CN102455606A - 载置台架 - Google Patents

Abstract

提供一种结构简单且以很高的精度进行工件的位置姿势控制的载置台架。是控制被成像曝光光成像而曝光既定的掩模图案的工件（22）的相对于基准平面的位置及姿势的载置台架（30）。具备：基座部件（31），相对于基准平面固定地设置；第一驱动机构（32），可在沿着基准平面的第一方向（Y轴方向）上移动地设在基座部件（31）上；第一滑块（33），受第一驱动机构（32）支承；一对第二驱动机构（34），可在沿着基准平面且相对于第一方向倾斜的第二方向（X轴方向）上移动地、在第一滑块上沿第一方向隔开间隔设置；两个第二滑块（35），分别受各第二驱动机构单独支承；平面调节板（36），为了载置工件（22）而在两第二滑块上沿第一方向架设，沿着基准平面设置。

Description

载置台架

技术领域

本发明涉及一种载置印刷基板及液晶基板等的载置台架、以及搭载该载置台架的曝光装置。

背景技术

下述光刻法在各种领域中被广泛采用：将在表面上涂布有光致抗蚀膜等的感光材料的应加工的工件定位，在该工件的感光材料上通过曝光装置曝光既定的掩模图案，然后通过蚀刻工序在基板上形成掩模图案，印刷配线基板及液晶面板等也通过该光刻法制造。该曝光装置中，通过用投影透镜使透过了形成有既定的图案的掩模的曝光光成像在工件上，在工件上形成既定的掩模图案。在该曝光装置中，已知为了使既定的图案成像在工件上的希望的位置上而使用可移动地保持工件的载置台架（例如，参照专利文献1）。

该以往的曝光装置的载置台架中，在沿Y轴方向延伸的两根Y轨道上的各自上移动自如地设置Y滑块，以跨架在该两个Y滑块上的方式设置X轨道，在X轨道上移动自如地设有X滑块，将该X滑块作为载置台。在该载置台架中，通过同步控制两个Y滑块的Y轨道上的位置，从而作为决定Y轴方向上的X轨道的位置、即在其上的X滑块上载置的工件的Y轴方向上的位置的Y轴驱动机构而发挥功能。此外，通过独立控制两个Y滑块的Y轨道上的位置，从而作为决定X－Y平面上的X轨道的旋转姿势、即工件的旋转姿势的旋转驱动机构而发挥功能。进而，通过控制X滑块的X轨道上的位置，从而作为决定对应于已被决定了的X轨道的位置及姿势的X轴方向上的工件的位置的X轴驱动机构而发挥功能。因此，在上述载置台架中，能够使工件在X－Y平面上的任意的位置处成为任意的旋转姿势。

专利文献1：日本特许第3947652号公报

在上述载置台架中，在作为Y轴驱动机构及旋转驱动机构发挥功能的两个Y滑块和两个Y轨道上设有X轴驱动机构。因此，通过旋转机构使X轴驱动机构自身旋转，所以为了决定X轴方向上的工件的位置，需要根据X轨道的旋转姿势变更X滑块的位置，所以为了将工件定位而需要复杂的作业，难以将工件高精度地定位。

此外，在上述载置台架中，虽然在书面上能够将工件在X－Y平面上的任意的位置处任意地旋转，但实际上对于用于Y滑块上的X轨道的保持的机构需要精密且复杂的结构，所以难以以较高的精度进行工件的定位。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够以简单的结构以很高的精度进行工件的定位的载置台架。

为了达到上述目的，本发明的一实施例的载置台架为，对曝光光被成像而曝光形成既定的掩模图案的工件的相对于基准平面的位置及姿势进行控制，具备：基座部件，相对于上述基准平面固定地设置；第一驱动机构，以能够在沿着上述基准平面的第一方向上移动的方式设在上述基座部件上；第一滑块，由该第一驱动机构支承；两个第二驱动机构，以能够在沿着上述基准平面且相对于上述第一方向倾斜的第二方向上移动的方式，在上述第一滑块上沿上述第一方向隔开间隔而成对地设置；两个第二滑块，分别由该各第二驱动机构单独支承；平面调节板，用于载置上述工件而沿上述第一方向架设于上述两第二滑块，沿着上述基准平面设置。

其特征在于，上述平面调节板和一方的上述第二滑块由沿正交于上述基准平面的方向延伸的第一连结部连结，所述第一连结部件用于一端在板侧第一支承点处与上述平面调节板连接、并且另一端在滑块侧第一支承点处与一方的上述第二滑块连接；该第一连结部不变更上述板侧第一支承点与上述滑块侧第一支承点的位置关系而允许绕含有上述板侧第一支承点及上述滑块侧第一支承点的基准轴线的上述平面调节板和一方的上述第二滑块相对旋转；上述平面调节板和另一方的上述第二滑块由沿正交于上述基准平面的方向延伸的第二连结部连结，所述第二连结部件用于一端在板侧第二支承点处与上述平面调节板连接、并且另一端在滑块侧第二支承点处与另一方的上述第二滑块连接；该第二连结部允许沿着上述基准平面的第三方向上的上述板侧第二支承点与上述滑块侧第二支承点的相对的位置的变化，并且允许上述平面调节板和另一方的上述第二滑块绕正交于上述基准平面的方向相对旋转。

附图说明

图1是示意地表示本发明的曝光装置的结构的说明图。

图2是示意地表示载置台架的结构的立体图。

图3是沿着图2的I－I线得到的剖视图。

图4是表示载置台架的基座部件、两Y轴驱动机构、Y轴滑块、两X轴驱动机构及两X轴滑块的情况的与图2同样的立体图。

图5是表示对图4添加了XY调节板及各连结部的情况的与图2同样的立体图。

图6是用来说明两X轴滑块、XY调节板及各连结部的位置关系的说明图。

图7是示意地表示第一连结部的结构的立体图。

图8是示意地表示第二连结部的结构的立体图。

图9是示意地表示第三连结部的结构的立体图。

图10是示意地表示第四连结部的结构的立体图。

图11是表示对图5添加了各Z轴驱动机构的情况的与图2同样的立体图。

图12是为了Z轴驱动机构的结构的说明而将该驱动主体部的周边放大表示的与图3同样的剖视图。

图13是表示从Z轴方向的上侧观察图6所示的两X轴滑块与XY调节板通过各连结部连结的示意图的说明图。

图14是与图13同样的说明图，图14（a）表示正面观察X轴滑块而移动到左侧（X轴方向的负侧）的情况，图14（b）表示正面观察X轴滑块而移动到右侧（X轴方向的正侧）的情况。

图15是表示以基准轴线Ba为原点O的坐标上的基准XY调节板的说明图。

图16是与图15同样的说明图，图16（a）表示为使基准XY调节板向正侧旋转A度而使X轴滑块向X轴方向的负侧移动Xs的情况，图16（b）表示为使基准XY调节板向负侧旋转A度而使X轴滑块向X轴方向的正侧移动Xs的情况。

图17是与图15同样的说明图，图17（a）表示使向正侧旋转了A度的基准XY调节板移动的情况，图17（b）表示使向负侧旋转了A度的基准XY调节板移动的情况。

图18是表示坐标位置（X₀，Y₀）以基准原点Ob为旋转中心旋转移动了任意的旋转角度θr后的坐标位置（X₁，Y₁）的说明图。

图19是示意地表示另一例的第二连结部的结构的立体图。

图20是另一例的与图16同样的说明图，图20（a）表示为使基准XY调节板向正侧旋转A度而使X轴滑块向X轴方向的负侧移动Xs的情况，图20（b）表示为使基准XY调节板向负侧旋转A度而使X轴滑块向X轴方向的正侧移动Xs的情况。

具体实施方式

以下，参照附图详细地说明本发明的载置台架的实施例。

［实施例］

首先，参照图1说明使用本发明的载置台架30的曝光装置10的概略的结构。曝光装置10如图1所示，沿着光轴方向从射出侧起依次具有光源11、冷反射镜12、曝光开闭器13、紫外线带通滤波器14、积分透镜15、准直透镜16、平面镜17、掩模台架18、掩模挡板19、投影透镜20、倍率修正部21、和载置台架30（投影曝光台架）。在该载置台架30上配置应加工的工件22。该曝光装置10作为应向工件22投影的曝光光而使用紫外线。工件22的定位在后面叙述。

光源11为了照射作为用于曝光的曝光光的紫外线而设置，在本实施例中，光源11例如由椭圆镜11b和配置在该椭圆镜11b的第一焦点位置的水银灯11a构成。椭圆镜11b例如由椭圆反射镜构成。在该光源11中，将从水银灯11a射出的射出光用椭圆反射镜11b反射而使其向冷反射镜12行进。

冷反射镜12是使入射光中的红外域的热线透过并使其他波长域的光反射的部件，能够从入射的光分离红外域的热线。因此，来自光源11的射出光中红外域的热线被冷反射镜12分离，向曝光开闭器13或紫外线带通滤波器14行进。

曝光开闭器13向从冷反射镜12朝向紫外线带通滤波器14的光路（后述的照射光路）上进出自如，使得能够切换由冷反射镜12反射的射出光的透过及阻断。该曝光开闭器13如果从光路上退避，则能够如后述那样进行工件22的曝光，如果位于光路上则使工件22的曝光停止。

紫外线带通滤波器14是仅允许入射的光中的紫外线的透过的部件，在本实施例中，由允许波长365nm的作为水银的波谱线的i线透过的i线带通滤波器构成。因此，由冷反射镜12反射的射出光通过紫外线带通滤波器14而成为仅紫外线（i线）的波长域的光（实际上是i线的波长域的附近的强度较高的光），向积分透镜15行进。

积分透镜15将入射的光的照度不匀消除，在照射面上成为到周边部都均匀而明亮的照度分布。因此，经过紫外线带通滤波器14而成为了仅紫外线（i线）的波长域的光的入射光通过积分透镜15而成为均匀的照度分布，向准直透镜16行进。

准直透镜16使入射的光作为平行光（光束）射出。因此，经过积分透镜15成为均匀的照度分布的射出光通过准直透镜16而变为平行光而向平面镜17行进，被该平面镜17反射，向掩模台架18行进。

掩模台架18将形成有图案的掩模18a保持为：位于被平面镜17反射的射出光的光路上并能够沿与该光路的光轴正交的方向移动。此外，掩模台架18能够进行掩模18a的拆卸，并且能够进行向形成有与掩模18a不同的图案的掩模的更换（未图示）。因此，被平面镜17反射后的射出光借助透过掩模18a而成为与形成在掩模18a上的图案的形状对应的光，向投影透镜20行进。

因此，在曝光装置10中，从光源11经过冷反射镜12、曝光开闭器13、紫外线带通滤波器14、积分透镜15、准直透镜16及平面镜17的光路作为用来以作为曝光光的紫外线（i线）照射掩模18a的照射光学系统而发挥功能。

在该掩模台架18与投影透镜20之间设有掩模挡板19。掩模挡板19设置为向经过掩模18a的射出光的光路上进退自如，为了仅将掩模18a的掩模图案中的希望的区域的掩模图案像适当地形成在载置于载置台架30上的后述的工件上，对应于掩模18a的掩模图案而适宜地向光路上进出。

投影透镜20是用来向载置台架30上的工件22上适当地曝光形成在掩模18a上的图案的部件，将保持在掩模台架18上的掩模18a的图案的像（以下也称作掩模图案像）适当缩放而形成在载置于载置台架30上的工件22的表面。即，投影透镜20将载置于载置台架30上的状态的工件22的表面作为成像面，将该成像面和掩模18a设定为光学上共轭的位置关系。在曝光装置10中，如上所述，作为曝光光而使用紫外线（i线），所以投影透镜20设定为：将作为曝光光的紫外线（i线）高精度地进行象差修正。因此，如果透过了掩模18a的射出光被入射到投影透镜20中，则该投影透镜20将掩模18a的掩模图案像适当地形成于载置台架30上的成像面（后述的工件22上）上。

在该投影透镜20与载置台架30之间设有倍率修正部21。该倍率修正部21根据载置在载置台架30上的工件22的应变，使形成于载置台架30上的成像面的掩模图案像变形。该倍率修正部21在正交于光路的面上观察，使任意方向上的倍率适当变化从而使成像面上的掩模图案像变形。倍率修正部21例如通过在光路方向上排列多片玻璃板并使各玻璃板适当弯曲或旋转而能够实现掩模图案像的变形。

这样，在曝光装置10中，掩模挡板19、投影透镜20及倍率修正部21作为使透过了形成有既定的图案的掩模18a的曝光光的紫外线作为掩模图案像成像在载置台架30上的成像面（后述的工件22上）的投影光学系统而发挥功能。

在载置台架30中，为了掩模图案的曝光而载置工件22。该载置台架30能够保持工件22而使载置的工件22的表面与投影透镜20的成像面一致，并且能够使该保持的工件22沿着正交于投影光路的面移动。该载置台架30上的工件22的移动在本实施例中在设于载置台架30的内方的驱动控制部（未图示）的控制下进行。关于该载置台架30的结构在后面详细地说明。另外，载置台架30上的工件22的移动也可以通过手动进行。

工件22具备硅晶片、玻璃基板、或印刷基板等、和涂布或粘贴在这些基板上的对紫外线（i线）光反应的光致抗蚀膜等的感光材料。因此，工件22能够借助紫外线（i线）的照射而曝光。

在该曝光装置10中，在照射光学系统中，从光源11射出的射出光经过冷反射镜12、紫外线带通滤波器14、积分透镜15、准直透镜16及平面镜17而到达掩模台架18，从而用紫外线（i线）均匀地对保持在掩模台架18上的掩模18a进行照射。于是，在曝光装置10中，借助投影光学系统即掩模挡板19、投影透镜20及倍率修正部21的功能，在载置台架30上的成像面上适当地形成基于紫外线（i线）的掩模图案像。因此，在曝光装置10中，通过将工件22沿着成像面适当地定位，能够使掩模图案像适当地曝光在工件22上。工件22的相对于该掩模图案像的位置、即工件22的相对于光学地经过了投影光学系统（主要是投影透镜20）的掩模18a的位置，可以通过使载置台架30保持的工件22在成像面上适当移动而调节（调整）。

在本发明的曝光装置10中使用的载置台架30如图2及图3所示，具有基座部件31、两个Y轴驱动机构32、Y轴滑块33、两个X轴驱动机构34、两个X轴滑块35、XY调节板36、三个Z轴驱动机构37、Z轴调节板38、提升机构39、和吸盘40。

基座部件31是沿着基准平面延伸的板状部件，相对于投影光学系统固定地设置，所述基准平面作为设定工件22（参照图1）相对于上述投影光学系统的位置关系时的基准。该基准平面是由上述投影光学系统成像掩模图案像的位置、即是借助投影透镜20而设为与掩模18a光学共轭的位置关系的成像面。基准平面在本实施例中以该投影光学系统的光轴方向为Z轴方向，设为与作为正交于该Z轴的平面的X－Y平面平行的平面。该Z轴方向的正侧为从载置台架30朝向上述投影光学系统的一侧（正面观察图2时的上侧），在本说明书中也称作载置台架30的上侧。因此，基座部件31沿着X－Y平面延伸。在该基座部件31的上表面上，设有两个Y轴驱动机构32。

两个Y轴驱动机构32如图2至图4所示，在基座部件31的上表面上设在以X轴方向观察的两端位置上。该两Y轴驱动机构32是向Y轴滑块33施加对于基座部件31的向Y轴方向的驱动力的机构。该Y轴滑块33呈在中央具有贯通孔33a的板状，沿着基准平面设置。

各Y轴驱动机构32与后述的X轴驱动机构34基本上是同样的结构，具有Y轴定子32a、一对基座侧Y轴导引部件32b、和图示省略的Y轴可动元件、和一对滑块侧Y轴导引部件。Y轴定子32a以不同的磁极相邻的方式在基座部件31的上表面上沿Y轴方向上整齐排列多个永久磁铁，构成所谓的磁铁阱。一对的两基座侧Y轴导引部件32b在基座部件31的上表面上隔着Y轴定子32a而设置，在Y轴方向上延伸。该两基座侧Y轴导引部件32b能够与设在Y轴滑块33的下表面（背面）的一对滑块侧Y轴导引部件（未图示）进行向延伸方向（Y轴方向）滑动自如的嵌合。省略图示的Y轴可动元件在Y轴滑块33的下表面（背面）上设在一对滑块侧Y轴导引部件（未图示）之间，在Z轴方向（上下方向）上能够与Y轴定子32a对置。在该Y轴可动元件（未图示）中，收容有能够进行电流的施加的线圈。

在各Y轴驱动机构32中，通过使Y轴可动元件（未图示）与Y轴定子32a之间的基于磁力的吸引排斥力适当作用，能够使固定着该Y轴可动元件的Y轴滑块33相对于基座部件31沿Y轴方向适当移动。因此，在本实施例中，Y轴方向作为沿着基准平面的第一方向发挥功能，两Y轴驱动机构32作为第一驱动机构发挥功能，Y轴滑块33作为第一滑块发挥功能。为了检测该基座部件31上的Y轴滑块33的位置，虽然省略了图示，但设有位置检测元件。另外，两Y轴驱动机构32使单一的Y轴滑块33移动，所以两者被同步控制。

在载置台架30中，借助设在其内方的驱动控制部（未图示），同步控制向两Y轴可动元件（未图示）的施加电流，通过使该两Y轴可动元件与Y轴定子32a之间的基于磁力的吸引排斥力适当作用，能够使固定着该两Y轴可动元件的Y轴滑块33相对于基座部件31适当移动。此时，在上述驱动控制部（未图示）中，该移动利用基于磁力的吸引排斥力，所以基于来自位置检测元件（未图示）的位置信息进行伺服控制，以向设定的移动目标位置适当地移动。在该Y轴滑块33上设有两个X轴驱动机构34。

两个X轴驱动机构34在Y轴滑块33的上表面上设在以Y轴方向观察的两端位置上。该各X轴驱动机构34是将对于Y轴滑块33的向X轴方向的驱动力向对应的X轴滑块35（35A、35B）施加的机构。该两X轴滑块35呈在X轴方向上观察为大致相等的长度尺寸的板状，在Z轴方向上观察以相等的高度位置（上下位置）沿着基准平面设置。

各X轴驱动机构34具有X轴定子34a、一对基座侧X轴导引部件34b、X轴可动元件34c、和一对滑块侧X轴导引部件34d。X轴定子34a在Y轴滑块33的上表面上以不同的磁极相邻的方式将多个永久磁铁沿Y轴方向整齐排列而形成，构成所谓的磁铁阱。两基座侧X轴导引部件34b在Y轴滑块33的上表面上隔着X轴定子34a成对地设置，在X轴方向上延伸。该两基座侧X轴导引部件34b能够进行向对应的滑块侧X轴导引部件34d的延伸方向的滑动自如的嵌合。X轴可动元件34c设于X轴滑块35的下表面（背面），在Z轴方向（上下方向）上能够与X轴定子34a对置（参照图3）。在该X轴可动元件34c中，收容有能够进行电流的施加的线圈。在X轴可动元件34c的两侧设有一对滑块侧X轴导引部件34d。

该两个X轴驱动机构34的一方（当单独叙述时设为34A）对应于X轴滑块35A而设置，另一方（当单独叙述时设为34B）对应于X轴滑块35B而设置。即，X轴驱动机构34A为了使一个X轴滑块35A沿X轴方向移动而设置，其X轴可动元件34c设于X轴滑块35A的下表面。此外，X轴驱动机构34B为了使另一方的X轴滑块35B沿X轴方向移动而设置，其X轴可动元件34c设于X轴滑块35B的下表面。

在各X轴驱动机构34中，通过使X轴可动元件34c与X轴定子34a之间的基于磁力的吸引排斥力适当作用，能够使对应的X轴滑块35（35A或35B）相对于Y轴滑块33沿X轴方向适当移动。因此，在本实施例中，X轴方向作为沿着基准平面且相对于第一方向倾斜的第二方向发挥功能，各X轴驱动机构34作为第二驱动机构发挥功能，各X轴滑块35作为第二滑块发挥功能。为了检测该Y轴滑块33上的各X轴滑块35A、35B的位置，虽然图示省略，但设有位置检测元件。另外，在本实施例中，将X轴滑块35A和X轴滑块35B处于能够进行X轴方向上的移动的范围的中央位置的状态、即X轴滑块35A和X轴滑块35B在Y轴滑块33的上表面上在X轴方向上的中央位置处沿Y轴方向整齐排列的状态（参照图4等）作为由两X轴驱动机构34进行的驱动控制（向X轴方向的移动）的基准位置。

在载置台架30中，设在其内方的驱动控制部（未图示）单独控制向各X轴可动元件34c的施加电流，使X轴可动元件34c与X轴定子34a之间的磁力带来的吸引排斥力适当作用，从而使固定着X轴可动元件34c的X轴滑块35（35A或35B）相对于Y轴滑块33适当地单独或一体地移动。此时，在上述驱动控制部（未图示）中，由于该移动利用基于磁力的吸引排斥力，所以基于来自位置检测元件（未图示）的位置信息进行伺服控制，以向设定的移动目标位置适当地移动。以跨架在该两个X轴滑块35上（参照图5）的方式设有XY调节板36。

XY调节板36为了工件22（参照图1）的X－Y方向上的位置及沿着X－Y平面的旋转姿势的设定（调节）而设置。该XY调节板36如图5所示，呈板状，以沿着基准平面跨架在该X轴滑块35A和X轴滑块35B上的方式在两X轴滑块35的上方延伸。XY调节板36基本上通过第一连结部51连结于X轴滑块35A，并且通过第二连结部52连结于X轴滑块35B。在本实施例中，除了该第一连结部51及第二连结部52以外，还通过第三连结部53连结于X轴滑块35A、并且通过第四连结部54连结于X轴滑块35B。该各连结部（51、52、53、54）在Z轴方向上延伸，上侧的一端处连接于XY调节板36，并且下侧的另一端处连接于X轴滑块35（35A、35B）。

这里，如图6所示，在XY调节板36中，将与第一连结部51连接的部位作为板侧第一支承点Sb1，将与第二连结部52连接的部位作为板侧第二支承点Sb2，将与第三连结部53连接的部位作为板侧第三支承点Sb3，将与第四连结部54连接的部位作为板侧第四支承点Sb4。此外，在X轴滑块35A上，将与第一连结部51连接的部位作为滑块侧第一支承点Ss1，将与第三连结部53连接的部位作为滑块侧第三支承点Ss3。进而，在X轴滑块35B上，将与第二连结部52连接的部位作为滑块侧第二支承点Ss2，将与第四连结部54连接的部位作为滑块侧第四支承点Ss4。在本实施例中，XY调节板36上的各支承点（Sb1、Sb2、Sb3、Sb4）从Z轴方向观察以描绘正方形的方式配置。

在使板侧第一支承点Sb1和滑块侧第一支承点Ss1在Z轴方向观察位于同一直线上且将相对的位置关系固定的状态下，第一连结部51将X轴滑块35A与XY调节板36连结，使得容许X轴滑块35A和XY调节板36绕包含两支承点Sb1、Ss1的基准轴线Ba相对旋转。在本实施例中，第一连结部51如图7所示，具有固定于X轴滑块35A而沿Z轴方向延伸的连结基部51a、和相对于其延伸端部51b可旋转地设置的旋转部分51c。该连结基部51a整体呈圆筒状，其中心轴线（Ba）沿着Z轴方向。该旋转部分51c呈包围连结基部51a的延伸端部51b的环状，相对于延伸端部51b绕连结基部51a的中心轴线（Ba）旋转自如。在第一连结部51中，旋转部分51c固定地安装在XY调节板36上。

在该第一连结部51中，由于连结基部51a和旋转部分51c能够绕连结基部51a的中心轴线（Ba）相对旋转，所以容许设有连结基部51a的X轴滑块35A和设有旋转部分51c的XY调节板36的绕上述中心轴线（Ba）的相对旋转，同时将X轴滑块35A与XY调节板36连结。因此，在第一连结部51中，连结基部51a的中心轴线成为基准轴线Ba，连结基部51a的中心位置成为滑块侧第一支承点Ss1，旋转部分51c的中心位置成为板侧第一支承点Sb1。

第二连结部52以下述方式将X轴滑块35B与XY调节板36连结：容许板侧第二支承点Sb2和滑块侧第二支承点Ss2的向沿着X－Y平面的第三方向的相对的位置变化、并且容许X轴滑块35B和XY调节板36绕Z轴方向相对旋转（参照图6等）。该第二连结部52在本实施例中，如图8所示，具有固定于X轴滑块35B并沿Z轴方向延伸的连结基部52a、相对于该连结基部52a能够旋转的连结旋转部分52b、固定于其上端面的轨道保持部分52c、能够滑动地保持于该轨道保持部分52c的轨道52d、和固定于该轨道52d的安装部分52e。该连结基部52a整体上呈圆筒状，其中心轴线沿着Z轴方向。连结旋转部分52b呈比连结基部52a小的直径尺寸的圆柱状，设在该连结基部52a上的同心位置上。该连结旋转部分52b相对于连结基部52a绕该连结基部52a的中心轴线旋转自如。轨道保持部分52c以能够向沿着X－Y平面的方向、相对于X轴方向（第二方向）及Y轴方向（第一方向）倾斜的第三方向滑动的方式保持轨道52d。轨道52d呈沿第三方向延伸的棒状，固定于安装部分52e。安装部分52e整体上呈圆柱状，固定地安装在XY调节板36上。因此，轨道52d经由安装部分52e而固定于XY调节板36。该轨道52d的延伸方向即第三方向在本实施例中与在XY调节板36上将板侧第二支承点Sb2与板侧第一支承点Sb1连结的线段的延伸方向一致，与各支承点（Sb1、Sb2、Sb3、Sb4）描绘的正方形的对角线一致。因此，如果设两X轴驱动机构34为驱动控制的基准位置，则第三方向相对于X轴方向（第二方向）及Y轴方向（第一方向）具有45度的倾斜。

在该第二连结部52中，能够进行轨道52d和轨道保持部分52c的向第三方向的相对的移动，并且能够绕设有该轨道保持部分52c的连结旋转部分52b的中心轴线进行连结旋转部分52b与连结基部52a的相对旋转。因此，第二连结部52容许设有连结基部52a的X轴滑块35B和设有轨道52d（安装部分52e）的XY调节板36的向第三方向的相对的变位并且容许X轴滑块35B和XY调节板36的绕连结基部52a（连结旋转部分52b）的中心轴线的相对旋转，同时将X轴滑块35B与XY调节板36连结。因此，在第二连结部52中，连结基部52a的中心位置为滑块侧第二支承点Ss2，轨道52d（安装部分52e）的中心位置为板侧第二支承点Sb2。将该第二连结部52进行位置设定而分别设在X轴滑块35B和XY调节板36上，使得在X轴滑块35A和X轴滑块35B为驱动控制的基准位置时，成为使板侧第二支承点Sb2和滑块侧第二支承点Ss2在Z轴方向上观察位于同一直线上（轨道52d的中心位置（安装部分52e的中心轴线）与连结基部52a的中心轴线一致）的基准位置。

第三连结部53以下述方式将X轴滑块35A与XY调节板36连结：容许板侧第三支承点Sb3和滑块侧第三支承点Ss3向沿着X－Y平面的方向进行相对的位置变化、并且容许X轴滑块35A和XY调节板36绕Z轴方向相对旋转（参照图6等）。在本实施例中，第三连结部53如图9所示，具有固定于X轴滑块35A的第一轨道53a、能够滑动地保持该第一轨道53a的第一轨道保持部分53b、固定于该第一轨道保持部分53b的固定板部分53c、固定在该固定板部分53c上的第二轨道保持部分53d、可滑动地保持于该第二轨道保持部分53d的第二轨道53e、固定于该第二轨道53e的旋转轴部分53f、和相对于该旋转轴部分53f可旋转地设置的旋转部分53g。该第一轨道53a呈沿Y轴方向延伸的棒状。第一轨道保持部分53b能够以可向第一轨道53a的延伸方向滑动的方式保持第一轨道53a。固定板部分53c呈板状，在下表面侧设有第一轨道保持部分53b，并且在上表面侧设有第二轨道保持部分53d，将第一轨道保持部分53b与第二轨道保持部分53d的位置关系固定。第二轨道保持部分53d能够以可向X轴方向滑动的方式保持第二轨道53e。第二轨道53e呈沿X轴方向延伸的棒状，在其延伸方向上移动自如地被保持于第二轨道保持部分53d。旋转轴部分53f整体上呈圆柱状，以中心轴线沿着Z轴方向的方式固定于第二轨道53e。旋转部分53g具有包围旋转轴部分53f的环状的形状，相对于其旋转轴部分53f绕该旋转轴部分53f的中心轴线旋转自如。在第三连结部53中，旋转部分53g固定地安装于XY调节板36。

在该第三连结部53中，能够进行第一轨道53a和第一轨道保持部分53b（经由固定板部分53c固定着它的第二轨道保持部分53d）的向Y轴方向的相对的移动，并且能够进行第二轨道保持部分53d和第二轨道53e的向X轴方向的相对的移动，并且能够绕设于第二轨道53e的旋转轴部分53f的中心轴线进行旋转轴部分53f与旋转部分53g的相对的旋转。因此，第三连结部53容许设有第一轨道53a的X轴滑块35A和设有旋转部分53g的XY调节板36的向沿着X－Y平面的方向的相对的变位、并且容许绕旋转轴部分53f的中心轴线的相对的旋转，同时将X轴滑块35A与XY调节板36连结。因此，在第三连结部53中，第一轨道53a的中心位置为滑块侧第三支承点Ss3，旋转部分53g的中心位置为板侧第三支承点Sb3。将该第三连结部53进行位置设定而分别设在X轴滑块35A和XY调节板36上，使得在X轴滑块35A和X轴滑块35B为驱动控制的基准位置时，成为使板侧第三支承点Sb3和滑块侧第三支承点Ss3在Z轴方向上观察位于同一直线上（旋转轴部分53f的中心轴线与包含第一轨道53a的中心位置的沿着Z轴方向的直线一致）的基准位置。即，第三连结部53能够不使板侧第三支承点Sb3与滑块侧第三支承点Ss3的在Z轴方向上观察的间隔变动（将该间隔维持为既定的大小的尺寸）、而进行板侧第三支承点Sb3和滑块侧第三支承点Ss3的向沿着X－Y平面的方向的相对的位置的变动。

第四连结部54以下述方式将X轴滑块35B与XY调节板36连结：容许板侧第四支承点Sb4和滑块侧第四支承点Ss4向沿着X－Y平面的方向的相对的位置的变化、并且容许X轴滑块35B与XY调节板36绕Z轴方向相对旋转（参照图6等）。在本实施例中，第四连结部54如图10所示，具有固定于X轴滑块35B的第一轨道54a、可滑动地保持该第一轨道54a的第一轨道保持部分54b、固定于该第一轨道保持部分54b的固定板部分54c、固定于该固定板部分54c的第二轨道保持部分54d、可滑动地保持于该第二轨道保持部分54d的第二轨道54e、固定于该第二轨道54e的旋转轴部分54f、和相对于该旋转轴部分54f可旋转地设置的旋转部分54g。该第一轨道54a呈沿X轴方向延伸的棒状。第一轨道保持部分54b能够以可向第一轨道54a的延伸方向滑动的方式保持第一轨道54a。固定板部分54c呈板状，在下表面侧设有第一轨道保持部分54b，并且在上表面侧设有第二轨道保持部分54d，将第一轨道保持部分54b与第二轨道保持部分54d的位置关系固定。第二轨道保持部分54d能够以可向Y轴方向滑动的方式保持第二轨道54e。第二轨道54e呈沿Y轴方向延伸的棒状，在其延伸方向上移动自如地保持于第二轨道保持部分54d。旋转轴部分54f整体上呈圆柱状，以中心轴线沿着Z轴方向的方式固定于第二轨道54e。旋转部分54g呈包围旋转轴部分54f的环状的形状，相对于该旋转轴部分54f绕该旋转轴部分54f的中心轴线旋转自如。在第四连结部54中，旋转部分54g固定地安装于XY调节板36。

在该第四连结部54中，能够进行第一轨道54a和第一轨道保持部分54b（经由固定板部分54c固定着它的第二轨道保持部分54d）的向X轴方向的相对的移动，并且能够进行第二轨道保持部分54d和第二轨道54e的向Y轴方向的相对的移动，并且能够绕设于该第二轨道54e的旋转轴部分54f的中心轴线进行旋转轴部分54f与旋转部分54g的相对的旋转。因此，第四连结部54容许设有第一轨道54a的X轴滑块35B和设有旋转部分54g的XY调节板36的向沿着X－Y平面的方向的相对的变位、并且容许绕旋转轴部分54f的中心轴线的相对的旋转，同时将X轴滑块35B与XY调节板36连结。因此，在第四连结部54中，第一轨道54a的中心位置为滑块侧第四支承点Ss4，旋转部分54g的中心位置为板侧第四支承点Sb4。将该第四连结部54进行位置设定而分别设于X轴滑块35B和XY调节板36，使得在X轴滑块35A和X轴滑块35B为驱动控制的基准位置时，成为使板侧第四支承点Sb4和滑块侧第四支承点Ss4在Z轴方向上观察位于同一直线上（旋转轴部分54f的中心轴线与包含第一轨道54a的中心位置的沿着Z轴方向的直线一致）的基准位置。即，第四连结部54能够不使板侧第三支承点Sb4与滑块侧第四支承点Ss4的在Z轴方向上观察的间隔变动（将该间隔维持为既定的大小的尺寸）、而进行板侧第四支承点Sb4和滑块侧第四支承点Ss4的向沿着X－Y平面的方向的相对的位置的变动。

因此，XY调节板36在基座部件31上，能够通过使Y轴滑块33沿Y轴方向适当移动而进行Y轴方向的位置的调节，并且通过使两X轴滑块35（35A、35B）一体地沿X轴方向适当移动能够进行X轴方向的位置的调节，能够自由地进行沿着X－Y平面的移动。此外，XY调节板36如图6所示，通过在基座部件31上使X轴滑块35A和X轴滑块35B单独沿X轴方向适当移动，能够以基准轴线Ba为旋转中心适当调整绕Z轴方向观察的旋转姿势（参照箭头A1）。此时，在XY调节板36中，通过将起因于以基准轴线Ba为基点的旋转的板侧第二支承点Sb2及滑块侧第二支承点Ss2、板侧第三支承点Sb3及滑块侧第三支承点Ss3、板侧第四支承点Sb4及滑块侧第四支承点Ss4的沿着X－Y平面的方向上的变动量通过第二连结部52的向第三方向的变位、和第三连结部53及第四连结部54的向沿着X－Y平面的方向的变位吸收，能够进行基于两X轴滑块35（35A、35B）的支承。此外，在XY调节板36中，由于为第二连结部52仅允许向第三方向的变位的结构，所以能够使X轴滑块35B相对于X轴滑块35A的位置关系与XY调节板36的绕基准轴线Ba的旋转姿势一对一地对应。因此，在本实施例中，XY调节板36作为平面调节板发挥功能，两X轴驱动机构34和两X轴滑块35也具有作为旋转驱动机构的功能。关于该XY调节板36上的、沿着X－Y平面的状态下的位置及旋转姿势的调节的控制，在后面详细地说明。

在该XY调节板36上，设有包围中心位置而设置的三个支承部插通孔36a、36b、36c、和设在其中央的中央贯通孔36d。三个支承部插通孔36a、36b、36c对应于三个Z轴驱动机构37而设置。中央贯通孔36d从Z轴方向观察为比Y轴滑块33的贯通孔33a小的大小的尺寸，当使X轴滑块35A和X轴滑块35B为驱动控制的基准位置时，位于该贯通孔33a的中心位置。

该三个Z轴驱动机构37设于XY调节板36的下侧（背面侧）（参照图11及图12）。各Z轴驱动机构37为了工件22（参照图1）的Z轴方向上的位置及相对于Z轴方向的倾斜的设定（调节）而设置。该三个Z轴驱动机构37在本实施例中如图11所示，一个（在单独叙述时设为37A）位于X轴滑块35A的上方，其余两个（在单独叙述时设为37B、37C）位于X轴滑块35B的上方。该各Z轴驱动机构37基本的结构是相同的，所以说明Z轴驱动机构37A的概略的结构，省略对其他的说明。

Z轴驱动机构37A如图12所示，具有驱动马达37a、变换部37b、传递轴37c、滑动轴承部37d、第一移动部37e、第一导件部37f、第二导件部37g、第二导件保持部37h、第二移动部37i、第三导件部37j、第三导件保持部37k、球形接头轴37l、球面轴承部37m、和Z轴移动部37n。

驱动马达37a被设于载置台架30的内方的驱动控制部（未图示）适当控制施加电流而被旋转控制。该驱动马达37a在本实施例中使用步进马达。该驱动马达37a的输出轴连接于变换部37b。在该变换部37b上还连接着传递轴37c，将驱动马达37a（其输出轴）的旋转运动变换为传递轴37c的向Y轴方向的进退运动。该传递轴37c呈沿Y轴方向延伸的棒状，向Y轴方向进退自如地保持于滑动轴承部37d。该滑动轴承部37d固定于XY调节板36的背面（下侧的面），对接受来自驱动马达37a的驱动力的传递轴37c沿Y轴方向的进退移动进行辅助。

在该传递轴37c上固定着第一移动部37e。该第一移动部37e呈上表面沿着X－Y平面且下表面相对于X－Y平面倾斜的所谓楔形状，用上表面部滑动自如地保持第一导件部37f。该第一导件部37f呈沿Y轴方向延伸的棒状，固定于XY调节板36的背面（下侧的面）。因此，第一移动部37e能够随着传递轴37c的向Y轴方向的进退移动而进行向Y轴方向的进退移动。

以沿着该第一移动部37e的下表面的方式固定着第二导件部37g。该第二导件部37g呈棒状，沿着Y－Z平面并且沿相对于Y轴倾斜的方向延伸。该第二导件部37g保持于第二导件保持部37h。该第二导件保持部37h能够以沿延伸方向滑动自如的方式保持第二导件部37g，固定于第二移动部37i。

该第二移动部37i整体呈柱状，具有沿Y轴方向伸出的臂部分37o。臂部分37o的上表面与第一移动部37e的下表面平行。在该臂部分37o的上表面上固定着第二导件保持部37h。在第二移动部37i上，在Y轴方向上观察在与伸出有臂部分37o的一侧相反侧固定着第三导件部37j。该第三导件部37j呈棒状，沿Z轴方向延伸。第三导件部37j保持于第三导件保持部37k。该第三导件保持部37k能够沿延伸方向滑动自如地保持第三导件部37j，固定于XY调节板36的伸出壁36e。该伸出壁36e从XY调节板36的背面（下侧的面）沿着Z轴方向向下侧伸出。

因此，如果第一移动部37e向Y轴方向进退移动，则第二移动部37i因为经由第二导件部37g及第二导件保持部37h连接于该第一移动部37e，向作为第三导件保持部37k和第三导件部37j的引导方向的Z轴方向进退移动。即，如果传递轴37c进入最多（第一移动部37e从驱动马达37a离开），则第二移动部37i在Z轴方向上向下侧移动，如果传递轴37c后退最多（第一移动部37e向驱动马达37a接近），则第二移动部37i在Z轴方向上向上侧移动。因此，各Z轴驱动机构37成为所谓的楔子机构。在该Z轴方向上进退移动的第二移动部37i及第三导件部37j、和固定于XY调节板36而Z轴方向的高度位置为一定的伸出壁36e及第三导件保持部37k中，下部位于X轴滑块35A与X轴滑块35B之间的空间中。

在该第二移动部37i的上部设有球形接头轴37l。该球形接头轴37l沿Z轴方向伸出而设置，其伸出端为球状（37p）。球形接头轴37l的球状部37p被球面轴承部37m保持。该球面轴承部37m将球形接头轴37l的球状部37p沿其球面形状滑动自如地保持。在球面轴承部37m的上方设有Z轴移动部37n。该Z轴移动部37n呈柱状。Z轴移动部37n相对于第二移动部37i绕球形接头轴37l的球状部37p的中心位置摆动自如。

因此，在Z轴驱动机构37A中，通过将驱动马达37a适当旋转驱动，第一移动部37e向Y轴方向进退移动，随着该第一移动部37e的向Y轴方向的进退移动，第二移动部37i向Z轴方向进退移动，经由球形接头轴37l及球面轴承部37m安装于该第二移动部37i的Z轴移动部37n相对于经由滑动轴承部37d、第一移动部37e及第三导件保持部37k安装的XY调节板36在Z轴方向上进退移动。

各Z轴驱动机构37如上所述，分别对应于XY调节板36的各支承部插通孔（36a、36b、36c）而设置。具体而言，如图11所示，Z轴驱动机构37A的Z轴移动部37n插通于支承部插通孔36a，Z轴驱动机构37B的Z轴移动部37n插通于支承部插通孔36b，Z轴驱动机构37C的Z轴移动部37n插通于支承部插通孔36c。在各Z轴驱动机构37中，在Z轴移动部37n的上方设有用于Z轴调节板38的支承的调节板支承部（37q、37r、37s）。因此，在本实施例中，Z轴方向为正交于基准平面的第四方向，Z轴调节板38作为第四方向调节板发挥功能，各Z轴驱动机构37作为第四方向驱动机构发挥功能。此外，在各Z轴驱动机构37中，驱动马达37a、变换部37b、传递轴37c、滑动轴承部37d、第一移动部37e、第一导件部37f、第二导件部37g、第二导件保持部37h、第二移动部37i、第三导件部37j、第三导件保持部37k、球形接头轴37l、球面轴承部37m及Z轴移动部37n作为驱动主体部发挥功能。

Z轴驱动机构37A的设在Z轴移动部37n上的调节板支承部37q整体上呈圆柱状，相对于Z轴调节板38的背面（下侧的面）在既定的位置处固定。即，调节板支承部37q设在借助球形接头轴37l和球面轴承部37m而摆动自如的Z轴移动部37n上，所以在允许Z轴调节板38的相对于X－Y平面的倾斜的变化（自如变更支承角度地）的同时固定地支承Z轴调节板38的既定的位置。因此，调节板支承部37q作为第四方向驱动机构的第一支承部发挥功能。

Z轴驱动机构37B的设在Z轴移动部37n上的调节板支承部37r具有长条的导轨，虽然图示省略，但由设于Z轴调节板38的背面的导轨保持部可滑动地保持该导轨，从而连接于Z轴调节板38的背面。将该导轨进行位置设定，以使Z轴驱动机构37A的调节板支承部37q（Z轴移动部37n）的轴线位于延伸方向的延长线上，换言之朝向该轴线延伸。由于该调节板支承部37r设在借助球形接头轴37l和球面轴承部37m而摆动自如的Z轴移动部37n上，所以在允许Z轴调节板38的相对于X－Y平面的倾斜的变化（自如变更支承角度地）的同时将Z轴调节板38的背面向导轨的延伸方向变位自如地支承。因此，调节板支承部37r作为第四方向驱动机构的第二支承部发挥功能。

Z轴驱动机构37C的设在Z轴移动部37n上的调节板支承部37s整体上呈圆柱状，滑动自如地抵接于Z轴调节板38的背面。即，由于调节板支承部37s设在借助球形接头轴37l和球面轴承部37m而摆动自如的Z轴移动部37n上，所以在允许Z轴调节板38的相对于X－Y平面的倾斜的变化（自如变更支承角度地）的同时移动自如地支承Z轴调节板38。因此，调节板支承部37s作为第四方向驱动机构的第三支承部发挥功能。

该Z轴调节板38如图2所示，是能够进行吸附保持工件22（参照图1）的吸盘40的固定的载置的板状部件。通过同步驱动各Z轴驱动机构37而调节Z轴调节板38在Z轴方向上观察的高度位置。此外，通过适当地单独驱动各Z轴驱动机构37而调节Z轴调节板38相对于X－Y平面的倾斜。此时，在Z轴调节板38中，固定着Z轴驱动机构37A的调节板支承部37q的部位成为基点，将起因于该调节板支承部37q、Z轴驱动机构37B的调节板支承部37r及Z轴驱动机构37C的调节板支承部37s的高度位置的差异的各自的间隔的变动量用调节板支承部37r的向导轨的延伸方向的变位、和调节板支承部37s的变位吸收，从而能够进行基于各Z轴驱动机构37的支承。此外，在Z轴调节板38中，由于Z轴驱动机构37B的调节板支承部37r为仅允许向导轨的延伸方向的变位的结构，所以防止了以固定着Z轴驱动机构37A的调节板支承部37q的部位为基点绕Z轴方向转动。

在该Z轴调节板38上，如图3所示，设有工具显微镜41和超声波传感器42。该工具显微镜41和超声波传感器42虽然图示省略，但固定在中央插通孔38a的内周缘部。该工具显微镜41从中央插通孔38a向下方延伸到XY调节板36的中央贯通孔36d及X轴滑块35A和X轴滑块35B之间的空间。工具显微镜41是用于Z轴调节板38（XY调节板36）的相对于曝光装置10的投影光学系统的基准位置的调节的显微镜，光轴方向在经由中央插通孔38a固定的Z轴调节板38为基准姿势的状态下等于Z轴方向。该Z轴调节板38的基准姿势，是指各Z轴驱动机构37（调节板支承部（37q、37r、37s））的支承的高度位置相等的状态、即以基座部件31为基准沿着X－Y平面的状态。该工具显微镜41配置为：使光轴与曝光装置10的投影光学系统的投影光轴一致而配置，从而沿着X－Y平面的方向观察的Z轴调节板38（XY调节板36）的相对于曝光装置10的投影光学系统的位置成为基准位置。此外，工具显微镜41为了当在吸盘40上吸附保持着工件22时使该工件22沿着基准平面而也可以用于安装上述吸盘40的Z轴调节板38的在Z轴方向观察的位置（高度位置）的调节。

超声波传感器42从Z轴调节板38的中央插通孔38a向下方延伸到XY调节板36的中央贯通孔36d及X轴滑块35A和X轴滑块35B之间的空间中。该超声波传感器42用于在吸盘40上是否吸附保持（载置）着平坦的工件22的判别。超声波传感器42中，检测方向在Z轴调节板38为基准姿势的状态下等于Z轴方向。

如图2及图3所示，在Z轴调节板38的下方设有提升机构39（参照图2及图3）。该提升机构39是在吸盘40上使工件22（参照图1）在Z轴方向（正确地讲是包含Z轴的高度方向）上移动的机构。提升机构39具有提升基座39a、和多个提升销39b。提升基座39a是由省略了图示的上下驱动部向Z轴方向变位自如地保持的框部件。该上下驱动部（未图示）安装于Z轴调节板38的背面（下侧的面）上。因此，提升基座39a不论Z轴调节板38相对于X－Y平面的倾斜如何，都借助上下驱动部（未图示）而在Z轴调节板38与XY调节板36之间自如地变位Z轴调节板38的在正交于板面的方向上观察的位置（包含Z轴的高度方向的位置）。在该提升基座39a上设有各提升销39b。

各提升销39b是从提升基座39a向Z轴方向的上侧突起的筒状部件，能够进行载置在上端面上的工件22（参照图1）的吸附保持。该各提升销39b能够经由设于Z轴调节板38的销插通孔38b及设于吸盘40的销插通孔40a（参照图3）向吸盘40的上方突出。该提升机构39在使各提升销39b向吸盘40的上方突出的状态下，吸附保持载置于该各提升销39b的上端面的工件22（参照图1），然后使提升基座39a下降，将各提升销39b向吸盘40侧拉入，从而使吸附保持的工件载置在吸盘40上。

该吸盘40具有多个吸附孔40b。该各吸附孔40b能够进行载置的工件22（参照图1）的吸附保持。基于该各吸附孔40b的吸附动作与提升机构39的动作一起由设于载置台架30的内方的驱动控制部（未图示）控制。

在该载置台架30中，将载置于向吸盘40的上方突出的各提升销39b的上端面的工件22（参照图1）吸附保持，将该工件22借助提升机构39的动作向基于吸盘40的吸附保持转移。然后，在载置台架30中，根据由吸盘40吸附保持的工件22的状态，使该工件22成为沿着曝光装置10的投影光学系统的成像面（基准平面）的适当的位置（姿势）。具体而言，在基座部件31上，使两Y轴滑块33在Y轴方向上、并且使两X轴滑块35（35A、35B）在X轴方向上适当移动，从而经由吸盘40、Z轴调节板38及各Z轴驱动机构37调整设于XY调节板36上的工件22的沿着X－Y平面的位置及旋转姿势。此外，通过适当变更各Z轴驱动机构37的支承位置，经由吸盘40及Z轴调节板38调节设于XY调节板36的工件22的Z轴方向上的位置（高度位置）及相对于X－Y平面的倾斜。由此，在曝光装置10中，能够在工件22上适当地曝光掩模图案像。

接着，对于使用两Y轴滑块33及两X轴滑块35的、工件22即XY调节板36的沿着X－Y平面的状态下的位置及旋转姿势的调节，使用图13至图18进行说明。图13是表示从Z轴方向的上侧观察将图6所示的两X轴滑块35与XY调节板36通过各连结部（51、52、53、54）连结的示意图的情况的说明图，图14是与图13同样的说明图，图14（a）表示将X轴滑块35B正面观察时向左侧（X轴方向的负侧）移动的情况，图14（b）表示将X轴滑块35B正面观察时向右侧（X轴方向的正侧）移动的情况。

首先，考虑从图13所示的基准位置起、在将两Y轴滑块33及X轴滑块35A固定的状态下仅使X轴滑块35B沿X轴方向移动的情况（参照图14）。在此情况下，通过各连结部（51、52、53、54）的作用，如图14所示，使XY调节板36绕作为第一连结部51的中心轴的基准轴线Ba旋转。该旋转姿势由相对于第一连结部51的连结状态的第二连结部52的连结状态、即板侧第二支承点Sb2及滑块侧第二支承点Ss2相对于基准轴线Ba（板侧第一支承点Sb1及滑块侧第一支承点Ss1）的位置关系决定。这是因为，第一连结部51允许X轴滑块35A及XY调节板36绕基准轴线Ba相对旋转，并且第二连结部52允许X轴滑块35B和XY调节板36的向第三方向的相对的变位且允许绕连结基部52a的中心轴线的相对的旋转。这里，在以下的说明中，将XY调节板36上的作为连结板侧第一支承点Sb1和板侧第二支承点Sb2的直线的第三方向设为作为在X－Y平面上观察到的XY调节板36的旋转姿势的标识的旋转标识线Rm，将使X轴滑块35A和X轴滑块35B为驱动控制的基准位置时的旋转标识线Rm（第三方向）的延伸方向设为旋转基准线Rb。该旋转基准线Rb在本实施例中相对于X轴方向（第二方向）及Y轴方向（第一方向）具有45度的倾斜。

如果仅X轴滑块35B沿X轴方向移动，则如图14（a）及图14（b）所示，在X－Y平面上观察，X轴滑块35A的滑块侧第一支承点Ss1不移动，相对于此，X轴滑块35B的滑块侧第二支承点Ss2向X轴方向移动。于是，由于第二连结部52是将在XY调节板36上固定的板侧第二支承点Sb2可沿该XY调节板36上的作为第三方向的旋转标识线Rm移动地对滑块侧第二支承点Ss2连结的，所以XY调节板36绕基准轴线Ba旋转，以使旋转标识线Rm位于移动后的滑块侧第二支承点Ss2上。

这里，在以下的说明中，为了容易理解，如图15所示，将由各连结部（51、52、53、54）对XY调节板36的各支承点（Sb1、Sb2、Sb3、Sb4）构成的正方形设为基准XY调节板36＇。在该图15中，将作为基准XY调节板36＇（XY调节板36）的旋转中心的基准轴线Ba作为原点O，将正视上下方向设为Y轴并将上侧作为正侧，将左右方向设为X轴并将右侧作为正侧，将逆时针方向作为基准XY调节板36＇（XY调节板36）的旋转方向正侧（参照图16（a）及图17（a））。此外，在该基准XY调节板36＇中，设连结板侧第一支承点Sb1和板侧第三支承点Sb3的边的一半的长度尺寸为Ax，设连结板侧第一支承点Sb1和板侧第四支承点Sb4的边的一半的长度尺寸为Ay。进而，设旋转基准线Rb相对于Y轴方向所成的旋转基准角度为θb，设旋转标识线Rm相对于旋转基准线Rb所成的角度即基准XY调节板36＇（XY调节板36）的从基准姿势绕基准轴线Ba的旋转角度为θr（参照图16）。另外，在本实施例中，将全部的角度用“°（度）”的单位表示。接着，设X轴驱动机构34A即X轴滑块35A的向X轴方向的移动量为Xm，设X轴驱动机构34B即X轴滑块35B的向X轴方向的移动量为Xs，设位于基准轴线Ba（第一连结部51）侧的Y轴驱动机构32的向Y轴方向的移动量为Ym，设位于相反侧的Y轴驱动机构32的向Y轴方向的移动量为Ys。另外，在本实施例中，两个Y轴驱动机构32对应于单一的Y轴滑块33设置而总是被同步驱动，所以移动量Ys与移动量Ym相等。

在图16中表示为了使基准XY调节板36＇从基准位置旋转到任意的旋转角度θr而使X轴滑块35B从基准位置移动到移动量Xs的情况。该图16如上所述，基于如果仅使X轴滑块35B沿X轴方向移动、则基准XY调节板36＇绕基准轴线Ba（滑块侧第一支承点Ss1）旋转以使旋转标识线Rm位于该滑块侧第二支承点Ss2上。在图16中，图16（a）表示为使基准XY调节板36＇向正侧旋转A度而使X轴滑块35B向X轴方向的负侧移动Xs的情况，图16（b）表示为使基准XY调节板36＇向负侧旋转A度而使X轴滑块35B向X轴方向的正侧移动Xs的情况。该X轴滑块35B的从基准位置的移动量Xs可以用下式（1）表示。另外，在式（1）中，因为仅将X轴滑块35B在X轴方向上移动，所以移动量Xm、移动量Ys及移动量Ym都为0。

［数式1］

根据该式（1），通过使X轴滑块35B相对于X轴滑块35A相对地移动移动量Xs，能够使基准XY调节板36＇即XY调节板36成为沿着X－Y平面的姿势下的任意的旋转姿势（从基准姿势旋转了任意的旋转角度θr后的姿势）。

接着，考虑将旋转中心变换为基准XY调节板36＇的中心位置的情况。这基于由式（1）表示的各移动量在仅将X轴滑块35B沿X轴方向移动的情况下表示为了使基准XY调节板36＇绕基准轴线Ba（滑块侧第一支承点Ss1）旋转旋转角度θr而需要的值。因此，如图17所示，维持着旋转后的基准XY调节板36＇的旋转姿势而使其移动（参照箭头A3），以使绕基准轴线Ba旋转了旋转角度θr后的基准XY调节板36＇的中心位置成为处于基准位置的基准XY调节板36＇的中心位置（参照箭头A2）。在该图17中，图17（a）表示将向正侧旋转A度后的基准XY调节板36＇移动的情况，图17（b）表示将向负侧旋转A度后的基准XY调节板36＇移动的情况。此外，在图17中，将处于基准位置的基准XY调节板36＇用单点划线表示，将旋转后的基准XY调节板36＇用实线表示，将维持着旋转姿势而移动的基准XY调节板36＇用双点划线表示。此时的各移动量Xs、Xm、Ys、Ym可以用下式（2）表示。另外，在该式（2）中，由于维持着式（1）的基准XY调节板36＇的旋转姿势而使其移动，所以移动量Xs与移动量Xm相等，移动量Ys与移动量Ym相等。

［数式2］

根据该式（2），能够使以式（1）成为任意的旋转姿势的基准XY调节板36＇变位（参照用双点划线表示的基准XY调节板36＇及箭头A3）、以使其中心位置成为处于基准位置的基准XY调节板36＇的中心位置（参照箭头A2）。因此，将式（1）及式（2）中表示的各移动量相加后的值，为为了使该基准XY调节板36＇绕处于基准位置的基准XY调节板36＇的中心位置旋转旋转角度θr而需要的各移动量Xs、Xm、Ys、Ym。

接着，考虑将旋转中心变换为任意的坐标位置（X₀，Y₀）。这是基于由式（1）及式（2）表示的各移动量是以处于基准位置的基准XY调节板36＇的中心位置为旋转中心的移动量。因此，如图18所示，设将坐标位置（X₀，Y₀）以基准元件Ob为旋转中心向正侧或负侧旋转移动任意的旋转角度θr后的坐标位置为（X₁，Y₁），求出用来从坐标位置（X₁，Y₁）向坐标位置（X₀，Y₀）移动的移动量（参照箭头A4）。该移动量（参照箭头A4）的X轴方向的移动量为移动量Xs及移动量Xm，Y轴方向的移动量为移动量Ys及移动量Ym。该各移动量Xs、Xm、Ys、Ym可以用下式（3）表示。另外，在式（3）中，将连结基准元件Ob和坐标位置（X₀，Y₀）的线段相对于X轴所成的角度用θ₀表示。

［数式3］

该式（3）为维持着以基准原点Ob为旋转中心旋转旋转角度θr后的基准XY调节板36＇的旋转姿势、在该旋转后的基准XY调节板36＇中、使与基准姿势（旋转前）的基准XY调节板36＇上的任意的坐标位置（X₀，Y₀）对应的坐标位置（X₁，Y₁）移动到坐标位置（X₀，Y₀）的式子。另外，在该式（3）中，从基准原点Ob观察的任意的坐标位置（X₀，Y₀）的角度θ₀可以用下述的条件表示。

［数式4］

因此，如果将基准姿势的基准XY调节板36＇的中心位置看作基准原点Ob，则将式（1）、式（2）、式（3）所示的各移动量相加后的值成为为了使基准XY调节板36＇绕任意的坐标位置（X₀，Y₀）旋转旋转角度θr而需要的各移动量Xs、Xm、Ys、Ym。在将基准姿势的基准XY调节板36＇的中心位置看作基准原点Ob的情况下，设基准原点Ob为原点（X=0，Y=0），求出想要作为旋转中心的任意的位置的坐标位置（X₀，Y₀），并且求出将该坐标位置（X₀，Y₀）与基准原点Ob连结的线段相对于X轴所成的角度θ₀。

此外，如果将基准轴线Ba看作基准原点Ob，则将式（1）及式（3）所示的各移动量相加后的值成为为了使基准XY调节板36＇绕任意的坐标位置（X₀，Y₀）旋转旋转角度θr而需要的各移动量Xs、Xm、Ys、Ym。

这样，在载置台架30中，通过使X轴滑块35B相对于X轴滑块35A适当移动，能够使XY调节板36成为任意的旋转角度θr下的旋转姿势。该XY调节板36的旋转姿势可以通过使X轴滑块35B相对于X轴滑块35A移动对应于使用式（1）计算出的任意的旋转角度θr的移动量Xs来设定。

此外，在载置台架30中，通过将两X轴滑块35一体地向X轴方向适当移动、并将Y轴滑块33向Y轴方向适当移动，能够使成为任意的旋转姿势的XY调节板36维持着其旋转姿势而沿X轴方向及Y轴方向适当地移动。此时，通过使两X轴滑块35及Y轴滑块33移动使用式（2）计算出的对应于任意的旋转角度θr的各移动量Xs、Xm、Ys、Ym，能够使处于基准位置的XY调节板36成为绕其中心位置旋转了任意的旋转角度θr的状态。此外，通过使两X轴滑块35及Y轴滑块33移动使用式（2）及式（3）、或式（3）计算出的对应于任意的旋转角度θr的各移动量Xs、Xm、Ys、Ym，能够使处于基准位置的XY调节板36成为绕任意的坐标位置（X₀，Y₀）旋转了任意的旋转角度θr的状态。

在本实施例中，如上述那样设为XY调节板36上的各支承点（Sb1、Sb2、Sb3、Sb4）形成正方形（基准XY调节板36＇）的位置关系，使其一边的长度尺寸为430mm。因此，长度尺寸Ax=长度尺寸Ay=215mm，旋转基准角度θb=45度。因此，用于使用上述两Y轴滑块33及两X轴滑块35的XY调节板36（基准XY调节板36＇）的沿着X－Y平面的状态下的旋转姿势的调节的式（1）可以用下式（1＇）表示。

［数式5］

此外，式（2）可以用下式（2＇）表示。

［数式6］

另外，关于式（3）及其角度θ₀的条件，由于是用以旋转中心为原点的坐标位置（X₀，Y₀）及其角度θ₀表示的，所以是如上述那样的。

这样，在本发明的载置台架30（曝光装置10）中，在基座部件31之上通过Y轴驱动机构32沿Y轴方向（第一方向）移动自如地设有Y轴滑块33，在该Y轴滑块33之上通过沿Y轴方向离开的两个X轴驱动机构34B沿X轴方向（第二方向）移动自如地设有两个X轴滑块35，以在该X轴滑块35上沿Y轴方向架设的方式设有XY调节板36（平面调节板）。因此，通过X轴滑块35A和X轴滑块35B的X轴方向上的相对的位置能够设定XY调节板36的旋转姿势，通过维持着该X轴滑块35A与X轴滑块35B的相对的位置关系而同步驱动该两X轴滑块35，能够维持着XY调节板36的旋转姿势使XY调节板36沿X轴方向移动，通过使Y轴滑块33沿Y轴方向移动，与X轴方向上的位置无关，都能够维持着XY调节板36的旋转姿势使XY调节板36沿Y轴方向移动。因此，能够通过用于XY调节板36的Y轴方向（第一方向）的位置调节的机构、用于XY调节板36的X轴方向（第二方向）的位置调节的机构的两个结构形成能够不给各自的位置调节带来影响而设定XY调节板36的旋转姿势的旋转驱动机构。这样，能够不受XY调节板36的旋转姿势的变化的影响而单独调节XY调节板36的X轴方向上的位置和Y轴方向上的位置，所以不论XY调节板36的旋转姿势如何都能够通过同一种控制方法调节XY调节板36即工件22的X－Y平面上的位置。由此，尽管是简单的结构且简单的位置姿势控制，但能够以很高的精度设定XY调节板36即工件22的X－Y平面上的位置及旋转姿势。

此外，在载置台架30（曝光装置10）中，在Y轴驱动机构的上方设有X轴驱动机构，为该X轴驱动机构也作为旋转驱动机构发挥功能的结构，所以能够抑制高度尺寸（在Z轴方向上观察的大小尺寸）的增大。

进而，在载置台架30（曝光装置10）中，通过使X轴滑块35B相对于X轴滑块35A移动由式（1）求出的移动量Xs，能够使XY调节板36（基准XY调节板36＇）成为沿着X－Y平面的状态下的任意的旋转姿势（从基准姿势旋转了任意的旋转角度θr的姿势），然后，如式（2）及式（3）所示，通过向X轴方向及Y轴方向适当移动，能够将任意的坐标位置作为XY调节板36的旋转中心。因此，能够通过简单的控制，使XY调节板36即工件22成为沿着X－Y平面的状态下的以任意的坐标位置为旋转中心的任意的旋转姿势。

在载置台架30（曝光装置10）中，将X轴滑块35A和XY调节板36通过允许绕基准轴线Ba的相对的旋转的第一连结部51连结，并且将X轴滑块35B和XY调节板36通过容许向第三方向的相对的变位并且允许绕连结基部52a的中心轴线的相对的旋转的第二连结部52连结，所以能够使板侧第二支承点Sb2及滑块侧第二支承点Ss2相对于基准轴线Ba的位置关系与XY调节板36的旋转姿势一对一地对应。因此，尽管是简单的结构，通过使X轴滑块35B相对于X轴滑块35A适当移动，能够以高精度设定XY调节板36即工件22的旋转姿势。

在载置台架30（曝光装置10）中，第二连结部52是将XY调节板36的板侧第二支承点Sb2可沿第三方向移动地对X轴滑块35B的滑块侧第二支承点Ss2连结的，使该第三方向为在XY调节板36上作为从板侧第二支承点Sb2朝向板侧第一支承点Sb1的方向的旋转标识线Rm，所以能够使XY调节板36绕基准轴线Ba旋转，以使旋转标识线Rm位于移动后的滑块侧第二支承点Ss2上。因此，在设定XY调节板36即工件22的旋转姿势时，能够容易地进行X轴滑块35B相对于X轴滑块35A的移动量Xs的设定。

在载置台架30（曝光装置10）中，第一连结部51是容许X轴滑块35A和XY调节板36绕基准轴线Ba相对旋转的结构，并且第二连结部52是允许X轴滑块35B和XY调节板36的向第三方向的相对的变位且允许绕连结基部52a的中心轴线的相对的旋转的结构，所以尽管是简单的结构，但仅通过设定X轴滑块35B相对于X轴滑块35A的X轴方向的位置，就能够以很高的精度设定XY调节板36即工件22的旋转姿势。

在载置台架30中，由于作为Y轴滑块33的移动方向的第一方向与作为两X轴滑块35的移动方向的第二方向正交，所以能够更高效率地设定XY调节板36即工件22的位置及旋转姿势。

在载置台架30中，在使两X轴滑块35为基准位置的状态下，连结第一连结部51的板侧第一支承点Sb1及滑块侧第一支承点Ss1和第二连结部52的板侧第二支承点Sb2及滑块侧第二支承点Ss2的线段的延伸方向分别与第一方向及第二方向倾斜，所以不论XY调节板36即工件22的旋转方向如何，都能够使X轴滑块35B相对于X轴滑块35A平顺地移动。特别是，在本实施例中，由于上述线段的延伸方向相对于第一方向及第二方向分别为45度的倾斜，所以能够使工件22的旋转方向的差异带来的影响变得很小。

在载置台架30中，各Z轴驱动机构37为驱动主体部（37a～37n）使经由XY调节板36（平面调节板）的支承部插通孔（36a、36b、36c）突出到该XY调节板36的上方的调节板支承部（37q、37r、37s）相对于XY调节板36沿第四方向（Z轴方向）分别进退的结构。该驱动主体部（37a～37n）设于XY调节板36的背面侧，并且下方的一部分位于X轴滑块35A与X轴滑块35B的背面侧，并且下方的一部分位于X轴滑块35A与X轴滑块35B之间的空间中。因此，能够抑制高度尺寸（在Z轴方向上观察的大小尺寸）的增大。这是因为，各Z轴驱动机构37是变更配置在XY调节板36的上方的Z轴调节板38（第四方向调节板）的相对于XY调节板36的第四方向（Z轴方向）上的位置及相对于第四方向的倾斜（相对于X－Y平面的倾斜）的机构，所以一般设在XY调节板36的上方。特别是，在本实施例中，驱动主体部（37a～37n）的另一部分在Z轴方向（第四方向）上观察，为了能够进行XY调节板36的沿着X－Y平面的位置及旋转姿势的调节，配置在设有将Y轴滑块33与两X轴滑块35连结的各连结部（51、52、53、54）的位置处，所以能够大幅地抑制因设置各Z轴驱动机构37带来的高度尺寸（在Z轴方向上观察的大小尺寸）的增大。

在用于曝光装置10中的载置台架30中，各Z轴驱动机构37同时具有设定配置在XY调节板36的上方的Z轴调节板38（第四方向调节板）的相对于XY调节板36的第四方向（Z轴方向）上的位置的功能、和该Z轴调节板38（第四方向调节板）的相对于第四方向的倾斜（相对于X－Y平面的倾斜）的功能，所以与单独设置用于各个功能的结构时相比，能够大幅地抑制高度尺寸（在Z轴方向上观察的大小尺寸）的增大。

在载置台架30中，通过用于XY调节板36的Y轴方向（第一方向）的位置调节的机构及用于XY调节板36的X轴方向（第二方向）的位置调节的机构的两个结构实现用于XY调节板36的Y轴方向（第一方向）的位置调节的功能、用于XY调节板36的X轴方向（第二方向）的位置调节的功能、和用于设定XY调节板36的旋转姿势的功能，并且由作为单一的结构的各Z轴驱动机构37实现设定Z轴调节板38的相对于XY调节板36的Z轴方向上的位置的功能、和该Z轴调节板38的相对于第四方向的倾斜的功能，进而做成了各Z轴驱动机构37在Z轴方向上观察与用于X轴方向（第二方向）的位置调节的机构重叠的结构，所以能够以很小的结构（大小尺寸）具备五个功能。

在载置台架30中，由于Z轴调节板38由Z轴驱动机构37A的调节板支承部37q旋转自如地支承，并且被Z轴驱动机构37B的调节板支承部37r仅允许向导轨的延伸方向的变位地支承，并且由Z轴驱动机构37C的调节板支承部37s变位自如地支承，所以能够防止以Z轴驱动机构37A的固定着调节板支承部37q的部位为基点绕Z轴方向转动。因此，通过适当变更各Z轴驱动机构37的支承高度位置（在Z轴方向上观察的支承位置），能够不导致在XY调节板36中设定的沿着X－Y平面的状态下的位置及旋转姿势的变更而设定Z轴调节板38即工件22的第四方向（Z轴方向）上的位置及相对于第四方向的倾斜（相对于X－Y平面的倾斜）。

在载置台架30中，由于提升机构39的提升基座39a在Z轴调节板38（第四方向调节板）的下方配置在由各Z轴驱动机构37的调节板支承部（37q、37r、37s）形成的Z轴调节板38与XY调节板36（平面调节板）之间的空间中，并且在该空间内能够沿Z轴方向（第四方向）移动，所以能够大幅地抑制因设置提升机构39带来的高度尺寸（在Z轴方向上观察的大小尺寸）的增大。

在载置台架30中，由于用于工件22（XY调节板36）的沿着X－Y平面的位置及旋转姿势的设定的X轴驱动机构34及X轴滑块35在Y轴滑块33的上表面上分别设于Y轴方向上观察的两端位置上，并且以在该两X轴滑块35上在Y轴方向上架设的方式设有XY调节板36（平面调节板），所以在该XY调节板36的下方，与两X轴滑块35的移动无关，都能够在两X轴滑块35之间形成容量大致一定的空间。因此，能够将该空间作为配置空间使用，所以能够抑制大小尺寸的增大。例如，在载置台架30（曝光装置10）中，由于在Z轴调节板38上设有中央插通孔38a、并且在XY调节板36上设有中央贯通孔36d，所以能够将用于进行曝光装置10的投影光学系统相对于载置在Z轴调节板38上的吸盘40即吸附保持在那里的工件22的位置设定的工具显微镜41配置在形成于两X轴滑块35之间的空间中。此外，在载置台架30（曝光装置10）中，由于Z轴调节板38上设有中央插通孔38a、并且在XY调节板36上设有中央贯通孔36d，所以能够将用于在载置于Z轴调节板38上的吸盘40上是否载置有工件22的判别的超声波传感器42配置到形成于两X轴滑块35之间的空间中。

在载置台架30中，由于为了在吸盘40上是否载置有工件22的判别而使用超声波传感器42，所以与吸盘40上的高度位置（在Z轴方向上观察的位置）无关都能够检测工件22的有无。

在曝光装置10中，由于在载置台架30上将工件22以很高的精度设定位置及旋转姿势，所以能够适当地使掩模图案像曝光在工件22上。

因而，在应用在曝光装置10中的本发明的载置台30中，能够以简单的结构很高精度地进行工件22的位置姿势控制。

另外，在上述实施例中，对作为本发明的载置台架的一例的载置台架30进行了说明，但只要是以下这样的载置台架就可以，并不限定于上述实施例，所述载置台架是相对于基准平面控制曝光光成像而曝光既定的掩模图案的工件的定位及姿势的载置台架，其中，具备：基座部件，相对于上述基准平面固定地设置；第一驱动机构，能够在沿着上述基准平面的第一方向上移动地设在上述基座部件上；第一滑块，由该第一驱动机构支承；两个第二驱动机构，能够在沿着上述基准平面且相对于上述第一方向倾斜的第二方向上移动地、在上述第一滑块上沿上述第一方向隔开间隔而成对地设置；两个第二滑块，分别由该第二驱动机构单独支承；平面调节板，为了载置上述工件而在上述两第二滑块上沿上述第一方向架设，沿着上述基准平面设置。

此外，在上述实施例中，第一连结部51及第二连结部52如上述那样构成，但只要第一连结部是允许绕基准轴线Ba的相对的旋转并将X轴滑块35A与XY调节板36连结的结构、第二连结部是允许向第三方向的相对的变位并且允许绕连结基部52a的中心轴线的相对的旋转并将X轴滑块35B与XY调节板36连结的结构就可以，并不限定于上述实施例。

进而，在上述实施例中，设有第三连结部53及第四连结部54，但它们是为了在两X轴滑块35的上方稳定地支承XY调节板36而设置的，所以只要是不使两X轴滑块35侧的支承点（Ss3、Ss4）相对于XY调节板36侧的支承点（Sb3、Sb4）的Z轴方向上的间隔变动而允许X－Y方向上的位置的变动就可以，并不限定于上述实施例。因此，只要能够借助第一连结部51和第二连结部52在两X轴滑块35的上方稳定支承XY调节板36的结构就可以，也可以不设置第三连结部53及第四连结部54。

在上述实施例中，使第二连结部52的第三方向为在XY调节板36上从板侧第二支承点Sb2朝向板侧第一支承点Sb1的方向（旋转标识线Rm），但只要能够通过X轴滑块35A与X轴滑块35B的X轴方向上的相对的位置设定XY调节板36的旋转姿势就可以，所以只要是相对于XY调节板36的各支承点（Sb1、Sb2、Sb3、Sb4）的位置关系不会变动的一定的方向、或者在X轴滑块35B上不会变动的一定的方向就可以，并不限定于上述实施例。

以下，使用图19及图20说明与上述实施例不同的一例。在该例中，在使两X轴驱动装置34为驱动控制的基准位置的状态下，将从X轴滑块35B的滑块侧第二支承点Ss2朝向X轴滑块35A的滑块侧第一支承点Ss1的方向设为第三方向。在此情况下，例如，只要代替第二连结部52（参照图8）而使用图19所示的第二连结部52＇就可以。该第二连结部52＇具有固定于X轴滑块35B并沿Z轴方向伸出的连结基部52a＇、固定于其上端面的轨道保持部分52b＇、可滑动地保持于该轨道保持部分52b＇的轨道52c＇、固定于该轨道52c＇的旋转轴部分52d＇、和相对于该旋转轴部分52d＇可旋转地设置的旋转部分52e＇。该连结基部52a＇整体上具有带阶差的圆柱形状，其中心轴线沿着Z轴方向设定。轨道保持部分52b＇能够以可向沿着X－Y平面的方向的、相对于X轴方向（第二方向）及Y轴方向（第一方向）倾斜的第三方向滑动的方式保持轨道52c＇。轨道52c＇由沿第三方向延伸的棒状部件构成，固定于旋转轴部分52d＇。在旋转轴部分52d＇整体上具有圆柱状形状，中心轴线沿着Z轴方向配置，固定于轨道52c＇。旋转部分52e＇具有包围旋转轴部分52d＇的环状的形状，相对于该旋转轴部分52d＇绕该旋转轴部分52d＇的中心轴线旋转自如。在第二连结部52＇中，旋转部分52e＇固定地安装于XY调节板36。因此，轨道52c＇相对于X轴滑块35B延伸方向固定。该轨道52c＇的延伸方向即第三方向在该例中在两X轴驱动机构34为驱动控制的基准位置的状态下为从X轴滑块35B的滑块侧第二支承点Ss2朝向X轴滑块35A的滑块侧第一支承点Ss1的方向，与各支承点（Ss1、Ss2、Ss3、Ss4）描绘的正方形的对角线一致。因此，如果匹配于上述实施例的设定，则第三方向总是相对于X轴方向（第二方向）及Y轴方向（第一方向）具有45度的倾斜。在这样的结构的情况下，需要将上述实施例的控制式（1）变更为下式（4）。

［数式7］

此外，如上述实施例那样，XY调节板36的各支承点（Ss1、Ss2、Ss3、Ss4）设定为形成正方形的（基准XY调节板36＇）的位置关系，如果其一边的长度尺寸是430mm，则为长度尺寸Ax=长度尺寸Ay=215mm，旋转基准角度θb=45度。因此，用来调整使用上述两Y轴滑块33及两X轴滑块35的XY调节板36（基准XY调节板36＇）的沿着X－Y平面的状态下的旋转姿势的式（4）可以用下式（4＇）表示。

［数式8］

如果是该例的结构，也基本上是与上述实施例的载置台架30（曝光装置10）同样的结构，所以基本上能够得到与上述实施例同样的效果。

除此以外，第二连结部52＇将XY调节板36的板侧第二支承点Sb2可沿第三方向移动地相对于X轴滑块35B的滑块侧第二支承点Ss2连结，该第三方向是在使两X轴驱动机构34为驱动控制的基准位置的状态下从X轴滑块35B的滑块侧第二支承点Ss2朝向X轴滑块35A的滑块侧第一支承点Ss1的方向，所以可以使XY调节板36绕基准轴线Ba旋转，以使板侧第二支承点Sb2位于包含移动后的滑块侧第二支承点Ss2的第三方向上。因此，能够使设定XY调节板36即工件22的旋转姿势时的、X轴滑块35B相对于X轴滑块35A的移动量Xs的设定变得容易。

根据本发明的载置台架，能够根据两第二滑块的第二方向上的相对的位置设定平面调节板的旋转姿势，通过维持着该两第二滑块的相对的位置关系而同步驱动控制该两第二滑块，能够维持着平面调节板的旋转姿势使平面调节板向第二方向移动，通过使第一滑块沿第一方向移动，与第二方向上的位置无关都能够维持着平面调节板的旋转姿势而使平面调节板沿第一方向移动。由此，能够借助用于平面调节板的第一方向（第一方向）的位置调节的机构、用于平面调节板的第二方向（第二方向）的位置调节的机构这两个构成，形成能够不给各自的位置调节带来影响而设定平面调节板的旋转姿势的旋转驱动机构。这样，能够不受平面调节板的旋转姿势的变化的影响而单独调节平面调节板的第二方向上的位置和第一方向上的位置，所以与平面调节板的旋转姿势无关都能够通过相同的控制方法调节平面调节板即工件的位置。

除了上述结构以外，如果上述平面调节板和一方的上述第二滑块由沿正交于上述基准平面的方向延伸的第一连结部连结，所述第一连结部件用于一端在板侧第一支承点处连接于上述平面调节板、并且另一端在滑块侧第一支承点处连接于上述第二滑块；该第一连结部不变更上述板侧第一支承点与上述滑块侧第一支承点的位置关系而允许绕包含上述板侧第一支承点及上述滑块侧第一支承点的基准轴线的上述平面调节板和一方的上述第二滑块的相对旋转；上述平面调节板和另一方的上述第二滑块由沿正交于上述基准平面的方向延伸的第二连结部连结，所述第二连结部件用于一端在板侧第二支承点处连接于上述平面调节板、并且另一端在滑块侧第二支承点处连接于另一方的上述第二滑块；该第二连结部允许沿着上述基准平面的第三方向上的上述板侧第二支承点与上述滑块侧第二支承点的相对的位置的变化，并且允许上述平面调节板和另一方的上述第二滑块绕正交于上述基准平面的方向的相对旋转；从而能够使相对于基准轴线的板侧第二支承点及滑块侧第二支承点的位置关系与平面调节板的旋转姿势一对一地对应。因此，能够通过两第二滑块的相对的位置关系高精度地设定平面调节板即工件的旋转姿势。

除了上述结构以外，如果上述第三方向相对于上述第一方向和上述第二方向分别倾斜，则与第一方向与第二方向的角度关系无关，都能够通过使两第二滑块相对地沿第二方向移动而使平面调节板旋转。

除了上述结构以外，如果上述第一方向与上述第二方向正交，则能够更高效率地设定平面调节板即工件的位置。

除了上述结构以外，如果在令上述第二滑块为向上述第二方向的移动的基准的基准位置时，上述板侧第一支承点和上述板侧第二支承点位于相对于上述第一方向和上述第二方向分别倾斜的直线上，则与平面调节板即工件的旋转方向无关，都能够使另一方的第二滑块相对于一方的第二滑块平顺地移动。

除了上述结构以外，如果上述第三方向是连结上述板侧第一支承点和上述板侧第二支承点的线段的延伸方向，则能够以第三方向位于移动了的滑块侧第二支承点上的方式使平面调节板绕基准轴线旋转。因此，能够使在平面调节板即工件的旋转姿势设定时的另一方的第二滑块相对于一方的第二滑块的移动量的设定变得容易。

除了上述结构以外，如果上述第三方向是将上述两第二滑块为向上述第二方向的移动的基准的基准位置时的连结上述滑块侧第一支承点与上述滑块侧第二支承点的线段的延伸方向，则能够以板侧第二支承点位于包含移动的滑块侧第二支承点的第三方向上的方式使平面调节板绕基准轴线旋转。因此，当设定平面调节板即工件的旋转姿势时，能够容易地进行另一方的第二滑块相对于一方的第二滑块的移动量的设定。

除了上述结构以外，如果在上述第二滑块为上述基准位置时将上述板侧第一支承点和上述板侧第二支承点相互连结的线段的延伸方向相对于上述第一方向和上述第二方向分别形成45度的倾斜，则能够使因工件的旋转方向的差异带来的影响变得很小。

除此以外，如果还具备：第四方向调节板，为了正交于上述基准平面的第四方向上的上述工件的位置及相对于该第四方向的倾斜的变更而设于上述平面调节板；第四方向驱动机构，使该第四方向调节板的上述第四方向上的位置及相对于该第四方向的倾斜变更；该第四方向驱动机构具有支承上述第四方向调节板的至少三个支承部、和使该各支承部沿上述第四方向移动的驱动主体部；该驱动主体部至少一部分位于上述第一滑块与上述第二滑块之间且设在上述平面调节板的下侧；上述各支承部在上述第四方向上观察连接于上述平面调节板的下方的上述驱动主体部，并且在上述平面调节板的上方支承上述第四方向调节板；则能够抑制因设置第四方向驱动机构带来的高度尺寸（在正交于基准平面的方向上观察的大小尺寸）的增大。

除了上述结构以外，如果上述各支承部具有：第一支承部，不使对上述第四方向调节板的支承位置变化而将对该第四方向调节板的支承角度变更自如地进行支承；第二支承部，将对上述第四方向调节板的支承位置沿与上述第一支承部的支承位置的线段方向变更自如、并且将对上述第四方向调节板的支承角度变更自如地进行支承；第三支承部，将对上述第四方向调节板的支承位置变更自如、并且将对该第四方向调节板的支承角度变更自如地进行支承；则能够防止第四方向调节板以第四方向驱动机构的固定着第一支承部的部位为基点绕正交于基准平面的方向转动。因此，通过适当变更各第四方向驱动机构的支承高度位置（在第四方向上观察的支承位置），能够不导致在平面调节板上设定的位置及旋转姿势的变更而设定第四方向调节板即工件的第四方向上的位置及相对于第四方向的倾斜。

在使用上述载置台架的曝光装置中，由于在载置台架上将工件以很高的精度设定了位置及旋转姿势，所以能够对该工件适当地曝光掩模图案像。

以上，基于实施例说明了本发明的载置台架及使用它的曝光装置，但关于具体的结构并不限定于该实施例，应理解为只要不脱离本发明的主旨就能够对这些实施例进行各种变更及变形。

标号说明

10 曝光装置

22 工件

30 载置台架

31 基座部件

32 （作为第一驱动机构的）Y轴驱动机构

33（作为第一滑块的）Y轴滑块

34 （作为第二驱动机构的）X轴驱动机构

35（作为第二滑块的）X轴滑块

36 （作为平面调节板的）XY调节板

37 （作为第四方向驱动机构的）Z轴驱动机构

37q （作为第一支承部的）调节板支承部

37r （作为第二支承部的）调节板支承部

37s （作为第三支承部的）调节板支承部

38 （作为第四方向调节板的）Z轴调节板

51 第一连结部

52、52＇ 第二连结部

Ba 基准轴线

Sb1 板侧第一支承点

Sb2 板侧第二支承点

Ss1 滑块侧第一支承点

Ss2 滑块侧第二支承点

Claims (12)

1.一种载置台架，是相对于基准平面对曝光光成像而曝光既定的掩模图案的工件的定位进行控制的载置台架，其特征在于，具备：

基座部件，相对于上述基准平面固定地设置；

第一驱动机构，能够在沿着上述基准平面的第一方向上移动地设在上述基座部件上；

第一滑块，由该第一驱动机构支承；

一对第二驱动机构，以能够在沿着上述基准平面且相对于上述第一方向倾斜的第二方向上移动的方式，在上述第一滑块上沿上述第一方向隔开间隔地设置；

两个第二滑块，分别由该第二驱动机构单独支承；

平面调节板，为了载置上述工件而沿上述第一方向架设于上述两第二滑块上，沿着上述基准平面设置。

2.如权利要求1所述的载置台架，其特征在于，

上述平面调节板和一方的上述第二滑块由沿正交于上述基准平面的方向延伸的第一连结部连结，所述第一连结部件用于一端在板侧第一支承点处与上述平面调节板连接、并且另一端在滑块侧第一支承点处与一方的上述第二滑块连接；

该第一连结部不变更上述板侧第一支承点与上述滑块侧第一支承点的位置关系而使上述平面调节板和一方的上述第二滑块绕包含上述板侧第一支承点及上述滑块侧第一支承点的基准轴线相对旋转；

上述平面调节板和另一方的上述第二滑块由沿正交于上述基准平面的方向延伸的第二连结部连结，所述第二连结部件用于一端在板侧第二支承点处与上述平面调节板连接、并且另一端在滑块侧第二支承点处与另一方的上述第二滑块连接；

该第二连结部允许沿着上述基准平面的第三方向上的上述板侧第二支承点与上述滑块侧第二支承点的相对的位置的变化，并且使上述平面调节板和另一方的上述第二滑块绕正交于上述基准平面的方向相对地旋转。

3.如权利要求1所述的载置台架，其特征在于，上述第三方向是相对于上述第一方向和上述第二方向分别倾斜的方向。

4.如权利要求2所述的载置台架，其特征在于，上述第三方向是相对于上述第一方向和上述第二方向分别倾斜的方向。

5.如权利要求1所述的载置台架，其特征在于，上述第一方向与上述第二方向正交。

6.如权利要求4所述的载置台架，其特征在于，在上述两第二滑块位于作为向上述第二方向的移动的基准的基准位置时，上述板侧第一支承点和上述板侧第二支承点位于相对于上述第一方向和上述第二方向分别倾斜的直线上。

7.如权利要求5所述的载置台架，其特征在于，上述第三方向是连结上述板侧第一支承点和上述板侧第二支承点的线段的延伸方向。

8.如权利要求2所述的载置台架，其特征在于，上述第三方向是上述两第二滑块位于作为向上述第二方向的移动的基准的基准位置时的连结上述滑块侧第一支承点与上述滑块侧第二支承点的线段的延伸方向。

9.如权利要求6所述的载置台架，其特征在于，在上述两第二滑块位于上述基准位置时，上述板侧第一支承点和上述板侧第二支承点相互连结的线段的延伸方向相对于上述第一方向和上述第二方向分别形成45度的倾斜。

10.如权利要求1所述的载置台架，其特征在于，

还具备：

第四方向调节板，为了正交于上述基准平面的第四方向上的上述工件的位置及相对于该第四方向的倾斜的变更而设于上述平面调节板；

第四方向驱动机构，使该第四方向调节板的上述第四方向上的位置及相对于该第四方向的倾斜变更；

该第四方向驱动机构具有支承上述第四方向调节板的至少三个支承部、和使该各支承部沿上述第四方向移动的驱动主体部；

该驱动主体部至少使一部分位于上述第一滑块与上述第二滑块之间且设于上述平面调节板的下侧；

上述各支承部在上述第四方向上观察连接于上述平面调节板的下方的上述驱动主体部，并且在上述平面调节板的上方支承上述第四方向调节板。

11.如权利要求10所述的载置台架，其特征在于，

上述各支承部具有：

第一支承部，不使对上述第四方向调节板的支承位置变化而使对该第四方向调节板的支承角度变更自如地进行支承；

第二支承部，使对上述第四方向调节板的支承位置沿与上述第一支承部的支承位置的线段方向变更自如、并且使对上述第四方向调节板的支承角度变更自如地进行支承；

第三支承部，使对上述第四方向调节板的支承位置变更自如、并且使对该第四方向调节板的支承角度变更自如地进行支承。

12.一种曝光装置，其特征在于，使用权利要求1～11中任一项所述的载置台架。

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