JPWO2014080454A1 - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

本発明の基板収納容器（１）は、蓋体（３）によって容器本体開口部（２１）が閉塞されているときに、複数の基板（Ｗ）の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部（７３）と、蓋体（３）によって容器本体開口部（２１）が閉塞されているときに蓋体側基板支持部（７３）と協働して基板収納空間（２７）内において複数の基板（Ｗ）を支持する奥側基板支持部（６）と、を備える。蓋体側基板支持部（７３）は、柔軟性を発現させて基板（Ｗ）を支持し、蓋体（３）によって容器本体開口部（２１）が閉塞されている状態の容器本体（２）における基板収納空間（２７）に収納されている基板（Ｗ）を閉塞状態基板（Ｗ１）といい、閉塞状態基板（Ｗ１）の中心を閉塞時中心（Ｃ１）という場合に、閉塞状態基板（Ｗ１）を厚さ方向（Ｄ２）に視たときに、奥側基板支持部（６）は、奥行き方向基準線（ＣＬ１）を挟んで対をなして設けられ、基板（Ｗ）を支持し、閉塞状態基板（Ｗ１）を厚さ方向（Ｄ２）に視たときに奥側基板支持部（６）が左右方向基準線（ＣＬ２（に対して奥行き方向（Ｄ１２）へ向けてなす中心角（α）は、２０°以上５５°以下である。

Description

本発明は、基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の基板を並列させた状態で複数収納する基板収納容器に関する。

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、側方基板支持部と、蓋体側基板支持部と、奥側基板支持部とを備える構成のものが、従来より知られている。
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。

蓋体側基板支持部は、蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分に設けられている。蓋体側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。
奥側基板支持部は、蓋体側基板支持部と対をなすように壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、蓋体側基板支持部と協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する（特許文献１参照）。
なお、奥側基板支持部は、側方基板支持部と一体に形成されていてもよく、あるいは、側方基板支持部とは別体で構成されていてもよい。

特開２０１１−１０８７１５号公報

基板が収納された基板収納容器を運搬しているときには、基板収納容器の外部から加わる衝撃が、奥側基板支持部及び蓋体側基板支持部を介して基板に伝達し、基板が破損することがある。このため、基板に衝撃が伝達されることを極力抑制することが要求される。

本発明は、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に衝撃が伝達されることを極力抑制できる基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、前記蓋体側基板支持部は、柔軟性を発現させて基板を支持し、前記容器本体の一端部から当該一端部に対する他端部へ向かう方向を奥行き方向といい、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている状態の前記容器本体における前記基板収納空間に収納されている基板を閉塞状態基板といい、前記閉塞状態基板の中心を閉塞時中心といい、前記閉塞時中心を通り且つ前記奥行き方向に平行な仮想直線を奥行き方向基準線といい、前記閉塞時中心を通り且つ前記奥行き方向に直交する仮想直線を左右方向基準線という場合に、前記閉塞状態基板を厚さ方向に視たときに、前記奥側基板支持部は、前記奥行き方向基準線を挟んで対をなして設けられ、基板を支持し、前記閉塞状態基板を厚さ方向に視たときに前記奥側基板支持部が前記左右方向基準線に対して前記奥行き方向へ向けてなす中心角は、２０°以上５５°以下である基板収納容器に関する。

また、前記中心角は、３５°以上５０°以下であることが好ましい。

また、基板の直径は４５０ｍｍ以上であることが好ましい。

本発明によれば、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に衝撃が伝達されることを極力抑制できる基板収納容器を提供することができる。

本実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。 本実施形態に係る基板収納容器を示す縦断面図である。 本実施形態に係る基板収納容器の奥側基板支持部を示す側方拡大断面図である。 本実施形態に係る基板収納容器について蓋体を開いた状態を示す分解斜視図である。 本実施形態に係る基板収納容器の容器本体の基板収容空間に基板を収納した状態を示す分解斜視図である。 本実施形態に係る基板収納容器を示す平面視断面図である。 本実施形態に係る基板収納容器に基板を保持した様子を示す平面視断面図である。 本実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す後方斜視図である。

以下、本発明の本実施形態による基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。図２Ａは、本実施形態に係る基板収納容器を示す縦断面図である。図２Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の奥側基板支持部を示す側方拡大断面図である。図３Ａは、本実施形態に係る基板収納容器について蓋体を開いた状態を示す分解斜視図である。図３Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の容器本体の基板収容空間に基板を収納した状態を示す分解斜視図である。図４Ａは、本実施形態に係る基板収納容器を示す平面視断面図である。図４Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器に基板を保持した様子を示す平面視断面図である。図５は、本実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す後方斜視図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図２Ａにおける左方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向（奥行き方向）Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。後方向（奥行き方向）Ｄ１２は、容器本体２の一端部から当該一端部に対する他端部へ向かう方向でもある。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図２Ａにおける上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。上下方向Ｄ２は、基板収納容器１に収納される基板Ｗの厚さ方向でもある。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図２Ａにおける紙面の表面から裏面へと向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図４Ｂ等参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。基板Ｗは、例えば、直径４５０ｍｍ以上のシリコンウェーハであり、本実施形態における基板Ｗは、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１〜図３Ｂに示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、基板支持板状部５と、フロントリテーナ７とを有している。

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、複数の基板Ｗ（図３Ｂ，図４Ｂ参照）を収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。奥側基板支持部６は、基板支持板状部５の奥側（後方向Ｄ１２の側）に一体的に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体で構成されていてもよい。

蓋体３は、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。

図３Ａ等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には後述のように、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

図３Ａに示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図１、図２Ａ、図３Ａに示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３３及びフランジ固定部２３４が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３３は、上壁２３の外面から上方向Ｄ２１へ突出し、複数設けられている。リブ２３３は、略前後方向Ｄ１へ延びるものと、略左右方向Ｄ３へ延びるものとを有している。フランジ固定部２３４には、トップフランジ２３５が固定される。トップフランジ２３５は、上壁２３に固定され、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

図１に示すように、下壁２４の外面には、容器本体脚部２４３が設けられている。図３Ａ等に示すように、容器本体脚部２４３は、下壁２４の左右両端縁に、下壁２４とは別体で設けられており、下壁２４の左右両端縁に沿って前後方向Ｄ１に延びている。容器本体脚部２４３は、下壁２４を下側（下方向Ｄ２２の側）として容器本体２を水平な平坦面上に載置したときに、当該平坦面に当接して、容器本体２を安定して支持する。

図２Ａ、図３Ａ、図４Ａに示すように、基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、図２Ａに示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部５２と奥側基板支持部６とを有している。板部５１と板部支持部５２と奥側基板支持部６とは、樹脂が一体成形されて構成されている。板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と略同一形状のものが配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。

また、図４Ａに示すように、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２Ａに示すように、板部５１の上面には、凸部５１１が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

板部支持部５２は、図２Ａに示すように、上下方向Ｄ２に延びる部材により構成されている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた板部支持部５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた板部支持部５２に接続されている。

板部支持部５２は、第１側壁係止部５３を有している。第１側壁係止部５３、５３は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ設けられた側方板係止部２５１、２６１に係止可能である。このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

ここで、説明の便宜上、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されている状態の容器本体２における基板収納空間２７に収納されている基板Ｗを「閉塞状態基板Ｗ１」という（図４Ｂ参照）。蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていない状態の容器本体２における基板収納空間２７に収納されている基板Ｗを「非閉塞状態基板Ｗ２」という（図３Ｂ参照）。

また、図４Ｂに示すように、閉塞状態基板Ｗ１の中心を「閉塞時中心Ｃ１」という。なお、基板Ｗを厚さ方向Ｄ２に視たときに、閉塞時中心Ｃ１と非閉塞状態基板Ｗ２の中心（図示せず）とは、通常ずれている（特に前後方向Ｄ１２にずれている）。閉塞時中心Ｃ１を通り且つ後方向（奥行き方向）Ｄ１２に平行な仮想直線を「奥行き方向基準線ＣＬ１」という。閉塞時中心Ｃ１を通り且つ後方向（奥行き方向）Ｄ１２に直交する仮想直線を「左右方向基準線ＣＬ２」という。

図４Ｂに示すように、閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向Ｄ２に視たときに、奥側基板支持部６は、奥行き方向基準線ＣＬ１を挟んで対をなして設けられている。図２Ａに示すように、奥側基板支持部６は、壁部基板支持部６０と、側壁後部係止部６７とを有している。側壁後部係止部６７、６７は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ設けられた奥側基板支持部係止部２５２、２６２に係止可能である。
第１側壁係止部５３、５３が側方板係止部２５１、２６１に係止されると共に、側壁後部係止部６７、６７が奥側基板支持部係止部２５２、２６２に係止されることによって、基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。

奥側基板支持部６の壁部基板支持部６０は、実質的に柔軟性を発現させずに基板Ｗを支持する。「実質的に柔軟性を発現させずに」とは、壁部基板支持部６０の材質や構造に工夫をして意図的に柔軟性を発現させることが無いという意味である。
なお、奥側基板支持部６は、柔軟性を発現させた状態で基板Ｗを支持する構成とすることもできる。

壁部基板支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。

壁部基板支持部６０は、図２Ｂに示すように、第１当接面６２１を有する支持部上部６２と、第２当接面６３１を有する支持部上部６３とを有している。
図４Ｂに示すように、基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられること（閉塞されること）により、基板Ｗ（閉塞状態基板Ｗ１）が奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、第１当接面６２１には、基板Ｗの上面の縁部の端縁が当接可能であり、また、第２当接面６３１には、基板Ｗの下面の縁部の端縁が当接可能である。

図３Ａに示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図４Ａに示すように、蓋体３の外周縁部においては、シール部材嵌合溝３１が蓋体３の外周縁部に沿って形成されている。シール部材嵌合溝３１においては、弾性変形可能なＰＯＥ（ポリオキシエチレン）製、ＰＥＥをはじめとするポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー製、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等の環状のシール部材４が、嵌め込まれている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

シール部材４は、容器本体開口部２１を形成している容器本体２の部分である開口周縁部２８に当接可能である。シール部材４は、開口周縁部２８と蓋体３との間に介在して開口周縁部２８に密着して当接することにより、蓋体３によって容器本体開口部２１を気密の状態で閉塞可能である。
また、開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図３Ａ、図３Ｂに示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

図３Ａに示すように、蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

図４Ａ及び図５に示すように、蓋体３の内面の一部であって、容器本体開口部２１を閉塞する部分には、容器本体２の前方向Ｄ１１に窪んだ蓋体脚部固定用凹部３４１が形成されている。蓋体脚部固定用凹部３４１は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央位置において、蓋体３の左右方向Ｄ３における幅の３分の１程度の幅を有して、上下方向Ｄ２において、蓋体３の上端部近傍から下端部近傍に至るまで形成されている。蓋体脚部固定用凹部３４１の上端及び下端は、蓋体３の縁部により形成されている。蓋体３の内面の部分であって、左右方向Ｄ３における蓋体脚部固定用凹部３４１の両脇の部分は、内面左右端部平坦面３４２により構成されている。

蓋体３は、左右方向Ｄ３における蓋体３の中央において上下に延びる仮想線を中心とした対称の構成を有している。このため、以下、主として右側（図５に示す左側）の部分の構成について詳述し、左側（図５に示す右側）の部分については、詳細な説明を省略する。

このように、蓋体３は、対称の構成を有しているため、蓋体３に固定されているフロントリテーナ７も、仮想線を中心として対照的に２つ設けられている。即ち、後述する他方の蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３において対をなして配置されている。対をなしているフロントリテーナ基板受け部７３のうちの、一方のフロントリテーナ基板受け部７３に接続されたフロントリテーナ脚部７２と、対をなしているフロントリテーナ基板受け部７３のうちの他方のフロントリテーナ基板受け部７３に接続されたフロントリテーナ脚部７２とは、別体で構成されている。

図５に示すように、左右方向Ｄ３における蓋体脚部固定用凹部３４１の両端部近傍においては、フロントリテーナ係止板３４３が一対設けられている。一対のフロントリテーナ係止板３４３は、上下方向Ｄ２に延びている。また、左右方向Ｄ３における各内面左右端部平坦面３４２の中央部分には、フロントリテーナ係止部３４４がそれぞれ１つずつ設けられている。

図５に示すように、蓋体３の内面に対向する位置であって、左側（左方向Ｄ３１の側）のフロントリテーナ係止板３４３から左側のフロントリテーナ係止部３４４に至るまでの位置には、フロントリテーナ７が設けられている。フロントリテーナ７は、上下方向Ｄ２に平行に延びる一対の縦枠体７１と、一対のフロントリテーナ脚部７２と、フロントリテーナ基板受け部７３とを有している。一対の縦枠体７１、フロントリテーナ脚部７２、及びフロントリテーナ基板受け部７３は、樹脂により一体成形され、互いに接続されている。フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３は、柔軟性を発現させて基板Ｗを支持することができる。

図５に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３は、蓋体脚部固定用凹部３４１内に配置されておらず、奥行方向（後方向Ｄ１２）において蓋体脚部固定用凹部３４１よりも奥側（後方向Ｄ１２の側）に配置されている。

フロントリテーナ基板受け部７３の一端部である左端部は、一対のフロントリテーナ脚部７２のうちの一方のフロントリテーナ脚部７２１の右端部に接続されている。フロントリテーナ基板受け部７３の他端部である右端部は、一対のフロントリテーナ脚部７２のうちの他方のフロントリテーナ脚部７２２の左端部に接続されている。
フロントリテーナ基板受け部７３及び対をなしているフロントリテーナ脚部７２は、上下方向Ｄ２に２５個並列した状態で設けられている。
一方の縦枠体７１（７１１）は、フロントリテーナ係止部３４４に係止される。一方の縦枠体７１１がフロントリテーナ係止部３４４に係止され、他方の縦枠体７１（７１２）がフロントリテーナ係止板３４３に係止されることにより、フロントリテーナ７は、蓋体３に固定される。

図４Ａ及び図４Ｂに示すように、閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向（上下方向Ｄ２）に視たときに、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３は、奥行き方向基準線ＣＬ１を挟んで対をなして設けられている。閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向（上下方向Ｄ２）に視たときに、奥側基板支持部６の壁部基板支持部６０が左右方向基準線ＣＬ２に対して後方向（奥行き方向）Ｄ１２へ向けてなす中心角αは、２０°以上５５°以下である。中心角αは、好ましくは３５°以上５０°以下である。

閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向（上下方向Ｄ２）に視たときに、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３が左右方向基準線ＣＬ２に対して前方向Ｄ１１へ向けてなす中心角βは、６０°以上８５°以下である。

中心角αを規定する場合において、奥側基板支持部６（壁部基板支持部６０）の基準位置は、次の通りとする。閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向Ｄ２に視たときに、奥側基板支持部６（壁部基板支持部６０）の基準位置は、奥側基板支持部６（壁部基板支持部６０）における閉塞状態基板Ｗ１の支持に実質的に寄与している部分（「支持寄与部分」ともいう）とする。支持寄与部分が、閉塞状態基板Ｗ１の周方向に沿って長さを有している場合には、その長さの中心位置を基準位置とする。１枚の閉塞状態基板Ｗ１に対して奥行き方向基準線ＣＬ１に対して一方の側に、奥側基板支持部６（壁部基板支持部６０）が複数設けられている場合には、奥側基板支持部６（壁部基板支持部６０）ごとの基準位置の平均の位置を基準位置とする。
蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３における中心角βの基準位置も、前述の奥側基板支持部６（壁部基板支持部６０）における中心角αと同様に規定される。

上記構成の本実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように、本実施形態においては、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３は、柔軟性を発現させて基板Ｗを支持し、閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向（上下方向Ｄ２）に視たときに、奥側基板支持部６の壁部基板支持部６０は、奥行き方向基準線ＣＬ１を挟んで対をなして設けられ、基板Ｗを支持し、閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向に視たときに奥側基板支持部６の壁部基板支持部６０が左右方向基準線ＣＬ２に対して奥行き方向（後方向）Ｄ１２へ向けてなす中心角αは、２０°以上５５°以下である。

そのため、半導体ウェーハ等の基板Ｗを並列させた状態で複数収納する基板収納容器１を落下させたり、基板収納容器１を振動させたりして、衝撃を与えたときにおいて、柔軟性を発現させて基板を支持するフロントリテーナ基板受け部７３、及び所定の周方向位置に配置される壁部基板支持部６０により衝撃を吸収し、基板Ｗを適切に支持することができる。そのため、基板収納容器１の運搬時に、基板収納容器１に収納された複数の基板Ｗに衝撃が伝達されることを極力抑制できる。従って、基板収納容器１に収納された基板Ｗが破損することを抑制することができる。

特に、収納された基板Ｗが、直径３００ｍｍの半導体ウェーハと比べて直径（面積）に対する厚さの比率が小さくなり耐衝撃性（衝撃に対する破損のしにくさ）が低下した直径４５０ｍｍ以上の半導体ウェーハの場合に、本発明による基板Ｗの支持構造は効果的である。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板の枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。なお、本発明はこれらに限定されるものではない。
閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向Ｄ２に視たときに奥側基板支持部６が左右方向基準線ＣＬ２に対して奥行き方向Ｄ１２へ向けてなす中心角αを異ならせた場合において、基板収納容器１に収納された基板Ｗの耐衝撃性（衝撃に対する破損のしにくさ）について、後述の各実施例及び比較例を用いて評価した。

各実施例及び比較例において共通する条件は、以下の通りである。
基板Ｗ：シリコンウェーハ
基板Ｗの直径：４５０ｍｍ
基板Ｗの厚さ：９２５μｍ
基板Ｗの収納枚数：２５枚
閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向Ｄ２に視たときに蓋体側基板支持部７３が左右方向基準線ＣＬ２に対して前方向Ｄ１１へ向けてなす中心角β：６５°
各実施例及び比較例において、閉塞状態基板Ｗ１を厚さ方向Ｄ２に視たときに奥側基板支持部６が左右方向基準線ＣＬ２に対して奥行き方向Ｄ１２へ向けてなす中心角αは、下記〔表１〕の通りである。

〔評価方向〕
基板Ｗの面方向を水平方向に配置した状態で前記の条件の基板収納容器１を、基板収納容器１の下面（下壁２４の外面）が床面から９０ｃｍ上方に位置させた状態から、床面に落下させる。床面はコンクリート製である。落下後、基板収納容器１に収納されている基板Ｗに１枚以上割れが発生していれば、割れが「有」と評価し、基板収納容器１に収納されている基板Ｗに１枚も割れが発生していなければ、割れが「無」と評価した。
評価結果を前記〔表１〕に示す。
〔表１〕に示す評価結果によれば、奥側基板支持部６がなす中心角αが所定範囲内であれば、耐衝撃性（割れにくさ）が高いことがわかる。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
４ シール部材
５ 基板支持板状部
６ 奥側基板支持部
７ フロントリテーナ
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
６０ 壁部基板支持部
７３ フロントリテーナ基板受け部（蓋体側基板支持部）
Ｃ１ 閉塞時中心
ＣＬ１ 奥行き方向基準線
ＣＬ２ 左右方向基準線
Ｄ１２ 後方向（奥行き方向）
Ｄ２ 上下方向（厚さ方向）
Ｗ 基板
Ｗ１ 閉塞状態基板
α 中心角
β 中心角

Claims (3)

1. 複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
   前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、
   前記蓋体側基板支持部は、柔軟性を発現させて基板を支持し、
   前記容器本体の一端部から当該一端部に対する他端部へ向かう方向を奥行き方向といい、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている状態の前記容器本体における前記基板収納空間に収納されている基板を閉塞状態基板といい、前記閉塞状態基板の中心を閉塞時中心といい、前記閉塞時中心を通り且つ前記奥行き方向に平行な仮想直線を奥行き方向基準線といい、前記閉塞時中心を通り且つ前記奥行き方向に直交する仮想直線を左右方向基準線という場合に、前記閉塞状態基板を厚さ方向に視たときに、前記奥側基板支持部は、前記奥行き方向基準線を挟んで対をなして設けられ、基板を支持し、
   前記閉塞状態基板を厚さ方向に視たときに前記奥側基板支持部が前記左右方向基準線に対して前記奥行き方向へ向けてなす中心角は、２０°以上５５°以下である
   基板収納容器。
2. 前記中心角は３５°以上５０°以下である
   請求項１に記載の基板収納容器。
3. 基板の直径は４５０ｍｍ以上である
   請求項１又は２に記載の基板収納容器。

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