JP5355043B2 - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
このため、従来、特許文献1では、液冷ジャケットやペルチェ素子を用いた温調装置を有する露光装置が提案され、複数の流体循環系を用いて露光装置の温調を行っている。
また、特許文献2では、ペルチェ素子と流体循環系を組合せて基板の温調を行う吸着保持装置が提案されている。
しかし、従来の露光装置において発生する局所的な熱を適正に回収してステージの熱変形や基板の温度分布を抑えるためには、大量の循環や遅れの無い高速な温度制御が必要となる。この大量の循環のために循環流体の流速を上げると振動が増える。
また、液体を循環流体として用いて圧力を上げると漏液が発生し易く、漏液防止構造が大掛かりになる。
高速な温度制御のためには、流速を上げる必要があり、ペルチェ素子を用いた場合でも遅れのない熱交換を適切に実施することは容易でない。液体の流量を変化させて熱交換量を調節しようとすると循環管路の流量変動に伴い振動周波数などの振動挙動が変化して、振動抑制対策が困難になることもある。
いずれにしても、従来の技術においては露光装置内で発生した温度変化を、迅速に調節することが困難である。液体の循環液を用いる場合にはサーキュレータで液体温度を制御して、被温調体へ液体を移動させるため、液体の移動時間分の遅れが存在し、迅速な温度調節が困難である。またサーキュレータから被温調体までの管路の断熱処理も大規模となる。
以上説明した課題を整理すると、循環流体の移動時間による熱交換の遅れ、大流量循環時の振動の増大、流量変化による振動挙動の変化、高圧にした場合の漏液、大掛かりな漏液防止構造、管路断熱処理などである。
そこで、本発明は、上記の課題を考慮して、ステージの温度調節において、流体循環系の流量を低減すること、または、流体循環系を不用にすることを例示的目的とする。
照明光学系はマスクを照明する光学系であり、レンズ、ミラー、ライトインテグレーター、絞り等を含む。
レチクルステージ2およびウエハステージ4は、例えば、リニアモータによって移動可能である。ステップアンドスキャン投影露光方式の場合には、それぞれのステージ2,4は同期して移動する。また、レチクルのパターンをウエハ上に位置合わせするためにウエハステージ4およびレチクルステージ2の少なくともいずれかに別途アクチュエータを備える。
このような露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたデバイスの製造に利用される。
ウエハステージ4は、シリコンウエハなどから成る基板101を保持するチャックである基板チャック102と、基板チャック102の温度を調節する手段としての気体室103とを含む。基板101の下部に基板チャック102を有し、基板チャック102の下部に気体室103を配置する。レチクルステージ2は、レチクルを保持するチャックを含む。調節手段は、気体室103を介してチャック102の温度を調節する。レチクルステージ2のレチクルを保持するチャックも温度調節される。温度センサ104は基板チャック102の下部または内部に設けられ、さらに、気体室103の内部に、図示されないが所定数設けられる。気体室103には、高圧の給気配管107および低圧の排気配管108が接続され、給気配管107の管路途中に給気弁105が配置され、低圧の排気配管108の管路途中に排気弁106が配置される。気体室103の気体流路は破線で示す。
本実施例1では、給気弁105と給気配管107が気体室103に給気する給気系を構成し、排気弁106と排気配管108が気体室103から排気する排気系を構成する。
調節手段は、気体室内である気体室103の内部で気体の圧力を変化させてウエハステージ4の温度を調節する手段で、給気系と排気系とを含む。
本実施例1において、排気弁106閉で給気弁105を閉から開にすると、気体室103の内部が加圧され気体温度が上昇し、気体室103の温度が上昇して、基板チャック102を介して基板101へ熱が伝わり、基板101の温度が上がる。
基板温度を下げる場合は給気弁105を閉として、排気弁106を閉から開として気体室103内部を減圧する。
気体室103は内圧変化による変形を避けるために、内部に上下方向の局所的連結構造を持つ図示されないハネカム形状に構成することが好適で、ハネカム形状により流路を確保できる。
また、温度調節の対象側の基板チャック102側を、熱伝導の良い材質で構成し、それ以外の部分は熱を伝えにくい材質で構成することができる。
図1の実施例1と構成は共通するが、調節手段は、絞り201を有し、給気系の側である給気弁105の出口と気体室103の入口との間には絞り201が設けられる。絞り201は、気体室103の内部や、排気系の側すなわち気体室103と排気弁106の間、または排気弁106の下流のいずれか1つあるいは1つ以上に設けられる。
本実施例2において、常に給気弁105と排気弁106を共に開とすると、気体室103の内部での連続的な膨張減圧により気体室103が冷却され基板チャック102を介して基板101から熱を吸熱する。
基板101からの吸熱を停止する場合は、給気弁105を閉にする。
基板101の温度を上げる場合は、給気弁105を閉、排気弁106を開とする。さらに、一旦、気体室103の内部の圧力を下げてから排気弁106を閉じた後に給気弁105を開にして、気体室103の内部が加圧され、基板チャック102を介して基板101が加熱される。
絞り201は、オリフィス、細管または狭い隙間から成り、絞り201の出口圧の変動による気体室103の振動発生を避けるためには、出口圧の変動が発生しにくい絞り201として狭い隙間を用いることが好適で、拡がり隙間なども用いられる。
図2の実施例2と構成は共通するが、気体室103の下部に流体室301が配置される。気体室103は、気体の状態変化による熱交換を行うため、応答性は良好であるが、気体の熱容量は小さいので、液体の循環が可能な流体室301による温度調節の補助を行う。流体室301は、露光装置の一般的な循環系により流量制御する。
本実施例3の構成では、気体室103の温度を迅速に調節することが可能なため、流体室301の熱交換量を、ほぼ一定にして使用でき、流体室301に流す液体の流量をほぼ一定の流量とすることができる。このため露光装置に不要な振動を与えない。流体室301の流路302および流路303は一点鎖線で示す。
図3の実施例3と構成は共通するが、気体室103を流体室301の内部に組込む。
流体室301内を循環させる流体は、液体または気体のいずれでも良い。
図1の実施例1と構成は共通するが、基板チャック102と気体室103の間にペルチェ素子401を設け、流量制御弁402を有する。
ペルチェ素子401は、図示された個数、配置位置に限定されない。ペルチェ素子401と気体室103が、基板チャック102の熱交換領域を分担する配置、あるいは気体室103とペルチェ素子401の上下を逆にする配置してもよい。
本実施例5では、例えば、露光のタイミングに合わせてペルチェ素子401を駆動し、併せて気体室103を減圧して吸熱させる。
気体室103の圧力流量制御には、3ポートのノズルフラッパ弁から成る流量制御弁402が用いられ、フラッパ402aの位置を制御して気体室103の内部の圧力を制御する。
調節手段は、流量制御弁402を含み、流量制御弁402は、気体室103と給気系である給気配管107と排気系である排気配管108とに接続される。
ペルチェ素子401は温度センサ104からの情報により制御を行っても良い。
なお、ペルチェ素子401を用いる本実施例5においても、気体室103の内部の圧力を制御するためには、図1から図4の実施例1〜4のように給気弁105や排気弁106および絞り201を用いることも可能である。
気体室103の内部の圧力を制御するためには圧力センサ403を、図示される個数には限定されずに所定数、設け、圧力フィードバック制御系を構成することができる。
なお、流量制御弁402としては、スプール弁を用いることも可能で、スプール弁はノズルフラッパ弁と同様に流路開度を制御する弁で、直動型や回転型などがある。一般的なスプール弁は、閉鎖領域を有するオーバーラップ構造であり、この構造上避けにくい特徴として、給気系と排気系の切換付近での流量制御特性の非直線性が存在する。
この非直線性などの流量制御弁402の特徴が、精密な流量制御の妨げとなる場合や、より高精度な圧力流量制御を実現するには、後述の実施例のように流量センサを用いて流量フィードバック制御する。この流量センサにより、高精度な圧力流量制御が可能となり、良好な結果が得られる。
なお、図1から図4の実施例1〜4においても給気弁105および排気弁106として、ノズルフラッパ弁やスプール弁を用いることができる。
図4の実施例4と構成は共通するが、ペルチェ素子401と流体室301を併用し、流体室301の内部に気体室103を配置する。
図5の実施例5と構成は共通するが、気体室103の内部の圧力は圧力制御弁501で制御される。圧力制御弁501は、常時ブリードパイロット減圧弁など電気制御式の減圧弁から成る。
調節手段は、圧力制御弁501を含み、圧力制御弁501は、気体室103と給気系である給気配管107と排気系である排気配管108とに接続される。
なお、気体室103と圧力制御弁501との間に配置された流量センサ502を用いて流量フィードバック制御系を構成することでさらに高精度な圧力流量制御を行うことができる。圧力目標信号704と気体室内である気体室103の内部の圧力を検出する圧力センサ403からの信号は圧力制御回路703で処理され、下流の制御弁駆動回路702へ送られ、制御弁駆動信号705によって圧力制御弁501が駆動される。
調節手段は、圧力センサ403と流量センサ502とを含み、圧力センサ403および流量センサ502の出力に基づいて圧力制御弁501を制御する。流量センサ502からの信号は流量センサ処理回路701を介して制御弁駆動回路702へ送られる。流量センサ処理回路701は、オフセット電圧補償やフィルタおよび増幅などを行なう回路である。制御弁駆動回路702は圧力制御弁501を駆動する電流制御などを行なう回路である。圧力制御回路703は、加算減算やフィルタおよび必要に応じてPID補償などの位相補償を適宜組み合わせた回路である。なお、制御弁駆動回路702にPID補償回路を設けることも可能である。
流量センサ処理回路701,制御弁駆動回路702および圧力制御回路703は、アナログ回路のみで構成してもよく、ADコンバータ、DAコンバータおよびCPU、DSPなどを用いてアナログデジタル混在回路としてもよい。
図7の実施例7と構成は共通するが、本実施例8において、ウエハステージ4は、ウエハステージ4を移動させるアクチュエータを有し、調節手段は、気体室であるベース気体室804を介してアクチュエータの温度を調節する。レチクルステージ2も同様に構成される。また、ウエハステージ4は、ペルチェ素子401を有する。レチクルステージ2も同様に構成される。調節手段は、気体室であるベース気体室804およびペルチェ素子401を介してウエハステージ4の温度を調節する。アクチュエータは、磁石801およびコイル802から構成されるリニアモータで、コイル802の電流制御によって気体室103と一体化された基板チャック102に推力を与える。コイル802の温度を調節するために、ベース気体室804が設けられ、ベース気体室804の内部の圧力は図7の実施例7と同様にベース圧力制御弁811によって制御される。
また、ウエハステージ4は、流体の流路としての流体室であるベース流体室806を有する。すなわち、アクチュエータを構成するコイル802の温度調節のためにベース流体室806を設けている。調節手段は、ベース流体室806およびベース気体室804を介して前記ステージの温度を調節する。レチクルステージ2も同様に構成される。ベース圧力センサ805およびベース流量センサ803の出力信号は、それぞれ圧力センサ403および流量センサ502の出力信号と同様に処理される。すなわちベース制御弁駆動回路808、ベース流量センサ処理回路809およびベース圧力制御回路807によって処理されて、ベース圧力目標信号812に従ってベース制御弁駆動信号810が生成される。
なお、ベース気体室804の内部圧力を変化させる方法に関しては、図1の実施例1に示される給気弁105および排気弁106を使用した構成も可能である。また、図2の実施例2に示される絞り201を使用した構成も可能である。さらに、図5の実施例5に示される流量制御弁402を使用した構成も可能である。ベース気体室804とベース流体室806の配置に関しては、図3の実施例3および図4の実施例4に示される構成も可能である。
図8の実施例8と構成は共通するが、ベース気体室804に対して、給気配管107およびベース圧力制御弁811が給気系を構成し、排気弁106および排気配管108が排気系を構成する。
絞り201をベース気体室804の内部に設ける。本実施例9では、排気弁106を開にした状態で常時冷却が可能となり、ベース圧力制御弁811の調節を行うことで冷却量を調節できる。
また、排気弁106を閉じてベース圧力制御弁811による圧力制御により冷却および加熱が可能で、図8の実施例8とほぼ同等の機能となる。
なお、図9の実施例9においては、ベース圧力制御回路807、ベース制御弁駆動回路808、ベース流量センサ処理回路809、ベース制御弁駆動信号810などのベース圧力制御弁811の制御に関わる調節手段の部分を不図示としている。しかし、図8の実施例8と同様の構成が可能である。
図9の実施例9と構成は共通するが、気体室103の内圧を変化させる調節手段としてシリンダ901とピストン902を用いる。シリンダ901と気体室103はシリンダ管路903で接続され、ピストン902を動かすことで、気体室103とシリンダ901とシリンダ管路903によって作られる空間の体積を変化させて圧力を変化させる。ピストン902を動かすアクチュエータは図示していないが、特に限定するものではない。
制御弁の供給系に供給圧力安定化のためのタンクを設けることもでき、その内部空間に蓄熱材を充填し供給気体の温度変化を低減することもできる。蓄熱材は細い線材や繊維または金属ハネカムや樹脂ハネカム、金属や樹脂の多孔質体も用いることができる。
制御弁は電気制御式が一般的であるが、油圧または空圧制御式や手動制御式を用いることも出来る。
給気系の給気弁および排気系の排気弁も、各種方式が適用可能で、ボール弁、バタフライ弁、スプール弁、ポペット弁またはノズルフラッパ弁や減圧弁などが用いられる。
基板チャック102は、大気中の装置では負圧吸着式、真空中の装置では静電チャックやメカニカルクランプなどが用いられ、特に限定するものではない。
本発明は、特に、真空露光装置に対して有用であるが、大気中で露光する露光装置にも適用可能である。
デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)は、前述のいずれかの実施例の露光装置を使用して、感光剤を塗布した基板(ウエハ、ガラスプレート等)を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより形成、製造される。他の周知の工程には、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等を含む。
3:投影光学系 4:ウエハステージ
101:基板 102:基板チャック
103:気体室 104:温度センサ
105:給気弁 106:排気弁
107:供給配管 108:排気配管
201:絞り 301:流体室
302,303:流体室の流路 401:ペルチェ素子
402:流量制御弁 402a:フラッパ
403:圧力センサ 501:圧力制御弁
502:流量センサ 701:流量センサ処理回路
702:制御弁駆動回路 703:圧力制御回路
704:圧力目標信号 705:制御弁駆動信号
801:磁石 802:コイル
803:ベース流量センサ 804ベース気体室
805、806:ベース流体室 807:ベース圧力制御回路
808:ベース制御弁駆動回路 809:ベース流量センサ処理回路
810:ベース制御弁駆動信号 811:ベース圧力制御弁
812:ベース圧力目標信号 901:シリンダ
902:ピストン 903:シリンダ管路
Claims (11)
- 原版または基板を保持するステージを有し、前記ステージに保持された前記基板を露光する露光装置であって、
前記ステージに設けられた気体室と、
前記気体室内で気体の圧力を変化させて前記ステージを加熱および冷却する調節手段と、を有し、
前記調節手段は、開閉可能な弁を含み前記気体室に給気する給気系と、開閉可能な弁を含み前記気体室から排気する系と、を含み、
前記排気系の弁を閉状態にして前記給気系の弁を開状態にすることによって前記ステージを加熱し、
前記給気系の弁を閉状態にして前記排気系の弁を開状態にすることによって前記ステージを冷却することを特徴とする露光装置。 - 前記調節手段は、前記給気系、前記排気系および前記気体室の少なくとも1つに絞りを有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記調節手段は、前記気体室と前記給気系と前記排気系とに接続された流量制御弁を含む、ことを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記調節手段は、前記気体室と前記給気系と前記排気系とに接続された圧力制御弁を含む、ことを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記調節手段は、前記気体室内の圧力を検出する圧力センサと、前記気体室と前記圧力制御弁との間に配置された流量センサとを含み、前記圧力センサおよび前記流量センサの出力に基づいて前記圧力制御弁を制御する、ことを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記ステージは、前記原版を保持する原版ステージあるいは前記基板を保持する基板ステージであり、
前記原版ステージは前記原版を保持するチャックを含み、
前記基板ステージは前記基板を保持するチャックを含み、
前記調節手段は、前記気体室を介して前記チャックの温度を調節するものである、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。 - 前記ステージを移動するアクチュエータを有し、
前記調節手段は、前記気体室を介して前記アクチュエータの温度を調節するものである、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。 - 前記アクチュエータは、リニアモータを含むことを特徴とする請求項7に記載の露光装置。
- 前記ステージに設けられたペルチェ素子を有し、
前記調節手段は、前記気体室および前記ペルチェ素子を介して前記ステージの温度を調節するものである、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の露光装置。 - 前記ステージは、流体の流路としての流体室を有し、
前記調節手段は、前記流体室および前記気体室を介して前記ステージの温度を調節するものである、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の露光装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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