JP3320153B2 - 自動露光機の露光枠部材 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、自動露光機の露光枠部
材に関し、特にプリント配線基板の製造プロセスに使用
されるこの種の露光枠部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は、自動露光機の全体を示す概略図
である。露光機は、整合部２、露光部４、及び搬出部６
を具備する。露光部４は上部に露光室８を具備し、この
内部に本発明の対象である露光枠部材１２（図６及び図
７参照）が配置される。露光枠部材１２には、所定のパ
ターンが形成されたフィルム１４が両面接着テープによ
り取付けられ、露光マスクとして使用される。

【０００３】露光用のレジストが塗布された基板１６
は、整合部２で位置合わせされた後に露光部４に送り込
まれる。露光部４において、フィルム１４のパターンが
基板１６上のレジストに焼付けられる。そして、処理済
みの基板１６は搬出部６にストックされるか、或いはこ
こから排出される。

【０００４】露光枠部材１２は、硝子またはアクリルな
どの紫外線が透過する透明な材料からなるフィルム取付
け板２２と、アルミまたは鋼材等の強固な支持枠２４と
を具備する。取付け板２２は、周囲を支持枠２４に挟ま
れるように支持枠２４にネジ止めされ、取付け板２２の
中央部のみが露出するようになっている。

【０００５】露光枠部材１２は、枠吊下げバー２６、枠
吊下げフック２８、枠用レール３２及びレール用車輪３
４等で構成された支持部材により露光機本体に取付けら
れる。露光枠部材１２は、図６図示の如く、露光機本体
の前面にせり上がり、その状態で本体から取外すことが
可能となる。

【０００６】露光枠部材１２には、取付け板２２の全周
囲に亘るようにチューブ状のパッキン２３が配設され
る。これに対して基板載置台１８は、その周囲がパッキ
ン２３の輪郭と対応するように寸法が設定される。ま
た、載置台１８には、真空ポンプに接続された複数の吸
引孔２９が形成される。従って、載置台１８上に取付け
板２２が載置されると、載置台１８、取付け板２２及び
パッキン２３により閉鎖空間が形成され、更に、この閉
鎖空間が排気されると、パッキン２３が潰れ、取付け板
２２が基板１６に対して密着した状態となる。この密着
状態において、レジストの露光が実施される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述の従来の露光枠部
材１２では、フィルムがある程度以上大きい場合は、露
光枠部材１２全体を露光機本体から一時的に取外して、
取付け板２２にフィルムを取付ける必要がある。また、
露光機のアイドルタイムを小さくするため、スペアー用
の露光枠部材を用意しておき、フィルムの交換時に既存
の露光枠部材をスペアー用露光枠部材と交換する場合も
あり、この場合も露光枠部材全体を露光機本体から取外
す必要が生じる。しかし、露光枠部材１２は通常１５ｋ
ｇ程度と重いため、その取付け、取外し作業はかなり重
労働となると共に危険が伴う。

【０００８】また、フィルム取付け板２２は硬質である
ため、図８図示の如く、取付け板２２は基板１６との密
着時に反り返り、特にその中央部においてフィルムを基
板上のレジストに強く押し付ける。このため、半硬化し
たレジストの一部がフィルムに転写され、これが製品の
収率の低下をもたらす原因となっている。

【０００９】従って、本発明はフィルムの交換が容易な
露光枠部材を提供することを目的とする。本発明はま
た、レジストがフィルムに付着するのを防止することが
可能な露光枠部材を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る、露光マスクとして使用されるフィル
ムを取付けるための自動露光機の露光枠部材は、紫外線
が透過する材料からなる主部分を有し且つ前記フィルム
が貼り付けられる取付け板と、前記自動露光機内に可動
式に配設され且つ前記取付け板の主部分を覆わない状態
で前記取付け板の周囲を着脱自在に支持する支持枠と、
前記取付け板と接触するため前記支持枠に形成された支
持面と、前記支持面との間で前記取付け板の周囲を挟み
込んで固定するように前記支持枠上に配設された開閉式
のクランプと、を具備する。

【００１１】

【作用】上記本発明に係る露光枠部材においては、特
に、スペアー用、即ち交換用のフィルム取付け枠を利用
した、所謂外段取り方法によりフィルムの切替えを行う
際に望ましいものとなる。即ち、重量のある支持枠を取
外すことなく、軽量な取付け板のみの取付け、取外しで
フィルムの切替えを行うことができる。

【００１２】

【実施例】図１は本発明に係る露光枠部材を示す平面
図、図２は露光枠部材及び基板載置台を示す側面図であ
る。本発明に係る露光枠部材５０は、図６及び図７図示
の従来の露光枠部材と同態様で露光機本体に取付けられ
る。

【００１３】露光枠部材５０は、硝子またはアクリルな
どの紫外線が透過する透明な材料からなるフィルム取付
け板５２と、アルミまたは鋼材等の強固な支持枠５４と
を具備する。

【００１４】支持枠５４の４辺には、それぞれ１対のク
ランプ５６により締付け及び解放動作可能な押え板５８
が配設される。各押え板５８はアングル鋼材からなり、
クランプ５６の作動レバー７８に取付けられたボルト７
９（図３参照）の下端部に固定され、作動レバー７８と
一体となって上下動する。押え板５８は、取付け板５２
の周囲を支持枠５４との間に挟んだ状態で締付け、取付
け板５２を支持枠５４に固定する。

【００１５】押え板５８と対向する支持枠５４の支持面
６２には、全周囲に亘って紐状のゴムパッキン６４が配
設される。パッキン６４はその頂部が幾分支持面６２か
ら突出するように支持枠５４内に埋設される。パッキン
６４により、固定時における取付け板５２のずれが防止
される。

【００１６】また、取付け板５２の側面に当接するよう
に、支持枠５４の各辺に一対ずつのサイドガイド６６、
６７が配設される。合計８個のサイドガイドの内３個の
サイドガイド６７は捩子機構により突出及び退避動作可
能に配設される。取付け板５２の取付け、取外し作業時
には、これら可動式のサイドガイド６７を緩め、作業を
行いやすいようにする。

【００１７】クランプ５６は、図３に詳細を示すよう
に、ベース７２、内部レバー７４、ハンドル７６、及び
作動レバー７８とを具備する。ベース７２は支持枠５４
上に捩子止めされる。ベース７２、内部レバー７４、ハ
ンドル７６、及び作動レバー７８は互いに枢支され、リ
ンク構造を形成する。ベース７２にはカム面８２が形成
されると共に、ハンドル７６にはこれと接触する基端部
８４が形成される。従って、ハンドル７６の旋回操作時
に、基端部８４がカム面８２に沿って移動し、これによ
り、作動レバー７８が旋回動作を行う。図３中ハンドル
７６を反時計方向に旋回させると、作動レバー７８は時
計方向に旋回し、即ち、締付け状態を解除する。作動レ
バー７８には貫通孔が形成され、ここにボルト７９が取
付けられる。上述の如く、ボルト７９の下端部に取付け
板５２を固定するための押え板５８が溶接固定される。

【００１８】図２図示の如く、取付け板５２の下面には
全周囲に亘るように平型のパッキン８６が配設される。
パッキン８６は基板載置台１８の輪郭と実質的に対応す
るように配置される。従って、載置台１８上に取付け板
５２が載った状態において、載置台１８、取付け板５２
及びパッキン８６により閉鎖空間が形成されるようにな
っている。載置台１８には、真空ポンプに接続された複
数の吸引孔２９が形成され、これらを介して上記閉鎖空
間が排気されることにより、取付け板５２即ちフィルム
は被処理基板に対して密着することが可能となる。この
密着状態において、レジストの露光が実施される。

【００１９】上述の本発明に係る露光枠部材に部材にあ
っては、スペアー用、即ち交換用のフィルム取付け枠を
利用した、所謂外段取り方法によりフィルムの切替えを
行うことが望ましいものとなる。即ち、使用しているフ
ィルムが貼り付けられた取付け枠５２を取外すのに先立
ち、スペアー用の取付け枠に次に使用するフィルムを貼
り付けておく。

【００２０】外段取りの際、図４図示のような、目盛り
板９２を使用し、フィルム貼り付けの際の、位置精度を
向上させる。目盛り板９２は整合部２と実質的に同一の
模様が描かれた板からなり、その周囲は凸枠９４で囲わ
れる。凸枠９４の内寸法はフィルム取付け板５２と寸法
と同じに設定され、凸枠９４の内に取付け板５２がきち
んと嵌まり込むようになっている。また、目盛り板９２
の周囲には、取付け板５２の装脱が行いやすいように、
２つの切欠９６が形成される。この目盛り板９２によれ
ば、オペレータは、透明な取付け板５２を透かして見え
る整合部と同一の模様を参照し、フィルムを取付け板５
２に位置精度良く貼り付けることができる（従来と同
様、両面接着テープ等によって）。

【００２１】使用するフィルムの切替え時には、クラン
プ５６及び可動式サイドガイド６７を緩め、取付け板５
２ごと使用していたフィルムを支持枠５４から取外す。
そして、準備しておいた上述のスペアー用の取付け板を
支持枠５４に装着し、クランプ５６及び可動式サイドガ
イド６７を締め、スペアー用の取付け板を固定する。こ
のようにして組立てた露光枠部材５０を、図７図示のよ
うな吊り下げバー２６を下方に旋回させることにより、
露光室８内の所定位置にセットする。

【００２２】次に、従来の技術で述べたように、露光用
のレジストが塗布された基板を、整合部２で位置合わせ
した後に露光部に送り込む。そして、目視でフィルム及
び基板の整合を確認し、整合部２の微調整を行った後、
複数の基板の連続処理を開始する。

【００２３】このような外段取り方法によれば、重量の
ある支持枠５４を取外すことなく、軽量な取付け板５２
のみの取付け、取外しでフィルムの切替えを位置精度良
く行うことができる。しかし、本発明はまた、フィルム
を直接貼り代えるような所謂内段取り方法においてもま
た、効果を発揮する。即ち、従来の構造においては、フ
ィルムがある程度以上大きい場合は、露光枠部材全体を
露光機本体から一時的に取外す必要があった。これに対
して本発明では、このような場合でも、軽量な取付け板
のみの取付け、取外しで対応することができる。

【００２４】従って、本発明に係る露光枠部材によれば
次のような利点が得られる。

【００２５】１．フィルム切替え時間の短縮がはかれる
ので、露光機のアイドルタイムが短くなり、生産性が向
上する。

【００２６】２．重労働がなくなるため、人件費の節約
が可能となる。

【００２７】３．作業が安全となり、オペレータの怪我
や機器の損傷を防止できる。

【００２８】４．目盛り板９２の使用により、外段取り
時のフィルムの取付け精度が向上する。

【００２９】５．平型のパッキン８６の使用により、図
８図示のような取付け板の反り返りがなくなるため、基
板上のレジストがフィルムに付着しにくくなり、また、
フィルムの伸縮によるフィルムの劣化、及びそれによる
製品収率の低下が防止できる。

【００３０】

【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、フィルム
の交換が容易で且つ位置精度良く行うことが可能な露光
枠部材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る露光枠部材を示す平面図。

【図２】本発明に係る露光枠部材を示す概略縦断側面
図。

【図３】本発明に係る露光枠部材で使用されるクランプ
を示す側面図。

【図４】外段取り方法で本発明に係る露光枠部材を使用
する際に利用される目盛り板を示す平面図。

【図５】自動露光機の全体を示す正面図。

【図６】露光枠部材を持ち上げた状態で自動露光機の一
部を示す斜視図。

【図７】従来の露光枠部材を示す概略縦断側面図。

【図８】従来の露光部材の欠点を示す概略縦断側面図。

【符号の説明】

５０…露光枠部材、５２…フィルム取付け板、５４…支
持枠、５６…クランプ、５８…押え板、６４…パッキ
ン、６６、６７…サイドガイド、８６…パッキン、９２
…目盛り板

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】露光マスクとして使用されるフィルムを取
   付けるための自動露光機の露光枠部材であって、 紫外線が透過する材料からなる主部分を有し且つ前記フ
   ィルムが貼り付けられる取付け板と、 前記自動露光機内に可動式に配設され且つ前記取付け板
   の主部分を覆わない状態で前記取付け板の周囲を着脱自
   在に支持する支持枠と、 前記取付け板と接触するため、前記支持枠に形成された
   支持面と、 前記支持面との間で前記取付け板の周囲を挟み込んで固
   定するように、前記支持枠の各辺毎に配設された複数の
   押え板と、 前記押え板を駆動するため、前記押え板の夫々に対応し
   て 前記支持枠上に配設された複数のクランプと、を具備し、前記クランプの夫々は、前記押え板が取付け
   られた作動レバーと前記作動レバーに接続されたハンド
   ルとを有し、前記作動レバーは前記ハンドルを介して旋
   回駆動され、前記押え板を、前記取付け板を固定するよ
   うに前記支持面側に押付ける締付け位置と、前記締付け
   位置から後方に立ち上がる解放位置と、の間で旋回移動
   させる 露光枠部材。
2. 【請求項２】前記取付け板の側面に当接するように、前
   記支持枠の各辺毎に配設された複数のサイドガイドを更
   に具備し、前記サイドガイドは、捩子機構により突出及
   び退避動作可能な可動式のサイドガイドを含む請求項１
   に記載の露光枠部材。