JP2010114397A5 - - Google Patents

Description

上記課題を達成するための本発明の露光装置は、原版または基板を保持するステージを有し、前記ステージに保持された前記基板を露光する露光装置であって、前記ステージに設けられた気体室と、前記気体室内で気体の圧力を変化させて前記ステージを加熱および冷却する調節手段と、を有することを特徴とする。

Claims (12)

1. 原版または基板を保持するステージを有し、前記ステージに保持された前記基板を露光する露光装置であって、
   前記ステージに設けられた気体室と、
   前記気体室内で気体の圧力を変化させて前記ステージを加熱および冷却する調節手段と、を有することを特徴とする露光装置。
2. 前記調節手段は、前記気体室に給気する給気系と、
   前記気体室から排気する排気系と、を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記調節手段は、前記給気系、前記排気系および前記気体室の少なくとも１つに絞りを有することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
4. 前記調節手段は、前記気体室と前記給気系と前記排気系とに接続された流量制御弁を含む、ことを特徴とする請求項２または３に記載の露光装置。
5. 前記調節手段は、前記気体室と前記給気系と前記排気系とに接続された圧力制御弁を含む、ことを特徴とする請求項２または３に記載の露光装置。
6. 前記調節手段は、前記気体室内の圧力を検出する圧力センサと、前記気体室と前記圧力制御弁との間に配置された流量センサとを含み、前記圧力センサおよび前記流量センサの出力に基づいて前記圧力制御弁を制御する、ことを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
7. 前記ステージは、前記原版を保持する原版ステージあるいは前記基板を保持する基板ステージであり、
   前記原版ステージは前記原版を保持するチャックを含み、
   前記基板ステージは前記基板を保持するチャックを含み、
   前記調節手段は、前記気体室を介して前記チャックの温度を調節するものである、
   ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置。
8. 前記ステージを移動するアクチュエータを有し、
   前記調節手段は、前記気体室を介して前記アクチュエータの温度を調節するものである、
   ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の露光装置。
9. 前記アクチュエータは、リニアモータを含むことを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
10. 前記ステージに設けられたペルチェ素子を有し、
    前記調節手段は、前記気体室および前記ペルチェ素子を介して前記ステージの温度を調節するものである、
    ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の露光装置。
11. 前記ステージは、流体の流路としての流体室を有し、
    前記調節手段は、前記流体室および前記気体室を介して前記ステージの温度を調節するものである、
    ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の露光装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
    前記工程で露光された基板を現像する工程と、
    を有することを特徴とするデバイス製造方法。