KR20220035198A

KR20220035198A - 웨이퍼 쿠션

Info

Publication number: KR20220035198A
Application number: KR1020227005159A
Authority: KR
Inventors: 콜턴 제이 하르; 매튜 에이 풀러
Original assignee: 엔테그리스, 아이엔씨.
Priority date: 2019-07-19
Filing date: 2020-07-15
Publication date: 2022-03-21
Also published as: TWI812870B; JP2022540712A; US11587810B2; JP7445741B2; WO2021016008A1; CN114287055A; TW202112629A; US20210020482A1

Abstract

웨이퍼 캐리어에 사용을 위한 웨이퍼 쿠션은 웨이퍼 쿠션의 프레임으로부터 제1 방향으로 연장하는 제1 아암 및 제1 아암으로부터 제2 방향으로 연장하는 제2 아암, 및 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소와 반대쪽인 제2 아암의 단부에 웨이퍼 접촉부를 포함하는 스프링 빔을 포함한다. 웨이퍼 쿠션은 정상 조건 중에 웨이퍼 접촉부에서만 웨이퍼 캐리어 내의 기판과 접촉할 수도 있다. 기판은 또한 충격 이벤트가 발생할 때 제2 아암 상의 2차 접촉점과 접촉할 수도 있다. 웨이퍼 접촉부는 v-홈식 웨이퍼 접촉부일 수 있다. 웨이퍼 접촉부는 웨이퍼와 접촉하도록 구성된 볼록한 표면을 갖는 접촉 표면을 포함할 수도 있다.

Description

웨이퍼 쿠션

관련 출원에 대한 상호 참조

본 출원은 그 개시내용이 모든 목적으로 본 명세서에 참조로서 합체되어 있는, 2019년 7월 19일 출원된 미국 가출원 제62/876,234호의 우선권 및 이익을 주장한다.

기술분야

본 개시내용은 웨이퍼 캐리어, 예를 들어 전면 개방 통합 포드("FOUP")와 같은 반도체 처리를 위해 사용되는 웨이퍼 캐리어에 사용을 위한 웨이퍼 쿠션(wafer cushions)에 관한 것이다.

웨이퍼 캐리어는 수동 또는 자동으로 취급 또는 운송될 수 있다. 이러한 운송 및 취급은 캐리어에 물리적 충격을 야기할 수도 있다. 이러한 충격 이벤트는 예를 들어, 예를 들어 낙하, 취급 부주의, 운송 차량의 제동 및 웨이퍼 캐리어의 다른 이러한 이동으로 인한 캐리어의 급격한 가속 또는 감속 또는 대략 2 m/s² 초과의 다른 가속 또는 감속을 포함한다. 웨이퍼 쿠션은, 예를 들어 물리적 충격이 발생할 때 웨이퍼가 캐리어의 측면에 충돌하는 것을 방지하기 위해, 캐리어 내에서 반도체 기판과 같은 웨이퍼의 이동을 제한하기 위해 웨이퍼 캐리어에서 사용된다.

웨이퍼 쿠션은 통상적으로 프레임으로부터 도어의 중심선까지 연장되고 웨이퍼가 웨이퍼 쿠션과 접촉하는 접촉점에서 종료하는 아암을 포함한다. 이들 접촉점에서의 접촉은 웨이퍼가 다른 웨이퍼 또는 웨이퍼 캐리어의 내부의 부분을 타격하는 것을 방지하여, 웨이퍼 캐리어가 충격 이벤트를 경험할 때 손상의 기회를 감소시킨다.

웨이퍼 쿠션은 반도체 처리 및 제조에 악영향을 미칠 수 있는 웨이퍼의 손상 또는 입자의 발생을 방지하기 위해, 보유를 제공하고 미리 결정된 범위 내에서 보유력을 유지하도록 웨이퍼 캐리어 내에 격납된 웨이퍼에 일관된 힘을 제공해야 한다.

본 개시내용은 웨이퍼 캐리어, 예를 들어 FOUP와 같은 반도체 처리를 위해 사용되는 웨이퍼 캐리어에 사용을 위한 웨이퍼 쿠션에 관한 것이다.

v-스프링을 사용함으로써, 웨이퍼와의 접촉부와 웨이퍼 쿠션의 프레임 사이의 모멘트 아암이 감소된다. 이 모멘트 아암을 짧게 하는 것은 웨이퍼 쿠션 상의 비틀림력을 감소시키고, 편향의 불균일성을 감소시키고, 웨이퍼 쿠션의 보유력의 불균형을 감소시킬 수도 있다.

실시예에서, 웨이퍼 쿠션은 프레임 및 복수의 스프링 빔을 포함한다. 복수의 스프링 빔의 각각은, 프레임에 결합되고 제1 방향으로 제1 아암 단부로 연장하는 제1 아암, 제1 아암 단부에서 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 제2 아암 단부로 연장하는 제2 아암, 및 제2 아암 단부에서 제2 아암에 결합된 웨이퍼 접촉부를 포함한다.

실시예에서, 복수의 스프링 빔은, 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개에 의해 지지될 때, 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개의 빔의 제2 아암의 단부에서만 웨이퍼 접촉부와 접촉하도록 구성된다.

실시예에서, 웨이퍼 접촉부는 V-홈 웨이퍼 접촉부이다. 실시예에서, 웨이퍼 접촉부는 패들 웨이퍼 접촉부이다.

실시예에서, 웨이퍼와 접촉하도록 구성된 웨이퍼 접촉부의 표면은 볼록한 표면을 갖는다.

실시예에서, 제1 아암은 프레임의 둘레에서 프레임에 결합되고, 제1 방향은 프레임의 중심선을 향한다.

실시예에서, 각각의 스프링 빔은 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소에 위치된, 제2 아암 상의 2차 접촉점을 포함하고, 2차 웨이퍼 접촉부는 충격 이벤트가 발생할 때에만 웨이퍼와 접촉하도록 구성된다.

실시예에서, 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 쿠션을 포함하고, 웨이퍼 쿠션은 프레임 및 복수의 스프링 빔을 포함한다. 복수의 스프링 빔의 각각은, 프레임에 결합되고 제1 방향으로 제1 아암 단부로 연장하는 제1 아암, 제1 아암 단부에서 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 제2 아암 단부로 연장하는 제2 아암, 및 제2 아암 단부에서 제2 아암에 결합된 웨이퍼 접촉부를 포함한다.

실시예에서, 웨이퍼 쿠션은 웨이퍼 캐리어의 도어 상에 장착된다.

실시예에서, 웨이퍼 캐리어는 전면 개방 통합 포드이다.

실시예에서, 기판을 지지하는 방법은 2개의 웨이퍼 접촉부에서 기판을 접촉시키는 단계를 포함하고, 2개의 웨이퍼 접촉부의 각각은 별개의 스프링 빔에 결합되고, 스프링 빔은 제1 방향으로 연장하는 제1 아암 및 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 연장하는 제2 아암을 각각 포함하고, 웨이퍼 접촉부는 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소와 반대쪽의 제2 아암의 단부에 있다.

실시예에서, 방법은 충격 이벤트가 발생할 때 웨이퍼 접촉부가 위치되는 v-스프링의 제2 아암 상의 2개의 2차 접촉점에서 기판을 접촉시키는 단계를 더 포함한다.

실시예에서, 기판은 2개의 웨이퍼 접촉부에서만 스프링 빔과 접촉한다.

실시예에서, 웨이퍼 접촉부는 기판과 접촉하도록 구성된 볼록한 표면을 갖는다.

본 개시내용은 첨부 도면과 관련하여 다양한 예시적인 실시예의 이하의 설명의 고려시에 더 완전히 이해될 수도 있다.
도 1은 실시예에 따른 웨이퍼 쿠션의 사시도를 도시하고 있다.
도 2는 실시예에 따른 웨이퍼 쿠션의 단면도를 도시하고 있다.
도 3은 기판이 웨이퍼 쿠션과 접촉할 때 실시예에 따른 웨이퍼 쿠션의 부분의 단면도를 도시하고 있다.
도 4a는 실시예에 따른 웨이퍼 접촉부의 사시도를 도시하고 있다.
도 4b는 라인 4A-4A를 따라 취한 도 4a의 웨이퍼 접촉부의 단면도를 도시하고 있다.
도 5는 실시예에 따른 웨이퍼 접촉부의 평면도를 도시하고 있다.
도 6은 실시예에 따른 FOUP를 도시하고 있다.
본 개시내용은 다양한 수정 및 대안적인 형태가 가능하지만, 그 상세는 도면에 예로서 도시되어 있고 상세히 설명될 것이다. 그러나, 본 개시내용의 양태를 설명된 특정 예시적인 실시예에 한정하려는 의도는 없다는 것이 이해되어야 한다. 반대로, 의도는 본 개시내용의 사상 및 범주 내에 속하는 모든 수정, 등가물 및 대안을 커버하는 것이다.

본 명세서에 그리고 첨부된 청구범위에 사용될 때, 단수 형태는 내용상 명백히 달리 지시되지 않으면 복수의 대상을 포함한다. 본 명세서에 그리고 첨부된 청구범위에 사용될 때, 용어 "또는"은 내용상 명백히 달리 지시되지 않으면 일반적으로 "및/또는"을 포함하는 그 의미에서 채용된다.

용어 "약"은 일반적으로 언급된 값과 등가인 것으로 고려되는(예를 들어, 동일한 기능 또는 결과를 가짐) 수의 범위를 칭한다. 다수의 경우에, 용어 "약"은 가장 가까운 유효 숫자로 어림된 숫자를 포함할 수도 있다.

종단점을 사용하여 표현되는 수치 범위는 해당 범위 내에 포함된 모든 숫자를 포함한다(예를 들어, 1 내지 5는 1, 1.5, 2, 2.75, 3, 3.80, 4 및 5를 포함함).

이하의 상세한 설명은 상이한 도면에서 유사한 요소가 동일하게 번호 부여되어 있는 도면을 참조하여 숙독되어야 한다. 상세한 설명 및 반드시 실제 축척대로 도시되어 있는 것은 아닌 도면은 예시적인 실시예를 묘사하고, 본 발명의 범주를 한정하도록 의도되지 않는다. 도시되어 있는 예시적인 실시예는 단지 예시적인 것으로서 의도된다. 임의의 예시적인 실시예의 선택된 특징은 명백하게 반대로 언급되지 않으면 부가의 실시예에 통합될 수도 있다.

도 1은 실시예에 따른 웨이퍼 쿠션(100)의 사시도를 도시하고 있다. 웨이퍼 쿠션(100)은 웨이퍼 캐리어(도시되어 있지 않음)에 통합될 수 있는 구성요소로서, 예를 들어 웨이퍼 캐리어의 도어의 내부와 같은, 예를 들어 웨이퍼 캐리어의 내부 공간에 대면하는 웨이퍼 캐리어의 부분에 결합된다. 웨이퍼 쿠션(100)은 비한정적인 예로서, 웨이퍼 캐리어 또는 웨이퍼 캐리어의 도어와 같은 웨이퍼 캐리어의 부분에 웨이퍼 쿠션(100)을 결합하기 위한 스냅, 플랜지, 탭 또는 슬롯, 접착 조인트, 또는 다른 이러한 특징부와 같은 하나 이상의 기계적 맞물림 특징부와 같은 웨이퍼 캐리어에 결합을 허용하는 특징부(도시되어 있지 않음)를 포함할 수도 있다. 웨이퍼 쿠션(100)은 예를 들어 웨이퍼 접촉부(110)에서 기판과 접촉함으로써 웨이퍼 캐리어 내에 기판을 기계적으로 보유할 수도 있다. 웨이퍼 쿠션(100)은 기판의 이동을 제한하기 위해 스프링 힘을 사용할 수도 있어, 기판의 상당한 변위 또는 웨이퍼 캐리어의 내부 공간의 벽과 기판의 접촉이 방지되게 된다.

웨이퍼 쿠션(100)은 프레임(102)을 포함한다. 다수의 스프링 빔(104)이 프레임(102)에 결합된다. 각각의 스프링 빔(104)은, 프레임(102)에 결합되고 제1 방향으로 연장하는 제1 아암(106), 및 제1 아암(106)이 프레임(102)에 결합되는 반대쪽의 제1 아암(106)의 단부에서 제1 아암(106)에 결합되는 제2 아암(108)을 포함한다. 제2 아암(108)은 제1 아암(106)에 결합되는 장소로부터 제2 방향으로 연장되고, 제2 방향은 제1 아암(106)이 프레임(102)으로부터 연장되는 제1 방향과는 상이하다. 각각의 스프링 빔(104)은 제2 아암(108)이 제1 아암(106)에 결합되는 반대쪽의 제2 아암(108)의 단부에 웨이퍼 접촉부(110)를 포함한다.

프레임(102)은 웨이퍼 접촉점(110)을 포함하는 스프링 빔(104)에 대한 지지 및 위치설정을 제공한다. 실시예에서, 프레임(102)은 프레임(102)의 주 방향을 따라 연장하는 중심선(112)을 갖는 직사각형 형상이다. 실시예에서, 프레임(102)은 직사각형의 둘레를 형성하는 외부 부분 및 프레임(102)의 일 단부로부터 다른 단부까지 중심선(112)을 따라 연장하는 리브를 포함한다. 실시예에서, 프레임(102)은 웨이퍼 캐리어(도시되어 있지 않음)의 도어 상의 리세스 내에 끼워지도록 구성된다. 실시예에서, 웨이퍼 쿠션(100)을 웨이퍼 캐리어 또는 그 부분에 결합하도록 구성된 웨이퍼 쿠션(100)의 특징부는 프레임(102) 상에 위치될 수 있다. 프레임(102)은, 웨이퍼 캐리어(100)가 웨이퍼 캐리어의 내부 공간 내에 수용될 수 있고 스프링 빔(104)이 그에 결합될 수 있어 스프링 빔(104)이 웨이퍼 접촉부(110)를 제공하게 되어 웨이퍼 접촉부(110)가 웨이퍼 캐리어 내의 기판에 맞물릴 수도 있게 되도록, 다른 형상을 가질 수도 있다.

각각의 스프링 빔(104)은 프레임(102)에 결합된다. 각각의 스프링 빔(104)은 웨이퍼 접촉부(110)를 포함한다. 스프링 빔(104)은 비한정적인 예로서, 스프링 보드, 캔틸레버형 선형 플렉스 스프링, 또는 v-스프링일 수도 있다. 스프링 빔(104)은 쌍으로 배열될 수 있고, 각각의 쌍은 기판이 웨이퍼 캐리어 내에 배치될 때 쌍의 스프링 빔(104)의 웨이퍼 접촉부(110)를 통해 하나의 기판과 접촉하도록 구성된다. 스프링 빔(104)은, 스프링 빔(104)이 예를 들어 웨이퍼 쿠션(100)이 웨이퍼 캐리어 내에 설치될 때 웨이퍼 캐리어의 외부 공간 내로 연장하는 웨이퍼 접촉부(110)를, 웨이퍼 캐리어의 내부 공간에 대해 프레임(102)의 동일한 측면에 제시하도록 모두 배열될 수도 있다. 스프링 빔(104)은, 기판이 웨이퍼 쿠션(100)이 설치되는 웨이퍼 캐리어 내에 배치될 때 스프링 빔(104)이 하나의 기판과 접촉하도록 위치된 2개의 웨이퍼 접촉부(110)를 함께 제공하도록 프레임(102)에 대해 프레임(102)의 중심선(112) 반대쪽에 서로 정렬될 수 있다.

제1 아암(106)은 제1 단부에서 프레임(102)에 결합되고 제1 단부 반대쪽의 제2 단부에서 제2 아암(108)에 결합된다. 실시예에서, 제1 아암(106)은 프레임(102)의 둘레로부터 프레임(102)의 중심선(112)을 향해 프레임(102)에 대해 내향으로 연장된다. 실시예에서, 제1 아암(106)은 프레임(102)으로부터 프레임(102)의 중심선(112)까지 연장됨에 따라 테이퍼진다.

제2 아암(108)은 제1 아암(106)에 결합된다. 제2 아암(108)은 제1 아암(106)이 프레임(102)에 결합되는 장소의 반대쪽의 제1 아암(106)의 단부에서 제1 아암(106)에 결합될 수 있다. 제2 아암(108)은 제1 아암(106)이 연장되는 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 연장될 수도 있다. 제2 아암(108)은 제1 아암(106)이 프레임(102)의 둘레 및 프레임(102)의 중심선(112)에 대해 연장되는 방향과 반대 방향으로 연장될 수도 있다. 예를 들어, 제1 아암(106)이 중심선(112)을 향해 프레임(102)의 둘레로부터 내향으로 연장되는 실시예에서, 제2 아암(108)은 중심선(112)으로부터 이격하여 반대 방향으로 연장될 수도 있다.

제2 아암(108)은 제1 아암(106)과 제2 아암(108) 사이에 각도가 형성되도록 제1 아암(106)에 결합될 수 있다. 실시예에서, 제1 아암(106)과 프레임(102) 사이의 각도는 0° 내지 40°의 범위 내에 있다. 실시예에서, 제1 아암(106)과 제2 아암(108) 사이의 각도는 5° 내지 40°의 범위 내에 있다. 실시예에서, 제2 아암(108)의 길이 대 제1 아암(106)의 길이의 비는 2:1 내지 1:3의 범위 내에 있을 수 있다. 실시예에서, 제2 아암(108)은 제1 아암(106) 길이의 적어도 절반인 길이를 가질 수도 있다. 웨이퍼 쿠션(100)이 300 mm FOUP에서 사용을 위해 구성된 실시예에서, 제1 아암(106)은 15 mm 내지 45 mm 범위의 길이를 가질 수도 있다. 웨이퍼 쿠션(100)이 웨이퍼 캐리어 내의 리세스 내에 위치되는 실시예에서, 제1 아암(106) 및 제2 아암(108)의 길이 및 각도는 웨이퍼 접촉부(110)가 웨이퍼 캐리어 내의 리세스 내에 위치되도록 이루어질 수도 있다.

웨이퍼 접촉부(110)는 제2 아암(108)이 제1 아암(106)에 결합되는 장소의 반대쪽인 제2 아암(108)의 단부에 위치된다. 웨이퍼 접촉부(110)는 기판이 웨이퍼 컨테이너 내에 있을 때 기판과 맞물리도록 구성된 특징부이다. 웨이퍼 접촉부(110)는 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면을 포함할 수도 있다. 실시예에서, 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면은 볼록 형상을 갖고 만곡될 수 있다. 볼록 형상은 웨이퍼 접촉부(110)와 기판 사이에 구름 계면을 제공할 수도 있고, 기판과 표면을 따른 에지 또는 지점 사이의 접촉에 의한 입자의 발생을 제한할 수도 있다. 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(110)는 서로로부터 이격하여 연장하는 이어부를 포함하는 v-홈 웨이퍼 접촉부이고, 서로로부터 이격하는 연장부로서 이어부에 의해 형성된 V-형상의 정점에서 또는 그 부근에서 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면을 갖는다. 이러한 웨이퍼 접촉부는 도 4a에 도시되어 있고, 이하에 설명된다. 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(110)는 확장된 부분 및 서로 평행하게 확장된 부분으로부터 연장하는 2개의 이어부를 갖는, 패들식(paddle-style) 웨이퍼 접촉부이다. 웨이퍼 접촉부(110)가 패들식 웨이퍼 접촉부일 때, 표면은 이어부 사이에 위치된 기판과 접촉하도록 구성된다. 이러한 웨이퍼 접촉부는 도 5에 도시되어 있고, 이하에 설명된다. 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(110)는 웨이퍼 쿠션(100)에 포함된 기판과 접촉하도록 구성된 유일한 특징부이다. 실시예에서, 제2 아암(108)이 제1 아암(106)에 결합되는 장소의 반대쪽의 제2 아암(108)의 단부에 위치된 웨이퍼 접촉부(110) 이외에 어떠한 다른 웨이퍼 접촉부도 제공되지 않는다.

실시예에서, 프레임(102), 스프링 빔(104), 및 웨이퍼 접촉부(110)의 각각은 사출 성형 가능한 폴리머와 같은 하나 이상의 폴리머로 각각 제조될 수 있다. 실시예에서, 하나 이상의 폴리머는 하나 이상의 폴리올레핀을 포함한다. 실시예에서, 하나 이상의 폴리머는 폴리카보네이트를 포함한다. 실시예에서, 탄소 충전제가 하나 이상의 폴리머에 포함된다. 실시예에서, 하나 이상의 폴리머는 열가소성 폴리머이다. 실시예에서, 하나 이상의 폴리머는 웨이퍼 쿠션(100)과 웨이퍼 캐리어 사이의 계면, 또는 웨이퍼 쿠션(100)과 기판 사이의 계면 중 하나 이상에서의 재료 쉐딩(material shedding)에 기초하여 선택된다. 실시예에서, 웨이퍼 쿠션(100)은 예를 들어, 비한정적인 예로서 사출 성형과 같은 방법에 의해 단일편으로서 형성된다. 실시예에서, 전체 웨이퍼 쿠션(100)은 동일한 재료 또는 재료의 조합으로 형성된다.

도 2는 실시예에 따른 웨이퍼 쿠션(200)의 단면도를 도시하고 있다. 프레임(202)은 웨이퍼 캐리어로부터 돌출부를 수용하기 위한 홈(204)을 포함한다. 스프링 빔(206)은 프레임(202)으로부터 단부까지 제1 방향으로 연장하는 제1 아암(208)을 포함하고, 이 단부에서 제1 아암(208)이 제2 아암(210)에 결합된다. 제2 아암(210)은 웨이퍼 접촉부(212)에 결합되는 장소로부터 제2 방향으로 연장된다.

프레임(202)은 프레임(202)의 둘레를 형성하는 외부 부분(214)을 포함한다. 수직 돌출부(216)가 예를 들어 프레임(202)에 강성을 추가하고, 웨이퍼 캐리어 내의 프레임(202)의 정렬을 보조하고, 웨이퍼 캐리어의 특징부와 계면 접촉하거나, 웨이퍼 캐리어 내에서 다른 기능을 수행하기 위해 프레임(202)에 포함될 수 있다.

홈(204)은 웨이퍼 캐리어 내에서 프레임을 정렬하기 위해, 웨이퍼 쿠션(200)이 그 내에 설치되는 웨이퍼 캐리어(도시되어 있지 않음)의 하나 이상의 보유 특징부를 수용할 수 있다. 웨이퍼 캐리어의 보유 특징부는 비한정적인 실시예에서, 프레임(202)과 웨이퍼 캐리어 사이에 스냅 끼워맞춤을 제공하기 위해, 홈(204)을 따라 프레임(202)을 통해 개구(도시되어 있지 않음) 내에 스냅 결합될 수도 있는 플랜지(도시되어 있지 않음)를 포함할 수 있다.

도 2에 도시되어 있는 실시예에서, 스프링 빔(206)은 외부 부분(214)에 결합된 프레임(202)의 각각의 측면에 위치된다. 제1 아암(208)은 프레임(202)의 외부 부분(214)으로부터 프레임(202)의 중심선을 향해 내향으로 연장된다.

제2 아암(210)은 이들이 프레임(202)에 결합되는 장소의 반대쪽의 제1 아암(208)의 단부에서 제1 아암(208)에 결합된다. 제2 아암(210)은 제1 아암(208)이 연장되는 방향과는 상이한, 제2 방향으로 이들이 제1 아암(208)에 결합되는 장소로부터 연장된다. 제2 방향은 프레임(202)의 둘레 및 중심선에 대해 제1 방향과 반대일 수 있다. 실시예에서, 제2 아암(210)은 제1 아암(208)과 제2 아암(210) 사이에 각도가 형성되도록 제1 아암(208)에 결합될 수 있다. 제2 아암(210)은 제1 아암(208)과 제2 아암(210) 사이에 각도가 형성되도록 제1 아암(208)에 결합될 수 있다. 실시예에서, 제1 아암(208)과 프레임(202) 사이의 각도는 0° 내지 40°의 범위 내에 있다. 실시예에서, 제1 아암(208)과 제2 아암(210) 사이의 각도는 5° 내지 40°의 범위 내에 있다. 실시예에서, 제2 아암(210)의 길이 대 제1 아암(208)의 길이의 비는 2:1 내지 1:3의 범위 내에 있을 수 있다. 실시예에서, 제2 아암(210)은 제1 아암(208) 길이의 적어도 절반인 길이를 가질 수도 있다. 웨이퍼 쿠션(200)이 300 mm FOUP에서 사용을 위해 구성된 실시예에서, 제1 아암(208)은 25 mm 내지 45 mm 범위의 길이를 가질 수도 있다. 웨이퍼 쿠션(200)이 웨이퍼 캐리어 내의 리세스 내에 위치되는 실시예에서, 제1 아암(208) 및 제2 아암(210)의 길이 및 각도는 웨이퍼 접촉부(220)가 웨이퍼 캐리어 내의 리세스 내에 위치되도록 이루어질 수 있다.

도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 제2 아암(210)은 제1 아암(208)으로부터 웨이퍼 접촉부(212)로 연장됨에 따라 만곡될 수 있다. 제2 아암(210)은 제1 아암(208)으로부터 웨이퍼 접촉부(212)로 이격하는 상향 방향으로 만곡된다. 제2 아암(210)의 곡선은, 기판이 웨이퍼 접촉부(212)와 접촉할 때, 웨이퍼 접촉부(212) 외부의 기판에 가장 가까운 부분이 제2 아암(210)이 제1 아암(208)에 결합되는 장소에 또는 그 부근에 위치된 2차 접촉점(218)이 되도록 이루어질 수 있다. 2차 접촉점(218)은 충격 이벤트와 같은 특정 조건 하에서 웨이퍼와 접촉할 수도 있다. 이러한 충격 이벤트는 비한정적인 예로서, 예를 들어 낙하, 취급 부주의, 운송 차량의 제동, 및 보유력을 보충하기 위한 웨이퍼 캐리어의 다른 이러한 이동으로 인한 캐리어의 급격한 가속 또는 감속을 포함할 수도 있다. 실시예에서, 2차 접촉점(218)은 또한 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어에 대해 너무 클 때, 예를 들어 301 mm 이상의 웨이퍼가 300 mm FOUP 내에 배치될 때 웨이퍼와 접촉할 수도 있다.

웨이퍼 접촉부(212)는 제2 아암(210)이 제1 아암(208)에 결합되는 장소의 반대쪽인 제2 아암(210)의 단부에서 제2 아암(210)에 결합된다. 웨이퍼 접촉부(212)는 기판이 웨이퍼 컨테이너 내에 있을 때 기판과 맞물리도록 구성된 특징부이다. 웨이퍼 접촉부(212)는 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면을 포함할 수도 있다. 실시예에서, 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면은 볼록 형상을 갖고 만곡될 수 있다. 볼록 형상은 웨이퍼 접촉부(212)와 기판 사이에 구름 계면을 제공할 수도 있다. 구름 계면은 기판과 표면을 따른 에지 또는 지점 사이의 접촉에 의한 입자의 발생을 감소시킬 수도 있다. 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(212)는 서로로부터 이격하여 연장하는 이어부를 포함하는 v-홈 웨이퍼 접촉부이고, 서로로부터 이격하는 연장부로서 이어부에 의해 형성된 V-형상의 정점에서 또는 그 부근에서 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면을 갖는다. 이러한 웨이퍼 접촉부는 도 4a에 도시되어 있고, 이하에 설명된다. 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(212)는 확장된 부분 및 서로 평행하게 확장된 부분으로부터 연장하는 2개의 이어부를 갖는, 패들식 웨이퍼 접촉부이다. 웨이퍼 접촉부(212)가 패들식 웨이퍼 접촉부일 때, 표면은 이어부 사이에 위치된 기판과 접촉하도록 구성된다. 이러한 웨이퍼 접촉부는 도 5에 도시되어 있고, 이하에 설명된다.

도 3은 기판(302)이 스프링 빔(300)을 포함하는 웨이퍼 쿠션과 접촉할 때의 실시예에 따른 스프링 빔(300)의 단면도를 도시하고 있다. 스프링 빔(300)은 제1 아암(304), 제2 아암(306), 및 웨이퍼 접촉부(308)를 포함한다.

기판(302)은 비한정적인 예로서, 반도체 제조에 사용되는 기판이다. 기판(302)은, 예로서 기판을 사용하는 반도체의 제조 중에, 운송 또는 처리를 위한 웨이퍼 쿠션을 포함하는 웨이퍼 캐리어 내에 배치될 수 있다.

제1 아암(304)은 프레임(102) 또는 프레임(202)과 같은 프레임에 결합되거나, 일체로 형성되거나 FOUP와 같은 웨이퍼 캐리어의 부분에 직접 결합된다. 제1 아암(304)은 웨이퍼 캐리어의 프레임 또는 표면에 결합되는 장소로부터 제2 아암(306)에 결합되는 제1 아암 단부(304)까지 제1 방향으로 연장된다.

제2 아암(306)은 제1 아암(304)으로부터 웨이퍼 접촉부(308)까지 연장된다. 도 3에서 볼 수 있는 바와 같이, 제2 아암(306)은 제1 아암(304)에 결합되는 단부로부터 웨이퍼 접촉부(308)를 포함하는 단부까지 연장됨에 따라 굴곡된다. 이 굴곡은 제2 아암(306)이 제1 아암(304)에 결합되는 장소, 즉 기판(302)에 가장 가까운 제2 아암(306) 상의 지점에 또는 그 부근에 2차 접촉점(310)이 위치되게 할 수도 있다. 2차 접촉점(310)은 충격 이벤트와 같은 특정 조건 하에서 웨이퍼와 접촉할 수도 있다. 이러한 충격 이벤트는 비한정적인 예로서, 예를 들어 낙하, 취급 부주의, 운송 차량의 제동, 및 웨이퍼 캐리어의 다른 이러한 이동으로 인한 캐리어의 급격한 가속 또는 감속을 포함할 수도 있다. 2차 접촉점(310) 뿐만 아니라 웨이퍼 접촉부(308)가 기판(302)과 접촉할 때, 스프링 빔(300)은 기판(302)에 부가의 보유력을 제공한다.

웨이퍼 접촉부(308)는 스프링 빔(300)이 기판(302)과 접촉하는 장소이다. 웨이퍼 접촉부(308)는 예를 들어 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 기판(302)이 V-형상을 형성하는 2개의 이어부 사이에 유지되는 v-홈 웨이퍼 접촉부를 포함할 수도 있다. 도 3의 단면도에서, 이어부 중 하나, 즉 이어부(312)는 이어부(312)와 접촉하는 기판(302)에 의해 부분적으로 가려져 가시화된다. 기판(302)과 접촉하는 웨이퍼 접촉부(308)의 표면은 기판(302)을 향해 외향으로 만곡되고 굴곡된 볼록한 표면을 가질 수도 있다. 볼록한 표면은 기판(302)과의 접촉이 구름형 접촉이 되게 할 수도 있고, 기판(302)과 웨이퍼 접촉부(308) 사이의 접촉에 의한 응력 또는 입자 발생의 증가 지점을 감소시킬 수도 있다.

도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 기판(302)은 정상 조건에서 스프링 빔의 웨이퍼 접촉부(308)에만 접촉한다. 충격 이벤트 동안 기판(302)의 변위 및 스프링 빔의 제2 아암의 편향은, 예를 들어 충격 이벤트 중에, 웨이퍼 캐리어에 대한 기판의 가속도가 임계값을 초과할 때 기판(302)이 스프링 빔(300)의 2차 접촉점(310)과 접촉하게 할 수도 있다. 충격 이벤트는 특정 용례 및 웨이퍼 캐리어에 대한 취급 절차에 따라 정의될 수 있다. 비한정적인 실시예에서, 충격 이벤트는 대략 2 m/s² 초과인 웨이퍼 캐리어의 가속 또는 감속에 의해 정의될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 스프링 빔(300)은 웨이퍼 캐리어의 충격 이벤트 뿐만 아니라 정상 취급을 포함하는 모든 조건 하에서 웨이퍼 접촉부(308)만이 기판(302)과 접촉하도록 구성될 수 있다. 실시예에서, 2차 접촉점(310)은 예를 들어 기판(302)이 웨이퍼 캐리어에 대해 너무 클 때, 예를 들어 기판(302)이 301 mm 이상의 웨이퍼이고 스프링 빔(300)을 포함하는 웨이퍼 캐리어가 300 mm FOUP일 때, 또한 접촉될 수도 있다.

도 4a는 실시예에 따른 웨이퍼 접촉부(400)의 사시도이다. 도 4b는 도 4a에 도시되어 있는 웨이퍼 접촉부(400)의 단면도이다. 도 4a 및 도 4b에 도시되어 있는 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(400)는 V-홈 웨이퍼 접촉부이다. 웨이퍼 접촉부(400)는 전술되고 도 1에 도시되어 있는 스프링 빔(104)의 제2 아암(108), 또는 전술되고 도 2에 도시되어 있는 스프링 빔(206)의 제2 아암(210)과 같은, 스프링 빔의 아암의 단부에 위치될 수 있다. 웨이퍼 접촉부(400)는 제1 이어부(402A), 및 제2 이어부(402B)를 포함하는 V-홈 웨이퍼 접촉부이다. 접촉 표면(404)은 제1 이어부(402A)가 제2 이어부(402B)에 결합되는 장소에 위치된다. 도 4a에서 볼 수 있는 바와 같이, 접촉 표면(404)은 볼록 형상을 가질 수도 있다. 제2 이어부는 제1 이어부(402)의 경면 대칭 이미지일 수 있다. 제1 이어부(402A) 및 제2 이어부(402B)는 이들이 접촉 표면(404)으로부터 이격하여 연장됨에 따라 분기하여, 정점으로서 접촉 표면(404)을 갖는 V-형상을 형성한다. 웨이퍼 접촉부가 기판과 접촉할 때, 기판은 접촉 표면 및 제1 이어부(402A) 및 제2 이어부(402B)의 부분과 접촉할 수도 있다. 특정 접촉점은 웨이퍼 접촉부(400)에 의해 접촉되는 웨이퍼의 특정 기하학 구조에 따라 달라질 수도 있다.

도 5는 실시예에 따른 웨이퍼 접촉부(450)의 평면도를 도시하고 있다. 도 5에 도시되어 있는 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(450)는 패들 웨이퍼 접촉부이다. 웨이퍼 접촉부(450)는 전술되고 도 1에 도시되어 있는 스프링 빔(104)의 제2 아암(108), 또는 전술되고 도 2에 도시되어 있는 스프링 빔(206)의 제2 아암(210)과 같은, 스프링 빔의 아암의 단부에 위치될 수 있다. 웨이퍼 접촉부(450)는 웨이퍼 접촉부(450)가 부착되는 스프링 빔의 아암의 폭보다 더 큰 폭을 갖는 확장된 부분(452)을 포함할 수도 있다. 2개의 이어부(454)가 확장된 부분(452)으로부터 연장될 수도 있다. 실시예에서, 2개의 이어부(454)는 서로 평행하고 접촉 표면(456)에 수직으로 연장된다. 접촉 표면(456)은 웨이퍼 접촉부(450)의 확장된 부분(452) 상의 이어부(454) 사이에 있을 수 있다. 접촉 표면(456)은 볼록할 수 있고, 이어부(454)가 연장하는 방향으로 외향으로 불룩한 곡선을 포함한다. 특정 접촉점은 웨이퍼 접촉부(400)에 의해 접촉되는 웨이퍼의 특정 기하학 구조에 따라 달라질 수도 있다.

도 6은 실시예에 따른 FOUP(500)를 도시하고 있다. FOUP(500)는 도어(504)로부터 연장되는 복수의 스프링 빔(502)을 포함한다. 각각의 스프링 빔(502)은 제1 아암(506) 및 제2 아암(508)을 포함하고, 제2 아암(508)의 단부에 웨이퍼 접촉부(510)를 갖는다.

실시예에서, 복수의 스프링 빔(502)은 FOUP(500)의 도어(504)와 일체화된다.

실시예에서, 복수의 스프링 빔(502)은, FOUP(500)의 도어(504)와 별개로, 전술되고 도 1에 도시되어 있는 프레임(102)과 같은 프레임에 부착된다. 프레임은 예를 들어 하나 이상의 결합 방법에 의해 도어(504)에 결합될 수 있는데, 비한정적인 예는 접착제, 스냅 끼워맞춤 특징부, 플랜지 및 탭을 포함한다.

각각의 스프링 빔(502)은 웨이퍼 접촉부(510)를 포함한다. 스프링 빔(502)은 v-스프링일 수 있다. 스프링 빔(502)은 쌍으로 배열될 수 있고, 각각의 쌍은 기판이 웨이퍼 캐리어 내에 배치될 때 쌍의 스프링 빔(502)의 웨이퍼 접촉부(510)를 통해 하나의 기판과 접촉하도록 구성된다. 스프링 빔(502)은, 기판이 FOUP(500) 내에 배치될 때 스프링 빔(502)이 하나의 기판과 접촉하도록 위치된 2개의 웨이퍼 접촉부(510)를 함께 제공하도록 정렬될 수 있다.

스프링 빔(502)은 각각 제1 아암(506) 및 제2 아암(508)을 포함한다. 제2 아암(508)은 제1 아암(506)에 결합된다. 제1 아암(506)은 제1 방향으로 연장될 수도 있다. 제2 아암(508)은 제1 아암(506)이 연장되는 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 연장될 수도 있다. 실시예에서, 제2 아암(508)은 제1 아암(506)이 연장되는 방향과 반대 방향으로 연장될 수도 있다. 제2 아암(508)은 제1 아암(506)과 제2 아암(508) 사이에 각도가 형성되도록 제1 아암(506)에 결합될 수 있다. 제2 아암(508)은 제1 아암(506)과 제2 아암(508) 사이에 각도가 형성되도록 제1 아암(506)에 결합될 수 있다. 실시예에서, 제1 아암(506)과 프레임(502) 사이의 각도는 0° 내지 40°의 범위 내에 있다. 실시예에서, 제1 아암(506)과 제2 아암(508) 사이의 각도는 5° 내지 40°의 범위 내에 있다. 실시예에서, 제2 아암(508)의 길이 대 제1 아암(506)의 길이의 비는 2:1 내지 1:3의 범위 내에 있을 수 있다. 실시예에서, 제2 아암(508)은 제1 아암(506) 길이의 적어도 절반인 길이를 가질 수도 있다. FOUP(500)가 300 mm FOUP인 실시예에서, 제1 아암(506)은 55 mm 내지 45 mm 범위의 길이를 가질 수도 있다.

웨이퍼 접촉부(510)는 제2 아암(508)이 제1 아암(506)에 결합되는 장소의 반대쪽인 제2 아암(508)의 단부에 위치된다. 웨이퍼 접촉부(510)는 기판이 웨이퍼 컨테이너 내에 있을 때 기판과 맞물리도록 구성된 특징부이다. 웨이퍼 접촉부(510)는 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면을 포함할 수도 있다. 실시예에서, 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면은 볼록 형상을 갖고 만곡될 수 있다. 볼록 형상은 웨이퍼 접촉부(510)와 기판 사이에 구름 계면을 제공할 수도 있고, 기판과 표면을 따른 에지 또는 지점 사이의 접촉에 의한 입자의 발생을 제한할 수도 있다. 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(510)는 서로로부터 이격하여 연장하는 이어부를 포함하는 v-홈 웨이퍼 접촉부이고, 서로로부터 이격하는 연장부로서 이어부에 의해 형성된 V-형상의 정점에서 또는 그 부근에서 기판의 에지와 접촉하도록 구성된 표면을 갖는다. 이러한 웨이퍼 접촉부는 도 4a에 도시되어 있고 전술되어 있다. 실시예에서, 웨이퍼 접촉부(510)는 확장된 부분 및 서로 평행하게 확장된 부분으로부터 연장하는 2개의 이어부를 갖는, 패들식 웨이퍼 접촉부이다. 웨이퍼 접촉부(510)가 패들식 웨이퍼 접촉부일 때, 표면은 이어부 사이에 위치된 기판과 접촉하도록 구성된다. 이러한 웨이퍼 접촉부는 도 5에 도시되어 있고 전술되어 있다. 실시예에서, 제2 아암(508)이 제1 아암(506)에 결합되는 장소의 반대쪽의 제2 아암(508)의 단부에 위치된 웨이퍼 접촉부(510) 이외에 어떠한 다른 웨이퍼 접촉부도 스프링 빔(502) 상에 제공되지 않는다.

복수의 스프링 빔(502)은 FOUP(512)의 내부 공간에 웨이퍼 접촉부(510)를 제공하도록 위치된다. 실시예에서, 스프링 빔(502)은 FOUP의 도어로부터 FOUP(512)의 내부 공간 내로 돌출한다. FOUP는 FOUP에 있는 동안 기판(518)을 지지하는 FOUP의 측벽(514)을 따른 웨이퍼 지지부(516)를 더 포함할 수도 있다.

양태:

양태 1 내지 7 중 임의의 것은 양태 8 내지 16 또는 양태 17 내지 20 중 임의의 것과 조합될 수 있다는 것이 이해된다. 양태 8 내지 16 중 임의의 것은 양태 17 내지 20 중 임의의 것과 조합될 수 있다는 것이 이해된다.

양태 1. 웨이퍼 쿠션이며, 프레임; 및 복수의 스프링 빔을 포함하고, 복수의 스프링 빔의 각각은, 프레임에 결합되고 제1 방향으로 제1 아암 단부로 연장하는 제1 아암; 제1 아암 단부에서 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 제2 아암 단부로 연장하는 제2 아암; 및 제2 아암 단부에서 제2 아암에 결합된 웨이퍼 접촉부를 포함하는, 웨이퍼 쿠션.

양태 2. 양태 1에 있어서, 복수의 스프링 빔은, 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개에 의해 지지될 때, 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개의 빔의 제2 아암의 단부에서만 웨이퍼 접촉부와 접촉하도록 구성되는, 웨이퍼 쿠션.

양태 3. 양태 1 내지 2 중 어느 하나에 있어서, 웨이퍼 접촉부는 V-홈 웨이퍼 접촉부 또는 패들 웨이퍼 접촉부인, 웨이퍼 쿠션.

양태 4. 양태 1 내지 3 중 어느 하나에 있어서, 웨이퍼와 접촉하도록 구성된 웨이퍼 접촉부의 표면은 볼록한 표면을 갖는, 웨이퍼 쿠션.

양태 5. 양태 1 내지 4 중 어느 하나에 있어서, 제1 아암은 프레임의 둘레에서 프레임에 결합되고, 제1 방향은 프레임의 중심선을 향하는, 웨이퍼 쿠션.

양태 6. 양태 1 내지 5 중 어느 하나에 있어서, 각각의 스프링 빔은 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소에 위치된, 제2 아암 상의 2차 접촉점을 포함하고, 2차 웨이퍼 접촉부는 충격 이벤트가 발생할 때에만 웨이퍼와 접촉하도록 구성되는, 웨이퍼 쿠션.

양태 7. 웨이퍼 캐리어이며, 웨이퍼 쿠션을 포함하고, 웨이퍼 쿠션은: 프레임; 및 복수의 스프링 빔을 포함하고, 각각의 스프링 빔은, 프레임에 결합되고 제1 방향으로 제1 아암 단부로 연장하는 제1 아암; 제1 아암 단부에서 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 제2 아암 단부로 연장하는 제2 아암; 및 제2 아암 단부에서 제2 아암에 결합된 웨이퍼 접촉부를 포함하는, 웨이퍼 캐리어.

양태 8. 양태 7에 있어서, 웨이퍼 쿠션은 웨이퍼 캐리어의 도어 상에 장착되는, 웨이퍼 쿠션.

양태 9. 양태 7 내지 8 중 어느 하나에 있어서, 웨이퍼 캐리어는 전면 개방 통합 포드인, 웨이퍼 쿠션.

양태 10. 양태 7 내지 9 중 어느 하나에 있어서, 복수의 스프링 빔은, 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개에 의해 지지될 때, 웨이퍼 캐리어가 고정될 때 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개의 빔의 제2 아암의 단부에서만 웨이퍼 접촉부와 접촉하도록 구성되는, 웨이퍼 쿠션.

양태 11. 양태 7 내지 10 중 어느 하나에 있어서, 각각의 웨이퍼 접촉부는 V-홈 웨이퍼 접촉부 또는 패들 웨이퍼 접촉부인, 웨이퍼 쿠션.

양태 12. 양태 7 내지 11 중 어느 하나에 있어서, 웨이퍼와 접촉하도록 구성된 웨이퍼 접촉부의 표면은 볼록한 표면을 갖는, 웨이퍼 쿠션.

양태 13. 양태 7 내지 12 중 어느 하나에 있어서, 제1 아암은 프레임의 둘레에서 프레임에 결합되고, 제1 방향은 프레임의 중심선을 향하는, 웨이퍼 쿠션.

양태 14. 양태 7 내지 13 중 어느 하나에 있어서, 각각의 스프링 빔은 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소에 위치된, 제2 아암 상의 2차 접촉점을 포함하고, 2차 웨이퍼 접촉부는 충격 이벤트가 발생할 때에만 웨이퍼와 접촉하도록 구성되는, 웨이퍼 쿠션.

양태 15. 웨이퍼를 지지하는 방법이며, 2개의 웨이퍼 접촉부에서 기판을 접촉시키는 단계를 포함하고, 2개의 웨이퍼 접촉부의 각각은 별개의 스프링 빔에 결합되고, 스프링 빔은 제1 방향으로 연장하는 제1 아암 및 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 연장하는 제2 아암을 각각 포함하고, 웨이퍼 접촉부는 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소와 반대쪽의 제2 아암의 단부에 있는, 방법.

양태 16. 양태 15에 있어서, 충격 이벤트가 발생할 때 웨이퍼 접촉부가 위치되는 v-스프링의 제2 아암 상의 2개의 2차 접촉점에서 기판을 접촉시키는 단계를 더 포함하는, 방법.

양태 17. 양태 15에 있어서, 기판은 2개의 웨이퍼 접촉부에서만 스프링 빔과 접촉하는, 방법.

양태 18. 양태 15 내지 17 중 어느 하나에 있어서, 웨이퍼 접촉부는 기판과 접촉하도록 구성되는 볼록한 표면을 갖는, 방법.

이와 같이 본 개시내용의 몇 개의 예시적인 실시예를 설명하였지만, 통상의 기술자는 여기에 첨부된 청구범위의 범주 내에서 또 다른 실시예가 구성되고 사용될 수도 있다는 것을 즉시 이해할 수 있을 것이다. 본 문서에 의해 커버되는 개시내용의 수많은 장점이 상기 설명에서 설명되었다. 그러나, 본 개시내용은 다수의 관점에서, 단지 예시적인 것이라는 것이 이해될 수 있을 것이다. 본 개시내용의 범주를 초과하지 않는 범위 내에서 특히 형상, 크기 및 부품 배열에 관한 상세에서 변경이 이루어질 수도 있다. 본 개시내용의 범주는 물론, 첨부된 청구범위가 표현되는 언어로 정의된다.

Claims

웨이퍼 쿠션이며,
프레임; 및
복수의 스프링 빔을 포함하고, 복수의 스프링 빔의 각각은:
프레임에 결합되고 제1 방향으로 제1 아암 단부로 연장하는 제1 아암;
제1 아암 단부에서 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 제2 아암 단부로 연장하는 제2 아암; 및
제2 아암 단부에서 제2 아암에 결합된 웨이퍼 접촉부를 포함하는, 웨이퍼 쿠션.
제1항에 있어서, 복수의 스프링 빔은, 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개에 의해 지지될 때, 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개의 빔의 제2 아암의 단부에서만 웨이퍼 접촉부와 접촉하도록 구성되는, 웨이퍼 쿠션.
제1항에 있어서, 웨이퍼 접촉부는 V-홈 웨이퍼 접촉부 또는 패들 웨이퍼 접촉부인, 웨이퍼 쿠션.
제1항에 있어서, 웨이퍼와 접촉하도록 구성된 웨이퍼 접촉부의 표면은 볼록한 표면을 갖는, 웨이퍼 쿠션.
제1항에 있어서, 제1 아암은 프레임의 둘레에서 프레임에 결합되고, 제1 방향은 프레임의 중심선을 향하는, 웨이퍼 쿠션.
제1항에 있어서, 각각의 스프링 빔은 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소에 위치된, 제2 아암 상의 2차 접촉점을 포함하고, 2차 웨이퍼 접촉부는 충격 이벤트가 발생할 때에만 웨이퍼와 접촉하도록 구성되는, 웨이퍼 쿠션.
웨이퍼 캐리어이며, 웨이퍼 쿠션을 포함하고, 웨이퍼 쿠션은:
프레임; 및
복수의 스프링 빔을 포함하고, 복수의 스프링 빔의 각각은:
프레임에 결합되고 제1 방향으로 제1 아암 단부로 연장하는 제1 아암;
제1 아암 단부에서 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 제2 아암 단부로 연장하는 제2 아암; 및
제2 아암 단부에서 제2 아암에 결합된 웨이퍼 접촉부를 포함하는, 웨이퍼 캐리어.
제7항에 있어서, 웨이퍼 쿠션은 웨이퍼 캐리어의 도어 상에 장착되는, 웨이퍼 캐리어.
제7항에 있어서, 웨이퍼 캐리어는 전면 개방 통합 포드인, 웨이퍼 캐리어.
제7항에 있어서, 복수의 스프링 빔은, 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개에 의해 지지될 때, 웨이퍼 캐리어가 고정될 때 웨이퍼가 복수의 스프링 빔 중 2개의 빔의 제2 아암의 단부에서만 웨이퍼 접촉부와 접촉하도록 구성되는, 웨이퍼 캐리어.
제7항에 있어서, 각각의 웨이퍼 접촉부는 V-홈 웨이퍼 접촉부 또는 패들 웨이퍼 접촉부인, 웨이퍼 캐리어.
제7항에 있어서, 웨이퍼와 접촉하도록 구성된 웨이퍼 접촉부의 표면은 볼록한 표면을 갖는, 웨이퍼 캐리어.
제7항에 있어서, 제1 아암은 프레임의 둘레에서 프레임에 결합되고, 제1 방향은 프레임의 중심선을 향하는, 웨이퍼 캐리어.
제7항에 있어서, 각각의 스프링 빔은 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소에 위치된, 제2 아암 상의 2차 접촉점을 포함하고, 2차 웨이퍼 접촉부는 충격 이벤트가 발생할 때에만 웨이퍼와 접촉하도록 구성되는, 웨이퍼 캐리어.
웨이퍼를 지지하는 방법이며,
2개의 웨이퍼 접촉부에서 웨이퍼를 접촉시키는 단계를 포함하고,
2개의 웨이퍼 접촉부의 각각은 별개의 스프링 빔에 결합되고,
스프링 빔은 제1 방향으로 연장하는 제1 아암 및 제1 아암에 결합되고 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 연장하는 제2 아암을 각각 포함하고,
웨이퍼 접촉부는 제2 아암이 제1 아암에 결합되는 장소와 반대쪽의 제2 아암의 단부에 있는, 방법.
제15항에 있어서, 충격 이벤트가 발생할 때 웨이퍼 접촉부가 위치되는 v-스프링의 제2 아암 상의 2개의 2차 접촉점에서 웨이퍼를 접촉시키는 단계를 더 포함하는, 방법.
제15항에 있어서, 웨이퍼는 2개의 웨이퍼 접촉부에서만 스프링 빔과 접촉하는, 방법.
제15항에 있어서, 웨이퍼 접촉부는 웨이퍼와 접촉하도록 구성되는 볼록한 표면을 갖는, 방법.