JP2006093428A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- ウエハに露光を行う露光装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内に配置された本体と、
前記本体を冷却する媒体と冷却水とを熱交換させる第１の熱交換手段と、
前記チャンバ外に配置された光源と、
前記光源に外気を導入し且つ前記光源に導入された該外気を排出する排気手段と、
前記光源と前記排気手段との間における該外気の経路中の該外気と前記第１の熱交換手段からの該冷却水とを熱交換させる第２の熱交換手段と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 前記第１の熱交換手段と前記チャンバとの間の該媒体の経路中において該媒体の温度を調節する温度調節手段をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
- 前記光源と前記排気手段との間における該外気の経路中の該外気と前記第１の熱交換手段からの該媒体とを熱交換させる第３の熱交換手段をさらに有することを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
- 請求項１乃至３のいずれかに記載の露光装置を用いてウエハに露光を行う工程と、
前記工程において露光されたウエハを現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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