JPWO2018131363A1 - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
蓋体を容器本体に取り付けて、基板を支持部から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部からの押圧力を基板受け部に効率的に伝達できる基板収納容器を提供する。基板収納容器(1)は、正面に開口(11)を有し、内側に基板Wを支持する支持部(12)と、支持部(12)よりも奥側に位置する一対の基板受け部(13)とが形成された容器本体(10)と、基板(W)を押さえる基板押さえ部(210)が形成された押さえ部材(21)を有する蓋体(20)と、を備える基板収納容器(1)であって、蓋体(20)を容器本体(10)に取り付けたときには、基板押さえ部(210)と、基板受け部(13)とによって基板(W)を支持部(12)から持ち上げて支持し、蓋体(20)を容器本体(10)から取り外したときには、基板(W)を支持部(12)によって支持し、基板受け部(13)と基板押さえ部(210)とが、相対向する位置に配設されている。
Description
本発明は、複数枚の基板を収納する基板収納容器に関する。
基板収納容器は、半導体ウエハなどの基板を内部空間に収納し、倉庫での保管、半導体加工装置間での搬送、工場間での輸送などに使用されている。このため、基板収納容器は、輸送時の振動、衝撃などから収納した基板を保護するようになっている。
このような基板収納容器として、容器本体の正面に開口を有し、開口を閉鎖する蓋体を備え、容器本体の両側面に設けられた基板を支持する支持部及び基板受け部と、蓋体に設けられた基板押さえ部とを有し、蓋体を容器本体に取り付けたときに、基板を基板押さえ部と基板受け部との間に挟んで、基板を支持部から持ち上げて支持するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、これらの基板収納容器では、基板を上下方向に案内する基板受け部が容器本体の両側面に設けられており、蓋体に設けられた基板押さえ部からの押圧力は、斜めに分散し、基板受け部に効率よく伝わらないため、大きな押付力が必要であった。
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、蓋体を容器本体に取り付けて、基板を支持部から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部からの押圧力を基板受け部に効率的に伝達できる基板収納容器を提供することを目的とする。
(1)本発明に係る一つの態様は、正面に開口を有し、内側に基板を支持する支持部と、支持部よりも奥側に位置する一対の基板受け部とが形成された容器本体と、前記基板を押さえる基板押さえ部が形成された押さえ部材を有する蓋体と、を備える基板収納容器であって、前記基板収納容器は、前記蓋体を前記容器本体に取り付けたときには、前記基板押さえ部と、前記基板受け部とによって前記基板を前記支持部から持ち上げて支持し、前記蓋体を前記容器本体から取り外したときには、前記基板を前記支持部によって支持し、前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、相対向する位置に配設されているものである。
(2)上記(1)の態様において、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向と前記基板受け部の基板を押す押圧方向とが、平行であってもよい。
(3)上記(1)又は(2)の態様において、前記基板受け部の前記基板を押す押圧方向とX方向の中心線Xとの交点X1と、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向と前記中心線Xとの交点X2とは、0mmから50mmの範囲に位置していてもよい。
(4)上記(1)から(3)までのいずれか一つの態様において、前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、Y方向の中心線Yと平行な一直線上にあってもよい。
(2)上記(1)の態様において、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向と前記基板受け部の基板を押す押圧方向とが、平行であってもよい。
(3)上記(1)又は(2)の態様において、前記基板受け部の前記基板を押す押圧方向とX方向の中心線Xとの交点X1と、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向と前記中心線Xとの交点X2とは、0mmから50mmの範囲に位置していてもよい。
(4)上記(1)から(3)までのいずれか一つの態様において、前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、Y方向の中心線Yと平行な一直線上にあってもよい。
本発明によれば、蓋体を容器本体に取り付けて、基板を支持部から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部からの押圧力を基板受け部に効率的に伝達できる基板収納容器を提供できる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。
(第1実施形態)
まず、基板収納容器1について説明する。図1は、基板収納容器1を示す分解概略斜視図である。図2Aは、蓋体20を取り付けたときの基板収納容器1を示す(a)正面図、(b)平面図、(c)A−A断面図であり、図2Bは、蓋体20を取り付けたときの基板収納容器1を示す(d)B−B断面図、(e)G部の拡大断面図、(f)H部の拡大断面図、(g)I部の拡大断面図である。なお、図1には、基板収納容器1の両側面方向をX軸、奥側及び正面方向をY軸、上下方向をZ軸として示している。以下の図においても、必要に応じてX軸、Y軸、Z軸を示す。
まず、基板収納容器1について説明する。図1は、基板収納容器1を示す分解概略斜視図である。図2Aは、蓋体20を取り付けたときの基板収納容器1を示す(a)正面図、(b)平面図、(c)A−A断面図であり、図2Bは、蓋体20を取り付けたときの基板収納容器1を示す(d)B−B断面図、(e)G部の拡大断面図、(f)H部の拡大断面図、(g)I部の拡大断面図である。なお、図1には、基板収納容器1の両側面方向をX軸、奥側及び正面方向をY軸、上下方向をZ軸として示している。以下の図においても、必要に応じてX軸、Y軸、Z軸を示す。
図1に示される基板収納容器1は、複数枚の基板Wを収納するものであり、容器本体10及び蓋体20を備えている。基板収納容器1に収納される基板Wとしては、直径が300mmや450mmの半導体ウエハ、マスクガラスなど挙げられるが、これに限定されない。
容器本体10は、正面に開口11を有する箱状体のものであり、いわゆるフロントオープン型のものであるが、トップオープン型などであってもよい。ただし、300mm径や450mm径の基板Wは、容器本体10への挿入操作の行い易さから、フロントオープン型が好ましい。
容器本体10には、基板Wを支持する一対の支持部12と、一対の基板受け部13と、が形成されている。なお、図1には図示されていないが、一対のうち他方の支持部12及び基板受け部13は、対称な位置に形成されている。
支持部12は、容器本体10の内側左右両側面の2か所に対向して形成されている(図2A(c)参照)。また、この支持部12は、いわゆる溝ティースで構成されるもので、高さ方向に形成された複数の溝で構成されている(図2B(d)参照)。そして、基板Wは、それぞれの溝に挿入されて収納される。
基板受け部13は、容器本体10の内側の背面の2か所に並んで形成されており(図2A(c)参照)、支持部12よりも奥側に位置している(図2B(d)参照)。この基板受け部13にも、支持部12に形成された溝に応じた個数で複数の溝が形成されている。
一方、蓋体20は、容器本体10の開口11を閉鎖し、基板収納容器1の内部空間を形成するようになっている。また、容器本体10と蓋体20との間には、図示しないパッキンが配置されている。パッキンは、蓋体20を容器本体10に取り付けたときに、基板収納容器1の気密性を確保し、基板収納容器1への外部からの埃、湿気などの侵入を低減させることができる。
蓋体20は、押さえ部材21を有しており、この押さえ部材21に、基板Wを押さえる基板押さえ部210が形成されている(図2A(c)参照)。押さえ部材21は、蓋体20の内側のX軸方向の中央部に設けられている。
基板押さえ部210は、X軸方向に沿って2か所に形成され、この2か所で基板Wを押さえて支持する。基板押さえ部210は、例えば、押さえ部材21の弾性を有するアーム220に形成されており、アーム220の弾性によって基板Wに接触して基板Wを押さえるようになっている。なお、基板押さえ部210は、収納可能な基板Wの枚数に応じて上下方向に複数形成されている。
容器本体10及び蓋体20の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイなどが挙げられる。
支持部12の材料としては、容器本体10と同様のものを用いることができるが、基板Wの滑り性を良くするために、環状オレフィンポリマーなどの非結晶性樹脂を用いてもよい。
基板受け部13の材料としては、容器本体10と同様のものを用いることができるが、基板Wの滑り性を良くするために、環状オレフィンポリマーなどの非結晶性樹脂を用いてもよい。
押さえ部材21の材料としては、蓋体20と同様のものを用いることができるが、基板Wとの摩耗性を良くするために、ポリカーボネート、ポリカーボネートとポリブチレンテレフタレートのアロイといった熱可塑性樹脂を用いたり、滑り性を良くするために添加物を含有させたりしてもよい。
ここで、蓋体20を容器本体10から取り外したときの容器本体10への基板Wの収納状態、及び、蓋体20を容器本体10に取り付けたときの容器本体10への基板Wの収納状態について説明する。図3Aは、蓋体20を取り外したときの容器本体10を示す(a)正面図、(b)平面図、(c)E−E断面図であり、図3Bは、蓋体20を取り外したときの容器本体10を示す(d)F−F断面図、(e)J部の拡大断面図、(f)K部の拡大断面図である。
基板Wを容器本体10に収納する場合、基板Wは、容器本体10の正面の開口11から、向き合う一対の支持部12の同じ高さの溝に挿入され、左右一対の支持部12のみによって支持された状態で収納される(図3B(f)参照)。そして、基板Wが支持部12のみによって支持された状態では、基板Wの奥側が基板受け部13(に形成されたV字溝130の下方)に接触しないように、支持部12には図示しない傾斜段部が形成されている。
そして、基板Wを支持部12のみによって支持した状態から、蓋体20を容器本体10に取り付けたときには、基板Wが、基板押さえ部210と基板受け部13とで挟まれることによって、基板Wは支持部12から持ち上げられ、基板押さえ部210と基板受け部13とで支持される(図2B参照)。
詳細に説明すると、基板押さえ部210には、V字溝211が形成されており(図2B(g)参照)、蓋体20を容器本体10に取り付けたときに、基板Wの正面側が基板押さえ部210のV字溝211に嵌り込むようになっている。その後、基板Wが基板押さえ部210によって奥側に押されると、基板受け部13では、図3B(e)に示した状態から、図2B(e)に示した状態へ、基板WがV字溝130を滑って持ち上がり、V字溝130の奥側の底に到達する。
このようにして、基板収納容器1に収納された基板Wは、支持部12から持ち上がった状態で、基板受け部13と基板押さえ部210とで支持されることになる。そして、蓋体20を容器本体10から取り外したときには、基板Wは支持部12のみによって支持されることになる。
つぎに、基板受け部13と基板押さえ部210との位置関係について説明する。図4は、基板収納容器1における基板Wの支持状態を示す断面図である。
図4において、基板受け部13と基板押さえ部210とが、相対向する位置に配設されている。このとき、基板受け部13の基板Wを押す押圧方向CDと、基板押さえ部210の基板Wを押す押圧方向PDとが、平行な位置関係となっている。
図4において、基板受け部13と基板押さえ部210とが、相対向する位置に配設されている。このとき、基板受け部13の基板Wを押す押圧方向CDと、基板押さえ部210の基板Wを押す押圧方向PDとが、平行な位置関係となっている。
つまり、基板受け部13の基板Wを押す押圧方向CDとX方向の中心線Xとの交点X1と、基板押さえ部210の基板Wを押す押圧方向PDとX方向の中心線Xとの交点X2と、の離間距離は、0mmから50mmの範囲に位置している。なお、X方向の中心線X及びY方向の中心線Yは、収納した基板Wの中心を通るものとする。
また、基板受け部13と基板押さえ部210との位置関係を、角度によって表現すると、基板受け部13と基板押さえ部210とを結ぶ直線は、中心線Yに対する角度θが、0度から15度の範囲で傾斜していてもよい。更に言い換えると、基板収納容器1に収納された基板Wにおける正面側の頂点と基板受け部13とを結ぶ直線は、中心線Yに対する角度γが、8度から15度の範囲に位置していてもよい。
第1実施形態の基板収納容器1によれば、蓋体20を容器本体10に取り付けて、基板Wを支持部12から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部210からの押圧力を基板受け部13に効率的に伝達できる基板収納容器1を提供することができる。また、基板Wを支持部12から持ち上げて離すことで、輸送時の振動、衝撃などが支持部12から基板Wに伝わるのを抑えることができる。
(第2実施形態)
図5は、第2実施形態の基板収納容器1Aにおける基板Wの支持状態を示す断面図である。
第2実施形態は、蓋体20A、押さえ部材21A、基板押さえ部210A及びアーム220Aの形状が第1実施形態とは異なっており、その他の部分は、第1実施形態と同様である。具体的には、2か所の基板押さえ部210A間の距離が、第1実施形態のものよりも長く、基板押さえ部210Aがアーチ型のアーム220Aの両端に形成されている。
図5は、第2実施形態の基板収納容器1Aにおける基板Wの支持状態を示す断面図である。
第2実施形態は、蓋体20A、押さえ部材21A、基板押さえ部210A及びアーム220Aの形状が第1実施形態とは異なっており、その他の部分は、第1実施形態と同様である。具体的には、2か所の基板押さえ部210A間の距離が、第1実施形態のものよりも長く、基板押さえ部210Aがアーチ型のアーム220Aの両端に形成されている。
また、基板受け部13の基板Wを押す押圧方向CDと、基板押さえ部210Aの基板Wを押す押圧方向PDとが、一直線上に位置している。つまり、交点X1と交点X2との離間距離は、0mmであり、角度θは0度となる。なお、角度γは、8度から15度の範囲に位置している。
第2実施形態の基板収納容器1Aによれば、基板受け部13の基板Wを押す押圧方向CDと、基板押さえ部210Aの基板Wを押す押圧方向PDとが、一直線上に位置している、つまり、交点X1と交点X2との離間距離が0mmであるから、押圧力の伝達効率に関して、理想的な位置関係になっているといえる。そのため、蓋体20Aを容器本体10に取り付けて、基板Wを支持部12から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部210Aからの押圧力を基板受け部13に効率的に伝達できる基板収納容器1Aを提供することができる。
(変形例)
上記各実施形態において、支持部12及び基板受け部13は、容器本体10と一体成形してもよいし、容器本体10に別部品で取り付けてもよい。
上記各実施形態において、支持部12及び基板受け部13は、容器本体10と一体成形してもよいし、容器本体10に別部品で取り付けてもよい。
また、基板受け部13に形成されたV字溝130の傾斜や基板押さえ部210,210Aに形成されたV字溝211の傾斜は、図示したものに限らず、基板受け部13及び基板押さえ部210,210Aに使用する材料に対する基板Wの滑り性や基板押さえ部210,210Aの基板Wを押す押圧力によって変更してもよい。
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
1,1A 基板収納容器
10 容器本体、11 開口、12 支持部、13 基板受け部
20,20A 蓋体、21,21A 押さえ部材、210,210A 基板押さえ部、
W 基板
CD 基板受け部の基板を押す押圧方向
PD 基板押さえ部の基板を押す押圧方向
X1,X2 交点
10 容器本体、11 開口、12 支持部、13 基板受け部
20,20A 蓋体、21,21A 押さえ部材、210,210A 基板押さえ部、
W 基板
CD 基板受け部の基板を押す押圧方向
PD 基板押さえ部の基板を押す押圧方向
X1,X2 交点
Claims (4)
- 正面に開口を有し、内側に基板を支持する支持部と、支持部よりも奥側に位置する一対の基板受け部とが形成された容器本体と、
前記基板を押さえる基板押さえ部が形成された押さえ部材を有する蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記基板収納容器は、前記蓋体を前記容器本体に取り付けたときには、前記基板押さえ部と、前記基板受け部とによって前記基板を前記支持部から持ち上げて支持し、前記蓋体を前記容器本体から取り外したときには、前記基板を前記支持部によって支持し、
前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、相対向する位置に配設されている基板収納容器。 - 前記基板受け部の基板を押す押圧方向と、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向とが、平行である請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記基板受け部の前記基板を押す押圧方向とX方向の中心線Xとの交点X1と、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向と前記中心線Xとの交点X2とは、0mmから50mmの範囲に位置している請求項1又は2に記載の基板収納容器。
- 前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、Y方向の中心線Yと平行な一直線上にある請求項1から3までのいずれか1項に記載の基板収納容器。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017003587 | 2017-01-12 | ||
JP2017003587 | 2017-01-12 | ||
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- 2017-12-11 JP JP2018561868A patent/JPWO2018131363A1/ja active Pending
- 2017-12-11 WO PCT/JP2017/044410 patent/WO2018131363A1/ja active Application Filing
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