ｗｃ２，・・・のサイズに応じて、例えば、図８又は図９に示すような特定吸引領域Ａｂ，Ａｃによる剥離動作を行うこともできる。

なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。例えば、下記に示すような変形実施も可能である。

（１）上記各実施形態においては、図面及び説明の簡単化のために、隣接する基準吸引孔の間において、２個の追加吸引孔（第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）を設けた場合を例示したが、これに限られるものではなく、追加吸引孔は隣接する基準吸引孔の間において、ｎ個（ｎは２以上の整数）設けることが可能である。この場合、スライド位置は、ｎ段階に設定可能である。すなわち、ｎ個の追加吸引孔をスライド方向に沿って順に第１段目の追加吸引孔から第ｎ段目の追加吸引孔としたときに、スライド位置は、第１段目から第ｎ段目までのｎ段階での設定が可能であり、ｎ段階の各スライド位置ごとにｎ個の追加吸引孔が順次前記ベースプレートのベースプレート側吸引孔に対向することによって、吸引領域をｎ段階の各スライド位置ごとに異なった大きさで形成することができる。

（２）上記各実施形態においては、追加吸引孔を設ける領域は、上記各実施形態に示した領域（例えば、図２（ｂ）における領域Ｃ１，Ｃ２）に限られるものではなく、追加吸引孔を設ける領域を必要に応じて設定することができる。これにより、部材対面プレート２２０において形成される吸引領域は、上記各実施形態において示した３つの領域（基準吸引領域Ａａ及び特定吸引領域Ａｂ，Ａｃ）だけではなく、様々な大きさを有する領域の設定が可能となるとともに、吸引領域の形状も矩形のみではなく、様々な形状の吸引領域を形成できる。

なお、このように様々な吸引領域の形成を可能とするためには、１つの部材対面プレート２２０において、追加吸引孔の数及び追加吸引孔の配置を様々に設定することによって可能となるが、追加吸引孔の数及び追加吸引孔の配置を様々に設定した部材対面プレート２２０を複数種類準備しておき、かつ、部材対面プレート２２０をベースプレート２１０に対して着脱自在とすることで、必要に応じて、部材対面プレート２２０を付け替えて使用すれば、より多種の吸引領域の設定が可能となる。これにより、より多種のサイズ及び多種の形状の平板状部材を吸引対象とすることができる。

（３）上記各実施形態においては、部材対面プレート２２０の位置決め部４００は、ベースプレート２１０に設けられているベース位置決め孔２１０ａと、部材対面プレート２２０に設けられている部材対面プレート側位置決め孔２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃと、位置決めピン４１０とを有する構成としたが、これに限られるものではなく、他の構成としてもよい。

例えば、図示や省略するが、位置決め部４００が、部材対面プレート２２０をスライドさせるための駆動装置と、当該駆動装置を制御する制御装置とを有する構成とし、制御装置によって駆動装置を駆動することにより、部材対面プレート２２０を基準位置又は前記スライド位置に位置決めするものであってもよい。なお、駆動装置としては、例えば、モーター及びアクチュエーターを有する駆動装置を例示できる。

位置決め部４００をこのような構成とすることにより、部材対面プレート２２０の位置決めを自動的に行うことができる。例えば、オペレーターがスライド位置を選択するための選択ボタンを操作することによって、自動的に所定のスライド位置としたり、所定のスライド位置から基準位置としたりすることができる。

また、このような位置決め部４００（部材対面プレート２２０をスライドさせるための駆動装置と、当該駆動装置を制御する制御装置とを有する構成の位置決め部）においては、吸引対象となる平板部材を撮像し、それによって得られた画像データに基づいて吸引対象となる平板部材のサイズを認識して、その認識結果に基づいて、自動的に部材対面プレートが所定の位置となるように駆動装置を制御するということも可能である。

（４）上記各実施形態においては、部材対面プレート２２０のスライド方向は１方向（ｙ軸に沿った方向）に往復動可能としたが、同一平面上で直交する２方向（ｙ軸に沿った方向及びｘ軸に沿った方向）にそれぞれ往復動可能としてもよい。この場合、ｘ軸に沿った方向においても、隣接する基準吸引孔の間に１つ以上の追加吸引孔を設ければよい。このようにすることにより、吸引領域をより多様に設定することができ、より多種のサイズ及び多種の形状の平板状部材を吸引対象とすることができる。また、部材対面プレート２２０をベースプレート２１０上で当該ベースプレート２１０の表面に接した状態で回転させるようにすることもできる。

（５）上記各実施形態においては、部材対面プレート２２０をベースプレート２１０に対して基準位置Ｐａと当該基準位置Ｐａからスライドさせた各スライド位置とする際には、ベースプレート２１０を吸引装置本体１００とともに固定として、部材対面プレート２２０をスライドさせるようにした場合を例示したが、これとは逆に、部材対面プレート２２０の位置を固定として、ベースプレート２１０を吸引装置本体１００とともにスライドさせるようにしてもよい。

（６）上記各実施形態においては、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１は、ｘ軸に沿った方向及びｙ軸に沿った方向において、マトリクス状の配置とした場合を例示したが、これに限られるものではなく、必ずしもマトリクス状の配置とする必要はなく、ベースプレート２１０においてランダムな配置で設けるようにしてもよい。また、ベースプレート２１０においても、例えば、ある一部の領域は当該一部の領域以外の領域に比べて、高密度にベース吸引孔を設けるといったことも可能である。

（７）上記各実施形態においては、部材対面プレート２２０の吸引孔（基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃ）は、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１よりも小径とした場合を例示したが、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１と同径としてもよい。

（８）上記各実施形態においては、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１及び部材対面プレート２２０の基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃは、ｚ軸に沿って見たときの形状が円形をなすものとしたが、円形であることに限定されるものではなく、例えば、四角形、三角形、星形など様々な形状とすることができる。また、ベースプレート２１０のベース吸引孔２１１と、部材対面プレート２２０の基準吸引孔２２１ａ、第１追加吸引孔２２１ｂ及び第２追加吸引孔２２１ｃとで、異なった形状とすることも可能であり、さらには、ベースプレート２１０のベース吸引孔と、部材対面プレート２２０の基準吸引孔２２１ａと、第１追加吸引孔２２１ｂと、第２追加吸引孔２２１ｃとがそれぞれ異なる形状であってもよい。

（９）上記各実施形態においては、平板状部材はフィルムとし、特に、カバーレイフィルムとした場合を例示したが、これに限定されるものではなく、本発明の平板状部材吸引装置によって吸引可能な部材であれば、例えば、回路基板、金属板などであってもよい。

（１０）本発明の平板状部材吸引装置の使用例として、フィルムの剥離装置を例示したが（図１０参照。）、これに限られるものではなく、本発明の平板状部材吸引装置は、平板状部材を吸引した状態で何らかの工程を行う装置（例えば、露光装置など）に広く使用可能である。

１０，２０・・・平板状部材吸引装置、１００・・・吸引装置本体、２００・・・吸引プレート、２１０・・・ベースプレート、２１０ａ・・・ベースプレート側位置決め孔（ベース位置決め孔）、２１１・・・ベースプレート側吸引孔（ベース吸引孔）、２２０・・・部材対面プレート、２２０ａ，２２０ｂ．２２０ｃ・・・部材対面プレート側位置決め孔、２２１・・・部材対面プレート側吸引孔、２２１ａ・・・基準吸引孔、２２１ｂ・・・第１追加吸引孔（第１段目の追加吸引孔）、２２１ｃ・・・第２追加吸引孔（第２段目の追加吸引孔）、２２５・・・摘み部、４００・・・位置決め部、４１０・・・位置決めピン、５００・・・フィルムの剥離装置の剥離機構部、５１０・・・剥離部、Ａ０・・・ベースプレート２１０に形成される吸引領域、Ａａ・・・部材対面プレート２２０に形成される吸引領域（基準可能領域）、Ａｂ，Ａｃ・・・部材対面プレート２２０に形成される吸引領域（特定吸引領域）、Ｐａ・・・基準位置、Ｐｂ・・・第１スライド位置、Ｐｃ・・・第２スライド位置、Ｓ０，Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ・・・一部の領域（部分領域）、Ｗｃ・・・フィルム（台紙付きフィルムフィルム）、Ｗｍ・・・台紙

Claims

平板状部材を負圧吸引する平板状部材吸引装置であって、
負圧室を形成する吸引装置本体に取り付けられているベースプレートと、
前記平板状部材に対面し、前記ベースプレートに平面的に密接した状態で積層され、前記ベースプレートに対して基準位置と当該基準位置からスライドさせたスライド位置とすることが可能な部材対面プレートと、
を有し、
前記ベースプレートには多数個の吸引孔がベースプレート側吸引孔として設けられ、前記部材対面プレートには、多数個の吸引孔が部材対面プレート側吸引孔として設けられており、
前記ベースプレート側吸引孔は、前記ベースプレートに所定の配置で設けられており、
前記部材対面プレート側吸引孔は、
当該部材対面プレートが前記基準位置にあるときに、前記ベースプレート側吸引孔のすべての吸引孔又はベースプレート側吸引孔のうちの所定の吸引孔に対向するように設けられている複数の基準吸引孔と、
前記部材対面プレートの所定領域において当該部材対面プレートのスライド方向に沿って隣り合う基準吸引孔の間に設けられている追加吸引孔と、
からなり、
前記部材対面プレートが前記基準位置にあるときにおいては、前記基準吸引孔と、当該基準吸引孔と同位置に設けられている前記ベースプレート側吸引孔とが対向することにより、前記部材対面プレートには、基準吸引領域が形成され、
前記部材対面プレートが前記スライド位置にあるときにおいては、前記追加吸引孔と、当該追加吸引孔と同位置に設けられている前記ベースプレート側吸引孔とが対向することにより、前記部材対面プレートには前記基準吸引領域とは異なる大きさを有する特定吸引領域が形成され、
前記隣り合う基準吸引孔の間に設けられている前記追加吸引孔が前記スライド方向に沿ってｎ個（ｎは２以上の整数）設けられている領域が存在し、前記ｎ個の追加吸引孔をスライド方向に沿って順に第１段目の追加吸引孔から第ｎ段目の追加吸引孔としたときに、
前記スライド位置は、前記第１段目から第ｎ段目までのｎ段階での設定が可能であり、前記ｎ段階の各スライド位置ごとに前記ｎ個の追加吸引孔が順次前記ベースプレートのベースプレート側吸引孔に対向することによって、前記ｎ段階の各スライド位置ごとに前記特定吸引領域がそれぞれ異なった大きさで形成されることを特徴とする平板状部材吸引装置。
平板状部材を負圧吸引する平板状部材吸引装置であって、
負圧室を形成する吸引装置本体に取り付けられているベースプレートと、
前記平板状部材に対面し、前記ベースプレートに平面的に密接した状態で積層され、前記ベースプレートに対して基準位置と当該基準位置からスライドさせたスライド位置とすることが可能な部材対面プレートと、
を有し、
前記ベースプレートには多数個の吸引孔がベースプレート側吸引孔として設けられ、前記部材対面プレートには、多数個の吸引孔が部材対面プレート側吸引孔として設けられており、
前記ベースプレート側吸引孔は、前記ベースプレートに所定の配置で設けられており、
前記部材対面プレート側吸引孔は、
当該部材対面プレートが前記基準位置にあるときに、前記ベースプレート側吸引孔のすべての吸引孔又はベースプレート側吸引孔のうちの所定の吸引孔に対向するように設けられている複数の基準吸引孔と、
前記部材対面プレートの所定領域において当該部材対面プレートのスライド方向に沿って隣り合う基準吸引孔の間に設けられている追加吸引孔と、
からなり、
前記部材対面プレートが前記基準位置にあるときにおいては、前記基準吸引孔と、当該基準吸引孔と同位置に設けられている前記ベースプレート側吸引孔とが対向することにより、前記部材対面プレートには、基準吸引領域が形成され、
前記部材対面プレートが前記スライド位置にあるときにおいては、前記追加吸引孔と、当該追加吸引孔と同位置に設けられている前記ベースプレート側吸引孔とが対向することにより、前記部材対面プレートには前記基準吸引領域とは異なる大きさを有する特定吸引領域が形成され、
前記基準吸引孔及び前記追加吸引孔は、前記基準吸引領域及び前記特定吸引領域のうちの一部の領域においては、前記ベースプレート側吸引孔に対向する前記基準吸引孔及び前記追加吸引孔の個数が、当該一部の領域以外の領域よりも多くなるように、前記部材対面プレートに設けられていることを特徴とする平板状部材吸引装置。
請求項１又は２に記載の平板状部材吸引装置において、
前記部材対面プレートが前記基準位置にあるときと、前記部材対面プレートが前記スライド位置にあるときとのそれぞれにおいて、前記部材対面プレートを前記基準位置又は前記スライド位置に位置決めする位置決め部をさらに有することを特徴とする平板状部材吸引装置。
請求項３に記載の平板状部材吸引装置において、
前記位置決め部は、
前記ベースプレートを貫通するように設けられているベースプレート側位置決め孔と、
前記部材対面プレートに設けられ、当該部材対面プレートが前記基準位置又は前記スライド位置にあるときに、当該基準位置及び当該スライド位置のそれぞれにおいて前記ベースプレート側位置決め孔に対向する複数の部材対面プレート側位置決め孔と、
前記ベースプレート側位置決め孔と、当該ベースプレート側位置決め孔に対向している前記部材対面プレート側位置決め孔とに差し込み可能な位置決めピンと、
を有することを特徴とする平板状部材吸引装置。
請求項３に記載の平板状部材吸引装置において、
前記位置決め部は、
前記部材対面プレートを前記スライドさせるための駆動装置と、
当該駆動装置を制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置によって前記駆動装置を制御することにより、前記部材対面プレートを前記基準位置又は前記スライド位置に位置決めすることを特徴とする平板状部材吸引装置。
請求項１に記載の平板状部材吸引装置において、
前記基準吸引孔及び前記追加吸引孔は、前記基準吸引領域及び前記特定吸引領域のうちの一部の領域においては、前記ベースプレート側吸引孔に対向する前記基準吸引孔及び前記追加吸引孔の個数が、当該一部の領域以外の領域よりも多くなるように、前記部材対面プレートに設けられていることを特徴とする平板状部材吸引装置。
請求項２又は６に記載の平板状部材吸引装置において、
前記一部の領域は、前記平板状部材の一方の端部側の領域に対向する領域であることを特徴とする平板状部材吸引装置。
請求項１〜７のいずれかに記載の平板状部材吸引装置において、
平板状部材は、シート状部材であることを特徴とする平板状部材吸引装置。
請求項８に記載の平板状部材吸引装置において、
シート状部材は、カバーレイフィルムであることを特徴とする平板状部材吸引装置。