CN219468365U - 晶圆存储盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆片存储及运输技术领域，具体涉及一种晶圆存储盒。晶圆存储盒包括：顶盖，可拆卸连接有弹片架；底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架；锁紧组件，设置于晶圆存储盒；当锁紧组件处于锁紧状态时，弹片架抵接于晶圆片架内的晶圆，以实现晶圆片架内的晶圆固定；当锁紧组件处于解锁状态时，弹片架解除抵接于晶圆片架，以实现晶圆片架内的晶圆解除固定；本实用新型实施例中的晶圆存储盒能够供多种类型的晶圆片架容置，也就是说，晶圆存储盒在存储和/或运输过程中能够放置多种规格的晶圆片，从而增大了晶圆存储盒的使用范围。

Description

晶圆存储盒

技术领域

本实用新型涉及晶圆片存储以及运输技术领域，特别涉及一种晶圆存储盒。

背景技术

目前，市场上的晶圆存储盒多为将晶圆片架竖直放置于晶圆存储盒中，并且现有的晶圆存储盒仅能够存储单一规格的晶圆片，例如，申请号为201821311775.0的一种晶圆存储盒，该晶圆存储盒包括顶盖与底盖，顶盖内设置有供晶圆片架上的晶圆片抵接的弹片架，底盖内设置有限位凸块，参考文中说明书所述，该晶圆存储盒能够保护晶圆片，并且提高了该晶圆存储结构的紧凑程度，但是该晶圆存储盒还是仅能够存储单一规格的晶圆片。

基于此，提出一种晶圆存储盒以解决前述技术问题。

实用新型内容

本实用新型在于提供一种晶圆存储盒，以解决现有的晶圆存储盒适用范围小的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型提供一种晶圆存储盒，所述晶圆存储盒包括：

顶盖，可拆卸连接有弹片架。

底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架。

锁紧组件，设置于所述晶圆存储盒；当所述锁紧组件处于锁紧状态时，所述弹片架抵接于所述晶圆片架内的晶圆，以实现所述晶圆片架内的晶圆固定；当所述锁紧组件处于解锁状态时，所述弹片架解除抵接于所述晶圆片架，以实现所述晶圆片架内的晶圆解除固定。

在一具体实施例中，所述底盖设置有限位部，所述限位部的数量为多个，以适配多种型号的所述晶圆片架，从而实现储存和运输多种规格的晶圆片。

在一具体实施例中，多个所述限位部的高度不等；多个所述限位部的坡度不等。

在一具体实施例中，所述限位部具有导向面；所述导向面为斜面，以使所述晶圆片架处于倾斜状态。

当所述晶圆片架处于倾斜状态时，所述晶圆片架能够供任一所述晶圆片贴合。

在一具体实施例中，所述锁紧组件包括母部件与子部件，其中，所述母部件设置于所述底盖；及/或，所述母部件与所述底盖一体成型；所述子部件可拆卸连接于所述顶盖。

所述母部件能够相对所述子部件处于锁紧或者解锁状态；当所述母部件相对所述子部件处于锁紧状态时，所述晶圆存储盒处于闭合状态；当所述母部件相对所述子部件处于解锁状态时，所述晶圆存储盒处于打开状态。

在一具体实施例中，所述锁紧组件的数量为多个。

在一具体实施例中，所述晶圆片架与所述弹片架相适配。

在一具体实施例中，所述顶盖设置有支撑部，所述支撑部设置有锁紧件，以实现所述弹片架与所述支撑部抵接。

在一具体实施例中，所述锁紧件适配于多种型号的所述弹片架。

在一具体实施例中，所述锁紧件与所述顶盖一体成型。

所述锁紧件的数量为多个，以实现所述锁紧件适配于多种型号的所述弹片架。

在一具体实施例中，所述晶圆存储盒相对所述锁紧组件一侧设置有铰接件，所述铰接件分别连接于所述顶盖与所述底盖，以实现所述晶圆存储盒在打开状态与闭合状态之间切换。

由上述技术方案可知，本实用新型实施例至少具有如下优点和积极效果：

本实用新型实施例中的晶圆存储盒能够供多种类型的晶圆片架容置，也就是说，晶圆存储盒在存储和/或运输过程中能够放置多种规格的晶圆片，从而增大了晶圆存储盒的使用范围。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型晶圆存储盒关闭状态的结构示意图；

图2为本实用新型晶圆存储盒打开状态的结构示意图；

图3为本实用新型图1的爆炸示意图。

附图标记说明如下：

1-晶圆存储盒；

10-顶盖；100-支撑部；1000-锁紧件；101-弹片架；

11-底盖；110-第一限位部；1100-第一引导面；111-第二限位部；1110-第二引导面；111-晶圆片架；

12-锁紧组件；120-母部件；121-子部件；

13-活动组件。

具体实施方式

体现本实用新型特征与优点的典型实施方式将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本实用新型能够在不同的实施方式上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非用以限制本实用新型。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

参考图1，本实用新型提供了一种晶圆存储盒1，用于在运输过程中或者其他工况下存储晶圆片，其不仅能够防止晶圆片被污染，而且能够通过防止晶圆片在运输过程中振动，以实现防止晶圆片在存储或者运输过程中发生损坏。

参考图1和图2，晶圆存储盒1包括顶盖10、底盖11和锁紧组件12以及活动组件13，其中，顶盖10与底盖11一侧通过活动组件13转动连接。显而易见地，当顶盖10与底盖11抵接时，晶圆存储盒1处于闭合状态；当顶盖10与底盖11相对分离时，晶圆存储盒1处于打开状态。需要说明的是，晶圆存储盒1不存在半闭合或者半打开状态。顶盖10与底盖11另一侧通过锁紧组件12以使顶盖10相对底盖11抵接或者分离，从而使晶圆存储盒1在打开状态与闭合状态切换。具体地，当锁紧组件12处于锁紧状态时，晶圆存储盒1处于闭合状态；当锁紧组件2处于解锁状态时，晶圆存储盒1处于打开状态或者闭合状态，需要说明的是，此时，虽然晶圆存储盒1处于闭合状态，但是顶盖10能够相对底盖11发生相对转动；和/或者，底盖11能够相对顶盖10发生相对转动。

在一具体实施例中，活动组件13可以为铰链或者合页。在其他实施例中，活动组件13的结构和形状不限。可以理解的是，只要能够实现顶盖10与底盖11转动连接的活动组件13结构皆应该在本申请的保护范围之内。

在一具体实施例中，锁紧组件12包括母部件120与子部件121，母部件120与子部件121能够实现锁紧或者解锁，从而使得晶圆存储盒1在打开状态与闭合状态之间切换。其中，母部件120设置于底盖11上，子部件121设置于顶盖10上。在一具体实施例中，母部件120可以为卡扣，子部件121可以为锁位。在其他实施例中，母部件120与子部件121均可以为其他结构。

具体地，图中示意了母部件120与底盖11一体成型。在其他具体实施例中，母部件120还可以不与底盖11一体成型，对此，不作限制。

更具体地，母部件120的数量为多个，继续参考图1，图1中示意了母部件120的数量为两个，与之对应的，子部件121的数量也为两个。在其他实施例中，母部件120与子部件121的数量均不限。更具体地，在本实施例中，两个母部件120对称。

底盖11的形状大致为长方体状，在其他实施例中，底盖11的形状还可以为正方体状，在此，不对底盖11的形状作限制。需要说明的是，只要能够实现晶圆片存储和/或运输的底盖11形状皆应该在本申请的保护范围之内。

图3中示意了底盖11结构为空心结构，其中，底盖11设置有限位部，用于实现晶圆片架111(详细参考下述)的固定。在本具体实施例中，限位部可以为限位凸块。在其他实施例中，限位部结构还可以为其他结构。需要说明的是，只要能够实现晶圆片架111相对固定(此处指的是不完全固定)的限位部结构皆应该在本申请的保护范围之内。

在一具体实施例中，限位部的形状为不规则形状，可以理解的是，限位部与晶圆片架111相适配。在其他实施例中，限位部的形状不限。需要说明的是，只要能够实现晶圆片架111相对固定的限位部形状皆应该在本申请的保护范围之内。

图3中还示意了限位部的数量为两个，且两个限位部平行间隔设置。在其他实施例中，限位部的数量不限。为了便于描述与理解将两个限位部分别命名为第一限位部110与第二限位部111，第一限位部110与第二限位部111用于实现不同规格的晶圆片架111的相对固定，从而使晶圆存储盒1能够储存不同规格的晶圆片。并且当第一限位部110与第二限位部111用于实现不同规格的晶圆片架111的相对固定时，晶圆片架111与晶圆片的相对位置还能够防止晶圆片在运输过程中振动(详细参考下述)。

在一具体实施例中，第一限位部110与第二限位部111分别对应有第一引导面1100与第二引导面1110，第一引导面1100与第二引导面1110均起到支撑和导向晶圆片架111的作用。具体地，第一引导面1100与第二引导面1110均可以为平面或者斜面。在本实施例中，第一引导面1100与第二引导面1110均为斜面，以使晶圆片架111处于倾斜状态。当晶圆片架111处于倾斜状态时，晶圆片架111中的若干个存储槽能够供任一晶圆片贴合，以保证晶圆片在存储和/或运输过程中的稳定性，从而防止晶圆片损坏。在其他实施例中，第一引导面1100与第二引导面1110还可以为曲面，在此不对第一引导面1100与第二引导面1110的类型作限制。

顶盖10与前文所述底盖11适配，其中，顶盖10包括支撑部100与弹片架101，支撑部100用于支撑并固定弹片架101，弹片架101用于抵接前文所述晶圆片架111，以实现晶圆片架111进一步固定，也就是完全固定。

在一具体实施例中，支撑部100可以为斜坡。在其他实施例中，支撑部100的形状与结构不限。可以理解的是，只要能够实现弹片架101支撑并固定的支撑部100形状皆应该在本申请的保护范围之内。

在一具体实施例中，支撑部100设置有锁紧件1000，用于实现支撑部100与弹片架101相对固定。在其他实施例中，支撑部100还可以不设置锁紧件1000，而通过其他结构实现支撑部100与弹片架101相对固定。可以理解的是，只要能够实现支撑部100与弹片架101相对固定的结构皆应该在本申请的保护范围之内。

在本具体实施例中，锁紧件1000可以与顶盖10注塑一体成型；在其他具体实施例中，锁紧件1000还可以不与顶盖10注塑一体成型，对此，不作限制。

图3中还示意了锁紧件1000的数量为多个，任意两个锁紧件1000关于支撑部100对称轴的假想线对称。在其他实施例中，锁紧件1000的数量不限。

弹片架101可拆卸连接于前文所述顶盖10，当锁紧组件12处于锁紧状态时，弹片架101抵接于晶圆片架111内的晶圆，以实现晶圆片架111内的晶圆的完全固定；当锁紧组件处于解锁状态时，弹片架101解除抵接于晶圆片架111内的晶圆，以解除晶圆片架111内的晶圆的完全固定。

虽然已参照几个典型实施方式描述了本实用新型，但应当理解，所用的术语是说明和示例性、而非限制性的术语。由于本实用新型能够以多种形式具体实施而不脱离实用新型的精神或实质，所以应当理解，上述实施方式不限于任何前述的细节，而应在随附权利要求所限定的精神和范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的全部变化和改型都应为随附权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种晶圆存储盒，其特征在于，所述晶圆存储盒包括：

顶盖，可拆卸连接有弹片架；

底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架；

锁紧组件，设置于所述晶圆存储盒；当所述锁紧组件处于锁紧状态时，所述弹片架抵接于所述晶圆片架内的晶圆，以实现所述晶圆片架内的晶圆固定；当所述锁紧组件处于解锁状态时，所述弹片架解除抵接于所述晶圆片架，以实现所述晶圆片架内的晶圆解除固定。

2.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述底盖设置有限位部，所述限位部的数量为多个，以适配多种型号的所述晶圆片架，从而实现储存和运输多种规格的晶圆片。

3.根据权利要求2所述的晶圆存储盒，其特征在于，多个所述限位部的高度不等；多个所述限位部的坡度不等。

4.根据权利要求2所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述限位部具有导向面；所述导向面为斜面，以使所述晶圆片架处于倾斜状态；

当所述晶圆片架处于倾斜状态时，所述晶圆片架能够供任一所述晶圆片贴合。

5.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述锁紧组件包括母部件与子部件，其中，所述母部件设置于所述底盖；及/或，所述母部件与所述底盖一体成型；所述子部件可拆卸连接于所述顶盖；

所述母部件能够相对所述子部件处于锁紧或者解锁状态；当所述母部件相对所述子部件处于锁紧状态时，所述晶圆存储盒处于闭合状态；当所述母部件相对所述子部件处于解锁状态时，所述晶圆存储盒处于打开状态。

6.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述锁紧组件的数量为多个。

7.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述晶圆片架与所述弹片架相适配。

8.根据权利要求7所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述顶盖设置有支撑部，所述支撑部设置有锁紧件，以实现所述弹片架供所述支撑部抵接。

9.根据权利要求8所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述锁紧件与所述顶盖一体成型；

所述锁紧件的数量为多个，以实现所述锁紧件适配于多种型号的所述弹片架。

10.根据权利要求1-9任一项所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述晶圆存储盒相对所述锁紧组件一侧设置有铰接件，所述铰接件分别连接于所述顶盖与所述底盖，以实现所述晶圆存储盒在打开状态与闭合状态之间切换。