KR20230078731A - 웨이퍼 용기 및 이를 위한 크기 적응 시스템 - Google Patents

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KR20230078731A
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모하마드 지. 에이. 무톨립
기안 피. 추아
신 쥐. 림
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

웨이퍼 용기는 포드, 도어, 상부벽을 갖는 웨이퍼 카세트, 기부판 및 바이어싱 부재를 포함한다. 포드는 측벽(들), 폐쇄 단부 및 개방 단부를 포함한다. 도어에 의해 폐쇄될 때, 기부판은 도어와 웨이퍼 카세트 사이에 위치되고, 바이어싱 부재는 웨이퍼 카세트와 포드의 폐쇄 단부 사이에서 압축된다. 폐쇄 포드의 내부 공간 내에 웨이퍼 카세트를 고정하기 위한 크기 적응 시스템은 기부판 및 바이어싱 부재를 포함한다. 기부판은 기부판과 웨이퍼 카세트를 결합하기 위한 돌출부 및 기부판과 도어를 결합하기 위한 노치 중 적어도 하나를 포함한다. 바이어싱 부재는 웨이퍼 카세트와 포드의 폐쇄 단부 사이에서 압축 상태로 배치된다.

Description

웨이퍼 용기 및 이를 위한 크기 적응 시스템
본 발명은 일반적으로 웨이퍼 용기 내에서 웨이퍼 카세트를 고정하는 것에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 발명은 웨이퍼 용기의 포드 내에서 웨이퍼 카세트를 고정하는 것에 관한 것이다.
웨이퍼 용기는 외부 포드(outer pod)에 수납된 웨이퍼 카세트를 포함할 수 있다. 웨이퍼 카세트는 떨어지거나 충돌되는 등의 충격에 노출되거나 이동될 때에 포드의 잔여부에 대해 이동될 수 있다. 웨이퍼 카세트의 이동은 포드, 카세트 또는 웨이퍼에 대한 손상으로 이어질 수 있거나, 바람직하지 않은 입자 발생으로 이어질 수 있다. 웨이퍼 용기는 특정 크기의 웨이퍼 카세트를 수용하도록 구성될 수 있다. 각각의 포드는 웨이퍼 카세트의 하나의 크기를 보유하기 위해 특정하게 구성된(예를 들어, 크기 설정, 위치 설정 등) 특징부를 가질 수 있다. 예를 들어, "200 mm" 웨이퍼 용기는 "200 mm" 웨이퍼 카세트(즉, 200 mm 폭 웨이퍼를 보유하도록 크기 설정된 웨이퍼 카세트)를 견고하게 수용하도록 구성된 포드를 포함할 수 있다.
본 발명은 일반적으로 웨이퍼 용기의 포드 내에서 웨이퍼 카세트를 고정하는 것에 관한 것이다.
도어와 웨이퍼 카세트 사이의 기부판 및 웨이퍼 카세트와 포드의 폐쇄 단부 사이의 하나 이상의 바이어싱 부재를 사용함으로써, 웨이퍼 용기는 폐쇄 포드에 대한 웨이퍼 카세트의 이동을 제한하는 하나 이상의 바이어싱 부재 및 기부판에 의해 폐쇄 포드 내에 더 작은 크기의 웨이퍼 용기를 견고하게 보유하도록 적응될 수 있다.
일 실시양태에서, 웨이퍼 용기는 포드, 도어, 웨이퍼 카세트, 기부판 및 바이어싱 부재를 포함한다. 포드는 하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부, 개방 단부 그리고 하나 이상의 측벽 및 폐쇄 단부에 의해 형성되는 내부 공간을 포함한다. 웨이퍼 카세트는 상부벽을 포함한다. 도어는 포드의 개방 단부를 폐쇄하도록 구성된다. 포드의 개방 단부가 도어에 의해 폐쇄될 때, 기부판은 도어와 웨이퍼 카세트 사이에 위치되고, 바이어싱 부재는 웨이퍼 카세트의 상부벽과 포드의 폐쇄 단부 사이에서 압축되고 도어에 대해 웨이퍼 카세트와 기부판을 가압한다.
일 실시양태에서, 개방 단부가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재는 기부판에 대해 웨이퍼 카세트를 가압한다.
일 실시양태에서, 바이어싱 부재는 제1 단부, 제1 단부에 대향하는 제2 단부, 제1 탄성 굽힘부, 및 제2 탄성 굽힘부를 포함한다. 제1 단부는 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 통해서 제2 단부에 연결된다.
일 실시양태에서, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재의 제1 단부는 포드와 접촉하고, 바이어싱 부재의 제2 단부는 웨이퍼 카세트와 접촉한다.
일 실시양태에서, 바이어싱 부재의 압축은 제1 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 감소시키고 제2 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 증가시킨다.
일 실시양태에서, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재는 웨이퍼 카세트의 상부벽으로부터 포드의 폐쇄 단부로 연장된다.
일 실시양태에서, 포드의 폐쇄 단부는 내향면 및 폐쇄 단부의 내향면으로부터 멀어지게 연장되는 채널을 포함하고, 바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 길이를 따라 연장되는 리브를 포함한다. 바이어싱 부재는 폐쇄 단부의 채널 내에 배치되는 바이어싱 부재의 리브에 의해 포드에 부착된다.
일 실시양태에서, 기부판은 상부 및 상부로부터 연장되는 돌출부를 포함하고, 웨이퍼 카세트의 기부는 슬롯을 포함한다. 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 돌출부는 웨이퍼 카세트와 기부판을 결합하도록 슬롯 내로 연장된다.
일 실시양태에서, 기부판은 노치를 구비한 저부를 포함하고, 도어는 내향면 및 내향면으로부터 연장되는 돌출부를 포함한다. 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 돌출부는 기부판과 도어를 결합하도록 노치 내로 연장된다.
일 실시양태에서, 도어의 돌출부 및 기부판의 돌출부는 동일한 형상을 갖는다.
일 실시양태에서, 크기 적응 시스템은 폐쇄 포드의 내부 공간 내에 웨이퍼 카세트를 고정하도록 구성된다. 내부 공간은 하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부, 및 폐쇄 포드의 도어에 의해 폐쇄되는 개방 단부에 의해 형성된다. 크기 적응 시스템은 웨이퍼 카세트와 도어 사이의 내부 공간에 배치되도록 구성된 기부판과 내부 공간 내에서 포드의 폐쇄 단부와 웨이퍼 카세트 사이에 압축 상태로 배치되도록 구성된 바이어싱 부재를 포함한다. 압축된 바이어싱 부재는 도어에 대해 웨이퍼 카세트와 기부판을 가압하도록 구성된다.
기부판은 상부, 저부, 및 기부판의 상부 및 기부판의 저부의 노치로부터 연장되는 돌출부 중 적어도 하나를 갖는다. 돌출부는 기부판을 웨이퍼 카세트에 결합하기 위해 웨이퍼 카세트의 슬롯 내로 연장되도록 구성된다. 노치는 기부판과 도어를 결합하기 위해 도어의 돌출부를 수용하도록 구성된다.
일 실시양태에서, 기부판은 노치를 포함한다.
일 실시양태에서, 기부판은 돌출부 및 노치를 포함한다.
도 1은 웨이퍼 용기의 실시양태의 분해도이다.
도 2는 웨이퍼 용기를 위한 기부판의 실시양태의 상부 사시도이다.
도 3은 일 실시양태에 따른 도 2의 기부판의 저면 사시도이다.
도 4는 일 실시양태에 따른 도 2의 기부판의 일부의 확대도이다.
도 5a는 웨이퍼 용기를 위한 바이어싱 부재의 일 실시양태의 정면 사시도이다.
도 5b는 일 실시양태에 따른 도 5a의 바이어싱 부재의 측면도이다.
도 6은 웨이퍼 용기를 위한 웨이퍼 카세트의 실시양태의 저면도이다.
도 7은 웨이퍼 용기를 위한 포드의 일 실시양태의 저면도이다.
도 8은 일 실시양태에 따른 도 1의 웨이퍼 용기의 단면도이다.
도 9a는 실시양태에 따른, 도 8에 나타난 바와 같은 결합된 기부판 및 웨이퍼 카세트의 단면도이다.
도 9b는 실시양태에 따른, 도 8에 나타난 바와 같은 결합된 기부판 및 웨이퍼 카세트의 단면도이다.
유사한 번호는 유사한 특징부를 나타낸다.
본 발명은 일반적으로 웨이퍼 용기의 웨이퍼 포드 내에 웨이퍼 카세트를 고정하는 것에 관한 것이다. 웨이퍼 용기는 예컨대, 반도체 제조 중 기판을 운반하기 위해 사용된다. 예를 들어, 웨이퍼 형태의 기판이 반도체 소자를 형성하도록 가공될 수 있다. 더 구체적으로, 본 발명은 웨이퍼 포드 내에 웨이퍼 카세트를 고정하기 위한 바이어싱 부재 및 기부판을 갖는 시스템에 관한 것이다. 일부 실시양태에서, 조립될 때의 웨이퍼 용기는 더 큰 웨이퍼 포드를 갖는 더 작은 웨이퍼 카세트를 고정하기 위한 기부판 및 바이어싱 부재를 포함한다.
도 1은 웨이퍼 용기(1)의 실시양태의 분해도이다. 웨이퍼 용기(1)는 포드(10), 도어(30), 웨이퍼 카세트(40), 기부판(60) 및 바이어싱 부재(80A, 80B)를 포함한다. 조립될 때, 웨이퍼 카세트(40)는 포드(10) 및 도어(30)에 의해 형성되는 내부 공간(12) 내에 수납된다.
일 실시양태에서, 크기 적응 시스템은 기부판(60) 및 하나 이상의 바이어싱 부재(80A, 80B)를 포함한다. 크기 적응 시스템은 포드(10) 내에 웨이퍼 카세트(40)를 고정하도록 구성된다. 기부판(60)은 포드(10)에 대한 웨이퍼 카세트(40)의 수평 이동을 제한하도록 구성되고, 하나 이상의 바이어싱 부재(80A, 80B)는 포드(10)에 대한 웨이퍼 카세트(40)의 수직 이동을 제한하도록 구성된다. 크기 적응 시스템은 포드 내에서 더 작은 웨이퍼 카세트(예를 들어, 웨이퍼 카세트(40))를 견고하고 안전하게 운반하도록 포드(예를 들어, 포드(10))를 적응시키는데 사용될 수 있다. 예를 들어, 포드는 제1 크기의 웨이퍼 카세트를 견고하고 안전하게 운반하도록 구성될 수 있고, 크기 적응 시스템은 그보다 크기가 작은 제2 크기의 웨이퍼 카세트를 견고하고 안전하게 운반하도록 포드를 적응시키는데 사용될 수 있다(예를 들어, 제2 웨이퍼 카세트는 제1 웨이퍼 카세트보다 작은 크기를 갖는다).
웨이퍼 용기(1)는 하나 이상의 웨이퍼, 예컨대 표준 기계 인터페이스(SMIF) 포드를 보유하기 위한 임의의 이러한 적절한 용기일 수 있다. 웨이퍼 용기(1)는 예컨대 반도체 웨이퍼의 가공, 운반 및/또는 저장 중에 하나 이상의 웨이퍼(미도시)를 보유하는데 사용될 수 있다.
웨이퍼 카세트(40)는 반도체 웨이퍼와 같은 하나 이상의 웨이퍼(미도시)를 수용하도록 구성된 내부 공간을 갖는 용기이다. 하나 이상의 웨이퍼는 웨이퍼 카세트(40)의 벽으로부터 연장되는 하나 이상의 웨이퍼 지지부 내에 각각 보유될 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 카세트(40)는 각각의 웨이퍼를 지지하도록 각각 구성된 복수의 선반(42)을 포함할 수 있다. 일 실시양태에서, 포드(40)는 제1 크기의 웨이퍼(예컨대, 200mm 웨이퍼 등)를 보유하도록 구성되는 선반을 갖는 제1 웨이퍼 카세트(미도시)를 보유하도록 구성되고, 웨이퍼 카세트(40)는 더 작은 크기의 웨이퍼(예컨대, 150mm 웨이퍼 등)를 보유하도록 구성된다.
포드(10)는 하나 이상의 측벽(14), 폐쇄 단부(16) 및 폐쇄 단부(16)에 대향하는 개방 단부(18)(도 1에는 가려짐)를 포함한다. 하나 이상의 측벽(14)은 개방 단부(18)가 도어(30)에 의해 폐쇄될 때 하나 이상의 측벽(14)이 폐쇄 단부(16)와 함께 내부 공간(12)을 형성할 수 있도록 연속적인 벽을 형성하는 임의의 수 및 배열의 측벽일 수 있다. 일 실시양태에서, 연속적인 만곡된 벽인 하나의 측벽(14)이 있다. 일 실시양태에서, 하나 이상의 측벽(14)은 직사각형 또는 정사각형 형상을 형성하는 4개의 측벽이다. 도어(30)가 개방 단부(18)에 부착되어 폐쇄될 때, 포드(10)와 도어(30)는 웨이퍼 카세트(40), 기부판(60) 및 바이어싱 부재(80A, 80B)를 수용하도록 구성된 내부 공간(12)을 형성한다.
도어(30)는 포드(10)의 개방 단부(18)를 폐쇄하도록 구성된다. 도어(30)는 포드(10)의 하나 이상의 측벽(14)에 의해 형성된 것과 대체로 유사한 형상을 가질 수 있다. 도어(30)는 웨이퍼 용기(1)를 둘러싸도록(예컨대, 내부 공간(12)을 둘러싸도록) 포드(10)에 도어(30)를 결합하기 위한 하나 이상의 맞물림 특징부를 포함할 수 있다. 도어(30)는 그 길이 및 폭 방향에 의해 형성된 평면을 가질 수 있다. 조립된 웨이퍼 용기(1)의 내부 구성이 이하에 더 상세히 설명된다.
도어(30)는 내향면(32)을 포함한다. 포드(10)가 도어(30)에 의해 폐쇄될 때, 도어(30)의 내향면(32)은 웨이퍼 용기(1)의 내부 공간(12)을 향한다. 내향면(32)은 포드(10)의 폐쇄 단부(16)를 향할 수 있다. 도어(30)는 도어(30)의 내향면(32)으로부터 연장되는 돌출부(34-1)를 포함한다. 포드(10)가 도어(30)에 의해 폐쇄될 때, 돌출부(34-1, 34-2)는 내향면(32)으로부터 내부 공간(12)으로 연장된다. 예를 들어, 돌출부(34-1, 34-2)는 내향면(32)으로부터 상향 방향으로 연장될 수 있다(예를 들어, 포드(10)의 폐쇄 단부(16)를 향해 수직 방향(D1)으로 연장된다).
일 실시양태에서, 돌출부(34-1, 34-2)는 웨이퍼 카세트(40)보다 더 큰 크기의 웨이퍼 카세트(미도시)와 직접 맞물리도록 구성된다. 예를 들어, 상기 더 큰 크기의 웨이퍼 카세트는 웨이퍼 카세트(40)보다 더 큰 폭을 갖는 웨이퍼를 운반하기 위해 웨이퍼 카세트(40)보다 더 큰 폭을 가질 수 있다(예를 들어, 웨이퍼 카세트(40)는 150mm 웨이퍼, 100mm 웨이퍼 등과 같은 더 작은 웨이퍼를 운반하기 위한 크기를 갖는 반면, 더 큰 크기의 웨이퍼 카세트는 200mm 웨이퍼를 운반하기 위한 크기를 가진다). 웨이퍼 용기(1)가 조립될 때에, 기부판(60)은 도어(30)의 적어도 하나의 돌출부(34-1)를 통해 도어(30)와 결합된다. 일 실시양태에서, 도어(30)는 하나 이상의 돌출부(34-1, 34-2)를 포함할 수 있다. 도어(30) 및 기부판(60)의 결합은 이하에 더 상세히 설명된다.
웨이퍼 카세트(40)는 상부벽(44) 및 상부벽(44)에 대향하는 기부(48)를 포함한다. 상부벽(44) 및 기부(48)는 웨이퍼 카세트(40)의 상부 및 저부를 각각 형성할 수 있다. 상부벽(44)은 상위 표면(46)을 포함한다. 웨이퍼 용기(1)가 조립될 때, 웨이퍼 카세트(40)의 상부벽(44)의 상위 표면(46)은 포드(10)의 폐쇄 단부(16)를 향한다. 예를 들어, 상부벽(44)의 상위 표면(46)은 수직 방향(D1)으로 향한다.
도 2는 일 실시양태에 따른 기부판(60)의 상부 사시도이다. 기부판(60)은 상부(62) 및 상부(62)에 대향하는 저부(68)(도 1에서 가려짐)를 포함한다. 기부판(60)은 기부판(60)의 상부(62)로부터 연장되는 돌출부(64-1, 64-2)를 포함한다. 각각의 돌출부(64-1, 64-2)는 기부판(60)의 상부(62)로부터 (예컨대, 수직 방향(D1)으로) 상향으로 연장된다. 일 실시양태에서, 도어(30)의 돌출부(34-1) 중 하나 이상은 기부판(60)의 돌출부(64-1) 중 하나 이상과 동일한 형상을 갖는다(예컨대, 도 1 참조). 일 실시양태에서, 기부판(60)은 하나 이상의 돌출부(64-1, 64-2)를 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 기부판(60)의 상부(62)는 웨이퍼 카세트(40)를 지지하기 위한 하나 이상의 패드(66)를 또한 포함할 수 있다. 패드(66)는 기부판(60)의 상위 표면에 부착될 수 있다. 웨이퍼 용기(1)가 조립될 때, 웨이퍼 카세트(40)의 기부(48)는 기부판의 상부(62)의 하나 이상의 패드(66)에 놓인다. 예를 들어, 패드(66)는 (돌출부(64-1, 64-2)를 제외한) 기부판(60)의 최상위 지지 표면을 제공할 수 있다. 패드(66)는 웨이퍼 카세트(40) 및 그 안에 수납된 임의의 웨이퍼에 인가되는 하향력을 감소시키기 위해 완충을 제공할 수 있다.
도 3은 기부판(60)의 저부(68)의 사시도이다. 기부판(60)은 기부판(60)의 저부(68) 내에 형성된 하나 이상의 커넥터(70)를 포함한다. 하나 이상의 커넥터(70)는 도어(30)와 기부판(60)을 결합시키기 위해 도어(30)의 하나 이상의 돌출부(34-1)와 맞물리도록 구성된다. 일 실시양태에서, 각각의 커넥터(70)는 도어(30)의 각각의 돌출부(34-1)와 맞물리도록 구성된다.
도 4는 도 3의 커넥터(70) 중 하나의 확대도이다. 기부판(60)의 저부(68)는 노치(72)를 포함한다. 노치(72)는 커넥터(70) 내에 형성된다. 노치(72)는 도어(30) 및 기부판(60)을 결합시키기 위해서 돌출부(34-1)를 수용하도록 각각 구성된다. 커넥터(70)는 상기 커넥터(70)의 노치(72) 중 적어도 하나 내로 연장되는 돌출부(34-1)에 의해서 그 각각의 돌출부(34-1)와 맞물린다. 웨이퍼 용기(1)가 조립될 때, 상기 각각의 돌출부(34-1)는 노치(72) 중 적어도 하나 내로 연장되고 돌출부(34-1)를 상기 적어도 하나의 노치(72)와 결합한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 이 실시양태의 커넥터(70)는 그 각각의 돌출부(34-1)와 맞물리기 위한 6개의 노치(72)를 포함한다. 일 실시양태에서, 커넥터(70)는 하나 이상의 노치(72)를 포함할 수 있다. 일 실시양태에서, 커넥터(70)는 단일 노치(72)를 포함할 수 있다. 일 실시양태에서, 커넥터(70)는 (예컨대, 수평 방향(D2) 및 수직인 수평 방향(D3) 모두를 따르는 이동을 제한하기 위해) 서로 수직으로 배열된 2개의 노치(72)를 포함할 수 있다.
웨이퍼 용기(1)가 조립될 때, 도어(30) 및 기부판(60)은 각각 돌출부(34-1) 중 하나 이상과 하나 이상의 커넥터(70)의 맞물림에 의해 함께 결합된다. 특히, 도어(30) 및 기부판(60)은 도어(30)의 그 각각의 돌출부(34-1)와 적어도 하나의 커넥터(70)의 맞물림에 의해 횡방향 결합된다. 도어(30)와 기부판(60) 사이의 횡방향 결합은 도어(30)와 기부판(60) 사이의 활주 이동을 제한하는 결합이다. 예를 들어, 커넥터(70)에 의해 제공되는 횡방향 결합은 적어도 하나의 수평 방향으로(예를 들어, 수평(D2) 방향으로, 수평 방향(D3)으로 등)의 도어(30)와 기부판(60) 사이의 이동을 제한한다. 일 실시양태에서, 커넥터(70)는 수평 방향(D2) 및 제2 수평 방향(D3) 각각을 따르는 도어(30)와 기부판(60) 사이의 이동을 제한하도록 구성된다. 일 실시양태에서, 커넥터(70) 중 적어도 하나는 수평 방향(D2) 및 제2 수평 방향(D3) 각각을 따르는 도어(30)와 기부판(60) 사이의 이동을 제한하기 위해 도어(30)의 각각의 돌출부(34-1)와 맞물리도록 구성된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 노치(72)는 노치(72)의 길이에 걸쳐 점진적으로 감소하는 폭을 가질 수 있다. 예를 들어, 노치(72)의 폭은 그 개구로부터 점진적으로 좁아진다. 기부판(60)이 도어(30)에 대하여 가압될 때, 돌출부(34-1)가 그의 상응하는 커넥터(70)의 적어도 하나의 노치(72) 내로 가압된다. 노치(72)의 형상은, 기부판(60)이 도어(30)에 대하여 가압될 때, 돌출부(34-1)가 상기 적어도 하나의 노치(72) 내로 쐐기 결합되도록 구성된다. 상응하는 하나 이상의 노치(72) 내로 쐐기 결합된 하나 이상의 돌출부(34-1)는 유리하게 도어(30) 상에서 기부판(60)을 유지할 수 있고 기부판(60)이 도어(30)로부터 의도치 않게 제거되는 것(예를 들어, 결합해제 등)을 방지할 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 카세트(40)가 기부판(60)으로부터 들어 올려질 때, 기부판(60)이 웨이퍼 카세트(40)와 함께 우발적으로 제거되는 것을 방지할 수 있다.
돌출부(34-1)의 위치는 도어(30)의 상이한 실시양태들 중에서 다양하게 있을 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같은 돌출부(34-1)의 후방 쌍은 제1 위치에 있다. 다른 실시양태에서, 돌출부(34-1)의 후방 쌍은 돌출부들이 더 이격되는 제2 위치를 가질 수 있다(예를 들어, 도 2의 돌출부(34-1)의 후방 쌍은 수평 방향(D3)으로 더 이격된다).
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 커넥터(70)의 쌍(예를 들어, 커넥터(70)의 후방 쌍)은 각각 제1 개구(74) 및 제2 개구(76)를 포함할 수 있다. 각각의 개구(74, 76)에는 적어도 하나의 노치(72)를 갖도록 형성된다. 커넥터(70) 내의 각각의 개구(74, 76)는 2개 이상의 노치(72)를 포함할 수 있고, 노치(70) 중 적어도 하나는 개구(74, 76)에 의해 공유될 수 있다.
제1 개구(74)의 쌍이 제2 개구(76)의 쌍보다 서로 더 근접하여 위치 설정된다(예를 들어, 수평 방향(D1)을 따르는 2개의 제1 개구(74) 사이의 거리는 수평 방향(D1)을 따르는 2개의 제2 개구(76) 사이의 거리보다 짧다). 제1 개구(74)는 제1 위치에서 돌출부의 후방 세트(예를 들어, 도 2에서 위치 설정된 바와 같은 돌출부(34-1))를 갖는 도어와 맞물리도록 위치된다. 제2 개구(76)는 제2 위치에서 돌출부의 후방 쌍을 가지는 도어(예를 들어, 도 2에 도시된 것보다 수평 방향(D3)으로 더 이격된 돌출부(34-1)를 가지는 도어의 실시양태)와 맞물리도록 위치 설정된다. 2쌍의 개구(74, 76)로 인해, 기부판(60)은 도어(30)의 2개의 상이한 실시양태(예를 들어, 좁게 이격된 돌출부를 갖는 제1 도어 실시양태, 더 넓게 이격된 돌출부를 갖는 제2 도어 실시양태)와 함께 사용될 수 있다.
도 5a는 바이어싱 부재(80A)의 일 실시양태의 정면 사시도이다. 도 5b는 바이어싱 부재(80A)의 측면도이다. 바이어싱 부재(80A)는 제1 단부(82A), 제2 단부(84A), 제1 탄성 굽힘부(86A), 및 제2 탄성 굽힘부(88A)를 포함한다. 제2 단부(84A)는 바이어싱 부재(80A)의 길이(L1)를 따라서 제1 단부(82A)에 대향된다. 바이어싱 부재(80A)의 길이(L1)는 그의 제1 단부(82A)로부터 그의 제2 단부(84A)까지 연장된다. 포드(10)에 부착될 때, 바이어싱 부재(80A)의 길이(L1)는 수직 방향(D1)을 따라 연장된다.
제1 단부(82A)는 제1 탄성 굽힘부(86A) 및 제2 탄성 굽힘부(88A)를 통해 제2 단부(84A)에 연결된다. 예를 들어, 제1 단부(82A)는 제1 탄성 굽힘부(86A) 및 제2 탄성 굽힘부(88A)를 통해 연속적으로 제2 단부(84A)에 연결된다. 제1 탄성 굽힘부(86A)는 제1 단부(82A)와 제2 탄성 굽힘부(88A) 사이에 있다. 제2 탄성 굽힘부(88A)는 제1 탄성 굽힘부(86A)와 제2 단부(84A) 사이에 있다.
제1 탄성 굽힘부(86A)는 굽힘 각도 α1을 갖고, 제2 탄성 굽힘부(88A)는 굽힘 각도 α2를 갖는다. 바이어싱 부재(80A)는 그의 제2 단부(84A)가 상향으로 가압될 때 압축되도록 구성된다. 예를 들어, 바이어싱 부재(80A)는 수직 방향(D1)으로 그의 제2 단부(84A)에 인가되는 힘(F1)에 의해서 압축되도록 구성된다. 바이어싱 부재(80A)의 길이(L1)는 압축됨에 따라 더 짧아진다. 압축은 제1 탄성 굽힘부(86A)의 굽힘 각도(α1)를 감소시키고, 제2 탄성 굽힘부(88A)의 굽힘 각도(α2)를 증가시킨다. 일 실시양태에서, 바이어싱 부재(80A)는 제1 탄성 굽힘부(86A)를 접고 제2 탄성 굽힘부(88A)를 펴서 압축된다. 바이어싱 부재(80A)는 탄성의 가요성 중합체로 이루어진다. 바이어싱 부재(80A)의 중합체는, 탄성 굽힘부(86A, 88A)의 휘어짐을 허용하는 한편, 바이어싱 부재(80A)가 더 이상 압축되고 있지 않을 때 탄성 굽힘부(86A, 88A)를 각각의 원래의 형상으로(예를 들어, 원래의 굽힘 각도(α1)로, 원래의 굽힘 각도(α2)로 등) 복귀시키는 탄성을 또한 갖도록 구성된다. 바이어싱 부재는 예컨대 폴리카보네이트로 이루어질 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 일 실시양태에서, 전체 바이어싱 부재(80A)는 단일 재료로 형성(예컨대, 성형)될 수 있다.
바이어싱 부재(80A)는 압축될 때 하향으로 가압되도록 구성된다. 예를 들어, 압축된 바이어싱 부재(80A)의 제2 단부(84A)는 하향 수직 방향(D4)으로 힘(F2)을 인가한다. 하향 수직 방향(D4)은 상향 수직 방향(D1)에 대향된다. 예를 들어, 하향력(F2)은 비압축 형상으로 복귀하려고 하는 인장된 탄성 굽힘부(86A, 88A)에 의해 유발된다.
바이어싱 부재(80A)는 바이어싱 부재(80A)의 길이(L1)를 따라 연장되는 적어도 하나의 강성 지지부(92A)를 포함한다. 적어도 하나의 강성 지지부(92A)는 제1 단부(82A)와 제1 탄성 굽힘부(86A) 사이에 제공될 수 있다. 제1 단부(82A)로부터 제1 탄성 굽힘부(86A)까지 연장되는 바이어싱 부재(80A)의 부분은 적어도 하나의 강성 지지부(92A)를 포함하고 강성이 되도록 구성된다. 예를 들어, 바이어싱 부재(80A)의 상기 부분은 강성 구조를 갖고 바이어싱 부재(80A)가 압축될 때 구부러지지 않도록 구성된다. 일 실시양태에서, 바이어싱 부재(90A)는 단일 재료로 이루어질 수 있고(예를 들어, 단일 재료로부터 성형될 수 있고), 하나 이상의 강성 지지부(92A)는 바이어싱 부재(90A)의 부분에 강성을 제공할 수 있다.
바이어싱 부재(80A)는 또한 한 쌍의 리브(90A)를 포함한다. 리브(90A)는 바이어싱 부재(80A)의 양 측면 상에 있고, 바이어싱 부재(80A)의 길이(L1)를 따라 연장된다. 리브(90A)는 바이어싱 부재(80A)의 제1 단부(82A)에 제공될 수 있다. 리브(90A)는 바이어싱 부재(80A)의 제1 단부(82A)와 제1 탄성 굽힘부(86A) 사이에 위치된다. 리브(90A)는 포드(10)의 각각의 채널(22A)(도 7 및 도 8에 도시) 내로 활주하도록 각각 구성된다. 바이어싱 부재(80A)는 포드(10)의 각각의 채널(22A) 내에 배치되어 있는 각각의 리브(90A)에 의해 포드(10)에 부착될 수 있다. 바이어싱 부재(80A)의 부착부는 이하에 더 상세히 설명된다.
도 6은 웨이퍼 카세트(40)의 저면도이다. 웨이퍼 카세트(40)의 기부(48)는 하위 표면(50) 및 슬롯(52-1, 52-2)을 포함한다. 슬롯(52-1, 52-2)은 웨이퍼 카세트(40)의 저부에 형성된다. 슬롯(52-1, 52-2)은 하나 이상의 측벽에 의해 형성된다. 이 실시양태에서, 웨이퍼 카세트(40)는 2개의 제1 슬롯(52-1) 및 2개의 제2 슬롯(52-1)을 포함한다. 각각의 제1 슬롯(52-1)은 기부판(48)의 하위 표면(50)으로부터 연장되는 복수의 측벽(54-1)에 의해 형성된다. 도6에 도시된 것과 같이, 각각의 슬롯(52-1)은 개방 측면(56-1)을 또한 포함할 수 있다. 예컨대, 수평 평면을 따라, 각각의 제1 슬롯(52-1)은 복수의 측벽(54-1) 및 개방 측면(56-1)에 의해 둘러싸인다.
각각의 제2 슬롯(52-2)은 복수의 측벽(54-2)에 의해 형성된다. 도 6에 도시된 바와 같이, 각각의 슬롯(52-2)은 또한 개방 측면(56-2)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 수평 평면을 따라서, 각각의 제1 슬롯(52-2)이 복수의 측벽(54-2) 및 개방 측면(56-2)에 의해 둘러싸인다. 기부(48)는 2개의 제2 슬롯(52-2)의 각각의 측벽(54-2) 중 적어도 하나를 제공하는 돌기부(58)를 포함할 수 있다(예를 들어, 돌기부(58)는 제2 슬롯(52-2) 중 첫 번째 제2 슬롯의 측벽(54-2) 및 제2 슬롯(52-2) 중 두 번째 제2 슬롯의 측벽(54-2)을 제공한다). 일 실시양태에서, 돌기부(58)는 슬롯(52-2) 사이에서 수직으로 연장되는 벽일 수 있다. 제1 슬롯(52-1) 및 제2 슬롯(52-2)은 수직 방향으로(예를 들어, 도 6의 지면으로의 방향을 따라, 도 1의 수직 방향(D1)을 따라) 중첩될 수 있다.
도 7은 포드(10)의 저면도이다. 포드(10)는 폐쇄 단부(16), 개방 단부(18) 및 하나 이상의 측벽(14)을 포함한다. 포드(10)는 또한 바이어싱 부재(80A, 80B)를 포드(10)에 부착하기 위한 채널(22A, 22B)을 포함할 수 있다. 포드(10)의 폐쇄 단부(16)는 내향면(20)과 채널(22A, 22B)을 포함한다. 내향면(20)은 웨이퍼 용기(1)의 내부 공간(12)을 향한다. 각각의 채널(22A, 22B)은 폐쇄 단부(16)의 내향면(20)으로부터 연장된다. 예를 들어, 각각의 채널(22A, 22B)은 폐쇄 단부(16)의 내향면(20)으로부터 수직 방향(D4)으로 포드(10)의 개방 단부(18)를 향해 연장될 수 있다(예를 들어, 도 8 참조).
포드(10)는 제1 바이어싱 부재(80A)를 위한 한 쌍의 채널(22A) 및 제2 바이어싱 부재(80A)를 위한 한 쌍의 채널(22B)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 바이어싱 부재(80A)의 각각의 리브(90A)는 채널(22A) 중 각각의 하나에 배치된다. 바이어싱 부재(80A)는 2개의 채널(22A) 사이에서 제1 단부(82A)를 활주시킴으로써 포드(10)에 부착될 수 있다. 바이어싱 부재(80A)의 제1 단부(82A)에 있는 각각의 리브(90A)는 각각의 채널(22A) 내로 활주한다. 바이어싱 부재(80A)의 제1 단부(82A)는 그의 상응하는 채널 쌍(22A) 사이에 배치된다. 바이어싱 부재(80A)는 바이어싱 부재(80A)와 포드(10)를 결합하기 위해 포드(10) 내의 각각의 슬롯(22A) 내에 배치되는 적어도 하나의 리브(90A)를 갖는다. 일 실시양태에서, 바이어싱 부재(80A)는 2개의 채널(22A) 사이에 압입됨으로써 채널(22A) 내에 보유된다.
채널(22A)에 의해 제공된 부착부는 바이어싱 부재(80A)의 제1 단부(82A)와 포드(10)의 폐쇄 단부(16) 사이의 활주 이동을 제한하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 채널(22A, 22B)에 의해 제공된 부착부는 바이어싱 부재(80A)의 제1 단부(82A)와 포드(10)의 폐쇄 단부(16) 사이의 수평 이동(예를 들어, 수평 방향(D2)으로, 제2 수평 방향(D3)으로 등의 수평 이동)을 제한할 수 있다. 채널(22A)과 그의 각각의 바이어싱 부재(80A) 사이의 부착부는 또한 바이어싱 부재(80A)가 더 이상 압축되고 있지 않을 때(예를 들어, 웨이퍼 용기(1)로부터 웨이퍼 카세트(40)를 제거하기 위해 포드(10)가 개방될 때 등) 포드(10) 상에 바이어싱 부재(80A)를 보유하도록 구성될 수 있다.
도 8은 웨이퍼 용기(1)의 단면도이다. 도 8의 단면은 (웨이퍼 용기(1)가 조립될 때) 도 1의 IIX-IIX 선을 따르는 단면도이다. 조립될 때, 포드(10)의 개방 단부(18)는 도어(30)로 폐쇄되고, 웨이퍼 카세트(40), 기부판(60) 및 바이어싱 부재(80A, 80B)는 내부 공간(12) 내에 수납된다. 도어(30)는 포드(10)의 개방 단부(18)를 밀봉하고 내부 공간(12)을 둘러쌀 수 있다. 웨이퍼 카세트(40)는 기부판(60)과 도어(30) 상에 적층되고, 기부판(60)과 압축된 하나 이상의 바이어싱 부재(80A, 80B) 사이에 위치된다. 기부판(60)은 도어(30) 상에 적층되고, 도어(30)와 웨이퍼 카세트(40) 사이에 위치된다. 웨이퍼 카세트(40)의 기부(48)는 기부판(60)의 상부(62)와 접촉하고, 기부판(60)의 저부(68)는 도어(30)의 내향면(32)과 접촉한다. 예를 들어, 기부판(60)의 저부(68)의 외벽은 도어(30)의 내향면(32)과 접촉할 수 있다.
웨이퍼 용기(1)가 조립될 때, 돌출부(64-1, 64-2)는 각각 포드(10)의 폐쇄 단부(16)를 향해 연장된다. 각각의 돌출부(64-1, 64-2)는 웨이퍼 카세트(40)의 기부(48) 내의 슬롯(52-1, 52-2)(도 6 및 도 8에 도시) 중 하나 내로 연장되도록 구성된다. 돌출부(64-1, 64-2)와 각각의 슬롯(52-1, 52-2)의 맞물림은 기부판(60)을 웨이퍼 카세트(40)와 결합시킨다. 특히, 각각의 슬롯(52-1, 52-2)으로 연장되는 돌출부(64-1, 64-2)는 웨이퍼 카세트(40)와 기부판(60)을 횡방향 결합한다. 웨이퍼 카세트(40)와 기부판(60) 사이의 횡방향 결합은 웨이퍼 카세트(40)와 기부판(60) 사이의 활주 이동을 제한하는 결합이다. 예를 들어, 돌출부(64-1, 64-2)에 의해 제공되는 횡방향 결합은 적어도 하나의 수평 방향으로(예를 들어, 수평 방향(D2)으로, 수평 방향(D2)에 수직인 수평 방향(D3)으로 등)의 웨이퍼 카세트(40)와 기부판(60) 사이의 이동을 제한한다. 일 실시양태에서, 돌출부(64-1, 64-2)는 수평 방향(D2) 및 제2 수평 방향(D3) 각각을 따르는 웨이퍼 카세트(40)와 기부판(60) 사이의 이동을 제한하도록 구성된다. 일 실시양태에서, 돌출부(64-1) 중 하나 및 각각의 슬롯(52-1)이 수평 방향(D2) 및 제2 수평 방향(D3) 각각을 따르는 이동을 제한하도록 구성된다. 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 돌출부(34-1)는 제2 돌출부(64-1)가 각각의 슬롯(52-1)에 도달할 수 있도록 슬롯(52-2)을 통해서 연장될 수 있다.
도 8에 도시된 것과 같이, 도어(30)의 돌출부(34-1)는 웨이퍼 카세트(40) 내의 슬롯(52-1)과 수직으로 정렬되지 않는다(예컨대, 돌출부(34-1)는 슬롯(52-1)에 끼워지지 않을 것이고, 돌출부(34-1)는 수평 이동을 방지하도록 슬롯(52-1)의 측벽(들)에 인접하지 않을 것이다). 예를 들어, 포드(10)는 원래 웨이퍼 카세트(40)보다 더 큰 웨이퍼 카세트와 함께 사용되도록 설계될 수 있다. 더 큰 웨이퍼 카세트는 웨이퍼 카세트(40)보다 더 큰 폭(예컨대, 수평 방향(D3)으로)을 갖는다. 더 큰 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼 카세트(40)의 축소는 슬롯(52-1)들 중 적어도 하나가 더 이상 그의 상응하는 돌출부(34-1)와 정렬되지 않게 한다. 기부판(60) 및 하나 이상의 바이어싱 부재(80A, 80B)는, 웨이퍼 용기(1)의 내부 공간(12) 내에 웨이퍼 카세트(40)를 적절하게 고정하는 데 호환되지 않는 구성을 갖는 포드(10) 및 도어(30) 내에 웨이퍼 카세트(40)를 고정하도록 구성된다.
간결성을 위해, 이하의 설명은 제1 바이어싱 부재(80A)에 관한 것이다. 제2 바이어싱 부재(80B)를 포함하는 웨이퍼 용기(1)의 실시양태는 제1 바이어싱 부재(80A)에 대해 설명된 바와 유사한 구성을 가질 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 도시된 실시양태에서, 2개의 바이어싱 부재(80A, 80B)는 수평 평면을 따라 웨이퍼 카세트(40) 상에 더 일정한 하향 압력을 유리하게 제공할 수 있다. 다른 실시양태에서, 웨이퍼 용기(1)는 단일 바이어싱 부재(80A)를 갖도록 구성될 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 바이어싱 부재(80A)는 웨이퍼 카세트(40)와 포드(10)의 폐쇄 단부(16) 사이에 위치된다. 바이어싱 부재(80A)는 카세트(40)의 상부벽(44)의 상위 표면(46)으로부터 포드(10)의 폐쇄 단부(16)의 내향면(20)으로 연장된다. 폐쇄된 포드(10)에서, 바이어싱 부재(80A)는 웨이퍼 카세트(40)의 상부벽(44)과 포드(10)의 폐쇄 단부(16) 사이에서 압축된다. 조립된 웨이퍼 용기(1) 내의 바이어싱 부재(80A)는 웨이퍼 카세트(40)의 상부벽(44)과 포드(10)의 폐쇄 단부(16) 사이에서 압축되어 배치되도록 구성된다.
도어(30)에 의한 포드(10)의 개방 단부(18)의 폐쇄는 바이어싱 부재(80A)를 압축한다. 결합된 웨이퍼 카세트(40) 및 기부판(60)의 높이(예컨대, 수직 방향(D1)으로의 높이)는 (비압축 상태의) 바이어싱 부재(80A)의 제2 단부(84A)와 폐쇄된 도어(30) 사이의 수직 공간보다 크다. 도어(30)가 도 8에 도시된 바와 같이 폐쇄 위치로 이동될 때(예컨대, 포드(10)의 개방 단부(18)를 밀봉하기 위해 수직 상향으로 이동될 때), 적층된 도어(30), 기부판(60) 및 웨이퍼 카세트(40)는 바이어싱 부재(80A)에 대해 상향으로 가압되고 바이어싱 부재(80A)를 압축한다. 웨이퍼 카세트(40)의 상부벽(44)은 바이어싱 부재(80A)의 제2 단부(84A)를 수직 상향으로(예컨대, 수직 방향(D1)으로) 가압한다. 제2 단부(84A)는 포드(10)의 폐쇄 단부(16)에 근접하게 수직 상향으로 이동되고, 바이어싱 부재(80A)는 포드(10)의 폐쇄 단부(16)와 웨이퍼 카세트(40) 사이에서 압축된다.
바이어싱 부재(80A)의 제1 단부(82A)는 포드(10)의 폐쇄 단부(16)와 접촉하고, 바이어싱 부재(80A)의 제2 단부(84A)는 웨이퍼 카세트(40)의 상부벽(44)과 접촉한다. 예를 들어, 제1 단부(82A)는 폐쇄 단부(16)의 내향면(20)과 접촉하고, 제2 단부(84A)는 웨이퍼 카세트(40)의 상부벽(44)의 상위 표면(46)과 접촉한다. 제2 단부(84A)는 접촉을 최소화하도록 위해 웨이퍼 카세트(40)의 편평면과 접촉한다(예컨대, 웨이퍼 카세트(40)의 상위 표면(46)의 편평한 부분과 접촉한다).
압축은 바이어싱 부재(80A)를 인장시켜 하향력(예를 들어, 도 5b의 하향력(F2))을 인가하게 된다. 압축된 바이어싱 부재(80A)는 웨이퍼 카세트(40)의 상부벽(44)을 하향으로 가압한다. 압축된 바이어싱 부재(80A)는 도어(30)의 내향면(32)에 대해 웨이퍼 카세트(40) 및 기부판(60)을 가압한다. 압축된 바이어싱 부재(80A)는 기부판(60)의 상부(62)에 대해 웨이퍼 카세트(40)를 가압하는데, 이는 도어(30)의 내향면(32)에 대해 기부판(60)을 가압한다. 웨이퍼 카세트(40) 및 기부판(60)은 수직 방향을 따라(예를 들어, 수직 방향(D1)으로, 수직 방향(D4)으로) 압축된 바이어싱 부재(80A)와 도어(30) 사이에 압착된다.
압축된 바이어싱 부재(80A)에 의해 인가된 하향력은 대체로 웨이퍼 카세트(40) 및 기부판(60)의 상향 이동(예를 들어, 상향 수직 방향(D1)으로의 이동)을 방지한다. 압축된 바이어싱 부재(80A)에 의한 하향력은 또한, 카세트(40)가 기부판(60)으로부터 결합해제되는 것을 방지하도록 그리고 기부판(60)이 도어(30)로부터 결합해제되는 것을 방지하도록 구성된다. 예를 들어, 하향력은, 기부판(60)의 돌출부(64-1, 64-2)를 카세트(40) 내의 각각의 슬롯(52-1, 52-2)의 외부로 당길 수 있을 정도로 충분히 큰 카세트(40)의 상향 수직 이동을 방지하도록 구성된다. 예를 들어, 하향력은, 도어(30)의 돌출부(34-1)를 기부판(60) 내의 각각의 하나 이상의 노치(72)의 외부로 당길 수 있을 정도로 충분히 큰 도어(30)에 대한 카세트(40) 및 기부판(60)의 상향 수직 이동을 방지하도록 구성된다.
전술된 바와 같이, 기부판(60)은 웨이퍼 카세트(40) 및 도어(30)의 각각에 횡방향 결합된다. 기부판(60)은 웨이퍼 카세트(40)를 도어(30)에 횡방향 결합한다. 폐쇄된 도어(30)는 기부판(60)이 폐쇄된 도어(30)를 거쳐 포드(10)에 대해 웨이퍼 카세트(40)를 횡방향 결합하도록 포드(10)에 결합된다. 웨이퍼 용기(1)가 조립될 때, 기부판(60)은 포드(10)에 대한 웨이퍼 카세트(40)의 수평 이동(예를 들어, 수평 방향(D2)으로, 수평 방향(D3)으로 등)을 유리하게 제한할 수 있다.
도 9a는 도 8의 결합된 웨이퍼 카세트(40) 및 기부판(60)의 단면도이다. 도 9a의 단면도는 도 8의 선 IXA-IXA를 따른 수평 단면도이다. 기부판(60)의 돌출부(64-2)가 웨이퍼 카세트(40) 내의 제2 슬롯(52-2) 내로 연장된다. 각각의 돌출부(64-2)가 웨이퍼 카세트(40) 내의 제2 슬롯(52-2)의 적어도 하나의 측벽(54-2)과 접촉하도록 구성될 수 있다. 돌출부(64-2)와 슬롯(52-2) 사이의 접촉은 웨이퍼 카세트(40)와 기부판(60) 사이의 수평 이동(예를 들어, 제1 수평 방향(D2)으로, 제2 수평 방향(D3)으로의 수평 이동)을 방지한다. 도 9a에 도시된 것과 같이, 웨이퍼 카세트(40)의 돌기부(58)는 한 쌍의 돌출부(64-2) 사이의 공간에 끼워질 수 있다. 돌기부(58)는 한 쌍의 돌출부(64-2)의 각각을 직접적으로 수축시킬 수 있다. 돌기부(58)가 해당 쌍 내의 각각의 돌출부(64-2)와 접촉하여, 적어도 하나의 수평 방향(예를 들어, 수평 방향(D2))에 따른 이동을 방지한다.
도 9b는 도 8의 결합된 웨이퍼 카세트(40) 및 기부판(60)의 단면도이다. 도 9b의 단면도는 도 8의 선 IXB-IXB를 따른 수평 단면도이다. 기부판(60)의 돌출부(64-1)가 웨이퍼 카세트(40) 내의 제1 슬롯(52-1) 내로 연장된다. 각각의 돌출부(64-1)가 웨이퍼 카세트(40) 내의 제1 슬롯(52-1)의 적어도 하나의 측벽(54-1)과 접촉하도록 구성될 수 있다. 돌출부(64-1)와 슬롯(52-1) 사이의 접촉은 웨이퍼 카세트(40)와 기부판(60) 사이의 수평 이동(예를 들어, 기부판(60) 상에서의 웨이퍼 카세트(40)의 활주 이동, 제1 수평 방향(D2)을 따른 이동, 제2 수평 방향(D3)을 따른 이동)을 방지한다. 도 9b에 도시된 바와 같이, 제2 돌출부(62-1)는 웨이퍼 카세트(50)의 제1 슬롯(52-1) 내로 연장되지 않도록 구성된다. 예를 들어, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 제1 돌출부(64-1)는 (예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같이 수직 방향(D1)으로) 제2 돌출부(64-2)보다 더 큰 높이를 가질 수 있다. 일반적으로, 압축된 바이어싱 부재(80A)는 포드(10)에 대한 웨이퍼 카세트(40)의 수직 이동을 유리하게 제한할 수 있고, 기부판(60)은 포드(10)에 대한 웨이퍼 카세트(40)의 수평 이동을 제한한다. 바이어싱 부재(80A) 및 기부판(60)이 내부 공간(12) 내에서 웨이퍼 카세트(40)의 이동을 제한하여, 웨이퍼 카세트(40)는 웨이퍼 용기(1) 내에서 안전하고 견고하게 운반될 수 있다.
양태:
임의의 양태 1 내지 10을 임의의 양태 11 내지 18과 조합할 수 있다.
양태 1. 웨이퍼 용기이며, 하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부, 개방 단부, 및 하나 이상의 측벽과 폐쇄 단부에 의해 형성되는 내부 공간을 포함하는 포드; 포드의 개방 단부를 폐쇄하도록 구성된 도어; 상부벽을 포함하는 웨이퍼 카세트; 기부판; 및 바이어싱 부재를 포함하고, 개방 단부가 도어에 의해 폐쇄될 때, 기부판은 도어와 웨이퍼 카세트 사이에 위치되고, 바이어싱 부재는 웨이퍼 카세트의 상부벽과 포드의 폐쇄 단부 사이에서 압축되고 웨이퍼 카세트와 기부판을 도어에 대해 가압하는, 웨이퍼 용기.
양태 2. 양태 1에 있어서, 개방 단부가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재가 기부판에 대해 웨이퍼 카세트를 가압하는, 웨이퍼 용기.
양태 3. 양태 1 또는 2에 있어서, 바이어싱 부재는 제1 단부, 제1 단부에 대향하는 제2 단부, 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 포함하고, 제1 단부는 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 통해 제2 단부에 연결되는, 웨이퍼 용기.
양태 4. 양태 3에 있어서, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재의 제1 단부는 포드와 접촉하고, 바이어싱 부재의 제2 단부는 웨이퍼 카세트와 접촉하는, 웨이퍼 용기.
양태 5. 양태 3 또는 4에 있어서, 바이어싱 부재의 압축은 제1 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 감소시키고 제2 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 증가시키는, 웨이퍼 용기.
양태 6. 양태 1 내지 5 중 어느 하나에 있어서, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재는 웨이퍼 카세트의 상부벽으로부터 포드의 폐쇄 단부로 연장되는, 웨이퍼 용기.
양태 7. 양태 1 내지 6 중 어느 하나에 있어서, 포드의 폐쇄 단부는 내향면 및 폐쇄 단부의 내향면으로부터 멀어지게 연장되는 채널을 포함하고, 바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 길이를 따라 연장되는 리브를 포함하고, 바이어싱 부재는 폐쇄 단부의 채널 내에 배치되는 바이어싱 부재의 리브에 의해 포드에 부착되는, 웨이퍼 용기.
양태 8. 양태 1 내지 7 중 어느 하나에 있어서, 기부판은 상부 및 상부로부터 연장되는 돌출부를 포함하고, 웨이퍼 카세트의 기부는 슬롯을 포함하고, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 돌출부는 웨이퍼 카세트와 기부판을 결합하도록 슬롯 내로 연장되는, 웨이퍼 용기.
양태 9. 양태 1 내지 8 중 어느 하나에 있어서, 기부판은 노치를 갖는 저부를 포함하고, 도어는 내향면 및 내향면으로부터 연장되는 돌출부를 포함하고, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 돌출부는 기부판과 도어를 결합하도록 노치 내로 연장되는, 웨이퍼 용기.
양태 10. 양태 9에 있어서, 기부판은 상부 및 상부로부터 연장되는 돌출부를 포함하고, 웨이퍼 카세트의 기부는 슬롯을 포함하고, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 돌출부는 슬롯 내로 연장되어 웨이퍼 카세트와 기부판을 결합하고, 도어의 돌출부 및 기부판의 돌출부는 동일한 형상을 갖는, 웨이퍼 용기.
양태 11. 폐쇄된 포드의 내부 공간 내에 웨이퍼 카세트를 고정하기 위한 크기 적응 시스템이며, 상기 내부 공간은 하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부 및 폐쇄된 포드의 도어로 폐쇄되는 개방 단부에 의해 형성되고, 상기 크기 적응 시스템은 상부 및 저부를 갖는 기부판으로서, 상기 기부판은 웨이퍼 카세트와 도어 사이의 내부 공간 내에 배치되도록 구성되고, 상기 기부판은 기부판의 상부로부터 연장되는 돌출부로서, 상기 돌출부는 기부판을 웨이퍼 카세트에 결합하기 위해 웨이퍼 카세트의 슬롯 내로 연장되도록 구성되는 돌출부, 및 기부판의 저부 내의 노치로서, 상기 노치는 기부판과 도어를 결합하기 위해 도어의 돌출부를 수용하도록 구성되는 노치 중 적어도 하나를 포함하는 기부판; 및 내부 공간 내에서 포드의 폐쇄 단부와 웨이퍼 카세트 사이에서 압축 상태로 배치되도록 구성되는 바이어싱 부재로서, 상기 바이어싱 부재는 압축 상태에서 웨이퍼 카세트와 기부판을 도어에 대해 가압하는 바이어싱 부재를 포함하는, 크기 적응 시스템.
양태 12. 양태 11에 있어서, 바이어싱 부재는, 내부 공간 내에서 포드의 폐쇄 단부와 웨이퍼 카세트 사이에 압축 상태로 배치될 때, 기부판에 대해 웨이퍼 카세트를 가압하도록 구성되는, 크기 적응 시스템.
양태 13. 양태 11 또는 12에 있어서, 바이어싱 부재는 제1 단부, 제1 단부에 대향하는 제2 단부, 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 포함하고, 제1 단부는 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 통해 제2 단부에 연결되는, 크기 적응 시스템.
양태 14. 양태 13에 있어서, 바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 제1 단부가 포드와 접촉하고 바이어싱 부재의 제2 단부가 웨이퍼 카세트와 접촉하도록 내부 공간 내에서 포드의 폐쇄 단부와 웨이퍼 카세트 사이에서 압축 상태로 배치되도록 구성되는, 크기 적응 시스템.
양태 15. 양태 13 또는 14에 있어서, 바이어싱 부재는 압축이 제1 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 감소시키고 제2 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 증가시키도록 구성되는, 크기 적응 시스템.
양태 16. 양태 11 내지 15 중 어느 하나에 있어서, 포드의 폐쇄 단부는 내향면 및 폐쇄 단부의 내향면으로부터 멀어지게 연장되는 채널을 포함하고, 바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 길이를 따라 연장되는 리브를 포함하고, 바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 리브를 폐쇄 단부의 채널 내로 활주시킴으로써 포드에 부착되도록 구성되는, 크기 적응 시스템.
양태 17. 양태 11 내지 16 중 어느 하나에 있어서, 기부판은 노치를 포함하는, 크기 적응 시스템.
양태 18. 양태 11 내지 17 중 어느 하나에 있어서, 기부판은 돌출부 및 노치를 포함하는, 크기 적응 시스템.
본 출원에 개시된 예는 모든 면에서 예시적이고 비제한적인 것으로 간주되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기 설명에 의해서가 아니라 첨부된 청구범위에 의해 나타나고, 청구범위의 등가의 의미 및 범위 내에 있는 모든 변경이 그 안에 포함되도록 의도된다.

Claims (18)

  1. 웨이퍼 용기이며,
    하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부, 개방 단부, 및 하나 이상의 측벽 및 폐쇄 단부에 의해 형성된 내부 공간을 포함하는 포드;
    포드의 개방 단부를 폐쇄하도록 구성된 도어;
    상부벽을 포함하는 웨이퍼 카세트;
    기부판; 및
    바이어싱 부재
    를 포함하고,
    개방 단부가 도어에 의해 폐쇄될 때, 기부판은 도어와 웨이퍼 카세트 사이에 위치되고, 바이어싱 부재는 웨이퍼 카세트의 상부벽과 포드의 폐쇄 단부 사이에서 압축되어 웨이퍼 카세트와 기부판을 도어에 대해 가압하는,
    웨이퍼 용기.
  2. 제1항에 있어서, 개방 단부가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재는 기부판에 대해 웨이퍼 카세트를 가압하는, 웨이퍼 용기.
  3. 제1항에 있어서, 바이어싱 부재는 제1 단부, 제1 단부에 대향하는 제2 단부, 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 포함하고, 제1 단부는 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 통해 제2 단부에 연결되는, 웨이퍼 용기.
  4. 제3항에 있어서, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재의 제1 단부는 포드와 접촉하고, 바이어싱 부재의 제2 단부는 웨이퍼 카세트와 접촉하는, 웨이퍼 용기.
  5. 제3항에 있어서, 바이어싱 부재의 압축은 제1 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 감소시키고 제2 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 증가시키는, 웨이퍼 용기.
  6. 제1항에 있어서, 개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 바이어싱 부재는 웨이퍼 카세트의 상부벽으로부터 포드의 폐쇄 단부로 연장되는, 웨이퍼 용기.
  7. 제1항에 있어서,
    포드의 폐쇄 단부는 내향면 및 폐쇄 단부의 내향면으로부터 멀어지게 연장되는 채널을 포함하고, 바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 길이를 따라 연장되는 리브를 포함하고,
    바이어싱 부재는 폐쇄 단부의 채널 내에 배치되는 바이어싱 부재의 리브에 의해 포드에 부착되는,
    웨이퍼 용기.
  8. 제1항에 있어서,
    기부판은 상부 및 상부로부터 연장되는 돌출부를 포함하고, 웨이퍼 카세트의 기부는 슬롯을 포함하고,
    개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 돌출부는 웨이퍼 카세트와 기부판을 결합하도록 슬롯 내로 연장되는,
    웨이퍼 용기.
  9. 제1항에 있어서,
    기부판은 노치를 갖는 저부를 포함하고, 도어는 내향면 및 내향면으로부터 연장되는 돌출부를 포함하고,
    개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 돌출부는 기부판과 도어를 결합하도록 노치 내로 연장되는,
    웨이퍼 용기.
  10. 제9항에 있어서,
    기부판은 상부 및 상부로부터 연장되는 돌출부를 포함하고, 웨이퍼 카세트의 기부는 슬롯을 포함하고,
    개구가 도어에 의해 폐쇄될 때, 돌출부는 웨이퍼 카세트와 기부판을 결합하도록 슬롯 내로 연장되고,
    도어의 돌출부 및 기부판의 돌출부가 동일한 형상을 갖는,
    웨이퍼 용기.
  11. 폐쇄 포드의 내부 공간 내에 웨이퍼 카세트를 고정하기 위한 크기 적응 시스템이며, 상기 내부 공간은 하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부 및 폐쇄 포드의 도어로 폐쇄되는 개방 단부에 의해 형성되고, 크기 적응 시스템은,
    상부 및 저부를 갖는 기부판으로서, 상기 기부판은 웨이퍼 카세트와 도어 사이의 내부 공간 내에 배치되도록 구성되고, 상기 기부판은,
    기부판의 상부로부터 연장되는 돌출부로서, 돌출부는 기부판을 웨이퍼 카세트에 결합하기 위해 웨이퍼 카세트의 슬롯 내로 연장되도록 구성되는 돌출부, 및
    기부판의 저부 내의 노치로서, 노치는 기부판과 도어를 결합하기 위해 도어의 돌출부를 수용하도록 구성되는 노치;
    중 적어도 하나를 포함하는,
    기부판; 및
    내부 공간 내에서 포드의 폐쇄 단부와 웨이퍼 카세트 사이에 압축 상태로 배치되도록 구성된 바이어싱 부재로서, 바이어싱 부재는 압축 상태에서 도어에 대해 웨이퍼 카세트와 기부판을 가압하는 바이어싱 부재
    를 포함하는,
    크기 적응 시스템.
  12. 제11항에 있어서, 바이어싱 부재는, 내부 공간 내에서 포드의 폐쇄 단부와 웨이퍼 카세트 사이에 압축 상태로 배치될 때, 기부판에 대해 웨이퍼 카세트를 가압하도록 구성되는, 크기 적응 시스템.
  13. 제11항에 있어서, 바이어싱 부재는 제1 단부, 제1 단부에 대향하는 제2 단부, 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 포함하고, 제1 단부는 제1 탄성 굽힘부 및 제2 탄성 굽힘부를 통해 제2 단부에 연결되는, 크기 적응 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 제1 단부가 포드와 접촉하고 바이어싱 부재의 제2 단부가 웨이퍼 카세트와 접촉하도록 내부 공간 내에서 포드의 폐쇄 단부와 웨이퍼 카세트 사이에서 압축 상태로 배치되도록 구성되는, 크기 적응 시스템.
  15. 제13항에 있어서, 바이어싱 부재는 압축이 제1 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 감소시키고 제2 탄성 굽힘부의 굽힘 각도를 증가시키도록 구성되는, 크기 적응 시스템.
  16. 제11항에 있어서,
    포드의 폐쇄 단부는 내향면 및 폐쇄 단부의 내향면으로부터 멀어지게 연장되는 채널을 포함하고,
    바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 길이를 따라 연장되는 리브를 포함하고, 바이어싱 부재는 바이어싱 부재의 리브를 폐쇄 단부의 채널 내로 활주시킴으로써 포드에 부착되도록 구성되는,
    크기 적응 시스템.
  17. 제11항에 있어서, 기부판은 노치를 포함하는, 크기 적응 시스템.
  18. 제17항에 있어서, 기부판은 돌출부 및 노치를 포함하는, 크기 적응 시스템.
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