TWI447055B - 基板收納容器 - Google Patents

Description

基板收納容器

本發明係關於將如複數半導體晶圓或圓形石英玻璃基板等較薄的圓盤狀基板加以保管、輸送等時用來收納的基板收納容器。

基板收納容器中一般設有用以將如複數半導體晶圓等圓盤狀基板以並列方式排成一排之狀態下加以收納之容器本體。該容器本體中，形成有用以將圓盤狀基板取出置入之基板取出置入開口。又，設置用以封閉基板取出置入開口之蓋體，俾以可任意裝卸之方式自外側安裝於基板取出置入開口。

為在容器本體內以不搖晃之狀態固持圓盤狀基板，自容器本體內基板取出置入開口觀察，於內側區域配置內側固持部，於蓋體內壁部設有蓋側扣件。

惟蓋體若未達安裝於容器本體基板取出置入開口之狀態蓋側扣件即無法呈固持圓盤狀基板之狀態。在此，設有用以在未安裝蓋體之狀態時於基板取出置入開口附近區域載置圓盤狀基板之基板暫時載置片。圓盤狀基板若未達由蓋側扣件固持之狀態，即呈自基板暫時載置片浮昇之狀態(例如專利文獻1)。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本特表2003-522078　圖10等

近年來，以提升生產性或降低成本等為目的，半導體晶圓等之大口徑化正獲得進展。係半導體晶圓時，其直徑目前雖以300mm為主流，但預期在可見的將來會達450mm。

若對基板收納容器施加振動或撞擊等，即會產生撓曲於收納在其內部之圓盤狀基板。如此圓盤狀基板之撓曲量會伴隨著圓盤狀基板大口徑化而顯著增大。此因圓盤狀基板之壁厚無法對應直徑而增加。

因此，於基板收納容器內以自基板載置片浮昇之狀態經固持之圓盤狀基板一旦在基板收納容器中經施加振動或撞擊而撓曲，即可能導致接觸(或碰撞)基板載置片，於基板收納容器內受到損傷、污損。

本發明之目的在於提供一種基板收納容器，即使經收納之圓盤狀基板因振動或撞擊等而撓曲亦無接觸基板載置片之虞，即使係經大口徑化之圓盤狀基板亦可安全將其收納。

為達成上述目的，本發明之基板收納容器包含：容器本體，用來在以並列之方式將複數圓盤狀基板排成一排之狀態下收納該圓盤狀基板；基板取出置入開口，為將該圓盤狀基板取出置入該容器本體而形成於該容器本體；蓋體，為封閉該基板取出置入開口而以可任意裝卸之方式自外側安裝於該基板取出置入開口；內側固持部，在該容器本體內自該基板取出置入開口觀察內側之區域定位固持該各圓盤狀基板外緣部；蓋側扣件，設於該蓋體內壁部，朝該內側固持部側推入該各圓盤狀基板以定位固持該各圓盤狀基板；及基板暫時載置片，用以在該蓋體未安裝於該基板取出置入開口之狀態下時，於該基板取出置入開口附近區域載置該圓盤狀基板；該基板收納容器之特徵在於設有下列者：基板載置部，用來在未以該蓋側扣件推入該圓盤狀基板之狀態下時，於該容器本體內自該基板取出置入開口觀察內側之區域載置該圓盤狀基板外緣部附近；及基板恢復機構，用來在經以該蓋側扣件推入之該圓盤狀基板呈未藉由該蓋側扣件推入之狀態時，使該圓盤狀基板回到未由該內側固持部定位固持之位置；且設定該基板暫時載置片之位置，俾自該基板取出置入開口卸除該蓋體，該圓盤狀基板呈未由該內側固持部定位固持之狀態時，沿垂直於該圓盤狀基板面之方向觀察該基板暫時載置片與該圓盤狀基板重疊，該蓋體安裝於該基板取出置入開口，該圓盤狀基板呈被推入至由該內側固持部定位固持之位置之狀態時，沿垂直於該圓盤狀基板面之方向觀察該基板暫時載置片不與該圓盤狀基板重疊。

又，該基板恢復機構亦可係抵接該圓盤狀基板外周面之彈簧狀構件，該基板載置部亦可鄰接抵接該圓盤狀基板之該彈簧狀構件的抵接面，與該彈簧狀構件一體形成。又，亦可設置該彈簧狀構件呈自該內側固持部端部伸出之狀態。

且該內側固持部與該基板載置部鄰接並一體設置，此時，亦可在該內側固持部與該基板載置部之間形成有孔，該彈簧狀構件前端部分通過該孔抵接該圓盤狀基板外周面。

且該基板恢復機構亦可係以重力朝傾斜下方引導該圓盤狀基板之斜面。此時，亦可隔著該斜面連續一體形成該內側固持部與該基板載置部，該斜面亦可係於該內側固持部形成V形溝槽之二面中其中一面。

依本發明，設定基板暫時載置片之位置，俾蓋體安裝於基板取出置入開口，圓盤狀基板被推入至由內側固持部定位固持之位置止之狀態時，沿垂直於圓盤狀基板面之方向觀察基板暫時載置片不與圓盤狀基板重疊，藉此圓盤狀基板即使經大口徑化，收納於容器本體內之圓盤狀基板亦無因振動或撞擊等接觸基板暫時載置片之虞，可更安全地收納如半導體晶圓或石英玻璃基板等之圓盤狀基板。

以下，參照圖式說明本發明實施例。

圖1係依本發明第1實施例基板收納容器之立體圖，圖2係其俯視剖面圖。1係用來在以並列方式將呈較薄的圓盤狀所形成之複數圓盤狀基板W排成一排之狀態下收納該基板之容器本體。容器本體1在圓盤狀基板W取出置入時，以沿水平方向收納各圓盤狀基板W之狀態配置該基板。

於容器本體1內，多數圓盤狀基板W相互間隔著間隙，沿面與面相對之方向收納多數該基板。惟圖1圖示於容器本體1內最下段位置僅收納一片圓盤狀基板W之狀態。又，此實施例中圓盤狀基板W雖係半導體晶圓，但即使係圓形石英玻璃基板等亦適用本發明。

於容器本體1四側面中之一側面，形成有用以將圓盤狀基板W取出置入之基板取出置入開口2。又，設置用以封閉此基板取出置入開口2之蓋體20，俾可以任意裝卸之方式自外側安裝於基板取出置入開口2。

又，於蓋體20雖設有用以密封基板取出置入開口2與蓋體20外緣部之間，具有彈力性之密封構件，或用以鎖定蓋體20之鎖定機構等，但省略關於此等者之說明。

於容器本體1內自基板取出置入開口2觀察內側區域，配置有用以將各圓盤狀基板W外緣部定位固持於容器本體1內之內側固持部3。內側固持部3如圖2所示，自基板取出置入開口2觀察於中心線X(垂直於基板取出置入開口2方向容器本體1之中心線)之右側與左側隔著空間設有一對。且關於內側固持部3於後詳述。

3’係於容器本體1內最內中心線X位置附近所配置之後方扣件。後方扣件3’具有朝基板取出置入開口2側以具有彈力之方式推壓並固持圓盤狀基板W之功能。惟本發明中，無論是否配置後方扣件3’皆可，故關於後方扣件3’未包含於以後之說明。

另一方面，於蓋體20內壁部，設有用以分別自基板取出置入開口2側朝內側固持部3側以具有彈力之方式抵緊各圓盤狀基板W外緣部並加以定位固持之公知蓋側扣件21。

蓋側扣件21其蓋體20安裝於容器本體1基板取出置入開口2時抵接各圓盤狀基板W外周部之V形溝槽狀部分具有由具有彈性而易於彈性變形之支持構件22支持之構成，設於中心線X位置附近。

於容器本體1內基板取出置入開口2附近區域，遠離中心線X之位置(亦即，容器本體1左右側壁附近位置)，設有蓋體20未安裝於基板取出置入開口2之狀態時用以載置圓盤狀基板W外緣部之基板暫時載置片4。

如圖3所示，以於內側固持部3與基板暫時載置片4之間隔著連結部5之狀態作為一塑膠零件以一體成形之方式形成該內側固持部3與基板暫時載置片4。內側固持部3係以遠離圓盤狀基板W中心之一側為底之V字狀溝槽。

因此，藉由蓋側扣件21自基板取出置入開口2側朝暫時載置片固持部3側推入各圓盤狀基板W，藉由呈該基板外周稜線部分抵緊內側固持部3V字狀溝槽部之狀態，呈定位固持於此之狀態(參照圖5)。

又，圖3雖已圖示用以於容器本體1內僅支持一片圓盤狀基板W之左半部(亦即自基板取出置入開口2側觀察之左半部)之構件，但於容器本體1內，係在相同構件沿垂直方向重疊之狀態下更以左右對稱之方式配置有複數對。

基板暫時載置片4係自容器本體1側壁側朝內方突出之架座狀構件，蓋體20未安裝於基板取出置入開口2之狀態(亦即，未以蓋側扣件21朝內側推入圓盤狀基板W之狀態)下時，圓盤狀基板W外緣部呈經載置於基板暫時載置片4突出端附近之狀態。

6係未以蓋側扣件21推入圓盤狀基板W之狀態下時於容器本體1內自基板取出置入開口2觀察內側之區域用以載置圓盤狀基板W外緣部附近之基板載置部。基板載置部6呈剖面形狀較小之L字狀形成，由其水平面部分載置圓盤狀基板W。

如此之基板載置部6形成於自內側固持部3端部更沿圓盤狀基板W周方向伸出之彈簧狀構件7前端部分。彈簧狀構件7以與內側固持部3、基板暫時載置片4及連結部5一體成形之方式形成而具有彈性。又，彈簧狀構件7前端自基板載置部6垂直立起之垂直面係抵接圓盤狀基板W外周面之抵接面8。

其結果，一旦將在蓋體20未安裝於基板取出置入開口2之狀態下由基板暫時載置片4與基板載置部6載置之圓盤狀基板W藉由安裝蓋體20自基板取出置入開口2側以蓋側扣件21推入，圓盤狀基板W外緣部即在由基板載置部6載置之狀態下使彈簧狀構件7彈性變形並同時朝內側移動，嵌入內側固持部3V形溝槽部而呈經定位固持之狀態。

且一旦將以蓋側扣件21自基板取出置入開口2側經推入之圓盤狀基板W藉由卸除蓋體20而使其呈未以蓋側扣件21推入之狀態，圓盤狀基板W即會因恢復成彈性變形前形狀之彈簧狀構件7而朝基板取出置入開口2側被推回，圓盤狀基板W回到未由內側固持部3定位固持之位置。

圖-4係容器本體1蓋體20未安裝於基板取出置入開口2狀態之側視剖面略示圖。圖4中，為便於說明組合適當複數部分之剖面形狀以作為一張圖顯示之。

如此自基板取出置入開口2卸除蓋體20，圓盤狀基板W外緣部由基板載置部6載置之狀態下時，如圖2所示，沿垂直於圓盤狀基板W的面之方向觀察基板暫時載置片4與圓盤狀基板W重疊。

其結果，如圖4所示，各圓盤狀基板W外緣部於基板取出置入開口2側由基板暫時載置片4載置，於內側不嵌入內側固持部3V形溝槽而呈由基板載置部6載置之狀態。

蓋體20一旦安裝於基板取出置入開口2，如圖5所略示，至圓盤狀基板W呈嵌入蓋側扣件21與內側固持部3各V形溝槽而經定位固持之狀態之位置止推入該基板，如圖6所示，沿垂直於圓盤狀基板W的面之方向觀察基板暫時載置片4與圓盤狀基板W不重疊。於容器本體1內基板暫時載置片4之位置如此設定之。

因此，在蓋體20安裝於基板取出置入開口2之狀態下，收納於容器本體1內之圓盤狀基板W即使因振動或撞擊等而撓曲亦無接觸基板暫時載置片4之虞，圓盤狀基板即使經大口徑化亦可安全收納之。

又，一旦自基板取出置入開口2卸除蓋體20，圓盤狀基板W即會因彈簧狀構件7而稍微回到基板取出置入開口2側，呈與基板暫時載置片4重疊之狀態，如圖2所示呈由基板暫時載置片4與基板載置部6載置之狀態。

圖7係依本發明第2實施例基板收納容器中蓋體20經安裝狀態之俯視剖面圖。於此實施例中，內側固持部3與基板載置部6鄰接，與基板暫時載置片4一齊藉由一體成形之方式一體設置之。圖8係顯示該構件之立體圖。

且於此實施例，彈簧狀構件7作為獨立之零件形成，其基部固著於連結部5之背面部分。又，於內側固持部3與基板載置部6之間形成孔9，彈簧狀構件7前端部分通過孔9抵接圓盤狀基板W外周面。未設有後方扣件(亦可設置之)。

圖9與圖10圖示圖7中IX-IX剖面與X-X剖面，與第1實施例相同，基板載置部6為載置圓盤狀基板W具有與圓盤狀基板W下表面一致之平面，內側固持部3具有用以定位固定圓盤狀基板W之V形溝槽。

其他構成與第1實施例相同，如圖7所示，在容器本體1蓋體20安裝於基板取出置入開口2之狀態下朝內側推入圓盤狀基板W，沿垂直於圓盤狀基板W的面之方向觀察基板暫時載置片4與圓盤狀基板W呈不重疊狀態。

又，一旦自基板取出置入開口2卸除蓋體20，圓盤狀基板W即會因彈簧狀構件7而稍微回到基板取出置入開口2側，呈與基板暫時載置片4重疊之狀態，與圖2所示之第1實施例時相同呈由基板暫時載置片4與基板載置部6載置之狀態。

圖11與圖13係依本發明第3實施例基板收納容器中未安裝蓋體20狀態與經安裝狀態之俯視剖面圖。於此實施例，連續一體形成V形溝槽狀之內側固持部3與水平面狀之基板載置部6。

作為基板恢復機構不設置彈簧類，如圖示XII-XII剖面與XIV-XIV剖面之圖12與圖14所示，內側固持部3中形成V形溝槽之二個斜面內下側之斜面10係藉由重力將圓盤狀基板W引導至傾斜下方之基板載置部6之基板恢復機構。因此，亦可隔著係基板恢復機構之斜面10連續一體形成內側固持部3與基板載置部6。

如此構成之實施例中，在容器本體1蓋體20未安裝於基板取出置入開口2時，如圖11與圖12所示，各圓盤狀基板W外緣部亦於基板取出置入開口2側由基板暫時載置片4載置，於內側不嵌入內側固持部3V形溝槽而呈由基板載置部6載置之狀態。

又，蓋體20一旦安裝於基板取出置入開口2，即如圖13、圖14所示，至圓盤狀基板W嵌入內側固持部3V形溝槽而經定位固持之位置止以蓋側扣件21推入該基板，沿垂直於圓盤狀基板W的面之方向基板暫時載置片4與圓盤狀基板W不重疊。

其結果，收納於容器本體1內之圓盤狀基板W即使因振動或撞擊等而撓曲亦無接觸基板暫時載置片4之虞，圓盤狀基板即使經大徑化亦可安全收納之。

又，一旦自基板取出置入開口2卸除蓋體20，圓盤狀基板W即會因重力而於斜面10滑下，如圖12所示回到呈經載置在基板載置部6上的狀態，圓盤狀基板W呈與基板暫時載置片4重疊之狀態，呈由基板暫時載置片4與基板載置部6載置之狀態。

W．．．圓盤狀基板

X．．．中心線

1．．．容器本體

2．．．基板取出置入開口

3．．．內側固持部

3’．．．後方扣件

4．．．基板暫時載置片

5．．．連結部

6．．．基板載置部

7．．．彈簧狀構件(基板恢復機構)

8．．．抵接面

9．．．孔

10．．．斜面(基板恢復機構)

20．．．蓋體

21．．．蓋側扣件

22．．．支持構件

圖1係依本發明第1實施例之基板收納容器中蓋體經卸除狀態之外觀立體圖。

圖2係依本發明第1實施例基板收納容器中蓋體經卸除狀態之俯視剖面圖。

圖3係依本發明第1實施例基板收納容器中，支持基板之構件之單體立體圖。

圖4係依本發明第1實施例基板收納容器中未安裝蓋體狀態之複合側視剖面圖。

圖5係依本發明第1實施例基板收納容器中經安裝蓋體狀態之複合側視剖面圖。

圖6係依本發明第1實施例基板收納容器中經安裝蓋體狀態之俯視剖面圖。

圖7係依本發明第2實施例基板收納容器中經安裝蓋體狀態之俯視剖面圖。

圖8係依本發明第2實施例基板收納容器中，支持基板之構件之單體立體圖。

圖9係圖示圖7中IX-IX剖面之剖面圖。

圖10係圖示圖7中X-X剖面之剖面圖。

圖11係依本發明第3實施例之基板收納容器中蓋體經卸除狀態之俯視剖面圖。

圖12係圖示圖11中XII-XII剖面之剖面圖。

圖13係依本發明第3實施例之基板收納容器中蓋體經安裝狀態之俯視剖面圖。

圖14係圖示圖13中XIV-XIV剖面之剖面圖。

W．．．圓盤狀基板

1．．．容器本體

2．．．基板取出置入開口

3．．．內側固持部

3’．．．後方扣件

4．．．基板暫時載置片

20．．．蓋體

Claims (9)

1. 一種基板收納容器，包含：容器本體，用來在以並列之方式將複數圓盤狀基板排成一排之狀態下收納該圓盤狀基板；基板取出置入開口，為將該圓盤狀基板取出置入該容器本體而形成於該容器本體；蓋體，為封閉該基板取出置入開口而以可任意裝卸之方式自外側安裝於該基板取出置入開口；內側固持部，在該容器本體內自該基板取出置入開口觀察內側之區域定位固持該各圓盤狀基板外緣部；蓋側扣件，設於該蓋體內壁部，朝該內側固持部側推入該各圓盤狀基板以定位固持該各圓盤狀基板；及基板暫時載置片，用以在該蓋體未安裝於該基板取出置入開口之狀態下時，於該基板取出置入開口附近區域載置該圓盤狀基板；該基板收納容器之特徵在於設有下列者：基板載置部，用來在未以該蓋側扣件推入該圓盤狀基板之狀態下時，於該容器本體內自該基板取出置入開口觀察內側之區域載置該圓盤狀基板外緣部附近；及基板恢復機構，用來在經以該蓋側扣件推入之該圓盤狀基板呈未藉由該蓋側扣件推入之狀態時，使該圓盤狀基板回到未由該內側固持部定位固持之位置；且設定該基板暫時載置片之位置，俾自該基板取出置入開口卸除該蓋體，該圓盤狀基板呈未由該內側固持部定位固持之狀態時，沿垂直於該圓盤狀基板面之方向觀察該基板暫時載置片與該圓盤狀基板重疊，該蓋體安裝於該基板取出置入開口，該圓盤狀基板呈被推入至由該內側固持部定位固持之位置之狀態時，沿垂直於該圓盤狀基板面之方向觀察該基板暫時載置片不與該圓盤狀基板重疊。
2. 如申請專利範圍第1項之基板收納容器，其中該基板恢復機構係抵接該圓盤狀基板外周面之彈簧狀構件。
3. 如申請專利範圍第2項之基板收納容器，其中該基板載置部鄰接抵接該圓盤狀基板之該彈簧狀構件的抵接面，與該彈簧狀構件一體形成。
4. 如申請專利範圍第2項之基板收納容器，其中設置該彈簧狀構件呈自該內側固持部端部伸出之狀態。
5. 如申請專利範圍第2項之基板收納容器，其中該內側固持部與該基板載置部鄰接並一體設置。
6. 如申請專利範圍第5項之基板收納容器，其中在該內側固持部與該基板載置部之間形成有孔，該彈簧狀構件前端部分通過該孔抵接該圓盤狀基板外周面。
7. 如申請專利範圍第1項之基板收納容器，其中該基板恢復機構係以重力朝傾斜下方引導該圓盤狀基板之斜面。
8. 如申請專利範圍第7項之基板收納容器，其中隔著該斜面連續一體形成該內側固持部與該基板載置部。
9. 如申請專利範圍第7項之基板收納容器，其中該斜面係於該內側固持部形成V形溝槽之二面中其中一面。