JPH11330194A

JPH11330194A - ウェハ搬送装置

Info

Publication number: JPH11330194A
Application number: JP13037698A
Authority: JP
Inventors: Akinori Matsuzaki; 明範松▲崎▼; Michio Imai; 通夫今井; Kazutoshi Ono; 和俊大野; Toshiro Kizakihara; 稔郎木崎原
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-05-13
Filing date: 1998-05-13
Publication date: 1999-11-30

Abstract

(57)【要約】【課題】ウェハの汚染を防止でき、ウェハ保持具のクリ
ーンルーム内での運搬を簡易かつ迅速に行なうことがで
きるウェハ搬送装置を提供する。【解決手段】ウェハを保持するウェハカセット７０を開
口部６２ａから収容保持可能なウェハ保持具本体６２
と、開口部６２ａを閉鎖可能な蓋体６６とを備えるウェ
ハ保持具６１と、ウェハ保持具６１を載置する載置部９
９と、載置部９９に載置されたウェハ保持具６１の蓋体
６６を開閉可能な蓋開閉手段としての蓋体開閉機構部８
８、ウェハ保持具６１からウェハカセット７０を取り出
しまたはウェハ保持具６１にウェハカセット７０を収納
可能なウェハカセット移載手段としてリーチフォーク機
構部８１および昇降機構部９０とを備えるウェハ搬送用
台車８０とを有するものとした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハをクリーン
室内で搬送するのに好適なウェハ搬送装置およびウェハ
搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程における、たとえ
ば、ウェハプロセスでは、コンタミネーションを避ける
ため、ウェハに対して所定の処理を施す処理設備はクリ
ーンルーム内に設置される。クリーンルーム内でのウェ
ハの搬送は、たとえば、一または複数のウェハを保持す
るウェハカセットにウェハを収容し、このウェハカセッ
トを移動することにより行なわれる。たとえば、オープ
ン式ウェハカセットとよばれるものでは、ウェハカセッ
トには、ウェハが整列保持されているが、ウェハはウェ
ハカセットの外部に露出した構成となっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述のオープン式のウ
ェハカセットでは、ウェハはクリーンルーム内の空気に
晒されるため、クリーンルーム内がダストや化学物質等
によって汚染されると、ウェハも汚染されやすくなる。
また、従来においては、クリーンルーム内のウェハに所
定の処理を施す装置へのウェハの投入は、たとえば、作
業者がウェハカセットを当該装置まで運ぶことにより行
なっていた。このため、ウェハカセットに保持されたウ
ェハが作業者によって汚染される可能性もあった。

【０００４】本発明は、上述の不利益を解消すべくなさ
れたものであって、ウェハの汚染を防止でき、ウェハ保
持具のクリーンルーム内での運搬を簡易かつ迅速に行な
うことができるウェハ搬送装置を提供することを目的と
する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、ウェハを保持
するウェハカセットを開口部を通じて収容保持可能なウ
ェハ保持具本体と、前記開口部を閉鎖可能な蓋体とを備
えるウェハ保持具と、前記ウェハ保持具を載置する載置
部と、前記載置部に載置されたウェハ保持具の前記蓋体
を開閉可能な蓋開閉手段と、前記ウェハ保持具からウェ
ハカセットを取り出しまたは前記ウェハ保持具に前記ウ
ェハカセットを収納可能なウェハカセット移載手段とを
備えるウェハ搬送用台車とを有する。

【０００６】本発明では、ウェハ搬送用台車の載置部に
ウェハ保持具を載置して、当該台車を所定の場所に移動
する。ここで、蓋開閉手段は、ウェハ保持具の蓋体を開
き、ウェハ保持具本体の開口部は開くことになる。この
状態で、ウェハカセット移載手段によってウェハ保持具
本体内のウェハカセットが取り出され、所定の載置場所
に移載されることになる。また、蓋開閉手段は、ウェハ
カセットの移載が完了すると、ウェハ保持具本体の開口
部を蓋体によって閉じる。

【０００７】前記ウェハ保持具は、前記蓋体を前記ウェ
ハ保持具本体の開口部に固定するロッキング手段を有す
る。この構成では、ウェハ保持具本体の開口部から蓋体
が脱落しない。

【０００８】前記蓋体または前記ウェハ保持具本体の開
口部は、当該蓋体と開口部との間を気密にシーリングす
るシール手段を有する。この構成では、ウェハ保持具内
に収容されたウェハがウェハ保持具の外部の雰囲気によ
って汚染されることが確実の防止される。

【０００９】前記ウェハ保持具は、前記ウェハカセット
の位置ずれ防止手段を有する。

【００１０】前記ウェハ保持具は、前記ウェハの位置ず
れ防止手段を有する。

【００１１】前記ウェハ搬送用台車は、前記載置部に載
置されたウェハ保持具のロッキング手段を作動または解
除させるロッキング操作手段を有する。

【００１２】前記ウェハ搬送用台車は、前記載置部に載
置されたウェハ保持具を当該載置部に対して押圧する保
持具押圧手段を有する。

【００１３】前記保持具押圧手段は、支持部材によって
鉛直方向に移動自在に保持され、先端が前記載置部に載
置されたウェハカセットの上面に当接可能な重り部材
と、前記重り部材を所定の位置に固定する固定手段とを
有し、前記重り部材の前記固定手段による所定の位置へ
の固定を解放することにより、前記ウェハカセットの上
面を前記載置部に向けて押圧する。このような構成で
は、蓋開閉手段やウェハカセット移載手段などの動作時
に、ウェハ保持具本体に力が働いても、ウェハ保持具本
体は載置部に押圧されているため、位置ずれを起こすこ
とがない。

【００１４】前記蓋開閉手段は、前記蓋体を把持する把
持手段と、前記把持手段を所定の回転角で旋回可能な旋
回手段とを有する。この構成では、把持手段によって把
持された蓋体は、旋回手段によって移動し、ウェハ保持
具本体の開口部が開くことになる。また、逆の動作によ
って保持具本体の開口部は閉じられることになる。

【００１５】前記ウェハカセット移載手段は、直線方向
に移動自在に支持された前記ウェハカセットの下部を保
持可能な２本のフォーク部材と、前記二本の平行なフォ
ーク部材を直動させる駆動源とを有するリーチフォーク
機構部と、前記リーチフォーク機構を昇降させるリフト
機構部とを有する。

【００１６】前記ウェハカセットの下部の両側には、前
記二本の平行なフォーク部材の間に嵌合する切欠部が形
成されている。

【００１７】前記ウェハ保持具には、前記ウェハカセッ
トの下面を保持する二条の平行な受部が形成されてい
る。

【００１８】前記二本の平行なフォーク部材は、前記二
条の平行な受部の側方に形成される空間を通じて前記ウ
ェハカセットとウェハ保持具の下面との間に挿入可能で
ある。

【００１９】前記ウェハ搬送用台車は、前記ウェハカセ
ットを載置する所定の載置台に対して対して当該ウェハ
搬送用台車を位置決めする位置決め手段と、前記所定の
載置台に対する前記２本のフォーク部材の相対位置を調
整する相対位置調整手段とを有する。

【００２０】前記位置決め手段は、前記載置台の所定の
位置に形成された凹部と、前記ウェハ搬送用台車の所定
の位置に形成された前記凹部と嵌合する突起部とからな
る。

【００２１】前記相対位置調整手段は、前記２本のフォ
ーク部材の長手方向に直交する方向の相対位置と、前記
２本のフォーク部材の回転位置とを調整可能である。

【００２２】前記ウェハカセット移載手段は、前記２本
のフォーク部材の一端部側によって前記ウェハ保持具内
に収容されているウェハカセットの下部を保持したの
ち、当該ウェハカセットを前記ウェハ保持具外に移動さ
せ、前記ウェハ搬送用台車上の所定の位置に当該ウェハ
カセットを載置した後、再度前記２本のフォーク部材の
他端部側によって当該ウェハカセット下部を保持したの
ち、所定の載置台上に移載する。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１および図２は、本発明
の一実施形態に係るウェハ保持具の構成を示す図であっ
て、図１は斜視図であり、図２（ａ）は上面図であり、
図２（ｂ）は開口側の側面図であり、図２（ｃ）は側面
図である。図１および図２において、ウェハ保持具６１
は、保持具本体６２と蓋体６６とを有する。保持具本体
６２は、開口部６２ａを有する断面が矩形状の箱体から
形成されている。保持具本体６２の両側面には、作業者
が保持具本体６２を持つための溝状の把持部６５が形成
され、また、保持具本体６２の両側面の開口部近くには
蓋体６６を固定するためのロッキング機構６３が設けら
れている。

【００２４】保持具本体６２内の底部には、図２（ｂ）
に示すように、開口部６２ａを通じて収容されるウェハ
カセット７０を載置するための二条の保持部６４が平行
に形成されている。この保持部６４は、ウェハカセット
７０の下方に後述する蓋開閉／移載機能付き台車のリー
チフォークを挿入するための空間を形成するとともに、
保持部６４の一部は、図２（ｃ）に示すように、ウェハ
カセット７０の底面に形成された嵌合溝７０ａに嵌ま
り、ウェハカセット７０の横ずれを防ぐ機能も有する。

【００２５】保持具本体６２内の両側面部には、上記の
溝状の把持部６５を形成する突出壁部６５ａが突出して
いる。この突出壁部６５ａは、収容されたウェハカセッ
ト７０の横ずれ防止の機能を有している。突出壁部６５
ａ間の距離は、ウェハカセット７０の側面と所定のクリ
アランスを持つように、ウェハカセット７０の横方向の
寸法に略等しく形成されている。

【００２６】保持具本体６２の底部には、図２（ｃ）に
示すように、溝部６２ｂが形成されており、後述する蓋
開閉／移載機能付き台車との位置決めのために用いられ
る。また、図２（ｂ）に示すように、保持具本体６２の
内部には、後述する蓋開閉／移載機能付き台車のリーチ
フォークがウェハカセット７０の下端の両側挿入され
る。

【００２７】ロッキング機構６３は、図３（ａ）に示す
ように、操作レバー６３ａと、係合ピン６３ｂを有して
おり、操作レバー６３ａの操作によって係合ピン６３ｂ
は、ロッキング機構６３から出没可能となっている。ロ
ッキング機構６３の係合ピン６３ｂは、図３（ｂ）に示
すように、蓋体６６の前面に設けられた係止部６８と係
合可能であり、蓋体６６の係止部６８と係合して蓋体６
６を保持具本体６２の開口部６２ａに固定する。ロッキ
ング機構６３の操作レバー６３ａを操作して係合ピン６
３ｂをロッキング機構６３内に没入させると、蓋体６６
の係止部６８と係合ピン６３ｂとの係合が解除され、蓋
体６６の保持具本体６２の開口部６２ａからの取り外し
が可能になる。

【００２８】蓋体６６は、前面中央付近に、後述する蓋
開閉／移載機能付き台車の蓋開閉装置がチャックする把
手部６７が形成され、前面の両端部には、上述のロッキ
ング機構６３の係合ピン６３ｂと係合可能な係止部６８
は形成されている。蓋体６６の後面には、保持具本体６
２の開口周縁部と密着して保持具本体６２を気密に密閉
するためのシール部６９が形成されている。また、蓋体
６６の後面には、図２（ａ）に示すように、ウェハカセ
ット７０の保持されたウェハＷと当接して、ウェハＷが
ウェハカセット７０からずれないようにするためのプレ
ート状のパッド部７５が形成されている。このパッド部
７５は、ウェハＷと当接した際にウェハＷを損傷させな
いように、たとえば、ウレタン系の樹脂材料等の比較的
軟らかい材料から形成されている。

【００２９】蓋開閉／移載機能付き台車次に、ウェハ保持具６１のクリーンルーム内での運搬に
用いられる蓋開閉／移載機能付き台車について説明す
る。図４〜図７は、蓋開閉／移載機能付き台車の構造を
示す図であって、図４は斜視図であり、図５は上面図で
あり、図６は側面図であり、図７は背面図である。蓋開
閉／移載機能付き台車８０は、リーチフォーク機構部８
１と、蓋体開閉機構部８３と、保持具押え機構部８６
と、ロッキング解除機構部８８と、昇降機構部９０とを
有する。

【００３０】上記の各機構部は、蓋開閉／移載機能付き
台車８０上の載置板９８の上に直接的または間接的に設
けられている。また、載置板９８上には、上記のウェハ
保持具６１を載置するための載置部９９が設けられてい
る。

【００３１】ロッキング操作機構部８８は、ウェハ保持
具６１のロッキング機構６３のロックを解除およびロッ
キング動作を操作する。ロッキング操作機構部８８は、
係合アーム８８ａと、この係合アーム８８ａを旋回駆動
させる、たとえば、モータからなる駆動源８８ｂとをウ
ェハ保持具６１のロッキング機構６３に対応して備えて
いる。また、ロッキング操作機構部８８は、載置板９８
上に設けられている。ロッキング操作機構部８８は、図
１０に示すように、係合アーム８８ａを旋回することに
よって、ウェハ保持具６１のロッキング機構６３の操作
レバー６３ａを操作可能となっており、ロッキング機構
６３のロックを解除することができる。

【００３２】蓋体開閉機構部８３は、蓋体６３の開閉を
行なうものであり、ウェハ保持具６１の蓋体６３を保持
し、これを所定の位置に移動可能である。蓋体開閉機構
部８３は、保持アーム８３ａと、この保持アーム８３ａ
を９０度旋回可能な旋回駆動部８３ｂとを有する。すな
わち、ウェハ保持具６１の開口部６２ａに固定された蓋
体６６の把手部６７を保持アーム８３ａによって保持
し、旋回駆動部８３ｂによって保持アーム８３ａを９０
度旋回させることにより、蓋体６６を開く。蓋体開閉機
構部８３は、載置板９８上に設けられている。また、蓋
体開閉機構部８３の起動は、図５に示す操作ボタン９５
を操作することによって行なう。

【００３３】リーチフォーク機構部８１は、ウェハカセ
ット７０を保持して当該ウェハカセット７０をウェハ保
持具６１から取り出す機能を有する。リーチフォーク機
構部８１は、図５に示すモータＭによって直動するピニ
オンおよびラック機構を有し、このピニオンおよびラッ
ク機構によって２本のリーチフォーク８２が直動方向の
任意の位置に移動可能となっている。２本のリーチフォ
ーク８２に載置されたウェハカセット７０は、装置側の
受台３００に移載される。リーチフォーク機構部８１
は、昇降板１００上に設けられている。

【００３４】昇降機構部９０は、昇降板１００を昇降さ
せることにより、リーチフォーク機構部８１を昇降させ
る。昇降機構部９０は、電車のパンタグラフに似た伸縮
可能な機構を有し、この機構が載置板９８と昇降板１０
０との間に連結されている。このため、リーチフォーク
機構部８１のリーチフォーク８２を任意の高さに移動さ
せることができる。

【００３５】保持具押え機構部８６は、蓋開閉／移載機
能付き台車８０に載置されたウェハ保持具６１を蓋開閉
／移載機能付き台車８０に向けて押圧し、蓋開閉／移載
機能付き台車８０上からウェハ保持具６１が移動しない
ようにする。保持具押え機構部８６は、図８に示すよう
に、載置板９８上に固定されたフランジ部８５によって
保持された円柱状の押え用重り８６ａを有する。押え用
重り８６ａは、フランジ部８５に形成された貫通孔に挿
入されており、押え用重り８６ａの段付き部８６ｆがフ
ランジ部８５に係合可能に保持されている。

【００３６】また、フランジ部８５の下面にはストッパ
リング８６ｂが固着しており、このストッパリング８６
ｂには、固定用ネジ８６ｃが設けられている。押え用重
り８６ａの外周には、固定用ネジ８６ｃが嵌合する溝８
６ｄが形成されている。また、押え用重り８６ａの先端
面には、ウレタン系の樹脂材料等の比較的軟らかい材料
からなる当接板８６ｅが固着されている。また、フラン
ジ部８５は、図４に示すように、矢印方向に９０度の角
度で回転可能となっている。これにより、蓋開閉／移載
機能付き台車８０の載置部９９にウェハ保持具６１を載
置する際には、フランジ部８５を図４に示す状態から９
０度の角度の回転位置に回転させておけば、ウェハ保持
具６１の載置部９９への載置が容易となる。

【００３７】保持具押え機構部８６は、ウェハカセット
７０の上面を押圧しない状態では、図９（ａ）に示すよ
うに、固定ネジ８６ｃを締めつけて当接板８６ｅとウェ
ハカセット７０の上面とを離間した状態とする。保持具
押え機構部８６によって、ウェハカセット７０の上面を
押圧する場合には、固定ネジ８６ｃを緩めることによ
り、図９（ｂ）に示すように、押え用重り８６ａが矢印
で示す下方に降下し、当接板８６ｅがウェハカセット７
０の上面に当接する。これにより、押え用重り８６ａの
重さによってウェハカセット７０の上面が押圧される。
当接板８６ｅは軟らかい材料で形成されているため、ウ
ェハカセット７０の上面は当接板８６ｅと当接しても損
傷することがない。

【００３８】蓋開閉／移載機能付き台車８０の下部に
は、車輪９１が設けられている。この車輪９１は、例え
ば、ウレタン系の材料等の比較的軟らかい材料から形成
され、蓋開閉／移載機能付き台車８０への振動を和らげ
ている。蓋開閉／移載機能付き台車８０には、バッテリ
９２および充電器９３が設けられ、リーチフォーク機構
部８１、蓋体開閉機構部８３、ロッキング操作機構部８
８および昇降機構部９０を駆動するための電力を供給可
能となっている。

【００３９】また、蓋開閉／移載機能付き台車８０の載
置板９８の下方には、リーチフォーク位置調整用ハンド
ル９４およびリーチフォーク回転調整用ハンドル９５が
設けられている。リーチフォーク位置調整用ハンドル９
４は、これを回転させることによって、リーチフォーク
機構部８１全体をリーチフォーク８２の長手方向に直交
する方向に、たとえば、±５０ｍｍの範囲で移動するこ
とができる。リーチフォーク回転調整用ハンドル９５
は、これを回転させることによって、リーチフォーク機
構部８１全体を、たとえば、１０度の角度範囲で回転さ
せることができる。リーチフォーク位置調整用ハンドル
９４およびリーチフォーク回転調整用ハンドル９５によ
る調整によって、ウェハ保持具６１の受台３００に対す
る正確な位置決めが可能となる。

【００４０】また、蓋開閉／移載機能付き台車８０の前
面には台車位置決めピン９７が設けられている。図５お
よび図６に示すように、装置側の受台３００に形成され
た位置決め用凹部３００ａと嵌合することにより、蓋開
閉／移載機能付き台車８０を受台３００に対して位置決
めすることができる。

【００４１】上記構成の蓋開閉／移載機能付き台車８０
は、たとえば、図１１に示すように用いられる。図１１
（ａ）に示すように、載置台３０２に載置されたウェハ
カセット７０を収容したウェハ保持具６１は保管棚３０
３に載置されている。これらウェハ保持具６１のうち必
要なウェハ保持具６１を作業者ＯＰが蓋開閉／移載機能
付き台車８０に載置する。

【００４２】次いで、図１１（ｂ）に示すように、作業
者ＯＰは蓋開閉／移載機能付き台車８０を押して作業モ
ジュール内の所定の処理を行なう装置３０４まで運ぶ。
蓋開閉／移載機能付き台車８０を装置３０４まで運ぶ
と、蓋開閉／移載機能付き台車８０は、ウェハ保持具６
１の蓋体６６を自動的に開き、ウェハ保持具６１に収容
されたウェハカセット７０を自動的に装置３０４の受台
３００に移載する。空になったウェハ保持具６１は、保
管棚３０５に作業者ＯＰによって保管される。

【００４３】次に、上記構成の蓋開閉／移載機能付き台
車８０のウェハ保持具６１内に収容されたウェハカセッ
ト７０の装置３０４の受台３００への自動移載動作につ
いて図１２、図１３および図１４を参照して説明する。
まず、図１２（ａ）に示すように、蓋開閉／移載機能付
き台車８０の載置部９９に載置されたウェハカセット７
０の上面を保持具押え機構部８６によって押圧する。こ
の保持具押え機構部８６の押圧動作は、上述したよう
に、保持具押え機構部８６の固定ネジ８６ｃを緩めるこ
とによって行なう。これによって、ウェハ保持具６１
は、蓋開閉／移載機能付き台車８０の載置部９９に対し
て固定される。また、この動作は作業者ＯＰによって行
なわれる。

【００４４】次いで、蓋開閉／移載機能付き台車８０の
操作ボタン９５を操作して、蓋体開閉機構部８３を起動
する。蓋体開閉機構部８３を起動すると、図１２（ｂ）
に示すように、蓋体開閉機構部８３の保持アーム８３ａ
が９０度旋回し、保持アーム８３ａがウェハ保持具６１
の蓋体６６の把手部６７を自動的にチャックする。

【００４５】次いで、保持アーム８３ａによるウェハ保
持具６１の蓋体６６の把手部６７のチャックが完了する
と、ロッキング操作機構部８８が作動し、図１０におい
ておいて説明した動作によって、ウェハ保持具６１のロ
ッキング機構６３による蓋体６６のロックを自動的に解
除する。

【００４６】次いで、図１２（ｄ）に示すように、蓋体
開閉機構部８３の保持アーム８３ａが再度旋回して、ウ
ェハ保持具６１の蓋体６６を保持具本体６２から外し、
ウェハカセット７０を移載するまで蓋体６６を保持した
状態を維持する。

【００４７】次いで、図１３（ａ）に示すように、リー
チフォーク機構部８１が動作して、リーチフォーク８２
がウェハ保持具６１内のウェハカセット７０の下方に挿
入される。

【００４８】次いで、図１３（ｂ）に示すように、蓋開
閉／移載機能付き台車８０の昇降機構部９０が動作し
て、昇降板１００が矢印方向に所定の位置まで上昇し、
これによってリーチフォーク８２の一端部側がウェハ保
持具６１の下部を保持する。

【００４９】次いで、図１３（ｃ）に示すように、リー
チフォーク８２が矢印方向に移動し、ウェハ保持具６１
内からウェハカセット７０を取り出す。

【００５０】次いで、リーチフォーク８２は一旦下降
し、ウェハカセット７０を昇降板１００上に載置する。
そして、図１３（ｄ）に示すように、リーチフォーク８
２は矢印で示すウェハ保持具６１の方向に移動し、再度
所定の位置まで上昇してウェハカセット７０を保持す
る。これにより、リーチフォーク８２の他端部側がウェ
ハカセット７０の下部を保持することになる。

【００５１】次いで、図１４（ａ）に示すように、リー
チフォーク８２は、矢印（１）で示す装置側の受台３０
０の方向の所定の位置までに移動した後、リーチフォー
ク８２は矢印（２）の方向に下降し、受台３００上にウ
ェハカセット７０を載置する。

【００５２】受台３００上へのウェハカセット７０の載
置が完了すると、リーチフォーク８２は、図１４（ｂ）
に示すように、定位位置に戻る。また、図１４（ｃ）に
示すように、蓋体６６を保持する蓋体開閉機構部８３が
再度動作して蓋体６６を旋回させて空となったウェハ保
持具６１の開口部を閉じ、ロッキング操作機構部８８が
動作してロッキング機構６３を操作しロックする。ま
た、図１４（ｄ）に示すように、作業者ＯＰは、保持具
押え機構部８６によるウェハ保持具６１の上面の押圧を
解除する。

【００５３】以上の動作により、ウェハ保持具６１から
のウェハカセット７０の受台３００への移載動作が完了
する。

【００５４】以上のように、本実施形態によれば、ウェ
ハ保持具６１は、シール部６９が形成されているため、
開口部を気密に開閉することができ、ウェハの汚染を確
実に防止することができる。また、蓋開閉／移載機能付
き台車８０は、単にウェハ保持具６１を運搬するのみで
なく、ウェハ保持具６１のロッキング機構６３の操作、
蓋体６６の開閉、およびウェハカセット７０の移載動作
を自動で行なうため、作業者の省力化が可能になる。ま
た、蓋開閉／移載機能付き台車８０にウェハ保持具６１
のロッキング機構６３の操作、蓋体６６の開閉、および
ウェハカセット７０の移載動作機能を具備することによ
り、種々の装置へのウェハカセット７０の投入が可能と
なる。このため、ウェハに所定の処理を施す複数の装置
に、ロッキング機構６３の操作、蓋体６６の開閉、およ
びウェハカセット７０の移載動作機能をそれぞれ設ける
場合に比べて、コストを低減することができる。

【００５５】

【発明の効果】本発明によれば、ウェハの汚染を防止で
き、ウェハ保持具のクリーンルーム内での運搬を簡易か
つ迅速に行なうことができる。また、ウェハカセットの
運搬に要する設備コストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るウェハ保持具の構成
を示す斜視図である。

【図２】ウェハ保持具の構成を示す図であって、（ａ）
は上面図であり、（ｂ）は開口側の側面図であり、
（ｃ）は側面図である。

【図３】ロッキング機構の構造を示す図である。

【図４】蓋開閉／移載機能付き台車の構造を示す斜視図
である。

【図５】蓋開閉／移載機能付き台車の構造を示す上面図
である。

【図６】蓋開閉／移載機能付き台車の構造を示す側面図
である。

【図７】蓋開閉／移載機能付き台車の構造を示す背面図
である。

【図８】保持具押え機構部の構造を示す図である。

【図９】保持具押え機構部の動作を示す図であって、
（ａ）は非押圧動作時の状態を示しており、（ｂ）は押
圧動作時の状態を示している。

【図１０】ロッキング操作機構部の係合アームとロッキ
ング機構部６３との関係を示す図である。

【図１１】蓋開閉／移載機能付き台車の使用方法を説明
するための図である。

【図１２】蓋開閉／移載機能付き台車のウェハ保持具内
に収容されたウェハカセットの移載動作を説明するため
の図である。

【図１３】図１２に続く蓋開閉／移載機能付き台車の移
載動作を説明するための図である。

【図１４】図１３に続く蓋開閉／移載機能付き台車の移
載動作を説明するための図である。

【符号の説明】

６１…ウェハ保持具、６２…開口部、６３…ロッキング
機構、６６…蓋体、８０…蓋開閉／移載機能付き台車、
８１…リーチフォーク機構部、８３…蓋体開閉機構部、
８６…保持具押え機構部、８８…ロッキング解除機構
部、９０…昇降機構部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者木崎原稔郎東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェハを保持するウェハカセットを開口部
を通じて収容保持可能なウェハ保持具本体と、前記開口
部を閉鎖可能な蓋体とを備えるウェハ保持具と、前記ウェハ保持具を載置する載置部と、前記載置部に載
置されたウェハ保持具の前記蓋体を開閉可能な蓋開閉手
段と、前記ウェハ保持具からウェハカセットを取り出し
または前記ウェハ保持具に前記ウェハカセットを収納可
能なウェハカセット移載手段とを備えるウェハ搬送用台
車とを有するウェハ搬送装置。
【請求項２】前記ウェハ保持具は、前記蓋体を前記ウェ
ハ保持具本体の開口部に固定するロッキング手段を有す
る請求項１に記載のウェハ搬送装置。
【請求項３】前記蓋体または前記ウェハ保持具本体の開
口部は、当該蓋体と開口部との間を気密にシーリングす
るシール手段を有する請求項１に記載のウェハ搬送装
置。
【請求項４】前記ウェハ保持具は、前記ウェハカセット
の位置ずれ防止手段を有する請求項１に記載のウェハ搬
送装置。
【請求項５】前記ウェハ保持具は、前記ウェハの位置ず
れ防止手段を有する請求項１に記載のウェハ搬送装置。
【請求項６】前記ウェハ搬送用台車は、前記載置部に載
置されたウェハ保持具のロッキング手段を作動または解
除させるロッキング操作手段を有する請求項１に記載の
ウェハ搬送装置。
【請求項７】前記ウェハ搬送用台車は、前記載置部に載
置されたウェハ保持具を当該載置部に対して押圧する保
持具押圧手段を有する請求項１に記載のウェハ搬送装
置。
【請求項８】前記保持具押圧手段は、支持部材によって
鉛直方向に移動自在に保持され、先端が前記載置部に載
置されたウェハカセットの上面に当接可能な重り部材
と、前記重り部材を所定の位置に固定する固定手段とを
有し、前記重り部材の前記固定手段による所定の位置への固定
を解放することにより、前記ウェハカセットの上面を前
記載置部に向けて押圧する請求項１に記載のウェハ搬送
装置。
【請求項９】前記蓋開閉手段は、前記蓋体を把持する把
持手段と、前記把持手段を所定の回転角で旋回可能な旋回手段とを
有する請求項１に記載のウェハ搬送装置。
【請求項１０】前記ウェハカセット移載手段は、直線方
向に移動自在に支持された前記ウェハカセットの下部を
保持可能な２本のフォーク部材と、前記二本の平行なフ
ォーク部材を直動させる駆動源とを有するリーチフォー
ク機構部と、前記リーチフォーク機構を昇降させるリフト機構部とを
有する請求項１に記載のウェハ搬送装置。
【請求項１１】前記ウェハカセットの下部の両側には、
前記二本の平行なフォーク部材の間に嵌合する切欠部が
形成されている請求項１０に記載のウェハ搬送装置。
【請求項１２】前記ウェハ保持具には、前記ウェハカセ
ットの下面を保持する二条の平行な受部が形成されてい
る請求項１に記載のウェハ搬送装置。
【請求項１３】前記二本の平行なフォーク部材は、前記
二条の平行な受部の側方に形成される空間を通じて前記
ウェハカセットとウェハ保持具の下面との間に挿入可能
である請求項１２に記載のウェハ搬送装置。
【請求項１４】前記ウェハ搬送用台車は、前記ウェハカ
セットを載置する所定の載置台に対して対して当該ウェ
ハ搬送用台車を位置決めする位置決め手段と、前記所定の載置台に対する前記２本のフォーク部材の相
対位置を調整する相対位置調整手段とを有する請求項１
０に記載のウェハ搬送装置。
【請求項１５】前記位置決め手段は、前記載置台の所定
の位置に形成された凹部と、前記ウェハ搬送用台車の所
定の位置に形成された前記凹部と嵌合する突起部とから
なる請求項１４に記載のウェハ搬送装置。
【請求項１６】前記相対位置調整手段は、前記２本のフ
ォーク部材の長手方向に直交する方向の相対位置と、前
記２本のフォーク部材の回転位置とを調整可能である請
求項１４に記載のウェハ搬送装置。
【請求項１７】前記ウェハカセット移載手段は、前記２
本のフォーク部材の一端部側によって前記ウェハ保持具
内に収容されているウェハカセットの下部を保持したの
ち、当該ウェハカセットを前記ウェハ保持具外に移動さ
せ、前記ウェハ搬送用台車上の所定の位置に当該ウェハ
カセットを載置した後、再度前記２本のフォーク部材の
他端部側によって当該ウェハカセット下部を保持したの
ち、所定の載置台上に移載する請求項１０に記載のウェ
ハ搬送装置。