JP2004345756A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】把持部にて吊り下げ状態に把持される物品の揺れを防止する。
【解決手段】案内レールに沿って移動する移動車に、物品２を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられ、把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持する揺れ防止体２３が、物品２の側面部を押圧支持する支持位置と物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置とに切換自在に設けられ、揺れ防止体２３は、物品２の側面部に対する遠近方向に移動自在でかつ物品の側面部に対する接近する側に弾性付勢された状態でかつ上下軸芯周りで回動自在な状態で設けられている回動体３９にて物品の側面部を押圧支持するように構成され、揺れ防止体２３を支持位置に切り換えた状態において、回動体３９の回動動作を阻止する固定状態と回動体の回動動作を許容する非固定状態とに切換自在な回動体用固定手段４４が設けられている。
【選択図】 図８
【解決手段】案内レールに沿って移動する移動車に、物品２を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられ、把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持する揺れ防止体２３が、物品２の側面部を押圧支持する支持位置と物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置とに切換自在に設けられ、揺れ防止体２３は、物品２の側面部に対する遠近方向に移動自在でかつ物品の側面部に対する接近する側に弾性付勢された状態でかつ上下軸芯周りで回動自在な状態で設けられている回動体３９にて物品の側面部を押圧支持するように構成され、揺れ防止体２３を支持位置に切り換えた状態において、回動体３９の回動動作を阻止する固定状態と回動体の回動動作を許容する非固定状態とに切換自在な回動体用固定手段４４が設けられている。
【選択図】 図８
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、案内レールに沿って移動する移動車に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられている搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のような搬送装置は、例えば、半導体基板などを収納した搬送容器を物品として、移動車を停止させた状態で把持部を昇降駆動させて、把持部にて物品を吊り下げ状態に把持し、その把持部にて物品を吊り下げ状態に把持した状態で移動車を移動させることにより、半導体基板などを製造するための各種の製造用の処理を行う複数の処理装置に対して、順次、搬送容器を搬送させるものである。
【０００３】
そして、従来では、把持部に、吊り下げ状態の物品の底面部の下方側に位置して、物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられ、把持部にて物品を吊り下げ状態に把持した状態で移動車を移動させるときには、落下防止体を受止位置に位置変更させ、誤って物品が把持部から外れても、物品が移動車から落下しないようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−７７４５５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の搬送装置では、把持部にて物品を吊り下げ状態に把持した状態で移動車を移動させるときに、落下防止体を受止位置に位置変更させることによって、物品の落下については防止できるものの、把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の揺れについては防止することができず、物品を傷める虞があった。
説明を加えると、移動車を停止させるときや移動車を発進させるときには、移動車が揺れることになり、また、移動車を移動させている途中においても、移動車の移動経路がカーブしているときなどには、移動車が揺れることになる。
そして、この移動車の揺れに伴って把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品が揺れることになり、この物品の揺れによって、物品を傷める虞があった。
【０００６】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、把持部にて吊り下げ状態に把持される物品の揺れを防止できる搬送装置を提供する点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、請求項１に記載の発明によれば、案内レールに沿って移動する移動車に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられている搬送装置において、
前記把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持する揺れ防止体が、前記物品の側面部を押圧支持する支持位置と前記物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置とに切換自在に設けられ、
前記揺れ防止体は、前記物品の側面部に対する遠近方向に移動自在でかつ前記物品の側面部に対する接近する側に弾性付勢された状態でかつ上下軸芯周りで回動自在な状態で設けられている回動体にて前記物品の側面部を押圧支持するように構成され、
前記揺れ防止体を前記支持位置に切り換えた状態において、前記回動体の回動動作を阻止する固定状態と前記回動体の回動動作を許容する非固定状態とに切換自在な回動体用固定手段が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
すなわち、揺れ防止体を支持位置に切り換えると、回動体にて把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持することになるので、その回動体による押圧支持によって物品の揺れを防止することができることになる。
また、揺れ防止体を解除位置に切り換えると、回動体による把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部に対する押圧支持を解除することになるので、把持部を昇降駆動させて、物品を載置台などに載置させる作業や、載置台などに載置されている物品を掬い取る作業を行うことができることになる。
【０００９】
しかも、回動体用固定手段にて固定状態と非固定状態とに切り換えることができるので、移動車の移動中に、まず、回動体用固定手段にて非固定状態に切り換えて、その後、回動体用固定手段にて固定状態に切り換えることによって、物品の揺れを防止しながら、搬送時間の短縮を図ることができることになる。
【００１０】
説明を加えると、回動体用固定手段にて非固定状態に切り換えると、把持部を移動車に対して上下軸芯周りで旋回させることにより、上下軸芯周りで物品を動かすことができるので、移動車の移動中であっても、回動体用固定手段にて非固定状態に切り換えて、把持部を移動車に対して上下軸芯周りで旋回させることによって、上下軸芯周りで物品を動かすことができることになる。
したがって、把持部にて把持している物品の向きを、その物品を載置すべき載置位置の向きに対応するように、物品の向きの調整を行う必要が生じても、移動車の移動中に、物品の向きの調整を行うことができるので、物品の搬送時間の短縮を図ることができることになる。
そして、物品の向きの調整を行ったのち、回動体用固定手段にて固定状態に切り換えることによって、回動動作が阻止されている回動体にて物品の側面部を押圧支持して、上下軸芯周りでの物品の動きをも阻止した状態で、物品の揺れを防止することができることになる。
【００１１】
以上のことをまとめると、請求項１に記載の発明によれば、移動車の移動中に、物品の揺れを防止しながら、物品の向きの調整を行うことができることとなって、物品の揺れを防止しながら、搬送時間の短縮を図ることができる搬送装置を提供できるに至った。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、前記把持部に、吊り下げ状態の前記物品の底面部の下方側に位置して、前記物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられ、
前記揺れ防止体は、前記落下防止体を前記受止位置に位置変更することにより前記支持位置に切り換えられ、前記落下防止体を前記退避位置に位置変更することにより前記解除位置に切り換えられるように、前記落下防止体に設けられていることを特徴とする。
【００１３】
すなわち、落下防止体を受止位置に位置変更することにより、揺れ防止体が支持位置に切り換えられて、回動体にて物品の側面部を押圧支持することになり、落下防止体を退避位置に位置変更することにより、揺れ防止体が解除位置に切り換えられて、回動体による物品の側面部に対する押圧支持が解除されることになる。
したがって、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えるための駆動手段を追加しなくても、落下防止体を受止位置と退避位置とに位置変更操作される駆動手段を利用しながら、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えることができるので、構成の簡素化を図ることができることになる。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、前記落下防止体が、前記物品に対して前記移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、前記回動体が、前記物品の側面部における前記移動車横幅方向の中央部分を押圧支持するように設けられていることを特徴とする。
【００１５】
すなわち、物品に対して移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられた落下防止体に、回動体を設けることになり、回動体が、移動車の前後方向での物品の側面部を押圧支持することができるので、移動車の前後方向での物品の揺れを防止することができることになる。
そして、移動車を停止させるときや移動車を発進させるときなどには、移動車の前後方向に移動車が揺れることになり、物品の揺れは移動車の前後方向で生じる可能性が高い。
したがって、物品の揺れが生じる可能性が高い移動車の前後方向での物品の揺れを揺れ防止体にて防止することができることとなって、物品の揺れを効果的に防止することができることになる。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、前記落下防止体が、前記把持部に対する水平軸芯周りの揺動により、前記受止位置と前記退避位置とに位置変更されるように設けられていることを特徴とする。
【００１７】
すなわち、把持部に対する水平軸芯周りの揺動により、受止位置と退避位置とに落下防止体を位置変更させることができるので、例えば、物品の側面部に対する遠近方向、すなわち水平方向での移動により、落下防止体を受止位置と退避位置とに位置変更させるものと比べて、水平方向での落下防止体の移動量を小さくすることができることになる。
したがって、水平方向での落下防止体の設置スペースを小さくすることができることになるので、装置の小型化を図りながら、物品が移動車から落下するのを阻止することができることになる。
【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、前記揺れ防止体が、前記物品の側面部に対する遠近方向に先端部を移動させるように揺動自在に枢支されかつ弾性付勢手段にて物品の側面部に対する接近側に弾性付勢された揺動部材を設けて、その揺動部材の先端部に前記回動体を上下軸芯周りに回動自在に取り付けて構成されていることを特徴とする。
【００１９】
すなわち、揺れ防止体を解除位置から支持位置に切り換えるときには、揺動部材を揺動させることによって、回動体にて物品の側面部を押圧支持できることになるので、例えば、物品の側面部に対する遠近方向、すなわち水平方向での移動により、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えるものと比べて、揺れ防止体側の物品の側面部に対して押圧作用する部分と物品の側面部側の押圧作用される部分との間に拗れなどが生じないようにすることができることになる。
しかも、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えるのは、揺動部材を物品の側面部に対する遠近方向に揺動によって行うことができるので、例えば、物品の側面部に対する遠近方向、すなわち水平方向での移動によって行うものと比べて、水平方向での揺れ防止体の移動量を小さくすることができ、水平方向での揺れ防止体の設置スペースを小さくすることができることになる。
【００２０】
請求項６に記載の発明によれば、前記回動体用固定手段が、電気式作動手段にて構成されていることを特徴とする。
【００２１】
すなわち、回動体用固定手段が、電気式作動手段であるので、通電状態で回動体の回動動作を阻止しかつ非通電状態で回動体の回動動作を許容する電気式作動手段を設けて、その電気式作動手段に対して通電させることにより、固定状態に切り換えることができ、その電気式作動手段に対して非通電状態にすることにより、非固定状態に切り換えることができることになる。
したがって、単に、電気式作動手段を設けて、その電気式作動手段まで電線を配線することにより、回動体用固定手段を構成することができることとなって、例えば、回動体用固定手段が咬合式作動手段にて構成されているものと比べて、回動体用固定手段の小型化を図ることができることになる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる搬送装置について図面に基づいて説明する。
この搬送装置は、図１に示すように、半導体基板の製造途中での半製品などに対して所定の処理を行う複数の物品処理部１に、半導体基板を収納した物品としての容器２を搬送するための移動車３が設けられ、その移動車３に、容器２を吊り下げ状態で把持する把持部４が昇降駆動自在に備えられている。
【００２３】
前記移動車３は、停止した状態において、ワイヤ５を巻き取りまたは巻き出すことにより把持部４を昇降させて、物品処理部１の載置台１ａから容器２を掬い取ったり、物品処理部１の載置台１ａに容器２を載置させる動作を行う。
そして、移動車３は、把持部４にて容器２を吊り下げ状態に把持した状態で、案内レール６に沿って移動し、容器搬入箇所から複数の物品処理部１夫々の載置台１ａに、物品処理部１の載置台１ａから他の物品処理部１の載置台１ａに、ならびに、複数の物品処理部１夫々の載置台１ａから容器搬出箇所に搬送するようにしている。
【００２４】
前記容器２は、図２に示すように、半導体基板を収納するために横側部が開口された容器本体２ａと、この開口部分を密閉状態で閉じる蓋体２ｂとから構成されている。
そして、容器本体２ａの上部には、把持部４によって吊り下げ支持するためのフランジ７が形成されている。
【００２５】
前記移動車３は、図３および図４に示すように、ブラケット８により天井部に固定取付けする状態で配備される案内レール６に沿って走行するように設けられている。
そして、移動車３は、案内レール６の内方空間部に位置させた状態で、案内レール６に沿って走行するための走行推力を発生するリニアモータ式の走行車体９と、この走行車体９に対し前後の連結扞１０，１１により連結して案内レール６の下方に位置する把持部４とを備えて構成されている。
【００２６】
前記走行車体９は、図４および図５に示すように、案内レール６の内方空間部に装備されるマグネット１３と、このマグネット１３に近接対向させて案内レール６の内方空間部に位置させる状態で移動車３に装備された一次コイル１４とから構成されているリニアモータを備えて、このリニアモータにより移動車３の走行推力を得るように構成されている。
【００２７】
前記案内レール６の内方空間部には、移動車３に備えた走行輪１５に対する走行案内面１６と、移動車３に備えた振止輪１７に対する振止案内面１８とが形成されている。
また、案内レール７側に装備の給電線１９、搬送車８側に装備の受電コイル２０が設けられ、交流電流の通電により給電線１９に磁界を発生させ、この磁界により移動車３側での必要電力を受電コイル２０に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
【００２８】
前記把持部４は、走行車体９に対し前後の連結扞１０、１１により連結された枠体２１に、フランジ７を把持して吊り下げ状態で容器２を昇降操作しながら搬送する昇降操作部１２を備えて構成されている。
【００２９】
前記昇降操作部１２は、容器２のフランジ７を把持する作用状態と、把持を解除する解除状態とに切り換え自在な把持作用部２４を備えて構成され、この把持作用部２４が走行車体９に対して昇降操作自在な昇降体２５に設けられている。
前記昇降体２５は、枠体２１に備えられた昇降操作機構２７によって上下方向に昇降操作自在に支持されている。
【００３０】
そして、昇降操作機構２７は、図４〜図６に示すように、ドラム駆動用モータＭ１によって上下方向の軸芯周りで回転する回転ドラム２８により、４本のワイヤ５を同時に巻き取りおよび巻き出しを行えるようにして、回転ドラム２８を正逆転させることで、この４本のワイヤ５にて吊り下げ支持された昇降体２５が略水平姿勢を維持しながら昇降操作されるように構成されている。
【００３１】
前記把持作用部２４は、容器２のフランジ７を把持する一対の把持具３０が設けられ、これら一対の把持具３０が把持動作用モータＭ２によりリンク機構２９を介して互いに近づく方向に揺動してフランジ７を把持する把持姿勢と、一対の把持具３０が互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢とに切り換え自在に構成されている。
そして、この把持作用部２４は、縦軸芯周りで回転自在に昇降体２５に取り付けられ、旋回用モータＭ３により縦軸芯周りで旋回操作可能に構成されている。
【００３２】
前記把持部４は、昇降操作部１２に加えて、吊り下げ状態の容器２の底面部２ｃの下方側に位置して、容器２の底面部２ｃを受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の容器２の横側方に退避する退避位置とに位置変更自在な落下防止体２２を備えている。
そして、落下防止体２２は、容器２に対して移動車３の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、かつ、把持部４に対する水平軸芯３２周りの揺動により受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けられている。
【００３３】
具体的に説明すると、Ｌ字状に形成された落下防止体用の位置変更部材２２ａが、図７および図８に示すように、枠体２１の移動車３の前後方向の前方側箇所および後方側箇所から下方側に延設された一対の縦枠部分３１の夫々において、水平軸芯３２と一体的に回動するように取り付けられている。
そして、一対の位置変更部材２２ａが、水平軸芯３２の回動によって水平軸芯３２周りに揺動することにより、図７中実線で示す受止位置と図７中点線で示す退避位置とに位置変更される。
【００３４】
ちなみに、図７は、落下防止体２２や揺れ防止体２３などを示し、その他の部材を省略した移動車３の縦断側面部であり、図８は、落下防止体２２や揺れ防止体２３などを示し、その他の部材を省略した移動車３の横断平面図である。
【００３５】
そして、一対の位置変更部材２２ａを受止位置と退避位置とに位置変更操作するために、正逆転自在な落下防止体用の駆動手段としての駆動モータ３５、移動車３の前後方向に沿うシャフト３３、シャフト３３の回動により水平軸芯３２を回動させる円筒カム３６およびカムフォロア３７などが設けられている。
説明を加えると、シャフト３３の前端部および後端部の夫々には、図８に示すように、円筒カム３６が設けられ、水平軸芯３２の一端部には、円筒カム３６のカム溝３６ａに案内されるカムフォロア３７が設けられている。
そして、落下防止体用の駆動モータ３５を正転または逆転させることにより、シャフト３３をタイミングベルト３４を介して回動させることによって、カムフォロア３７が円筒カム３６のカム溝３６ａにて案内されて、図９に示すように、水平軸芯３２が回動し、この水平軸芯３２の回動により、位置変更部材２２ａが水平軸芯３２周りに揺動される。
ちなみに、図９の（イ）は、位置変更部材２２ａを受止位置に位置変更したときを示しており、図９の（ロ）は、位置変更部材２２ａを退避位置に位置変更したときを示している。
【００３６】
また、シャフト３３の近くには、シャフト３３の回動量を検出することにより、落下防止体２２が受止位置に位置変更された状態と、落下防止体２２が退避位置に位置変更された状態とを検出する位置変更検出センサ３８が設けられている。
【００３７】
なお、位置変更部材２２ａは、移動車横幅方向において、縦枠部分３１の一部を切り欠いた部分に取り付けられ、水平軸芯３２は、移動車横幅方向の全長にわたって設けられている。
そして、シャフト３３や落下防止体用の駆動モータ３５などの部材は、縦枠部分３１や枠体２１から下方側に延設されるカバー４２などに支持されて、移動車横幅方向の一端側（図８中右側）に設けられている。
【００３８】
把持部４にて吊り下げ状態に把持されている容器２の側面部を押圧支持する揺れ防止体２３が、図７〜図９に示すように、落下防止体２２に設けられている。
前記揺れ防止体２３は、落下防止体２２を受止位置に位置変更することにより、容器２の側面部を押圧支持する支持位置に切り換えられ、落下防止体２２を退避位置に位置変更することにより、容器２の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置に切り換えられるように、落下防止体２２に設けられている。
【００３９】
そして、揺れ防止体２３は、容器２の側面部に対する遠近方向に移動自在でかつ容器２の側面部に対する接近する側に弾性付勢された状態でかつ上下軸芯周りで回動自在な状態で設けられている回動体としてのローラ３９にて容器２の側面部を押圧支持するように構成されている。
また、揺れ防止体２３が、容器２の側面部に対する遠近方向に先端部を移動させるように揺動自在に枢支されかつ弾性付勢手段にて容器２の側面部に対する接近側に弾性付勢された揺動部材２３ａを設けて、その揺動部材２３ａの先端部にローラ３９を上下軸芯周りに回動自在に取り付けて構成されている。
【００４０】
具体的に説明すると、揺動部材２３ａが、容器２に対して移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、その一対の揺動部材２３ａの夫々は、位置変更部材２２ａから容器２側に延びるブラケット４０に上下軸芯４３周りに揺動自在に取り付けられ、弾性付勢手段としてのねじりコイルばね４１により、容器２の側面部に対して接近する側に弾性付勢されている。
ちなみに、弾性付勢手段としては、ねじりコイルばねに限られるものではなく、樹脂成形部材、板ばねやコイルスプリングなどの各種の弾性部材が適応可能である。
【００４１】
そして、一対の揺動部材２３ａは、位置変更部材２２ａと一体に水平軸芯３２周りに揺動され、位置変更部材２２ａが受止位置に位置変更されると、揺動部材２３ａの先端部に設けられたローラ３９にて、容器２の側面部を押圧支持するように設けられている。
【００４２】
また、揺れ防止体２３は、図８に示すように、容器２の側面部における移動車横幅方向の中央部分をローラ３９にて押圧支持して、ローラ３９を回動させることにより、上下軸芯周りでの容器２の動きや移動車横幅方向での容器２の動きを許容しながら、移動車３の前後方向での容器２の揺れを防止するようにしている。
ちなみに、図８において、上下軸芯周りで動いた容器２を点線で示している。
【００４３】
そして、揺れ防止体２３を支持位置に切り換えた状態において、図１０に示すように、ローラ３９の回動動作を阻止する固定状態とローラ３９の回動動作を許容する非固定状態とに切換自在な回動体用固定手段としての電磁ブレーキ４４が設けられている。
説明を加えると、回動体用固定手段が、電気式作動手段としての電磁ブレーキ４４にて構成され、電磁ブレーキ４４は、通電状態においてローラ３９の回動動作を阻止する固定状態に切り換えられ、非通電状態においてローラ３９の回動動作を許容する非固定状態に切り換えられる。
そして、ローラ３９が、揺動部材２３ａの先端の上下軸芯４５と一体的に回動するように設けられ、電磁ブレーキ４４が、通電状態において上下軸芯４５の回動動作を阻止しかつ非通電状態において上下軸芯４５の回動動作を許容するように設けられている。
【００４４】
前記移動車３の走行制御や把持部４の昇降制御などを制御する制御部が設けられ、この制御部は、設置施設側からの指令、および、移動車３に設けられた各種センサの検出情報に基づいて、移動車３の走行制御や把持部４の昇降制御などを制御するように構成されている。
【００４５】
前記移動車３の具体的な動作について説明する。
例えば、掬い対象の物品処理部１から、卸し対象の物品処理部１に容器２を搬送する場合には、まず、掬い対象の物品処理部１に対して所望の位置に移動台車３を停止させる。
そして、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、図９の（ロ）に示すように、落下防止体２２を退避位置に位置変更させることにより、揺れ防止体２３を解除位置に切り換えたのち、図３に示すように、把持部４を昇降させて、物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置（例えば、中央位置）に載置された容器２を掬い取るようにしている。
【００４６】
前記把持部４による容器２の掬い取りが終了すると、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、図９に（イ）に示すように、落下防止体２２を受止位置に位置変更させることにより、揺れ防止体２３を支持位置に切り換える。
そして、電磁ブレーキ４４を非固定状態において、移動車３を発進させて、移動台車３を、把持部４にて容器２を把持させた状態で、案内レール６に沿って走行させる。
【００４７】
その移動車３の走行中に、必要に応じて容器２の位置調整を行ったのち、電磁ブレーキ４４を固定状態に切り換えて、案内レール６に沿って走行させて、卸し対象の物品処理部１に対する所望の位置に移動台車３を停止させる。
そして、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、図９の（ロ）に示すように落下防止体２２を退避位置に位置変更させた状態で、図３に示すように、把持部４を昇降させることにより、物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置（例えば、中央位置）に容器２を載置するようにしている。
【００４８】
容器２の位置調整について説明を加えると、卸し対象の物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置が、案内レール７の中心に対して移動車横幅方向にずれていたり、卸し対象の物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置の向きが、把持部４にて把持されている物品の向きと異なる場合には、移動車３の走行中に、まず、把持部４を移動車横幅方向に移動させたり、把持部４を移動車３に対した上下軸芯周りで旋回させることによって、容器２の位置調整を行う。
そして、容器２の位置調整を行ったのち、電磁ブレーキ４４を固定状態に切り換えて、卸し対象の物品処理部１に対する所望の位置まで、移動台車３を、把持部４にて容器２を把持させた状態で、案内レール６に沿って走行させるようにしている。
【００４９】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、容器２に対して移動車３の前方側箇所および後方側箇所の夫々に設けられているが、例えば、容器２に対して移動車横幅方向の左右両側に、落下防止体２２および揺れ防止体２３を設けてもよく、揺れ防止体２３の配設位置は適宜変更が可能である。
【００５０】
（２）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、容器２に対して前後に、揺れ防止体用の揺動部材２３ａを設けているが、揺動部材２３ａの数については、適宜変更が可能であり、ひとつや３つ以上としてもよい。
ちなみに、揺動部材をひとつにするときには、例えば、落下防止体２２をひとつにして、容器２よりも後方側のみに、支持位置と解除位置とに切り換え自在な揺動部材２３ａを設け、容器２よりも前方側に、容器２の側面部を当て付け可能な固定の壁部を設けて、ひとつの揺動部材２３ａにて容器２の側面部を固定の壁部に当て付けることにより、容器２の側面部を押圧支持することが可能となる。
【００５１】
（３）上記実施形態では、落下防止体２２が、容器２に対して移動車３の前方側箇所および後方側箇所の夫々に設けられているが、落下防止体２２の数については、ひとつや３つ以上としてもよく、適宜変更可能である。
ちなみに、落下防止体２２をひとつにするときには、例えば、容器２に対して移動車３の後方側箇所に、受止位置に位置変更されたときに容器２の移動車前後幅の全長にわたる落下防止体を設けて、容器２に対して移動車３の前方側箇所に、容器２の側面部に沿う固定の壁部を設けて、ひとつの落下防止体と固定の壁部との協働作用により容器２を受け止めるようにすることが可能となる。
【００５２】
（４）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、揺動部材２３ａを設けて構成されているが、例えば、この揺動部材２３ａに代えて、容器２の側面部に対する遠近方向に先端部を移動させるように移動自在に支持されかつ弾性付勢手段にて容器２の側面部に対する接近側に弾性付勢された水平移動部材を設けて、その水平移動部材の先端部にローラ３９を上下軸芯周りに回動自在に取り付けて構成して実施することも可能である。
【００５３】
（５）上記実施形態では、回動体用固定手段として、電気式作動手段としての電磁ブレーキ４４が設けられているが、回動体用固定手段は、電気式作動手段に限らず、例えば、咬合式作動手段にて構成して実施することも可能である。
【００５４】
（６）上記実施形態では、落下防止体２２が、把持部４に対する水平軸芯３２周りの揺動により、受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けられているが、容器２の側面部に対する遠近方向での移動により、受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けることも可能であり、受止位置と退避位置とに位置変更させるための構成は適宜変更が可能である。
【００５５】
（７）上記実施形態では、ひとつの落下防止体用の駆動モータ３５により、一対の位置変更部材２２ａを受止位置と退避位置とに位置変更するようにしているが、一対の位置変更部材２２ａの夫々に、受止位置と退避位置とに位置変更するための駆動モータを設けて実施することも可能である。
【００５６】
（８）上記実施形態では、物品として、半導体基板を収納した容器２を搬送する搬送装置を例示したが、搬送する物品は適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】搬送装置の概略図
【図２】物品としての容器を示す図
【図３】搬送装置の動作を示す概略側面図
【図４】移動車の側面図
【図５】移動車の縦断正面図
【図６】移動車の要部を示す平面図
【図７】把持部における落下防止体および揺れ防止体を示す側面図
【図８】把持部における落下防止体および揺れ防止体を示す平面図
【図９】落下防止体および揺れ防止体の要部を示す図
【図１０】揺れ防止体の要部を示す図
【符号の説明】
２ 物品
３ 移動車
４ 把持部
６ 案内レール
２２ 落下防止体
２３ 揺れ防止体
２３ａ 揺動部材
３５ 駆動手段
３９ 回動体
４４ 回動体用固定手段
【発明の属する技術分野】
本発明は、案内レールに沿って移動する移動車に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられている搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のような搬送装置は、例えば、半導体基板などを収納した搬送容器を物品として、移動車を停止させた状態で把持部を昇降駆動させて、把持部にて物品を吊り下げ状態に把持し、その把持部にて物品を吊り下げ状態に把持した状態で移動車を移動させることにより、半導体基板などを製造するための各種の製造用の処理を行う複数の処理装置に対して、順次、搬送容器を搬送させるものである。
【０００３】
そして、従来では、把持部に、吊り下げ状態の物品の底面部の下方側に位置して、物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられ、把持部にて物品を吊り下げ状態に把持した状態で移動車を移動させるときには、落下防止体を受止位置に位置変更させ、誤って物品が把持部から外れても、物品が移動車から落下しないようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−７７４５５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の搬送装置では、把持部にて物品を吊り下げ状態に把持した状態で移動車を移動させるときに、落下防止体を受止位置に位置変更させることによって、物品の落下については防止できるものの、把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の揺れについては防止することができず、物品を傷める虞があった。
説明を加えると、移動車を停止させるときや移動車を発進させるときには、移動車が揺れることになり、また、移動車を移動させている途中においても、移動車の移動経路がカーブしているときなどには、移動車が揺れることになる。
そして、この移動車の揺れに伴って把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品が揺れることになり、この物品の揺れによって、物品を傷める虞があった。
【０００６】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、把持部にて吊り下げ状態に把持される物品の揺れを防止できる搬送装置を提供する点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、請求項１に記載の発明によれば、案内レールに沿って移動する移動車に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられている搬送装置において、
前記把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持する揺れ防止体が、前記物品の側面部を押圧支持する支持位置と前記物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置とに切換自在に設けられ、
前記揺れ防止体は、前記物品の側面部に対する遠近方向に移動自在でかつ前記物品の側面部に対する接近する側に弾性付勢された状態でかつ上下軸芯周りで回動自在な状態で設けられている回動体にて前記物品の側面部を押圧支持するように構成され、
前記揺れ防止体を前記支持位置に切り換えた状態において、前記回動体の回動動作を阻止する固定状態と前記回動体の回動動作を許容する非固定状態とに切換自在な回動体用固定手段が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
すなわち、揺れ防止体を支持位置に切り換えると、回動体にて把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持することになるので、その回動体による押圧支持によって物品の揺れを防止することができることになる。
また、揺れ防止体を解除位置に切り換えると、回動体による把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部に対する押圧支持を解除することになるので、把持部を昇降駆動させて、物品を載置台などに載置させる作業や、載置台などに載置されている物品を掬い取る作業を行うことができることになる。
【０００９】
しかも、回動体用固定手段にて固定状態と非固定状態とに切り換えることができるので、移動車の移動中に、まず、回動体用固定手段にて非固定状態に切り換えて、その後、回動体用固定手段にて固定状態に切り換えることによって、物品の揺れを防止しながら、搬送時間の短縮を図ることができることになる。
【００１０】
説明を加えると、回動体用固定手段にて非固定状態に切り換えると、把持部を移動車に対して上下軸芯周りで旋回させることにより、上下軸芯周りで物品を動かすことができるので、移動車の移動中であっても、回動体用固定手段にて非固定状態に切り換えて、把持部を移動車に対して上下軸芯周りで旋回させることによって、上下軸芯周りで物品を動かすことができることになる。
したがって、把持部にて把持している物品の向きを、その物品を載置すべき載置位置の向きに対応するように、物品の向きの調整を行う必要が生じても、移動車の移動中に、物品の向きの調整を行うことができるので、物品の搬送時間の短縮を図ることができることになる。
そして、物品の向きの調整を行ったのち、回動体用固定手段にて固定状態に切り換えることによって、回動動作が阻止されている回動体にて物品の側面部を押圧支持して、上下軸芯周りでの物品の動きをも阻止した状態で、物品の揺れを防止することができることになる。
【００１１】
以上のことをまとめると、請求項１に記載の発明によれば、移動車の移動中に、物品の揺れを防止しながら、物品の向きの調整を行うことができることとなって、物品の揺れを防止しながら、搬送時間の短縮を図ることができる搬送装置を提供できるに至った。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、前記把持部に、吊り下げ状態の前記物品の底面部の下方側に位置して、前記物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられ、
前記揺れ防止体は、前記落下防止体を前記受止位置に位置変更することにより前記支持位置に切り換えられ、前記落下防止体を前記退避位置に位置変更することにより前記解除位置に切り換えられるように、前記落下防止体に設けられていることを特徴とする。
【００１３】
すなわち、落下防止体を受止位置に位置変更することにより、揺れ防止体が支持位置に切り換えられて、回動体にて物品の側面部を押圧支持することになり、落下防止体を退避位置に位置変更することにより、揺れ防止体が解除位置に切り換えられて、回動体による物品の側面部に対する押圧支持が解除されることになる。
したがって、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えるための駆動手段を追加しなくても、落下防止体を受止位置と退避位置とに位置変更操作される駆動手段を利用しながら、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えることができるので、構成の簡素化を図ることができることになる。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、前記落下防止体が、前記物品に対して前記移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、前記回動体が、前記物品の側面部における前記移動車横幅方向の中央部分を押圧支持するように設けられていることを特徴とする。
【００１５】
すなわち、物品に対して移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられた落下防止体に、回動体を設けることになり、回動体が、移動車の前後方向での物品の側面部を押圧支持することができるので、移動車の前後方向での物品の揺れを防止することができることになる。
そして、移動車を停止させるときや移動車を発進させるときなどには、移動車の前後方向に移動車が揺れることになり、物品の揺れは移動車の前後方向で生じる可能性が高い。
したがって、物品の揺れが生じる可能性が高い移動車の前後方向での物品の揺れを揺れ防止体にて防止することができることとなって、物品の揺れを効果的に防止することができることになる。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、前記落下防止体が、前記把持部に対する水平軸芯周りの揺動により、前記受止位置と前記退避位置とに位置変更されるように設けられていることを特徴とする。
【００１７】
すなわち、把持部に対する水平軸芯周りの揺動により、受止位置と退避位置とに落下防止体を位置変更させることができるので、例えば、物品の側面部に対する遠近方向、すなわち水平方向での移動により、落下防止体を受止位置と退避位置とに位置変更させるものと比べて、水平方向での落下防止体の移動量を小さくすることができることになる。
したがって、水平方向での落下防止体の設置スペースを小さくすることができることになるので、装置の小型化を図りながら、物品が移動車から落下するのを阻止することができることになる。
【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、前記揺れ防止体が、前記物品の側面部に対する遠近方向に先端部を移動させるように揺動自在に枢支されかつ弾性付勢手段にて物品の側面部に対する接近側に弾性付勢された揺動部材を設けて、その揺動部材の先端部に前記回動体を上下軸芯周りに回動自在に取り付けて構成されていることを特徴とする。
【００１９】
すなわち、揺れ防止体を解除位置から支持位置に切り換えるときには、揺動部材を揺動させることによって、回動体にて物品の側面部を押圧支持できることになるので、例えば、物品の側面部に対する遠近方向、すなわち水平方向での移動により、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えるものと比べて、揺れ防止体側の物品の側面部に対して押圧作用する部分と物品の側面部側の押圧作用される部分との間に拗れなどが生じないようにすることができることになる。
しかも、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えるのは、揺動部材を物品の側面部に対する遠近方向に揺動によって行うことができるので、例えば、物品の側面部に対する遠近方向、すなわち水平方向での移動によって行うものと比べて、水平方向での揺れ防止体の移動量を小さくすることができ、水平方向での揺れ防止体の設置スペースを小さくすることができることになる。
【００２０】
請求項６に記載の発明によれば、前記回動体用固定手段が、電気式作動手段にて構成されていることを特徴とする。
【００２１】
すなわち、回動体用固定手段が、電気式作動手段であるので、通電状態で回動体の回動動作を阻止しかつ非通電状態で回動体の回動動作を許容する電気式作動手段を設けて、その電気式作動手段に対して通電させることにより、固定状態に切り換えることができ、その電気式作動手段に対して非通電状態にすることにより、非固定状態に切り換えることができることになる。
したがって、単に、電気式作動手段を設けて、その電気式作動手段まで電線を配線することにより、回動体用固定手段を構成することができることとなって、例えば、回動体用固定手段が咬合式作動手段にて構成されているものと比べて、回動体用固定手段の小型化を図ることができることになる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる搬送装置について図面に基づいて説明する。
この搬送装置は、図１に示すように、半導体基板の製造途中での半製品などに対して所定の処理を行う複数の物品処理部１に、半導体基板を収納した物品としての容器２を搬送するための移動車３が設けられ、その移動車３に、容器２を吊り下げ状態で把持する把持部４が昇降駆動自在に備えられている。
【００２３】
前記移動車３は、停止した状態において、ワイヤ５を巻き取りまたは巻き出すことにより把持部４を昇降させて、物品処理部１の載置台１ａから容器２を掬い取ったり、物品処理部１の載置台１ａに容器２を載置させる動作を行う。
そして、移動車３は、把持部４にて容器２を吊り下げ状態に把持した状態で、案内レール６に沿って移動し、容器搬入箇所から複数の物品処理部１夫々の載置台１ａに、物品処理部１の載置台１ａから他の物品処理部１の載置台１ａに、ならびに、複数の物品処理部１夫々の載置台１ａから容器搬出箇所に搬送するようにしている。
【００２４】
前記容器２は、図２に示すように、半導体基板を収納するために横側部が開口された容器本体２ａと、この開口部分を密閉状態で閉じる蓋体２ｂとから構成されている。
そして、容器本体２ａの上部には、把持部４によって吊り下げ支持するためのフランジ７が形成されている。
【００２５】
前記移動車３は、図３および図４に示すように、ブラケット８により天井部に固定取付けする状態で配備される案内レール６に沿って走行するように設けられている。
そして、移動車３は、案内レール６の内方空間部に位置させた状態で、案内レール６に沿って走行するための走行推力を発生するリニアモータ式の走行車体９と、この走行車体９に対し前後の連結扞１０，１１により連結して案内レール６の下方に位置する把持部４とを備えて構成されている。
【００２６】
前記走行車体９は、図４および図５に示すように、案内レール６の内方空間部に装備されるマグネット１３と、このマグネット１３に近接対向させて案内レール６の内方空間部に位置させる状態で移動車３に装備された一次コイル１４とから構成されているリニアモータを備えて、このリニアモータにより移動車３の走行推力を得るように構成されている。
【００２７】
前記案内レール６の内方空間部には、移動車３に備えた走行輪１５に対する走行案内面１６と、移動車３に備えた振止輪１７に対する振止案内面１８とが形成されている。
また、案内レール７側に装備の給電線１９、搬送車８側に装備の受電コイル２０が設けられ、交流電流の通電により給電線１９に磁界を発生させ、この磁界により移動車３側での必要電力を受電コイル２０に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
【００２８】
前記把持部４は、走行車体９に対し前後の連結扞１０、１１により連結された枠体２１に、フランジ７を把持して吊り下げ状態で容器２を昇降操作しながら搬送する昇降操作部１２を備えて構成されている。
【００２９】
前記昇降操作部１２は、容器２のフランジ７を把持する作用状態と、把持を解除する解除状態とに切り換え自在な把持作用部２４を備えて構成され、この把持作用部２４が走行車体９に対して昇降操作自在な昇降体２５に設けられている。
前記昇降体２５は、枠体２１に備えられた昇降操作機構２７によって上下方向に昇降操作自在に支持されている。
【００３０】
そして、昇降操作機構２７は、図４〜図６に示すように、ドラム駆動用モータＭ１によって上下方向の軸芯周りで回転する回転ドラム２８により、４本のワイヤ５を同時に巻き取りおよび巻き出しを行えるようにして、回転ドラム２８を正逆転させることで、この４本のワイヤ５にて吊り下げ支持された昇降体２５が略水平姿勢を維持しながら昇降操作されるように構成されている。
【００３１】
前記把持作用部２４は、容器２のフランジ７を把持する一対の把持具３０が設けられ、これら一対の把持具３０が把持動作用モータＭ２によりリンク機構２９を介して互いに近づく方向に揺動してフランジ７を把持する把持姿勢と、一対の把持具３０が互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢とに切り換え自在に構成されている。
そして、この把持作用部２４は、縦軸芯周りで回転自在に昇降体２５に取り付けられ、旋回用モータＭ３により縦軸芯周りで旋回操作可能に構成されている。
【００３２】
前記把持部４は、昇降操作部１２に加えて、吊り下げ状態の容器２の底面部２ｃの下方側に位置して、容器２の底面部２ｃを受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の容器２の横側方に退避する退避位置とに位置変更自在な落下防止体２２を備えている。
そして、落下防止体２２は、容器２に対して移動車３の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、かつ、把持部４に対する水平軸芯３２周りの揺動により受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けられている。
【００３３】
具体的に説明すると、Ｌ字状に形成された落下防止体用の位置変更部材２２ａが、図７および図８に示すように、枠体２１の移動車３の前後方向の前方側箇所および後方側箇所から下方側に延設された一対の縦枠部分３１の夫々において、水平軸芯３２と一体的に回動するように取り付けられている。
そして、一対の位置変更部材２２ａが、水平軸芯３２の回動によって水平軸芯３２周りに揺動することにより、図７中実線で示す受止位置と図７中点線で示す退避位置とに位置変更される。
【００３４】
ちなみに、図７は、落下防止体２２や揺れ防止体２３などを示し、その他の部材を省略した移動車３の縦断側面部であり、図８は、落下防止体２２や揺れ防止体２３などを示し、その他の部材を省略した移動車３の横断平面図である。
【００３５】
そして、一対の位置変更部材２２ａを受止位置と退避位置とに位置変更操作するために、正逆転自在な落下防止体用の駆動手段としての駆動モータ３５、移動車３の前後方向に沿うシャフト３３、シャフト３３の回動により水平軸芯３２を回動させる円筒カム３６およびカムフォロア３７などが設けられている。
説明を加えると、シャフト３３の前端部および後端部の夫々には、図８に示すように、円筒カム３６が設けられ、水平軸芯３２の一端部には、円筒カム３６のカム溝３６ａに案内されるカムフォロア３７が設けられている。
そして、落下防止体用の駆動モータ３５を正転または逆転させることにより、シャフト３３をタイミングベルト３４を介して回動させることによって、カムフォロア３７が円筒カム３６のカム溝３６ａにて案内されて、図９に示すように、水平軸芯３２が回動し、この水平軸芯３２の回動により、位置変更部材２２ａが水平軸芯３２周りに揺動される。
ちなみに、図９の（イ）は、位置変更部材２２ａを受止位置に位置変更したときを示しており、図９の（ロ）は、位置変更部材２２ａを退避位置に位置変更したときを示している。
【００３６】
また、シャフト３３の近くには、シャフト３３の回動量を検出することにより、落下防止体２２が受止位置に位置変更された状態と、落下防止体２２が退避位置に位置変更された状態とを検出する位置変更検出センサ３８が設けられている。
【００３７】
なお、位置変更部材２２ａは、移動車横幅方向において、縦枠部分３１の一部を切り欠いた部分に取り付けられ、水平軸芯３２は、移動車横幅方向の全長にわたって設けられている。
そして、シャフト３３や落下防止体用の駆動モータ３５などの部材は、縦枠部分３１や枠体２１から下方側に延設されるカバー４２などに支持されて、移動車横幅方向の一端側（図８中右側）に設けられている。
【００３８】
把持部４にて吊り下げ状態に把持されている容器２の側面部を押圧支持する揺れ防止体２３が、図７〜図９に示すように、落下防止体２２に設けられている。
前記揺れ防止体２３は、落下防止体２２を受止位置に位置変更することにより、容器２の側面部を押圧支持する支持位置に切り換えられ、落下防止体２２を退避位置に位置変更することにより、容器２の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置に切り換えられるように、落下防止体２２に設けられている。
【００３９】
そして、揺れ防止体２３は、容器２の側面部に対する遠近方向に移動自在でかつ容器２の側面部に対する接近する側に弾性付勢された状態でかつ上下軸芯周りで回動自在な状態で設けられている回動体としてのローラ３９にて容器２の側面部を押圧支持するように構成されている。
また、揺れ防止体２３が、容器２の側面部に対する遠近方向に先端部を移動させるように揺動自在に枢支されかつ弾性付勢手段にて容器２の側面部に対する接近側に弾性付勢された揺動部材２３ａを設けて、その揺動部材２３ａの先端部にローラ３９を上下軸芯周りに回動自在に取り付けて構成されている。
【００４０】
具体的に説明すると、揺動部材２３ａが、容器２に対して移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、その一対の揺動部材２３ａの夫々は、位置変更部材２２ａから容器２側に延びるブラケット４０に上下軸芯４３周りに揺動自在に取り付けられ、弾性付勢手段としてのねじりコイルばね４１により、容器２の側面部に対して接近する側に弾性付勢されている。
ちなみに、弾性付勢手段としては、ねじりコイルばねに限られるものではなく、樹脂成形部材、板ばねやコイルスプリングなどの各種の弾性部材が適応可能である。
【００４１】
そして、一対の揺動部材２３ａは、位置変更部材２２ａと一体に水平軸芯３２周りに揺動され、位置変更部材２２ａが受止位置に位置変更されると、揺動部材２３ａの先端部に設けられたローラ３９にて、容器２の側面部を押圧支持するように設けられている。
【００４２】
また、揺れ防止体２３は、図８に示すように、容器２の側面部における移動車横幅方向の中央部分をローラ３９にて押圧支持して、ローラ３９を回動させることにより、上下軸芯周りでの容器２の動きや移動車横幅方向での容器２の動きを許容しながら、移動車３の前後方向での容器２の揺れを防止するようにしている。
ちなみに、図８において、上下軸芯周りで動いた容器２を点線で示している。
【００４３】
そして、揺れ防止体２３を支持位置に切り換えた状態において、図１０に示すように、ローラ３９の回動動作を阻止する固定状態とローラ３９の回動動作を許容する非固定状態とに切換自在な回動体用固定手段としての電磁ブレーキ４４が設けられている。
説明を加えると、回動体用固定手段が、電気式作動手段としての電磁ブレーキ４４にて構成され、電磁ブレーキ４４は、通電状態においてローラ３９の回動動作を阻止する固定状態に切り換えられ、非通電状態においてローラ３９の回動動作を許容する非固定状態に切り換えられる。
そして、ローラ３９が、揺動部材２３ａの先端の上下軸芯４５と一体的に回動するように設けられ、電磁ブレーキ４４が、通電状態において上下軸芯４５の回動動作を阻止しかつ非通電状態において上下軸芯４５の回動動作を許容するように設けられている。
【００４４】
前記移動車３の走行制御や把持部４の昇降制御などを制御する制御部が設けられ、この制御部は、設置施設側からの指令、および、移動車３に設けられた各種センサの検出情報に基づいて、移動車３の走行制御や把持部４の昇降制御などを制御するように構成されている。
【００４５】
前記移動車３の具体的な動作について説明する。
例えば、掬い対象の物品処理部１から、卸し対象の物品処理部１に容器２を搬送する場合には、まず、掬い対象の物品処理部１に対して所望の位置に移動台車３を停止させる。
そして、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、図９の（ロ）に示すように、落下防止体２２を退避位置に位置変更させることにより、揺れ防止体２３を解除位置に切り換えたのち、図３に示すように、把持部４を昇降させて、物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置（例えば、中央位置）に載置された容器２を掬い取るようにしている。
【００４６】
前記把持部４による容器２の掬い取りが終了すると、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、図９に（イ）に示すように、落下防止体２２を受止位置に位置変更させることにより、揺れ防止体２３を支持位置に切り換える。
そして、電磁ブレーキ４４を非固定状態において、移動車３を発進させて、移動台車３を、把持部４にて容器２を把持させた状態で、案内レール６に沿って走行させる。
【００４７】
その移動車３の走行中に、必要に応じて容器２の位置調整を行ったのち、電磁ブレーキ４４を固定状態に切り換えて、案内レール６に沿って走行させて、卸し対象の物品処理部１に対する所望の位置に移動台車３を停止させる。
そして、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、図９の（ロ）に示すように落下防止体２２を退避位置に位置変更させた状態で、図３に示すように、把持部４を昇降させることにより、物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置（例えば、中央位置）に容器２を載置するようにしている。
【００４８】
容器２の位置調整について説明を加えると、卸し対象の物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置が、案内レール７の中心に対して移動車横幅方向にずれていたり、卸し対象の物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置の向きが、把持部４にて把持されている物品の向きと異なる場合には、移動車３の走行中に、まず、把持部４を移動車横幅方向に移動させたり、把持部４を移動車３に対した上下軸芯周りで旋回させることによって、容器２の位置調整を行う。
そして、容器２の位置調整を行ったのち、電磁ブレーキ４４を固定状態に切り換えて、卸し対象の物品処理部１に対する所望の位置まで、移動台車３を、把持部４にて容器２を把持させた状態で、案内レール６に沿って走行させるようにしている。
【００４９】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、容器２に対して移動車３の前方側箇所および後方側箇所の夫々に設けられているが、例えば、容器２に対して移動車横幅方向の左右両側に、落下防止体２２および揺れ防止体２３を設けてもよく、揺れ防止体２３の配設位置は適宜変更が可能である。
【００５０】
（２）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、容器２に対して前後に、揺れ防止体用の揺動部材２３ａを設けているが、揺動部材２３ａの数については、適宜変更が可能であり、ひとつや３つ以上としてもよい。
ちなみに、揺動部材をひとつにするときには、例えば、落下防止体２２をひとつにして、容器２よりも後方側のみに、支持位置と解除位置とに切り換え自在な揺動部材２３ａを設け、容器２よりも前方側に、容器２の側面部を当て付け可能な固定の壁部を設けて、ひとつの揺動部材２３ａにて容器２の側面部を固定の壁部に当て付けることにより、容器２の側面部を押圧支持することが可能となる。
【００５１】
（３）上記実施形態では、落下防止体２２が、容器２に対して移動車３の前方側箇所および後方側箇所の夫々に設けられているが、落下防止体２２の数については、ひとつや３つ以上としてもよく、適宜変更可能である。
ちなみに、落下防止体２２をひとつにするときには、例えば、容器２に対して移動車３の後方側箇所に、受止位置に位置変更されたときに容器２の移動車前後幅の全長にわたる落下防止体を設けて、容器２に対して移動車３の前方側箇所に、容器２の側面部に沿う固定の壁部を設けて、ひとつの落下防止体と固定の壁部との協働作用により容器２を受け止めるようにすることが可能となる。
【００５２】
（４）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、揺動部材２３ａを設けて構成されているが、例えば、この揺動部材２３ａに代えて、容器２の側面部に対する遠近方向に先端部を移動させるように移動自在に支持されかつ弾性付勢手段にて容器２の側面部に対する接近側に弾性付勢された水平移動部材を設けて、その水平移動部材の先端部にローラ３９を上下軸芯周りに回動自在に取り付けて構成して実施することも可能である。
【００５３】
（５）上記実施形態では、回動体用固定手段として、電気式作動手段としての電磁ブレーキ４４が設けられているが、回動体用固定手段は、電気式作動手段に限らず、例えば、咬合式作動手段にて構成して実施することも可能である。
【００５４】
（６）上記実施形態では、落下防止体２２が、把持部４に対する水平軸芯３２周りの揺動により、受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けられているが、容器２の側面部に対する遠近方向での移動により、受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けることも可能であり、受止位置と退避位置とに位置変更させるための構成は適宜変更が可能である。
【００５５】
（７）上記実施形態では、ひとつの落下防止体用の駆動モータ３５により、一対の位置変更部材２２ａを受止位置と退避位置とに位置変更するようにしているが、一対の位置変更部材２２ａの夫々に、受止位置と退避位置とに位置変更するための駆動モータを設けて実施することも可能である。
【００５６】
（８）上記実施形態では、物品として、半導体基板を収納した容器２を搬送する搬送装置を例示したが、搬送する物品は適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】搬送装置の概略図
【図２】物品としての容器を示す図
【図３】搬送装置の動作を示す概略側面図
【図４】移動車の側面図
【図５】移動車の縦断正面図
【図６】移動車の要部を示す平面図
【図７】把持部における落下防止体および揺れ防止体を示す側面図
【図８】把持部における落下防止体および揺れ防止体を示す平面図
【図９】落下防止体および揺れ防止体の要部を示す図
【図１０】揺れ防止体の要部を示す図
【符号の説明】
２ 物品
３ 移動車
４ 把持部
６ 案内レール
２２ 落下防止体
２３ 揺れ防止体
２３ａ 揺動部材
３５ 駆動手段
３９ 回動体
４４ 回動体用固定手段
Claims (6)
- 案内レールに沿って移動する移動車に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられている搬送装置であって、
前記把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持する揺れ防止体が、前記物品の側面部を押圧支持する支持位置と前記物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置とに切換自在に設けられ、
前記揺れ防止体は、前記物品の側面部に対する遠近方向に移動自在でかつ前記物品の側面部に対する接近する側に弾性付勢された状態でかつ上下軸芯周りで回動自在な状態で設けられている回動体にて前記物品の側面部を押圧支持するように構成され、
前記揺れ防止体を前記支持位置に切り換えた状態において、前記回動体の回動動作を阻止する固定状態と前記回動体の回動動作を許容する非固定状態とに切換自在な回動体用固定手段が設けられている搬送装置。 - 前記把持部に、吊り下げ状態の前記物品の底面部の下方側に位置して、前記物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられ、
前記揺れ防止体は、前記落下防止体を前記受止位置に位置変更することにより前記支持位置に切り換えられ、前記落下防止体を前記退避位置に位置変更することにより前記解除位置に切り換えられるように、前記落下防止体に設けられている請求項１に記載の搬送装置。 - 前記落下防止体が、前記物品に対して前記移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、
前記回動体が、前記物品の側面部における前記移動車横幅方向の中央部分を押圧支持するように設けられている請求項１または２に記載の搬送装置。 - 前記落下防止体が、前記把持部に対する水平軸芯周りの揺動により、前記受止位置と前記退避位置とに位置変更されるように設けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
- 前記揺れ防止体が、前記物品の側面部に対する遠近方向に先端部を移動させるように揺動自在に枢支されかつ弾性付勢手段にて物品の側面部に対する接近側に弾性付勢された揺動部材を設けて、その揺動部材の先端部に前記回動体を上下軸芯周りに回動自在に取り付けて構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
- 前記回動体用固定手段が、電気式作動手段にて構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送装置。
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