JP6727117B2 - 基板着脱装置、めっき装置、基板着脱装置の制御装置、基板着脱装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は、基板着脱装置、めっき装置、基板着脱装置の制御装置、基板着脱装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体に関する。

従来、半導体ウェハやプリント基板等の基板の表面に配線やバンプ（突起状電極）等を形成したりすることが行われている。この配線及びバンプ等を形成する方法として、電解めっき法が知られている。

電解めっき法に用いるめっき装置では、円形又は多角形の基板の端面をシールし、表面（被めっき面）を露出させて保持する基板ホルダを備える。このようなめっき装置において基板表面にめっき処理を行うときは、基板を保持した基板ホルダをめっき液中に浸漬させる。

特許文献１には、半導体ウェハの基板ホルダが記載されている。この基板ホルダでは、固定保持部材（第１保持部材２２）に載置した基板を可動保持部材（第２保持部材２４）で挟み、第２保持部材２４上の押えリング２７を回転させて第１保持部材２２上のクランパ３３と係合させることによって、基板を基板ホルダに固定している。
特許文献２には、角形のプリント基板の基板保持用治具が記載されている。この基板保持用治具では、矩形のフレーム２０に設けられた４箇所の把持部材３０でプリント基板Ｐを固定している。
特許文献３には、基板を水平な状態で搬送し、めっきユニット２６の保持ベース４２上に水平に保持された状態でめっき処理を施すめっき装置が記載されている。
特許文献４には、特許文献１にあるような円形の基板をめっき処理するめっき装置向けの基板ホルダ脱着装置が記載されている（図７）。

特開２０１６−１１７９１７号公報 特許第４１７９７０７号公報 特開２００９−２７０１６７号公報 特開２０１６−１２７０６９号公報

特許文献１に記載の構成は、円形の半導体ウェハをめっき処理するためのものであるが、現在、種々の寸法、形状、厚みの基板をめっき処理することが要請されてきている。特に、特許文献１の基板ホルダで大型薄膜の基板を保持する場合、押えリングの回転によって基板に撓みを生じる可能性がある。
特許文献２に記載の基板保持用治具では、把持部材３０の一対のブロック３１、３２の間に基板の端部を挟み込んだ状態で両ブロックをねじ止めして基板を把持部材３０で固定するが、この構成は、基板保持用治具による保持を自動化するのに適していない。
特許文献３に記載の構成では、ガラス基板の被処理面を上向きにしたまま、装置内を搬送し処理することによって、複雑な姿勢転換機構を設けることなく装置を小型化することが記載されている。しかし、ガラス基板よりも薄膜で反りがあるような基板を処理する場合、被処理面を上向きにしたまま搬送すると、基板表面に傷を生じたり、基板が破損する
おそれがある。
大型基板の場合には基板だけでなく基板を保持する基板ホルダも大型化し、またその重量も増えることになるため、特許文献４に記載された基板ホルダ脱着装置では、基板ホルダに、大型でしかも厚みが薄い基板を脱着しようとすると、簡易、迅速、かつ確実に行えなくなるおそれも懸念される。

本発明の目的は、上述した課題の少なくとも一部を解決することである。

［１］ 本発明の一形態に係る基板着脱装置は、基板ホルダの第１及び第２保持部材で基板を挟持して保持する基板着脱装置であって、 前記第１保持部材を第１姿勢で支持する第１ホルダ保持装置と、 第１ホルダ保持装置に対して接近および離間するように直進移動可能であり、前記第２保持部材を、前記第１姿勢と前記第１姿勢とは略直交する第２姿勢とで保持可能であり、前記２保持部材を前記第１姿勢で前記第１保持部材に対して押し付け、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに固定させる第２ホルダ保持装置と、を備える。

この基板着脱装置によれば、基板ホルダの第２保持部材が第２姿勢で基板を受け取った後に、第１及び第２保持部材を第１姿勢で固定することができる。例えば、水平姿勢で基板を受け取った後、直立姿勢で第１及び第２保持部材を互いに固定すれば、基板を装着した基板ホルダを直立姿勢で搬送することができる。これにより、基板の被処理面を上向きにしたまま搬送する場合に問題となる基板表面への傷の発生や基板の破損を抑制することができる。なお、ここで、水平姿勢、直立姿勢（垂直姿勢）とは、基板着脱装置の動作に支障のない範囲で若干のずれがあってもよく、略水平姿勢、略直立姿勢（垂直姿勢）と言及してもよい。
また、第２ホルダ保持装置が第１ホルダ保持装置に対して接近、離間するように直進移動可能であるため、第２ホルダ保持装置が、第１ホルダ保持装置から十分離れた位置で第２保持部材を旋回して姿勢を変えることが可能であり、装置の大型化を防止することが可能であり、第１及び第２保持部材間の位置合わせも容易である。

［２］ ［１］に記載の基板着脱装置において、前記第１姿勢は、前記基板着脱装置の設置面に対して略垂直な姿勢とすることができる。
この場合、第２姿勢が設置面に対して略水平な姿勢であり、基板ホルダの第２保持部材を略水平にした状態で基板を受け入れ、略垂直な姿勢で第１及び第２保持部材を互いに固定することができるので、上述したように基板ホルダへの基板の装着に適している。

［３］ ［１］又は［２］に記載の基板着脱装置において、前記第２ホルダ保持装置の反対側で前記第１保持部材を支持するための第１支持板と、 前記第１保持部材を前記第１支持板に保持するための固定機構と、を有するサポート装置を更に備えることが可能である。
この場合、第２ホルダ保持装置とは反対側においてサポート装置で第１保持部材を支持及び固定した状態で、第２ホルダ保持装置が第２保持部材の着脱を行うので、第２ホルダ保持装置が、第２保持部材を第１ホルダ保持装置の第１保持部材に押し付けた際に、第１保持部材の位置がずれることを防止できる。

［４］ ［３］に記載の基板着脱装置において、前記サポート装置は、前記第１支持板のうち前記第１保持部材が支持される側と反対側の面に連結された複数のロッドを有し、前記複数のロッドの移動によって前記第１支持板が移動可能である構成とすることができる。
複数のロッドにより第１支持板を正確な姿勢で移動でき、また、第１保持部材を良好に
支持することができる。

［５］ ［３］に記載の基板着脱装置において、 前記固定機構は、前記第１保持部材の面に重なる位置と、前記第１保持部材の面に重ならない位置との間で回転可能な押圧部材を有する。
固定装置を第１保持部材の面に重ならない位置にした状態で、第１支持板を第１保持部材に当接させ、その後、固定装置を第１保持部材の面に重なる位置にして、固定装置で第１保持部材を第１支持板に固定すれば、第１保持部材との干渉を避けつつ、固定動作を行うことができる。

［６］ ［３］に記載の基板着脱装置において、 前記第１保持部材は、アーム部を有し、 前記第１ホルダ保持装置は、前記第１保持部材のアーム部を支持するアーム受部を更に有し、前記第１保持部材は、前記アーム受部で懸架される。
第１保持部材のアーム部で懸架する構成であるため、第１ホルダ保持装置を簡易な構成とすることができる。

［７］ ［６］に記載の基板着脱装置において、 前記アーム受部は、前記第１保持部材の前記アーム部に設けられた位置決穴に係合するための位置と、前記位置決穴に係合しない位置との間で移動可能な位置決ピンを有する。
この場合、位置決ピンによれば、基板ホルダを第１保持部材に対して正確に位置決めすることが可能である。

［８］ ［６］に記載の基板着脱装置において、 前記アーム受部は、前記第１保持部材のコネクタを介した前記基板の電気的な導通を検査するための通電確認装置を有し、前記通電確認装置は、前記コネクタの複数の外部接続接点対における外部接続接点間の抵抗値を測定する。
この場合、通電確認装置によって、処理前の基板の電気的特性や、基板ホルダの電気的特性に異常がないかを確認することができるので、異常のある基板や基板ホルダを使用して基板処理を行うことを防止することができる。また、複数のケーブルをコネクタの共通の外部接続接点に接続する場合に、コネクタの各外部接続接点対の外部接続接点間の抵抗値を測定することにより、各外部接続接点対の抵抗値の間でばらつきがないか否かを確認し、通電確認処理を行うことができる。この結果、めっき処理の信頼性を向上することができる。

［９］ ［３］乃至［８］の何れかに記載の基板着脱装置において、 前記第１支持板は、矩形状であり、多角形形状の前記第１保持部材を支持するように構成されている。多角形形状の第１保持部材によって、矩形の大型基板の保持を適切に行うことができる。

［１０］ ［１］乃至［９］の何れかに記載の基板着脱装置において、 第２ホルダ保持装置は、前記第１ホルダ保持装置に支持された前記第１保持部材に設けられたクランプを作動させて前記第１保持部材に前記第２保持部材を保持させるための第１アクチュエータを有する。
この場合、第２ホルダ保持装置の第１アクチュエータによって、第１保持部材のクランプを作動させることができ、第１保持部材のクランプによって第２保持部材の固定を容易に行うことができる。また、第１保持部材にクランプを設けるため、第１ホルダ保持装置から分離及び移動される第２保持部材の構成を簡易にすることができる。

［１１］ ［１０］に記載の基板着脱装置において、前記第１アクチュエータは、前記第１支持板に垂直な方向に移動する第１棒状部材を有し、該第１棒状部材によって前記クランプに連結されたレバーを押圧し、前記第１保持部材の前記クランプを前記
第１支持板に平行な軸の周りに回転させる。
この場合、クランプは、第１支持板に平行な（つまり、基板に平行な）軸の周りに回転するので、基板に基板面方向の力が加わることを抑制し、基板の撓み、歪み等を抑制できる。よって、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。

［１２］ ［１１］に記載の基板着脱装置において、 前記第１棒状部材は、エアシリンダで駆動されるピストンである。
この場合、エアシリンダにより第１棒状部材を適切な力でレバーに押し付けることができる。

［１３］ ［１］乃至［１２］の何れかに記載の基板着脱装置において、 第２ホルダ保持装置は、前記第２保持部材を支持するための第２支持板と、前記第２の支持板に設けられた第２アクチュエータとを有し、前記第２アクチュエータは、前記第２保持部材に設けられたクリップを作動させて、クリップに前記基板を保持させる。
この場合、第２保持部材が基板を受け取った際に、基板をクリップで第２支持板に固定することができるので、その後、第２保持部材の姿勢が変更された場合でも、基板を確実に保持することができる。

［１４］ ［１３］に記載の基板着脱装置において、 前記第２アクチュエータは、前記第２支持板に垂直な方向に移動する第２棒状部材を有し、該第２棒状部材によって前記第２保持部材のクリップを前記第２支持板に平行な軸の周りに回転させる。
この場合、クランプは、第２支持板に平行な（つまり、基板に平行な）軸の周りに回転するので、基板に基板面方向の力が加わることを抑制し、基板の撓み、歪み等を抑制できる。よって、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。さらに、クリップが基板の面に垂直な方向に移動する為、薄い基板のそり及び基板の厚みの違いにも対応可能である。

［１５］ ［１４］に記載の基板着脱装置において 前記第２棒状部材は、エアシリンダで駆動されるピストンである。この場合、エアシリンダにより第２棒状部材からクリップに適切な力を加えることができる。

［１６］ ［１］乃至［１５］の何れかに記載の基板着脱装置において、 第２ホルダ保持装置は、 前記第２保持部材を前記第２支持板に保持するための吸着装置と、 前記第２支持板を旋回させるための旋回機構と、 前記第２支持板を前記第１ホルダ保持部材に対して接近および離間させる直動機構と、を有する。
旋回機構及び直動機構によって、第２支持板を旋回及び直進させることができ、また、吸着装置によって旋回及び直進移動中の第２保持部材を良好に保持することができる。

［１７］ ［１６］に記載の基板着脱装置において、 前記吸着装置は、押込み吸着シリンダを有し、 前記押込み吸着シリンダは、前記第２保持部材に押し付けられる吸盤と、前記吸盤に開口し前記第２保持部材側に気体を供給するための開口部とを有する。
押込み吸着シリンダによれば、第２保持部材の押圧及び吸着の両方を行うことができる。

［１８］ ［１６］又は［１７］に記載の基板着脱装置において、 前記旋回機構は、前記第２支持板を回転させるための第１電動モータを有する。
第１電動モータによって第２支持板を正確に回転させることができる。

［１９］ ［１６］乃至［１８］の何れかに記載の基板着脱装置において、 前記直動機構は、第２電動モータと、第２電動モータの動力を直線方向に変換する回転直動変換機
構とを有し、前記第２電動モータは電磁ブレーキを有する。この場合、第２電動モータによって第２ホルダ保持装置を所望の位置まで正確に移動でき、また、電磁ブレーキによって第２ホルダ保持装置の位置を固定することができる。

［２０］ ［１６］乃至［１９］の何れかに記載の基板着脱装置において、 第２ホルダ保持装置は、前記第２保持部材の側面に当接して、前記第２支持板の面内での前記第２保持部材の位置決めをするための水平位置決装置を更に有する。
水平位置決装置によって、第２保持部材を第２支持板の面内で正確に位置決めすることができる。これにより、搬送ロボットによる第２保持部材への基板の装着を正確に行うことができる。

［２１］ ［１６］乃至［２０］の何れかに記載の基板着脱装置において、 前記第２支持板は、矩形状であり、多角形形状の前記第２保持部材を支持するように構成されている。
多角形形状の第２保持部材によって、矩形の大型基板の保持を適切に行うことができる。

［２２］ 本発明の一形態に係るめっき装置は、 基板ホルダの第１及び第２保持部材で基板を挟持して保持する基板着脱装置と、 前記基板着脱装置において前記基板を保持した前記基板ホルダを受け入れて、前記基板にめっき処理を施すめっき処理部と、を備え、 前記基板着脱装置は、 前記第１保持部材を第１姿勢で支持する第１ホルダ保持装置と、第１ホルダ保持装置に対して接近および離間するように直進移動可能であり、前記第２保持部材を、前記第１姿勢と前記第１姿勢とは略直交する第２姿勢とで保持可能であり、前記２保持部材を前記第１姿勢で前記第１保持部材に対して押し付け、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに固定させる第２ホルダ保持装置と、を備える。
このめっき装置によれば、上記［１］で述べたと同様の作用効果を奏する。また、基板が適切に保持された基板ホルダを用いてめっき処理を行えるので、めっき処理の信頼性を向上し得る。特に、薄型かつ大型の基板を基板ホルダで適切に保持し、めっき処理を良好に行うことができる。

［２３］ 本発明の一形態に係る制御装置は、 基板ホルダの第１及び第２保持部材で基板を挟持して保持する基板着脱装置の制御装置であって、 第１ホルダ保持装置によって前記第１保持部材を第１姿勢で支持すること、 第２ホルダ保持装置によって、前記第２保持部材を、前記第１姿勢とは略直交する第２姿勢で支持した状態で、前記第２保持部材に前記基板を固定させ、前記第２保持部材を前記第１姿勢に旋回させること、 第２ホルダ保持装置を前記第１ホルダ保持装置に向かって直進させること、 第２ホルダ保持装置によって、前記２保持部材を前記第１保持部材に対して押し付け、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに固定させることを含む処理を実行する。
この制御装置によれば、上記［１］で述べたと同様の作用効果を奏する。

［２４］ 本発明の一形態に係る記録媒体は、 基板ホルダの第１及び第２保持部材で基板を挟持して保持する基板着脱装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体であって、 第１ホルダ保持装置によって前記第１保持部材を第１姿勢で支持すること、 第２ホルダ保持装置によって、前記第２保持部材を、前記第１姿勢とは略直交する第２姿勢で支持した状態で、前記第２保持部材に前記基板を固定させ、前記第２保持部材を前記第１姿勢に旋回させること、 第２ホルダ保持装置を前記第１ホルダ保持装置に向かって直進させること、 第２ホルダ保持装置によって、前記２保持部材を前記第１保持部材に対して押し付け、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに固定させること、をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納している。
この制御装置によれば、上記［１］で述べたと同様の作用効果を奏する。

本発明の一実施形態に係る基板ホルダが使用されるめっき装置の全体配置図である。 一実施形態に係る基板ホルダの概略正面図である。 基板ホルダの概略側面図である。 基板ホルダの概略背面図である。 基板ホルダの前方斜視図である。 基板ホルダの後方斜視図である。 基板ホルダの前面図である。 基板ホルダの背面図である。 バックプレートの正面図である。 バックプレートの背面図である。 バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大背面図である。 バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大斜視図である。 クランプと連結部材の関係を示す斜視図である。 クランプ状態のクランプの斜視図である。 クランプ状態のクランプの側面図である。 クランプ状態のクランプの断面斜視図である。 クランプ状態のクランプの断面図である。 アンクランプ状態のクランプの構成を示す斜視図である。 アンクランプ状態のクランプの側面図である。 アンクランプ状態のクランプの断面斜視図である。 アンクランプ状態のクランプの構成を示す断面図である。 バックプレートのクリップを示す一部切欠き側面図である。 バックプレートのクリップを示す一部拡大斜視図である。 閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。 閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。 開放時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。 開放時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。 フロントプレートのインナーシール部を示す断面図である。 フロントプレートのインナーシール部及びアウターシール部を示す断面図である。 フロントプレート本体の背面図である。 フロントプレートのコネクタを含む領域の一部拡大平面図である。 フロントパネルの断面斜視図である。 フロントパネルの断面図である。 ケーブルの配置を示すフロントパネルの一部拡大斜視図である。 配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近の斜視図である。 配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近を示す上面図である。 配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近を示す上面図の拡大図である。 コネクタに近い側のフェース部の隅部近傍における背面図である。 コネクタに近い側のフェース部の隅部近傍をさらに拡大した背面図である。 図２１ＡのＣ−Ｃ線における断面図である。 ケーブルの被覆を除去した部分の斜視図である。 基板着脱装置の斜視図である。 基板着脱装置の側面図である。 基板着脱装置の平面図である。 基板着脱装置のホルダステーション及びサポート装置の背面図である。 旋回装置の第１姿勢における斜視図である。 旋回装置の第２姿勢における斜視図である。 旋回装置の側面図である。 旋回装置の平面図である。 旋回装置の正面図である。 旋回装置の支持板部の拡大斜視図である。 旋回装置の直動機構の断面図である。 ホルダステーションの斜視図である。 ホルダステーションの正面図である。 ホルダステーションの平面図である。 ホルダステーションの側面図である。 位置決ピンが収納された状態における、ホルダステーションのアーム受部の拡大斜視図である。 位置決ピンが突出した状態における、ホルダステーションのアーム受部の拡大斜視図である。 基板ホルダのアーム部が配置された状態における、ホルダステーションのアーム受部の拡大斜視図である。 サポート装置の斜視図である。 サポート装置の正面図である。 サポート装置の平面図である。 サポート装置の側面図である。 サポート装置の後方斜視図である。 サポート装置の背面図である。 基板ホルダを受け入れ前の基板着脱装置の斜視図である。 基板ホルダを受け入れ後の基板着脱装置の斜視図である。 サポート装置が基板ホルダを支持、固定したときの基板着脱装置の側面図である。 支持板が後退した状態におけるサポート装置の斜視図である。 支持板が前進した状態におけるサポート装置の斜視図である。 支持板が更に補助ロッドで支持された状態におけるサポート装置の斜視図である。 駆動前の固定装置の斜視図である。 押え部材回転時の固定装置の斜視図である。 ロッド後退時の固定装置の斜視図である。 旋回装置の支持板で基板ホルダを押し付け、吸着したときの基板着脱装置の側面図である。 押込吸着シリンダの断面図である。 バックプレートを固定するクランプを解除することを説明する基板着脱装置の一部拡大図である。 旋回装置によってバックプレートを取り外したときの基板着脱装置の側面図である。 旋回装置を第２姿勢に旋回させたときの基板着脱装置の側面図である。 水平位置決装置の構成を説明するための旋回装置の支持板の正面図である。 第２姿勢における旋回装置の支持板部の斜視図である。 基板取り外し時の基板着脱装置の側面図である。 基板取り付け時の基板着脱装置の側面図である。 第２姿勢から第１姿勢に戻ったときの基板着脱装置の側面図である。 旋回装置がバックプレートをホルダステーションのフロントプレートに押し付けたときの、基板着脱装置の側面図である。 作動前の通電確認装置の断面図である。 作動後の通電確認装置の断面図である。 旋回装置が退避位置に後退したときの、基板着脱装置の側面図である。 サポート装置の支持板が後退したときの、基板着脱装置の側面図である。 コネクタの接点と、通電確認装置の接点との対応関係を示す説明図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同一または相当する部材には同一符号を付して重複した説明を省略する。また、本明細書において「前面」、「背面」、「フロント」、「バック」、「上」、「下」、「左」、「右」等の表現を用いるが、これらは、説明の都合上、例示の図面の紙面上における位置、方向を示すものであり、装置使用時等の実際の配置では異なる場合がある。

図１は、本発明の一実施形態に係る基板ホルダが使用されるめっき装置の全体配置図である。図１に示すように、このめっき装置１００は、基板ホルダ１に基板（被処理物の一例に相当する）をロードし、又は基板ホルダ１から基板をアンロードするロード／アンロード部１１０と、基板を処理する処理部１２０と、洗浄部５０ａとに大きく分けられる。処理部１２０は、さらに、基板の前処理及び後処理を行う前処理・後処理部１２０Ａと、基板にめっき処理を行うめっき処理部１２０Ｂとを含む。なお、このめっき装置１００で処理する基板は、角形基板、円形基板を含む。また、角形基板は、矩形等の多角形のガラス基板、液晶基板、プリント基板、その他の多角形のめっき対象物を含む。円形基板は、半導体ウェハ、ガラス基板、その他の円形のめっき対象物を含む。

ロード／アンロード部１１０は、２台のカセットテーブル２５と、基板脱着機構２９とを有する。カセットテーブル２５は、半導体ウェハ、ガラス基板、液晶基板、プリント基板等の基板を収納したカセット２５ａを搭載する。基板脱着機構２９は、基板を基板ホルダ１（図２Ａ以降で後述）に着脱するように構成される。また、基板脱着機構２９の近傍（例えば下方）には基板ホルダ１を収容するためのストッカ３０が設けられる。これらのユニット２５，２９，３０の中央には、これらのユニット間で基板を搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置２７が配置されている。基板搬送装置２７は、走行機構２８により走行可能に構成される。

洗浄部５０ａは、めっき処理後の基板を洗浄して乾燥させる洗浄装置５０を有する。基板搬送装置２７は、めっき処理後の基板を洗浄装置５０に搬送し、洗浄された基板を洗浄装置５０から取り出すように構成される。

前処理・後処理部１２０Ａは、プリウェット槽３２と、プリソーク槽３３と、プリリンス槽３４と、ブロー槽３５と、リンス槽３６と、を有する。プリウェット槽３２では、基板が純水に浸漬される。プリソーク槽３３では、基板の表面に形成したシード層等の導電層の表面の酸化膜がエッチング除去される。プリリンス槽３４では、プリソーク後の基板が基板ホルダと共に洗浄液（純水等）で洗浄される。ブロー槽３５では、洗浄後の基板の液切りが行われる。リンス槽３６では、めっき後の基板が基板ホルダと共に洗浄液で洗浄される。プリウェット槽３２、プリソーク槽３３、プリリンス槽３４、ブロー槽３５、リ
ンス槽３６は、この順に配置されている。なお、このめっき装置１００の前処理・後処理部１２０Ａの構成は一例であり、めっき装置１００の前処理・後処理部１２０Ａの構成は限定されず、他の構成を採用することが可能である。

めっき処理部１２０Ｂは、オーバーフロー槽３８を備えた複数のめっき槽３９を有する。各めっき槽３９は、内部に一つの基板を収納し、内部に保持しためっき液中に基板を浸漬させて基板表面に銅めっき等のめっきを行う。ここで、めっき液の種類は、特に限られることはなく、用途に応じて様々なめっき液が用いられる。

めっき装置１００は、これらの各機器の側方に位置して、これらの各機器の間で基板ホルダを基板とともに搬送する、例えばリニアモータ方式を採用した基板ホルダ搬送装置３７を有する。この基板ホルダ搬送装置３７は、基板脱着機構２９、プリウェット槽３２、プリソーク槽３３、プリリンス槽３４、ブロー槽３５、リンス槽３６、及びめっき槽３９との間で基板ホルダを搬送するように構成される。

以上のように構成されるめっき装置１００を含むめっき処理システムは、上述した各部を制御するように構成されたコントローラ１７５を有する。コントローラ１７５は、所定のプログラムを格納したメモリ１７５Ｂと、メモリ１７５Ｂのプログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１７５Ａと、ＣＰＵ１７５Ａがプログラムを実行することで実現される制御部１７５Ｃとを有する。制御部１７５Ｃは、例えば、基板搬送装置２７の搬送制御、基板脱着機構２９における基板の基板ホルダへの着脱制御、基板ホルダ搬送装置３７の搬送制御、各めっき槽３９におけるめっき電流及びめっき時間の制御、並びに、各めっき槽３９に配置されるアノードマスク（図示せず）の開口径及びレギュレーションプレート（図示せず）の開口径の制御等を行うことができる。また、コントローラ１７５は、めっき装置１００及びその他の関連装置を統括制御する図示しない上位コントローラと通信可能に構成され、上位コントローラが有するデータベースとの間でデータのやり取りをすることができる。ここで、メモリ１７５Ｂを構成する記憶媒体は、各種の設定データや後述するめっき処理プログラム等の各種のプログラムを格納している。記憶媒体としては、コンピュータで読み取り可能なＲＯＭやＲＡＭなどのメモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭやフレキシブルディスクなどのディスク状記憶媒体などの公知のものが使用され得る。

［基板ホルダ］
図２Ａは、一実施形態に係る基板ホルダの概略正面図である。図２Ｂは、基板ホルダの概略側面図である。図２Ｃは、基板ホルダの概略背面図である。図３Ａは、基板ホルダの前方斜視図である。図３Ｂは、基板ホルダの後方斜視図である。図４Ａは、基板ホルダの前面図である。図４Ｂは、基板ホルダの背面図である。

基板ホルダ１は、フロントプレート３００とバックプレート４００とを備えている。これらのフロントプレート３００とバックプレート４００との間に基板Ｓが保持される。本実施例では、基板ホルダ１は、基板Ｓの片面を露出した状態で基板Ｓを保持する。基板Ｓは、半導体ウェハ、ガラス基板、液晶基板、プリント基板、その他の被めっき物であり得る。基板Ｓは、円形、角形等の何れの形状である。なお、以下の説明では、角形の基板を例に挙げて説明するが、基板ホルダ１の開口部の形状を変更すれば、円形その他の形状の基板を保持することが可能である。

フロントプレート３００は、フロントプレート本体３１０と、アーム部３３０とを備えている。アーム部３３０は、基板ホルダ搬送装置３７に把持される把持部分であり、基板着脱機構２９及びめっき槽３９に配置される際に支持される部分である。基板ホルダ１は、めっき装置１００の設置面に対して垂直に立てた状態で搬送され、垂直に立てた状態で
めっき槽３９内に配置される。

フロントプレート本体３１０は、概ね矩形状であり、配線バッファ部３１１とフェース部３１２とを有し、前面３０１と背面３０２とを有する。フロントプレート本体３１０は、取付部３２０によって２箇所でアーム部３３０に取り付けられている。フロントプレート本体３１０には、開口部３０３が設けられており、開口部３０３から基板Ｓの被めっき面が露出される。本実施形態では、開口部３０３は、矩形状の基板Ｓに対応して矩形状に形成されている。なお、基板Ｓが円形の半導体ウェハ等である場合には、開口部３０３の形状も円形に形成される。

フロントプレート本体３１０のアーム部３３０に近い側には、配線バッファ部３１１が設けられている。配線バッファ部３１１は、アーム部３３０を介してフロントプレート本体３１０まで到達するケーブルの分配を行う領域であり、また、予備の長さのケーブルを収容する領域である。配線バッファ部３１１は、フロントプレート本体３１０の他の部分（フェース部３１２）よりも若干厚みを持って形成されている（図２Ｂ参照）。本実施形態では、配線バッファ部３１１は、フロントプレート本体３１０の他の部分（フェース部３１２）とは別体に形成され、フェース部３１２に取り付けられている。アーム部３３０の一端側には、外部の配線と電気的に接続するためのコネクタ３３１が設けられている（図３Ａ等参照）。バックプレート４００は、フロントプレート本体３１０（より詳細には、フェース部３１２）の背面３０２にクランプ３４０によって固定される（図２Ｃ、図３Ｂ、図４Ｂ）。

（バックプレートのフロントプレートへの取付構造）
図５Ａは、バックプレートの正面図である。図５Ｂは、バックプレートの背面図である。図６Ａは、バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大背面図である。図６Ｂは、バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大斜視図である。図７は、クランプと連結部材の関係を示す斜視図である。

バックプレート４００は、バックプレート本体４１０を備え、バックプレート本体４１０は、概ね矩形状であるが、フロントプレート３００のフロントプレート本体３１０よりも小さい寸法を有する（図３Ｂ、図４Ｂ）。バックプレート本体４１０は、前面４０１（図５Ａ）と背面４０２（図５Ｂ）とを有する。

バックプレート本体４１０の前面４０１は、基板Ｓの載置面であり、フロントプレート本体３１０の背面３０２に取り付けられる。バックプレート本体４１０の前面４０１には、基板Ｓを保持（固定）するためのクリップ部４２０が、基板Ｓの各辺に対応して合計８個設けられている。この例では、クリップ部４２０は、基板Ｓの上辺及び下辺にそれぞれ１個づつ、左片及び右辺にそれぞれ３個づつ配置されている。なお、クリップ部４２０の数及び配置は、基板Ｓの寸法、形状に応じて適宜選択されるものであり、図示の数及び配置に限定されない。

バックプレート本体４１０の４隅のうちの３隅には、位置決め片４９０が設けられている。位置決め片４９０には、貫通孔４９０ａが形成されている。位置決め片４９０は、バックプレート本体４１０と一体に形成してもよいし、バックプレート本体４１０とは別体で形成し、バックプレート本体４１０に取り付けるようにしてもよい。フロントプレート本体３１０の背面３０２には、位置決め片４９０の各々に対応する位置に位置決めピン３９０が設けられている（図６Ａ，Ｂ）。位置決めピン３９０は、フロントプレート本体３１０と一体に形成してもよいし、フロントプレート本体３１０とは別体で形成し、フロントプレート本体３１０に取り付けるようにしてもよい。バックプレート４００をフロントプレート３００に取り付ける際に、バックプレート４００の位置決め片４９０の貫通孔４
９０ａに位置決めピン３９０を挿通させ、両者の位置合わせを行う。

フロントプレート３００の背面３０２には、図４Ｂに示すように、バックプレート４００の４辺の各辺に対応して、固定部材３５０が配置されている。２つの固定部材３５０が、バックプレート４００の１辺に対して設けられており、バックプレート４００の１辺に沿って並んで配置されている。各固定部材３５０には、図６Ａ、図６Ｂ、図７に示すように、２つのクランプ３４０が取り付けられている。よって、１辺あたり、４つのクランプ３４０が設けられている。また、各辺の２つの固定部材３５０の間には、４つのクランプ３４０を同時に動作させるためのレバー３４２が取り付けられている。

各辺の２つの固定部材３５０に亘って回転軸３４１が取り付けられている。回転軸３４１は、固定部材３５０に対して回転自在に取り付けられている（図７）。各クランプ３４０及びレバー３４２は、回転軸３４１にキー結合（キー及びキー溝）によって回転不能に取り付けられている（図８Ａ，Ｂ、図９Ａ，Ｂ）。４つのクランプ３４０は、同一の位相で回転軸３４１に取り付けられているが、レバー３４２は、４つのクランプ３４０とは異なる位相で回転軸３４１に取り付けられている。この構成により、レバー３４２が回転すると、それに伴い、４つのクランプ３４０が同期して回転する。なお、ここでは、フロントプレート本体３１０の面３０１、３０２に平行な回転軸３４１の周りにクランプ３４０が回転するように構成したが、フロントプレート本体３１０の面３０１、３０２に垂直な方向に往復運動してバックプレート４００をクランプするように、クランプ３４０を構成してもよい。

クランプ３４０は、その先端部において鉤状に湾曲した係合部３４０ａを有する。クランプ３４０の基端側には貫通孔を有し、この貫通孔に回転軸３４１が挿通され、キー及びキー溝によって回転不能に固定されている（図９Ａ参照）。レバー３４２は、外部からの力を受けていない場合、図７に示すように、圧縮ばね３４３によってフロントプレート３００の背面３０２から立ち上がるように付勢されており、これに伴い、各クランプ３４０は閉じる方向に付勢されている。言い換えれば、クランプ３４０は、ノーマルクローズ型で構成されている。また、レバー３４２は、外部からの押圧力を受けることが可能な力受部として構成されている。レバー３４２は、例えば、基板着脱機構２９に設けられるアクチュエータから押圧力を受けることが可能である。図１０Ｂにおいて、アクチュエータＡＲ１を模式的に示している。アクチュエータＡＲ１は、例えば、エアシリンダ、モータ等の駆動部ＤＲＶと、駆動部ＤＲＶによって駆動される棒状部材ＲＤとを備える。レバー３４２は、アクチュエータＡＲ１から押圧力を受けると、フロントプレート３００の背面３０２に向かって倒れる方向に回転し、これに伴い、クランプ３４０は開く方向に回転する。この例では、アクチュエータＡＲ１は、各辺のレバー３４２に対応して４つ設けられる。好ましくは、４つのアクチュエータＡＲ１は、同時に駆動されてレバー３４２を押す。但し、４つのアクチュエータＡＲ１は、別々に駆動してもよく、同時に駆動することに限定されない。

バックプレート４００の背面４０２には、クランプ３４０に対応する位置に係合受部４３０が設けられている。係合受部４３０は、本実施形態で示すように、バックプレート４００のバックプレート本体４１０とは別部材で形成され、バックプレート本体４１０に取り付けても良いし、バックプレート本体４１０と一体に形成したものであってもよい。係合受部４３０には、クランプ３４０の鉤状の係合部３４０ａが引っ掛かり、係合することが可能な形状を有する突出部４３０ａが形成されている。突出部４３０ａは、クランプ３４０の係合部３４０ａの係合を確実に受けるために、係合部３４０ａよりも長い寸法を有する。

以下、図面を参照しつつ、バックプレート４００のフロントプレート３００への取り付
け構造を説明する。
図８Ａは、クランプ状態のクランプの斜視図である。図８Ｂは、クランプ状態のクランプの側面図である。図９Ａは、クランプ状態のクランプの断面斜視図である。図９Ｂは、クランプ状態のクランプの断面図である。図１０Ａは、アンクランプ状態のクランプの構成を示す斜視図である。図１０Ｂは、アンクランプ状態のクランプの側面図である。図１１Ａは、アンクランプ状態のクランプの断面斜視図である。図１１Ｂは、アンクランプ状態のクランプの構成を示す断面図である。

前述したように、クランプ３４０は、ノーマルクローズ型であり、レバー３４２に押圧力を受けていない状態では、図８Ａ，Ｂ及び図９Ａ，Ｂに示すように、閉じた状態にある。フロントプレート３００にバックプレート４００を取り付ける場合には、先ず、アクチュエータＡＲ１（図１０Ｂ）によってフロントプレート３００のレバー３４２に押圧力を加え、図１０Ａ，Ｂ及び図１１Ａ，Ｂに示すように、圧縮ばね３４３の付勢力に抗してクランプ３４０を開く方向に回転させる。クランプ３４０を開放させた状態で、フロントプレート３００の背面３０２の所定の位置にバックプレート４００を配置する。このとき、フロントプレート３００の位置合わせピン３９０が、バックプレート４００の位置合わせ片４９０の貫通孔４９０ａに係合して、バックプレート４００がフロントプレート３００の所定の位置に位置合わせされる。

次に、フロントプレート３００のレバー３４２からアクチュエータＡＲ１の押圧力を取り除く。これにより、レバー３４２が圧縮ばね３４３の付勢力によってレバー３４２が元の位置に向かって回転し、各クランプ３４０が閉じる方向に回転する。この結果、クランプ３４０の係合部３４０ａが、バックプレート４００の係合受部４３０に係合し、バックプレート４００がフロントプレート３００に固定される（図８Ａ，Ｂ及び図９Ａ，Ｂ）。

バックプレート４００を取り外す場合には、前述したように、アクチュエータ（図示せず）によってフロントプレート３００のレバー３４２に押圧力を加え、圧縮ばね３４３の付勢力に抗してクランプ３４０を開く方向に回転させる（図１０Ａ，Ｂ及び図１１Ａ，Ｂ）。この結果、クランプ３４０が係合受部４３０から解放され、バックプレート４００をフロントプレート３００から取り外し可能となる。

（基板のバックプレートへの取付構造）
図１２Ａは、バックプレートのクリップを示す一部切欠き側面図である。図１２Ｂは、バックプレートのクリップを示す一部拡大斜視図である。図１３Ａは、閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。図１３Ｂは、閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。図１４Ａは、開放時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。図１４Ｂは、開放時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。

バックプレート４００の前面４０１には、基板Ｓの各辺に対応して合計８個のクリップ部４２０が設けられている（図５Ａ参照）。また、バックプレート４００の背面４０２には、クリップ部４２０の各々に対応する位置に、ボタン４７０が設けられている（図５Ｂ参照）。ボタン４７０に力が加わっていない場合、ボタン４７０の前面４０１側の面は、２つのクリップ４２１の基端部と所定の間隔を持って配置されている（図１３Ｂ）。ボタン４７０は、力受部４７１と、力受部４７１をバックプレート本体４１０に対して変位可能に支持する弾性部分４７２と、弾性部分４７２の外周にある取付部４７３とを有する。ボタン４７０は、取付部４７３において押え部材４７４、及び締結部材４７５によって固定されている。締結部材４７５は、例えば、スタッド、ボルト等である。

各クリップ部４２０は、図１２Ａ，Ｂに示すように、バックプレート本体４１０の前面４０１に固定された固定部４２３と、固定部４２３に回転不能に固定された固定軸４２４
と、固定軸４２４に対して並進しつつ回転可能に支持された２つのクリップ４２１と、クリップ４２１の各々に設けられクリップ４２１を閉鎖方向に付勢する巻ばね４２２と、を備えている。

クリップ４２１は、その先端部に爪部４２１ａを有し、その基端側には長穴４２１ｂ及び２つの丸穴４２１ｃが形成されている。クリップ４２１は、固定軸４２４を長穴４２１ｂに挿通させて取り付けられている。図１３Ｂに示すように巻ばね４２２は、巻回部４２２ｃと、巻回部４２２ｃから延びる脚部４２２ａ、４２２ｂを有している。巻ばね４２２は、針金等を複数回円形に巻いて巻回部４２２ｃを設け、所定の長さの脚部４２２ａ、４２２ｂを残したものである。脚部４２２ａは、略直角に折れ曲がる折曲部を先端に有し、この折曲部が、クリップ４２１の２つ丸穴４２１ｃのうち基端側の丸穴４２１ｃに挿入及び嵌合されている。他方の脚部４２２ｂは、クリップ４２１には取り付けられておらず、略直角に折れ曲がる折曲部を先端に有し、この折曲部が、固定部４２３に設けられた規制面４２３ａに当接した状態で支持されている。また、脚部４２２ａは、固定部４２３に設けられた案内面４２３ｂによって案内される（図１３Ｂ、図１４Ｂ）。

この構成により、クリップ４２１は、バックプレート本体４１０から離れる方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の外側に向かって回転することが可能である（図１３Ｂから図１４Ｂ）。この結果、クリップ４２１は、開放状態となる（図１４Ａ，Ｂ）。また、逆に、クリップ４２１は、バックプレート本体４１０に接近する方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の内側に向かって回転することが可能である（図１４Ｂから図１３Ｂ）。この結果、クリップ４２１は、閉鎖状態となる（図１３Ａ，Ｂ）。なお、本実施形態では、クリップ４２１は、外部から力を受けない状態では、巻ばね４２２によって閉鎖方向に付勢されており、ノーマルクローズ型である（図１３Ａ，Ｂ）。また、図１４Ｂでは、図面の複雑化を避けるため、ボタン４７０の力受部４７１が変位していない状態を示しているが、実際には、力受部４７１はクリップ４２１に向かって変位してクリップ４２１を押圧しており、この押圧によってクリップ４２１が開放状態にある。

基板Ｓをバックプレート４００に載置する場合、バックプレート４００の８個のボタン４７０（力受部４７１）に、外部からアクチュエータＡＲ２によって押圧力を加える（図１４Ｂ）。これにより、図１４Ａ，Ｂに示すように、力受部４７１が前面４０１側に変位し、２つのクリップ４２１の基端部に当接する。力受部４７１から受ける力によって、クリップ４２１は、図１４Ｂに示すように、バックプレート本体４１０から離れる方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の外側に回転し、開放状態となる（図１４Ｂ）。図１４Ｂに模式的に示したように、アクチュエータＡＲ２は、例えば、エアシリンダ、モータ等の駆動部ＤＲＶと、駆動部ＤＲＶによって駆動される棒状部材ＲＤとを備える。アクチュエータＡＲ２は、８個のボタン４７０に対応して８台設けられている。好ましくは、８台のアクチュエータＡＲ２は、同時に駆動されてボタン４７０を押す。但し、８台のアクチュエータＡＲ２は、別々に駆動してもよく、同時に駆動することに限定されない。

クリップ４２１が開放した状態で、バックプレート４００の前面４０１の所定の位置に基板Ｓを載置し、その後、ボタン４７０からアクチュエータＡＲ２による押圧力を解放する。この結果、クリップ４２１は、巻ばね４２２の付勢力によって、バックプレート本体４１０に接近する方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の内側に回転し、閉鎖状態となる（図１４Ｂから図１３Ｂ）。このとき、クリップ４２１の先端の爪部４２１ａが基板Ｓの周縁部に係合し、基板Ｓをバックプレート４００の前面４０１に固定することができる。

このように基板Ｓを取り付けたバックプレート４００を、図５から図１３で説明したように、フロントプレート３００に取り付ければ、基板ホルダ１への基板Ｓの取り付けが完
了する。基板Ｓをバックプレート４００から取り外す場合、前述したように、バックプレート４００の８個のボタン４７０（力受部４７１）に、外部からアクチュエータＡＲ２によって押圧力を加える（図１４Ａ、Ｂ）。

なお、ここでは、バックプレート本体４１０の面４０１、４０２に平行な固定軸４２４の周りにクリップ４２１が回転するように構成したが、バックプレート本体４１０の面４０１、４０２に垂直な方向に往復運動して基板Ｓをクランプするようにクリップ４２１を構成してもよい。

（シール部の構成）
図１５は、フロントプレートのインナーシール部を示す断面図である。図１６は、フロントプレートのインナーシール部及びアウターシール部を示す断面図である。

フロントプレート３００の背面３０２には、開口部３０３に隣接してインナーシール３６１が設けられている。インナーシール３６１は、シールホルダ３６３によってフロントプレート３００の背面３０２に取り付けられている。インナーシール３６１は、基板Ｓとフロントプレート３００との間をシールし、めっき液が基板Ｓの端部に侵入することを防止する。シールホルダ３６３には、基板Ｓに電位を供給するためのコンタクト３７０も取り付けられている。

また、図１６に示すように、フロントプレート３００の背面３０２には、インナーシール３６１よりも外側において、アウターシール３６２がシールホルダ３６４によって取り付けられている。アウターシール３６２は、バックプレート４００に当接し、フロントプレート３００とバックプレート４００との間をシールする。

本実施形態では、インナーシール３６１及びアウターシール３６２を取り付けるシールホルダ３６３、３６４が別部材で構成されているので、インナーシール３６１及びアウターシール３６２を別々に交換することができる。

図１７は、フロントプレート本体の背面図である。図１８は、フロントプレートのコネクタを含む領域の一部拡大平面図である。図１９Ａは、フロントパネルの断面斜視図である。図１９Ｂは、フロントパネルの断面図である。図１９Ｃは、ケーブルの配置を示すフロントパネルの一部拡大斜視図である。図２０Ａは、配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近の斜視図である。図２０Ｂは、配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近を示す上面図である。図２０Ｃは、配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近を示す上面図の拡大図である。

フロントプレート本体３１０の背面３０２は、１８個のコンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８を有する。コンタクト領域Ｃ１−Ｃ７、Ｃ１７、Ｃ１８は、フェース部３１２のうちコネクタ３３１側の半分の領域（第１領域、図１７の右側半分の領域）に配置されており、コンタクト領域Ｃ８−Ｃ１６は、フェース部３１２のうちコネクタ３３１から遠い側の半分の領域（第２領域、図１７の左側半分の領域）に配置されている。以下の説明では、便宜上、第１領域に配置されるケーブルを第１グループのケーブル、第２領域に配置されるケーブルを第２グループのケーブルと称す場合がある。

各コンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８には、図１５、図１６に図示した基板Ｓに給電するためのコンタクト(接点部材)３７０が含まれる。各コンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８のコンタクト３７０には、それぞれ、ケーブルＬ１−Ｌ１８を介して、外部から給電される。なお、以下の説明では、各ケーブルを区別する必要がない場合には、ケーブルＬ１−Ｌ１８をまと
めて、ケーブルＬと総称する場合がある。また、任意のケーブルをケーブルＬとして参照する場合もある。

ケーブルＬ１−Ｌ１８の第１端部は、アーム部３３０の一端に設けられたコネクタ３３１に接続されおり、より詳細には、コネクタ３３１において個別の接点または複数本ずつ共通の外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２に電気的に接続されている。ケーブルＬ１−Ｌ１８は、コネクタ３３１の各接点を介して外部の電源（電源回路、電源装置等）に電気的に接続可能である。

コネクタ３３１では、ケーブルＬ１−Ｌ１８が外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２に接続される（図２７Ｕ、Ｖ、図２８参照）。外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２には、外部電源からの給電端子に接続される。例えば、第１グループのケーブル（Ｌ１−Ｌ７、Ｌ１７、Ｌ１８）の３本を共通の第１側の外部接続接点３３１ａ１に接続し、第２グループのケーブル（Ｌ８−Ｌ１６）の３本のケーブルを共通の第２側の外部接続接点３３１ａ２に接続し、これらの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とを一対の外部接続接点対３３１ａとする（図２７Ｕ、Ｖにおける左右の接点３３１ａ１、３３１ａ２に対応）。具体的には、以下のように外部接続接点を構成する。
ケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１を共通の第１側の外部接続接点３３１ａ１に接続し、ケーブルＬ８、Ｌ９、Ｌ１０を共通の第２側の外部接続接点３３１ａ２に接続し、これらの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とを一対（第１対、又は第１の外部接続接点対３３１ａ）とする。
ケーブルＬ２、Ｌ３、Ｌ４を別の第１側の外部接続接点３３１ａ１に接続し、ケーブルＬ１１、Ｌ１２、Ｌ１３を別の第２側の外部接続接点３３１ａ２に接続し、これらの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とを一対（第２対、又は第２の外部接続接点対３３１ａ）とする。
ケーブルＬ５、Ｌ６、Ｌ７を別の第１側の外部接続接点３３１ａ１に接続し、ケーブルＬ１４、Ｌ１５、Ｌ１６を別の第２側の外部接続接点３３１ａ２に接続し、これらの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とを一対（第３対、又は第３の外部接続接点対３３１ａ）とする。
コネクタ３３１において、各外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とは互いに対向して配置されている。第１の外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とは互いに対向して配置され、第２の外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とは互いに対向して配置され、第３の外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とは互いに対向して配置される。

基板着脱機構２９において、基板ホルダ１に基板Ｓが保持された後(バックプレート４００がフロントプレート３００のクランプ３４０で固定された後）、コネクタ３３１の第１〜第５対に抵抗測定器（図示せず）が接続され、各対における第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２との間に、所定の検査電圧が印加される。これにより、各対における第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２との間の電気抵抗が測定される。そして、各外部接続接点対３３１ａの電気抵抗が所定値以下かつ所定の範囲内であれば（各外部接続接点対の電気抵抗にばらつきがなく、断線等の異常がない）、基板ホルダ１の通電が良好であると判断する。

ケーブルＬ１−Ｌ１８の他端である第２端部は、後述するように、それぞれ、コンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８においてコンタクト３７０に電気的に接続される。各ケーブルＬ１−Ｌ１８は、コネクタ３３１から、アーム部３３０を通って、一方の取付部３２０を通過し、配線バッファ部３１１に入る（図１８）。配線バッファ部３１１において、ケーブルＬ
１−Ｌ１８のうちケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１−Ｌ７が、第１領域（コネクタ側の領域）に向かい、ケーブルＬ８−Ｌ１６が、第２領域（コネクタから遠い側の領域）に向かう。図１８では、第１領域に配置される第１グループのケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１−Ｌ７が主に示されている。図１８に示すように、第１グループのケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１−Ｌ７は、配線バッファ部３１１を通過して、フェース部３１２におけるシールホルダ３６３、３６４間のケーブル通路３６５に導かれる。図示省略するが、第２グループのケーブルＬ８−１６も、配線バッファ部３１１の第２領域（コネクタから遠い側の領域）を通過して、フェース部３１２の第２領域においてケーブル通路３６５に導かれる。なお、図１８では、図面の複雑化を避けるため、ケーブルの長さの一部を省略して表示している。

配線バッファ部３１１のフェース部３１２側には、肉厚部３１３が設けられている（図１９Ａ、図１９Ｂ）。配線バッファ部３１１の肉厚部３１３及びフェース部３１２には、シールホルダ３６３、３６４間のケーブル通路３６５まで、各ケーブルＬ１−Ｌ１８に対応する配線穴３１１ａが設けられている（図１９Ａ、図１９Ｂ）。ここで、配線穴３１１ａは、ケーブルが通過可能な径を有する錐穴である。図１９Ａでは、１つの配線穴３１１ａのみを示しているが、実際には、配線穴３１１ａは、図１９Ｃに示すように、各ケーブルに対応して複数設けられている。少なくともケーブルの数の配線穴３１１ａが設けられている。

本実施形態では、図１９Ａ、図１９Ｂに示すように、配線バッファ部３１１は、フロントパネル本体３１０のフェース部３１２とは別体で設けられ、フロントパネル本体３１０に取り付けられている。配線バッファ部３１１とフェース部３１２の境界においてケーブルの周囲には、配線穴３１１ａ及びケーブルＬを密閉するためのＯリング５１１が配置されている。これにより、配線穴３１１ａ及びケーブルＬが、めっき液や、外部からの異物から保護される。

図２１Ａは、コネクタに近い側のフェース部の隅部近傍における背面図である。図２１Ｂは、コネクタに近い側のフェース部の隅部近傍をさらに拡大した背面図である。図２１Ｃは、図２１ＡのＣ−Ｃ線における断面図である。図２１Ｄは、ケーブルの被覆を除去した部分の斜視図である。

ケーブルＬ１−Ｌ７は、図２１Ａ及び図２１Ｂに示すように、同一平面内に並んでケーブル通路３６５内に導入され、開口部３０３のコネクタ３３１側の辺に沿って配置されている。ケーブル同士は、フェース部３１２の厚み方向に重ならない。従って、フェース部３１２及びフロントパネル３００の厚みを抑制することができる。

図２１Ａ及び図２１Ｂに示すように、開口部３０３の各辺に沿って、コンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８ごとに導電体からなるコンタクト３７０が配置されている。コンタクト３７０は、インナーシール３６１に接触しないが、隣接して配置されている。コンタクト３７０は、シールホルダ３６３上に配置されており、複数のネジ５１１でシールホルダに固定されている。シールホルダ３６３には、各コンタクト領域においてケーブル通路３６５から接続位置（ネジ５１１の位置）まで、ケーブルを引き込む配線溝３６３ａが設けられている。ケーブルＬは、図２１Ｄに示すように、電気的な伝導体からなる心線又は導電線６０１と、導電線６０１を絶縁するための被覆６０２とを備えている。ケーブルＬは、先端部（第２端部）において、被覆６０２が除去され、心線又は導電線６０１が露出される。そして、ケーブルＬの心線６０１が配線溝３６３ａに引き込まれる。なお、割り当てられたコンタクト領域において引き込まれたケーブルＬは、そのコンタクト領域で終端する。

例えば、コンタクト領域Ｃ１では、コンタクト領域Ｃ１近傍のケーブル通路３６５に向
かって開口する配線溝３６３ａ（図２１Ｃ）が形成され、この配線溝３６３ａは、コンタクト領域Ｃ１に設けられた４つのネジ（締結部材）５１１の下方を通過するように延びかつ終端する（図２１Ａ）。同様に、コンタクト領域Ｃ２では、コンタクト領域Ｃ２近傍のケーブル通路３６５に向かって開口する配線溝３６３ａが形成され、この配線溝３６３ａは、コンタクト領域Ｃ２に設けられた４つのネジ５１１の下方を通過するように延びかつ終端する。ネジ５１１と配線溝３６３ａの位置関係を図２１Ｃに示している。ケーブルＬ（図２１Ｃでは、Ｌ１）が配線溝３６３ａに配置されたとき、ネジ５１１のフランジ部５１１ａによって、コンタクト３７０及びケーブル（心線）が押圧される。

各コンタクト領域におけるケーブルＬとコンタクト３７０との電気接続は、以下のように行われている。ケーブルＬ１を例に挙げると、ケーブルＬ１の先端部（第２端部）は、被覆６０２が除去されて、心線（導電線）６０１が露出している（図２１Ａ−Ｄ）。ケーブルＬ１の先端部は、コンタクト領域Ｃ１の近傍においてシールホルダ３６３の配線溝３６３ａ内に導入され、コンタクト領域Ｃ１内で、４箇所のネジ（締結部材）５１１によってコンタクト３７０とともに押圧されている。つまり、ネジ（締結部材）５１１とシールホルダ３６３とが、ケーブルＬ１の心線６０１をコンタクト３７０とともに挟持している。この結果、ケーブルＬ１は、コンタクト３７０に電気的に接続される。基板ホルダ１が基板Ｓを保持すると、コンタクト３７０が基板Ｓに接触して、外部の電源からケーブルＬ１、コンタクト３７０を介して基板Ｓに給電が行われる。他のコンタクト領域Ｃ２−Ｃ１８も同様に構成されており、１８箇所のコンタクト３７０から基板Ｓに給電が行われる。

コンタクト領域Ｃ１には、ケーブルＬ２−Ｌ７は引き込まれないので、コンタクト領域Ｃ１とコンタクト領域Ｃ２との間では、ケーブルＬ２−Ｌ７が並んで配置されている。コンタクト領域Ｃ２では、コンタクト領域Ｃ１と同様に、ケーブルＬ２がシールホルダ３６３の配線溝３６３ａに引き込まれ、４箇所のネジ５１１によってコンタクト３７０とともに押圧され、コンタクト３７０と電気的に接続される。この結果、コンタクト領域Ｃ２とコンタクト領域Ｃ３との間では、ケーブルＬ３−Ｌ７が並んで配置されている。同様にして、ケーブルＬ３−Ｌ７が、それぞれコンタクト領域Ｃ３−Ｃ７において、コンタクト３７０と電気的に接続される。この結果、コンタクト領域Ｃ３とＣ４との間ではケーブルＬ４−Ｌ７が並んで配置され、コンタクト領域Ｃ４とＣ５との間ではケーブルＬ５−Ｌ７が並んで配置され、コンタクト領域Ｃ５とＣ６との間ではケーブルＬ６−Ｌ７が並んで配置され、コンタクト領域Ｃ６とＣ７との間ではケーブルＬ７が並んで配置される。

ケーブルＬ１７、Ｌ１８も同様に、それぞれコンタクト領域Ｃ１７、Ｃ１８において、コンタクト３７０と電気的に接続される。また、コネクタから遠い側の領域（第２領域）でも、ケーブルＬ８−Ｌ１６が、第１領域のケーブルと同様に、それぞれコンタクト領域Ｃ８−Ｃ１６において、コンタクト３７０と電気的に接続される。

本実施形態では、コンタクト３７０とともにケーブルＬが挟持され、ケーブルＬとコンタクト３７０とが直接、電気的に接続される場合を説明したが、ケーブルＬとコンタクト３７０との間に別の導電部材（第２導電部材）を介在させるようにしてもよい。

［基板着脱装置］
図２２Ａは、基板着脱装置の斜視図である。図２２Ｂは、基板着脱装置の側面図である。図２２Ｃは、基板着脱装置の平面図である。図２２Ｄは、基板着脱装置のホルダステーション及びサポート装置の背面図である。

基板着脱装置１０００は、図１の基板着脱機構２９に含まれる。基板着脱装置１０００は、図２２Ａ〜Ｄに示すように、ホルダステーション１１００と、旋回装置１２００と、サポート装置１３００とを備えている。ホルダステーション１１００及びサポート装置１
３００は、設置面に固定されたベース１４００上に固定されている。旋回装置１２００は、構成材（レール）１５００に取り付けられており、構成材１５００に沿ってホルダステーション１１００に対して接近および離間するように直線方向に往復移動可能である。構成材１５００は、ベース１４００の一側面に対して取り付けられており、ベース１４００と略同一の高さを有する。旋回装置１２００は、ホルダステーション１１００の第１側に配置されており、サポート装置１３００は、ホルダステーション１１００の第２側に配置されている。基板着脱装置１０００では、ホルダステーション１１００で基板ホルダ１を懸架し、及びサポート装置１３００で基板ホルダ１を後方側から支持及び固定した状態で、旋回装置１２００で基板ホルダ１のバックプレート４００を着脱し、旋回装置１２００によって取り外されたバックプレート４００に対して基板Ｓが着脱される。なお、サポート装置１３００によって基板ホルダ１を支持しない場合には、サポート装置１３００を省略可能である。

以下の説明では、ホルダステーション１１００及びサポート装置１３００の旋回装置１２００側を第１側又は前方側と称し、ホルダステーション１１００及びサポート装置１３００の反対側を第２側又は後方側と称する場合がある。また、旋回装置１２００のホルダステーション１１００側を第１側又は前方側と称し、旋回装置１２００の反対側を第２側又は後方側と称する場合がある。

（旋回装置）
図２３Ａは、旋回装置の第１姿勢における斜視図である。図２３Ｂは、旋回装置の第２姿勢における斜視図である。図２３Ｃは、旋回装置の側面図である。図２３Ｄは、旋回装置の平面図である。図２３Ｅは、旋回装置の正面図である。図２３Ｆは、旋回装置の支持板部の拡大斜視図である。図２３Ｇは、旋回装置の直動機構の断面図である。

旋回装置１２００は、図２３Ａ〜Ｅに示すように、本体１２３２と、旋回機構１２４０と、支持板部１２１０と、を備えている。本体１２３２は、概ね直方体の形状であり、構成材１５００の長手方向に沿う辺と、構成材１５００の幅方向に沿う辺とを有する。構成材１５００の長手方向に沿う辺よりも、構成材１５００の幅方向に沿う辺の長さが大きく形成されている。本体１２３２の下部には、フランジ１２３１が一体又は別体で設けられている。フランジ１２３１の下面には、案内部材１２５０が取り付けられている。案内部材１２５０は、フランジ１２３１の下面に取り付けられた２つの連結板１２５１と、各連結板１２５１の下面に取り付けられた案内部１２５２とを備えている。連結板１２５１は、構成材１５００を横切る方向に延びる。案内部１２５２は、各連結板１２５１の下面において、構成材１５００の幅方向の両側に１個ずつ設けられている。各案内部１２５２は、構成材１５００の各レール部１５１０に係合し、旋回装置１２００の本体１２３２が、レール部１５１０に沿って案内されるようになっている。このような構成により、旋回装置１２００は、案内部１２５２に案内されて、レール部１５１０に沿って移動可能となっている。

案内部材１２５０(連結板１２５１)の下面には、直動機構１２６０が設けられている（図２３Ｅ）。直動機構１２６０は、図２３Ｇに示すように、電動モータ１２６１と、連結機構１２６２と、電磁ブレーキ１２６３と、ボールねじ１２６４と、ナット１２６５と、を備えている。ナット１２６５には、案内部材１２５０（連結板１２５１）が固定されている。直動機構１２６０は、構成材１５００上に固定されている。電動モータ１２６１は、例えば、サーボモータである。連結機構１２６２は、電動モータ１２６１の回転軸とボールねじ１２６４とを動作可能に連結するカップリングであり、電動モータ１２６１の回転軸の回転をボールねじ１２６４に伝達する。電磁ブレーキ１２６３は、例えば、励磁コイル（電磁石）のオン／オフによってアーマチュアをブレーキハブに対して係合、開放させて、ボールねじ１２６４の回転を停止または許可するものである。ナット１２６５は、
レール部１５１０によって直動方向に移動が規制された案内部材１２５０に固定されることによって廻り止めされており、ボールねじ１２６４の回転によってボールねじ１２６４の軸方向に沿って直動（前進又は後退）する。ボールねじ１２６４及びナット１２６５は、回転直動変換機構を構成し、電動モータ１２６１の回転を案内部材１２５０及び旋回装置１２００の直進運動に変換する。

旋回装置１２００の本体１２３２の上部には、旋回機構１２４０が取り付けられている（図２３Ｃ）。旋回機構１２４０は、フレーム１２４１と、電動モータ１２４２と、支持板旋回軸１２４３とを備えている（図２３Ｄ）。フレーム１２４１は、平面視において支持板部１２１０側が開口した形状を有する。電動モータ１２４２は、フレーム１２４１の開口側の側壁外側に取り付けられている。支持板旋回軸１２４３の第１端は、フレーム１２４１の側壁１２４１ａに設けられた減速器１２４４ａを介して、電動モータ１２４２の回転軸に連結されている。支持板旋回軸１２４３の第２端は、反対側のフレーム１２４１の側壁１２４１ｂに設けられた軸受１２４４ｂに回転可能に支持されている。支持板旋回軸１２４３は、連結機構１２４５ａ、１２４５ｂによって支持板部１２１０に回転不能に固定されており、電動モータ１２４２が回転すると、支持板旋回軸１２４３の回転とともに支持板部１２１０も回転するように構成されている。なお、減速器１２４４ａを省略する場合には、減速器１２４４ａの代わりに軸受によって、支持板旋回軸１２４３の第１端を回転可能に支持する。

支持板部１２１０は、旋回機構１２４０によって支持板旋回軸１２４３の周りを回転されることによって、第１姿勢（この例では、直立姿勢）（図２３Ａ）と、第２姿勢（この例では、水平姿勢）（図２３Ｂ）との２つの姿勢をとることが可能である。なお、水平姿勢は、装置設置面に対して水平との意味であり、直立姿勢は、装置設置面に対して垂直との意味である。直立姿勢は、垂直姿勢と称する場合もある。水平姿勢は、後述する基板Ｓのバックプレート４００への取り付けに支障のない範囲であれば、完全な水平に対して若干ずれてもよい。直立姿勢は、後述するバックプレート４００のフロントプレート３００への取り付けに支障のない範囲であれば、完全な垂直でなくともよい。この意味で、水平姿勢及び直立姿勢（垂直姿勢）を、それぞれ、略水平姿勢、略直立姿勢（略垂直姿勢）と称す場合もある。

支持板部１２１０は、基板ホルダ１のバックプレート４００を支持する支持面を有する支持板１２１０ａと、支持板１２１０ａの支持面に設けられた各種装置とを備えている（図２３Ｃ、図２３Ｅ、図２３Ｆ）。各種装置について図２３Ｅ、図２３Ｆを参照して説明する。

図２３Ｅ、図２３Ｆに示すように、支持板１２１０ａには、８個のアクチュエータ１２１１と、８個のアクチュエータ１２１２と、４個のアクチュエータ１２１３と、４個のバキューム装置１２１４と、４個のアクチュエータ１２１５と、２個の長手方向の水平位置決装置１２１６と、２個の短手方向の水平位置決装置１２１７と、を備えている。複数のアクチュエータ１２１２が設けられることによって、各アクチュエータの押付け力を調整し、バックプレート４００を均一に押付けることが可能である。同様に、複数のアクチュエータ１２１３が設けられることによって、各アクチュエータの押付け力を調整し、バックプレート４００を均一に押付けることが可能である。なお、アクチュエータ及びバキューム装置の数は、必要な押付け力及び／又は吸着力に応じて最適な数を選択することができる。

アクチュエータ１２１１は、図１４Ｂにおいて上述したアクチュエータＡＲ２に対応している。この例では、アクチュエータ１２１１は、支持板１２１０ａの背面側に駆動部ＤＲＶとしてエアシリンダを有し、エアシリンダによって駆動される棒状部材（ロッド）Ｒ
Ｄを有する。アクチュエータ１２１１は、ボタン４７０を押圧し、クリップ４２１を開く（図１４Ｂ）。なお、実際には、図２３Ｅ、図２３Ｆに示す円形領域の略中心において、ロッドＲＤが支持板１２１０ａの背面側から前面側に露出する。

アクチュエータ１２１２、１２１３は、ホルダステーション１１００において基板ホルダ１をバックプレート４００側から押圧し、基板ホルダのインナーシール３６１、アウターシール３６２を圧縮するためのアクチュエータである。アクチュエータ１２１２、１２１３は、アクチュエータ１２１１と同様に、支持板１２１０ａの背面側にエアシリンダによって駆動されるロッドを有する構成である。なお、実際には、図２３Ｅ、図２３Ｆに示す円形領域の略中心において、アクチュエータ１２１２のロッドＲＤが支持板１２１０ａの背面側から前面側に露出する。

アクチュエータ１２１３は、さらに、真空エジェクタやベルヌーイチャック等の吸着チャック（あるいは非接触チャックともいう）によりバックプレート４００を吸引する吸着機構も有する（図２７Ｋ参照。後述。）。アクチュエータ１２１３は、押圧及び吸着の機能を備え、押込吸着機構として構成されている。以下の説明では、アクチュエータ１２１３を、押込吸着シリンダ１２１３とも称す。

バキューム装置１２１４は、真空エジェクタ等を用いた真空パッドによりバックプレート４００を吸引、吸着する装置である。バキューム装置１２１４は、支持板１２１０ａを第２姿勢（本実施形態では、水平状態）にした状態で、バックプレート４００の吸引を開始する。

アクチュエータ１２１５は、図１０Ｂにおいて上述したアクチュエータＡＲ１に対応している。この例では、アクチュエータ１２１５は、駆動部ＤＲＶとしてエアシリンダ１２１５ｂを有し、エアシリンダによって駆動される棒状部材ＲＤとしてロッド１２１５ａを有する。アクチュエータ１２１５は、支持板１２１０ａの各辺の略中央に１個ずつ設けられている。アクチュエータ１２１５は、レバー３４２を押圧してクランプ３４０を開く（図１０Ａ、図１０Ｂ）。

水平位置決装置１２１６は、エアシリンダで駆動されるロッドを有するアクチュエータであり、支持板１２１０ａ上に配置されたバックプレート４００の側面を押圧し、バックプレート４００の支持板１２１０ａ面内での位置合わせを行う。水平位置決装置１２１６は、支持板１２１０ａの一辺（この例では、上辺）の２箇所に設けられている。

水平位置決装置１２１７は、エアシリンダで駆動されるロッドを有するアクチュエータであり、支持板１２１０ａ上に配置されたバックプレート４００の側面を押圧し、バックプレート４００の支持板１２１０ａ面内での位置合わせを行う。水平位置決装置１２１７は、支持板１２１０ａの一辺（この例では、右辺）の２箇所に設けられている。

水平位置決装置１２１６及び水平位置決装置１２１７は、支持板１２１０ａの隣接する辺にそれぞれ設けられる。この例では、支持板１２１０ａの上辺及び下辺は、左辺及び右辺よりも短い。よって、水平位置決装置１２１６及び水平位置決装置１２１７は、それぞれ、短辺及び長辺にそれぞれ設けられているともいえる。水平位置決装置１２１６は、短辺に設けられ、バックプレート４００を長辺に沿って押圧し、長手方向の位置決めを行う。水平位置決装置１２１７は、長辺に設けられ、バックプレート４００を短辺に沿って押圧し、短手方向の位置決めを行う。

（ホルダステーション）
図２４Ａは、ホルダステーションの斜視図である。図２４Ｂは、ホルダステーションの
正面図である。図２４Ｃは、ホルダステーションの平面図である。図２４Ｄは、ホルダステーションの側面図である。

ホルダステーション１１００は、脚部１１１１と、支柱１１１２と、下部横断板１１１３と、上部横断板１１１４と、フランジ１１１５と、アーム受部１１２０とを備えている。２つの脚部１１１１が所定の間隔を持ってベース１４００上に固定されている。下部横断板１１１３は、その両端部の近傍において、支柱１１２とともに脚部１１１１の上面にそれぞれ固定されている。２つの支柱１１１２の各々は、下部横断板１１１３及び脚部１１１１に例えばボルトによって固定されている。各支柱１１１２の上部には、張出部１１１６が設けられており、張出部１１６及び支柱１１１２の上面には、フランジ１１１５が取り付けられている。フランジ１１１５上には、第１取付部材１１１７が配置され、ボルト等によってフランジ１１１５及び上部横断板１１１４に固定されている。上部横断板１１１４の両端は、フランジ１１１５の下面に固定されている。第１取付部材１１１７上には、アーム受部１１２０が、第２取付部材１１１８によって取り付けられている。アーム受部１１２０は、基板ホルダ１のアーム部３３０の各端部が挿入される凹部１１２０ａを有している。なお、コネクタ３３１が取り付けられたアーム部３３０が挿入される凹部１１２０ａ内には、後述する通電確認装置１１２１が配置されている。上部横断板１１１４は、各支柱１１１２の上部を互いに連結している。

図２５Ａは、位置決ピンが収納された状態における、ホルダステーションのアーム受部の拡大斜視図である。図２５Ｂは、位置決ピンが突出した状態における、ホルダステーションのアーム受部の拡大斜視図である。図２５Ｃは、基板ホルダのアーム部が配置された状態における、ホルダステーションのアーム受部の拡大斜視図である。

アーム受部１１２０には、基板ホルダ１のアーム部３３０を受け入れるための凹部１１２０ａが設けられている。凹部１１２０ａの外方側には、凹部１１２０ａと連続して凹部１１２０ａよりも幅の狭い凹部１１２０ｂが形成されている。この凹部１１２０ｂの底面には、ピン穴１１２２が設けられている。ピン穴１１２２内には、位置決ピン１１２３が収納されており、電動モータ、エアシリンダ等の動力機構１１２３ａ（図２６Ｆ）によって、ピン穴１１２２から突出した位置（図２５Ｂ）と、ピン穴１１２２内部に収納された位置（図２５Ａ）との２つの位置をとることが可能である。

アーム受部１１２０の凹部１１２０ａ内には、通電確認装置１１２１が配置されている。なお、基板ホルダ１のアーム部３３０の端部のうち、コネクタ３３１がない側のアーム受部１１２０には、通電確認装置１１２１は設けられない。

ホルダステーション１１００に基板ホルダ１が受け入れられる前は、図２５Ａに示すように、位置決ピン１１２３は、ピン穴１１２２内に収納された状態にある。ホルダステーション１１００に基板ホルダ１を受け入れる際には、位置決ピン１１２３がピン穴１１２２から突出した位置に移動される（図２５Ｂ）。その後、図示しないトランスポータによって基板ホルダ１のアーム部３３０がアーム受部１１２０に載置されると、アーム部３３０に一体又は別体で設けられた位置決片３３２の位置決穴３３２ａに位置決ピン１１２３が挿入される。これにより、アーム部３３０がアーム受部１１２０に対して位置決めされて、基板ホルダ１がホルダステーション１１０に位置決めされる。

（サポート装置）
図２６Ａは、サポート装置の斜視図である。図２６Ｂは、サポート装置の正面図である。図２６Ｃは、サポート装置の平面図である。図２６Ｄは、サポート装置の側面図である。図２６Ｅは、サポート装置の後方斜視図である。図２６Ｆは、サポート装置の背面図である。

サポート装置３００は、ベース１３０１と、２つの支柱１３０２と、上部横断梁１３０３と、本体パネル１３１０と、支持板１３２０とを備えている。ベース１３０１は、上述したベース１４００上に固定される。２つの支柱１３０２は、所定の間隔をもってベース１３０１上に固定されている。上部横断梁１３０３は、２つの支柱１３０２の上部に固定されている。

支持板１３２０は、複数のロッド１３２１と、複数の補強ロッド１３２２とによって、本体パネル１３１０に対して接近および離間する方向に往復移動可能に構成されている。

３つのロッド１３２１が、支持板１３２０の左右方向の中心部において上下方向に均等に配置されている（図２６Ａ）。なお、図２６Ａでは、上下方向中央及び下部のロッド１３２１は、支持板１３２０に隠れている。上下方向中央のロッド１３２１は、図２６Ｅに示すエアシリンダ１３２１ｂのロッド部である。エアシリンダ１３２１ｂは、本体パネル１３１０の背面側から前面側にロッド１３２１を貫通させるように、本体パネル１３１０の背面に固定されている。上下２つのロッド１３２１は、本体パネル１３１０に設けられた貫通孔を通って、本体パネル１３１０の背面側に案内されており（図２６Ｅ）、本体パネル１３１０に対して摺動自在に移動できるようになっている。これらの上下のロッド１３２１の前方側端部は、支持板１３２０の背面にボルト等の締結部材で固定されている（図２６Ｃ）。中央のロッド１３２１は、本体パネル１３１０に設けられた貫通孔を通って、本体パネル１３１０の背面側に配置されたエアシリンダ１３２１ｂ（図２６Ｃ、図２６Ｅ）のシリンダ部に接続されている。この中央のロッド１３２１の前方側端部も、支持板１３２０の背面にボルト等の締結部材で固定されている。従って、エアシリンダ１３２１ｂの駆動によって中央のロッド１３２１が前進すると、支持板１３２０も前進する。また、エアシリンダ１３２１ｂの駆動によって中央のロッド１３２１が後退すると、支持板１３２０も後退する。上下のロッド１３２１は、中央のロッド１３２１による支持板１３２０の前進および後退に伴い、前進及び後退し、支持板１３２０の移動を案内する機能を果たす。

補強ロッド１３２２は、本体パネル１３１０の後方側に配置された各エアシリンダ１３２２ｂ（図２６Ｃ）のロッド部である。補強ロッド１３２２は、エアシリンダ１３２２ｂのシリンダ部に接続されている。この例では、図２６Ｅに示すように、支持板１３２０の周縁部に沿って１４のエアシリンダ１３２２ｂが配置されており、補強ロッド１３２２もエアシリンダ１３２２ｂの位置に対応して配置されている。補強ロッド１３２２の前方側端部にはフランジ部材１３２２ａがねじ込み固定されており（図２６Ｃ、図２６Ｅ）、フランジ部材１３２２ａの端面で支持板１３２０の背面を押圧するように構成されている。補強ロッド１３２２は、フランジ部材１３２２ａの端面で支持板１３２０の背面を前面側に向かって押圧する。補強ロッド１３２２は、ロッド１３２１による支持板１３２０の支持を補助する機能を有する。

また、支持板１３２０の４隅の近傍には、固定装置１３２３が取り付けられている（図２６Ａ−図２６Ｄ、図２７Ｇ−図２７Ｉ）。図２７Ｇ−図２７Ｉに示すように、固定装置１３２３は、押え部材１３２３ａと、押え部材１３２３ａが第１端に取り付けられたロッド１３２３ｂと、ロッド１３２３ｂの第２端に接続されたエアシリンダ１３２３ｃとを備えている。押え部材１３２３ａは、フロントプレート３００の背面に当接する押え部１３２３ｄを有する（図２７Ｇ）。ここで、エアシリンダ１３２３ｃは、ロータリークランプ型の装置である。エアシリンダ１３２３ｃは、ロッド１３２３ｂ及び押え部材１３２３ａを突出方向にストロークさせながら回転し（図２７Ｇから図２７Ｈ）、ロッド１３２３ｂ及び押え部材１３２３ａを９０°回転した状態で後退方向にストロークさせて、押え部１３２３ｄでフロントプレート３００を押圧する（図２７Ｉ）。

（基板着脱装置の動作フロー）
図２７Ａ〜Ｙは、基板着脱装置の動作を説明するための図面である。図２７Ａは、基板ホルダを受け入れ前の基板着脱装置の斜視図である。図２７Ｂは、基板ホルダを受け入れ後の基板着脱装置の斜視図である。図２７Ｃは、サポート装置が基板ホルダを支持、固定したときの基板着脱装置の側面図である。図２７Ｄは、支持板が後退した状態におけるサポート装置の斜視図である。図２７Ｅは、支持板が前進した状態におけるサポート装置の斜視図である。図２７Ｆは、支持板が更に補助ロッドで支持された状態におけるサポート装置の斜視図である。図２７Ｇは、駆動前の固定装置の斜視図である。図２７Ｈは、押え部材回転時の固定装置の斜視図である。図２７Ｉは、ロッド後退時の固定装置の斜視図である。図２７Ｊは、旋回装置の支持板で基板ホルダを押し付け、吸着したときの基板着脱装置の側面図である。図２７Ｋは、押込吸着シリンダの断面図である。図２７Ｌは、バックプレートを固定するクランプを解除することを説明する基板着脱装置の一部拡大図である。図２７Ｍは、旋回装置によってバックプレートを取り外したときの基板着脱装置の側面図である。図２７Ｎは、旋回装置を第２姿勢に旋回させたときの基板着脱装置の側面図である。図２７Ｏは、水平位置決装置の構成を説明するための旋回装置の支持板の正面図である。図２７Ｐは、第２姿勢における旋回装置の支持板部の斜視図である。図２７Ｑは、基板取り外し時の基板着脱装置の側面図である。図２７Ｒは、基板取り付け時の基板着脱装置の側面図である。図２７Ｓは、第２姿勢から第１姿勢に戻ったときの基板着脱装置の側面図である。図２７Ｔは、旋回装置がバックプレートをホルダステーションのフロントプレートに押し付けたときの、基板着脱装置の側面図である。図２７Ｕは、作動前の通電確認装置の断面図である。図２７Ｖは、作動後の通電確認装置の断面図である。図２７Ｗは、旋回装置が退避位置に後退したときの、基板着脱装置の側面図である。図２７Ｘは、サポート装置の支持板が後退したときの、基板着脱装置の側面図である。

図２７Ａから図２７Ｂに示すように、基板着脱装置１０００のホルダステーション１１００に、基板ホルダ１が設置される。このとき、基板ホルダ１は、フロントプレート３００がサポート装置１３００側に向き、バックプレート４００が旋回装置１２００側を向くように、ホルダステーション１１００に設置される。また、旋回装置１２００は、ホルダステーション１１００から後退した待機位置にあり、サポート装置１３００の支持板１３２０は、ホルダステーション１１００から後退した退避位置にある。

基板ホルダ１の設置動作の詳細は、以下の通りである。先ず、ホルダステーション１１００の位置決ピン１１２３が上昇する（図２５Ｂ）。その後、図示しないトランスポータが基板ホルダ１をホルダステーション１１００に置く。このとき、基板ホルダ１のアーム部３３０の両端が、ホルダステーション１１００の各アーム受部１１２０の凹部１１２０ａ、１１２０ｂに受け入れられ、アーム部３３０の位置決穴３３２ａに位置決ピン１１２３が係合して、基板ホルダ１がホルダステーション１１００に位置決めされる（図２５Ｃ）。その後、位置決ピン１１２３が下降する（図２５Ａ）。

次に、サポート装置１３００の支持板１３２０による基板ホルダ１の支持及び固定が行われる（図２７Ｃ）。先ず、サポート装置１３００の支持板１３２０が後退した退避位置（図２７Ｄ）から、サポート装置１３００のエアシリンダ１３２１ｂ（図２６Ｅ、図２６Ｆ）を駆動し、支持板１３２０を基板ホルダ１のフロントプレート３００に当接させる（図２７Ｃ、図２７Ｅ）。更に、サポート装置１３００のエアシリンダ１３２２ｂ（図２６Ｅ、図２６Ｆ）を駆動し、補強ロッド１３２２によって支持板１３２０を更に支持する（図２７Ｆ）。また、支持板１３２０の四隅近傍に設けられた固定装置１３２３によって、基板ホルダ１のフロントプレート３００を背面側から支持板１３２０に向かって押圧し、固定装置１３２３によってフロントプレート３００を支持板１３２０に固定する（図２７Ｇ、Ｈ、Ｉ）。

次に、旋回装置１２００を基板ホルダ１の押付位置に移動させ、基板ホルダ１のバックプレート４００の押し付け、吸着を行う（図２７Ｊ）。先ず、旋回装置１２００の直動機構１２６０を駆動させて、旋回装置１２００を待機位置から押付位置まで、ホルダステーション１１００に接近する方向に移動させる。このとき、旋回装置１２００の支持板１２１０ａが、ホルダステーション１１００に支持された基板ホルダ１のバックプレート４００に当接する。この状態で、旋回装置１２００の直動機構１２６０の電磁ブレーキが作動され、旋回装置１２００の位置が固定される。その後、旋回装置１２００のアクチュエータ１２１２を作動し、基板ホルダ１をサポート装置１３００の支持板１３２０に押し付け、基板ホルダ１のシール３６１、３６２を圧縮する。次に、旋回装置１２００の押込吸着シリンダ１２１３のアクチュエータ（図２７Ｋのピストン１２１３ｅ、ロッド１２１３ｂ）を作動し、押込吸着シリンダ１２１３によって基板ホルダ１をサポート装置１３００の支持板１３２０に向かって押し付け、基板ホルダ１のシール３６１、３６２をさらに圧縮する。その後、押込吸着シリンダ１２１３の吸引機構（図２７Ｋの吸引通路１２１３ｈ）を作動させ、押込吸着シリンダ１２１３によってバックプレート４００を吸着する。

押込吸着シリンダ１２１３は、図２７Ｋに示すように、ロッド１２１３ｂと、ロッド１２１３ｂの基端部に連結されたピストン１２１３ｅと、ロッド１２１３ｂの先端部に連結された吸盤１２１３ａとを備えている。ロッド１２１３ｂの先端面には、開口部１２１３ｃが開口しており、開口部１２１３ｃは、ロッド１２１３ｂ内の通路１２１３ｄを介して吸引通路１２１３ｈに接続されている。ロッド１２１３ｂは、ダイヤフラム１２１３ｊを介して支持板１２１０ａに取り付けられている。吸引通路１２１３ｈは、ピストン１２１３ｅの内腔を長手方向に貫通して延びている。

ピストン１２１３ｅは、エアチャンバ１２１３ｉ内に配置されており、エアチャンバ１２１３ｉ内を２室に区画している。エアチャンバ１２１３ｉ内の各室には配管１２１３ｇが接続されており、各配管１２１３ｇを介して各室にエアーを供給及び各室のエアーを排出することにより、ピストン１２１３ｅが長手方向に往復移動可能となっている（図２７Ｋの上側図、下側図）。ダイヤフラム１２１３ｊは、ロッド１２１３ｂを後退方向（支持板１２１０ａの背面側）に付勢し、ピストン１２１３ｅによるロッド１２１３ｂの移動を緩衝する。ピストン１２１３ｅ及びエアチャンバ１２１３ｉは、エアシリンダを構成する。エアシリンダによって、ピストン１２１３ｅ及びロッド１２１３ｂが前進し、吸盤１２１３ａによって基板ホルダ１のバックプレート４００を押圧する（図２７Ｋの下側図の状態）。

また、図２７Ｋの上側図または下側図の状態で、真空エジェクタを使用した真空圧により、バックプレート４００を吸着するようにされる。つまり、吸引通路１２１３ｈを介して吸盤１２１３ａ側のエアーを吸引し、バックプレート４００を吸盤１２１３ａに吸着する。あるいは、吸引通路１２１３ｈから吸盤１２１３ａに向かってエアーが供給し、吸盤１２１３ａとバックプレート４００との間の隙間から漏れ出るエアーによって吸盤１２１３ａ内に負圧が生じさせ、この負圧によってバックプレート４００が非接触で吸盤１２１３ａに対して吸着させるように構成してもよい。

その後、旋回装置１２００のアクチュエータ１２１５によってバックプレート４００のレバー３４２を押圧し、クランプ３４０を開き、バックプレート４００からクランプ３４０を開放した状態にする（図２７Ｌ）。この動作は、図１０Ａ、図１０ＢのアクチュエータＡＲ１による動作に対応する。なお、図２７Ｌでは、旋回装置１２００の支持板１２１０ａがバックプレート４００から離間している状態を示しているが、実際には、旋回装置１２００の支持板１２１０ａがバックプレート４００に当接している状態でアクチュエータ１２１５が作動される。

その後、押込吸着シリンダ１２１３の押圧力が低下されて押込吸着シリンダ１２１３によるシールの押圧が解除され、アクチュエータ１２１２のロッドが後退されてアクチュエータ１２１２によるシールの押圧も解除される。このとき、押込吸着シリンダ１２１３によるバックプレート４００の吸引は継続されており、バックプレート４００は押込吸着シリンダ１２１３に吸着された状態にある。次に、旋回装置１２００の電磁ブレーキを解除し、直動機構１２６０を駆動して、旋回装置１２００を押付位置からクランプ開閉位置に移動させる。このとき、バックプレート４００が旋回装置１２００に吸着された状態で、フロントプレート３００から離間する。クランプ開閉位置は、バックプレート４００がクランプ３４０の開閉動作の範囲（可動範囲）よりもフロントプレート３００から離れた位置である。この状態で、アクチュエータ１２１５のロッド１２１５ａを後退させてレバー３４２への押圧を解除すると、クランプ３４０が閉じる。このとき、バックプレート４００は既にクランプ３４０の開閉動作の範囲から離れているので、クランプ３４０は、バックプレート４００に係合することなく、閉鎖状態となる。

次に、旋回装置１２００を更にクランプ開閉位置から旋回位置に後退させる（図２７Ｍ）。旋回位置は、旋回装置１２００の支持板部１２１０の旋回時（図２３Ａの姿勢と図２３Ｂの姿勢との間の旋回時）に、支持板部１２１０がホルダステーション１１００と干渉しないように、ホルダステーション１１００から十分離れた旋回装置１２００の位置である。

そして、旋回装置１２００の支持板部１２１０を第１姿勢（直立姿勢）から第２姿勢（水平姿勢）に旋回させる（図２７Ｎ）。旋回装置１２００の電動モータ１２４２を駆動させ、支持板部１２１０を直立姿勢から水平姿勢に旋回させる。また、旋回装置１２００をさらに旋回位置から基板受け渡し位置まで移動させる。なお、基板受け渡し位置は、図示しない搬送ロボットから旋回装置１２００が基板を受け取るのに適した位置であり、旋回位置から所定の距離だけ前進した位置とすることができる。また、基板受け渡し位置は、旋回位置と同一位置とすることもできる。この場合、旋回装置１２００を旋回位置（基板受け渡し位置）に停止した状態で基板を受け取る。

次に、押込吸着シリンダ１２１３による吸引を停止し、押込吸着シリンダ１２１３の吸盤１２１３ａを後退させる。また、図２７Ｏに示すように、水平位置決装置１２１６、１２１７のエアシリンダ１２１６ｂ、１２１７ｂを作動させてロッド１２１６ａ、１２１７ａを突出させ、バックプレート４００を支持板１２１０ａの面内で位置決めする。そして、図２７Ｐに示すバキューム装置１２１４を作動させ、バックプレート４００を支持板１２１０ａに吸着させる。また、アクチュエータ１２１１（ＡＲ２）を作動させ、図１４Ｂに示すように、バックプレート４００のクリップ４２１を開き、バックプレート４００から基板Ｓを開放する。

次に、図示しない搬送ロボットによって、バックプレート４００から基板Ｓを取り外す（図２７Ｑ）。アクチュエータ１２１１（ＡＲ２）の作動が継続し、基板Ｓからクリップ４２１が開放された状態で、図示しない搬送ロボットが基板Ｓをバックプレート４００から取り外す。このとき、取り外されるのは、例えば、基板処理（例えば、めっき処理）後の基板Ｓである。

次に、バックプレート４００に別の基板Ｓを取り付ける（図２７Ｒ）。アクチュエータ１２１１（ＡＲ２）の作動が継続し、基板Ｓからクリップ４２１が開放された状態で、図示しない搬送ロボットが、別の基板Ｓをバックプレート４００に載置する。別の基板Ｓは、例えば、基板処理（例えば、めっき処理）前の基板Ｓである。その後、アクチュエータ１２１１の作動を停止し、クリップ４２１を閉鎖位置に戻す。これにより、新たな基板Ｓ
がクリップ４２１によって固定される。また、水平位置決装置１２１６、１２１７のロッド１２１６ａ、ロッド１２１７ａを退避させる。そして、旋回装置１２００を基板受け渡し位置から旋回位置まで移動させる（なお、基板受け渡し位置と旋回位置が同じ場合は、この移動は不要である）。

旋回位置において、旋回装置１２００の支持板部１２１０を第２姿勢（水平姿勢）から第１姿勢（直立姿勢）に旋回させる（図２７Ｓ）。

次に、バックプレート４００をフロントプレート５００にクランプ３４０で固定する（図２７Ｔ）。先ず、旋回装置１２００を旋回位置からクランプ開閉位置まで前進させる。このとき、旋回装置１２００に保持されたバックプレート４００は、フロントプレート３００のクランプ３４０の可動範囲外に存在する。この位置で、アクチュエータ１２１５を作動させ、フロントプレート３００のレバー３４２を押圧し、クランプ３４０を開く。その後、旋回装置１２００をクランプ開閉位置から押付位置（クランプ３４０の可動範囲にある）まで前進させる。このとき、旋回装置１２００に保持されたバックプレート４００は、クランプ３４０に干渉することなく、フロントプレート３００に当接し、押し付けられる。そして、旋回装置１２００のバキューム装置１２１４の作動が停止される。このとき、バックプレート４００は、旋回装置１２００によってフロントプレート３００に押し付けられ、フロントプレート３００の位置決めピン３９０が、バックプレート４００のブロック４９０に嵌合して保持されるため、バキューム装置１２１４の作動が停止されてもバックプレート４００が落下することはない。次に、旋回装置１２００の電磁ブレーキが作動される。次に、旋回装置１２００のアクチュエータ１２１２を作動し、バックプレート４００をフロントプレート３００に対して押圧し、基板ホルダ１のシール３６１、３６２を圧縮する。また、押込吸着シリンダ１２１３のエアシリンダを作動させ、吸盤１２１３ａでバックプレート４００をフロントプレート３００に対して押圧し、基板ホルダ１のシール３６１、３６２をさらに圧縮する。この状態で、アクチュエータ１２１５のロッドを退避させ、クランプ３４０を閉じ、クランプ３４０でバックプレート４００をフロントプレート３００に対して固定する。その後、アクチュエータ１２１２によるバックプレート４００の押圧を解除し、また、押込吸着シリンダ１２１３の吸盤１２１３ａをバックプレート４００から退避させ、押込吸着シリンダ１２１３によるバックプレート４００の押圧を解除する。

（通電確認処理）
また、基板ホルダ１の通電確認が実施される（図２７Ｕ、図２７Ｖ）。ホルダステーション１１００のアーム受部１１２０の内部には、図２７Ｕ、図２７Ｖに示す通電確認装置１１２１が設けられている。通電確認装置１１２１は、コネクタ側接点対１１２１ａと、コネクタ側接点対１１２１ａの下方に配置されたシリンダ側接点対１１２１ｂと、シリンダ側接点対１１２１ｂが固定される通電シリンダ１１２１ｃとを備えている。通電シリンダ１１２１ｃは、図示しない駆動手段によって上下方向に移動可能である。

図２８は、コネクタの接点と、通電確認装置の接点との対応関係を示す説明図である。
図２８において、第１側及び第２側は、それぞれ、図２７Ｕ、Ｖにおける左右に対応する。第１対から第３対のコネクタ側接点対１１２１ａ及びシリンダ側接点対１１２１ｂが設けられている。図２７Ｕ、Ｖでは、第１対のコネクタ側接点対１１２１ａ及びシリンダ側接点対１１２１ｂが示されている。第２対のコネクタ側接点対１１２１ａ及びシリンダ側接点対１１２１ｂ、並びに、第３対のコネクタ側接点対１１２１ａ及びシリンダ側接点対１１２１ｂは、図２７Ｕ、Ｖの紙面の奥に、この順番で配置されている。

図２８に示すように、第１対のシリンダ側接点対１１２１ｂは、第１対のコネクタ側接点対１１２１ａに対応し、第１対のコネクタ側接点対１１２１ａは、基板ホルダ１のコネ
クタ３３１の第１対の外部接続接点対３３１ａに対応している。基板ホルダ１のコネクタ３３１の第１対の外部接続接点対３３１ａのうち、第１側の外部接続接点３３１ａ１は、図１７に示すケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１（コンタクト領域Ｃ１７、Ｃ１８、Ｃ１）に電気的に接続されている。第２側の外部接続接点３３１ａ２は、ケーブルＬ８、Ｌ９、Ｌ１０（コンタクト領域Ｃ８、Ｃ９、Ｃ１０）に電気的に接続されている。
同様に、図２８において、第２対のシリンダ側接点対１１２１ｂは、第２対のコネクタ側接点対１１２１ａに対応し、第２対のコネクタ側接点対１１２１ａは、基板ホルダ１のコネクタ３３１の第２対の外部接続接点対３３１ａに対応している。基板ホルダ１のコネクタ３３１の第２対の外部接続接点対３３１ａのうち、第１側の外部接続接点３３１ａ１は、ケーブルＬ２、Ｌ３、Ｌ４（コンタクト領域Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４）に電気的に接続されている。第２側の外部接続接点３３１ａ２は、ケーブルＬ１１、Ｌ１２、Ｌ１３（コンタクト領域Ｃ１１、Ｃ１２、Ｃ１３）に電気的に接続されている。
同様に、図２８において、第３対のシリンダ側接点対１１２１ｂは、第３対のコネクタ側接点対１１２１ａに対応し、第３対のコネクタ側接点対１１２１ａは、基板ホルダ１のコネクタ３３１の第３対の外部接続接点対３３１ａに対応している。基板ホルダ１のコネクタ３３１の第３対の外部接続接点対３３１ａのうち、第１側の外部接続接点３３１ａ１は、ケーブルＬ５、Ｌ６、Ｌ７（コンタクト領域Ｃ５、Ｃ６、Ｃ７）に電気的に接続されている。第２側の外部接続接点３３１ａ２は、ケーブルＬ１４、Ｌ１５、Ｌ１６（コンタクト領域Ｃ１４、Ｃ１５、Ｃ１６）に電気的に接続されている。

ここでは、コネクタ側接点対１１２１ａ及びシリンダ側接点対１１２１ｂを上下に配置し、通電シリンダ１１２１ｃを上下移動させるが、コネクタ側接点対１１２１ａ及びシリンダ側接点対１１２１ｂを水平方向に並べて、通電シリンダ１１２１ｃを水平移動させてもよい。

通電確認装置１１２１は、非作動時には、図２７Ｕに示すように、通電シリンダ１１２１ｃが下方に位置し、シリンダ側接点対１１２１ｂがコンタクト側接点対１１２１ａから離間している。基板ホルダ１のアーム部３３０のコネクタ３３１が、ホルダステーション１１００のアーム受部１１２０に載置されたとき、図２７Ｕに示すように、コネクタ３３１の第１〜第３対の外部接続接点対３３１ａ（３３１ａ１、３３１ａ２）が、それぞれ、第１〜第３のコンタクト側接点対１１２１ａ（１１２１ａ１、１１２１ａ２）に接触する（図２８の矢印Ａ１）。

この状態で、通電確認装置１１２１を作動させる。先ず、図２７Ｖに示すように、通電シリンダ１１２１ｃを上昇させ、シリンダ側接点対１１２１ｂの各接点１１２１ｂ１、１１２１ｂ２をコンタクト側接点対１１２１ａの各接点１１２１ａ１、１１２１ａ２に接触させる（図２８の矢印Ａ２）。そして、シリンダ側接点対１１２１ｂの第１及び第２側の接点１１２１ｂ１、１１２１ｂ２間に所定の検査電圧Ｖ０を加えると、第１対において、シリンダ側接点対１１２１ｂの第１側の接点１１２１ｂ１から、コンタクト側接点対１１２１ａの第１側の接点１１２１ａ１、コネクタ３３１の外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１、ケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１、コンタクト領域Ｃ１７、Ｃ１８、Ｃ１のコンタクト３７０、基板Ｓ、コンタクト領域Ｃ８、Ｃ９、Ｃ１０のコンタクト３７０、ケーブルＬ８、Ｌ９、Ｌ１０、コネクタ３３１の外部接続接点対３３１ａの第２側の外部接続接点３３１ａ２、コネクタ側接点対１１２１ａの第２側の接点１１２１ａ２、シリンダ側接点対１１２１ｂの第２側の接点１１２１ｂ２に戻る電流ループが形成される。第２及び第３対においても同様の電流ループが形成される。

そして、各対において、第１側と第２側との間の電流ループに流れる電流を測定し、各対における外部接続接点３３１ａの第１側及び第２側の接点３３１ａ１、３３１ａ２間の抵抗値が算出される。このとき、第１〜第３対における外部接続接点３３１ａの第１側及
び第２側の接点３３１ａ１、３３１ａ２間の抵抗値が、所定値以下かつ所定の範囲内であれば、基板ホルダ１の電気系統、及び、基板Ｓの電気的特性が正常であると判断できる。第１〜第３対における外部接続接点３３１ａの第１側及び第２側の接点３３１ａ１、３３１ａ２間の抵抗値が上記条件を満たさない場合には、基板ホルダ１のコネクタ３３１、ケーブルＬ、コンタクト３７０の間の何処かに電気的な欠陥が存在するか、基板Ｓ表面の電気的特性に欠陥があるか、あるいは、基板ホルダ１への基板Ｓの取り付けに問題があると判断できる。通電確認動作に問題がなければ、通電シリンダ１１２１ｃを下降させる。なお、通電確認動作に問題がある場合は、基板ホルダ１から基板を取り外し別の基板に交換するか、基板ホルダ１自体をその後の処理から取り除く。

その後、旋回装置１２００の電磁ブレーキを解除し、旋回装置１２００を押付位置から旋回位置に後退させる（図２７Ｗ）。

また、サポート装置１３００の支持板１３２０をホルダステーション１１００から退避させる（図２７Ｘ）。先ず、サポート装置１３００の固定装置１３２３による基板ホルダ１（フロントプレート３００）の固定を図２７Ｇ〜図２７Ｉの手順と逆の手順で解除する。次に、サポート装置１３００の補強ロッド１３２２を支持板１３２０から退避させる。そして、ロッド１３２１を後退させることにより、支持板１３２０が本体パネル１３１０側に後退される。

次に、ホルダステーション１１００の位置決ピン１１２３を上昇させ、位置決ピン１１２３を基板ホルダ１のアーム部３３０の位置決穴３３２ａに係合させる。その後、図示しないトランスポートが基板ホルダ１を取り出す。

なお、空の基板ホルダ１に基板を取り付ける場合には、図２７Ｑの基板の取り外し処理は省略される。また、基板処理終了時に、基板ホルダ１を空の状態でストッカに戻す場合には、図２７Ｒの基板の取り付け処理は省略される。

（実施形態の作用効果）
本実施形態に係る基板ホルダ１によれば、フロントプレート本体３１０の面に平行な軸の周りを回転可能な又はフロントプレート本体３１０の面に交差する方向に往復移動可能なクランプ３４０によって、基板を挟持するフロントプレート３００とバックプレート４００とを互いに固定するため、基板に回転方向の力が加わることを抑制ないし防止できる。基板が大型で薄い場合は、基板に回転方向の力が加わると基板に撓みを生じるおそれがあるが、この基板ホルダ１によれば、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。

また、クランプ３４０がノーマルクローズ型であるため、バックプレート本体４１０をフロントプレート本体３１０に当接する際にクランプを開けば、クランプした状態ではアクチュエータ等によって外部から力を加える必要がなく、エネルギー消費を抑制できる。

また、バックプレート４００を複数の箇所でクランプ３４０によって挟持することが可能であり、また、連結部材（回転軸３４１）によって各クランプ３４０の動作が同期されるので、クランプ動作を効率よく行うことができる。また、外部から力を加えるアクチュエータＡＲ１の構成を簡易にすることができる。レバー３４２が外部の第１アクチュエータＡＲ１から力を受けて回転軸３４１を介して各クランプ３４０を動作させることができるので、クランプ３４０による固定を自動化することが容易である。

また、バックプレート４００に、クランプ３４０の係合部３４０ａを受け入れる形状の係合受部４３０を設けることによって、クランプによる係合を向上し得る。別体の係合受
部４３０をバックプレート本体４１０に取り付ける構成とすることで、係合受部４３０の寸法、形状、個数等を適宜選択することが容易になる。

また、バックプレート本体４１０の面に平行な軸４２４の周りを回転可能な又はバックプレート本体４１０の面に交差する方向に往復移動可能なクリップ４２１によって、基板をバックプレート４００に固定するため、基板に回転方向の力が加わることを抑制ないし防止できる。基板が大型で薄い場合は、基板に回転方向の力が加わると基板に撓みを生じるおそれがあるが、この基板ホルダによれば、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。さらに、クリップ４２１が基板の面に垂直な方向に移動する為、薄い基板のそり及び基板の厚みの違いにも対応可能である。

クリップ４２１がノーマルクローズ型であるため、基板をバックプレート本体４１０に当接する際にクリップ４２１を開けば、クリップした状態ではアクチュエータ等によって外部から力を加える必要がなく、エネルギー消費を抑制できる。

基板と当接する側の面とは反対の面から力を受けるボタン４７０を設けるため、アクチュエータＡＲ２を基板当接面とは反対側に配置することができ、基板固定後のバックプレート４００の移動、姿勢の変更等が容易である。

ボタン４７０が外部の第２アクチュエータＡＲ２から力を受けてクリップ４２１を動作させることができるので、クリップ４２１による固定を自動化することが容易である。

インナーシール３６１及びアウターシール３６２を保持するシールホルダ３６３、３６４を別々に設けるので、各シールの交換を別々に行うことができる。

また、本実施形態の基板ホルダでは、ケーブルＬの一端部において被覆６０２を除去し、ケーブルＬの心線６０１を導電板３７１（又はコンタクト３７０）とともに挟持することにより、簡易な構成で、ケーブルＬと導電板３７１（又はコンタクト３７０）との間の電気的な接続を確立することができる。つまり、ケーブル端部にコネクタ等を設けることなく、ケーブルＬと導電板３７１（又はコンタクト３７０）との間の接続を行うことができる。基板Ｓの複数の箇所にコンタクト３７０を接触させて給電する場合、基板ホルダ内で複数のケーブルＬを引き回して電気的接続を行う必要があるが、この基板ホルダによれば、簡易な構成で、ケーブルＬと導電板３７１（又はコンタクト３７０）との間の電気的な接続を確立することができ、基板ホルダの大型化を抑制できる。また、大型の基板に給電する場合や、基板への供給電流値が大きい場合には、ケーブルの数が増加し、ケーブル径も大きくなる。例えば、このような場合に、この基板ホルダによる簡易なケーブルの接続は有効である。

また、本実施形態の基板ホルダでは、ボルト、ネジ等の締結部材５１１によって簡易な構成、簡易な作業で、ケーブルＬと導電板３７１（又はコンタクト３７０）との間の電気的接続を確立できる。

また、本実施形態の基板ホルダでは、シールホルダ３６３を用いてケーブルＬと導電板３７１とを挟持することができるので、既存の構成を利用することができ、基板ホルダの大型化、コスト増を抑制し得る。

また、本実施形態の基板ホルダでは、シール３６１、３６２のシールホルダ３６３、３６４が別々であるため、シールを別々に交換することが容易である。また、シールホルダ３６３、３６４を別々に交換することも容易である。

また、本実施形態の基板ホルダでは、ケーブルＬが基板ホルダの厚み方向に重ならないようにすることによって、基板ホルダの厚みの増加を抑制することが可能である。特に、大型の基板や、電流量が大きい場合には、ケーブルの数、ケーブルの径が大きくなる可能性があるが、この構成によれば、基板ホルダの厚み方向での増大を抑制することができる。

また、本実施形態の基板ホルダでは、先端の被覆６０２が除去された各ケーブルＬを順次、各導電板３７１（又はコンタクト３７０）の位置に引き込み、接続するので、接続位置までのケーブル間の絶縁を確保するとともに、簡易な構成でケーブルを導電部材に接続することができる。

本実施形態の基板ホルダをめっき装置に適用する場合、基板ホルダの大型化を抑制できるので、めっき装置の大型化も抑制できる。

本実施形態に係る基板ホルダの製造方法では、ケーブルＬの一端部において被覆６０２を除去し、ケーブルＬの心線６０１を導電板３７１（又はコンタクト３７０）とともに挟持することにより、簡易な構成で、ケーブルＬと導電板３７１（又はコンタクト３７０）との間の電気的な接続を確立することができる。つまり、ケーブル端部にコネクタ等を設けることなく、ケーブルＬと導電板３７１（又はコンタクト３７０）との間の接続を行うことができる。基板Ｓの複数の箇所にコンタクト３７０を接触させて給電する場合、基板ホルダ内で複数のケーブルＬを引き回して電気的接続を行う必要があるが、この基板ホルダによれば、簡易な構成で、ケーブルＬと導電板３７１（又はコンタクト３７０）との間の電気的な接続を確立することができ、基板ホルダの大型化を抑制できる。また、大型の基板に給電する場合や、基板への供給電流値が大きい場合には、ケーブルの数が増加し、ケーブル径も大きくなる。例えば、このような場合に、この基板ホルダによる簡易なケーブルの接続は有効である。

本実施形態に係るめっき方法は、基板ホルダ１に保持された基板にめっき処理をするめっき方法であって、 基板ホルダ１に基板を保持させるステップであって、基板ホルダ１は、被覆が除去された一端部を有する少なくとも１つのケーブルＬと、基板に電気的に接触可能に構成された少なくとも１つのコンタクト３７０と、コンタクト３７０又はコンタクト３７０と電気的に導通される第２導電部材とともに、ケーブルＬの一端部を挟持するように構成されている挟持部材５１１と、を有する、ステップと、 基板ホルダ１に保持された基板に、ケーブルＬを介して給電しつつめっき処理を行うステップと、を含む。

このめっき方法では、大型の基板に給電する場合や、基板への供給電流値が大きい場合であっても、基板ホルダにおけるケーブルとコンタクトとの間の電気的な接続が簡易な構成であるため、大型化を抑制ないし防止した基板ホルダを用いてめっき処理を行うことができる。

本実施形態に係るめっき方法において、 基板ホルダ１は、第１所定数のケーブルＬと、複数の外部接続接点対３３１ａとを備え、各外部接続接点対３３１ａは、第１側の接点３３１ａ１と第２側の接点３３１ａ２とを有し、第１側及び第２側の接点３３１ａ１、３３１ａ２には、第１所定数より小さくかつ２以上である第２所定数のケーブルＬが電気的に接続されており、 各外部接続接点対３３１ａの第１側の接点３３１ａ１と第２側の接点３３１ａ２との間に抵抗測定器１１２１を接触させて、各外部接続接点対３３１ａの電気抵抗を測定するステップを更に含む。
この場合、めっき処理前に各外部接続接点対３３１ａの第１及び第２側の接点３３１ａ１、３３１ａ２間の電気抵抗を測定し、複数の外部接続接点対３３１ａの電気抵抗にばらつきがないかを確認する通電確認処理を実施する。従って、複数の外部接続接点対３３１
ａの電気抵抗の間のばらつきに起因してめっき膜厚の均一性に問題がないか否かを事前に確認してから、めっき処理を行うことができる。この結果、めっき処理の信頼性を向上することができる。

［１］ 本実施形態の基板着脱装置１０００は、基板ホルダ１のフロント及びバックプレート３００、４００で基板を挟持して保持する基板着脱装置であって、 フロントプレート３００を第１姿勢で支持するホルダステーション１１００と、旋回装置１２００とを備えている。旋回装置１２００は、ホルダステーション１１００に対して接近および離間するように直進移動可能であり、バックプレート４００を、第１姿勢と、第１姿勢とは略直交する第２姿勢とで保持可能であり、バックプレート４００を第１姿勢でフロントプレート３００に対して押し付け、フロントプレート３００とバックプレート４００とを互いに固定させる。

本実施形態の基板着脱装置１０００によれば、基板ホルダ１のバックプレート４００が第２姿勢で基板を受け取った後に、フロント及びバックプレート３００、４００を第１姿勢で互いに固定することができる。例えば、水平姿勢で基板を受け取った後、直立姿勢でフロント及びバックプレート３００、４００を互いに固定すれば、基板を装着した基板ホルダ１を直立姿勢で搬送することができる。これにより、基板の被処理面を上向きにしたまま搬送する場合に問題となる基板表面への傷の発生や基板の破損を抑制することができる。
また、旋回装置１２００がホルダステーション１１００に対して接近、離間するように直進移動可能であるため、旋回装置１２００が、ホルダステーション１１００から十分離れた位置でバックプレート４００を旋回して姿勢を変えることが可能であり、装置の大型化を防止することが可能であり、フロント及びバックプレート３００、４００間の位置合わせも容易である。

［２］ 本実施形態の基板着脱装置では、第１姿勢は、例えば、基板着脱装置１０００の設置面に対して略垂直な姿勢とすることができる。
この場合、第２姿勢が設置面に対して略水平な姿勢であり、基板ホルダ１のバックプレート４００を略水平にした状態で基板を受け入れ、略垂直な姿勢でフロント及びバックプレート３００、４００を互いに固定することができるので、上述したように基板ホルダ１への基板の装着に適している。

［３］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、旋回装置１２００の反対側でフロントプレート３００を支持するための第１支持板１３２０と、 フロントプレート３００を第１支持板１３２０に保持するための固定機構１３２３と、を有するサポート装置１３００を備えている。
この場合、旋回装置１２００とは反対側においてサポート装置１３００で基板ホルダ１を支持及び固定した状態で、旋回装置１２００がバックプレート４００の着脱を行うので、バックプレート４００をフロントプレート３００に押し付けた際に、サポート装置１３００がフロントプレート３００を支持し、フロントプレート３００の位置がずれることを防止することができる。

［４］ 本実施形態に係る基板着脱装置１０００によれば、サポート装置１３００は、第１支持板１３２０のうちフロントプレート３００が支持される側と反対側の面に連結された複数のロッド１３２１を有し、複数のロッド１３２１の移動によって第１支持板１３２０が移動可能である。
複数のロッド１３２１により第１支持板１３２０を正確な姿勢で移動でき、また、第１保持部材３００を良好に支持することができる。

［５］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、固定機構１３２３は、フロントプレート３００の面に重なる位置と、フロントプレート３００の面に重ならない位置との間で回転可能な押圧部材１３２３ａを有する。
固定装置１３２３をフロントプレート３００の面に重ならない位置にした状態で、第１支持板１３２０をフロントプレート３００に当接させ、その後、固定装置１３２３をフロントプレート３００の面に重なる位置にして、固定装置１３２３でフロントプレート３００を第１支持板１３２０に固定すれば、フロントプレート３００との干渉を避けつつ、固定動作を行うことができる。

［６］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、ホルダステーション１１００は、フロントプレート３００のアーム部３３０を支持するアーム受部１１２０を更に有し、フロントプレート３００は、アーム受部１１２０で懸架される。
ホルダステーション１１００が、フロントプレート３００のアーム部３３０で懸架する構成であるため、ホルダステーション１１００を簡易な構成とすることができる。

［７］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、ホルダステーション１１００のアーム受部１１２０は、フロントプレート３００のアーム部３３０に設けられた位置決穴３３２ａに係合するための位置と、位置決穴３３２ａに係合しない位置との間で移動可能な位置決ピン１１２３を有する。
位置決ピン１１２３によれば、基板ホルダ１をホルダステーションに対して正確に位置決めすることが可能である。

［８］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、アーム受部１１２０は、フロントプレート３００のコネクタ３３１を介した基板の電気的な導通を検査するための通電確認装置１１２１を有し、前記通電確認装置１１２１は、前記コネクタ３３１の複数の外部接続接点対３３１ａにおける接点間の抵抗値を測定する。
この場合、通電確認装置１１２１によって、処理前の基板の電気的特性や、基板ホルダの電気的特性に異常がないかを確認することができるので、異常のある基板や基板ホルダを使用して基板処理を行うことを防止することができる。また、複数のケーブルＬをコネクタ３３１の共通の外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２に接続する場合に、コネクタ３３１の各外部接続接点対３３１ａの外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２間の抵抗値を測定することにより、各各外部接続接点対３３１ａの抵抗値の間でばらつきがないか否かを確認し、通電確認処理を行うことができる。この結果、めっき処理の信頼性を向上することができる。

［９］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、第１支持板１３２０は、矩形状であり、多角形形状の第１保持部材３００を支持するように構成されている。
多角形形状の第１保持部材３００によって、矩形等の大型基板の保持を適切に行うことができる。

［１０］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、旋回装置１２００は、ホルダステーション１１００に支持されたフロントプレート３００に設けられたクランプ３４０を作動させてフロントプレート３００にバックプレート４００を保持させるための第１アクチュエータ１２１５を有する。
旋回装置１２００のアクチュエータ１２１５によって、フロントプレート３００のクランプ３４０を作動させることができ、フロントプレート３００のクランプ３４０によってバックプレート４００の固定を容易に行うことができる。また、フロントプレート３００にクランプ３４０を設けるため、ホルダステーション１１００から分離及び移動されるバックプレート３００の構成を簡易にすることができる。

［１１］本実施形態の基板着脱装置１０００では、第１アクチュエータ１２１５は、第１支持板１３２０に垂直な方向に移動する第１棒状部材１２１５ａを有し、該第１棒状部材１２１５ａによってクランプ３４０に連結されたレバー３４２を押圧し、フロントプレート３００のクランプ３４０を第１支持板１３２０に平行な軸の周りに回転させる。
この場合、クランプ３４０は、第１支持板１３２０に平行な（つまり、基板に平行な）軸の周りに回転するので、基板に基板面方向の力が加わることを抑制し、基板の撓み、歪み等を抑制できる。よって、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。

［１２］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、第１棒状部材１２１５ａは、エアシリンダで駆動されるピストンである。
よって、エアシリンダにより第１棒状部材１２１５ａを適切な力でレバー３４２に押し付けることができる。

［１３］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、旋回装置１２００は、バックプレート４００を支持するための第２支持板１２１０ａと、第２支持板１２１０ａに設けられた第２アクチュエータ１２１１とを有し、第２アクチュエータ１２１１は、バックプレート４００に設けられたクリップ４２１を作動させて、クリップ４２１に基板を保持させる。
この場合、バックプレート４００が基板を受け取った際に、基板をクリップ４２１で第２支持板１２１０ａに固定することができるので、その後、バックプレート４００の姿勢が変更された場合でも、基板を確実に保持することができる。

［１４］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、第２アクチュエータ１２００は、第２支持板１２１０ａに垂直な方向に移動する第２棒状部材１２１１を有し、該第２棒状部材によってバックプレート４００のクリップ４２１を第２支持板１２１０ａに平行な軸の周りに回転させる。
この場合、クリップ４２１は、第２支持板１２１０ａに平行な（つまり、基板に平行な）軸の周りに回転するので、基板に基板面方向の力が加わることを抑制し、基板の撓み、歪み等を抑制できる。よって、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる

［１５］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、第２棒状部材１２１１は、エアシリンダで駆動されるピストンである。
この場合、エアシリンダにより第２棒状部材１２１１からクリップ４２１に適切な力を加えることができる。

［１６］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、旋回装置１２００は、バックプレート４００を第２支持板１２１０ａに保持するための押込吸着シリンダ１２１３、バキューム装置１２１４と、第２支持板１２１０ａを旋回させるための旋回機構１２４０と、第２支持板１２１０ａを第１ホルダ保持部材１１００に対して接近および離間させる直動機構１２６０と、を有する。
この場合、旋回機構１２４０及び直動機構１２６０によって、第２支持板１２１０ａを旋回及び直進させることができ、また、押込吸着シリンダ１２１３、バキューム装置１２１４によって旋回及び直進移動中のバックプレート４００を良好に保持することができる。

［１７］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、押込吸着シリンダ１２１３は、バックプレート４００に押し付けられる吸盤１２１３ａと、吸盤１２１３ａに開口しバックプレート４００側に気体を供給するための開口部１２１３ｃとを有する。
この押込吸着シリンダ１２１３によれば、バックプレート４００の押圧及び吸着の両方を行うことができる。

［１８］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、旋回機構１２４０は、第２支持板１２１０ａを回転させるための第１電動モータ１２４２を有する。
第１電動モータ１２４２によって第２支持板１２１０ａを正確に回転させることができる。

［１９］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、直動機構１２６０は、第２電動モータ１２６１と、第２電動モータ１２６１の動力を直線方向に変換する回転直動変換機構（ボールねじ１２６４，ナット１２６５）とを有し、第２電動モータ１２６１は電磁ブレーキ１２６３を有する。
この場合、第２電動モータ１２６１によって旋回装置１２００を所望の位置まで正確に移動でき、また、電磁ブレーキ１２６３によって旋回装置１２００の位置を固定することができる。

［２０］ 本実施形態の基板着脱装置１０００では、旋回装置１２００は、バックプレート４００の側面に当接して、第２支持板１２１０ａの面内でのバックプレート４００の位置決めをするための水平位置決装置１２１６、１２１７を更に有する。
水平位置決装置１２１６、１２１７によって、バックプレート４００を第２支持板１２１０ａの面内で正確に位置決めすることができる。これにより、搬送ロボットによるバックプレート４００への基板の装着を正確に行うことができる。

［２１］ 本実施形態の基板着脱装置では、第２支持板１２１０ａは、矩形状であり、多角形形状のバックプレート４００を支持するように構成されている。
多角形形状のバックプレート４００によって、矩形の大型基板の保持を適切に行うことができる。

［２２］ 本実施形態のめっき装置は、基板ホルダ１のフロント及びバックプレート３００，４００で基板を挟持して保持する基板着脱装置１０００と、基板着脱装置１０００において基板を保持した基板ホルダ１を受け入れて、基板にめっき処理を施すめっき処理部１２０Ｂと、を備える。基板着脱装置１０００は、フロントプレート３００を第１姿勢で支持するホルダステーション１１００と、ホルダステーション１１００に対して接近および離間するように直進移動可能であり、バックプレート４００を、第１姿勢と、第１姿勢とは略直交する第２姿勢とで保持可能であり、バックプレート４００を第１姿勢でフロントプレート３００に対して押し付け、フロントプレート３００とバックプレート４００とを互いに固定させる旋回装置１２００と、を備える。
このめっき装置によれば、基板着脱装置１０００の作用効果として上述したものと同様の作用効果を奏する。また、基板が適切に保持された基板ホルダ１を用いてめっき処理を行えるので、めっき処理の信頼性を向上し得る。特に、薄型かつ大型の基板を基板ホルダ１で適切に保持し、めっき処理を良好に行うことができる。

［２３］ 本実施形態のコントローラ（制御装置）１７５は、基板ホルダ１のフロント及びバックプレート３００、４００で基板を挟持して保持する基板着脱装置１０００を制御する。コントローラ１７５は、ホルダステーション１１００によってフロントプレート３００を第１姿勢で支持すること、 旋回装置１２００によって、バックプレート４００を、第１姿勢とは略直交する第２姿勢で支持した状態で、バックプレート４００に基板を固定させ、バックプレート４００を第１姿勢に旋回させること、 旋回装置１２００をホルダステーション１１００に向かって直進させること、 旋回装置１２００によって、バックプレート４００をフロントプレート３００に対して押し付け、フロントプレート３０
０とバックプレート４００とを互いに固定させることを含む処理を実行する。
この制御装置によれば、基板着脱装置１０００の作用効果として上述したものと同様の作用効果を奏する。

［２４］ 本実施形態に係る記録媒体は、 基板ホルダ１のフロント及びバックプレート３００、４００で基板を挟持して保持する基板着脱装置１０００の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納している。プログラムは、ホルダステーション１１００によってフロントプレート３００を第１姿勢で支持すること、 旋回装置１２００によって、バックプレート４００を、第１姿勢とは略直交する第２姿勢で支持した状態で、バックプレート４００に基板を固定させ、バックプレート４００を第１姿勢に旋回させること、 旋回装置１２００をホルダステーション１１００に向かって直進させること、 旋回装置１２００によって、バックプレート４００をフロントプレート３００に対して押し付け、フロントプレート３００とバックプレート４００とを互いに固定させること、をコンピュータに実行させる。
この記録媒体によれば、基板着脱装置１０００の作用効果として上述したものと同様の作用効果を奏する。

以上、いくつかの例に基づいて本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。例えば、大型基板の形状は矩形に限定されず、正方形であってもよく、それ以外の多角形形状、例えば、五角形や六角形であってもよい。また、円形形状の基板を基板ホルダに脱着する基板脱着装置にも本発明が適用できることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

１…基板ホルダ
２５…カセットテーブル
２５ａ…カセット
２７…基板搬送装置
２８…走行機構
２９…基板脱着機構
３０…ストッカ
３２…プリウェット槽
３３…プリソーク槽
３４…プリリンス槽
３５…ブロー槽
３６…リンス槽
３７…基板ホルダ搬送装置
３８…オーバーフロー槽
３９…めっき槽
５０…洗浄装置
５０ａ…洗浄部
１００…めっき装置
１１０…アンロード部
１２０…処理部
１２０Ａ…前処理・後処理部
１２０Ｂ…処理部
１７５…コントローラ
１７５Ａ…ＣＰＵ
１７５Ｂ…メモリ
１７５Ｃ…制御部
３００…フロントプレート
３０１…前面
３０２…背面
３０３…開口部
３１０…フロントプレート本体
３１１…配線バッファ部
３１１ａ…配線穴
３１２…フェース部
３１３…肉厚部
３２０…取付部
３３０…アーム部
３３１…コネクタ
３３１ａ…外部接続接点対
３３１ａ１…第１側の外部接続接点
３３１ａ２…第２側の外部接続接点
３３２…位置決片
３３２ａ…位置決穴
３４０…クランプ
３４０ａ…係合部
３４２…レバー
３５０…固定部材
３６１…インナーシール
３６２…アウターシール
３６３…シールホルダ
３６３ａ…配線溝
３６４…シールホルダ
３６５…ケーブル通路
３７０…コンタクト
３７１…導電板
３９０…位置合わせピン
４００…バックプレート
４０１…前面
４０２…背面
４１０…バックプレート本体
４２０…クリップ部
４２１…クリップ
４２１ａ…爪部
４２１ｂ…長穴
４２１ｃ…丸穴
４２２…巻ばね
４２２ａ…脚部
４２２ｂ…脚部
４２２ｃ…巻回部
４２３…固定部
４２３ｂ…規制面
４２３ｂ…案内面
４２４…固定軸
４３０…係合受部
４３０ａ…突出部
４７０…ボタン
４７１…力受部
４７２…弾性部分
４７３…取付部
４７４…押え部材
４７５…締結部材
４９０…位置合わせ片
６０１…導電線
６０２…被覆
１０００…基板着脱装置
１１００…ホルダステーション
１１１１…脚部
１１１２…支柱
１１１３…下部横断板
１１１４…上部横断板
１１１５…フランジ
１１１６…張出部
１１１７…第１取付部材
１１１８…第２取付部材
１１２０…アーム受部
１１２０ａ…凹部
１１２０ｂ…凹部
１１２１…通電確認装置
１１２１ａ…コネクタ側接点対
１１２１ａ１…第１側のコネクタ側接点
１１２１ａ２…第２側のコネクタ側接点
１１２１ｂ…シリンダ側接点対
１１２１ｂ１…第１側のシリンダ側接点
１１２１ｂ２…第２側のシリンダ側接点
１１２１ｃ…通電シリンダ
１１２２…ピン穴
１１２３…位置決ピン
１２００…旋回装置
１２１０…支持板部
１２１０ａ…支持板
１２１１…アクチュエータ
１２１２…アクチュエータ
１２１３…アクチュエータ（押込吸着シリンダ）
１２１３ａ…吸盤
１２１３ｂ…ロッド
１２１３ｃ…開口部
１２１３ｄ…通路
１２１３ｅ…ピストン
１２１３ｇ…各配管
１２１３ｇ…配管
１２１３ｈ…吸引通路
１２１３ｉ…エアチャンバ
１２１３ｊ…ダイヤフラム
１２１４…バキューム装置
１２１５…アクチュエータ
１２１６…水平位置決装置
１２１６ａ…ロッド
１２１６ｂ…エアシリンダ
１２１７…水平位置決装置
１２１７ａ…ロッド
１２１７ｂ…エアシリンダ
１２３１…フランジ
１２３２…本体
１２４０…旋回機構
１２４１…フレーム
１２４１ａ…側壁
１２４１ｂ…側壁
１２４４ａ…軸受
１２４４ｂ…軸受
１２４２…電動モータ
１２４３…支持板旋回軸
１２４５ａ…連結機構
１２５０…案内部材
１２５１…連結板
１２５２…案内部
１２６０…直動機構
１２６１…電動モータ
１２６２…連結機構
１２６３…電磁ブレーキ
１２６４…ボールねじ
１２６５…ナット
１２６６…ベース
１３００…サポート装置
１３０１…ベース
１３０２…支柱
１３０３…上部横断梁
１３１０…本体パネル
１３２０…支持板
１３２１…ロッド
１３２１ｂ…エアシリンダ
１３２２…ロッド
１３２２ａ…フランジ部材
１３２２ｂ…エアシリンダ
１３２３…固定装置
１３２３ａ…押え部材
１３２３ｂ…ロッド
１３２３ｃ…エアシリンダ
１３２３ｄ…押え部
１４００…ベース
１５００…レール
１５１０…レール部

Claims (24)

1. 基板ホルダの第１及び第２保持部材で基板を挟持して保持する基板着脱装置であって、
   前記第１保持部材を第１姿勢で支持する第１ホルダ保持装置と、
   第１ホルダ保持装置に対して接近および離間するように直進移動可能であり、前記第２保持部材を、前記第１姿勢と前記第１姿勢とは直交する第２姿勢とで保持可能であり、前記２保持部材を前記第１姿勢で前記第１保持部材に対して押し付け、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに固定させる第２ホルダ保持装置と、
   を備える、基板着脱装置。
2. 請求項１に記載の基板着脱装置において、
   前記第１姿勢は、前記基板着脱装置の設置面に対して垂直な姿勢である、
   基板着脱装置。
3. 請求項１又は２に記載の基板着脱装置において、
   前記第２ホルダ保持装置の反対側で前記第１保持部材を支持するための第１支持板と、
   前記第１保持部材を前記第１支持板に保持するための固定機構と、
   を有するサポート装置を更に備える、基板着脱装置。
4. 請求項３に記載の基板着脱装置において、
   前記サポート装置は、前記第１支持板のうち前記第１保持部材が支持される側と反対側の面に連結された複数のロッドを有し、前記複数のロッドの移動によって前記第１支持板が移動可能である、基板着脱装置。
5. 請求項３に記載の基板着脱装置において、
   前記固定機構は、前記第１保持部材の面に重なる位置と、前記第１保持部材の面に重ならない位置との間で回転可能な押圧部材を有する、基板着脱装置。
6. 請求項３に記載の基板着脱装置において、
   前記第１保持部材は、アーム部を有し、
   前記第１ホルダ保持装置は、前記第１保持部材のアーム部を支持するアーム受部を更に有し、前記第１保持部材は、前記アーム受部で懸架される、基板着脱装置。
7. 請求項６に記載の基板着脱装置において、
   前記アーム受部は、前記第１保持部材の前記アーム部に設けられた位置決穴に係合するための位置と、前記位置決穴に係合しない位置との間で移動可能な位置決ピンを有する、基板着脱装置。
8. 請求項６に記載の基板着脱装置において、
   前記アーム受部は、前記第１保持部材のコネクタを介した前記基板の電気的な導通を検査するための通電確認装置を有し、前記通電確認装置は、前記コネクタの複数の外部接続接点対における外部接続接点間の抵抗値を測定する、基板着脱装置。
9. 請求項３乃至８の何れかに記載の基板着脱装置において、
   前記第１支持板は、矩形状であり、多角形形状の前記第１保持部材を支持するように構成されている、基板着脱装置。
10. 請求項１乃至９の何れかに記載の基板着脱装置において、
    第２ホルダ保持装置は、前記第１ホルダ保持装置に支持された前記第１保持部材に設けられたクランプを作動させて前記第１保持部材に前記第２保持部材を保持させるための第１アクチュエータを有する、基板着脱装置。
11. 請求項１０に記載の基板着脱装置において、
    前記第１アクチュエータは、前記第１支持板に垂直な方向に移動する第１棒状部材を有し、該第１棒状部材によって前記クランプに連結されたレバーを押圧し、前記第１保持部材の前記クランプを前記第１支持板に平行な軸の周りに回転させる、基板着脱装置。
12. 請求項１１に記載の基板着脱装置において、
    前記第１棒状部材は、エアシリンダで駆動されるピストンである、基板着脱装置。
13. 請求項１乃至１２の何れかに記載の基板着脱装置において、
    第２ホルダ保持装置は、前記第２保持部材を支持するための第２支持板と、前記第２の支持板に設けられた第２アクチュエータとを有し、前記第２アクチュエータは、前記第２保持部材に設けられたクリップを作動させて、クリップに前記基板を保持させる、基板着脱装置。
14. 請求項１３に記載の基板着脱装置において、
    前記第２アクチュエータは、前記第２支持板に垂直な方向に移動する第２棒状部材を有し、該第２棒状部材によって前記第２保持部材のクリップを前記第２支持板に平行な軸の周りに回転させる、基板着脱装置。
15. 請求項１４に記載の基板着脱装置において、
    前記第２棒状部材は、エアシリンダで駆動されるピストンである、基板着脱装置。
16. 請求項１乃至１５の何れかに記載の基板着脱装置において、
    第２ホルダ保持装置は、
    前記第２保持部材を支持するための第２支持板と、
    前記第２保持部材を前記第２支持板に保持するための吸着装置と、
    前記第２支持板を旋回させるための旋回機構と、
    前記第２支持板を前記第１ホルダ保持部材に対して接近および離間させる直動機構と、を有する基板着脱装置。
17. 請求項１６に記載の基板着脱装置において、
    前記吸着装置は、押込み吸着シリンダを有し、
    前記押込み吸着シリンダは、前記第２保持部材に押し付けられる吸盤と、前記吸盤に開口し前記第２保持部材側に気体を供給するための開口部とを有する、基板着脱装置。
18. 請求項１６又は１７に記載の基板着脱装置において、
    前記旋回機構は、前記第２支持板を回転させるための第１電動モータを有する、基板着脱装置。
19. 請求項１６乃至１８の何れかに記載の基板着脱装置において、
    前記直動機構は、第２電動モータと、第２電動モータの動力を直線方向に変換する回転直動変換機構とを有し、前記第２電動モータは電磁ブレーキを有する、基板着脱装置。
20. 請求項１６乃至１９の何れかに記載の基板着脱装置において、
    第２ホルダ保持装置は、前記第２保持部材の側面に当接して、前記第２支持板の面内での前記第２保持部材の位置決めをするための水平位置決装置を更に有する、基板着脱装置。
21. 請求項１６乃至２０の何れかに記載の基板着脱装置において、
    前記第２支持板は、矩形状であり、多角形形状の前記第２保持部材を支持するように構成されている、基板着脱装置。
22. めっき装置であって、
    基板ホルダの第１及び第２保持部材で基板を挟持して保持する基板着脱装置と、
    前記基板着脱装置において前記基板を保持した前記基板ホルダを受け入れて、前記基板にめっき処理を施すめっき処理部と、を備え、
    前記基板着脱装置は、
    前記第１保持部材を第１姿勢で支持する第１ホルダ保持装置と、
    第１ホルダ保持装置に対して接近および離間するように直進移動可能であり、前記第２保持部材を、前記第１姿勢と前記第１姿勢とは直交する第２姿勢とで保持可能であり、前記２保持部材を前記第１姿勢で前記第１保持部材に対して押し付け、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに固定させる第２ホルダ保持装置と、を備える、
    めっき装置。
23. 基板ホルダの第１及び第２保持部材で基板を挟持して保持する基板着脱装置の制御装置であって、
    第１ホルダ保持装置によって前記第１保持部材を第１姿勢で支持すること、
    第２ホルダ保持装置によって、前記第２保持部材を、前記第１姿勢とは直交する第２姿勢で支持した状態で、前記第２保持部材に前記基板を固定させ、前記第２保持部材を前記第１姿勢に旋回させること、
    第２ホルダ保持装置を前記第１ホルダ保持装置に向かって直進させること、
    第２ホルダ保持装置によって、前記２保持部材を前記第１保持部材に対して押し付け、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに固定させること
    を含む処理を実行する制御装置。
24. 基板ホルダの第１及び第２保持部材で基板を挟持して保持する基板着脱装置の制御方法
    をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体であって、
    第１ホルダ保持装置によって前記第１保持部材を第１姿勢で支持すること、
    第２ホルダ保持装置によって、前記第２保持部材を、前記第１姿勢とは直交する第２姿勢で支持した状態で、前記第２保持部材に前記基板を固定させ、前記第２保持部材を前記第１姿勢に旋回させること、
    第２ホルダ保持装置を前記第１ホルダ保持装置に向かって直進させること、
    第２ホルダ保持装置によって、前記２保持部材を前記第１保持部材に対して押し付け、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに固定させること、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体。

Images