TWI802030B - 晶圓容器及其尺寸調適系統 - Google Patents

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Abstract

本發明揭示之一種晶圓容器包含：一艙；一門；具有一頂壁之一晶圓匣；一底板；及一偏置構件。該艙包含(若干)側壁、一封閉端及一開放端。當由該門關閉時，該底板位於該門與該晶圓匣之間且該偏置構件經壓縮於該晶圓匣與該艙之該封閉端之間。一種用於將一晶圓匣固定於一封閉艙之一內部空間內之尺寸調適系統包含：一底板；及一偏置構件。該底板包含用於耦合該底板與該晶圓匣之一突起及用於耦合該底板與該門之一凹口中之至少一者。該偏置構件壓縮安置於該晶圓匣與該艙之一封閉端之間。

Description

晶圓容器及其尺寸調適系統
本發明大體上係關於將晶圓匣固定於晶圓容器中。更特定言之，本發明係關於將一晶圓匣固定於一晶圓容器之一艙內。
晶圓容器可包含容納有一外艙之一晶圓匣。晶圓匣可在移動或暴露於諸如掉落、碰撞或其類似者之衝擊時相對於艙之剩餘部分移動。晶圓匣之移動可導致對艙、匣或晶圓之損害或導致非所要粒子產生。晶圓容器可經構形以容納一特定尺寸晶圓匣。各艙可具有經特定構形(例如定尺寸、定位等等)以固持一個尺寸之晶圓匣之特徵。例如，「200 mm」晶圓容器可包含經構形以穩固地容納一「200 mm」晶圓匣(即，經定尺寸以固持200 mm寬度晶圓之一晶圓匣)之一艙。
本發明大體上係關於將一晶圓匣固定於晶圓容器之一艙內。
藉由使用一門與該晶圓匣之間的一底板及該晶圓匣與該艙之一封閉端之間的一或多個偏置構件，該晶圓容器可由該底板及一或多個偏置構件將一較小尺寸晶圓匣穩固地固持於其封閉艙內以限制該晶圓匣相對於該封閉艙之移動。
在一實施例中，一種晶圓容器包含一艙、一門、一晶圓匣、一底板及一偏置構件。該艙包含一或多個側壁、一封閉端、一開放端及由該一或多個側壁及該封閉端界定之一內部空間。該晶圓匣包含一頂壁。該門經構形以關閉該艙之該開放端。當該艙之該開放端由該門關閉時，該底板位於該門與該晶圓匣之間，且該偏置構件經壓縮於該晶圓匣之該頂壁與該艙之該封閉端之間且頂推該晶圓匣及該底板抵靠該門。
在一實施例中，當該開放端由該門關閉時，該偏置構件頂推該晶圓匣抵靠該底板。
在一實施例中，該偏置構件包含一第一端、與該第一端對置之一第二端、一第一彈性彎折及一第二彈性彎折。該第一端經由該第一彈性彎折及該第二彈性彎折連接至該第二端。
在一實施例中，當開口由該門關閉時，該偏置構件之該第一端與該艙接觸，且該偏置構件之該第二端與該晶圓匣接觸。
在一實施例中，該偏置構件之該壓縮減小該第一彈性彎折之一彎折角度且增大該第二彈性彎折之一彎折角度。
在一實施例中，當該開口由該門關閉時，該偏置構件自該晶圓匣之該頂壁延伸至該艙之該封閉端。
在一實施例中，該艙之該封閉端包含一向內表面及延伸遠離該封閉端之該向內表面之一通道，且該偏置構件包含沿該偏置構件之一長度延伸之一肋。該偏置構件由安置於該封閉端之該通道中之該偏置構件之該肋附接至該艙。
在一實施例中，該底板包含一頂部及自該頂部延伸之一突起且該晶圓匣之基部包含一狹槽。當該開口由該門關閉時，該突起延伸至該狹槽中以耦合該晶圓匣及該底板。
在一實施例中，該底板包含具有一凹口之一底部且該門包含一向內表面及自該向內表面延伸之一突起。當該開口由該門關閉時，該突起延伸至該凹口中以耦合該底板及該門。
在一實施例中，該門之該突起及該底板之該突起具有相同形狀。
在一實施例中，一種尺寸調適系統經構形以將一晶圓匣固定於一封閉艙之一內部空間內。該內部空間由一或多個側壁、一封閉端及用該封閉艙之一門關閉之一開放端界定。該尺寸調適系統包含：一底板，其經構形以安置於該晶圓匣與該門之間的該內部空間中；及一偏置構件，其經構形以壓縮安置於該晶圓匣與該內部空間中之該艙之一封閉端之間。該壓縮偏置構件經構形以頂推該晶圓匣及該底板抵靠該門。
該底板具有一頂部、一底部及自該底板之一頂部延伸之一突起及該底板之該底部中之一凹口之至少一者。該突起經構形以延伸至該晶圓匣之一狹槽中以將該底板耦合至該晶圓匣。該凹口經構形以接納該門之一突起以耦合該底板及該門。
在一實施例中，該底板包含該凹口。
在一實施例中，該底板包含該突起及該凹口。
本發明大體上係關於將一晶圓匣固定於一晶圓容器之一晶圓艙內。晶圓容器用於諸如在半導體製造期間攜載基板。例如，呈晶圓之形式之基板可經處理以形成半導體裝置。更具體而言，本發明係關於一種具有用於將一晶圓匣固定於一晶圓艙內之一底板及一偏置構件之系統。在一些實施例中，一晶圓容器在組裝完成時包含用於使用較大晶圓艙固定一較小晶圓匣之底板及偏置構件。
圖1係一晶圓容器1之一實施例之一分解圖。晶圓容器1包含一艙10、一門30、一晶圓匣40、一底板60及偏置構件80A、80B。在組裝完成時，晶圓匣40容納於由艙10及門30界定之一內部空間12內。
在一實施例中，一尺寸調適系統包含底板60及一或多個偏置構件80A、80B。尺寸調適系統經構形以將晶圓匣40固定於艙10內。底板60經構形以限制晶圓匣40相對於艙10之水平移動，而一或多個偏置構件80A、80B經構形以限制晶圓匣40相對於艙10之豎直移動。尺寸調適系統可用於調適一艙(例如艙10)以在艙內穩固且安全地運輸一較小晶圓匣(例如晶圓匣40)。例如，一艙可經構形以穩固且安全地運輸一第一尺寸之晶圓匣，且尺寸調適系統可用於調適艙以穩固且安全地運輸一第二較小尺寸之晶圓匣(例如第二晶圓匣具有比第一晶圓匣小之一尺寸)。
晶圓容器1可為用於固持一或多個晶圓之任何此類適合容器，例如一標準機械介面(SMIF)艙。晶圓容器1可用於(例如)在半導體晶圓之處理、運輸及/或儲存期間固持一或多個晶圓(圖中未展示)。
晶圓匣40係具有經構形以容納諸如半導體晶圓之一或多個晶圓(圖中未展示)之一內部空間的一容器。一或多個晶圓可各固持於自晶圓匣40之壁延伸之一或多個晶圓支撐件中。例如，晶圓匣40可包含各經構形以支撐一各自晶圓之複數個層架42。在一實施例中，艙40經構形以使用經構形以固持一第一尺寸之晶圓(例如200 mm晶圓等等)之層架來固持一第一晶圓匣(圖中未展示)，且晶圓匣40經構形以固持一較小尺寸之晶圓(例如150 mm晶圓等等)。
艙10包含一或多個側壁14、一封閉端16及與封閉端16對置之一開放端18 (圖1中被掩蓋)。一或多個側壁14可為形成一連續壁使得一或多個側壁14可在開放端18由門30關閉時與封閉端16一起界定一內部空間12之任何數目及配置之側壁。在一實施例中，存在一連續彎曲壁之一個側壁14。在一實施例中，一或多個側壁14係4個側壁，形成一矩形或正方形形狀。當門30經附接且關閉開放端18時，艙10及門30界定經構形以容納晶圓匣40、底板60及偏置構件80A、80B之內部空間12。
門30經構形以關閉艙10之開放端18。門30可具有大體上類似於由艙10之一或多個側壁14界定之形狀之一形狀。門30可包含用於將門30聯接至艙10以圍封晶圓容器1 (例如，圍封內部空間12)之一或多個接合特徵。門30可具有由其長度及寬度方向界定之一平面。下文將更詳細討論組裝完成之晶圓容器1之內部構形。
門30包含一向內表面32。門30之向內表面32在艙10用門30關閉時面向晶圓容器1之內部空間12。向內表面32可面向艙10之封閉端16。門30包含自門30之向內表面32延伸之突起34-1、34-2。當艙10用門30關閉時，突起34-1、34-2自向內表面32延伸至內部空間12中。例如，突起34-1、34-2可在自向內表面32之一向上方向上延伸(例如，在朝向艙10之封閉端16之豎直方向D 1上延伸)。
在一實施例中，突起34-1、34-2經構形以與比晶圓匣40大之一尺寸之晶圓匣(圖中未展示)直接接合。例如，所述較大尺寸之晶圓匣可具有大於晶圓匣40以攜載具有大於晶圓匣40之一寬度之晶圓之寬度(例如，較大尺寸之晶圓匣經定尺寸以攜載200 mm晶圓，而晶圓匣40經定尺寸以攜載諸如150 mm晶圓、100 mm晶圓等等之較小晶圓)。在組裝完成晶圓容器1時，底板60經由門30之至少一突起34-1與門30耦合。在一實施例中，門30可包含突起34-1、34-2之一或多者。下文將更詳細討論門30與底板60之耦合。
晶圓匣40包含一頂壁44及與頂壁44對置之一基部48。頂壁44及基部48可分別界定晶圓匣40之頂部及底部。頂壁44包含一上表面46。在組裝完成晶圓容器1時，晶圓匣40之頂壁44之上表面46面向艙10之封閉端16。例如，頂壁44之上表面46面向豎直方向D 1。
圖2係根據一實施例之底板60之一俯視透視圖。底板60包含一頂部62及與頂部62對置之一底部68 (圖1中被掩蓋)。底板60包含自底板60之頂部62延伸之突起64-1、64-2。突起64-1、64-2之各者自底板60之頂部62向上延伸(例如，在豎直方向D 1上)。在一實施例中，門30之突起34-1之一或多者具有相同於底板60之突起64-1之一或多者之形狀(例如，參閱圖1)。在一實施例中，底板60可包含一或多個突起64-1、64-2。
如圖2中所展示，底板60之頂部62亦可具有用於支撐晶圓匣40之一或多個襯墊66。襯墊66可附接至底板60之一上表面。在組裝完成晶圓容器1時，晶圓匣40之基部48靜置於底板之頂部62之一或多個襯墊66上。例如，襯墊66可提供底板60之最上支撐表面(除突起64-1、64-2以外)。襯墊66可提供緩衝以減小施加至晶圓匣40及其中任何晶圓容器之向下力。
圖3係底板60之底部68之一透視圖。底板60包含形成於底板60之底部68中之一或多個連接器70。一或多個連接器70經構形以與門30之一或多個突起34-1接合以耦合門30及底板60。在一實施例中，各連接器70經構形以與門30之一各自突起34-1接合。
圖4係圖3中之連接器70之一者之一放大圖。底板60之底部68包含凹口72。凹口72形成於連接器70中。凹口72各經構形以接納一突起34-1以耦合門30及底板60。連接器70藉由延伸至連接器70之凹口72之至少一者中之突起34-1而與其各自突起34-1接合。在組裝完成晶圓容器1時，所述各自突起34-1延伸至凹口72之至少一者中且將突起34-1與至少一凹口72耦合。如圖4中所展示，此實施例中之連接器70包含用於與其各自突起34-1接合之6個凹口72。在一實施例中，一連接器70可包含一或多個凹口72。在一些實例中，連接器70可包含一單一凹口72。在一實施例中，連接器70可包含配置成彼此垂直(例如，用於限制沿水平方向D 2及垂直之水平方向D 3兩者之移動)之2個凹口72。
在組裝完成晶圓容器1時，門30及底板60藉由一或多個連接器70分別與突起34-1之一或多者之接合來耦合在一起。特定而言，門30及底板60藉由至少一連接器70與門30之其各自突起34-1之接合來橫向耦合。門30與底板60之間的橫向耦合係限制門30與底板60之間的滑動移動之耦合。例如，由連接器70提供之橫向耦合限制門30與底板60之間在至少一水平方向(例如，在水平方向D 2上，在水平方向D 3上等等)上之移動。在一實施例中，連接器70經構形以限制門30與底板60之間沿水平方向D 2及第二水平方向D 3之各者之移動。在一實施例中，連接器70之至少一者經構形以與門30之其各自突起34-1接合以限制門30與底板60之間沿水平方向D 2及第二水平方向D 3之各者之移動。
如圖4中所展示，凹口72可具有在凹口72之長度上逐漸減小之一寬度。例如，一凹口72之寬度自其開口逐漸變窄。當底板60頂推抵靠門30時，一突起34-1頂推至其對應連接器70之至少一凹口72中。凹口72之形狀經構形以引起突起34-1在底板60頂推抵靠門30時楔入所述至少一凹口72中。楔入其對應一或多個凹口72中之一或多個突起34-1可將底板60有利地保持於門30上且防止底板60自門30意外被移除(例如解耦合等等)。例如，此可防止底板60在晶圓匣抬離底板60時與晶圓匣40一起意外被移除。
突起34-1之位置可在門30之不同實施例之間變動。例如，如圖2中所展示之後對突起34-1處於一第一位置。在另一實施例中，後對突起34-1可具有其中突起進一步間隔開之一第二位置(例如，圖2中之後對突起34-1在水平方向D 3上進一步間隔開)。
如圖3及圖4中所展示，一對連接器70 (例如，後對連接器70)可各包含一第一開口74及一第二開口76。開口74、76之各者形成有至少一凹口72。連接器70中之各開口74、76可包含兩個或更多個凹口72，且凹口70之至少一者可由開口74及76共用。
第一開口對74定位成比第二開口對76靠近彼此(例如，兩個第一開口74在水平方向D 1上之距離小於兩個第二開口76在水平方向D 1上之距離)。第一開口74經定位使得其等與具有處於第一位置之一組後部突起(例如，如圖2中定位之突起34-1)之門接合。第二開口76經定位使得其等與具有處於第二位置之一對後部突起之一門(例如，具有在水平方向D 3上比圖2中所展示間隔遠之突起34-1之一門之一實施例)接合。兩對開口74、76允許底板60與門30之兩個不同實施例(例如，具有窄間隔突起之一第一門實施例、具有較寬間隔突起之一第二門實施例)一起使用。
圖5A係一偏置構件80A之一實施例之一前透視圖。圖5B係偏置構件80A之一側視圖。偏置構件80A包含一第一端82A、一第二端84A、一第一彈性彎折86A及一第二彈性彎折88A。第二端84A沿偏置構件80A之長度L 1與第一端82A對置。偏置構件80A之長度L 1自其第一端82A延伸至其第二端84A。當附接至艙10時，偏置構件80A之長度L 1沿豎直方向D 1延伸。
第一端82A經由第一彈性彎折86A及第二彈性彎折88A連接至第二端84A。例如，第一端82A經由第一彈性彎折86A及第二彈性彎折88A串聯連接至第二端84A。第一彈性彎折86A位於第一端82A與第二彈性彎折88A之間。第二彈性彎折88A位於第一彈性彎折86A與第二端84A之間。
第一彈性彎折86A具有一彎折角α 1且第二彈性彎折88A具有一彎折角α 2。偏置構件80A經構形以在其第二端84A被向上頂推時受壓縮。例如，偏置構件80A經構形以由在沿豎直方向D 1上施加至其第二端84A之一力F 1壓縮。偏置構件80A之長度L 1隨其被壓縮而變短。壓縮減小第一彈性彎折86A之彎折角α 1且增加第二彈性彎折88A之彎折角α 2。在一實施例中，偏置構件80A藉由合攏其第一彈性彎折86A及拉直其第二彈性彎折88A而壓縮。偏置構件80A由一彈性可撓聚合物製成。偏置構件80A之聚合物經構形以允許彈性彎折86A、88A彎曲，同時亦具有在偏置構件80A不再被壓縮時使彈性彎折86A、88A返回至其各自原始形狀(例如，至原始彎折角α 1，至原始彎折角α 2等等)之一彈性。偏置構件可由(例如但不限於)聚碳酸酯製成。在一實施例中，整個偏置構件80A可由一單一材料形成(例如，由其模製)。
偏置構件80A經構形以在受壓縮時向下頂推。例如，受壓縮偏置構件80A之第二端84A在向下豎直方向D 4上施加一力F 2。向下豎直方向D 4與向上豎直方向D 1相反。例如，向下力F 2係由經受張力之彈性彎折86A、88A試圖恢復至其未壓縮形狀所引起。
偏置構件80A包含沿偏置構件80A之長度L 1延伸之至少一剛性支撐件92A。至少一剛性支撐件92A可提供於第一端82A與第一彈性彎折86A之間。自第一端82A延伸至第一彈性彎折86A之偏置構件80A之部分包含至少一剛性支撐件92A且經構形為剛性的。例如，偏置構件80A之所述部分經構形以具有一剛性結構且在偏置構件80A被壓縮時不彎曲。在一實施例中，偏置構件90A可由一單一材料製成(例如，由一單一材料模製)且一或多個剛性支撐件92A可向偏置構件90A之部分提供剛度。
偏置構件80A亦包含一對肋90A。肋90A位於偏置構件80A之對置側上且沿偏置構件80A之長度L 1延伸。肋90A可提供於偏置構件80A之第一端82A處。肋90A位於偏置構件80A之第一端82A與第一彈性彎折86A之間。肋90A各經構形以滑入艙10之一各自通道22A (如圖7及圖8中所展示)中。偏置構件80A可由安置於艙10之一各自通道22A中之各肋90A附接至艙10。下文將更詳細討論偏置構件80A之附接。
圖6係晶圓匣40之一仰視圖。晶圓匣40之基部48包含一下表面50及狹槽52-1、52-2。狹槽52-1、52-2形成於晶圓匣40之底部中。狹槽52-1、52-2由一或多個側壁形成。在此實施例中，晶圓匣40包含兩個第一狹槽52-1及兩個第二狹槽52-1。各第一狹槽52-1由自底板48之一下表面50延伸之複數個側壁54-1界定。如圖6中所展示，各狹槽52-1亦可包含一開口側56-1。例如，沿一水平面，各第一狹槽52-1由複數個側壁54-1及一開口側56-1環繞。
各第二狹槽52-2由複數個側壁54-2界定。如圖6中所展示，各狹槽52-2亦可包含一開口側56-2。例如，沿一水平面，各第一狹槽52-2由複數個側壁54-2及一開口側56-2環繞。基部48可包含提供兩個第二狹槽52-2之各者之側壁54-2之至少一者之一突出部58 (例如，突出部58提供第二狹槽52-2之一第一者之一側壁54-2及第二狹槽52-2之一第二者之一側壁54-2)。在一實施例中，突出部58可為狹槽52-2之間的一豎直延伸壁。第一狹槽52-1及第二狹槽52-2可在豎直方向上(例如，沿進入圖6之頁面之一方向，沿圖1中之豎直方向D 1)部分重疊。
圖7係艙10之一仰視圖。艙10包含封閉端16、開放端18及一或多個側壁14。艙10亦可包含用於將偏置構件80A、80B附接至艙10之通道22A、22B。艙10之封閉端16包含一向內表面20及通道22A、22B。向內表面20面向晶圓容器1之內部空間12。通道22A、22B之各者自封閉端16之向內表面20延伸。例如，各通道22A、22B可在豎直方向D 4上自封閉端16之向內表面20朝向艙10之開放端18延伸(例如，參閱圖8)。
艙10可包含用於第一偏置構件80A之一對通道22A及用於第二偏置構件80A之一對通道22B。例如，偏置構件80A之各肋90A安置於通道22A中之一各一者中。偏置構件80A可藉由在兩個通道22A之間滑動其第一端82A來附接至艙10。偏置構件80A之第一端82A處之各肋90A滑入至其各自通道22A中。偏置構件80A之第一端82A安置於其對應對通道22A之間。偏置構件80A具有安置於艙10中之其各自狹槽22A中以耦合偏置構件80A及艙10之至少一肋90A。在一實施例中，偏置構件80A藉由壓入配合於兩個通道22A之間來固持於通道22A中。
由通道22A提供之附接可經構形以限制偏置構件80A之第一端82A與艙10之封閉端16之間的滑動移動。例如，由通道22A、22B提供之附接可限制偏置構件80A之第一端82A與艙10之封閉端16之間的水平移動(例如，在水平方向D 2上、在第二水平方向D 3上等等)。通道22A與其各自偏置構件80A之間的附接亦可經構形以在偏置構件80A不再被壓縮時(例如，當艙10被打開以自晶圓容器1移除晶圓匣40時等等)將偏置構件80A保持於艙10上)。
圖8係晶圓容器1之一截面圖。圖8中之截面係沿圖1中之線IIX-IIX (在晶圓容器1組裝完成時)。在組裝完成時，艙10之開放端18用門30關閉，且晶圓匣40、底板60及偏置構件80A、80B容納於內部空間12內。門30可密封艙10之開放端18且封閉內部空間12。晶圓匣40堆疊於底板60及門30上且位於底板60與經壓縮一或多個偏置構件80A、80B之間。底板60堆疊於門30上且位於門30與晶圓匣40之間。晶圓匣40之基部48接觸底板60之頂部62，且底板60之底部68接觸門30之向內表面32。例如，底板60之底部68之外壁可接觸門30之向內表面32。
在組裝完成晶圓容器1時，突起64-1、64-2各朝向艙10之封閉端16延伸。各突起64-1、64-2經構形以延伸至晶圓匣40之基部48中之狹槽52-1、52-2 (如圖6及圖8中所展示)之一者中。突起64-1、64-2與其各自狹槽52-1、52-2之接合使底板60與晶圓匣40耦合。特定而言，延伸至其各自狹槽52-1、52-2中之突起64-1、64-2橫向耦合晶圓匣40及底板60。晶圓匣40與底板60之間的橫向耦合係限制晶圓匣40與底板60之間滑動移動之耦合。例如，由突起64-1、64-2提供之橫向耦合限制晶圓匣40與底板60之間在至少一水平方向上(例如，在水平方向D 2上，在垂直於水平方向之水平方向D 3上等等)之移動。在一實施例中，突起64-1、64-2經構形以限制晶圓匣40與底板60之間沿水平方向D 2及第二水平方向D 3之各者之移動。在一實施例中，突起64-1之一者及其各自狹槽52-1經構形以限制沿水平方向D 2及第二水平方向D 3之各者之移動。如圖8中所展示，一第一突起34-1可延伸穿過狹槽52-2以使一第二突起64-1到達其各自狹槽52-1。
如圖8中所展示，門30之突起34-1不與晶圓匣40中之狹槽52-1豎直對準(例如，突起34-1不會適配至狹槽52-1中，突起34-1不會鄰接狹槽52-1之(若干)側壁以防止水平移動)。例如，艙10可經最初設計以與比晶圓匣40大之晶圓匣一起使用。較大晶圓匣具有比晶圓匣40大之一寬度(例如，在水平方向D 3上)。晶圓匣40自較大晶圓匣按比例縮小導致狹槽52-1之至少一者不再與其對應突起34-1對準。底板60及一或多個偏置構件80A、80B經構形以將晶圓匣40固定於具有不適於將晶圓匣40適當固定於晶圓容器1之內部空間12內之一構形之艙10及門30內。
為簡單起見，以下描述針對第一偏置構件80A。應瞭解，包含第二偏置構件80B之晶圓容器1之一實施例可具有類似於針對第一偏置構件80A所描述之一構形。在所繪示實施例中，兩個偏置構件80A、80B可沿水平面在晶圓匣40上有利地提供一更一致向下壓力。在另一實施例中，晶圓容器1可經構形以具有一單一偏置構件80A。
如圖8中所展示，偏置構件80A位於晶圓匣40與艙10之封閉端16之間。偏置構件80A自匣40之頂壁44之上表面46延伸至艙10之封閉端16之向內表面20。在封閉艙10中，偏置構件80A受壓縮於晶圓匣40之頂壁44與艙10之封閉端16之間。組裝完成之晶圓容器1中之偏置構件80A經構形以受壓縮安置於晶圓匣40之頂壁44與艙10之封閉端16之間。
艙10之開放端18與門30之關閉壓縮偏置構件80A。經耦合晶圓匣40及底板60之高度(例如，在豎直方向D 1上)大於偏置構件80A之第二端84A (在未受壓縮時)與經關閉門30之間的豎直空間。當門30移動至如圖8中所展示之其經關閉位置時(例如，豎直向上移動以密封艙10之開放端18)，堆疊起來的門30、底板60及晶圓匣40被向上壓靠偏置構件80A且壓縮偏置構件80A。晶圓匣40之頂壁44豎直向上(例如，在豎直方向D 1上)頂推偏置構件80A之第二端84A。第二端84A豎直向上移動成更靠近艙10之封閉端16且偏置構件80A受壓縮於晶圓匣40與艙10之封閉端16之間。
偏置構件80A之第一端82A接觸艙10之封閉端16且偏置構件80A之第二端84A接觸晶圓匣40之頂壁44。例如，第一端82A接觸封閉端16之向內表面20且第二端84A接觸晶圓匣40之頂壁44之上表面46。第二端84A接觸晶圓匣40之一平坦表面以最小化接觸(例如，接觸晶圓匣40之上表面46之一平坦部分)。
壓縮使偏置構件80A經受張力而使其施加一向下力(例如，圖5B中之向下力F 2)。壓縮偏置構件80A在晶圓匣40之頂壁44上向下頂推。壓縮偏置構件80A頂推晶圓匣40且底板60抵靠門30之向內表面32。壓縮偏置構件80A頂推晶圓匣40抵靠底板60之頂部62，其將頂推底板60抵靠門30之向內表面32。晶圓匣40及底板60沿豎直方向(例如，在豎直方向D 1上、在豎直方向D 4上)受擠壓於壓縮偏置構件80A與門30之間。
由受壓縮偏置構件80A施加之向下力大致防止晶圓匣40及底板60之向上移動(例如，在向上豎直方向D 1上之移動)。由受壓縮偏置構件80A產生之向下力亦經構形以防止匣40與底板60解耦合且防止底板60與門30解耦合。例如，向下力經構形以防止匣40向上豎直移動，移動足夠大以將底板60之突起64-1、64-2自匣40中之其各自狹槽52-1、52-2拉出。例如，向下力經構形以防止匣40及底板60相對於門30之向上豎直移動，移動足夠大以將門30之突起34-1自底板60中之其各自一或多個凹口72拉出。
如上文所討論，底板60橫向耦合至晶圓匣40及門30之各者。底板60將晶圓匣40橫向耦合至門30。關閉門30聯接至艙10使得底板60經由關閉門30相對於艙10橫向耦合晶圓匣40。在組裝完成晶圓容器1時，底板60能夠有利地限制晶圓匣40相對於艙10之水平移動(例如，在水平方向D 2上、在水平方向D 3上等等)。
圖9A係圖8中之耦合晶圓匣40及底板60之一截面圖。圖9A中之截面圖係沿圖8中之線IX A-IX A之一水平截面圖。底板60之突起64-2延伸至晶圓匣40中之第二狹槽52-2中。突起64-2之各者可經構形以接觸晶圓匣40中之一第二狹槽52-2之至少一側壁54-2。突起64-2與狹槽52-2之間的接觸防止晶圓匣40與底板60之間的水平移動(例如，在第一水平方向D 2上，在第二水平方向D 3上)。如圖9A中所展示，晶圓匣40之突出部58可適配至一對突起64-2之間的空間中。突出部58可直接收縮成對之突起64-2之各者。突出部58接觸成對之突出部64-2之各者以防止至少一水平方向上(例如，水平方向D 2上)之移動。
圖9B係圖8中之耦合晶圓匣40及底板60之一截面圖。圖9B中之截面圖係沿圖8中之線IX B-IX B之一水平截面圖。底板60之突起64-1延伸至晶圓匣40中之第一狹槽52-1中。突起64-1之各者可經構形以接觸晶圓匣40中之一第一狹槽52-1之至少一側壁54-1。突起64-1與狹槽52-1之間的接觸防止晶圓匣40與底板60之間的水平移動(例如，晶圓匣40在底板60上之滑動、在第一水平方向D 2上之移動、在第二水平方向D 3上之移動)。如圖9B中所展示，第二突起62-1經構形以不延伸至晶圓匣50之第一槽52-1中。例如，如由圖9A及圖9B展示，第一突起64-1可具有比第二突起64-2大之一高度(例如，在如圖8中所展示之豎直方向D 1上)。一般而言，受壓縮偏置構件80A能夠有利地限制晶圓匣40相對於艙10之豎直移動，而底板60限制晶圓匣40相對於艙10之水平移動。偏置構件80A及底板60限制晶圓匣40在內部空間12內之移動使得晶圓匣40可在晶圓容器1內安全穩固地運輸。
態樣：
態樣1至10中之任一者可與態樣11至8中之任一者組合。
態樣1。一種晶圓容器，其包括：一艙，其包含一或多個側壁、一封閉端、一開放端及由該一或多個側壁及該封閉端界定之一內部空間；一門，其經構形以關閉該艙之該開放端；一晶圓匣，其包含一頂壁；一底板；及一偏置構件，其中當該開放端由該門關閉時，該底板位於該門與該晶圓匣之間，且該偏置構件受壓縮於該晶圓匣之該頂壁與該艙之該封閉端之間且頂推該晶圓匣及該底板抵靠該門。
態樣2。如態樣1之晶圓容器，其中當該開放端由該門關閉時，該偏置構件頂推該晶圓匣抵靠該底板。
態樣3。如態樣1及2中任一者之晶圓容器，其中該偏置構件包含一第一端、與該第一端對置之一第二端、一第一彈性彎折及一第二彈性彎折，該第一端經由該第一彈性彎折及該第二彈性彎折連接至該第二端。
態樣4。如態樣3之晶圓容器，其中當開口由該門關閉時，該偏置構件之該第一端與該艙接觸，且該偏置構件之該第二端與該晶圓匣接觸。
態樣5。如態樣3及4中任一者之晶圓容器，其中該偏置構件之該壓縮減小該第一彈性彎折之一彎折角且增大該第二彈性彎折之一彎折角。
態樣6。如態樣1至5中任一者之晶圓容器，其中當該開口由該門關閉時，該偏置構件自該晶圓匣之該頂壁延伸至該艙之該封閉端。
態樣7。如態樣1至6中任一者之晶圓容器，其中該艙之該封閉端包含一向內表面及延伸遠離該封閉端之該向內表面之一通道，該偏置構件包含沿該偏置構件之一長度延伸之一肋，且該偏置構件藉由安置於該封閉端之該通道中之該偏置構件之該肋附接至該艙。
態樣8。如態樣1至7中任一者之晶圓容器，其中該底板包含一頂部及自該頂部延伸之一突起，該晶圓匣之基部包含一狹槽，且當該開口由該門關閉時，該突起延伸至該狹槽中以耦合該晶圓匣及該底板。
態樣9。如態樣1至8中任一者之晶圓容器，其中該底板包含具有一凹口之一底部，該門包含一向內表面及自該向內表面延伸之一突起，且當該開口由該門關閉時，該突起延伸至該凹口中以耦合該底板及該門。
態樣10。如態樣9之晶圓容器，其中該底板包含一頂部及自該頂部延伸之一突起，該晶圓匣之基部包含一狹槽，其中當該開口由該門關閉時，該突起延伸至該狹槽中以耦合該晶圓匣及該底板，且該門及之該突起與該底板之該突起具有相同形狀。
態樣11。一種用於將一晶圓匣固定於一封閉艙之一內部空間內之尺寸調適系統，該內部空間由一或多個側壁、一封閉端及用該封閉艙之一門關閉之一開放端界定，該尺寸調適系統包含：一底板，其具有一頂部及一底部，該底板經構形以安置於該晶圓匣與該門之間的該內部空間中，該底板包含以下之至少一者：一突起，其自該底板之一頂部延伸，該突起經構形以延伸至該晶圓匣之一狹槽中以將該底板耦合至該晶圓匣，及一凹口，其位於該底板之該底部中，該凹口經構形以接納該門之一突起以耦合該底板及該門；及一偏置構件，其經構形以壓縮安置於該晶圓匣與該內部空間中之該艙之一封閉端之間，受壓縮之該偏置構件頂推該晶圓匣及該底板抵靠該門。
態樣12。如態樣11之尺寸調適系統，其中該偏置構件在受壓縮安置於該晶圓匣與該內部空間中之該艙之該封閉端之間時經構形以頂推該晶圓匣抵靠該底板。
態樣13。如態樣11及12中任一者之尺寸調適系統，其中該偏置構件包含一第一端、與該第一端對置之一第二端、一第一彈性彎折及一第二彈性彎折，且該第一端經由該第一彈性彎折及該第二彈性彎折連接至該第二端。
態樣14。如態樣13之尺寸調適系統，其中該偏置構件經構形以受壓縮安置於該晶圓匣與該內部空間中之該艙之該封閉端之間使得該偏置構件之該第一端與該艙接觸且該偏置構件之該第二端與該晶圓匣接觸。
態樣15。如態樣13及14中任一者之尺寸調適系統，其中該偏置構件經構形使得該壓縮減小該第一彈性彎折之一彎折角且增大該第二彈性彎折之一彎折角。
態樣16。如態樣11至15中任一者之尺寸調適系統，其中該艙之該封閉端包含一向內表面及延伸遠離該封閉端之該向內表面之一通道，且該偏置構件包含沿該偏置構件之一長度延伸之一肋，該偏置構件經構形以藉由使該偏置構件之該肋滑動至該封閉端之該通道中來附接至該艙。
態樣17。如態樣11至16中任一者之尺寸調適系統，其中該底板包含該凹口。
態樣18。如態樣11至17中任一者之尺寸調適系統，其中該底板包含該突起及該凹口。
本發明中所揭示之實例在所有方面應視為具有繪示性而非限制性。本發明之範疇由隨附申請專利範圍而非上文描述給定；且落在申請專利範圍之含義內之所有變化及等效物範圍旨在涵蓋於其中。
1:晶圓容器 10:艙 12:內部空間 14:側壁 16:封閉端 18:開放端 20:向內表面 22A:通道 22B:通道 30:門 32:向內表面 34-1:突起 34-2:突起 40:晶圓匣 42:層架 44:頂壁 46:上表面 48:基部 52-1:狹槽 52-2:狹槽 54-1:側壁 54-2:側壁 56-1:開口側 56-2:開口側 58:突出部 60:底板 62:頂部 64-1:突起 64-2:突起 66:襯墊 68:底部 70:連接器 72:凹口 74:第一開口 76:第二開口 80A:偏置構件 80B:偏置構件 82A:第一端 84A:第二端 86A:第一彈性彎折 88A:第二彈性彎折 90A:肋 92A:剛性支撐件 D 1:豎直方向 D 2:水平方向 D 3:第二水平方向 D 4:豎直方向 F 1:力 F 2:向下力 L 1:長度 α 1:彎折角 α 2:彎折角
圖1係一晶圓容器之一實施例之一分解圖。
圖2係用於一晶圓容器之一底板之一實施例之一俯視透視圖。
圖3係根據一實施例之圖2中之底板之一仰視透視圖。
圖4係根據一實施例之圖2中之底板之一部分之放大圖。
圖5A係用於一晶圓容器之一偏置構件之一實施例之一前透視圖。
圖5B係根據一實施例之圖5A中之偏置構件之一側視圖。
圖6係用於一晶圓容器之一晶圓匣之一實施例之一仰視圖。
圖7係用於一晶圓容器之艙之一實施例之一仰視圖。
圖8係根據一實施例之圖1中之晶圓容器之一截面圖。
圖9A係根據一實施例之圖8中所指示之經耦合底板與晶圓匣之一截面圖。
圖9B係根據一實施例之圖8中所指示之經耦合底板與晶圓匣之一截面圖。
相同元件符號表示相同構件。
1:晶圓容器
10:艙
12:內部空間
14:側壁
16:封閉端
18:開放端
30:門
32:向內表面
34-1:突起
34-2:突起
40:晶圓匣
42:層架
44:頂壁
46:上表面
48:基部
60:底板
62:頂部
68:底部
80A:偏置構件
80B:偏置構件
D1:豎直方向

Claims (18)

  1. 一種晶圓容器，其包括：一艙，其包含一或多個側壁、一封閉端、一開放端及由該一或多個側壁及該封閉端界定之一內部空間；一門，其經構形以關閉該艙之該開放端；一晶圓匣，其包含一頂壁；一底板；及一偏置構件，其包含一第一端、一第一彈性彎折及至少一剛性支撐件，該至少一剛性支撐件係提供於該第一端與該第一彈性彎折之間，且該至少一剛性支撐件在該偏置構件被壓縮時不彎曲；其中當該開放端由該門關閉時，該底板位於該門與該晶圓匣之間，且該偏置構件經壓縮於該晶圓匣之該頂壁與該艙之該封閉端之間且頂推該晶圓匣及該底板抵靠該門。
  2. 如請求項1之晶圓容器，其中當該開放端由該門關閉時，該偏置構件頂推該晶圓匣抵靠該底板。
  3. 如請求項1之晶圓容器，其中該偏置構件包含與該第一端對置之一第二端及一第二彈性彎折，該第一端經由該第一彈性彎折及該第二彈性彎折連接至該第二端。
  4. 如請求項3之晶圓容器，其中當開口由該門關閉時，該偏置構件之該 第一端與該艙接觸，且該偏置構件之該第二端與該晶圓匣接觸。
  5. 如請求項3之晶圓容器，其中壓縮該偏置構件減小該第一彈性彎折之一彎折角度且增大該第二彈性彎折之一彎折角度。
  6. 如請求項1之晶圓容器，其中當該開口由該門關閉時，該偏置構件自該晶圓匣之該頂壁延伸至該艙之該封閉端。
  7. 如請求項1之晶圓容器，其中該艙之該封閉端包含一向內表面及延伸遠離該封閉端之該向內表面之一通道，該偏置構件包含沿該偏置構件之一長度延伸之一肋，及該偏置構件由安置於該封閉端之該通道中之該偏置構件之該肋附接至該艙。
  8. 如請求項1之晶圓容器，其中該底板包含一頂部及自該頂部延伸之一突起，該晶圓匣之基部包含一狹槽，及當該開口由該門關閉時，該突起延伸至該狹槽中以耦合該晶圓匣及該底板。
  9. 如請求項1之晶圓容器，其中該底板包含具有一凹口之一底部，該門包含一向內表面及自該向內表面延伸之一突起，及 當該開口由該門關閉時，該突起延伸至該凹口中以耦合該底板及該門。
  10. 如請求項9之晶圓容器，其中該底板包含一頂部及自該頂部延伸之一突起，該晶圓匣之該基部包含一狹槽，當該開口由該門關閉時，該突起延伸至該狹槽中以耦合該晶圓匣及該底板，及該門之該突起及該底板之該突起具有相同形狀。
  11. 一種用於將一晶圓匣固定於一封閉艙之一內部空間內之尺寸調適系統，該內部空間由一或多個側壁、一封閉端及用該封閉艙之一門關閉之一開放端界定，該尺寸調適系統包含：一底板，其具有一頂部、一底部及附接至該頂部之至少一襯墊，該底板經構形以安置於該晶圓匣與該門之間的該內部空間中，該底板包含以下之至少一者：一突起，其自該底板之一頂部延伸，該突起經構形以延伸至該晶圓匣之一狹槽中以將該底板耦合至該晶圓匣，及一凹口，其位於該底板之該底部中，該凹口經構形以接納該門之一突起以耦合該底板及該門；及一偏置構件，其經構形以經壓縮安置於該晶圓匣與該內部空間中之該艙之一封閉端之間，受壓縮之該偏置構件頂推該晶圓匣及該底板抵靠該門，且該至少一襯墊提供緩衝以減小施加至該晶圓匣之向下力。
  12. 如請求項11之尺寸調適系統，其中該偏置構件在經壓縮安置於該晶圓匣與該內部空間中之該艙之該封閉端之間時經構形以頂推該晶圓匣抵靠該底板。
  13. 如請求項11之尺寸調適系統，其中該偏置構件包含一第一端、與該第一端對置之一第二端、一第一彈性彎折及一第二彈性彎折，且該第一端經由該第一彈性彎折及該第二彈性彎折連接至該第二端。
  14. 如請求項13之尺寸調適系統，其中該偏置構件經構形以受壓縮安置於該晶圓匣與該內部空間中之該艙之該封閉端之間使得該偏置構件之該第一端與該艙接觸且該偏置構件之該第二端與該晶圓匣接觸。
  15. 如請求項13之尺寸調適系統，其中該偏置構件經構形使得該壓縮減小該第一彈性彎折之一彎折角度且增大該第二彈性彎折之一彎折角度。
  16. 如請求項11之尺寸調適系統，其中該艙之該封閉端包含一向內表面及延伸遠離該封閉端之該向內表面之一通道，及該偏置構件包含沿該偏置構件之一長度延伸之一肋，該偏置構件經構形以藉由使該偏置構件之該肋滑動至該封閉端之該通道中來附接至該艙。
  17. 如請求項11之尺寸調適系統，其中該底板包含該凹口。
  18. 如請求項17之尺寸調適系統，其中該底板包含該突起及該凹口。
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