JP6965332B2 - 基板ハンドリングシステムおよびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
本願は、2016年2月24日に出願された欧州特許出願第16157034.6号の優先権を主張するものであり、この特許は、参照によりその全体を本明細書に援用される。
基板を保持するためのホルダと、
ホルダを平面に垂直な軸のまわりに回転させる回転デバイスと、
ホルダを軸に対して平面内の経路に沿って移動させる移動器と、
を含む基板ハンドリングシステムが提示される。
Claims (12)
- 基板を取り扱うための基板ハンドリングシステムであって、
前記基板を保持するホルダと、
前記ホルダを平面に垂直な軸のまわりに回転させる回転デバイスと、
前記ホルダを前記軸に対して前記平面内の経路に沿って移動させる移動器と、
第1の状態において、前記ホルダを前記移動器に結合するように構成されたカップリングデバイスであって、前記カップリングデバイスは、第2の状態において、前記ホルダを前記移動器から切り離すように構成される、前記カップリングデバイスと、
を含み、
前記第1の状態において、前記回転デバイスは、前記移動器を回転させながら、前記ホルダを回転させるように配置され、前記第2の状態において、前記回転デバイスは、前記移動器を回転させることなく、前記ホルダを回転させるように構成される、
基板ハンドリングシステム。 - 前記カップリングデバイスは、第1の部分、第2の部分、およびアクチュエータを含み、前記第1の部分は、第1の接触領域を有し、前記第2の部分は、第2の接触領域を有し、前記カップリングデバイスは、前記第1の状態において、前記第1の接触領域と前記第2の接触領域とを結合するように配置され、前記アクチュエータは、前記第2の状態において、前記第1の接触領域と前記第2の接触領域とを分離するように構成される、請求項1に記載の基板ハンドリングシステム。
- 前記アクチュエータはガスノズルを含み、前記ガスノズルは、前記第2の状態において、前記第1の接触領域と前記第2の接触領域とを分離するためにガスを供給するように構成される、請求項2に記載の基板ハンドリングシステム。
- 前記カップリングデバイスは可撓性要素を含み、前記第1の部分および前記第2の部分は、前記可撓性要素を介して互いに連結され、前記可撓性要素は、前記平面の方向に可撓性である、請求項2または3に記載の基板ハンドリングシステム。
- 前記回転デバイスは、前記ホルダを少なくとも360°だけ回転させるように構成される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板ハンドリングシステム。
- 前記ホルダは、前記基板の温度を調整する熱調整デバイスを含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板ハンドリングシステム。
- 前記基板の中心の位置を表す信号を供給するように構成されたセンサと、
前記信号に基づいて、前記移動器の移動、および前記回転デバイスの回転を制御するように構成されたコントローラと、
をさらに含む請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板ハンドリングシステム。 - 前記コントローラは、前記信号に基づいて、基準位置に対する前記基板の前記中心のずれを求めるように構成される、請求項7に記載の基板ハンドリングシステム。
- 前記コントローラは、前記移動器の前記移動および前記回転デバイスの前記回転を制御することで前記ずれを変えるように構成される、請求項8に記載の基板ハンドリングシステム。
- 前記基板を前記ホルダから持ち上げるように構成された持ち上げピンを含み、前記持ち上げピンは、前記基板と接触するように構成された可撓性先端部を含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板ハンドリングシステム。
- 前記可撓性先端部は、前記平面内の軸に沿って回転自在である、請求項10に記載の基板ハンドリングシステム。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載の基板ハンドリングシステムを含むリソグラフィ装置。
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