JP5677025B2 - 載置ステージ - Google Patents
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Description
22 対象ワーク
30 載置ステージ
31 ベース部材
32 (第1駆動機構としての)Y軸駆動機構
33 (第1スライダとしての)Y軸スライダ
34 (第2駆動機構としての)X軸駆動機構
35 (第2スライダとしての)X軸スライダ
36 (平面調整板としての)XY調整板
37 (第4方向駆動機構としての)Z軸駆動機構
37q (第1支持部としての)調整板支持部
37r (第2支持部としての)調整板支持部
37s (第3支持部としての)調整板支持部
38 (第4方向調整板としての)Z軸調整板
51 第1連結部
52、52´ 第2連結部
Ba 基準軸線
Sb1 板側第1支持点
Sb2 板側第2支持点
Ss1 スライダ側第1支持点
Ss2 スライダ側第2支持点
Claims (9)
- 露光光が結像されて所定のマスクパターンが露光される対象ワークの基準平面に対する位置および姿勢を制御する載置ステージであって、
前記基準平面に対して固定的に設けられたベース部材と、
前記基準平面に沿う第1方向に移動可能に前記ベース部材上に設けられた第1駆動機構と、
該第1駆動機構により支持される第1スライダと、
前記基準平面に沿いかつ前記第1方向に対して傾斜する第2方向に移動可能に、前記第1スライダ上で前記第1方向に間隔を置いて対を為して設けられた2つの第2駆動機構と、
該各第2駆動機構により個別に支持される2つの第2スライダと、
前記対象ワークを載置すべく前記両第2スライダを前記第1方向に架け渡して前記基準平面に沿って設けられた平面調整板と、を備え、
前記平面調整板と一方の前記第2スライダとは、一端が板側第1支持点で前記平面調整板に接続し、かつ他端がスライダ側第1支持点で一方の前記第2スライダに接続すべく、前記基準平面に直交する方向に延在する第1連結部で連結され、
該第1連結部は、前記板側第1支持点と前記スライダ側第1支持点との位置関係を変更することなく、前記板側第1支持点および前記スライダ側第1支持点を含む基準軸線回りの前記平面調整板と一方の前記第2スライダとの相対的な回転を許容し、
前記平面調整板と他方の前記第2スライダとは、一端が板側第2支持点で前記平面調整板に接続し、かつ他端がスライダ側第2支持点で他方の前記第2スライダに接続すべく、前記基準平面に直交する方向に延在する第2連結部で連結され、
該第2連結部は、前記基準平面に沿う第3方向での前記板側第2支持点と前記スライダ側第2支持点との相対的な位置の変化を許容するとともに、前記基準平面に直交する方向回りの前記平面調整板と他方の前記第2スライダとの相対的な回転を許容し、
前記第3方向は、前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれに対して傾斜することを特徴とする載置ステージ。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交することを特徴とする請求項1に記載の載置ステージ。
- 前記板側第1支持点と前記板側第2支持点とは、前記両第2スライダが前記第2方向への移動の基準となる基準位置とされた際、前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれに対して傾斜する直線上に位置されていることを特徴とする請求項2に記載の載置ステージ。
- 前記第3方向は、前記板側第1支持点と前記板側第2支持点とを結ぶ線分の延在方向であることを特徴とする請求項3に記載の載置ステージ。
- 前記第3方向は、前記両第2スライダが前記第2方向への移動の基準となる基準位置とされた際における前記スライダ側第1支持点と前記スライダ側第2支持点とを結ぶ線分の延在方向であることを特徴とする請求項3に記載の載置ステージ。
- 前記板側第1支持点と前記板側第2支持点とは、前記両第2スライダが前記基準位置とされた際、互いを結ぶ線分の延在方向が前記第1方向と前記第2方向とのそれぞれに対して45度の傾斜を為していることを特徴とする請求項3ないし請求項5のいずれか1項に記載の載置ステージ。
- 請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の載置ステージであって、
さらに、前記基準平面に直交する第4方向での前記対象ワークの位置および該第4方向に対する傾斜の変更のために前記平面調整板上に設けられた第4方向調整板と、
該第4方向調整板の前記第4方向での位置および該第4方向に対する傾斜を変更させる第4方向駆動機構と、を備え、
該第4方向駆動機構は、前記第4方向調整板を支持する少なくとも3つの支持部と、該各支持部を前記第4方向に移動させる駆動本体部と、を有し、
該駆動本体部は、少なくとも一部を前記第1スライダと前記第2スライダとの間に位置させつつ前記平面調整板の下側に設けられ、
前記各支持部は、前記第4方向で見て、前記平面調整板の下方の前記駆動本体部に接続するとともに、前記平面調整板の上方で前記第4方向調整板を支持していることを特徴とする載置ステージ。 - 前記各支持部は、前記第4方向調整板に対する支持位置を変化させることなく該第4方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第1支持部と、
前記第4方向調整板に対する支持位置を前記第1支持部による支持位置との線分方向に変更自在に、かつ前記第4方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第2支持部と、
前記第4方向調整板に対する支持位置を変更自在に、かつ該第4方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第3支持部と、を有することを特徴とする請求項7に記載の載置ステージ。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の載置ステージを用いることを特徴とする露光装置。
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