TW201425169A - 基板收納容器 - Google Patents

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Tsuyoshi Nagashima
Takaharu Oyama
Shuichi Inoue
Hiroyuki Shida
Hiroki Yamagishi
Kazumasa Ohnuki
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Miraial Co Ltd
Shinetsu Polymer Co
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Abstract

本發明之基板收納容器1具備：蓋體側基板支撐部73，其在藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21時，可支撐複數個基板W之緣部；及後側基板支撐部6，其在藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21時，與蓋體側基板支撐部73協同，於基板收納空間27內支撐複數個基板W。蓋體側基板支撐部73係以可呈柔性方式支撐基板W，並且，稱於藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21之狀態下被收納於容器本體2的基板收納空間27之基板W為閉塞狀態基板W1，稱閉塞狀態基板W1之中心為閉塞時中心C1之情況下，在厚度方向D2觀看閉塞狀態基板W1時，後側基板支撐部6係隔著縱深方向基準線CL1成對地設置而用以支撐基板W，且在厚度方向D2觀看閉塞狀態基板W1時，後側基板支撐部6相對於左右方向基準線CL2朝向縱深方向D12所成的中心角α為20度以上、55度以下。

Description

基板收納容器
本發明係關於基板收納容器，尤其是關於以並排之狀態收納複數個半導體晶圓等的基板之基板收納容器。
作為收納半導體晶圓等之基板的容器，已知有具備容器本體、蓋體、側面基板支撐部、蓋體側基板支撐部及後側基板支撐部之構成者。
容器本體係於一端部形成有容器本體開口部且另一端部具有閉塞之筒狀壁部。於容器本體內形成有基板收納空間。基板收納空間係由壁部所圍成，且可收納複數個基板。蓋體係可對容器本體開口部裝卸，而可將容器本體開口部閉塞。側面基板支撐部係於基板收納空間內成對地設於壁部。側面基板支撐部係於未藉由蓋體閉塞容器本體開口部時，可於使相鄰之基板彼此以既定間隔隔離排列之狀態下，支撐複數個基板之緣部。
蓋體側基板支撐部係蓋體部分，在容器本體開口部閉塞時被設在與基板收納空間對向之部分。蓋體側基板支撐部係在藉由蓋體閉塞容器本體開口部時，可用來支撐複數個基板之緣部。
後側基板支撐部係與蓋體側基板支撐部成對地設於壁部。後側基板支撐部係可支撐複數個基板之緣部。在藉由蓋體閉塞容器本體開口部時，後側基板支撐部係與蓋體側基板支撐部協同支撐複數個基板，藉此，於使相鄰之基板彼此以既定間隔隔離排列之狀態下，保持複數個基板(參照專利文獻1)。
又，後側基板支撐部可與側面基板支撐部形成一體，或也可與側面基板支撐部分別構成。
先前技術文獻
專利文獻1 日本特開2011-108715號公報
在搬運收納有基板之基板收納容器時，從基板收納容器之外部施加的衝擊，經由後側基板支撐部及蓋體側基板支撐部傳遞至基板，而有損壞基板之情況。因此，要求能極力地抑制衝擊傳遞至基板。
本發明之目的在於提供一種基板收納容器，其在基板收納容器進行搬運時，可極力地抑制衝擊傳遞到收納於基板收納容器內之複數個基板。
本發明係關於一種基板收納容器，該基板收納容器具備：容器本體，其在內部形成有可收納複數個基板之基板收納空間，且於一端部形成有連通該基板收納空間之容器本體開口部；蓋體，其可對該容器本體開 口部裝卸，且可將該容器本體開口部閉塞；蓋體側基板支撐部，其係為該蓋體部分，在藉由該蓋體閉塞該容器本體開口部時被配置在與該容器本體開口部對向之部分，且在藉由該蓋體閉塞容器本體開口部時，可支撐該複數個基板之緣部；及後側基板支撐部，其在該基板收納空間內與該蓋體側基板支撐部成對地配置，可支撐複數個基板之緣部，在藉由該蓋體閉塞該容器本體開口部時，與該蓋體側基板支撐部協同支撐該複數個基板，該蓋體側基板支撐部係以可呈柔性的方式支撐基板，並且，在將從該容器本體之一端部朝向與該一端部相對之另一端的方向稱為縱深方向、將在藉由該蓋體閉塞該容器本體開口部之狀態下被收納於該容器本體的該基板收納空間之基板稱為閉塞狀態基板、將該閉塞狀態基板之中心稱為閉塞時中心、和將通過該閉塞時中心且與該縱深方向平行之假想直線稱為縱深方向基準線、以及將通過該閉塞時中心且與該朝縱深方向正交之假想直線稱為左右方向基準線之情況下，在厚度方向觀看該閉塞狀態基板時，該後側基板支撐部係隔著該縱深方向基準線成對地設置而用以支撐基板，且在厚度方向觀看該閉塞狀態基板時，該後側基板支撐部相對於該左右方向基準線朝該縱深方向所成的中心角為20度以上、55度以下。
此外，以該中心角為35度以上、50度以下為較佳。
此外，以該基板之直徑為450mm以上為較佳。
根據本發明，可提供一種基板收納容器，其在基板收納容器進行搬運時，可極力地抑制衝擊傳遞至收納於基板收納容器內之複數個基板。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器本體
3‧‧‧蓋體
4‧‧‧密封構件
5‧‧‧基板支撐板狀部
6‧‧‧後側基板支撐部
7‧‧‧前保持器
20‧‧‧壁部
21‧‧‧容器本體開口部
27‧‧‧基板收納空間
2‧‧‧開口周緣部
60‧‧‧壁部基板支撐部
73‧‧‧前保持器基板支撐部(蓋體側基板支撐部)
C1‧‧‧閉塞時中心
CL1‧‧‧縱深方向基準線
CL‧‧‧左右方向基準線
D12‧‧‧後方向(縱深方向)
D2‧‧‧上下方向(厚度方向)
W‧‧‧基板
W1‧‧‧閉塞狀態基板
α‧‧‧中心角
β‧‧‧中心角
第1圖為顯示本實施形態之基板收納容器之立體圖。
第2A圖為顯示本實施形態之基板收納容器之縱剖視圖。
第2B圖為顯示本實施形態之基板收納容器的後側基板支撐部之側面放大剖視圖。
第3A圖為顯示有關本實施形態之基板收納容器將蓋體開啟的狀態之分解立體圖。
第3B圖為顯示將基板收納於本實施形態之基板收納容器的容器本體之基板收納空間的狀態之分解立體圖。
第4A圖為顯示本實施形態之基板收納容器之平面剖視圖。
第4B圖為顯示將基板保持於本實施形態之基板收納容器的狀況之平面剖視圖。
第5圖為顯示本實施形態之基板收納容器的蓋體之後面立體圖。
以下，參照圖式對本發明之實施形態的基板收納容器進行說明。第1圖為顯示本實施形態之基板收納容器之立體圖。第2A圖為顯示本實施形態之基板收納容器之縱剖視圖。第2B圖為顯示本實施形態之基板收納容器的後側基板支撐部之側面放大剖視圖。第3A圖為顯示有關本實施形態之基板收納容器將蓋體開啟的狀態之分解立體圖。第3B圖為顯示將基板收納於本實施形態之基板收納容器的容器本體之基板收納空間的狀態之分解立體圖。第4A圖為顯示本實施形態之基板收納容器之平面剖視圖。第4B圖為顯示將基板保持於本實施形態之基板收納容器的狀況之平面剖視圖。第5圖為顯示本實施形態之基板收納容器的蓋體之後面立體圖。
在此，為了方便說明，將自後述之容器本體2朝蓋體3之方向(第2A圖中之左方向)定義為前方向D11，將與其相反之方向定義為後方向(縱深方向)D12，並將這些方向定義為前後方向D1。後方向(縱深方向)D12也為自容器本體2一端部朝與該一端部相對的另一端之方向。此外，將自後述之下壁24朝上壁23之方向(第2A圖中之上方向)定義為上方向D21，將與其相反之方向定義為下方向D22，並將這些方向定義為上下方向D2。上下方向D2也為收納於基板收納容器1之基板W的厚度方向。此外，將自後述之第2側壁26朝第1側壁25之方向(第2A圖中之自紙面之表面朝裏面之方向)定義為左方向D31，將與其相反之方向定義為右方向D32，並將這些方向定義為左右方向D3。
此外，收納於基板收納容器1內之基板W(參照第4B圖等)係應用於產業上之薄工件，如圓盤狀之矽晶圓、玻璃晶圓、藍寶石晶圓等。基板W例如為直徑450mm以上之矽晶圓，本實施形態之基板W例如為直徑450mm之矽晶圓。
如第1~第3B圖所示，基板收納容器1具有容器本體2、蓋體3、密封構件4、基板支撐板狀部5及前保持器7。
容器本體2係於一端部形成有容器本體開口部21，且另一端部具有閉塞之筒狀壁部20。於容器本體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27係由壁部20所圍成。於壁部20之部分且形成基板收納空間27之部分配置有基板支撐板狀部5。基板收納空間27可收納複數個基板W(參照第3B、第4B圖)。
基板支撐板狀部5係於基板收納空間27內成對地設置於壁部20。在藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21時，基板支撐板狀部5可於使相鄰之基板W彼此以既定間隔隔離排列之狀態下，支撐複數個基板W之緣部。後側基板支撐部6係一體設於基板支撐板狀部5之後側(後方向D12之側)。在藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21時，後側基板支撐部6可支撐複數個基板W之緣部。
此外，後側基板支撐部6也可與基板支撐板狀部5分別構成。
蓋體3係可對容器本體開口部21裝卸，且可將容器本體開口部21閉塞。前保持器7係蓋體3部分， 在藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21時，設在與基板收納空間27對向之部分。前保持器7係與後側基板支撐部6成對地配置。
在藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21時，前保持器7可支撐複數個基板W之緣部前部。在藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21時，前保持器7係與後側基板支撐部6協同支撐複數個基板W，藉此，於使相鄰之基板W彼此以既定間隔隔離排列之狀態下，保持複數個基板W。以下，對各部分進行詳細說明。
如第3A圖等所示，容器本體2之壁部20係具有後壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25及第2側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25及第2側壁26係由塑膠材料等構成，第1實施例中，係藉由聚碳酸酯所一體成型。
第1側壁25及第2側壁26係呈對向，上壁23及下壁24係對向設置。上壁23之後端、下壁24之後端、第1側壁25之後端及第2側壁26之後端，全部連接於後壁22。上壁23之前端、下壁24之前端、第1側壁25之前端及第2側壁26之前端，係具有與後壁22對向之位置關係，且構成開口周緣部28，該開口周緣部28係形成呈大致長方形之容器本體開口部21。
開口周緣部28係設於容器本體2之一端部，後壁22係位於容器本體2之另一端部。藉由壁部20之外面所形成的容器本體2之外形為箱形。壁部20之內面、即後壁22之內面、上壁23之內面、下壁24之內面、 第1側壁25之內面及第2側壁26之內面係形成藉由這些壁面所圍成之基板收納空間27。形成於開口周緣部28之容器本體開口部21係與被壁部20所圍繞而形成於容器本體2之內部的基板收納空間27連通。如後述，於基板收納空間27可收納最多25片之基板W。
如第3A圖所示，在上壁23及下壁24之部分且是開口周緣部28附近之部分，形成有朝基板收納空間27之外側凹陷的栓扣凹部231A,231B,241A,241B。栓扣凹部231A,231B,241A,241B係於上壁23及下壁24之左右兩端部附近各形成一個，合計為4個。
如第1、第2A、第3A圖所示，於上壁23的外面，凸肋233及凸緣固定部234與上壁23一體成型地設置。凸肋233係自上壁23之外面朝上方向D21突出地設置複數條。凸肋233係具有朝大致前後方向D1延伸者、及朝大致左右方向D3延伸者。於凸緣固定部234固定有頂部凸緣235。頂部凸緣235係固定於上壁23，於AMHS(自動晶圓搬運系統)、PGV(晶圓基板搬運車)等中對基板收納容器1進行吊運時，頂部凸緣235係作為基板收納容器1上之被鉤掛及吊運之部分的構件。
如第1圖所示，於下壁24之外面設有容器本體腳部243。如第3A圖等所示，容器本體腳部243係在下壁24之左右兩端緣與下壁24分開設置，且沿下壁24之左右兩端緣朝前後方向D1延伸。容器本體腳部243係在將下壁24設為下側(下方向D22之側)將容器本體2載置於水平之平坦面上時，能與該平坦面抵接，並穩定地支撐容器本體2。
如第2A、第3A、第4A圖所示，基板支撐板狀部5係分別設於第1側壁25及第2側壁26，且於左右方向D3成對地配置於基板收納空間27內。具體言之，如第2A圖所示，基板支撐板狀部5係具有板部51、板部支撐部52及後側基板支撐部6。板部51、板部支撐部52及後側基板支撐部6係由樹脂一體成型所構成，板部51係具有板狀之弧形形狀。板部51係於第1側壁25及第2側壁26分別各設置25片，合計為50片。相鄰之板部51係以於上下方向D2隔開10mm~12mm之間隔彼此分離且平行之位置關係作配置。又，於位在最上面之板部51之上方也配置有與板部51大致相同形狀者，但這是對位於最上方朝基板收納空間27內插入之基板W發揮進行該插入時之導引的作用之構件。
此外，如第4A圖所示，設於第1側壁25之25片板部51及設於第2側壁26之25片板部51，係具有於左右方向D3相互對向之位置關係。此外，50片之板部51、及2片與板部51大致相同形狀之發揮導引作用的構件，係具有與下壁24之內面平行的位置關係。如第2A圖所示，於板部51之上面設有凸部511。支撐於板部51之基板W係僅與凸部511之突出端接觸，不與板部51面接觸。
如第2A圖所示，板部支撐部52係由沿上下方向D2延伸之構件所構成。設於第1側壁25之25片板部51係與設於第1側壁25側之板部支撐部52連接。同樣地，設於第2側壁26之25片板部51係與設於第2側壁26側之板部支撐部52連接。
板部支撐部52係具有第1側壁卡止部53。第1側壁卡止部53,53係可卡止於分別設在第1側壁25、第2側壁26之側板卡止部251、261。藉由此種構成之基板支撐板狀部5，可在複數個基板W中之相鄰的基板W彼此以既定間隔隔離之狀態且相互平行之位置關係之狀態下，支撐複數個基板W之緣部。
在此，為便於說明，將在藉由蓋體3閉塞容器本體開口部21之狀態下被收納於容器本體2的基板收納空間27內之基板W稱為「閉塞狀態基板W1」(參照第4B圖)。將未藉由該蓋體3閉塞容器本體開口部21之狀態下被收納於容器本體2的基板收納空間27內之基板W稱為「非閉塞狀態基板W2」(參照第3B圖)。
此外，如第4B圖所示，將閉塞狀態基板W1之中心稱為「閉塞時中心C1」。又，在厚度方向D2觀看基板W時，閉塞時中心C1與非閉塞狀態基板W2之中心(未圖示)一般會有偏離(尤其會在前後方向D12上偏離)。將通過閉塞時中心C1且與後方向(縱深方向)D12平行之假想直線稱為「縱深方向基準線CL1」。將通過閉塞時中心C1且與後方向(縱深方向)D12正交之假想直線稱為「左右方向基準線CL2」。
如第4B圖所示，在厚度方向D2觀看閉塞狀態基板W1時，後側基板支撐部6係隔著縱深方向基準線CL1成對地設置。如第2A圖所示，後側基板支撐部6係具有壁部基板支撐部60及側壁後部卡止部67。側壁後部卡止部67,67係可卡止於分別設在第1側壁25、第2側壁26之後側基板支撐部卡止部252,262。
藉由第1側壁卡止部53,53卡止於側板卡止部251,261，並且側壁後部卡止部67,67卡止於後側基板支撐部卡止部252,262，可將基板支撐板狀部5分別固定於第1側壁25及第2側壁26。
後側基板支撐部6之壁部基板支撐部60係以實質上不呈柔性的方式支撐基板W。「實質不呈柔性」係指對壁部基板支撐部60之材質及構造下工夫而有意圖地不呈現柔性之意思。
又，後側基板支撐部6也可為在呈柔性之狀態支撐基板W之構成。
壁部基板支撐部60係按照與可收納於基板收納空間27之基板W的每一片對應的個數設置，具體可設置25個。設於第1側壁25及第2側壁26之壁部基板支撐部60係於前後方向D1，具有與後述之前保持器7配對之位置關係。
如第2B圖所示，壁部基板支撐部60係具有備有第1抵接面621之支撐部上部62、及備有第2抵接面631之支持部上部63。
如第4B圖所示，在藉由將基板W收納於基板收納空間27內，且蓋體3被閉合(被閉塞)，而由後側基板支撐部6及前保持板7支撐基板W(閉狀態基板W1)時，基板W之上面緣部之端緣可抵接於第1抵接面621，此外，基板W之下面緣部之端緣可抵接於第2抵接面631。
如第3A圖所示，蓋體3具有與容器本體2之開口周緣部28的形狀大致一致的略長方形形狀。蓋體 3係可對容器本體2之開口周緣部28裝卸，藉由將蓋體3安裝於開口周緣部28，蓋體3可將容器本體開口部21閉塞。如第4A圖所示，於蓋體3之外周緣部，沿蓋體3之外周緣部形成有密封構件嵌合槽31。於密封構件嵌合槽31中嵌入可彈性變形之POE(聚氧乙烯)製、以PEE為主之聚酯系、聚烯系等之各種熱可塑性彈性體製、氟橡膠製、矽膠製等之環狀密封構件4。密封構件4係以繞蓋體3之外周緣部一周之方式配置。
密封構件4係可抵接於形成容器本體開口部21之容器本體2之部分、即開口周緣部28。密封構件4係藉由介設於開口周緣部28與蓋體3之間緊密抵接於開口周緣部28，而可藉由蓋體3以氣密狀態閉塞容器本體開口部2。
此外，藉由自開口周緣部28拆下蓋體3，可將晶圓W對容器本體2內之基板收納空間27進行搬入搬出。
於蓋體3上設有栓鎖機構。栓鎖機構係設於蓋體3之左右兩端部附近，如第3A、第3B圖所示，具有可自蓋體3之上邊朝上方向D21突出的2個上側栓鎖部32A,32B、及自蓋體3之下邊朝下方向D22突出的2個下側栓鎖部(未圖示)。2個上側栓鎖部32A,32B係配置於蓋體3之上邊的左右兩端附近，2個下側栓鎖部係配置於蓋體3之下邊的左右兩端附近。
如第3A圖所示，於蓋體3之外面設有操作部33。藉由自蓋體3之前側對操作部33進行操作，可使上側栓鎖部32A,32B、下側栓鎖部自蓋體3之上邊、 下邊突出，此外，也可為使之不自上邊、下邊突出之狀態。上側栓鎖部32A,32B自蓋體3之上邊朝上方向D21突出，而卡合於容器本體2之栓扣凹部231A,231B，且下側栓鎖部自蓋體3之下邊朝下方向D22突出，而卡合於容器本體2之栓扣凹部241A,241B，藉此，蓋體3被固定於容器本體2之開口周緣部28。
如第4A及第5圖所示，於蓋體3之內面的部分且是閉塞容器本體開口部21的部分，形成有朝容器本體2的前方向D11凹陷之蓋體腳部固定用凹部341。蓋體腳部固定用凹部341係於蓋體3之左右方向D3的中央位置具有蓋體3之左右方向D3之寬度的1/3左右的寬度，且於上下方向D2自蓋體3之上端部附近形成至下端部附近。蓋體腳部固定用凹部341之上端及下端係由蓋體3的緣部所形成。在蓋體3之內面的部分且是左右方向D3之蓋體腳部固定用凹部341的兩旁側之部分，係藉由內面左右端部平坦面342所構成。
蓋體3係具有以於左右方向D3之蓋體3的中央上下延伸之假想線為中心之對稱的成。因此，以下，主要針對右側(第5圖所示之左側)之部分的構成詳細進行說明，而針對左側(第5圖所示之右側)之部分，則省略詳細說明。
如此，由於蓋體3具有對稱之構成，所以固定於蓋體3之前保持器7也以假想線為中心對稱地設置2個。亦即，作為後述之另一個蓋體側基板支撐部之前保持器基板支撐部73係於左右方向D3成對地配置。成 對之前保持器基板支撐部73中的連接於一前保持器基板支撐部73之前保持器腳部72、與成對之前保持器基板支撐部73中的連接於另一前保持器基板支撐部73之前保持器腳部72，係分別構成。
如第5圖所示，於左右方向D3之蓋體腳部固定用凹部341之兩端部附近設有一對前保持器卡止板343。一對前保持器卡止板343係於上下方向D2延伸。此外，於左右方向D3之各內面左右端部平坦面342之中央部分分別各設有一個前保持器卡止部344。
如第5圖所示，在與蓋體3之內面對向之位置且自左側(左方向D31之側)的前保持器卡止板343至左側之前保持器卡止部344的位置設有前保持器7。前保持器7係具有於上下方向D2平行延伸之一對縱框體71、一對前保持器腳部72及前保持器基板支撐部73。一對縱框體71、前保持器腳部72及前保持器基板支撐部73係藉由樹脂所一體成型且相互連接。前保持器7之前保持器基板支撐部73係以可呈柔性的方式支撐基板W。
如第5圖所示，前保持器基板支撐部73未被配置於蓋體腳部固定用凹部341內，而是於縱深方向(後方向D12)上配置於比蓋體腳部固定用凹部341更靠後側(後方向D12之側)。
前保持器基板支撐部73之一端部即左端部係與一對前保持器腳部72中的一前保持器腳部721之右端部連接。前保持器基板支撐部73之另一端部即右端部 係與一對前保持器腳部72中的另一前保持器腳部722之左端部連接。
前保持器基板支撐部73及成對之前保持器腳部72係以於上下方向D2排列25個之狀態設置。
一縱框體71(711)被卡止於前保持器卡止部344。一縱框體711被卡止於前保持器卡止部344，另一縱框體71(712)被卡止於前保持器卡止板343，藉此將前保持器7固定於蓋體3。
如第4A及第4B圖所示，在厚度方向(上下方向D2)觀看閉塞狀態基板W1時，作為蓋體側基板支撐部之前保持器基板支撐部73係隔著縱深方向基準線CL1成對地設置。在厚度方向(上下方向D2)觀看閉塞狀態基板W1時，後側基板支撐部6之壁部基板支撐部60相對於左右方向基準線CL2朝向後方向(縱深方向)D12所成的中心角α為20度以上、55度以下。又以中心角α為35度以上、50度以下為較佳。
在厚度方向(上下方向D2)觀看閉塞狀態基板W1時，作為蓋體側基板支撐部之前保持器基板支撐部73相對於左右方向基準線CL2朝向前方向D11所成的中心角β為60度以上、85度以下。
在規定中心角α之情況，後側基板支撐部6(壁部基板支撐部60)之基準位置設置如下。在厚度方向D2觀看閉塞狀態基板W1時，後側基板支撐部6(壁部基板支撐部60)之基準位置係構成為實質上有助於支撐後側基板支撐部6(壁部基板支撐部60)上之閉塞狀態基板 W1的部分(亦稱為「幫助支撐部分」)。幫助支撐部分在沿著閉塞狀態基板W1之圓周方向具有長度時，係將此長度之中心位置作為基準位置。對一片閉塞狀態基板W1，在相對於縱深方向基準線CL1之一側設有複數個後側基板支撐部6(壁部基板支撐部60)之情況，將所有後側基板支撐部6(壁部基板支撐部60)之基準位置的平均位置作為基準位置。
在作為蓋體側基板支撐部之前保持器基板支撐部73之中心角β的基準位置也與前述之後側基板支撐部6(壁部基板支撐部60)之中心角α作同樣規定。
根據該構成之本實施形態的基板收納容器1，可獲得以下之效果。
如上述，於本實施形態中，作為蓋體側基板支撐部之前保持器基板支撐部73係以可呈柔性的方式支撐基板W，在厚度方向(上下方向D2)觀看閉塞狀態基板W1時，後側基板支撐部6之壁部基板支撐部60係隔著縱深方向基準線CL1成對地設置，以支撐基板W，且在厚度方向觀看閉塞狀態基板W1時，後側基板支撐部6之壁部基板支撐部60相對於左右方向基準線CL2朝縱深方向(後方向)D12所成的中心角α為20度以上、55度以下。
因此，在以使半導體晶圓等之基板W並排之狀態下作複數收納的基板收納容器1掉落、或使基板收納容器1振動、或賦予衝擊時，可藉由以呈柔性的方式支撐基板之前保持器基板支撐部73及配置於既定的圓周方向之壁部基板支撐部60吸收衝擊，妥適地支撐基板 W。因此，於基板收納容器1進行搬運時，可極力地抑制衝擊傳遞到收納在基板收納容器1內之複數個基板W。因此，可抑制收納於基板收納容器1之基板W的破損。
尤其是，相較於直徑300mm之半導體晶圓，在所收納的基板W為厚度對直徑(面積)之比率變小且耐衝擊性(針對衝擊之破損難度)降低之直徑為450mm以上之半導體晶圓的情況，根據本發明之基板W的支撐構造相當有效。
本發明不侷限於上述實施形態，可於申請專利範圍所記載之技術範圍內進行變形。
例如，容器本體及蓋體之形狀、可收納於容器本體之基板數、尺寸係不限為本實施形態之容器本體2及蓋體3之形狀、可收納於容器本體2之基板W的片數、尺寸。
實施例
以下，利用實施例對本發明進行更詳細的說明。又，本發明不受該等所侷限。
於厚度方向D2觀看閉塞狀態基板W1時，在使後側基板支撐部6相對於左右方向基準線CL2朝縱深方向D12所成的中心角α變化之情況下，對收納於基板收納容器1之基板W的耐衝擊性(針對衝擊之破損難度)，使用後述之各實施例及比較例進行評價。
各實施例及比較例中共同的條件如下。
基板W：矽晶圓
基板W之直徑：450mm
基板W之厚度：925μm
基板W之收納片數：25片
在厚度方向D2觀看閉塞狀態基板W1時，蓋體側基板支撐部73相對於左右方向基準線CL2朝前方向D11所成的中心角β為65度
於各實施例及比較例中，在厚度方向D2觀看閉塞狀態基板W1時，後側基板支撐部6相對於左右方向基準線CL2朝縱深方向D12所成的中心角α係如同下述的〔表1〕。
[評價方向]
在基板W之面方向配置於水平方向的狀態下使上述條件之基板收納容器1從基板收納容器1之下面(下壁24之外面)是位於離地面上方90cm之狀態下掉落至地面。地面為混凝土製。在掉落後，若收納於基板收納容器1之基板W有一片以上發生碎裂，則評價為「有」碎裂，若收納於基板收納容器1之基板W沒有一片發生碎裂，則評價為「無」碎裂。
表1顯示其結果。
根據表1所示之評價結果可知，若後側基板支撐部6所成之中心角α落在既定範圍內，其耐衝擊性(碎裂難度)高。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器本體
3‧‧‧蓋體
4‧‧‧密封構件
5‧‧‧基板支撐板狀部
53‧‧‧第1側壁卡止部
6‧‧‧後側基板支撐部
7‧‧‧前保持器
20‧‧‧壁部
21‧‧‧容器本體開口部
22‧‧‧後壁
24‧‧‧下壁
25‧‧‧第1側壁
251‧‧‧側板卡止部
26‧‧‧第2側壁
261‧‧‧側板卡止部
27‧‧‧基板收納空間
28‧‧‧開口周緣部
2‧‧‧開口周緣部
252‧‧‧後側基板支撐部卡止部
262‧‧‧後側基板支撐部卡止部
60‧‧‧壁部基板支撐部
67‧‧‧側壁後部卡止部
71‧‧‧縱框體
72‧‧‧前保持器腳部
73‧‧‧前保持器基板支撐部(蓋體側基板支撐部)
C1‧‧‧閉塞時中心
CL1‧‧‧縱深方向基準線
CL2‧‧‧縱深方向基準線
CL‧‧‧左右方向基準線
D11‧‧‧前方向
D12‧‧‧後方向(縱深方向)
D1‧‧‧前後方向
D2‧‧‧上下方向(厚度方向)
D3‧‧‧左右方向
D31‧‧‧左方向
D32‧‧‧右方向
W‧‧‧基板
W1‧‧‧閉塞狀態基板
α‧‧‧中心角
β‧‧‧中心角

Claims (3)

  1. 一種基板收納容器，該基板收納容器具備：容器本體，其在內部形成有可收納複數個基板之基板收納空間，且於一端部形成有連通該基板收納空間之容器本體開口部；蓋體，其可對該容器本體開口部裝卸，且可將該容器本體開口部閉塞；蓋體側基板支撐部，其係為該蓋體部分，在藉由該蓋體閉塞該容器本體開口部時被配置在與該容器本體開口部對向之部分，且於藉由該蓋體閉塞該容器本體開口部時，可支撐該複數個基板之緣部；及後側基板支撐部，其在該基板收納空間內與該蓋體側基板支撐部成對地配置，可支撐該複數個基板之緣部，在藉由該蓋體閉塞該容器本體開口部時，協同該蓋體側基板支撐部支撐該複數個基板，該蓋體側基板支撐部係以可呈柔性的方式支撐基板，並且，在將從該容器本體之一端部朝向與該一端部相對之另一端的方向稱為縱深方向、將藉由該蓋體閉塞該容器本體開口部之狀態下的被收納於該容器本體的該基板收納空間之基板稱為閉塞狀態基板、將該閉塞狀態基板之中心稱為閉塞時中心、和將通過該閉塞時中心且與該縱深方向平行之假想直線稱為縱深方向基準線、以及將通過該閉塞時中心且與該縱深方向正交之假想直線稱為左右方向基準線之情況下，在厚度方向 觀看該閉塞狀態基板時，該後側基板支撐部係隔著該縱深方向基準線成對地設置而用以支撐基板，且在厚度方向觀看該閉塞狀態基板時，該後側基板支撐部相對於該左右方向基準線朝向該縱深方向所成的中心角為20度以上、55度以下。
  2. 如請求項1之基板收納容器，其中該中心角為35度以上、50度以下。
  3. 如請求項1或2之基板收納容器，其中基板之直徑為450mm以上。
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