JPWO2018185894A1 - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
本発明の基板収納容器は、蓋体側基板支持部７を有し、蓋体側基板支持部７は、蓋体側基板受け部７３と蓋体側脚部７２と、を備える。蓋体側基板受け部７３は、下側傾斜面７３１と、上側傾斜面７３２と、下側傾斜面７３１の下端部に接続され、下側傾斜面７３１の傾斜よりも、複数の基板が並列された並列方向に一致する上下方向Ｄ２とのなす角が小さく傾斜する下側基板誘い込み傾斜面７３３と、上側傾斜面７３２の上端部に接続され、上側傾斜面７３２の傾斜よりも上下方向Ｄ２とのなす角が小さく傾斜する上側基板誘い込み傾斜面７３４と、を有する。蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときの溝７０３が延びる方向において、容器本体開口部の中央に近づくにつれて下側基板誘い込み傾斜面７３３の上下方向Ｄ２の長さは長くなる。
Description
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３参照）。
容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、基板に直接当接して基板を支持する蓋体側基板受け部と、蓋体側基板受け部を支持する蓋体側脚部とを有しており、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
上記公報記載の基板収納容器においては、蓋体によって容器本体開口部を閉塞する際に、フロントリテーナにおいて基板の誘い込み不良、即ち、隣接する複数の蓋体側基板受け部間に基板が入り込んで基板外れの状態となることが発生しやすい。
本発明は、フロントリテーナにおける基板の誘い込み不良の発生を抑えることが可能な基板収納容器を提供することを目的とする。
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、前記蓋体側基板支持部は、前記基板に直接当接して前記基板を支持する蓋体側基板受け部と、前記蓋体側基板受け部を支持する蓋体側脚部と、を備え、前記蓋体側基板受け部は、前記基板収納空間の中心から離間するように傾斜して延びる下側傾斜面と、前記基板収納空間の中心に接近するように、前記下側傾斜面の上端部から傾斜して延びる上側傾斜面と、前記下側傾斜面の下端部に接続され、前記下側傾斜面の傾斜よりも、前記複数の基板が並列された並列方向に一致する上下方向とのなす角が小さく傾斜する下側基板誘い込み傾斜面と、前記上側傾斜面の上端部に接続され、前記上側傾斜面の傾斜よりも前記上下方向とのなす角が小さく傾斜する上側基板誘い込み傾斜面と、を有し、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記下側傾斜面及び前記上側傾斜面は、前記基板に当接し、前記下側傾斜面及び前記上側傾斜面により形成される溝において前記基板を支持し、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときの前記溝が延びる方向において、前記容器本体開口部の中央に近づくにつれて前記下側基板誘い込み傾斜面の前記上下方向の長さは長くなる基板収納容器に関する。
また、前記蓋体側基板受け部は、前記容器本体の一端部から他端部へ向う方向で見たときに平行四辺形状を有していることが好ましい。
本発明によれば、フロントリテーナにおける基板の誘い込み不良の発生を抑えることが可能な基板収納容器を提供することができる。
以下、本実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図３は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。
図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図３は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図３等参照）を備えている。
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。
奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７（図３等参照）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
以下、各部について、詳細に説明する。
図４は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す斜視図である。図５は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す正面図である。図６は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す側方断面図である。図７は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ基板受け部７３を示す拡大断面図である。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
図４は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す斜視図である。図５は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す正面図である。図６は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す側方断面図である。図７は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ基板受け部７３を示す拡大断面図である。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置された内装部品である。具体的には、図２に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部としての支持壁５２とを有している。板部５１と支持壁５２は、樹脂材料が一体成形されて構成されており、板部５１は、支持壁５２によって支持されている。
板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に図示しない板状の部材が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする図示しない部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
支持壁５２は、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状を有している。支持壁５２は、板部５１の長手方向において所定の長さを有しており、板部５１の側端縁に接続されている。板状の支持壁５２は、板部５１の外側端縁に沿って基板収納空間２７へ湾曲している。
即ち、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた支持壁５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた支持壁５２に接続されている。支持壁５２は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
図２に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１及び支持壁５２と一体成形されて構成されている。従って、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とは、容器本体２の内部において容器本体２に対して固定される結合した１つの内装部品を構成する。
奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。
奥側端縁支持部６０は、下側傾斜面６１１と上側傾斜面６１２と、を有しており、これらにより、略Ｖ字状溝が形成されている。蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞したときには、基板Ｗが下側傾斜面６１１に対して摺動してせり上がり、基板Ｗの縁部が上側傾斜面６１２に当接したときに、基板Ｗの縁部は奥側端縁支持部６０に支持される。
蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
図３に示すように、蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４の内側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。
フロントリテーナ７は、蓋体側基板受け部としてのフロントリテーナ基板受け部７３を有している。フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられており、それぞれ弾性変形可能な蓋体側脚部としての脚部７２により支持されている。脚部７２の端部には、上下方向Ｄ２に沿って平行に延びている縦枠体７１が脚部７２に一体成形されて設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、脚部７２の弾性力により、基板Ｗの縁部の端縁を、基板収納空間２７の中心へ付勢した状態で挟持して支持する。
具体的には、フロントリテーナ基板受け部７３は、図７に示すように、下側傾斜面７３１と上側傾斜面７３２とを有している。
下側傾斜面７３１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面の端縁に当接する。上側傾斜面７３２は、基板Ｗの表面の端縁に当接する。具体的には、下側傾斜面７３１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。上側傾斜面７３２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心に接近するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪む凹溝であって、左右方向Ｄ３へ延びる凹溝であるＶ字状溝７０３を形成する。
また、フロントリテーナ基板受け部７３は、下側基板誘い込み傾斜面７３３と、上側基板誘い込み傾斜面７３４とを有している。下側基板誘い込み傾斜面７３３は、下側傾斜面７３１の下端部に接続されており、略下方向へ傾斜して延びている。下側基板誘い込み傾斜面７３３は、下側傾斜面７３１の傾斜よりも、上下方向Ｄ２とのなす角が小さく傾斜する。即ち、図７に示すように、Ｖ字状溝７０３の頂点から離れるにつれて、Ｖ字状溝７０３が広がるように、下側基板誘い込み傾斜面７３３は傾斜している。
上側基板誘い込み傾斜面７３４は、上側傾斜面７３２の上端部に接続されており、略上方向へ傾斜して延びている。上側基板誘い込み傾斜面７３４は、上側傾斜面７３２の傾斜よりも、上下方向Ｄ２とのなす角が小さく傾斜する。即ち、図７に示すように、Ｖ字状溝７０３の頂点から離れるにつれて、Ｖ字状溝７０３が広がるように、上側基板誘い込み傾斜面７３４は傾斜している。
図５等に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３は、容器本体２の一端部から他端部へ向う方向視、即ち、背面視で、平行四辺形状を有している。即ち、一対の短辺と、一対の長辺とを有している。図５に示す背面視で、一対の短辺は、上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有している。また、図５に示す背面視で、一対の長辺は、左右方向Ｄ３に対して所定の角度をなす位置関係を有しており、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときのＶ字状溝７０３が延びる方向である左右方向Ｄ３において、容器本体開口部２１の中央に近づくにつれて、即ち、図５におけるフロントリテーナ７の中央に近づくにつれて、下側基板誘い込み傾斜面７３３の上下方向Ｄ２の長さは下方向Ｄ２２に向って長くなる。
また、上述のようにフロントリテーナ基板受け部７３は、平行四辺形状を有しているため、上側基板誘い込み傾斜面７３４は、フロントリテーナ７の中央から遠くなるにつれて、上方向Ｄ２１へ延びているが、左側（図５に示されている右側）のフロントリテーナ基板受け部７３の上側基板誘い込み傾斜面７３４の左端部は、所定の位置から更に左方向Ｄ３１へ向うにつれて上下方向Ｄ２における幅が短くなるような面取り７３５が施された形状を有している。同様に、右側（図５に示されている左側）のフロントリテーナ基板受け部７３の上側基板誘い込み傾斜面７３４の右端部は、所定の位置から更に右方向Ｄ３２へ向うにつれて上下方向Ｄ２における幅が短くなるような面取り７３５が施された形状を有している。
次に、上述した基板収納容器１において、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞する際の動作について説明する。図８は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ基板受け部７３のＶ字状溝７０３に基板Ｗが挿入される様子を示す模式図である。
先ず、図１に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３が水平面に平行の位置関係となるように容器本体２を配置させる。次に、複数枚の基板Ｗを基板支持板状部５の板部５１の凸部５１１、５１２にそれぞれ載置する。
先ず、図１に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３が水平面に平行の位置関係となるように容器本体２を配置させる。次に、複数枚の基板Ｗを基板支持板状部５の板部５１の凸部５１１、５１２にそれぞれ載置する。
次に、蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆき、フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３に当接させる。そして、図８に示すように、更に蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆくと、基板Ｗの縁部の裏面の端縁は、上下方向Ｄ２へ長く形成された下側基板誘い込み傾斜面７３３に対向しているため、下側基板誘い込み傾斜面７３３に当接し、図８において矢印で示す方向へ摺動し導かれる。そして、下側傾斜面７３１に至ると、基板Ｗの縁部の裏面の端縁は、下側傾斜面７３１に当接し、下側傾斜面７３１に対して摺動してせり上がる。同様に、奥側端縁支持部６０においても、基板Ｗが図示しない下側傾斜面６１１に至ると、基板Ｗの縁部の裏面の端縁は、奥側端縁支持部６０の下側傾斜面６１１に当接し、下側傾斜面６１１に対して摺動してせり上がる。
そして、基板ＷがＶ字状溝７０３の頂点の位置に至ったときに、基板Ｗの裏面の端縁、表面の端縁が、それぞれ下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２に当接して、基板Ｗの縁部がＶ字状溝７０３に支持される。同様に、基板Ｗの裏面の端縁、表面の端縁は、奥側端縁支持部６０の下側傾斜面６１１、上側傾斜面６１２に当接して奥側端縁支持部６０に支持される。
上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納空間２７に対向する蓋体３の部分に配置されて、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗを支持可能な奥側基板支持部６と、を備えている。
フロントリテーナ７は、基板Ｗに直接当接して基板Ｗを支持する蓋体側基板受け部としてのフロントリテーナ基板受け部７３と、フロントリテーナ基板受け部７３を支持する蓋体側脚部としての脚部７２と、を備えている。
フロントリテーナ基板受け部７３は、基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延びる下側傾斜面７３１と、基板収納空間２７の中心に接近するように、下側傾斜面７３１の上端部から傾斜して延びる上側傾斜面７３２と、下側傾斜面７３１の下端部に接続され、下側傾斜面７３１の傾斜よりも、複数の基板Ｗが並列された並列方向に一致する上下方向Ｄ２とのなす角ａが小さく傾斜する下側基板誘い込み傾斜面７３３と、上側傾斜面７３２の上端部に接続され、上側傾斜面７３２の傾斜よりも上下方向Ｄ２とのなす角ｂが小さく傾斜する上側基板誘い込み傾斜面７３４と、を有している。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、下側傾斜面７３１及び上側傾斜面７３２は、基板Ｗに当接し、下側傾斜面７３１及び上側傾斜面７３２により形成されるＶ字状溝７０３において基板Ｗを支持する。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときのＶ字状溝７０３が延びる方向において、容器本体開口部２１の中央に近づくにつれて下側基板誘い込み傾斜面７３３の上下方向Ｄ２の長さは長くなる。
前述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納空間２７に対向する蓋体３の部分に配置されて、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗを支持可能な奥側基板支持部６と、を備えている。
フロントリテーナ７は、基板Ｗに直接当接して基板Ｗを支持する蓋体側基板受け部としてのフロントリテーナ基板受け部７３と、フロントリテーナ基板受け部７３を支持する蓋体側脚部としての脚部７２と、を備えている。
フロントリテーナ基板受け部７３は、基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延びる下側傾斜面７３１と、基板収納空間２７の中心に接近するように、下側傾斜面７３１の上端部から傾斜して延びる上側傾斜面７３２と、下側傾斜面７３１の下端部に接続され、下側傾斜面７３１の傾斜よりも、複数の基板Ｗが並列された並列方向に一致する上下方向Ｄ２とのなす角ａが小さく傾斜する下側基板誘い込み傾斜面７３３と、上側傾斜面７３２の上端部に接続され、上側傾斜面７３２の傾斜よりも上下方向Ｄ２とのなす角ｂが小さく傾斜する上側基板誘い込み傾斜面７３４と、を有している。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、下側傾斜面７３１及び上側傾斜面７３２は、基板Ｗに当接し、下側傾斜面７３１及び上側傾斜面７３２により形成されるＶ字状溝７０３において基板Ｗを支持する。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときのＶ字状溝７０３が延びる方向において、容器本体開口部２１の中央に近づくにつれて下側基板誘い込み傾斜面７３３の上下方向Ｄ２の長さは長くなる。
上記構成により、下方向Ｄ２２へ下側基板誘い込み傾斜面７３３が拡大される。これにより、蓋体３を閉塞させるときに、基板Ｗの縁部の裏面の端縁が下側基板誘い込み傾斜面７３３に当接しやすくなる。この結果、蓋体３を下側基板誘い込み傾斜面７３３を介して、容易に下側傾斜面７３１に当接する状態とすることが可能となり、確実にＶ字状溝７０３へ導くことが可能となる。これにより、フロントリテーナ７において基板Ｗの誘い込み不良、即ち、隣接する複数のフロントリテーナ基板受け部７３間に基板Ｗが入り込んで基板外れの状態となることを軽減可能である。従って、手動で蓋体３を閉める際にも、基板Ｗの誘い込み不良を気にする必要がなくなり、作業性が向上する。
また、フロントリテーナ基板受け部７３は、容器本体２の一端部から他端部へ向う方向（前方向Ｄ１１）である背面視で見たときに平行四辺形状を有している。上記構成により、上下方向Ｄ２において隣接するＶ字状溝７０３とＶ字状溝７０３との間隔を広げずに、下方向Ｄ２２へ下側基板誘い込み傾斜面７３３を拡大することが可能となる。従って、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、Ｖ字状溝７０３において支持される基板Ｗの位置を、基板誘い込み傾斜面７３３を拡大しない従来の構成と同様の位置とすることが可能となる。
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。即ち、側方基板支持部や、蓋体側基板支持部や、奥側基板支持部の構成は、基板支持板状部５と、フロントリテーナ７、奥側基板支持部６の構成に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
例えば、蓋体側基板受け部の構成は、フロントリテーナ基板受け部７３の構成に限定されない。従って、左側（図５に示されている右側）のフロントリテーナ基板受け部７３の上側基板誘い込み傾斜面７３４の左端部、及び、右側（図５に示されている左側）のフロントリテーナ基板受け部７３の上側基板誘い込み傾斜面７３４の右端部は、面取り７３５が施された形状を有していたが、このような面取りが施された形状を有していなくてもよい。
また、奥側基板支持部は、本実施形態では奥側基板支持部６により構成されたが、この構成に限定されない。例えば、容器本体に一体成形されて構成されたリアリテーナによって、奥側基板支持部が構成されてもよい。
例えば、蓋体側基板受け部の構成は、フロントリテーナ基板受け部７３の構成に限定されない。従って、左側（図５に示されている右側）のフロントリテーナ基板受け部７３の上側基板誘い込み傾斜面７３４の左端部、及び、右側（図５に示されている左側）のフロントリテーナ基板受け部７３の上側基板誘い込み傾斜面７３４の右端部は、面取り７３５が施された形状を有していたが、このような面取りが施された形状を有していなくてもよい。
また、奥側基板支持部は、本実施形態では奥側基板支持部６により構成されたが、この構成に限定されない。例えば、容器本体に一体成形されて構成されたリアリテーナによって、奥側基板支持部が構成されてもよい。
１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
５ 基板支持板状部（側方基板支持部）
６ 奥側基板支持部
７ フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
７２ 脚部（蓋体側脚部）
７３ フロントリテーナ基板受け部（蓋体側基板受け部）
７０３Ｖ字状溝
７３１下側傾斜面
７３２上側傾斜面
７３３下側基板誘い込み傾斜面
７３４上側基板誘い込み傾斜面
Ｗ 基板
２ 容器本体
３ 蓋体
５ 基板支持板状部（側方基板支持部）
６ 奥側基板支持部
７ フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
７２ 脚部（蓋体側脚部）
７３ フロントリテーナ基板受け部（蓋体側基板受け部）
７０３Ｖ字状溝
７３１下側傾斜面
７３２上側傾斜面
７３３下側基板誘い込み傾斜面
７３４上側基板誘い込み傾斜面
Ｗ 基板
Claims (2)
- 一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、
前記蓋体側基板支持部は、前記基板に直接当接して前記基板を支持する蓋体側基板受け部と、前記蓋体側基板受け部を支持する蓋体側脚部と、を備え、
前記蓋体側基板受け部は、
前記基板収納空間の中心から離間するように傾斜して延びる下側傾斜面と、
前記基板収納空間の中心に接近するように、前記下側傾斜面の上端部から傾斜して延びる上側傾斜面と、
前記下側傾斜面の下端部に接続され、前記下側傾斜面の傾斜よりも、前記複数の基板が並列された並列方向に一致する上下方向とのなす角が小さく傾斜する下側基板誘い込み傾斜面と、
前記上側傾斜面の上端部に接続され、前記上側傾斜面の傾斜よりも前記上下方向とのなす角が小さく傾斜する上側基板誘い込み傾斜面と、を有し、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記下側傾斜面及び前記上側傾斜面は、前記基板に当接し、前記下側傾斜面及び前記上側傾斜面により形成される溝において前記基板を支持し、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときの前記溝が延びる方向において、前記容器本体開口部の中央に近づくにつれて前記下側基板誘い込み傾斜面の前記上下方向の長さは長くなる基板収納容器。 - 前記蓋体側基板受け部は、前記容器本体の一端部から他端部へ向う方向で見たときに平行四辺形状を有している請求項１に記載の基板収納容器。
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