JP2015108821A - 露光機用トレイ - Google Patents
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Abstract
【課題】パネルを露光装置に対向させて保持して押さえ付けることができるトレイを提供する。【解決手段】トレイは、種々のサイズのパネルを受ける平坦な、X方向、Y方向に延び、かつ基準角Cを定める第1縁部および第2縁部13a、13bを有する作業面13と、圧力を加える保持状態と該圧力が除かれる休止状態との間で動作可能である第1のタイプの第1保持装置および第2保持装置30a、30bならびに、第2のタイプの第1保持装置40aと、第1縁部13aと第2縁部13bの少なくとも一部とに沿って配置された位置決め装置14とを備える。第1のタイプの保持装置30a、30bは、第1縁部および第2縁部13a、13bに沿って延び、保持位置は作業面に平行な面に定められ、第2のタイプの保持装置40aは、パネルのサイズに応じて調節するために、作業面13に平行な面内を移動可能である。【選択図】図2
Description
本明細書は、パネルが露光装置に対向できるようにするためにパネルを保持して押さえ付けることができるパネル露光機用トレイおよびそのような露光機に関する。本発明の適用分野は主にプリント回路の分野であるが、本発明は、液晶表示(LCD)画面、タッチ画面、光起電力電池などの分野、または化学エッチングによって微小機械部品を作製する分野など、画像転写方法を利用するあらゆる分野に用いられ得る。
パネルを露光して画像を転写するための技術の中で、いわゆる「直接画像化(direct imaging)」の技術は、ポジ画像も不可能ではないながら、通常「ネガ」と称される物的な画像を用いないという利点を有する。直接画像化では、転写用の画像をデジタルネガから直接投影するが、このことは、例えば、画素によって構成された画像を投影可能であって、デジタルネガの各画素ごとに光源からの光を透過または遮断する役割を果たす制御可能なマイクロミラーのマトリクス状配列を有する露光ヘッドを用いて行われる。この技術によれば、単にファイルを変更するだけで露光機自体を操作する必要なしにネガを容易に再プログラム化できるので、特に系列(series)を変更する場合に、製造が大いに簡便になる。
しかし、マイクロミラーのマトリクス状配列を有するこのような露光ヘッドは、直接画像化技術に最も広く利用されているテクノロジーであるが、被写界深度が典型的にはおよそ300マイクロメートル(μm)と小さいという欠点を有する。このような場合、転写された画像がパネルの面全体にわたって鮮明となるためには、パネルが十分に平坦であることを確保する必要がある。
パネルが平坦であることを確保するために、従来の露光機は一般に、吸引によって作業台の面にパネルを押し付ける吸引装置を装備している。しかし、そのような吸引装置は、上記のような被写界深度の場合に要求される平坦性を達成するのには十分ではない。ある種のパネル、特にプリント回路用のパネルは、厚さがおよそ数ミリメートルと非常に厚く、それ故非常に硬いことがある。このような場合、パネルがわずかにたわんでいると、パネルのそのような湾曲を矯正するのには吸引力が十分ではない。例えばプリント回路の内層またはフレキシブル画面や化学エッチングに用いられるパネルなどの、薄くて柔軟なパネルも、角が曲がっている場合には重大な問題を生じる。すなわち、パネルの曲がっている部分と吸引装置との間の距離が大きいために、吸引装置がパネルのその部分を効果的に保持できない。さらに、厚いまたは薄いパネルを用いると、上記のような場合にはいくつかの吸引ノズルが対向物なしで空気を吸い込まざるを得なくなり、そのため同一のアレイの一部を形成している隣接するノズルの全てで吸引力が弱まり、その結果パネルが押し付けられる程度が広い範囲にわたって低下する。
公知の吸引装置のそのような不足を解消するために提案されている1つの解決手段は、パネルの縁部を作業台に押し付けるためにパネルの縁部を押さえることが可能な4つの保持装置を作業台に装備させることである。種々のサイズのパネルに適応できるようにするために、それら保持装置のそれぞれが、パネルの縁部に対して垂直に並進運動可能な移動台に取り付けられている。これにより、パネルのサイズにかかわらず、パネルの中心が台の中央に配置され、各保持装置が台の内側に向かって移動されてパネルの縁部に到達する。縁部はセンサを用いて検知される。
しかし、その解決手段では、パネルの装着に従事するオペレーターにとってエルゴノミクス上の問題が生じる。パネルを常に台の中央に配置しなければならない限り、常に作業台の縁部から離れた所に、従ってオペレーターの作業ステーションから離れた所にパネルを配置しなければならない。それ故、オペレーターは、パネルを台の中央に配置するために、腕を伸ばしてパネルを把持し、台に身を乗り出す必要がある。その不快な姿勢は、パネルが小さく、そのため縁部から遠く離れた所に配置する必要がある場合には一層悪化する。このことがオペレーターにとって負担の大きい作業状況を生み出し、例えば筋骨格系の疾患を生じるリスクがあることは当然理解され得る。
さらに、パネルの台の中央への配置は、投影された画像をパネルと正しく位置合わせするためには正確でなければならないが、このパネルの台の中央への配置では、オペレーターが、2つの異なる方向に沿う並進方向と、鉛直軸周りの回転方向とに関してパネルの位置を調整する必要があり、このことは、特にパネルがオペレーターから離れた所にあるために、実行するのがより一層困難である。従って、パネルの位置決めの精度が比較的低くなり、それにより、露光ヘッドとの位置合わせに関して問題が生じる可能性がある。
このように、露光装置に供するためにパネルを保持して押さえ付けることが可能であって、周知の装置に固有の上述した欠点を少なくとも部分的に免れているトレイおよび露光機に対する実際的なニーズが存在する。
本明細書は、パネル露光機において露光装置にパネルを対向させるように構成されたトレイを提供する。上記トレイは、種々のサイズのパネルを受けるように構成された実質的に平坦な作業面であって、互いに実質的に直交する第1方向および第2方向に沿って延び、かつ基準角(a reference corner)を定める互いに隣り合った第1縁部および第2縁部を有する作業面と、第1のタイプの第1保持装置および第2保持装置ならびに少なくとも1つの第2のタイプの第1保持装置であって、それぞれが作業面に向かう圧力を加えて保持位置を定める保持状態である第1の状態と該圧力が除かれる休止状態である第2の状態との間で動作可能である保持装置と、第1縁部の少なくとも一部と第2縁部の少なくとも一部とに沿って配置された位置決め装置とを備える。第1のタイプの保持装置はそれぞれ、第1縁部および第2縁部の少なくとも一部に沿って延び、第1のタイプの保持装置の保持位置は作業面に平行な面に定められ、第2のタイプの保持装置は、その保持位置を用いるパネルのサイズに応じて調節するために、作業面に平行な面内を移動可能である。
本明細書において、「パネル」という用語は、その厚さまたは硬さにかかわらず、あらゆるタイプの実質的に平坦な基板を意味するために用いられる。典型的には、パネルはプリント回路またはマイクロ電子回路用のパネルであるが、化学エッチングに供される、微小機械部品を作製するための金属シート、または導電トラックが形成される、フレキシブルタッチ画面または光起電力電池を作製するためのプラスチック材料のシートでもあり得る。
このトレイを用い、かつ基準角を利用することによって、オペレーターは、パネルのサイズにかかわらずパネルのより近くで作業できる。この構成によれば、パネルを作業面の第1縁部および第2縁部に合わせて配置でき、それにより、オペレーターが、パネルを自身のすぐ前で扱うことができるようにこれら縁部の一方の隣に位置することができる。
このように、オペレーターが行う必要のある動作が、単純で、迅速で、かつ疲れにくいものになる。特に、パネル装着領域がオペレーターのすぐ前にあるので、身を乗り出したり腕を伸ばして作業したりする必要がない。これにより、作業ステーションのエルゴノミクス性が大きく改善され、作業が負担の小さなものとなる。加えて、例えば筋骨格系の疾患につながる作業時の事故のリスクが低減される。
さらに、パネルの位置決めの精度も向上する。パネルをオペレーターの近くに配置することで、オペレーターが作業面にパネルを位置決めするときに、視認性および精度がより良好になる。加えて、パネルが作業面に正しく配置されるようにするために、位置決め装置がオペレーターを誘導する。パネルの位置がより正確になるので、転写された画像の位置もより正確になり、それにより露光されたパネルの質が向上する。このような画像の位置決めの精度は、両面を露光する場合、すなわち前面の画像の要素を背面の画像の要素と一致させる必要がある場合に、特に重要である。
加えて、角を基準とすることに基づいている提案の構成では、パネルの4つの角のうち3つを第1縁部および第2縁部に沿って配置でき、それにより、第1のタイプの保持装置によって、それら保持装置に何ら特別な調整を行うことなく、3つの角を効果的に押さえることができる。なぜなら、これら3つの角は、それら第1のタイプの保持装置の保持位置に必然的に配置されるからである。このように、パネルのサイズに応じて位置を調整する必要のある可動装置とは異なり、パネルの押さえ付けの有効性を低下させるかまたはパネルの作業域を侵害するおそれのある位置決め誤差の可能性が回避される。
作業面に沿って移動させる必要のないこのような保持装置は、設計および設置もより簡便であり、そのためより安価である。保持装置は軽量でもあり、このことは、トレイ自体が露光機内を移動可能である場合、大きな利点である。すなわち、トレイの慣性を低減でき、それによりトレイを移動させる際の精度が向上する。また、所定の精度に関して、パネルをより速い速度で移動させることもできる。
最後に、この構成により、パネルの第4角を保持して押さえ付けるためには、第2のタイプの1つの保持装置、すなわち1つの移動可能な保持装置で足りる。加えて、角が基準になることおよびパネルが非常に正確に配置されることから、単にパネルのサイズを知るだけで、第2のタイプの保持装置を移動させて正確に位置決めできる。特に、この第2のタイプの保持装置を位置決めするためにパネルの縁部を検知するセンサを必要としない。
ある実施形態では、位置決め装置は、作業面の第1縁部および/または第2縁部に接して設けられた少なくとも1つの止め具を備える。好ましくは、位置決め装置が、第1縁部および第2縁部に接して設けられた複数の止め具を有することである。これら止め具によれば、パネルを上記各方向および回転方向について正しく位置決めするためにはパネルを止め具に押し当てれば足りるので、位置決めが容易になり、優れた精度が得られる。
ある実施形態では、上記止め具は、パネルの上面よりも突出したペグであり、上記縁部に接して配置される。このようなペグは、パネルの上面の平坦性を損なうことなくパネルの上面に設置することが容易である。
別の実施形態では、位置決め装置は、ルーラーや十字線などの視覚的な標識、またはトレイの上面に形成され上記縁部を画定する段差を含んでいてもよい。また、第1のタイプの保持装置は、休止状態にあるときに、パネル用の止め部を成すことで位置決め装置として機能してもよい。
ある実施形態では、第2のタイプの第1保持装置は、少なくとも作業面の第3縁部から作業面の内側へ実質的に第1のタイプの第1保持装置に向かって延びる行程に沿って並進運動可能である。これにより、第2のタイプの保持装置は、パネルの長さにかかわらず、容易にパネルの第3縁部をパネルの第4角とともに固定して押さえ付けることができる。上記第3縁部は、第1方向に延びていることが好ましい。
ある実施形態では、第2のタイプの第1保持装置の行程は、第1方向と厳密に45°〜90°の角度を成す。パネルの長さが短くなるとともにパネルの幅が概ね減少する限りにおいて、このような傾斜した行程によれば、パネルの幅寸法を含めて、第2のタイプの保持装置の位置を調節できる。すなわち、保持装置をパネルの第3縁部のより多くの部分に押し当てるまたは該縁部に対してより中央に配置することができるように、保持装置が第2縁部に向かって移動させられる。
ある実施形態では、第2のタイプの第1保持装置の行程は、第1方向と厳密に65°〜75°の角度を成す。パネルの通常のサイズおよび長さ/幅比を考慮すると、この範囲の角度であれば、寸法25.4センチメートル(cm)×25.4cmの小さなパネルから寸法76.2cm×61cmの大きなパネルまで、さまざまなパネルを効果的に保持できる。特に、従来のサイズのパネルの場合、第3縁部の長さの少なくとも3分の2を押さえ付けることが可能になる。
しかし、別の実施形態では、第3保持装置の行程は、第1方向と実質的に直交していてもよい。
ある実施形態では、トレイは、第2のタイプの第2保持装置を備える。これにより、パネルのサイズにかかわらず、パネルの第4縁部を固定して押さえ付けることが可能になる。
ある実施形態では、第2のタイプの第2保持装置は、少なくとも作業面の第4縁部から作業面の内側へ、実質的には第1のタイプの第2保持装置に向かって延びる行程に沿って並進運動可能である。これにより、この第2のタイプの保持装置は、パネルの幅にかかわらず、パネルの第4縁部を容易に固定して押さえ付けることができる。上記第4縁部は、好ましくは第2方向に沿って延びている。
ある実施形態では、上記行程は、第2方向と厳密に45°〜90°の角度を成す。上述と同様に、このような傾斜した行程により、保持装置を第4縁部のより多くの部分に押し当てるまたは該縁部に対してより中央に配置することが可能になるように、保持装置を第1縁部に向かって移動させることができる。
ある実施形態では、上記行程は、第2方向と厳密に50°〜60°の角度を成す。パネルの通常のサイズおよび長さ/幅比を考慮すると、この範囲の角度であれば、寸法25.4cm×25.4cmの小さなパネルから寸法76.2cm×61cmの大きなパネルまで、さまざまなパネルを効果的に保持できる。特に、従来のサイズのパネルの場合、第3縁部の長さの少なくとも3分の2を押さえ付けることが可能になる。
ある実施形態では、少なくとも1つの第2のタイプの保持装置の最長行程は、少なくとも10cm、好ましくは少なくとも40cm、より好ましくは少なくとも50cmにわたって延びる。第2のタイプの第1保持装置について行程が50cmよりも長く、かつ第2のタイプの第2保持装置について行程が40cmよりも長ければ、寸法25.4cm×25.4cmの小さなパネルから寸法76.2cm×61cmの大きなパネルまで、さまざまなパネルをカバーすることが可能になる。
ある実施形態では、第1のタイプの保持装置の水平方向の最長移動距離は、10cm未満、好ましくは5cm未満である。この小さな移動距離により、パネルを設置するのに必要な余地を残しながら保持装置の移動を最小限に抑えられる。このことが可能になるのは、これら第1のタイプの保持装置に対するパネルの第1縁部および第2縁部の位置が一定であるためである。
この点について、第2のタイプの保持装置に関しては、所定の系列における露光対象のパネルのサイズに応じて、パネルの第2縁部および第4縁部の予測位置よりもやや後方に位置するように第2のタイプの保持装置を配置できることがわかる。系列全体に対してこの休止位置を維持すれば、所定の系列のパネルの着脱時に保持装置の移動が最小限に抑えられる。第1のタイプまたは第2のタイプの保持装置の移動を最小限に抑えることで、製造される各パネルごとのサイクル時間が短縮され、それにより製造の利益性が向上する。
ある実施形態では、トレイは、少なくとも1つの第2のタイプの保持装置を移動させるための少なくとも1つの第1移動装置を備える。
ある実施形態では、第2のタイプの保持装置のそれぞれは、上記のような移動装置を装備している。
ある実施形態では、第1移動装置は、上記第2のタイプの保持装置に固定されたナットと協働するウォームねじを備える。
ある実施形態では、上記ウォームねじは、作業面の下方に配置されている。
ある実施形態では、上記ウォームねじを、作業面の下方に取り付けられたモータ、好ましくはステッピングモータ、によって回転させる。
別の実施形態では、ウォームねじは、作業面の下方に動かないように取り付けられ、モータ、好ましくはステッピングモータによって回転駆動させるのは第2のタイプの保持装置のナットである。
ある実施形態では、保持装置のうちの少なくとも1つ、好ましくは保持装置のそれぞれは、作動装置によって作動される力付与部を備え、その作動装置は、保持状態において力付与部を作業面に向かって下げ、休止状態において力付与部を作業面からある距離まで上げるように構成されている。この力付与部は、保持状態においてパネルに押し付けられる部材である。パネルを解放するために、力付与部を移動させて休止状態に戻す。
ある実施形態では、力付与部は、第1方向または第2方向に延びる細長いストリップ状部材である。この形状であれば、パネルの縁部の長い範囲に力付与部を押し当てることができる。必要な場合には、パネルの角を作業面に対して効果的に押し付けることも可能である。
ある実施形態では、休止状態における力付与部の位置は、保持状態における位置よりも高くかつ外側である。これにより、力付与部が保持状態へと移行するときにパネルの端面に接触するリスクなしで、種々の厚さのパネルを使用できる。加えて、休止状態において、パネルを着脱するときにパネルを力付与部の下方を通過させることが可能になる。
ある実施形態では、少なくとも1つの第1のタイプの保持装置の作動装置は、力付与部を上げ下げするように構成された第1作動部と、力付与部を水平方向に前進後退させるように構成された第2作動部とを備える。これら2つの作動装置は互いに別々なので、各作動装置をそれぞれが効果的にかつ他方の作動部の挙動とは独立に実施できる特定の動作に割り当てる。これにより、例えば、パネルの厚さにかかわらず、保持状態における力付与部の水平方向の位置を正確にできる。同様に、第1作動部が行使する力はパネルが動くのを防止するためにのみ働くことができる。
しかし、別の実施形態では、1つの作動部が両方の動作を同時に行ってもよい。
ある実施形態では、第1作動部は、動作伝達のための連結機構を有するジャッキを備える。
ある実施形態では、第2作動部は、第1作動部と力付与部とによって形成されるアセンブリを駆動させるジャッキを備える。
ある実施形態では、少なくとも1つの第2のタイプの保持装置の作動装置は、力付与部を上げ下げするように構成された1つの作動部を備え、対応する移動装置は、力付与部を水平方向に前進後退させるように構成されている。このように、力付与部の後退運動を行うために作動装置に追加の作動部を設ける必要はない。
ある実施形態では、第1作動部は、ジャッキを備える。
ある実施形態では、トレイはまた、吸引によってパネルを作業面上に保持するように構成された吸引装置を備える。この装置は保持装置と相乗的に動作する。というのも、パネルを保持装置で押さえ付けることによってパネルと吸引システムとの間の漏れが低減されるからである。このような場合、一連の吸引ノズルからの吸引力が強まり、それに応じてパネルがより良好に押さえ付けられる。
ある実施形態では、吸引装置は、真空ポンプ、好ましくはベンチュリ型の真空ポンプと、作業面に開口する吸引孔の配列とを含む。
ある実施形態では、吸引装置は、作業面の別々の領域にそれぞれ対応する複数の吸引配列を含む。
ある実施形態では、トレイはまた、少なくともいくつかの吸引孔をふさぐように構成された取り外し可能なマスクを備える。これにより、パネルのサイズによっては、吸引装置の吸引力を維持するために、パネルによって覆われていない吸引孔をマスクすることが可能になる。トレイは、好ましくは、形状の異なる一連のマスクを備える。
ある実施形態では、トレイはまた、作業面に第1縁部および/または第2縁部に近接して、すなわち該縁部から5cm未満、好ましくは3cm未満の位置に設けられた少なくとも1つの光学装置を備える。従って、位置決め装置によってパネルが光学装置の検出領域に確実に位置決めされる。
本明細書はまた、露光装置と、露光装置にパネルを対向させるように構成された上述の実施形態のいずれかに係るトレイとを備えるパネル露光機に関する。
ある実施形態では、上記露光装置は、直接画像化型である。
ある実施形態では、上記トレイは、作業面に平行な面内を露光装置に対して相対的に移動可能である。これにより、パネルを露光装置に対向させるために装着ステーションから移動させることができる。また、露光ヘッドがパネルを部分ごとに露光するように動作する場合にそのような仕方でパネルを露光するために、パネルが露光装置の下方にあるときにパネルを移動させることができる。
ある実施形態では、上記トレイは、第1方向および第2方向に露光装置に対して相対的に移動可能である。
上述した特徴および利点、さらには他の特徴および利点が、提案の装置の実施形態および提案の方法の実施に関する以下の詳細な説明を読むことで明らかになる。この詳細な説明は、添付の図面を参照してなされる。
添付の図面は概略的であって、何よりもまず本発明の原理を例示することを意図している。
図面では、1つの図と別の図とで同一の要素(または要素の部分)を同じ参照符号で示している。
本発明をより明確にするために、トレイおよび露光機の一例を添付の図面を参照して以下に詳述する。本発明はこの例に限定されないことに留意されたい。
図1および図2は、本発明の例としてのトレイ1を示している。このトレイ1は、実質的に上面11および下面12を有する直方体形状であるフレーム10を備える。トレイの重さ、ひいては運動中の慣性を最小限に抑えるために、フレームは厚さが30ミリメートル(mm)未満と小さく、その下面12は、トレイ1に全体的な剛性を付与するとともに上面11が平坦になることを確保する補強リブを有する。なお、上面11は、200μm未満の公差の範囲内で平坦でなければならない。これら補強リブは、補助装置をフレーム10の下面12に取り付けるのにも役立つ。
フレーム10の上面11は、2つの直交する方向Xおよび方向Yに広がる矩形領域であって、実質的に矩形である露光用のパネル90を受けるように構成された作業面13を定める矩形領域を有する。すなわち、この作業面13は、方向Xに平行な第1縁部13aおよび第3縁部13cならびに方向Yに平行な第2縁部13bおよび第4縁部13dを有する。従って、第1縁部13aと第2縁部13bとは互いに隣り合い、それらが交わる箇所に基準角Cを定め、各パネル90が、そのサイズにかかわらず、使用時にこの基準角Cに合わせて位置決めされる。
このような位置決めを補助するために、ペグである止め具14が、フレーム10の面に、作業面13の第1縁部13aおよび第2縁部13bに沿って配置されている。これにより、パネル90の基準角Cに合わせた位置決めが正確になり、パネル90を止め具14に押し当てることによってただちに位置決めを行うことができる。
また、フレーム10の下面12に取り付けられ(図5参照)、上面11の作業面13の位置で露出している光学装置15が、作業面13の第1縁部13aおよび第2縁部13bに近接して設けられている。両面に露光を行う場合、これら光学装置15により、必要に応じてパネル90の第1面に設けられた標識を検出して、それによりパネル90の第2面の画像の位置合わせを容易にすることが可能になる。
トレイ1には、また、吸引によってパネル90を作業面13上に保持できる吸引装置が設けられている。この目的のために、作業面13は、作業面13の全体に分布した吸引孔21であって、フレーム10の下方に設けられた複数の真空ポンプ22に配管(図示せず)によって接続された吸引孔21を有する。これら吸引孔21は、パネルのサイズに応じて互いに独立に作動可能な別々の吸引領域に編成されていてもよい。
パネル90を作業面13上でより良好に保持するため、特に、パネルの辺90a〜90aとパネルの角とが適切に押さえ付けられるようにするために、トレイ1はさらに、第1のタイプの保持装置30a、30bと第2のタイプの保持装置40a、40bとを有し、各保持装置は、パネル90の各辺を固定して押さえるように構成されている。
第1のタイプの第1保持装置30aは、実質的に作業面13の第1縁部13aに沿って配置されている。第1保持装置30aは、作業面13の第1縁部13aの長さに少なくとも実質的に等しい長さで第1方向Xに平行に延びるストリップ状部材である力付与部31を備える。この例では、ストリップ状部材は長さ61cmである。
第1のタイプの第2保持装置30bは、実質的に作業面13の第2縁部13bに沿って配置されていること以外は、第1保持装置30aと全く同様である。第2保持装置30bの力付与部31は、同様に、作業面13の第2縁部13bの長さに少なくとも実質的に等しい長さで第2方向Yに平行に延びるストリップ状部材である。この例では、ストリップ状部材は長さ75cmである。
図6Aおよび図6Bに示すように、各第1のタイプの保持装置30a、30bは、フレーム10の下方に、作業面13の第1縁部13aおよび第2縁部13bに対してそれぞれ垂直に配置されたレール33に沿って移動するように取り付けられた移動台32を有する。各移動台はまた、クランク34を枢動可能に支持し、移動台は実質的にクランクの中央にある。力付与部31は、実質的にその長さの3分の1と3分の2の箇所に位置する2つの直立部材35を介してクランク34に取り付けられており、直立部材は、スロット16を介してフレームを貫通し、クランク34の端クランクピン34aに枢動可能に接続されている。
各第1のタイプの保持装置30a、30bは、力付与部31を鉛直方向に移動させるように構成された第1作動部36と、力付与部31を水平方向に移動させるように構成された第2作動部38とを有する。
第1作動部は、移動台32に連結された、第1吸気口36aおよび第2吸気口36bを有する空気圧ジャッキ36であって、クランク34の中央クランクピン34bに旋回軸を介してロッド37が接続されたピストンを有する空気圧ジャッキ36である。
これにより、空気圧がジャッキ36のチャンバに第1吸気口36aを介して導入されると、ピストンが外側に押され、それによりロッド37が伸びる。こうしてクランク34が反時計回り方向に駆動され、それにより直立部材35ひいては力付与部31が下方に移動され、その結果作業面13に対して、または作業面13にパネル90が配置されているときにはパネル90に対して、力を加えることができる。
反対に、空気圧がジャッキ36のチャンバに第2吸気口36bを介して導入されると、ピストンが内側に押され、それによりロッド37が縮む。こうしてクランク34が時計回り方向に駆動され、それにより直立部材35ひいては力付与部31が上方に駆動され、作業面13またはパネル90に加えられていた圧力が除かれる。
第2作動部は、第1吸気口38aおよび第2吸気口38bを備え、そのピストンロッドが移動台32に接続されている別の空気圧ジャッキ38である。
これにより、空気圧がジャッキ38のチャンバに第1吸気口38aを介して導入されると、ピストンが外側に押され、それによりロッドが伸びる。こうして移動台32ひいては力付与部31が水平方向外側に向かって駆動され、作業面13から離れる。
反対に、空気圧がジャッキ38のチャンバに第2吸気口38bを介して導入されると、ピストンが内側に押され、それによりロッドが縮む。これにより、移動台32ひいては力付与部31が水平方向内側に向かって駆動され、作業面13に対向する。
第2のタイプの第1保持装置40aは、パネル90の第3縁部90cの大部分をパネルの第4角とともに押さえられるように第1方向Xに平行に延びるストリップ状部材である力付与部41を有する。この例では、ストリップ状部材は長さ42cmである。
第2のタイプの第2保持装置40bもストリップ状部材である力付与部41を有し、このストリップ状部材は、パネル90の第4縁部90dの一部を押さえられるように第2方向Yに平行に延びている。この例では、ストリップ状部材は長さ15cmである。
図5および図7に示すように、各第2のタイプの保持装置40a、40bは、フレーム10の下方に配置されたレール43に沿って、実質的に作業面13の第3縁部13cまたは第4縁部13dから作業面13の内側へ向かって斜めに延びる行程を移動するように取り付けられたそれぞれの移動台42を有する。
力付与部41は、作業面13の外側から内側に向かってレール43に平行に延びるスロット18cまたは18dを介してフレーム10を貫通する直立部材44を介して移動台42に取り付けられている。好ましくは、第2のタイプの第2保持装置40bについて図示しているように、直立部材44は、実質的に力付与部41の長さの中央に設けられる。このことは、別の実施形態では第2のタイプの第1保持装置40aにも適用し得る。
各第2のタイプの保持装置40a、40bは、直立部材44ひいては力付与部41を鉛直方向に移動させるように構成された作動部45、より正確には空気圧ジャッキを備える。
各第2のタイプの保持装置40a、40bはまた、移動台42をレール43に沿って移動させるように構成された移動装置49を装備している。移動装置49は、この目的のために、ステッピングモータ47によって駆動されるウォームねじ46を備える。移動台42は、ウォームねじ46と係合するナット48に固定されている。
これにより、移動装置49は、移動台42ひいては力付与部41を、用いるパネル90のサイズに位置を合わせるために、その行程に沿って移動させることができる。
トレイ1を使用していないときに各保持装置30a、30b、40a、40bの力付与部31、41を保護するため、さらにはトレイをより容易に清掃できるようにするために、フレーム10の上面11は、作業面13の縁部13a〜13dに沿ってそれより外側に位置する溝17を備える。これら溝17は、トレイ1を使用していないときに力付与部31、41をフレーム10内に収納できるようにするために、力付与部31、41のサイズに適合している。
トレイ1の動作を、図3A、図3B、図4Aおよび図4Bを参照して以下に説明する。図3Aおよび図3Bの例では、大きいサイズのパネル90が用いられ、一方図4Aおよび図4Bの例では、より小さいパネル90’が用いられている。
新たな系列のパネル90を露光する場合、用いられるパネル90のサイズ、すなわち長さおよび幅を設定することによってトレイ1を初期化する。次いで、第2のタイプの保持装置40a、40bを移動装置によって駆動し、各力付与部41を休止位置におく。この休止位置において、力付与部は、パネル90の第3縁部90cおよび第4縁部90dの予測位置に沿ってその位置よりもやや後方に、フレーム10の上面11から離れて延びている。典型的には、パネル90の縁部に対しては水平方向に約10mmの間隔が設けられ、上面11に対しては鉛直方向に約20mmの間隔が設けられる。
第1のタイプの保持装置30a、30bを作動させて各力付与部31を休止位置におく。この休止位置において、力付与部は、作業面13の第1縁部13aおよび第2縁部13bに沿ってそれら縁部よりもやや後方に、フレーム10の上面11から離れて延びている。典型的には、作業面13の縁部13aおよび縁部13bに対しては水平方向に約25mmの間隔が設けられ、上面11に対しては鉛直方向に約20mmの間隔が設けられる。
この初期位置において、オペレーター99は、露光されていないパネル90を止め具14に押し当てることによって、パネル90を作業面13に配置し、作業面13の第1縁部13a、第2縁部13b、および基準角Cに合わせて位置決めできる。この配置が図3Aに示されている。
パネルが適切に位置決めされると、オペレーター99は、保持装置30a、30b、40a、40bを保持状態に移行できる。この状態で、第1のタイプの保持装置30a、30bの第2作動部38が力付与部31をパネル90の第1縁部90aおよび第2縁部90bの上方へ水平方向に移動させる。その後、保持装置30a、30bの第1作動部36が力付与部31を鉛直方向に作業面13に向かって保持位置まで移動させる。この保持位置において、力付与部31がパネル90に対して鉛直方向の力を加える。
第2のタイプの保持装置40a、40bが保持状態に移行するときに、移動装置49が力付与部41をパネル90の第3縁部90cおよび第4縁部90dの上方へ水平方向に移動させる。その後、これら保持装置40a、40bのジャッキ45が力付与部41を鉛直方向に作業面13に向かってそれぞれの保持位置まで移動させる。この保持位置において、力付与部41がパネル90に対して鉛直方向に力を加える。この配置が図3Bに示されている。
このような配置において、パネル90は作業面13にしっかりと押さえ付けられて保持され、露光機に対向させることができる状態にある。特に、パネル90の4つの角と、パネル90の第1縁部90aおよび第2縁部90bのほぼ全長と、第3縁部90cの大部分、すなわちその長さの少なくとも半分と、第4縁部90dの少なくとも中央部分とが力付与部31、41によって押さえ付けられていることがわかる。
露光が終了すると、保持装置は図3Aの休止位置へ戻り、それにより露光されたパネル90が解放される。これにより、オペレーター99は、新たなパネルを設置して新たなサイクルを開始するためにパネル90を取り外すことができる。この点については、パネル90を自動的に着脱するための機械的な把持装置と搬送装置とによってオペレーター99を完全に置き換え可能であることが当然理解できる。
より小さいサイズのパネル90’を用いる場合、第2のタイプの保持装置40a、40bが移動装置によって作業面13の内側に向かって移動され、それにより、保持装置40a、40bの休止位置および保持位置が新たなパネル90’のサイズに合わせられる。これら保持装置40a、40bの行程は作業面13の縁部13c、13dに対して傾斜している。
より正確には、第2のタイプの第1保持装置40aの行程は、スロット18cを見ることによって判断できるが、作業面13の第3縁部13cと、すなわち、第1方向Xとおよそ70°の角度Aを成している。これにより、第2のタイプの第1保持装置40aは、パネル90’のサイズがより小さいにもかかわらず、パネル90’の第4角を第3縁部90’cの大部分とともに押さえられる。
第2のタイプの第2保持装置40bの行程は、スロット18dを見ることによって把握できるが、作業面13の第4縁部13dと、すなわち第2方向Yと約56°の角度Bを成している。これにより、第2のタイプの第2保持装置40bは、パネル90’のサイズがより小さいにもかかわらず、第4縁部90’dの中央部分を押さえられる。
例としての露光機80を図8および図9を参照して以下に説明する。この露光機80は、直接画像化型の露光ヘッド81を備え、露光ヘッド81は、例えば、デジタルネガに基づいて画像を投影できる制御可能なマイクロミラーのマトリクス状配列を備える。露光機80はまた、露光対象であるパネル90を保持するための、例えば上述したような本発明に係るトレイ1を有する。
露光機80はまた、トレイ1を水平面内を2つの方向Xおよび方向Yに沿って移動させることができる2次元移動装置82を有する。この目的のために、トレイは、第1方向Xに平行な第1レール84に沿って移動可能な第1移動台83に取り付けられていてもよく、これら第1レール自体は、第2方向Yに平行な第2レール86に沿って移動可能な第2移動台85に支持されている。これにより、トレイ1を、オペレーター99がパネルを着脱するために作業を行う装着領域87と露光ヘッド81に対向する領域との間で移動させることができる。
さらに、パネル90が露光ヘッドによって投影可能な画像のサイズよりも大きい場合、移動装置は、露光ヘッド81に対向している複数の連続する位置にパネル90を移動させることによって、パネル90を部分ごとに露光させることができる。
トレイ1が移動中に投影された画像が変化していく場合も含めて、投影時に画像が正確に位置合わせされるようにするために、移動装置82は、トレイ1が移動中であってもトレイ1の絶対位置決めをおよそ3μmの精度で行うように構成されており、このことは、およそ毎秒420ミリメートル(mm/s)の進行速度まで可能である。必要な場合には、移動装置82は、最大速度800mm/sを出せるように構成されてもよい。
本明細書に記載の実施形態は非限定的な例として提示され、当業者は、この明細書を踏まえて、本発明の範囲内にとどまる限り、これら実施形態を容易に変更でき、または別の実施形態を考案できる。
さらに、これら実施形態のさまざまな特徴は単独で適用してもよいし互いに組み合わせて適用してもよい。組み合わせる場合、これら特徴は上述したように組わせてもよいし、別の仕方で組み合わせてもよく、本発明は本明細書に記載の特定の組み合わせに限定されない。特に、反対のことが述べられていない限り、1つの実施形態について説明されている特徴を、同様の仕方で別の実施形態に適用してもよい。
Claims (15)
- パネル露光機において露光装置にパネルを対向させるように構成されたトレイであって、
種々のサイズのパネル(90)を受けるように構成された作業面(13)であって、互いに実質的に直交する第1方向および第2方向(X、Y)に沿って延び、かつ基準角(a reference corner)(C)を定める互いに隣り合った第1縁部および第2縁部(13a、13b)を有する作業面(13)と、
第1のタイプの第1保持装置および第2保持装置(30a、30b)ならびに少なくとも1つの第2のタイプの第1保持装置(40a)と、を備え、ここで、前記保持装置はそれぞれ、前記作業面(13)に向かう圧力を加えて保持位置を定める保持状態である第1の状態と前記圧力が除かれる休止状態である第2の状態との間で動作可能であり、
前記トレイは、
前記第1縁部(13a)の少なくとも一部と前記第2縁部(13b)の少なくとも一部とに沿って配置された位置決め装置(14)をさらに備えていること、
前記第1のタイプの前記保持装置(30a、30b)はそれぞれ、前記第1縁部および前記第2縁部(13a、13b)の少なくとも一部に沿って延び、前記第1のタイプの前記保持装置の前記保持位置は前記作業面に平行な面に定められていること、および
前記第2のタイプの前記保持装置(40a)は、その保持位置を、用いる前記パネル(90)のサイズに応じて調節するために、前記作業面(13)に平行な面内を移動可能であることを特徴とする、
トレイ。 - 前記位置決め装置は、前記作業面(13)の前記第1縁部(13a)および/または前記第2縁部(13b)に接して設けられた少なくとも1つの止め具(14)を備える、
請求項1に記載のトレイ。 - 前記第2のタイプの前記第1保持装置(40a)は、少なくとも前記作業面(13)の第3縁部(13c)から前記作業面(13)の内側へ実質的に前記第1のタイプの前記第1保持装置(30a)に向かって延びる行程に沿って並進運動可能である、
請求項1または2に記載のトレイ。 - 前記第2のタイプの前記第1保持装置の前記行程は、前記第1方向(X)と、厳密に45°〜90°、好ましくは65°〜75°の角度(A)を成す、
請求項3に記載のトレイ。 - 前記第2のタイプの第2保持装置(40b)を備え、
前記第2のタイプの前記第2保持装置(40b)は、少なくとも前記作業面(13)の第4縁部(13d)から前記作業面(13)の内側へ実質的に前記第1のタイプの前記第2保持装置(30b)に向かって延びる行程に沿って並進運動可能であり、
前記第2のタイプの前記第2保持装置の前記行程は、前記第2方向(Y)と、厳密に45°〜90°、好ましくは50°〜60°の角度(B)を成す、
請求項1〜4のいずれか一項に記載のトレイ。 - 少なくとも1つの前記第2のタイプの前記保持装置(40a、40b)の最長行程は、少なくとも10cm、好ましくは少なくとも35cm、より好ましくは少なくとも50cmにわたって延び、前記第1のタイプの前記保持装置(30a、30b)の水平方向の最長移動距離は、10cm未満、好ましくは5cm未満である、
請求項3〜5のいずれか一項に記載のトレイ。 - 少なくとも1つの前記第2のタイプの前記保持装置(40a、40b)を移動させるための少なくとも1つの第1移動装置(49)を備える、
請求項1〜6のいずれか一項に記載のトレイ。 - 前記第1移動装置(49)は、前記第2のタイプの前記保持装置(40a、40b)に固定されたナット(48)と協働するウォームねじ(46)を備える、
請求項7に記載のトレイ。 - 前記保持装置(30a、30b、40a、40b)のうちの少なくとも1つ、好ましくは前記保持装置(30a、30b、40a、40b)のそれぞれは、作動装置(36、38、45)によって作動される力付与部(31、41)を備え、前記作動装置は、前記保持状態において前記力付与部(31、41)を前記作業面(13)に向かって下げ、前記休止状態において前記力付与部(31、41)を前記作業面(13)からある距離まで上げるように構成されている、
請求項1〜8のいずれか一項に記載のトレイ。 - 前記休止状態における前記力付与部(31、41)の位置は、前記保持状態における位置よりも高くかつ外側である、
請求項9に記載のトレイ。 - 少なくとも1つの前記第1のタイプの前記保持装置(30a、30b)の前記作動装置は、前記力付与部(31)を上げ下げするように構成された第1作動部(36)と、前記力付与部(31)を水平方向に前進後退させるように構成された第2作動部(38)とを備える、
請求項9または10に記載のトレイ。 - 少なくとも1つの前記第2のタイプの前記保持装置(40a、40b)の前記作動装置は、前記力付与部(41)を上げ下げするように構成された1つの作動部(45)を備え、対応する前記移動装置(49)は、前記力付与部(41)を水平方向に前進後退させるように構成されている、
請求項7または請求項8および請求項9〜11のいずれか一項に記載のトレイ。 - 吸引によってパネル(90)を前記作業面(13)上に保持するように構成された吸引装置(21、22)をさらに備える、
請求項1〜12のいずれか一項に記載のトレイ。 - 露光装置(81)と、前記露光装置(81)にパネル(90)を対向させるように構成された、請求項1〜13のいずれか一項に記載のトレイ(1)とを備える、
パネル露光機。 - 前記トレイ(1)は、前記作業面に平行な面内を前記露光装置(81)に対して相対的に移動可能である、
請求項14に記載の露光機。
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