KR102388112B1 - 기판 착탈 장치, 도금 장치, 기판 착탈 장치의 제어 장치, 기판 착탈 장치의 제어 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체 - Google Patents

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Abstract

기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치이며, 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 제1 홀더 보유 지지 장치와, 제1 홀더 보유 지지 장치에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 제2 홀더 보유 지지 장치를 구비하는, 기판 착탈 장치.

Description

기판 착탈 장치, 도금 장치, 기판 착탈 장치의 제어 장치, 기판 착탈 장치의 제어 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체{Substrate Attachment/Detachment Apparatus, Plating Apparatus, Control Apparatus of Substrate Attachment/Detachment Apparatus, Storage Medium Containing Program for Executing Control Method of Substrate Attachment/Detachment Apparatus}
본 발명은 기판 착탈 장치, 도금 장치, 기판 착탈 장치의 제어 장치, 기판 착탈 장치의 제어 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체에 관한 것이다.
종래, 반도체 웨이퍼나 프린트 기판 등의 기판의 표면에 배선이나 범프(돌기상 전극) 등을 형성하거나 하는 일이 행해지고 있다. 이 배선 및 범프 등을 형성하는 방법으로서, 전해 도금법이 알려져 있다.
전해 도금법에 사용하는 도금 장치에서는, 원형 또는 다각형의 기판의 단부면을 시일하고, 표면(피도금면)을 노출시켜서 보유 지지하는 기판 홀더를 구비한다. 이러한 도금 장치에 있어서 기판 표면에 도금 처리를 행할 때는, 기판을 보유 지지한 기판 홀더를 도금액 중에 침지시킨다.
일본 특허 공개 제2016-117917호 공보(특허문헌 1)에는, 반도체 웨이퍼의 기판 홀더가 기재되어 있다. 이 기판 홀더에서는, 고정 보유 지지 부재(제1 보유 지지 부재(22))에 적재한 기판을 가동 보유 지지 부재(제2 보유 지지 부재(24))로 집고, 제2 보유 지지 부재(24) 상의 누름 링(27)을 회전시켜서 제1 보유 지지 부재(22) 상의 클램퍼(33)와 걸림 결합시킴으로써 기판을 기판 홀더에 고정하고 있다.
일본 특허 제4179707호 공보(특허문헌 2)에는, 정사각형의 프린트 기판의 기판 보유 지지용 지그가 기재되어 있다. 이 기판 보유 지지용 지그에서는, 직사각형의 프레임(20)에 설치된 4개소의 파지 부재(30)로 프린트 기판 P를 고정하고 있다.
일본 특허 공개 제2009-270167호 공보(특허문헌 3)에는, 기판을 수평인 상태에서 반송하고, 도금 유닛(26)의 보유 지지 베이스(42) 상에 수평으로 보유 지지된 상태에서 도금 처리를 실시하는 도금 장치가 기재되어 있다.
일본 특허 공개 제2016-127069호 공보(특허문헌 4)에는, 특허문헌 1에 기재되어 있는 원형의 기판을 도금 처리하는 도금 장치용의 기판 홀더 탈착 장치가 기재되어 있다(도 7).
특허문헌 1에 기재된 구성은, 원형의 반도체 웨이퍼를 도금 처리하기 위한 것인데, 현재, 여러가지 치수, 형상, 두께의 기판을 도금 처리할 것이 요청되고 있다. 특히, 특허문헌 1의 기판 홀더로 대형 박막의 기판을 보유 지지하는 경우, 누름 링의 회전에 의해 기판에 휨을 발생시킬 가능성이 있다.
특허문헌 2에 기재된 기판 보유 지지용 지그에서는, 파지 부재(30)의 한 쌍의 블록(31, 32) 사이에 기판의 단부를 끼워 넣은 상태에서 양쪽 블록을 나사 고정하여 기판을 파지 부재(30)로 고정하는데, 이 구성은, 기판 보유 지지용 지그에 의한 보유 지지를 자동화하기에 적합하지 않다.
특허문헌 3에 기재된 구성에서는, 유리 기판의 피처리면을 상향으로 한 채, 장치 내에서 반송 처리함으로써, 복잡한 자세 전환 기구를 설치하지 않고 장치를 소형화하는 것이 기재되어 있다. 그러나, 유리 기판보다도 박막이고 휨이 있는 기판을 처리하는 경우, 피처리면을 상향으로 한 채 반송하면, 기판 표면에 흠집을 발생하거나, 기판이 파손될 우려가 있다.
대형 기판의 경우에는 기판뿐만 아니라 기판을 보유 지지하는 기판 홀더도 대형화하고, 또한 그 중량도 증가하게 되기 때문에, 특허문헌 4에 기재된 기판 홀더 탈착 장치에서는, 기판 홀더에, 대형이며 게다가 두께가 얇은 기판을 탈착하고자 하면, 간이, 신속, 또한 확실하게 행할 수 없게 될 우려도 염려된다.
본 발명의 목적은, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결하는 것이다.
본 발명의 일 형태에 관한 기판 착탈 장치는, 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치이며, 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 제1 홀더 보유 지지 장치와, 제1 홀더 보유 지지 장치에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 제2 홀더 보유 지지 장치를 구비한다.
본 발명의 일 형태에 관한 도금 장치는, 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치와, 상기 기판 착탈 장치에 있어서 상기 기판을 보유 지지한 상기 기판 홀더를 받아들여서, 상기 기판에 도금 처리를 실시하는 도금 처리부를 구비하고, 상기 기판 착탈 장치는, 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 제1 홀더 보유 지지 장치와, 제1 홀더 보유 지지 장치에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 제2 홀더 보유 지지 장치를 구비한다.
본 발명의 일 형태에 관한 제어 장치는, 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치의 제어 장치이며, 제1 홀더 보유 지지 장치에 의해 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 지지한 상태에서, 상기 제2 보유 지지 부재에 상기 기판을 고정시키고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 선회시키는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치를 상기 제1 홀더 보유 지지 장치를 향하여 직진시키는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 것을 포함하는 처리를 실행한다.
본 발명의 일 형태에 관한 기록 매체는, 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치의 제어 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체이며, 제1 홀더 보유 지지 장치에 의해 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 지지한 상태에서, 상기 제2 보유 지지 부재에 상기 기판을 고정시키고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 선회시키는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치를 상기 제1 홀더 보유 지지 장치를 향하여 직진시키는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 것을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장하고 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 홀더가 사용되는 도금 장치의 전체 배치도이다.
도 2a는 일 실시 형태에 따른 기판 홀더의 개략 정면도이다.
도 2b는 기판 홀더의 개략 측면도이다.
도 2c는 기판 홀더의 개략 배면도이다.
도 3a는 기판 홀더의 전방 사시도이다.
도 3b는 기판 홀더의 후방 사시도이다.
도 4a는 기판 홀더의 전면도이다.
도 4b는 기판 홀더의 배면도이다.
도 5a는 백 플레이트의 정면도이다.
도 5b는 백 플레이트의 배면도이다.
도 6a는 백 플레이트의 설치 상태를 도시하는, 기판 홀더의 일부 확대 배면도이다.
도 6b는 백 플레이트의 설치 상태를 도시하는, 기판 홀더의 일부 확대 사시도이다.
도 7은 클램프와 연결 부재의 관계를 도시하는 사시도이다.
도 8a는 클램프 상태의 클램프의 사시도이다.
도 8b는 클램프 상태의 클램프의 측면도이다.
도 9a는 클램프 상태의 클램프의 단면 사시도이다.
도 9b는 클램프 상태의 클램프의 단면도이다.
도 10a는 언클램프 상태의 클램프의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 10b는 언클램프 상태의 클램프의 측면도이다.
도 11a는 언클램프 상태의 클램프의 단면 사시도이다.
도 11b는 언클램프 상태의 클램프의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 12a는 백 플레이트의 클립을 도시하는 일부 절결 측면도이다.
도 12b는 백 플레이트의 클립을 도시하는 일부 확대 사시도이다.
도 13a는 폐쇄 시의 클립의 상태를 도시하는 일부 절결 사시도이다.
도 13b는 폐쇄 시의 클립의 상태를 도시하는 일부 절결 단면도이다.
도 14a는 개방 시의 클립의 상태를 도시하는 일부 절결 사시도이다.
도 14b는 개방 시의 클립의 상태를 도시하는 일부 절결 단면도이다.
도 15는 프론트 플레이트의 이너 시일부를 도시하는 단면도이다.
도 16은 프론트 플레이트의 이너 시일부 및 아우터 시일부를 도시하는 단면도이다.
도 17은 프론트 플레이트 본체의 배면도이다.
도 18은 프론트 플레이트의 커넥터를 포함하는 영역의 일부 확대 평면도이다.
도 19a는 프론트 패널의 단면 사시도이다.
도 19b는 프론트 패널의 단면도이다.
도 19c는 케이블의 배치를 도시하는 프론트 패널의 일부 확대 사시도이다.
도 20a는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근의 사시도이다.
도 20b는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근을 도시하는 상면도이다.
도 20c는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근을 도시하는 상면도의 확대도이다.
도 21a는 커넥터에 가까운 측의 페이스부의 코너부 근방에 있어서의 배면도이다.
도 21b는 커넥터에 가까운 측의 페이스부의 코너부 근방을 더 확대한 배면도이다.
도 21c는 도 21a의 C-C선에 있어서의 단면도이다.
도 21d는 케이블의 피복을 제거한 부분의 사시도이다.
도 22a는 기판 착탈 장치의 사시도이다.
도 22b는 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 22c는 기판 착탈 장치의 평면도이다.
도 22d는 기판 착탈 장치의 홀더 스테이션 및 서포트 장치의 배면도이다.
도 23a는 선회 장치의 제1 자세에 있어서의 사시도이다.
도 23b는 선회 장치의 제2 자세에 있어서의 사시도이다.
도 23c는 선회 장치의 측면도이다.
도 23d는 선회 장치의 평면도이다.
도 23e는 선회 장치의 정면도이다.
도 23f는 선회 장치의 지지판부의 확대 사시도이다.
도 23g는 선회 장치의 직동 기구의 단면도이다.
도 24a는 홀더 스테이션의 사시도이다.
도 24b는 홀더 스테이션의 정면도이다.
도 24c는 홀더 스테이션의 평면도이다.
도 24d는 홀더 스테이션의 측면도이다.
도 25a는 위치 결정 핀이 수납된 상태에 있어서의, 홀더 스테이션의 아암 받침부의 확대 사시도이다.
도 25b는 위치 결정 핀이 돌출된 상태에 있어서의, 홀더 스테이션의 아암 받침부의 확대 사시도이다.
도 25c는 기판 홀더의 아암부가 배치된 상태에 있어서의, 홀더 스테이션의 아암 받침부의 확대 사시도이다.
도 26a는 서포트 장치의 사시도이다.
도 26b는 서포트 장치의 정면도이다.
도 26c는 서포트 장치의 평면도이다.
도 26d는 서포트 장치의 측면도이다.
도 26e는 서포트 장치의 후방 사시도이다.
도 26f는 서포트 장치의 배면도이다.
도 27a는 기판 홀더를 받아들이기 전의 기판 착탈 장치의 사시도이다.
도 27b는 기판 홀더를 받아들인 후의 기판 착탈 장치의 사시도이다.
도 27c는 서포트 장치가 기판 홀더를 지지, 고정했을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27d는 지지판이 후퇴한 상태에 있어서의 서포트 장치의 사시도이다.
도 27e는 지지판이 전진한 상태에 있어서의 서포트 장치의 사시도이다.
도 27f는 지지판이 추가로 보조 로드로 지지된 상태에 있어서의 서포트 장치의 사시도이다.
도 27g는 구동 전의 고정 장치의 사시도이다.
도 27h는 누름 부재 회전 시의 고정 장치의 사시도이다.
도 27i는 로드 후퇴 시의 고정 장치의 사시도이다.
도 27j는 선회 장치의 지지판으로 기판 홀더를 밀어붙여서, 흡착했을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27k는 압입 흡착 실린더의 단면도이다.
도 27l은 백 플레이트를 고정하는 클램프를 해제하는 것을 설명하는 기판 착탈 장치의 일부 확대도이다.
도 27m은 선회 장치에 의해 백 플레이트를 제거했을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27n은 선회 장치를 제2 자세로 선회시켰을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27o는 수평 위치 결정 장치의 구성을 설명하기 위한 선회 장치의 지지판의 정면도이다.
도 27p는 제2 자세에 있어서의 선회 장치의 지지판부의 사시도이다.
도 27q는 기판 제거 시의 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27r은 기판 설치 시의 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27s는 제2 자세로부터 제1 자세로 복귀되었을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27t는 선회 장치가 백 플레이트를 홀더 스테이션의 프론트 플레이트에 밀어부쳤을 때의, 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27u는 작동 전의 통전 확인 장치의 단면도이다.
도 27v는 작동 후의 통전 확인 장치의 단면도이다.
도 27w는 선회 장치가 퇴피 위치로 후퇴했을 때의, 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27x는 서포트 장치의 지지판이 후퇴했을 때의, 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 28은 커넥터의 접점과, 통전 확인 장치의 접점의 대응 관계를 도시하는 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 각 실시 형태에 있어서, 동일 또는 상당하는 부재에는 동일 부호를 붙여서 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서에 있어서 「전면」, 「배면」, 「프론트」, 「백」, 「상」, 「하」, 「좌」, 「우」 등의 표현을 사용하지만, 이들은, 설명의 사정상, 예시된 도면의 지면 상에 있어서의 위치, 방향을 나타내는 것이며, 장치 사용 시 등의 실제의 배치에서는 상이한 경우가 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 홀더가 사용되는 도금 장치의 전체 배치도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 이 도금 장치(100)는 기판 홀더(1)에 기판(피처리물의 일례에 상당한다)을 로드하거나, 또는 기판 홀더(1)로부터 기판을 언로드하는 로드/언로드부(110)와, 기판을 처리하는 처리부(120)와, 세정부(50a)로 크게 나뉜다. 처리부(120)는 또한, 기판의 전처리 및 후처리를 행하는 전처리·후처리부(120A)와, 기판에 도금 처리를 행하는 도금 처리부(120B)를 포함한다. 또한, 이 도금 장치(100)로 처리하는 기판은, 정사각형 기판, 원형 기판을 포함한다. 또한, 정사각형 기판은, 직사각형 등의 다각형의 유리 기판, 액정 기판, 프린트 기판, 기타의 다각형의 도금 대상물을 포함한다. 원형 기판은, 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 기타의 원형의 도금 대상물을 포함한다.
로드/언로드부(110)는 2대의 카세트 테이블(25)과, 기판 탈착 기구(29)를 갖는다. 카세트 테이블(25)은 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 액정 기판, 프린트 기판 등의 기판을 수납한 카세트(25a)를 탑재한다. 기판 탈착 기구(29)는 기판을 기판 홀더(1)(도 2a 이후에 후술)에 탈착하도록 구성된다. 또한, 기판 탈착 기구(29)의 근방(예를 들어 하방)에는 기판 홀더(1)를 수용하기 위한 스토커(30)가 설치된다. 이들 유닛(25, 29, 30)의 중앙에는, 이들 유닛 간에 기판을 반송하는 반송용 로봇으로 이루어지는 기판 반송 장치(27)가 배치되어 있다. 기판 반송 장치(27)는 주행 기구(28)에 의해 주행 가능하도록 구성된다.
세정부(50a)는 도금 처리 후의 기판을 세정하여 건조시키는 세정 장치(50)를 갖는다. 기판 반송 장치(27)는 도금 처리 후의 기판을 세정 장치(50)에 반송하고, 세정된 기판을 세정 장치(50)로부터 취출하도록 구성된다.
전처리·후처리부(120A)는 프리웨트조(32)와, 프리소크조(33)와, 프리린스조(34)와, 블로우조(35)와, 린스조(36)를 갖는다. 프리웨트조(32)에서는, 기판이 순수에 침지된다. 프리소크조(33)에서는, 기판의 표면에 형성한 시드층 등의 도전층의 표면 산화막이 에칭 제거된다. 프리린스조(34)에서는, 프리소크 후의 기판이 기판 홀더와 함께 세정액(순수 등)으로 세정된다. 블로우조(35)에서는, 세정 후의 기판의 액 제거가 행하여진다. 린스조(36)에서는, 도금 후의 기판이 기판 홀더와 함께 세정액으로 세정된다. 프리웨트조(32), 프리소크조(33), 프리린스조(34), 블로우조(35), 린스조(36)는 이 순서로 배치되어 있다. 또한, 이 도금 장치(100)의 전처리·후처리부(120A)의 구성은 일례이며, 도금 장치(100)의 전처리·후처리부(120A)의 구성은 한정되지 않고, 다른 구성을 채용하는 것이 가능하다.
도금 처리부(120B)는 오버플로우조(38)를 구비한 복수의 도금조(39)를 갖는다. 각 도금조(39)는 내부에 1개의 기판을 수납하고, 내부에 보유 지지한 도금액 중에 기판을 침지시켜서 기판 표면에 구리 도금 등의 도금을 행한다. 여기서, 도금액의 종류는, 특히 한정되는 일은 없고, 용도에 따라서 여러가지 도금액이 사용된다.
도금 장치(100)는 이들 각 기기의 측방에 위치하고, 이들 각 기기의 사이에 기판 홀더를 기판과 함께 반송하는, 예를 들어 리니어 모터 방식을 채용한 기판 홀더 반송 장치(37)를 갖는다. 이 기판 홀더 반송 장치(37)는 기판 탈착 기구(29), 프리웨트조(32), 프리소크조(33), 프리린스조(34), 블로우조(35), 린스조(36), 및 도금조(39) 사이에서 기판 홀더를 반송하도록 구성된다.
이상과 같이 구성되는 도금 장치(100)를 포함하는 도금 처리 시스템은, 상술한 각 부를 제어하도록 구성된 컨트롤러(175)를 갖는다. 컨트롤러(175)는 소정의 프로그램을 저장한 메모리(175B)와, 메모리(175B)의 프로그램을 실행하는 CPU(Central Processing Unit)(175A)와, CPU(175A)가 프로그램을 실행함으로써 실현되는 제어부(175C)를 갖는다. 제어부(175C)는 예를 들어, 기판 반송 장치(27)의 반송 제어, 기판 탈착 기구(29)에 있어서의 기판의 기판 홀더에의 착탈 제어, 기판 홀더 반송 장치(37)의 반송 제어, 각 도금조(39)에 있어서의 도금 전류 및 도금 시간의 제어, 및 각 도금조(39)에 배치되는 애노드 마스크(도시하지 않음)의 개구 직경 및 레귤레이션 플레이트(도시하지 않음)의 개구 직경의 제어 등을 행할 수 있다. 또한, 컨트롤러(175)는 도금 장치(100) 및 그 밖의 관련 장치를 통괄 제어하는 도시하지 않은 상위 컨트롤러와 통신 가능하도록 구성되어, 상위 컨트롤러가 갖는 데이터베이스와의 사이에서 데이터의 교환을 할 수 있다. 여기서, 메모리(175B)를 구성하는 기억 매체는, 각종 설정 데이터나 후술하는 도금 처리 프로그램 등의 각종 프로그램을 저장하고 있다. 기억 매체로서는, 컴퓨터에서 판독 가능한 ROM이나 RAM 등의 메모리나, 하드 디스크, CD-ROM, DVD-ROM이나 플렉시블 디스크 등의 디스크상 기억 매체 등의 공지된 것이 사용될 수 있다.
[기판 홀더]
도 2a는, 일 실시 형태에 따른 기판 홀더의 개략 정면도이다. 도 2b는, 기판 홀더의 개략 측면도이다. 도 2c는, 기판 홀더의 개략 배면도이다. 도 3a는, 기판 홀더의 전방 사시도이다. 도 3b는, 기판 홀더의 후방 사시도이다. 도 4a는, 기판 홀더의 전면도이다. 도 4b는, 기판 홀더의 배면도이다.
기판 홀더(1)는 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400)를 구비하고 있다. 이들 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400) 사이에 기판(S)이 보유 지지된다. 본 실시예에서는, 기판 홀더(1)는 기판(S)의 편면을 노출한 상태에서 기판(S)을 보유 지지한다. 기판(S)은, 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 액정 기판, 프린트 기판, 기타의 피도금물일 수 있다. 기판(S)은, 원형, 정사각형 등 중 어느 형상이다. 또한, 이하의 설명에서는, 정사각형의 기판을 예로 들어 설명하지만, 기판 홀더(1)의 개구부의 형상을 변경하면, 원형 기타의 형상의 기판을 보유 지지하는 것이 가능하다.
프론트 플레이트(300)는 프론트 플레이트 본체(310)와, 아암부(330)를 구비하고 있다. 아암부(330)는 기판 홀더 반송 장치(37)에 파지되는 파지 부분이며, 기판 착탈 기구(29) 및 도금조(39)에 배치될 때에 지지되는 부분이다. 기판 홀더(1)는 도금 장치(100)의 설치면에 대하여 수직으로 세운 상태에서 반송되고, 수직으로 세운 상태에서 도금조(39) 내에 배치된다.
프론트 플레이트 본체(310)는 대략 직사각 형상이며, 배선 버퍼부(311)와 페이스부(312)를 갖고, 전면(301)과 배면(302)을 갖는다. 프론트 플레이트 본체(310)는 설치부(320)에 의해 2개소에서 아암부(330)에 설치되어 있다. 프론트 플레이트 본체(310)에는, 개구부(303)가 설치되어 있고, 개구부(303)로부터 기판(S)의 피도금면이 노출된다. 본 실시 형태에서는, 개구부(303)는 직사각 형상의 기판(S)에 대응하여 직사각 형상으로 형성되어 있다. 또한, 기판(S)이 원형의 반도체 웨이퍼 등일 경우에는, 개구부(303)의 형상도 원형으로 형성된다.
프론트 플레이트 본체(310)의 아암부(330)에 가까운 측에는, 배선 버퍼부(311)가 설치되어 있다. 배선 버퍼부(311)는 아암부(330)를 통하여 프론트 플레이트 본체(310)까지 도달하는 케이블의 분배를 행하는 영역이며, 또한, 예비의 길이의 케이블을 수용하는 영역이다. 배선 버퍼부(311)는 프론트 플레이트 본체(310)의 다른 부분(페이스부(312))보다도 약간 두께를 갖고서 형성되어 있다(도 2b 참조). 본 실시 형태에서는, 배선 버퍼부(311)는 프론트 플레이트 본체(310)의 다른 부분(페이스부(312))과는 별개로 형성되고, 페이스부(312)에 설치되어 있다. 아암부(330)의 일단부측에는, 외부의 배선과 전기적으로 접속하기 위한 커넥터(331)가 설치되어 있다(도 3a 등 참조). 백 플레이트(400)는 프론트 플레이트 본체(310)(보다 상세하게는, 페이스부(312))의 배면(302)에 클램프(340)에 의해 고정된다(도 2c, 도 3b, 도 4b).
(백 플레이트의 프론트 플레이트에의 설치 구조)
도 5a는, 백 플레이트의 정면도이다. 도 5b는, 백 플레이트의 배면도이다. 도 6a는, 백 플레이트의 설치 상태를 도시하는, 기판 홀더의 일부 확대 배면도이다. 도 6b는, 백 플레이트의 설치 상태를 도시하는, 기판 홀더의 일부 확대 사시도이다. 도 7은, 클램프와 연결 부재의 관계를 도시하는 사시도이다.
백 플레이트(400)는 백 플레이트 본체(410)를 구비하고, 백 플레이트 본체(410)는 대략 직사각 형상인데, 프론트 플레이트(300)의 프론트 플레이트 본체(310)보다도 작은 치수를 갖는다(도 3b, 도 4b). 백 플레이트 본체(410)는 전면(401)(도 5a)과 배면(402)(도 5b)을 갖는다.
백 플레이트 본체(410)의 전면(401)은 기판(S)의 적재면이며, 프론트 플레이트 본체(310)의 배면(302)에 설치된다. 백 플레이트 본체(410)의 전면(401)에는, 기판(S)을 보유 지지(고정)하기 위한 클립부(420)가 기판(S)의 각 변에 대응하여 합계 8개 설치되어 있다. 이 예에서는, 클립부(420)는 기판(S)의 상변 및 하변에 각각 1개씩, 왼쪽편 및 우변에 각각 3개씩 배치되어 있다. 또한, 클립부(420)의 수 및 배치는, 기판(S)의 치수, 형상에 따라서 적절히 선택되는 것이며, 도시된 수 및 배치에 한정되지 않는다.
백 플레이트 본체(410)의 4코너 중 3코너에는, 위치 결정편(490)이 설치되어 있다. 위치 결정편(490)에는, 관통 구멍(490a)이 형성되어 있다. 위치 결정편(490)은 백 플레이트 본체(410)와 일체로 형성해도 되고, 백 플레이트 본체(410)와는 별체로 형성하고, 백 플레이트 본체(410)에 설치하게 해도 된다. 프론트 플레이트 본체(310)의 배면(302)에는, 위치 결정편(490)의 각각에 대응하는 위치에 위치 결정 핀(390)이 설치되어 있다(도 6a, 도 6b). 위치 결정 핀(390)은 프론트 플레이트 본체(310)와 일체로 형성해도 되고, 프론트 플레이트 본체(310)와는 별체로 형성하고, 프론트 플레이트 본체(310)에 설치하게 해도 된다. 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)에 설치할 때, 백 플레이트(400)의 위치 결정편(490)의 관통 구멍(490a)에 위치 결정 핀(390)을 삽입 관통시켜, 양자의 위치 정렬을 행한다.
프론트 플레이트(300)의 배면(302)에는, 도 4b에 도시한 바와 같이, 백 플레이트(400)의 4변의 각 변에 대응하여 고정 부재(350)가 배치되어 있다. 2개의 고정 부재(350)가 백 플레이트(400)의 1변에 대하여 설치되어 있고, 백 플레이트(400)의 1변을 따라서 나란히 배치되어 있다. 각 고정 부재(350)에는, 도 6a, 도 6b, 도 7에 도시한 바와 같이, 2개의 클램프(340)가 설치되어 있다. 따라서, 1변당 4개의 클램프(340)가 설치되어 있다. 또한, 각 변의 2개의 고정 부재(350)의 사이에는, 4개의 클램프(340)를 동시에 동작시키기 위한 레버(342)가 설치되어 있다.
각 변의 2개의 고정 부재(350)에 걸쳐서 회전축(341)이 설치되어 있다. 회전축(341)은 고정 부재(350)에 대하여 회전 가능하게 설치되어 있다(도 7). 각 클램프(340) 및 레버(342)는 회전축(341)에 키 결합(키 및 키홈)에 의해 회전 불능하게 설치되어 있다(도 8a, b, 도 9a, b). 4개의 클램프(340)는 동일한 위상으로 회전축(341)에 설치되어 있지만, 레버(342)는 4개의 클램프(340)와는 다른 위상으로 회전축(341)에 설치되어 있다. 이 구성에 의해, 레버(342)가 회전하면, 그것에 수반하여, 4개의 클램프(340)가 동기하여 회전한다. 또한, 여기에서는, 프론트 플레이트 본체(310)의 면(301, 302)에 평행인 회전축(341)의 둘레에 클램프(340)가 회전하도록 구성했지만, 프론트 플레이트 본체(310)의 면(301, 302)에 수직인 방향으로 왕복 운동하여 백 플레이트(400)를 클램프하도록 클램프(340)를 구성해도 된다.
클램프(340)는 그 선단부에 있어서 갈고리상으로 만곡한 걸림 결합부(340a)를 갖는다. 클램프(340)의 기단부측에는 관통 구멍을 갖고, 이 관통 구멍에 회전축(341)이 삽입 관통되고, 키 및 키홈에 의해 회전 불능하게 고정되어 있다(도 9a 참조). 레버(342)는 외부로부터의 힘을 받고 있지 않은 경우, 도 7에 도시한 바와 같이, 압축 스프링(343)에 의해 프론트 플레이트(300)의 배면(302)으로부터 상승되도록 가압되고 있고, 이에 따라, 각 클램프(340)는 폐쇄하는 방향으로 가압되고 있다. 바꿔 말하면, 클램프(340)는 노멀 클로즈형으로 구성되어 있다. 또한, 레버(342)는 외부로부터의 압박력을 받는 것이 가능한 힘 받이부로서 구성되어 있다. 레버(342)는 예를 들어, 기판 착탈 기구(29)에 설치되는 액추에이터로부터 압박력을 받는 것이 가능하다. 도 10b에 있어서, 액추에이터(AR1)를 모식적으로 도시하고 있다. 액추에이터(AR1)는, 예를 들어, 에어 실린더, 모터 등의 구동부(DRV)와, 구동부(DRV)에 의해 구동되는 봉형 부재(RD)를 구비한다. 레버(342)는 액추에이터(AR1)로부터 압박력을 받으면, 프론트 플레이트(300)의 배면(302)을 향하여 쓰러지는 방향으로 회전하고, 이에 따라, 클램프(340)는 개방하는 방향으로 회전한다. 이 예에서는, 액추에이터(AR1)는, 각 변의 레버(342)에 대응하여 4개 설치된다. 바람직하게는, 4개의 액추에이터(AR1)는, 동시에 구동되어서 레버(342)를 민다. 단, 4개의 액추에이터(AR1)는, 따로따로 구동해도 되며, 동시에 구동하는 것에 한정되지 않는다.
백 플레이트(400)의 배면(402)에는, 클램프(340)에 대응하는 위치에 걸림 결합 받이부(430)가 설치되어 있다. 걸림 결합 받이부(430)는 본 실시 형태에서 나타내는 바와 같이, 백 플레이트(400)의 백 플레이트 본체(410)와는 별도의 부재로 형성되고, 백 플레이트 본체(410)에 설치해도 되고, 백 플레이트 본체(410)와 일체로 형성한 것이어도 된다. 걸림 결합 받이부(430)에는, 클램프(340)의 갈고리상의 걸림 결합부(340a)가 걸려서, 걸림 결합하는 것이 가능한 형상을 갖는 돌출부(430a)가 형성되어 있다. 돌출부(430a)는 클램프(340)의 걸림 결합부(340a)의 걸림 결합을 확실하게 받기 위해서, 걸림 결합부(340a)보다도 긴 치수를 갖는다.
이하, 도면을 참조하면서, 백 플레이트(400)의 프론트 플레이트(300)에의 설치 구조를 설명한다.
도 8a는, 클램프 상태의 클램프 사시도이다. 도 8b는, 클램프 상태의 클램프 측면도이다. 도 9a는, 클램프 상태의 클램프 단면 사시도이다. 도 9b는, 클램프 상태의 클램프 단면도이다. 도 10a는, 언클램프 상태의 클램프 구성을 도시하는 사시도이다. 도 10b는, 언클램프 상태의 클램프 측면도이다. 도 11a는, 언클램프 상태의 클램프 단면 사시도이다. 도 11b는, 언클램프 상태의 클램프 구성을 도시하는 단면도이다.
전술한 바와 같이, 클램프(340)는 노멀 클로즈형이며, 레버(342)에 압박력을 받고 있지 않은 상태에서는, 도 8a, 도 8b 및 도 9a, 도 9b에 도시한 바와 같이, 폐쇄한 상태에 있다. 프론트 플레이트(300)에 백 플레이트(400)를 설치하는 경우에는, 우선, 액추에이터(AR1)(도 10b)에 의해 프론트 플레이트(300)의 레버(342)에 압박력을 가하고, 도 10a, 도 10b 및 도 11a, 도 11b에 도시한 바와 같이, 압축 스프링(343)의 가압력에 저항하여 클램프(340)를 개방하는 방향으로 회전시킨다. 클램프(340)를 개방시킨 상태에서, 프론트 플레이트(300)의 배면(302)의 소정의 위치에 백 플레이트(400)를 배치한다. 이때, 프론트 플레이트(300)의 위치 정렬 핀(390)이 백 플레이트(400)의 위치 정렬편(490)의 관통 구멍(490a)에 걸림 결합하고, 백 플레이트(400)가 프론트 플레이트(300)의 소정의 위치에 위치 정렬된다.
이어서, 프론트 플레이트(300)의 레버(342)로부터 액추에이터(AR1)의 압박력을 제거한다. 이에 의해, 레버(342)가 압축 스프링(343)의 가압력에 의해 레버(342)가 원래의 위치를 향하여 회전하고, 각 클램프(340)가 폐쇄되는 방향으로 회전한다. 이 결과, 클램프(340)의 걸림 결합부(340a)가 백 플레이트(400)의 걸림 결합 받이부(430)에 걸림 결합하고, 백 플레이트(400)가 프론트 플레이트(300)에 고정된다(도 8a, 도 8b 및 도 9a, 도 9b).
백 플레이트(400)를 제거하는 경우에는, 전술한 바와 같이, 액추에이터(도시하지 않음)에 의해 프론트 플레이트(300)의 레버(342)에 압박력을 가하고, 압축 스프링(343)의 가압력에 저항하여 클램프(340)를 개방하는 방향으로 회전시킨다(도 10a, 도 10b 및 도 11a, 도 11b). 이 결과, 클램프(340)가 걸림 결합 받이부(430)로부터 해방되어, 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)로부터 제거 가능하게 된다.
(기판의 백 플레이트에의 설치 구조)
도 12a는, 백 플레이트의 클립을 도시하는 일부 절결 측면도이다. 도 12b는, 백 플레이트의 클립을 도시하는 일부 확대 사시도이다. 도 13a는, 폐쇄 시의 클립의 상태를 도시하는 일부 절결 사시도이다. 도 13b는, 폐쇄 시의 클립의 상태를 도시하는 일부 절결 단면도이다. 도 14a는, 개방 시의 클립의 상태를 도시하는 일부 절결 사시도이다. 도 14b는, 개방 시의 클립의 상태를 도시하는 일부 절결 단면도이다.
백 플레이트(400)의 전면(401)에는, 기판(S)의 각 변에 대응하여 합계 8개의 클립부(420)가 설치되어 있다(도 5a 참조). 또한, 백 플레이트(400)의 배면(402)에는, 클립부(420)의 각각에 대응하는 위치에 버튼(470)이 설치되어 있다(도 5b 참조). 버튼(470)에 힘이 가해지고 있지 않은 경우, 버튼(470)의 전면(401)측의 면은, 2개의 클립(421)의 기단부와 소정의 간격을 갖고서 배치되어 있다(도 13b). 버튼(470)은 힘 받이부(471)와, 힘 받이부(471)를 백 플레이트 본체(410)에 대하여 변위 가능하게 지지하는 탄성 부분(472)과, 탄성 부분(472)의 외주에 있는 설치부(473)를 갖는다. 버튼(470)은 설치부(473)에 있어서 누름 부재(474), 및 체결 부재(475)에 의해 고정되어 있다. 체결 부재(475)는 예를 들어, 스터드, 볼트 등이다.
각 클립부(420)는 도 12a, 도 12b에 도시한 바와 같이, 백 플레이트 본체(410)의 전면(401)에 고정된 고정부(423)와, 고정부(423)에 회전 불능하게 고정된 고정축(424)과, 고정축(424)에 대하여 병진하면서 회전 가능하게 지지된 2개의 클립(421)과, 클립(421)의 각각에 설치되어 클립(421)을 폐쇄 방향으로 가압하는 권 스프링(422)을 구비하고 있다.
클립(421)은 그 선단부에 갈고리부(421a)를 갖고, 그 기단부측에는 긴 구멍(421b) 및 2개의 환 구멍(421c)이 형성되어 있다. 클립(421)은 고정축(424)을 긴 구멍(421b)에 삽입 관통시켜서 설치되어 있다. 도 13b에 도시하는 바와 같이 권 스프링(422)은 권회부(422c)와, 권회부(422c)로부터 연장하는 다리부(422a, 422b)를 갖고 있다. 권 스프링(422)은 철사 등을 복수회 원형으로 감아서 권회부(422c)를 설치하고, 소정의 길이의 다리부(422a, 422b)를 남긴 것이다. 다리부(422a)는 대략 직각으로 절곡되는 절곡부를 선단에 갖고, 이 절곡부가, 클립(421)의 2개 환 구멍(421c) 중 기단부측의 환 구멍(421c)에 삽입 및 감합되어 있다. 다른 쪽 다리부(422b)는 클립(421)에는 설치되어 있지 않고, 대략 직각으로 절곡되는 절곡부를 선단에 갖고, 이 절곡부가, 고정부(423)에 설치된 규제면(423a)에 맞닿은 상태에서 지지되어 있다. 또한, 다리부(422a)는 고정부(423)에 설치된 안내면(423b)에 의해 안내된다(도 13b, 도 14b).
이 구성에 의해, 클립(421)은 백 플레이트 본체(410)로부터 이격되는 방향으로 이동하면서, 백 플레이트 본체(410)의 외측을 향하여 회전하는 것이 가능하다(도 13b부터 도 14b). 이 결과, 클립(421)은 개방 상태로 된다(도 14a, 도 14b). 또한, 반대로, 클립(421)은 백 플레이트 본체(410)에 접근하는 방향으로 이동하면서, 백 플레이트 본체(410)의 내측을 향하여 회전하는 것이 가능하다(도 14b부터 도 13b). 이 결과, 클립(421)은 폐쇄 상태로 된다(도 13a, 도 13b). 또한, 본 실시 형태에서는, 클립(421)은 외부로부터 힘을 받지 않는 상태에서는, 권 스프링(422)에 의해 폐쇄 방향으로 가압되고 있고, 노멀 클로즈형이다(도 13a, 도 13b). 또한, 도 14b에서는, 도면의 복잡화를 피하기 위해서, 버튼(470)의 힘 받이부(471)가 변위하지 않은 상태를 나타내고 있지만, 실제로는, 힘 받이부(471)는 클립(421)을 향하여 변위하여 클립(421)을 압박하고 있고, 이 압박에 의해 클립(421)이 개방 상태에 있다.
기판(S)을 백 플레이트(400)에 적재하는 경우, 백 플레이트(400)의 8개의 버튼(470)(힘 받이부(471))에, 외부로부터 액추에이터(AR2)에 의해 압박력을 가한다(도 14b). 이에 의해, 도 14a, 도 14b에 도시한 바와 같이, 힘 받이부(471)가 전면(401)측으로 변위하고, 2개의 클립(421)의 기단부에 맞닿는다. 힘 받이부(471)로부터 받는 힘에 의해, 클립(421)은 도 14b에 도시한 바와 같이, 백 플레이트 본체(410)로부터 이격되는 방향으로 이동하면서, 백 플레이트 본체(410)의 외측으로 회전하여, 개방 상태로 된다(도 14b). 도 14b에 모식적으로 도시한 바와 같이, 액추에이터(AR2)는, 예를 들어, 에어 실린더, 모터 등의 구동부(DRV)와, 구동부(DRV)에 의해 구동되는 봉형 부재(RD)를 구비한다. 액추에이터(AR2)는, 8개의 버튼(470)에 대응해서 8대 설치되어 있다. 바람직하게는, 8대의 액추에이터(AR2)는, 동시에 구동되어서 버튼(470)을 누른다. 단, 8대의 액추에이터(AR2)는, 따로따로 구동해도 되며, 동시에 구동하는 것에 한정되지 않는다.
클립(421)이 개방된 상태에서, 백 플레이트(400)의 전면(401)의 소정의 위치에 기판(S)을 적재하고, 그 후, 버튼(470)으로부터 액추에이터(AR2)에 의한 압박력을 해방한다. 이 결과, 클립(421)은 토션 스프링(422)의 가압력에 의해, 백 플레이트 본체(410)에 접근하는 방향으로 이동하면서, 백 플레이트 본체(410)의 내측으로 회전하여, 폐쇄 상태로 된다(도 14b부터 도 13b). 이때, 클립(421)의 선단의 갈고리부(421a)가 기판(S)의 주연부에 걸림 결합하여, 기판(S)을 백 플레이트(400)의 전면(401)에 고정할 수 있다.
이렇게 기판(S)을 설치한 백 플레이트(400)를 도 5부터 도 13에서 설명한 바와 같이, 프론트 플레이트(300)에 설치하면, 기판 홀더(1)에의 기판(S)의 설치가 완료된다. 기판(S)을 백 플레이트(400)로부터 제거하는 경우, 전술한 바와 같이, 백 플레이트(400)의 8개의 버튼(470)(힘 받이부(471))에, 외부로부터 액추에이터(AR2)에 의해 압박력을 가한다(도 14a, 도 14b).
또한, 여기에서는, 백 플레이트 본체(410)의 면(401, 402)에 평행인 고정축(424)의 둘레로 클립(421)이 회전하도록 구성했지만, 백 플레이트 본체(410)의 면(401, 402)에 수직인 방향으로 왕복 운동하여 기판(S)을 클램프하도록 클립(421)을 구성해도 된다.
(시일부의 구성)
도 15는, 프론트 플레이트의 이너 시일부를 도시하는 단면도이다. 도 16은, 프론트 플레이트의 이너 시일부 및 아우터 시일부를 도시하는 단면도이다.
프론트 플레이트(300)의 배면(302)에는, 개구부(303)에 인접하여 이너 시일(361)이 설치되어 있다. 이너 시일(361)은 시일 홀더(363)에 의해 프론트 플레이트(300)의 배면(302)에 설치되어 있다. 이너 시일(361)은 기판(S)과 프론트 플레이트(300) 간을 시일하여, 도금액이 기판(S)의 단부에 침입하는 것을 방지한다. 시일 홀더(363)에는, 기판(S)에 전위를 공급하기 위한 콘택트(370)도 설치되어 있다.
또한, 도 16에 도시한 바와 같이, 프론트 플레이트(300)의 배면(302)에는, 이너 시일(361)보다도 외측에 있어서, 아우터 시일(362)이 시일 홀더(364)에 의해 설치되어 있다. 아우터 시일(362)은 백 플레이트(400)에 맞닿고, 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400) 간을 시일한다.
본 실시 형태에서는, 이너 시일(361) 및 아우터 시일(362)을 설치하는 시일 홀더(363, 364)가 별도의 부재로 구성되어 있으므로, 이너 시일(361) 및 아우터 시일(362)을 따로따로 교환할 수 있다.
도 17은, 프론트 플레이트 본체의 배면도이다. 도 18은, 프론트 플레이트의 커넥터를 포함하는 영역의 일부 확대 평면도이다. 도 19a는, 프론트 패널의 단면 사시도이다. 도 19b는, 프론트 패널의 단면도이다. 도 19c는, 케이블의 배치를 도시하는 프론트 패널의 일부 확대 사시도이다. 도 20a는, 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근의 사시도이다. 도 20b는, 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근을 도시하는 상면도이다. 도 20c는, 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근을 도시하는 상면도의 확대도이다.
프론트 플레이트 본체(310)의 배면(302)은 18개의 콘택트 영역(C1-C18)을 갖는다. 콘택트 영역(C1-C7, C17, C18)은, 페이스부(312) 중 커넥터(331)측의 절반의 영역(제1 영역, 도 17의 우측 절반의 영역)에 배치되어 있고, 콘택트 영역(C8-C16)은, 페이스부(312) 중 커넥터(331)로부터 먼 측의 절반의 영역(제2 영역, 도 17의 좌측 절반의 영역)에 배치되어 있다. 이하의 설명에서는, 편의상, 제1 영역에 배치되는 케이블을 제1 그룹의 케이블, 제2 영역에 배치되는 케이블을 제2 그룹의 케이블이라 칭하는 경우가 있다.
각 콘택트 영역(C1-C18)에는, 도 15, 도 16에 도시한 기판(S)에 급전하기 위한 콘택트(접점 부재)(370)가 포함된다. 각 콘택트 영역(C1-C18)의 콘택트(370)에는, 각각, 케이블(L1-L18)을 통하여, 외부로부터 급전된다. 또한, 이하의 설명에서는, 각 케이블을 구별할 필요가 없을 경우에는, 케이블(L1-L18)을 통합하여, 케이블(L)이라 총칭하는 경우가 있다. 또한, 임의의 케이블을 케이블(L)로서 참조하는 경우도 있다.
케이블(L1-L18)의 제1 단부는, 아암부(330)의 일단부에 설치된 커넥터(331)에 접속되어 있고, 보다 상세하게는, 커넥터(331)에 있어서 개별의 접점 또는 복수개씩 공통의 외부 접속 접점(331a1, 331a2)에 전기적으로 접속되어 있다. 케이블(L1-L18)은, 커넥터(331)의 각 접점을 통하여 외부의 전원(전원 회로, 전원 장치 등)에 전기적으로 접속 가능하다.
커넥터(331)에서는, 케이블(L1-L18)이 외부 접속 접점(331a1, 331a2)에 접속된다(도 27u, 도 27v, 도 28 참조). 외부 접속 접점(331a1, 331a2)에는, 외부 전원으로부터의 급전 단자에 접속된다. 예를 들어, 제1 그룹의 케이블(L1-L7, L17, L18) 중 3개를 공통의 제1측의 외부 접속 접점(331a1)에 접속하고, 제2 그룹의 케이블(L8-L16) 중 3개의 케이블을 공통의 제2측의 외부 접속 접점(331a2)에 접속하고, 이들 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2)을 한 쌍의 외부 접속 접점쌍(331a)으로 한다(도 27u, 도 27v에 있어서의 좌우의 접점(331a1, 331a2)에 대응). 구체적으로는, 이하와 같이 외부 접속 접점을 구성한다.
케이블(L17, L18, L1)을 공통의 제1측의 외부 접속 접점(331a1)에 접속하고, 케이블(L8, L9, L10)을 공통의 제2측의 외부 접속 접점(331a2)에 접속하고, 이들 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2)을 한 쌍(제1쌍, 또는 제1 외부 접속 접점쌍(331a))으로 한다.
케이블(L2, L3, L4)을 다른 제1측의 외부 접속 접점(331a1)에 접속하고, 케이블(L11, L12, L13)을 다른 제2측의 외부 접속 접점(331a2)에 접속하고, 이들 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2)을 한 쌍(제2쌍, 또는 제2 외부 접속 접점쌍(331a))으로 한다.
케이블(L5, L6, L7)을 다른 제1측의 외부 접속 접점(331a1)에 접속하고, 케이블(L14, L15, L16)을 다른 제2측의 외부 접속 접점(331a2)에 접속하고, 이들 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2)을 한 쌍(제3쌍, 또는 제3 외부 접속 접점쌍(331a))으로 한다.
커넥터(331)에 있어서, 각 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2)은 서로 대향하여 배치되어 있다. 제1 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2)은 서로 대향하여 배치되고, 제2 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2)은 서로 대향하여 배치되고, 제3 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2)은 서로 대향하여 배치된다.
기판 착탈 기구(29)에 있어서, 기판 홀더(1)에 기판(S)이 보유 지지된 후(백 플레이트(400)가 프론트 플레이트(300)의 클램프(340)로 고정된 후), 커넥터(331)의 제1 내지 제5쌍에 저항 측정기(도시하지 않음)가 접속되고, 각 쌍에 있어서의 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2) 간에 소정의 검사 전압이 인가된다. 이에 의해, 각 쌍에 있어서의 제1측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2측의 외부 접속 접점(331a2) 간의 전기 저항이 측정된다. 그리고, 각 외부 접속 접점쌍(331a)의 전기 저항이 소정값 이하 또한 소정의 범위 내이면(각 외부 접속 접점쌍의 전기 저항에 변동이 없고, 단선 등의 이상이 없다), 기판 홀더(1)의 통전이 양호하다고 판단한다.
케이블(L1-L18)의 타단부인 제2 단부는, 후술하는 바와 같이, 각각, 콘택트 영역(C1-C18)에 있어서 콘택트(370)에 전기적으로 접속된다. 각 케이블(L1-L18)은, 커넥터(331)로부터, 아암부(330)를 통하고, 한쪽 설치부(320)를 통과하여, 배선 버퍼부(311)에 들어간다(도 18). 배선 버퍼부(311)에 있어서, 케이블(L1-L18) 중 케이블(L17, L18, L1-L7)이, 제1 영역(커넥터측의 영역)을 향하고, 케이블(L8-L16)이, 제2 영역(커넥터로부터 먼 측의 영역)을 향한다. 도 18에서는, 제1 영역에 배치되는 제1 그룹의 케이블(L17, L18, L1-L7)이 주로 도시되어 있다. 도 18에 도시한 바와 같이, 제1 그룹의 케이블(L17, L18, L1-L7)은, 배선 버퍼부(311)를 통과하여, 페이스부(312)에 있어서의 시일 홀더(363, 364) 사이의 케이블 통로(365)에 유도된다. 도시 생략하지만, 제2 그룹의 케이블(L8-16)도, 배선 버퍼부(311)의 제2 영역(커넥터로부터 먼 측의 영역)을 통과하여, 페이스부(312)의 제2 영역에서 케이블 통로(365)에 유도된다. 또한, 도 18에서는, 도면의 복잡화를 피하기 위해서, 케이블의 길이의 일부를 생략하여 표시하고 있다.
배선 버퍼부(311)의 페이스부(312)측에는, 두꺼운 부분(313)이 설치되어 있다(도 19a, 도 19b). 배선 버퍼부(311)의 두꺼운 부분(313) 및 페이스부(312)에는, 시일 홀더(363, 364) 사이의 케이블 통로(365)까지, 각 케이블(L1-L18)에 대응하는 배선 구멍(311a)이 설치되어 있다(도 19a, 도 19b). 여기서, 배선 구멍(311a)은 케이블이 통과 가능한 직경을 갖는 드릴 구멍이다. 도 19a에서는, 하나의 배선 구멍(311a)만을 나타내고 있지만, 실제로는, 배선 구멍(311a)은 도 19c에 도시한 바와 같이, 각 케이블에 대응하여 복수 설치되어 있다. 적어도 케이블의 수의 배선 구멍(311a)이 설치되어 있다.
본 실시 형태에서는, 도 19a, 도 19b에 도시한 바와 같이, 배선 버퍼부(311)는 프론트 패널 본체(310)의 페이스부(312)와는 별체로 설치되고, 프론트 패널 본체(310)에 설치되어 있다. 배선 버퍼부(311)와 페이스부(312)의 경계에 있어서 케이블의 주위에는, 배선 구멍(311a) 및 케이블(L)을 밀폐하기 위한 O링(511)이 배치되어 있다. 이에 의해, 배선 구멍(311a) 및 케이블(L)이, 도금액이나, 외부로부터의 이물로부터 보호된다.
도 21a는, 커넥터에 가까운 측의 페이스부의 코너부 근방에 있어서의 배면도이다. 도 21b는, 커넥터에 가까운 측의 페이스부의 코너부 근방을 더 확대한 배면도이다. 도 21c는, 도 21a의 C-C선에 있어서의 단면도이다. 도 21d는, 케이블의 피복을 제거한 부분의 사시도이다.
케이블(L1-L7)은, 도 21a 및 도 21b에 도시한 바와 같이, 동일 평면 내에 배열하여 케이블 통로(365) 내에 도입되고, 개구부(303)의 커넥터(331)측의 변을 따라서 배치되어 있다. 케이블끼리는, 페이스부(312)의 두께 방향으로 겹치지 않는다. 따라서, 페이스부(312) 및 프론트 패널(300)의 두께를 억제할 수 있다.
도 21a 및 도 21b에 도시한 바와 같이, 개구부(303)의 각 변을 따라, 콘택트 영역(C1-C18) 마다 도전체로 이루어지는 콘택트(370)가 배치되어 있다. 콘택트(370)는 이너 시일(361)에 접촉하지 않지만, 인접하여 배치되어 있다. 콘택트(370)는 시일 홀더(363) 상에 배치되어 있고, 복수의 나사(511)로 시일 홀더에 고정되어 있다. 시일 홀더(363)에는, 각 콘택트 영역에서 케이블 통로(365)로부터 접속 위치(나사(511)의 위치)까지, 케이블을 인입하는 배선 홈(363a)이 설치되어 있다. 케이블(L)은, 도 21d에 도시한 바와 같이, 전기적인 전도체로 이루어지는 심선 또는 도전선(601)과, 도전선(601)을 절연하기 위한 피복(602)을 구비하고 있다. 케이블(L)은, 선단부(제2 단부)에 있어서, 피복(602)이 제거되어, 심선 또는 도전선(601)이 노출된다. 그리고, 케이블(L)의 심선(601)이 배선 홈(363a)에 인입된다. 또한, 할당된 콘택트 영역에서 인입된 케이블(L)은, 그 콘택트 영역에서 종단된다.
예를 들어, 콘택트 영역(C1)에서는, 콘택트 영역(C1) 근방의 케이블 통로(365)를 향하여 개구하는 배선 홈(363a)(도 21c)이 형성되고, 이 배선 홈(363a)은 콘택트 영역(C1)에 설치된 4개의 나사(체결 부재)(511)의 하방을 통과하도록 연장 및 종단된다(도 21a). 마찬가지로, 콘택트 영역(C2)에서는, 콘택트 영역(C2) 근방의 케이블 통로(365)를 향하여 개구하는 배선 홈(363a)이 형성되고, 이 배선 홈(363a)은 콘택트 영역(C2)에 설치된 4개의 나사(511)의 하방을 통과하도록 연장 및 종단된다. 나사(511)와 배선 홈(363a)의 위치 관계를 도 21c에 도시하고 있다. 케이블(L)(도 21c에서는, L1)이 배선 홈(363a)에 배치되었을 때, 나사(511)의 플랜지부(511a)에 의해, 콘택트(370) 및 케이블(심선)이 압박된다.
각 콘택트 영역에서의 케이블(L)과 콘택트(370)의 전기 접속은, 이하와 같이 행해지고 있다. 케이블(L1)을 예로 들면, 케이블(L1)의 선단부(제2 단부)는 피복(602)이 제거되어서, 심선(도전선)(601)이 노출되어 있다(도 21a-d). 케이블(L1)의 선단부는, 콘택트 영역(C1)의 근방에 있어서 시일 홀더(363)의 배선 홈(363a) 내에 도입되어, 콘택트 영역(C1) 내에서, 4개소의 나사(체결 부재)(511)에 의해 콘택트(370)와 함께 압박되어 있다. 즉, 나사(체결 부재)(511)와 시일 홀더(363)가 케이블(L1)의 심선(601)을 콘택트(370)와 함께 끼움 지지하고 있다. 이 결과, 케이블(L1)은, 콘택트(370)에 전기적으로 접속된다. 기판 홀더(1)가 기판(S)을 보유 지지하면, 콘택트(370)가 기판(S)에 접촉하고, 외부의 전원으로부터 케이블(L1), 콘택트(370)를 통하여 기판(S)에 급전이 행하여진다. 다른 콘택트 영역(C2-C18)도 마찬가지로 구성되어 있고, 18개소의 콘택트(370)로부터 기판(S)에 급전이 행하여진다.
콘택트 영역(C1)에는, 케이블(L2-L7)은 인입되지 않으므로, 콘택트 영역(C1)과 콘택트 영역(C2) 사이에서는, 케이블(L2-L7)이 나란히 배치되어 있다. 콘택트 영역(C2)에서는, 콘택트 영역(C1)과 마찬가지로, 케이블(L2)이 시일 홀더(363)의 배선 홈(363a)에 인입되어, 4개소의 나사(511)에 의해 콘택트(370)와 함께 압박되어, 콘택트(370)와 전기적으로 접속된다. 이 결과, 콘택트 영역(C2)과 콘택트 영역(C3) 사이에서는, 케이블(L3-L7)이 나란히 배치되어 있다. 마찬가지로 하여, 케이블(L3-L7)이, 각각 콘택트 영역(C3-C7)에 있어서, 콘택트(370)와 전기적으로 접속된다. 이 결과, 콘택트 영역(C3)과 영역(C4) 사이에서는 케이블(L4-L7)이 나란히 배치되고, 콘택트 영역(C4)과 영역(C5) 사이에서는 케이블(L5-L7)이 나란히 배치되고, 콘택트 영역(C5)과 영역(C6) 사이에서는 케이블(L6-L7)이 나란히 배치되고, 콘택트 영역(C6)과 영역(C7) 사이에서는 케이블(L7)이 나란히 배치된다.
케이블(L17, L18)도 마찬가지로, 각각 콘택트 영역(C17, C18)에 있어서, 콘택트(370)와 전기적으로 접속된다. 또한, 커넥터로부터 먼 측의 영역(제2 영역)에서도, 케이블(L8-L16)이, 제1 영역의 케이블과 마찬가지로, 각각 콘택트 영역(C8-C16)에 있어서, 콘택트(370)와 전기적으로 접속된다.
본 실시 형태에서는, 콘택트(370)와 함께 케이블(L)이 끼움 지지되고, 케이블(L)과 콘택트(370)가 직접, 전기적으로 접속되는 경우를 설명했지만, 케이블(L)과 콘택트(370) 사이에 다른 도전 부재(제2 도전 부재)를 개재시키도록 해도 된다.
[기판 착탈 장치]
도 22a는, 기판 착탈 장치의 사시도이다. 도 22b는, 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 22c는, 기판 착탈 장치의 평면도이다. 도 22d는, 기판 착탈 장치의 홀더 스테이션 및 서포트 장치의 배면도이다.
기판 착탈 장치(1000)는 도 1의 기판 착탈 기구(29)에 포함된다. 기판 착탈 장치(1000)는 도 22a 내지 d에 도시한 바와 같이, 홀더 스테이션(1100)과, 선회 장치(1200)와, 서포트 장치(1300)를 구비하고 있다. 홀더 스테이션(1100) 및 서포트 장치(1300)는 설치면에 고정된 베이스(1400) 상에 고정되어 있다. 선회 장치(1200)는 구성재(레일)(1500)에 설치되어 있고, 구성재(1500)를 따라서 홀더 스테이션(1100)에 대하여 접근 및 이격하도록 직선 방향으로 왕복 이동 가능하다. 구성재(1500)는 베이스(1400)의 일측면에 대하여 설치되어 있고, 베이스(1400)와 대략 동일한 높이를 갖는다. 선회 장치(1200)는 홀더 스테이션(1100)의 제1측에 배치되어 있고, 서포트 장치(1300)는 홀더 스테이션(1100)의 제2측에 배치되어 있다. 기판 착탈 장치(1000)에서는, 홀더 스테이션(1100)으로 기판 홀더(1)를 현가하고, 및 서포트 장치(1300)로 기판 홀더(1)를 후방측으로부터 지지 및 고정한 상태에서, 선회 장치(1200)로 기판 홀더(1)의 백 플레이트(400)를 착탈하고, 선회 장치(1200)에 의해 제거된 백 플레이트(400)에 대하여 기판(S)이 착탈된다. 또한, 서포트 장치(1300)에 의해 기판 홀더(1)를 지지하지 않는 경우에는, 서포트 장치(1300)를 생략 가능하다.
이하의 설명에서는, 홀더 스테이션(1100) 및 서포트 장치(1300)의 선회 장치(1200)측을 제1측 또는 전방측이라 칭하고, 홀더 스테이션(1100) 및 서포트 장치(1300)의 반대측을 제2측 또는 후방측이라 칭하는 경우가 있다. 또한, 선회 장치(1200)의 홀더 스테이션(1100)측을 제1측 또는 전방측이라 칭하고, 선회 장치(1200)의 반대측을 제2측 또는 후방측이라 칭하는 경우가 있다.
(선회 장치)
도 23a는, 선회 장치의 제1 자세에 있어서의 사시도이다. 도 23b는, 선회 장치의 제2 자세에 있어서의 사시도이다. 도 23c는, 선회 장치의 측면도이다. 도 23d는, 선회 장치의 평면도이다. 도 23e는, 선회 장치의 정면도이다. 도 23f는, 선회 장치의 지지판부의 확대 사시도이다. 도 23g는, 선회 장치의 직동 기구의 단면도이다.
선회 장치(1200)는 도 23a 내지 도 23e에 도시한 바와 같이, 본체(1232)와, 선회 기구(1240)와, 지지판부(1210)를 구비하고 있다. 본체(1232)는 대략 직육면체의 형상이며, 구성재(1500)의 길이 방향을 따르는 변과, 구성재(1500)의 폭 방향을 따르는 변을 갖는다. 구성재(1500)의 길이 방향을 따르는 변보다도, 구성재(1500)의 폭 방향을 따르는 변의 길이가 크게 형성되어 있다. 본체(1232)의 하부에는, 플랜지(1231)가 일체 또는 별체로 설치되어 있다. 플랜지(1231)의 하면에는, 안내 부재(1250)가 설치되어 있다. 안내 부재(1250)는 플랜지(1231)의 하면에 설치된 2개의 연결판(1251)과, 각 연결판(1251)의 하면에 설치된 안내부(1252)를 구비하고 있다. 연결판(1251)은 구성재(1500)를 가로 지르는 방향으로 연장된다. 안내부(1252)는 각 연결판(1251)의 하면에 있어서, 구성재(1500)의 폭 방향의 양측에 1개씩 설치되어 있다. 각 안내부(1252)는 구성재(1500)의 각 레일부(1510)에 걸림 결합하고, 선회 장치(1200)의 본체(1232)가 레일부(1510)를 따라서 안내되도록 되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 선회 장치(1200)는 안내부(1252)에 안내되어서, 레일부(1510)를 따라서 이동 가능하게 되어 있다.
안내 부재(1250)(연결판(1251))의 하면에는, 직동 기구(1260)가 설치되어 있다(도 23e). 직동 기구(1260)는 도 23g에 도시한 바와 같이, 전동 모터(1261)와, 연결 기구(1262)와, 전자기 브레이크(1263)와, 볼 나사(1264)와, 너트(1265)를 구비하고 있다. 너트(1265)에는, 안내 부재(1250)(연결판(1251))가 고정되어 있다. 직동 기구(1260)는 구성재(1500) 상에 고정되어 있다. 전동 모터(1261)는 예를 들어, 서보 모터이다. 연결 기구(1262)는 전동 모터(1261)의 회전축과 볼 나사(1264)를 동작 가능하게 연결하는 커플링이며, 전동 모터(1261)의 회전축 회전을 볼 나사(1264)에 전달한다. 전자기 브레이크(1263)는 예를 들어, 여자 코일(전자석)의 온/오프에 의해 아마추어를 브레이크 허브에 대하여 걸림 결합, 개방시켜서, 볼 나사(1264)의 회전을 정지 또는 허가하는 것이다. 너트(1265)는 레일부(1510)에 의해 직동 방향으로 이동이 규제된 안내 부재(1250)에 고정됨으로써 회전 방지되어 있고, 볼 나사(1264)의 회전에 의해 볼 나사(1264)의 축방향을 따라서 직동(전진 또는 후퇴)한다. 볼 나사(1264) 및 너트(1265)는 회전 직동 변환 기구를 구성하고, 전동 모터(1261)의 회전을 안내 부재(1250) 및 선회 장치(1200)의 직진 운동으로 변환한다.
선회 장치(1200)의 본체(1232)의 상부에는, 선회 기구(1240)가 설치되어 있다(도 23c). 선회 기구(1240)는 프레임(1241)과, 전동 모터(1242)와, 지지판 선회축(1243)을 구비하고 있다(도 23d). 프레임(1241)은 평면에서 보아 지지판부(1210)측이 개구한 형상을 갖는다. 전동 모터(1242)는 프레임(1241)의 개구측의 측벽 외측에 설치되어 있다. 지지판 선회축(1243)의 제1단은, 프레임(1241)의 측벽(1241a)에 설치된 감속기(1244a)를 통하여, 전동 모터(1242)의 회전축에 연결되어 있다. 지지판 선회축(1243)의 제2단은, 반대측의 프레임(1241)의 측벽(1241b)에 설치된 베어링(1244b)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 지지판 선회축(1243)은 연결 기구(1245a, 1245b)에 의해 지지판부(1210)에 회전 불능하게 고정되어 있고, 전동 모터(1242)가 회전하면, 지지판 선회축(1243)의 회전과 함께 지지판부(1210)도 회전하도록 구성되어 있다. 또한, 감속기(1244a)를 생략하는 경우에는, 감속기(1244a) 대신 베어링에 의해, 지지판 선회축(1243)의 제1단을 회전 가능하게 지지한다.
지지판부(1210)는 선회 기구(1240)에 의해 지지판 선회축(1243)의 둘레에 회전됨으로써, 제1 자세(이 예에서는, 직립 자세)(도 23a)와, 제2 자세(이 예에서는, 수평 자세)(도 23b)의 2가지의 자세를 취하는 것이 가능하다. 또한, 수평 자세는, 장치 설치면에 대하여 수평이라는 의미이며, 직립 자세는, 장치 설치면에 대하여 수직이라는 의미이다. 직립 자세는, 수직 자세라 칭하는 경우도 있다. 수평 자세는, 후술하는 기판(S)의 백 플레이트(400)에의 설치에 지장이 없는 범위이면, 완전한 수평에 대하여 약간 어긋나도 된다. 직립 자세는, 후술하는 백 플레이트(400)의 프론트 플레이트(300)에의 설치에 지장이 없는 범위라면, 완전한 수직이 아니어도 된다. 이 의미에서, 수평 자세 및 직립 자세(수직 자세)를 각각, 대략 수평 자세, 대략 직립 자세(대략 수직 자세)라 칭하는 경우도 있다.
지지판부(1210)는 기판 홀더(1)의 백 플레이트(400)를 지지하는 지지면을 갖는 지지판(1210a)과, 지지판(1210a)의 지지면에 설치된 각종 장치를 구비하고 있다(도 23c, 도 23e, 도 23f). 각종 장치에 대하여 도 23e, 도 23f를 참조하여 설명한다.
도 23e, 도 23f에 도시한 바와 같이, 지지판(1210a)에는, 8개의 액추에이터(1211)와, 8개의 액추에이터(1212)와, 4개의 액추에이터(1213)와, 4개의 진공 장치(1214)와, 4개의 액추에이터(1215)와, 2개의 길이 방향의 수평 위치 결정 장치(1216)와, 2개의 짧은 방향의 수평 위치 결정 장치(1217)를 구비하고 있다. 복수의 액추에이터(1212)가 설치되는 것에 의해, 각 액추에이터의 압박력을 조정하여, 백 플레이트(400)를 균일하게 압박하는 것이 가능하다. 마찬가지로, 복수의 액추에이터(1213)가 설치되는 것에 의해, 각 액추에이터의 압박력을 조정하여, 백 플레이트(400)를 균일하게 압박하는 것이 가능하다. 또한, 액추에이터 및 진공 장치의 수는, 필요한 압박력 및/또는 흡착력에 따라서 최적의 수를 선택할 수 있다.
액추에이터(1211)는 도 14b에 있어서 상술한 액추에이터(AR2)에 대응하고 있다. 이 예에서는, 액추에이터(1211)는 지지판(1210a)의 배면측에 구동부(DRV)로서 에어 실린더를 갖고, 에어 실린더에 의해 구동되는 봉형 부재(로드)(RD)를 갖는다. 액추에이터(1211)는 버튼(470)을 압박하여, 클립(421)을 개방한다(도 14b). 또한, 실제로는, 도 23e, 도 23f에 도시하는 원형 영역의 대략 중심에 있어서, 로드(RD)가 지지판(1210a)의 배면측으로부터 전면측에 노출된다.
액추에이터(1212, 1213)는, 홀더 스테이션(1100)에 있어서 기판 홀더(1)를 백 플레이트(400)측으로부터 압박하여, 기판 홀더의 이너 시일(361), 아우터 시일(362)을 압축하기 위한 액추에이터이다. 액추에이터(1212, 1213)는, 액추에이터(1211)와 마찬가지로, 지지판(1210a)의 배면측에 에어 실린더에 의해 구동되는 로드를 갖는 구성이다. 또한, 실제로는, 도 23e, 도 23f에 도시하는 원형 영역의 대략 중심에 있어서, 액추에이터(1212)의 로드(RD)가 지지판(1210a)의 배면측으로부터 전면측에 노출된다.
액추에이터(1213)는 또한, 진공 이젝터나 베르누이 척 등의 흡착 척(또는 비접촉 척이라고도 한다)에 의해 백 플레이트(400)를 흡인하는 흡착 기구도 갖는다(도 27k 참조. 후술.). 액추에이터(1213)는 압박 및 흡착의 기능을 구비하여, 압입 흡착 기구로서 구성되어 있다. 이하의 설명에서는, 액추에이터(1213)를 압입 흡착 실린더(1213)라고도 칭한다.
진공 장치(1214)는 진공 이젝터 등을 사용한 진공 패드에 의해 백 플레이트(400)를 흡인, 흡착하는 장치이다. 진공 장치(1214)는 지지판(1210a)을 제2 자세(본 실시 형태에서는, 수평 상태)로 한 상태에서, 백 플레이트(400)의 흡인을 개시한다.
액추에이터(1215)는 도 10b에 있어서 상술한 액추에이터(AR1)에 대응하고 있다. 이 예에서는, 액추에이터(1215)는 구동부(DRV)로서 에어 실린더(1215b)를 갖고, 에어 실린더에 의해 구동되는 봉형 부재(RD)로서 로드(1215a)를 갖는다. 액추에이터(1215)는 지지판(1210a)의 각 변의 대략 중앙에 1개씩 설치되어 있다. 액추에이터(1215)는 레버(342)를 압박하여 클램프(340)를 개방한다(도 10a, 도 10b).
수평 위치 결정 장치(1216)는 에어 실린더로 구동되는 로드를 갖는 액추에이터이며, 지지판(1210a) 상에 배치된 백 플레이트(400)의 측면을 압박하여, 백 플레이트(400)의 지지판(1210a) 면 내에서의 위치 정렬을 행한다. 수평 위치 결정 장치(1216)는 지지판(1210a)의 1변(이 예에서는, 상변)의 2개소에 설치되어 있다.
수평 위치 결정 장치(1217)는 에어 실린더로 구동되는 로드를 갖는 액추에이터이며, 지지판(1210a) 상에 배치된 백 플레이트(400)의 측면을 압박하여, 백 플레이트(400)의 지지판(1210a) 면 내에서의 위치 정렬을 행한다. 수평 위치 결정 장치(1217)는 지지판(1210a)의 1변(이 예에서는, 우변)의 2개소에 설치되어 있다.
수평 위치 결정 장치(1216) 및 수평 위치 결정 장치(1217)는 지지판(1210a)의 인접하는 변에 각각 설치된다. 이 예에서는, 지지판(1210a)의 상변 및 하변은, 좌변 및 우변보다도 짧다. 따라서, 수평 위치 결정 장치(1216) 및 수평 위치 결정 장치(1217)는 각각, 짧은 변 및 긴 변에 각각 설치되어 있다고도 할 수 있다. 수평 위치 결정 장치(1216)는 짧은 변에 설치되고, 백 플레이트(400)를 긴 변을 따라서 압박하여, 길이 방향의 위치 결정을 행한다. 수평 위치 결정 장치(1217)는 긴 변에 설치되고, 백 플레이트(400)를 짧은 변을 따라서 압박하여, 짧은 방향의 위치 결정을 행한다.
(홀더 스테이션)
도 24a는, 홀더 스테이션의 사시도이다. 도 24b는, 홀더 스테이션의 정면도이다. 도 24c는, 홀더 스테이션의 평면도이다. 도 24d는, 홀더 스테이션의 측면도이다.
홀더 스테이션(1100)은 다리부(1111)와, 지주(1112)와, 하부 횡단판(1113)과, 상부 횡단판(1114)과, 플랜지(1115)와, 아암 받침부(1120)를 구비하고 있다. 2개의 다리부(1111)가 소정의 간격을 갖고서 베이스(1400) 상에 고정되어 있다. 하부 횡단판(1113)은 그 양단부의 근방에 있어서, 지주(112)와 함께 다리부(1111)의 상면에 각각 고정되어 있다. 2개의 지주(1112)의 각각은, 하부 횡단판(1113) 및 다리부(1111)에 예를 들어 볼트에 의해 고정되어 있다. 각 지주(1112)의 상부에는, 돌출부(1116)가 설치되어 있고, 돌출부(116) 및 지주(1112)의 상면에는, 플랜지(1115)가 설치되어 있다. 플랜지(1115) 상에는, 제1 설치 부재(1117)가 배치되고, 볼트 등에 의해 플랜지(1115) 및 상부 횡단판(1114)에 고정되어 있다. 상부 횡단판(1114)의 양단은, 플랜지(1115)의 하면에 고정되어 있다. 제1 설치 부재(1117) 상에는, 아암 받침부(1120)가 제2 설치 부재(1118)에 의해 설치되어 있다. 아암 받침부(1120)는 기판 홀더(1)의 아암부(330)의 각 단부가 삽입되는 오목부(1120a)를 갖고 있다. 또한, 커넥터(331)가 설치된 아암부(330)가 삽입되는 오목부(1120a) 내에는, 후술하는 통전 확인 장치(1121)가 배치되어 있다. 상부 횡단판(1114)은 각 지주(1112)의 상부를 서로 연결하고 있다.
도 25a는, 위치 결정 핀이 수납된 상태에 있어서의, 홀더 스테이션의 아암 받침부의 확대 사시도이다. 도 25b는, 위치 결정 핀이 돌출된 상태에 있어서의, 홀더 스테이션의 아암 받침부의 확대 사시도이다. 도 25c는, 기판 홀더의 아암부가 배치된 상태에 있어서의, 홀더 스테이션의 아암 받침부의 확대 사시도이다.
아암 받침부(1120)에는, 기판 홀더(1)의 아암부(330)를 받아들이기 위한 오목부(1120a)가 설치되어 있다. 오목부(1120a)의 외측에는, 오목부(1120a)와 연속하여 오목부(1120a)보다도 폭이 좁은 오목부(1120b)가 형성되어 있다. 이 오목부(1120b)의 저면에는, 핀 구멍(1122)이 형성되어 있다. 핀 구멍(1122) 내에는, 위치 결정 핀(1123)이 수납되어 있고, 전동 모터, 에어 실린더 등의 동력 기구(1123a)(도 26f)에 의해, 핀 구멍(1122)으로부터 돌출된 위치(도 25b)와, 핀 구멍(1122) 내부에 수납된 위치(도 25a)의 2개의 위치를 취하는 것이 가능하다.
아암 받침부(1120)의 오목부(1120a) 내에는, 통전 확인 장치(1121)가 배치되어 있다. 또한, 기판 홀더(1)의 아암부(330)의 단부 중, 커넥터(331)가 없는 측의 아암 받침부(1120)에는, 통전 확인 장치(1121)는 설치되지 않는다.
홀더 스테이션(1100)에 기판 홀더(1)가 받아들여지기 전에는, 도 25a에 도시한 바와 같이, 위치 결정 핀(1123)은 핀 구멍(1122) 내에 수납된 상태에 있다. 홀더 스테이션(1100)에 기판 홀더(1)를 받아들이는 때에는, 위치 결정 핀(1123)이 핀 구멍(1122)으로부터 돌출된 위치로 이동된다(도 25b). 그 후, 도시하지 않은 트랜스포터에 의해 기판 홀더(1)의 아암부(330)가 아암 받침부(1120)에 적재되면, 아암부(330)에 일체 또는 별체로 설치된 위치 결편(332)의 위치 결정 구멍(332a)에 위치 결정 핀(1123)이 삽입된다. 이에 의해, 아암부(330)가 아암 받침부(1120)에 대하여 위치 결정되고, 기판 홀더(1)가 홀더 스테이션(110)에 위치 결정된다.
(서포트 장치)
도 26a는, 서포트 장치의 사시도이다. 도 26b는, 서포트 장치의 정면도이다. 도 26c는, 서포트 장치의 평면도이다. 도 26d는, 서포트 장치의 측면도이다. 도 26e는, 서포트 장치의 후방 사시도이다. 도 26f는, 서포트 장치의 배면도이다.
서포트 장치(300)는 베이스(1301)와, 2개의 지주(1302)와, 상부 횡단 빔(1303)과, 본체 패널(1310)과, 지지판(1320)을 구비하고 있다. 베이스(1301)는 상술한 베이스(1400) 상에 고정된다. 2개의 지주(1302)는 소정의 간격을 갖고 베이스(1301) 상에 고정되어 있다. 상부 횡단 빔(1303)은 2개의 지주(1302)의 상부에 고정되어 있다.
지지판(1320)은 복수의 로드(1321)와, 복수의 보강 로드(1322)에 의해, 본체 패널(1310)에 대하여 접근 및 이격하는 방향으로 왕복 이동 가능하도록 구성되어 있다.
3개의 로드(1321)가 지지판(1320)의 좌우 방향 중심부에 있어서 상하 방향으로 균등하게 배치되어 있다(도 26a). 또한, 도 26a에서는, 상하 방향 중앙 및 하부의 로드(1321)는 지지판(1320)에 숨겨져 있다. 상하 방향 중앙의 로드(1321)는 도 26e에 도시하는 에어 실린더(1321b)의 로드부이다. 에어 실린더(1321b)는, 본체 패널(1310)의 배면측으로부터 전면측에 로드(1321)를 관통시키도록, 본체 패널(1310)의 배면에 고정되어 있다. 상하 2개의 로드(1321)는 본체 패널(1310)에 설치된 관통 구멍을 통하여, 본체 패널(1310)의 배면측에 안내되어 있고(도 26e), 본체 패널(1310)에 대하여 미끄럼 이동 가능하게 되어 있다. 이들 상하의 로드(1321)의 전방측 단부는, 지지판(1320)의 배면에 볼트 등의 체결 부재로 고정되어 있다(도 26c). 중앙의 로드(1321)는 본체 패널(1310)에 설치된 관통 구멍을 통하여, 본체 패널(1310)의 배면측에 배치된 에어 실린더(1321b)(도 26c, 도 26e)의 실린더부에 접속되어 있다. 이 중앙의 로드(1321)의 전방측 단부도, 지지판(1320)의 배면에 볼트 등의 체결 부재로 고정되어 있다. 따라서, 에어 실린더(1321b)의 구동에 의해 중앙의 로드(1321)가 전진하면, 지지판(1320)도 전진한다. 또한, 에어 실린더(1321b)의 구동에 의해 중앙의 로드(1321)가 후퇴하면, 지지판(1320)도 후퇴한다. 상하의 로드(1321)는 중앙의 로드(1321)에 의한 지지판(1320)의 전진 및 후퇴에 수반하여, 전진 및 후퇴하여, 지지판(1320)의 이동을 안내하는 기능을 행한다.
보강 로드(1322)는 본체 패널(1310)의 후방측에 배치된 각 에어 실린더(1322b)(도 26c)의 로드부이다. 보강 로드(1322)는 에어 실린더(1322b)의 실린더부에 접속되어 있다. 이 예에서는, 도 26e에 도시한 바와 같이, 지지판(1320)의 주연부를 따라서 14개의 에어 실린더(1322b)가 배치되어 있고, 보강 로드(1322)도 에어 실린더(1322b)의 위치에 대응하여 배치되어 있다. 보강 로드(1322)의 전방측 단부에는 플랜지 부재(1322a)가 비틀어 넣어 고정되어 있고(도 26c, 도 26e), 플랜지 부재(1322a)의 단부면에서 지지판(1320)의 배면을 압박하도록 구성되어 있다. 보강 로드(1322)는 플랜지 부재(1322a)의 단부면에서 지지판(1320)의 배면을 전면측을 향하여 압박한다. 보강 로드(1322)는 로드(1321)에 의한 지지판(1320)의 지지를 보조하는 기능을 갖는다.
또한, 지지판(1320)의 4코너의 근방에는, 고정 장치(1323)가 설치되어 있다(도 26a 내지 도 26d, 도 27g 내지 도 27i). 도 27g 내지 도 27i에 도시한 바와 같이, 고정 장치(1323)는 누름 부재(1323a)와, 누름 부재(1323a)가 제1단에 설치된 로드(1323b)와, 로드(1323b)의 제2단에 접속된 에어 실린더(1323c)를 구비하고 있다. 누름 부재(1323a)는 프론트 플레이트(300)의 배면에 맞닿는 누름부(1323d)를 갖는다(도 27g). 여기서, 에어 실린더(1323c)는 로터리 클램프형의 장치이다. 에어 실린더(1323c)는 로드(1323b) 및 누름 부재(1323a)를 돌출 방향으로 스트로크시키면서 회전하고(도 27g부터 도 27h), 로드(1323b) 및 누름 부재(1323a)를 90° 회전시킨 상태에서 후퇴 방향으로 스트로크시켜서, 누름부(1323d)로 프론트 플레이트(300)를 압박한다(도 27i).
(기판 착탈 장치의 동작 플로우)
도 27a 내지 도 27x는, 기판 착탈 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 도 27a는, 기판 홀더를 받아들이기 전의 기판 착탈 장치의 사시도이다. 도 27b는, 기판 홀더를 받아들인 후의 기판 착탈 장치의 사시도이다. 도 27c는, 서포트 장치가 기판 홀더를 지지, 고정했을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27d는, 지지판이 후퇴한 상태에 있어서의 서포트 장치의 사시도이다. 도 27e는, 지지판이 전진한 상태에 있어서의 서포트 장치의 사시도이다. 도 27f는, 지지판이 추가로 보조 로드로 지지된 상태에 있어서의 서포트 장치의 사시도이다. 도 27g는, 구동 전의 고정 장치의 사시도이다. 도 27h는, 누름 부재 회전 시의 고정 장치의 사시도이다. 도 27i는, 로드 후퇴 시의 고정 장치의 사시도이다. 도 27j는, 선회 장치의 지지판으로 기판 홀더를 밀어붙여서, 흡착했을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27k는, 압입 흡착 실린더의 단면도이다. 도 27l은, 백 플레이트를 고정하는 클램프를 해제하는 것을 설명하는 기판 착탈 장치의 일부 확대도이다. 도 27m은, 선회 장치에 의해 백 플레이트를 제거했을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27n은, 선회 장치를 제2 자세로 선회시켰을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27o는, 수평 위치 결정 장치의 구성을 설명하기 위한 선회 장치의 지지판의 정면도이다. 도 27p는, 제2 자세에 있어서의 선회 장치의 지지판부의 사시도이다. 도 27q는, 기판 제거 시의 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27r은, 기판 설치 시의 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27s는, 제2 자세로부터 제1 자세로 복귀되었을 때의 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27t는, 선회 장치가 백 플레이트를 홀더 스테이션의 프론트 플레이트에 밀어부쳤을 때의, 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27u는, 작동 전의 통전 확인 장치의 단면도이다. 도 27v는, 작동 후의 통전 확인 장치의 단면도이다. 도 27w는, 선회 장치가 퇴피 위치로 후퇴했을 때의, 기판 착탈 장치의 측면도이다. 도 27x는, 서포트 장치의 지지판이 후퇴했을 때의, 기판 착탈 장치의 측면도이다.
도 27a부터 도 27b에 도시한 바와 같이, 기판 착탈 장치(1000)의 홀더 스테이션(1100)에 기판 홀더(1)가 설치된다. 이때, 기판 홀더(1)는 프론트 플레이트(300)가 서포트 장치(1300)측으로 향하고, 백 플레이트(400)가 선회 장치(1200)측을 향하도록, 홀더 스테이션(1100)에 설치된다. 또한, 선회 장치(1200)는 홀더 스테이션(1100)으로부터 후퇴한 대기 위치에 있고, 서포트 장치(1300)의 지지판(1320)은 홀더 스테이션(1100)으로부터 후퇴한 퇴피 위치에 있다.
기판 홀더(1)의 설치 동작의 상세는, 이하와 같다. 우선, 홀더 스테이션(1100)의 위치 결정 핀(1123)이 상승한다(도 25b). 그 후, 도시하지 않은 트랜스포터가 기판 홀더(1)를 홀더 스테이션(1100)에 둔다. 이때, 기판 홀더(1)의 아암부(330)의 양단이, 홀더 스테이션(1100)의 각 아암 받침부(1120)의 오목부(1120a, 1120b)에 받아들여지고, 아암부(330)의 위치 결정 구멍(332a)에 위치 결정 핀(1123)이 걸림 결합하고, 기판 홀더(1)가 홀더 스테이션(1100)에 위치 결정된다(도 25c). 그 후, 위치 결정 핀(1123)이 하강한다(도 25a).
이어서, 서포트 장치(1300)의 지지판(1320)에 의한 기판 홀더(1)의 지지 및 고정이 행하여진다(도 27c). 우선, 서포트 장치(1300)의 지지판(1320)이 후퇴한 퇴피 위치(도 27d)로부터, 서포트 장치(1300)의 에어 실린더(1321b)(도 26e, 도 26f)를 구동하고, 지지판(1320)을 기판 홀더(1)의 프론트 플레이트(300)에 맞닿게 한다(도 27c, 도 27e). 또한, 서포트 장치(1300)의 에어 실린더(1322b)(도 26e, 도 26f)를 구동하고, 보강 로드(1322)에 의해 지지판(1320)을 추가로 지지한다(도 27f). 또한, 지지판(1320)의 네 코너 근방에 설치된 고정 장치(1323)에 의해, 기판 홀더(1)의 프론트 플레이트(300)를 배면측으로부터 지지판(1320)을 향하여 압박하여, 고정 장치(1323)에 의해 프론트 플레이트(300)를 지지판(1320)에 고정한다(도 27g, 도 27h, 도 27i).
이어서, 선회 장치(1200)를 기판 홀더(1)의 밀어부침 위치로 이동시켜, 기판 홀더(1)의 백 플레이트(400)의 밀어부침, 흡착을 행한다(도 27j). 우선, 선회 장치(1200)의 직동 기구(1260)를 구동시켜서, 선회 장치(1200)를 대기 위치로부터 밀어부침 위치까지, 홀더 스테이션(1100)에 접근하는 방향으로 이동시킨다. 이때, 선회 장치(1200)의 지지판(1210a)이 홀더 스테이션(1100)에 지지된 기판 홀더(1)의 백 플레이트(400)에 맞닿는다. 이 상태에서, 선회 장치(1200)의 직동 기구(1260)의 전자기 브레이크가 작동되어, 선회 장치(1200)의 위치가 고정된다. 그 후, 선회 장치(1200)의 액추에이터(1212)를 작동하여, 기판 홀더(1)를 서포트 장치(1300)의 지지판(1320)에 밀어붙여서, 기판 홀더(1)의 시일(361, 362)을 압축한다. 이어서, 선회 장치(1200)의 압입 흡착 실린더(1213)의 액추에이터(도 27k의 피스톤(1213e), 로드(1213b))를 작동시켜서, 압입 흡착 실린더(1213)에 의해 기판 홀더(1)를 서포트 장치(1300)의 지지판(1320)을 향하여 밀어붙여서, 기판 홀더(1)의 시일(361, 362)을 더 압축한다. 그 후, 압입 흡착 실린더(1213)의 흡인 기구(도 27k의 흡인 통로(1213h))를 작동시켜, 압입 흡착 실린더(1213)에 의해 백 플레이트(400)를 흡착한다.
압입 흡착 실린더(1213)는 도 27k에 도시한 바와 같이, 로드(1213b)와, 로드(1213b)의 기단부에 연결된 피스톤(1213e)과, 로드(1213b)의 선단부에 연결된 흡반(1213a)을 구비하고 있다. 로드(1213b)의 선단면에는, 개구부(1213c)가 개구하고 있고, 개구부(1213c)는 로드(1213b) 내의 통로(1213d)를 통하여 흡인 통로(1213h)에 접속되어 있다. 로드(1213b)는 다이어프램(1213j)을 통하여 지지판(1210a)에 설치되어 있다. 흡인 통로(1213h)는 피스톤(1213e)의 내강을 길이 방향으로 관통하여 연장되어 있다.
피스톤(1213e)은 에어 챔버(1213i) 내에 배치되어 있고, 에어 챔버(1213i) 내를 2실로 구획하고 있다. 에어 챔버(1213i) 내의 각 실에는 배관(1213g)이 접속되어 있고, 각 배관(1213g)을 통하여 각 실에 에어를 공급 및 각 실의 에어를 배출함으로써, 피스톤(1213e)이 길이 방향으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다(도 27k의 상측도, 하측도). 다이어프램(1213j)은 로드(1213b)를 후퇴 방향(지지판(1210a)의 배면측)에 가압하여, 피스톤(1213e)에 의한 로드(1213b)의 이동을 완충한다. 피스톤(1213e) 및 에어 챔버(1213i)는 에어 실린더를 구성한다. 에어 실린더에 의해, 피스톤(1213e) 및 로드(1213b)가 전진하고, 흡반(1213a)에 의해 기판 홀더(1)의 백 플레이트(400)를 압박한다(도 27k의 하측도의 상태).
또한, 도 27k의 상측도 또는 하측도의 상태에서, 진공 이젝터를 사용한 진공압에 의해, 백 플레이트(400)를 흡착하도록 된다. 즉, 흡인 통로(1213h)를 통하여 흡반(1213a) 측의 에어를 흡인하고, 백 플레이트(400)를 흡반(1213a)에 흡착한다. 또는, 흡인 통로(1213h)로부터 흡반(1213a)을 향해서 에어가 공급되고, 흡반(1213a)과 백 플레이트(400) 사이의 간극으로부터 누출되는 에어에 의해 흡반(1213a) 내에 부압이 발생되고, 이 부압에 의해 백 플레이트(400)가 비접촉으로 흡반(1213a)에 대하여 흡착시키도록 구성해도 된다.
그 후, 선회 장치(1200)의 액추에이터(1215)에 의해 백 플레이트(400)의 레버(342)를 압박하여 클램프(340)를 개방하여, 백 플레이트(400)로부터 클램프(340)를 개방한 상태로 한다(도 27l). 이 동작은, 도 10a, 도 10b의 액추에이터(AR1)에 의한 동작에 대응한다. 또한, 도 27l에서는, 선회 장치(1200)의 지지판(1210a)이 백 플레이트(400)로부터 이격되어 있는 상태를 나타내고 있지만, 실제로는, 선회 장치(1200)의 지지판(1210a)이 백 플레이트(400)에 맞닿아 있는 상태에서 액추에이터(1215)가 작동된다.
그 후, 압입 흡착 실린더(1213)의 압박력이 저하되어져서 압입 흡착 실린더(1213)에 의한 시일의 압박이 해제되어, 액추에이터(1212)의 로드가 후퇴되어서 액추에이터(1212)에 의한 시일의 압박도 해제된다. 이때, 압입 흡착 실린더(1213)에 의한 백 플레이트(400)의 흡인은 계속되고 있고, 백 플레이트(400)는 압입 흡착 실린더(1213)에 흡착된 상태에 있다. 이어서, 선회 장치(1200)의 전자기 브레이크를 해제하여, 직동 기구(1260)를 구동하고, 선회 장치(1200)를 밀어부침 위치로부터 클램프 개폐 위치로 이동시킨다. 이때, 백 플레이트(400)가 선회 장치(1200)에 흡착된 상태에서, 프론트 플레이트(300)로부터 이격한다. 클램프 개폐 위치는, 백 플레이트(400)가 클램프(340)의 개폐 동작의 범위(가동 범위)보다도 프론트 플레이트(300)로부터 이격된 위치이다. 이 상태에서, 액추에이터(1215)의 로드(1215a)를 후퇴시켜서 레버(342)에의 압박을 해제하면, 클램프(340)가 폐쇄된다. 이때, 백 플레이트(400)는 이미 클램프(340)의 개폐 동작의 범위로부터 이격되어 있으므로, 클램프(340)는 백 플레이트(400)에 걸림 결합하지 않고, 폐쇄 상태로 된다.
이어서, 선회 장치(1200)를 추가로 클램프 개폐 위치로부터 선회 위치로 후퇴시킨다(도 27m). 선회 위치는, 선회 장치(1200)의 지지판부(1210)의 선회 시(도 23a의 자세와 도 23b의 자세 사이의 선회 시)에, 지지판부(1210)가 홀더 스테이션(1100)과 간섭하지 않도록, 홀더 스테이션(1100)으로부터 충분히 떨어진 선회 장치(1200)의 위치이다.
그리고, 선회 장치(1200)의 지지판부(1210)를 제1 자세(직립 자세)로부터 제2 자세(수평 자세)로 선회시킨다(도 27n). 선회 장치(1200)의 전동 모터(1242)를 구동시켜, 지지판부(1210)를 직립 자세로부터 수평 자세로 선회시킨다. 또한, 선회 장치(1200)를 추가로 선회 위치로부터 기판 전달 위치까지 이동시킨다. 또한, 기판 전달 위치는, 도시하지 않은 반송 로봇으로부터 선회 장치(1200)가 기판을 수취하기에 적합한 위치이며, 선회 위치로부터 소정의 거리만큼 전진한 위치로 할 수 있다. 또한, 기판 전달 위치는, 선회 위치와 동일 위치로 할 수도 있다. 이 경우, 선회 장치(1200)를 선회 위치(기판 전달 위치)에 정지한 상태에서 기판을 수취한다.
이어서, 압입 흡착 실린더(1213)에 의한 흡인을 정지하고, 압입 흡착 실린더(1213)의 흡반(1213a)을 후퇴시킨다. 또한, 도 27o에 도시한 바와 같이, 수평 위치 결정 장치(1216, 1217)의 에어 실린더(1216b, 1217b)를 작동시켜서 로드(1216a, 1217a)를 돌출시키고, 백 플레이트(400)를 지지판(1210a)의 면 내에서 위치 결정한다. 그리고, 도 27p에 도시하는 진공 장치(1214)를 작동시켜, 백 플레이트(400)를 지지판(1210a)에 흡착시킨다. 또한, 액추에이터(1211)(AR2)를 작동시켜, 도 14b에 도시한 바와 같이, 백 플레이트(400)의 클립(421)을 개방하여, 백 플레이트(400)로부터 기판(S)을 개방한다.
이어서, 도시하지 않은 반송 로봇에 의해, 백 플레이트(400)로부터 기판(S)을 제거한다(도 27q). 액추에이터(1211)(AR2)의 작동이 계속하고, 기판(S)으로부터 클립(421)이 개방된 상태에서, 도시하지 않은 반송 로봇이 기판(S)을 백 플레이트(400)로부터 제거한다. 이때, 제거되는 것은, 예를 들어, 기판 처리(예를 들어, 도금 처리) 후의 기판(S)이다.
이어서, 백 플레이트(400)에 다른 기판(S)을 설치한다(도 27r). 액추에이터(1211)(AR2)의 작동이 계속하고, 기판(S)으로부터 클립(421)이 개방된 상태에서, 도시하지 않은 반송 로봇이, 별도의 기판(S)을 백 플레이트(400)에 적재한다. 별도의 기판(S)은, 예를 들어, 기판 처리(예를 들어, 도금 처리) 전의 기판(S)이다. 그 후, 액추에이터(1211)의 작동을 정지하고, 클립(421)을 폐쇄 위치로 복귀시킨다. 이에 의해, 새로운 기판(S)이 클립(421)에 의해 고정된다. 또한, 수평 위치 결정 장치(1216, 1217)의 로드(1216a), 로드(1217a)를 퇴피시킨다. 그리고, 선회 장치(1200)를 기판 전달 위치로부터 선회 위치까지 이동시킨다(또한, 기판 전달 위치와 선회 위치가 동일한 경우에는, 이 이동은 불필요하다).
선회 위치에 있어서, 선회 장치(1200)의 지지판부(1210)를 제2 자세(수평 자세)로부터 제1 자세(직립 자세)로 선회시킨다(도 27s).
이어서, 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(500)에 클램프(340)로 고정한다(도 27t). 우선, 선회 장치(1200)를 선회 위치로부터 클램프 개폐 위치까지 전진시킨다. 이때, 선회 장치(1200)에 보유 지지된 백 플레이트(400)는 프론트 플레이트(300)의 클램프(340)의 가동 범위 외에 존재한다. 이 위치로부터, 액추에이터(1215)를 작동시켜, 프론트 플레이트(300)의 레버(342)를 압박하여, 클램프(340)를 개방한다. 그 후, 선회 장치(1200)를 클램프 개폐 위치로부터 밀어부침 위치(클램프(340)의 가동 범위에 있는)까지 전진시킨다. 이때, 선회 장치(1200)에 보유 지지된 백 플레이트(400)는 클램프(340)에 간섭하지 않고, 프론트 플레이트(300)에 맞닿고, 압박된다. 그리고, 선회 장치(1200)의 진공 장치(1214)의 작동이 정지된다. 이때, 백 플레이트(400)는 선회 장치(1200)에 의해 프론트 플레이트(300)에 밀어붙여져서, 프론트 플레이트(300)의 위치 결정 핀(390)이 백 플레이트(400)의 블록(490)에 감합하여 보유 지지되기 때문에, 진공 장치(1214)의 작동이 정지되어도 백 플레이트(400)가 낙하할 일은 없다. 이어서, 선회 장치(1200)의 전자기 브레이크가 작동된다. 이어서, 선회 장치(1200)의 액추에이터(1212)를 작동시켜서, 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)에 대하여 압박하여, 기판 홀더(1)의 시일(361, 362)을 압축한다. 또한, 압입 흡착 실린더(1213)의 에어 실린더를 작동시켜, 흡반(1213a)으로 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)에 대하여 압박하여, 기판 홀더(1)의 시일(361, 362)을 더 압축한다. 이 상태에서, 액추에이터(1215)의 로드를 퇴피시켜, 클램프(340)를 폐쇄하고, 클램프(340)로 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)에 대하여 고정한다. 그 후, 액추에이터(1212)에 의한 백 플레이트(400)의 압박을 해제하고, 또한, 압입 흡착 실린더(1213)의 흡반(1213a)을 백 플레이트(400)로부터 퇴피시켜, 압입 흡착 실린더(1213)에 의한 백 플레이트(400)의 압박을 해제한다.
(통전 확인 처리)
또한, 기판 홀더(1)의 통전 확인이 실시된다(도 27u, 도 27v). 홀더 스테이션(1100)의 아암 받침부(1120)의 내부에는, 도 27u, 도 27v에 도시하는 통전 확인 장치(1121)가 설치되어 있다. 통전 확인 장치(1121)는 커넥터측 접점쌍(1121a)과, 커넥터측 접점쌍(1121a)의 하방에 배치된 실린더측 접점쌍(1121b)과, 실린더측 접점쌍(1121b)이 고정되는 통전 실린더(1121c)를 구비하고 있다. 통전 실린더(1121c)는 도시하지 않은 구동 수단에 의해 상하 방향으로 이동 가능하다.
도 28은, 커넥터의 접점과, 통전 확인 장치의 접점의 대응 관계를 도시하는 설명도이다.
도 28에 있어서, 제1측 및 제2측은, 각각, 도 27u, 도 27v에 있어서의 좌우에 대응한다. 제1쌍부터 제3쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a) 및 실린더측 접점쌍(1121b)이 설치되어 있다. 도 27u, 도 27v에서는, 제1쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a) 및 실린더측 접점쌍(1121b)이 도시되어 있다. 제2쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a) 및 실린더측 접점쌍(1121b), 및 제3쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a) 및 실린더측 접점쌍(1121b)은, 도 27u, 도 27v의 지면의 안쪽에, 이 순서로 배치되어 있다.
도 28에 도시한 바와 같이, 제1쌍의 실린더측 접점쌍(1121b)은, 제1쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a)에 대응하고, 제1쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a)은 기판 홀더(1)의 커넥터(331)의 제1쌍의 외부 접속 접점쌍(331a)에 대응하고 있다. 기판 홀더(1)의 커넥터(331)의 제1쌍의 외부 접속 접점쌍(331a) 중, 제1측의 외부 접속 접점(331a1)은, 도 17에 도시하는 케이블(L17, L18, L1)(콘택트 영역(C17, C18, C1))에 전기적으로 접속되어 있다. 제2측의 외부 접속 접점(331a2)은, 케이블(L8, L9, L10)(콘택트 영역(C8, C9, C10))에 전기적으로 접속되어 있다.
마찬가지로, 도 28에 있어서, 제2쌍의 실린더측 접점쌍(1121b)은, 제2쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a)에 대응하고, 제2쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a)은 기판 홀더(1)의 커넥터(331)의 제2쌍의 외부 접속 접점쌍(331a)에 대응하고 있다. 기판 홀더(1)의 커넥터(331)의 제2쌍의 외부 접속 접점쌍(331a) 중, 제1측의 외부 접속 접점(331a1)은, 케이블(L2, L3, L4)(콘택트 영역(C2, C3, C4))에 전기적으로 접속되어 있다. 제2측의 외부 접속 접점(331a2)은, 케이블(L11, L12, L13)(콘택트 영역(C11, C12, C13))에 전기적으로 접속되어 있다.
마찬가지로, 도 28에 있어서, 제3쌍의 실린더측 접점쌍(1121b)은, 제3쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a)에 대응하고, 제3쌍의 커넥터측 접점쌍(1121a)은 기판 홀더(1)의 커넥터(331)의 제3쌍의 외부 접속 접점쌍(331a)에 대응하고 있다. 기판 홀더(1)의 커넥터(331)의 제3쌍의 외부 접속 접점쌍(331a) 중, 제1측의 외부 접속 접점(331a1)은, 케이블(L5, L6, L7)(콘택트 영역(C5, C6, C7))에 전기적으로 접속되어 있다. 제2측의 외부 접속 접점(331a2)은, 케이블(L14, L15, L16)(콘택트 영역(C14, C15, C16))에 전기적으로 접속되어 있다.
여기에서는, 커넥터측 접점쌍(1121a) 및 실린더측 접점쌍(1121b)을 상하에 배치하고, 통전 실린더(1121c)를 상하 이동시키지만, 커넥터측 접점쌍(1121a) 및 실린더측 접점쌍(1121b)을 수평 방향으로 배열하고, 통전 실린더(1121c)를 수평 이동시켜도 된다.
통전 확인 장치(1121)는 비작동 시에는, 도 27u에 도시한 바와 같이, 통전 실린더(1121c)가 하방에 위치하고, 실린더측 접점쌍(1121b)이 콘택트측 접점쌍(1121a)으로부터 이격되어 있다. 기판 홀더(1)의 아암부(330)의 커넥터(331)가 홀더 스테이션(1100)의 아암 받침부(1120)에 적재되었을 때, 도 27u에 도시한 바와 같이, 커넥터(331)의 제1 내지 제3쌍의 외부 접속 접점쌍(331a(331a1, 331a2))이 각각, 제1 내지 제3 콘택트측 접점쌍(1121a(1121a1, 1121a2))에 접촉한다(도 28의 화살표 A1).
이 상태에서, 통전 확인 장치(1121)를 작동시킨다. 우선, 도 27v에 도시한 바와 같이, 통전 실린더(1121c)를 상승시키고, 실린더측 접점쌍(1121b)의 각 접점(1121b1, 1121b2)을 콘택트측 접점쌍(1121a)의 각 접점(1121a1, 1121a2)에 접촉시킨다(도 28의 화살표 A2). 그리고, 실린더측 접점쌍(1121b)의 제1 및 제2측의 접점(1121b1, 1121b2) 간에 소정의 검사 전압 V0을 가하면, 제1쌍에 있어서, 실린더측 접점쌍(1121b)의 제1측의 접점(1121b1)으로부터, 콘택트측 접점쌍(1121a)의 제1측의 접점(1121a1), 커넥터(331)의 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1측의 외부 접속 접점(331a1), 케이블(L17, L18, L1), 콘택트 영역(C17, C18, C1)의 콘택트(370), 기판(S), 콘택트 영역(C8, C9, C10)의 콘택트(370), 케이블(L8, L9, L10), 커넥터(331)의 외부 접속 접점쌍(331a)의 제2측의 외부 접속 접점(331a2), 커넥터측 접점쌍(1121a)의 제2측의 접점(1121a2), 실린더측 접점쌍(1121b)의 제2측의 접점(1121b2)으로 복귀되는 전류 루프가 형성된다. 제2 및 제3쌍에 있어서도 동일한 전류 루프가 형성된다.
그리고, 각 쌍에 있어서, 제1측과 제2측 사이의 전류 루프에 흐르는 전류를 측정하여, 각 쌍에 있어서의 외부 접속 접점(331a)의 제1측 및 제2측의 접점(331a1, 331a2) 간의 저항값이 산출된다. 이때, 제1 내지 제3쌍에 있어서의 외부 접속 접점(331a)의 제1측 및 제2측의 접점(331a1, 331a2) 간의 저항값이, 소정값 이하 또한 소정의 범위 내이면, 기판 홀더(1)의 전기 계통, 및 기판(S)의 전기적 특성이 정상적이라고 판단할 수 있다. 제1 내지 제3쌍에 있어서의 외부 접속 접점(331a)의 제1측 및 제2측의 접점(331a1, 331a2) 간의 저항값이 상기 조건을 만족하지 않는 경우에는, 기판 홀더(1)의 커넥터(331), 케이블(L), 콘택트(370)의 사이의 어딘가에 전기적인 결함이 존재하거나, 기판(S) 표면의 전기적 특성에 결함이 있거나, 또는, 기판 홀더(1)에의 기판(S)의 설치에 문제가 있다고 판단할 수 있다. 통전 확인 동작에 문제가 없으면, 통전 실린더(1121c)를 하강시킨다. 또한, 통전 확인 동작에 문제가 있는 경우에는, 기판 홀더(1)로부터 기판을 제거하여 다른 기판으로 교환하거나, 기판 홀더(1) 자체를 그 후의 처리로부터 제외한다.
그 후, 선회 장치(1200)의 전자기 브레이크를 해제하고, 선회 장치(1200)를 밀어부침 위치로부터 선회 위치로 후퇴시킨다(도 27w).
또한, 서포트 장치(1300)의 지지판(1320)을 홀더 스테이션(1100)으로부터 퇴피시킨다(도 27x). 우선, 서포트 장치(1300)의 고정 장치(1323)에 의한 기판 홀더(1)(프론트 플레이트(300))의 고정을 도 27g 내지 도 27i의 수순과 역의 수순으로 해제한다. 이어서, 서포트 장치(1300)의 보강 로드(1322)를 지지판(1320)으로부터 퇴피시킨다. 그리고, 로드(1321)를 후퇴시킴으로써, 지지판(1320)이 본체 패널(1310)측으로 후퇴된다.
이어서, 홀더 스테이션(1100)의 위치 결정 핀(1123)을 상승시키고, 위치 결정 핀(1123)을 기판 홀더(1)의 아암부(330)의 위치 결정 구멍(332a)에 걸림 결합시킨다. 그 후, 도시하지 않은 트랜스포트가 기판 홀더(1)를 취출한다.
또한, 하늘의 기판 홀더(1)에 기판을 설치하는 경우에는, 도 27q의 기판의 제거 처리는 생략된다. 또한, 기판 처리 종료 시에, 기판 홀더(1)를 빈 상태에서 스토커로 복귀시키는 경우에는, 도 27r의 기판의 설치 처리는 생략된다.
(실시 형태의 작용 효과)
본 실시 형태에 따른 기판 홀더(1)에 의하면, 프론트 플레이트 본체(310)의 면에 평행인 축의 둘레에 회전 가능한 또는 프론트 플레이트 본체(310)의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프(340)에 의해, 기판을 끼움 지지하는 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400)를 서로 고정하기 위해서, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지는 것을 억제 내지 방지할 수 있다. 기판이 대형이며 얇은 경우에는, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지면 기판에 휨을 발생시킬 우려가 있지만, 이 기판 홀더(1)에 의하면, 대형이며 얇은 기판을 보유 지지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다.
또한, 클램프(340)가 노멀 클로즈형이기 때문에, 백 플레이트 본체(410)가 프론트 플레이트 본체(310)에 맞닿을 때 클램프를 개방하면, 클램프한 상태에서는 액추에이터 등에 의해 외부로부터 힘을 가할 필요가 없어, 에너지 소비를 억제할 수 있다.
또한, 백 플레이트(400)를 복수의 개소에서 클램프(340)에 의해 끼움 지지하는 것이 가능하고, 또한, 연결 부재(회전축(341))에 의해 각 클램프(340)의 동작이 동기되므로, 클램프 동작을 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 외부로부터 힘을 가하는 액추에이터(AR1)의 구성을 간이하게 할 수 있다. 레버(342)가 외부의 제1 액추에이터(AR1)로부터 힘을 받아서 회전축(341)을 통하여 각 클램프(340)를 동작시킬 수 있으므로, 클램프(340)에 의한 고정을 자동화하는 것이 용이하다.
또한, 백 플레이트(400)에, 클램프(340)의 걸림 결합부(340a)를 받아들이는 형상의 걸림 결합 받이부(430)를 설치함으로써, 클램프에 의한 걸림 결합을 향상시킬 수 있다. 별체의 걸림 결합 받이부(430)를 백 플레이트 본체(410)에 설치하는 구성으로 함으로써, 걸림 결합 받이부(430)의 치수, 형상, 개수 등을 적절히 선택하는 것이 용이해진다.
또한, 백 플레이트 본체(410)의 면에 평행인 축(424)의 둘레에 회전 가능한 또는 백 플레이트 본체(410)의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클립(421)에 의해, 기판을 백 플레이트(400)에 고정하기 위해서, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지는 것을 억제 내지 방지할 수 있다. 기판이 대형이며 얇은 경우에는, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지면 기판에 휨을 발생할 우려가 있지만, 이 기판 홀더에 의하면, 대형이며 얇은 기판을 보유 지지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다. 또한, 클립(421)이 기판의 면에 수직인 방향으로 이동하기 때문에, 얇은 기판의 휨 및 기판의 두께의 차이에도 대응 가능하다.
클립(421)이 노멀 클로즈형이기 때문에, 기판이 백 플레이트 본체(410)에 맞닿을 때 클립(421)을 개방하면, 클립한 상태에서는 액추에이터 등에 의해 외부로부터 힘을 가할 필요가 없이, 에너지 소비를 억제할 수 있다.
기판과 맞닿는 측의 면과는 반대의 면으로부터 힘을 받는 버튼(470)을 설치하기 위해서, 액추에이터(AR2)를 기판 맞닿음면과는 반대측에 배치할 수 있어, 기판 고정 후의 백 플레이트(400)의 이동, 자세의 변경 등이 용이하다.
버튼(470)이 외부의 제2 액추에이터(AR2)로부터 힘을 받아서 클립(421)을 동작시킬 수 있으므로, 클립(421)에 의한 고정을 자동화하는 것이 용이하다.
이너 시일(361) 및 아우터 시일(362)을 보유 지지하는 시일 홀더(363, 364)를 따로따로 설치하므로, 각 시일의 교환을 따로따로 행할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 홀더에서는, 케이블(L)의 일단부에 있어서 피복(602)을 제거하고, 케이블(L)의 심선(601)을 도전판(371)(또는 콘택트(370))과 함께 끼움 지지함으로써, 간이한 구성으로, 케이블(L)과 도전판(371)(또는 콘택트(370)) 간의 전기적인 접속을 확립할 수 있다. 즉, 케이블 단부에 커넥터 등을 형성하지 않고, 케이블(L)과 도전판(371)(또는 콘택트(370)) 간의 접속을 행할 수 있다. 기판(S)의 복수의 개소에 콘택트(370)를 접촉시켜서 급전하는 경우, 기판 홀더 내에서 복수의 케이블(L)을 깔아서 전기적 접속을 행할 필요가 있지만, 이 기판 홀더에 의하면, 간이한 구성으로, 케이블(L)과 도전판(371)(또는 콘택트(370)) 간의 전기적인 접속을 확립할 수 있어, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있다. 또한, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우에는, 케이블의 수가 증가하고, 케이블 직경도 커진다. 예를 들어, 이러한 경우에, 이 기판 홀더에 의한 간이한 케이블의 접속은 유효하다.
또한, 본 실시 형태의 기판 홀더에서는, 볼트, 나사 등의 체결 부재(511)에 의해 간이한 구성, 간이한 작업으로, 케이블(L)과 도전판(371)(또는 콘택트(370)) 간의 전기적 접속을 확립할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 홀더에서는, 시일 홀더(363)를 사용하여 케이블(L)과 도전판(371)을 끼움 지지할 수 있으므로, 기존의 구성을 이용할 수 있고, 기판 홀더의 대형화, 비용 증가를 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 홀더에서는, 시일(361, 362)의 시일 홀더(363, 364)가 따로따로이기 때문에, 시일을 따로따로 교환하는 것이 용이하다. 또한, 시일 홀더(363, 364)를 따로따로 교환하는 것도 용이하다.
또한, 본 실시 형태의 기판 홀더에서는, 케이블(L)이 기판 홀더의 두께 방향으로 겹치지 않도록 함으로써, 기판 홀더의 두께 증가를 억제하는 것이 가능하다. 특히, 대형의 기판이나, 전류량이 큰 경우에는, 케이블의 수, 케이블의 직경이 커질 가능성이 있지만, 이 구성에 의하면, 기판 홀더의 두께 방향에서의 증대를 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 홀더에서는, 선단의 피복(602)이 제거된 각 케이블(L)을 순차, 각 도전판(371)(또는 콘택트(370))의 위치에 인입하고, 접속하므로, 접속 위치까지의 케이블 간의 절연을 확보함과 함께, 간이한 구성으로 케이블을 도전 부재에 접속할 수 있다.
본 실시 형태의 기판 홀더를 도금 장치에 적용하는 경우, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있으므로, 도금 장치의 대형화도 억제할 수 있다.
본 실시 형태에 따른 기판 홀더의 제조 방법에서는, 케이블(L)의 일단부에 있어서 피복(602)을 제거하고, 케이블(L)의 심선(601)을 도전판(371)(또는 콘택트(370))과 함께 끼움 지지함으로써, 간이한 구성으로, 케이블(L)과 도전판(371)(또는 콘택트(370)) 간의 전기적인 접속을 확립할 수 있다. 즉, 케이블 단부에 커넥터 등을 형성하지 않고, 케이블(L)과 도전판(371)(또는 콘택트(370)) 간의 접속을 행할 수 있다. 기판(S)의 복수의 개소에 콘택트(370)를 접촉시켜서 급전하는 경우, 기판 홀더 내에서 복수의 케이블(L)을 깔아서 전기적 접속을 행할 필요가 있지만, 이 기판 홀더에 의하면, 간이한 구성으로, 케이블(L)과 도전판(371)(또는 콘택트(370)) 간의 전기적인 접속을 확립할 수 있어, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있다. 또한, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우에는, 케이블의 수가 증가하고, 케이블 직경도 커진다. 예를 들어, 이러한 경우에, 이 기판 홀더에 의한 간이한 케이블의 접속은 유효하다.
본 실시 형태에 따른 도금 방법은, 기판 홀더(1)에 보유 지지된 기판에 도금 처리를 하는 도금 방법이며, 기판 홀더(1)에 기판을 보유 지지시키는 스텝이며, 기판 홀더(1)는 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블(L)과, 기판에 전기적으로 접촉 가능하도록 구성된 적어도 하나의 콘택트(370)와, 콘택트(370) 또는 콘택트(370)와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 케이블(L)의 일단부를 끼움 지지하도록 구성되어 있는 끼움 지지 부재(511)를 갖는 스텝과, 기판 홀더(1)에 보유 지지된 기판에, 케이블(L)을 통하여 급전하면서 도금 처리를 행하는 스텝을 포함한다.
이 도금 방법에서는, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우에도, 기판 홀더에 있어서의 케이블과 콘택트 간의 전기적인 접속이 간이한 구성이기 때문에, 대형화를 억제 내지 방지한 기판 홀더를 사용하여 도금 처리를 행할 수 있다.
본 실시 형태에 따른 도금 방법에 있어서, 기판 홀더(1)는 제1 소정수의 케이블(L)과, 복수의 외부 접속 접점쌍(331a)을 구비하고, 각 외부 접속 접점쌍(331a)은 제1측의 접점(331a1)과 제2측의 접점(331a2)을 갖고, 제1측 및 제2측의 접점(331a1, 331a2)에는, 제1 소정수보다 작고 또한 2 이상인 제2 소정수의 케이블(L)이 전기적으로 접속되어 있고, 각 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1측의 접점(331a1)과 제2측의 접점(331a2) 사이에 저항 측정기(1121)를 접촉시켜서, 각 외부 접속 접점쌍(331a)의 전기 저항을 측정하는 스텝을 더 포함한다.
이 경우, 도금 처리 전에 각 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1 및 제2측의 접점(331a1, 331a2) 간의 전기 저항을 측정하여, 복수의 외부 접속 접점쌍(331a)의 전기 저항에 변동이 없는지를 확인하는 통전 확인 처리를 실시한다. 따라서, 복수의 외부 접속 접점쌍(331a)의 전기 저항 간의 변동에 기인하여 도금막 두께의 균일성에 문제가 없는지 여부를 사전에 확인하고 나서, 도금 처리를 행할 수 있다. 이 결과, 도금 처리의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
[1] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)는 기판 홀더(1)의 프론트 및 백 플레이트(300, 400) 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치이며, 프론트 플레이트(300)를 제1 자세로 지지하는 홀더 스테이션(1100)과, 선회 장치(1200)를 구비하고 있다. 선회 장치(1200)는 홀더 스테이션(1100)에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 백 플레이트(400)를 제1 자세와, 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 백 플레이트(400)를 제1 자세로 프론트 플레이트(300)에 대하여 밀어붙여서, 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400)를 서로 고정시킨다.
본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에 의하면, 기판 홀더(1)의 백 플레이트(400)가 제2 자세로 기판을 수취한 후에, 프론트 및 백 플레이트(300, 400)를 제1 자세로 서로 고정할 수 있다. 예를 들어, 수평 자세로 기판을 수취한 후, 직립 자세로 프론트 및 백 플레이트(300, 400)를 서로 고정하면, 기판을 장착한 기판 홀더(1)를 직립 자세로 반송할 수 있다. 이에 의해, 기판의 피처리면을 상향으로 한 채 반송하는 경우에 문제가 되는 기판 표면에의 흠집의 발생이나 기판의 파손을 억제할 수 있다.
또한, 선회 장치(1200)가 홀더 스테이션(1100)에 대하여 접근, 이격하도록 직진 이동 가능하기 때문에, 선회 장치(1200)가 홀더 스테이션(1100)으로부터 충분히 떨어진 위치에서 백 플레이트(400)를 선회하여 자세를 바꾸는 것이 가능하여, 장치의 대형화를 방지하는 것이 가능하고, 프론트 및 백 플레이트(300, 400) 간의 위치 정렬도 용이하다.
[2] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치에서는, 제1 자세는, 예를 들어, 기판 착탈 장치(1000)의 설치면에 대하여 대략 수직인 자세로 할 수 있다.
이 경우, 제2 자세가 설치면에 대하여 대략 수평인 자세이며, 기판 홀더(1)의 백 플레이트(400)를 대략 수평으로 한 상태에서 기판을 받아들이고, 대략 수직인 자세로 프론트 및 백 플레이트(300, 400)를 서로 고정할 수 있으므로, 상술한 바와 같이 기판 홀더(1)에의 기판의 장착에 적합하다.
[3] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 선회 장치(1200)의 반대측에서 프론트 플레이트(300)를 지지하기 위한 제1 지지판(1320)과, 프론트 플레이트(300)를 제1 지지판(1320)에 보유 지지하기 위한 고정 기구(1323)를 갖는 서포트 장치(1300)를 구비하고 있다.
이 경우, 선회 장치(1200)와는 반대측에 있어서 서포트 장치(1300)로 기판 홀더(1)를 지지 및 고정한 상태에서, 선회 장치(1200)가 백 플레이트(400)의 착탈을 행하므로, 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)에 밀어붙였을 때, 서포트 장치(1300)가 프론트 플레이트(300)를 지지하여, 프론트 플레이트(300)의 위치가 어긋나는 것을 방지할 수 있다.
[4] 본 실시 형태에 따른 기판 착탈 장치(1000)에 의하면, 서포트 장치(1300)는 제1 지지판(1320) 중 프론트 플레이트(300)가 지지되는 측과 반대측의 면에 연결된 복수의 로드(1321)를 갖고, 복수의 로드(1321)의 이동에 의해 제1 지지판(1320)이 이동 가능하다.
복수의 로드(1321)에 의해 제1 지지판(1320)을 정확한 자세로 이동시킬 수 있고, 또한, 제1 보유 지지 부재(300)를 양호하게 지지할 수 있다.
[5] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 고정 기구(1323)는 프론트 플레이트(300)의 면에 겹치는 위치와, 프론트 플레이트(300)의 면에 겹치지 않는 위치 간에 회전 가능한 압박 부재(1323a)를 갖는다.
고정 장치(1323)를 프론트 플레이트(300)의 면에 겹치지 않는 위치로 한 상태에서, 제1 지지판(1320)을 프론트 플레이트(300)에 맞닿게 하고, 그 후, 고정 장치(1323)를 프론트 플레이트(300)의 면에 겹치는 위치로 해서, 고정 장치(1323)로 프론트 플레이트(300)를 제1 지지판(1320)에 고정하면, 프론트 플레이트(300)와의 간섭을 피하면서, 고정 동작을 행할 수 있다.
[6] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 홀더 스테이션(1100)은 프론트 플레이트(300)의 아암부(330)를 지지하는 아암 받침부(1120)를 더 갖고, 프론트 플레이트(300)는 아암 받침부(1120)로 현가된다.
홀더 스테이션(1100)이 프론트 플레이트(300)의 아암부(330)로 현가하는 구성이기 때문에, 홀더 스테이션(1100)을 간이한 구성으로 할 수 있다.
[7] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 홀더 스테이션(1100)의 아암 받침부(1120)는 프론트 플레이트(300)의 아암부(330)에 설치된 위치 결정 구멍(332a)에 걸림 결합하기 위한 위치와, 위치 결정 구멍(332a)에 걸림 결합하지 않는 위치 간에 이동 가능한 위치 결정 핀(1123)을 갖는다.
위치 결정 핀(1123)에 의하면, 기판 홀더(1)를 홀더 스테이션에 대하여 정확하게 위치 결정하는 것이 가능하다.
[8] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 아암 받침부(1120)는 프론트 플레이트(300)의 커넥터(331)를 통한 기판의 전기적인 도통을 검사하기 위한 통전 확인 장치(1121)를 갖고, 상기 통전 확인 장치(1121)는 상기 커넥터(331)의 복수의 외부 접속 접점쌍(331a)에 있어서의 접점 간의 저항값을 측정한다.
이 경우, 통전 확인 장치(1121)에 의해, 처리 전의 기판의 전기적 특성이나, 기판 홀더의 전기적 특성에 이상이 없는지를 확인할 수 있으므로, 이상이 있는 기판이나 기판 홀더를 사용하여 기판 처리를 행하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수의 케이블(L)을 커넥터(331)가 공통의 외부 접속 접점(331a1, 331a2)에 접속하는 경우에, 커넥터(331)의 각 외부 접속 접점쌍(331a)의 외부 접속 접점(331a1, 331a2) 간의 저항값을 측정함으로써, 각각 외부 접속 접점쌍(331a)의 저항값의 사이에 변동이 없는지 여부를 확인하여, 통전 확인 처리를 행할 수 있다. 이 결과, 도금 처리의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
[9] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 제1 지지판(1320)은 직사각 형상이며, 다각형 형상의 제1 보유 지지 부재(300)를 지지하도록 구성되어 있다.
다각형 형상의 제1 보유 지지 부재(300)에 의해, 직사각형 등의 대형 기판의 보유 지지를 적절하게 행할 수 있다.
[10] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 선회 장치(1200)는 홀더 스테이션(1100)에 지지된 프론트 플레이트(300)에 설치된 클램프(340)를 작동시켜서 프론트 플레이트(300)에 백 플레이트(400)를 보유 지지시키기 위한 제1 액추에이터(1215)를 갖는다.
선회 장치(1200)의 액추에이터(1215)에 의해, 프론트 플레이트(300)의 클램프(340)를 작동시킬 수 있고, 프론트 플레이트(300)의 클램프(340)에 의해 백 플레이트(400)의 고정을 용이하게 행할 수 있다. 또한, 프론트 플레이트(300)에 클램프(340)를 설치하기 위해서, 홀더 스테이션(1100)으로부터 분리 및 이동되는 백 플레이트(300)의 구성을 간이하게 할 수 있다.
[11] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 제1 액추에이터(1215)는 제1 지지판(1320)에 수직인 방향으로 이동하는 제1 봉형 부재(1215a)를 갖고, 그 제1 봉형 부재(1215a)에 의해 클램프(340)에 연결된 레버(342)를 밀어부치고, 프론트 플레이트(300)의 클램프(340)를 제1 지지판(1320)에 평행인 축의 둘레로 회전시킨다.
이 경우, 클램프(340)는 제1 지지판(1320)에 평행인(즉, 기판에 평행인) 축의 둘레로 회전하므로, 기판에 기판면 방향의 힘이 가해지는 것을 억제하여, 기판의 휨, 변형 등을 억제할 수 있다. 따라서, 대형이며 얇은 기판을 보유 지지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다.
[12] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 제1 봉형 부재(1215a)는 에어 실린더로 구동되는 피스톤이다.
따라서, 에어 실린더에 의해 제1 봉형 부재(1215a)를 적절한 힘으로 레버(342)에 밀어부칠 수 있다.
[13] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 선회 장치(1200)는 백 플레이트(400)를 지지하기 위한 제2 지지판(1210a)과, 제2 지지판(1210a)에 설치된 제2 액추에이터(1211)를 갖고, 제2 액추에이터(1211)는 백 플레이트(400)에 설치된 클립(421)을 작동시켜서, 클립(421)에 기판을 보유 지지시킨다.
이 경우, 백 플레이트(400)가 기판을 수취한 때에, 기판을 클립(421)으로 제2 지지판(1210a)에 고정할 수 있으므로, 그 후, 백 플레이트(400)의 자세가 변경된 경우에도, 기판을 확실하게 보유 지지할 수 있다.
[14] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 제2 액추에이터(1200)는 제2 지지판(1210a)에 수직인 방향으로 이동하는 제2 봉형 부재(1211)를 갖고, 그 제2 봉형 부재에 의해 백 플레이트(400)의 클립(421)을 제2 지지판(1210a)에 평행인 축의 둘레로 회전시킨다.
이 경우, 클립(421)은 제2 지지판(1210a)에 평행인(즉, 기판에 평행인) 축의 둘레로 회전하므로, 기판에 기판면 방향의 힘이 가해지는 것을 억제하여, 기판의 휨, 변형 등을 억제할 수 있다. 따라서, 대형이며 얇은 기판을 보유 지지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다
[15] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 제2 봉형 부재(1211)는 에어 실린더로 구동되는 피스톤이다.
이 경우, 에어 실린더에 의해 제2 봉형 부재(1211)로부터 클립(421)에 적절한 힘을 가할 수 있다.
[16] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 선회 장치(1200)는 백 플레이트(400)를 제2 지지판(1210a)에 보유 지지하기 위한 압입 흡착 실린더(1213), 진공 장치(1214)와, 제2 지지판(1210a)을 선회시키기 위한 선회 기구(1240)와, 제2 지지판(1210a)을 제1 홀더 보유 지지 부재(1100)에 대하여 접근 및 이격시키는 직동 기구(1260)를 갖는다.
이 경우, 선회 기구(1240) 및 직동 기구(1260)에 의해, 제2 지지판(1210a)을 선회 및 직진시킬 수 있고, 또한, 압입 흡착 실린더(1213), 진공 장치(1214)에 의해 선회 및 직진 이동 중인 백 플레이트(400)를 양호하게 보유 지지할 수 있다.
[17] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 압입 흡착 실린더(1213)는 백 플레이트(400)에 압박되는 흡반(1213a)과, 흡반(1213a)에 개구하여 백 플레이트(400)측에 기체를 공급하기 위한 개구부(1213c)를 갖는다.
이 압입 흡착 실린더(1213)에 의하면, 백 플레이트(400)의 압박 및 흡착의 양쪽을 행할 수 있다.
[18] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 선회 기구(1240)는 제2 지지판(1210a)을 회전시키기 위한 제1 전동 모터(1242)를 갖는다.
제1 전동 모터(1242)에 의해 제2 지지판(1210a)을 정확하게 회전시킬 수 있다.
[19] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 직동 기구(1260)는 제2 전동 모터(1261)와, 제2 전동 모터(1261)의 동력을 직선 방향으로 변환하는 회전 직동 변환 기구(볼 나사(1264), 너트(1265))를 갖고, 제2 전동 모터(1261)는 전자기 브레이크(1263)를 갖는다.
이 경우, 제2 전동 모터(1261)에 의해 선회 장치(1200)를 원하는 위치까지 정확하게 이동할 수 있고, 또한, 전자기 브레이크(1263)에 의해 선회 장치(1200)의 위치를 고정할 수 있다.
[20] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치(1000)에서는, 선회 장치(1200)는 백 플레이트(400)의 측면에 맞닿고, 제2 지지판(1210a)의 면 내에서의 백 플레이트(400)의 위치 결정을 하기 위한 수평 위치 결정 장치(1216, 1217)를 더 갖는다.
수평 위치 결정 장치(1216, 1217)에 의해, 백 플레이트(400)를 제2 지지판(1210a)의 면 내에서 정확하게 위치 결정할 수 있다. 이에 의해, 반송 로봇에 의한 백 플레이트(400)에의 기판의 장착을 정확하게 행할 수 있다.
[21] 본 실시 형태의 기판 착탈 장치에서는, 제2 지지판(1210a)은 직사각 형상이며, 다각형 형상의 백 플레이트(400)를 지지하도록 구성되어 있다.
다각형 형상의 백 플레이트(400)에 의해, 직사각형의 대형 기판의 보유 지지를 적절하게 행할 수 있다.
[22] 본 실시 형태의 도금 장치는, 기판 홀더(1)의 프론트 및 백 플레이트(300, 400) 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치(1000)와, 기판 착탈 장치(1000)에 있어서 기판을 보유 지지한 기판 홀더(1)를 받아들여서, 기판에 도금 처리를 실시하는 도금 처리부(120B)를 구비한다. 기판 착탈 장치(1000)는 프론트 플레이트(300)를 제1 자세로 지지하는 홀더 스테이션(1100)과, 홀더 스테이션(1100)에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 백 플레이트(400)를 제1 자세와, 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 백 플레이트(400)를 제1 자세로 프론트 플레이트(300)에 대하여 밀어붙여서, 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400)를 서로 고정시키는 선회 장치(1200)를 구비한다.
이 도금 장치에 의하면, 기판 착탈 장치(1000)의 작용 효과로서 상술한 것과 동일한 작용 효과를 발휘한다. 또한, 기판이 적절하게 보유 지지된 기판 홀더(1)를 사용하여 도금 처리를 행할 수 있으므로, 도금 처리의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 특히, 박형이면서 대형의 기판을 기판 홀더(1)로 적절하게 보유 지지하여, 도금 처리를 양호하게 행할 수 있다.
[23] 본 실시 형태의 컨트롤러(제어 장치)(175)는, 기판 홀더(1)의 프론트 및 백 플레이트(300, 400) 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치(1000)를 제어한다. 컨트롤러(175)는 홀더 스테이션(1100)에 의해 프론트 플레이트(300)를 제1 자세로 지지하는 것, 선회 장치(1200)에 의해, 백 플레이트(400)를 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 지지한 상태에서, 백 플레이트(400)에 기판을 고정시키고, 백 플레이트(400)를 제1 자세로 선회시키는 것, 선회 장치(1200)를 홀더 스테이션(1100)을 향하여 직진시키는 것, 선회 장치(1200)에 의해, 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)에 대하여 밀어붙여서, 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400)를 서로 고정시키는 것을 포함하는 처리를 실행한다.
이 제어 장치에 의하면, 기판 착탈 장치(1000)의 작용 효과로서 상술한 것과 동일한 작용 효과를 발휘한다.
[24] 본 실시 형태에 따른 기록 매체는, 기판 홀더(1)의 프론트 및 백 플레이트(300, 400) 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치(1000)의 제어 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장하고 있다. 프로그램은, 홀더 스테이션(1100)에 의해 프론트 플레이트(300)를 제1 자세로 지지하는 것, 선회 장치(1200)에 의해, 백 플레이트(400)를 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 지지한 상태에서, 백 플레이트(400)에 기판을 고정시키고, 백 플레이트(400)를 제1 자세로 선회시키는 것, 선회 장치(1200)를 홀더 스테이션(1100)을 향하여 직진시키는 것, 선회 장치(1200)에 의해, 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)에 대하여 밀어붙여서, 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400)를 서로 고정시키는 것을 컴퓨터에 실행시킨다.
이 기록 매체에 의하면, 기판 착탈 장치(1000)의 작용 효과로서 상술한 것과 동일한 작용 효과를 발휘한다.
상기 실시 형태로부터 적어도 이하의 기술적 사상을 파악할 수 있다.
[1] 본 발명의 일 형태에 관한 기판 착탈 장치는, 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치이며, 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 제1 홀더 보유 지지 장치와, 제1 홀더 보유 지지 장치에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 제2 홀더 보유 지지 장치를 구비한다.
이 기판 착탈 장치에 의하면, 기판 홀더의 제2 보유 지지 부재가 제2 자세로 기판을 수취한 후에, 제1 및 제2 보유 지지 부재를 제1 자세로 고정할 수 있다. 예를 들어, 수평 자세로 기판을 수취한 후, 직립 자세로 제1 및 제2 보유 지지 부재를 서로 고정하면, 기판을 장착한 기판 홀더를 직립 자세로 반송할 수 있다. 이에 의해, 기판의 피처리면을 상향으로 한 채 반송하는 경우에 문제가 되는 기판 표면에의 흠집의 발생이나 기판의 파손을 억제할 수 있다. 또한, 여기서, 수평 자세, 직립 자세(수직 자세)란, 기판 착탈 장치의 동작에 지장이 없는 범위에서 약간의 어긋남이 있어도 되고, 대략 수평 자세, 대략 직립 자세(수직 자세)라 언급해도 된다.
또한, 제2 홀더 보유 지지 장치가 제1 홀더 보유 지지 장치에 대하여 접근, 이격하도록 직진 이동 가능하기 때문에, 제2 홀더 보유 지지 장치가, 제1 홀더 보유 지지 장치로부터 충분히 떨어진 위치로부터 제2 보유 지지 부재를 선회하여 자세를 바꾸는 것이 가능하여, 장치의 대형화를 방지하는 것이 가능하고, 제1 및 제2 보유 지지 부재 간의 위치 정렬도 용이하다.
[2] [1]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 제1 자세는, 상기 기판 착탈 장치의 설치면에 대하여 대략 수직인 자세로 할 수 있다.
이 경우, 제2 자세가 설치면에 대하여 대략 수평인 자세이며, 기판 홀더의 제2 보유 지지 부재를 대략 수평으로 한 상태에서 기판을 받아들이고, 대략 수직인 자세로 제1 및 제2 보유 지지 부재를 서로 고정할 수 있으므로, 상술한 바와 같이 기판 홀더에의 기판의 장착에 적합하다.
[3] [1] 또는 [2]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 제2 홀더 보유 지지 장치의 반대측에서 상기 제1 보유 지지 부재를 지지하기 위한 제1 지지판과, 상기 제1 보유 지지 부재를 상기 제1 지지판에 보유 지지하기 위한 고정 기구를 갖는 서포트 장치를 더 구비하는 것이 가능하다.
이 경우, 제2 홀더 보유 지지 장치와는 반대측에 있어서 서포트 장치로 제1 보유 지지 부재를 지지 및 고정한 상태에서, 제2 홀더 보유 지지 장치가 제2 보유 지지 부재의 착탈을 행하므로, 제2 홀더 보유 지지 장치가, 제2 보유 지지 부재를 제1 홀더 보유 지지 장치의 제1 보유 지지 부재에 압박한 때에, 제1 보유 지지 부재의 위치가 어긋나는 것을 방지할 수 있다.
[4] [3]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 서포트 장치는, 상기 제1 지지판 중 상기 제1 보유 지지 부재가 지지되는 측과 반대측의 면에 연결된 복수의 로드를 갖고, 상기 복수의 로드의 이동에 의해 상기 제1 지지판이 이동 가능한 구성으로 할 수 있다.
복수의 로드에 의해 제1 지지판을 정확한 자세로 이동시킬 수 있고, 또한, 제1 보유 지지 부재를 양호하게 지지할 수 있다.
[5] [3]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 고정 기구는, 상기 제1 보유 지지 부재의 면에 겹치는 위치와, 상기 제1 보유 지지 부재의 면에 겹치지 않는 위치 간에 회전 가능한 압박 부재를 갖는다.
고정 장치를 제1 보유 지지 부재의 면에 겹치지 않는 위치로 한 상태에서, 제1 지지판을 제1 보유 지지 부재에 맞닿게 하고, 그 후, 고정 장치를 제1 보유 지지 부재의 면에 겹치는 위치로 해서, 고정 장치로 제1 보유 지지 부재를 제1 지지판에 고정하면, 제1 보유 지지 부재와의 간섭을 피하면서, 고정 동작을 행할 수 있다.
[6] [3]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 제1 보유 지지 부재는, 아암부를 갖고, 상기 제1 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제1 보유 지지 부재의 아암부를 지지하는 아암 받침부를 더 갖고, 상기 제1 보유 지지 부재는, 상기 아암 받침부로 현가된다.
제1 보유 지지 부재의 아암부로 현가하는 구성이기 때문에, 제1 홀더 보유 지지 장치를 간이한 구성으로 할 수 있다.
[7] [6]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 아암 받침부는, 상기 제1 보유 지지 부재의 상기 아암부에 설치된 위치 결정 구멍에 걸림 결합하기 위한 위치와, 상기 위치 결정 구멍에 걸림 결합하지 않는 위치 간에 이동 가능한 위치 결정 핀을 갖는다.
이 경우, 위치 결정 핀에 의하면, 기판 홀더를 제1 보유 지지 부재에 대하여 정확하게 위치 결정하는 것이 가능하다.
[8] [6]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 아암 받침부는, 상기 제1 보유 지지 부재의 커넥터를 통한 상기 기판의 전기적인 도통을 검사하기 위한 통전 확인 장치를 갖고, 상기 통전 확인 장치는, 상기 커넥터의 복수의 외부 접속 접점쌍에 있어서의 외부 접속 접점 간의 저항값을 측정한다.
이 경우, 통전 확인 장치에 의해, 처리 전의 기판의 전기적 특성이나, 기판 홀더의 전기적 특성에 이상이 없는지를 확인할 수 있으므로, 이상이 있는 기판이나 기판 홀더를 사용하여 기판 처리를 행하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수의 케이블을 커넥터의 공통의 외부 접속 접점에 접속하는 경우에, 커넥터의 각 외부 접속 접점쌍의 외부 접속 접점 간의 저항값을 측정함으로써, 각 외부 접속 접점쌍의 저항값의 사이에 변동이 없는지 여부를 확인하여, 통전 확인 처리를 행할 수 있다. 이 결과, 도금 처리의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
[9] [3] 내지 [8] 중 어느 하나에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 제1 지지판은, 직사각 형상이며, 다각형 형상의 상기 제1 보유 지지 부재를 지지하도록 구성되어 있다. 다각형 형상의 제1 보유 지지 부재에 의해, 직사각형의 대형 기판의 보유 지지를 적절하게 행할 수 있다.
[10] [1] 내지 [9] 중 어느 하나에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 제2 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제1 홀더 보유 지지 장치에 지지된 상기 제1 보유 지지 부재에 설치된 클램프를 작동시켜서 상기 제1 보유 지지 부재에 상기 제2 보유 지지 부재를 보유 지지시키기 위한 제1 액추에이터를 갖는다.
이 경우, 제2 홀더 보유 지지 장치의 제1 액추에이터에 의해, 제1 보유 지지 부재의 클램프를 작동시킬 수 있고, 제1 보유 지지 부재의 클램프에 의해 제2 보유 지지 부재의 고정을 용이하게 행할 수 있다. 또한, 제1 보유 지지 부재에 클램프를 설치하기 때문에, 제1 홀더 보유 지지 장치로부터 분리 및 이동되는 제2 보유 지지 부재의 구성을 간이하게 할 수 있다.
[11] [10]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 제1 액추에이터는, 상기 제1 지지판에 수직인 방향으로 이동하는 제1 봉형 부재를 갖고, 그 제1 봉형 부재에 의해 상기 클램프에 연결된 레버를 압박하고, 상기 제1 보유 지지 부재의 상기 클램프를 상기 제1 지지판에 평행인 축의 둘레로 회전시킨다.
이 경우, 클램프는, 제1 지지판에 평행인(즉, 기판에 평행인) 축의 둘레로 회전하므로, 기판에 기판면 방향의 힘이 가해지는 것을 억제하여, 기판의 휨, 변형 등을 억제할 수 있다. 따라서, 대형이며 얇은 기판을 보유 지지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다.
[12] [11]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 제1 봉형 부재는, 에어 실린더로 구동되는 피스톤이다.
이 경우, 에어 실린더에 의해 제1 봉형 부재를 적절한 힘으로 레버에 밀어부칠 수 있다.
[13] [1] 내지 [12] 중 어느 하나에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 제2 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제2 보유 지지 부재를 지지하기 위한 제2 지지판과, 상기 제2 지지판에 설치된 제2 액추에이터를 갖고, 상기 제2 액추에이터는, 상기 제2 보유 지지 부재에 설치된 클립을 작동시켜서, 클립에 상기 기판을 보유 지지시킨다.
이 경우, 제2 보유 지지 부재가 기판을 수취한 때에, 기판을 클립으로 제2 지지판에 고정할 수 있으므로, 그 후, 제2 보유 지지 부재의 자세가 변경된 경우에도, 기판을 확실하게 보유 지지할 수 있다.
[14] [13]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 제2 액추에이터는, 상기 제2 지지판에 수직인 방향으로 이동하는 제2 봉형 부재를 갖고, 그 제2 봉형 부재에 의해 상기 제2 보유 지지 부재의 클립을 상기 제2 지지판에 평행인 축의 둘레로 회전시킨다.
이 경우, 클램프는, 제2 지지판에 평행인(즉, 기판에 평행인) 축의 둘레로 회전하므로, 기판에 기판면 방향의 힘이 가해지는 것을 억제하여, 기판의 휨, 변형 등을 억제할 수 있다. 따라서, 대형이며 얇은 기판을 보유 지지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다. 또한, 클립이 기판의 면에 수직인 방향으로 이동하기 때문에, 얇은 기판의 휨 및 기판의 두께의 차이에도 대응 가능하다.
[15] [14]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서 상기 제2 봉형 부재는, 에어 실린더로 구동되는 피스톤이다. 이 경우, 에어 실린더에 의해 제2 봉형 부재로부터 클립에 적절한 힘을 가할 수 있다.
[16] [1] 내지 [15] 중 어느 하나에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 제2 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제2 지지판에 보유 지지하기 위한 흡착 장치와, 상기 제2 지지판을 선회시키기 위한 선회 기구와, 상기 제2 지지판을 상기 제1 홀더 보유 지지 부재에 대하여 접근 및 이격시키는 직동 기구를 갖는다.
선회 기구 및 직동 기구에 의해, 제2 지지판을 선회 및 직진시킬 수 있고, 또한, 흡착 장치에 의해 선회 및 직진 이동 중인 제2 보유 지지 부재를 양호하게 보유 지지할 수 있다.
[17] [16]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 흡착 장치는, 압입 흡착 실린더를 갖고, 상기 압입 흡착 실린더는, 상기 제2 보유 지지 부재에 압박되는 흡반과, 상기 흡반에 개구하여 상기 제2 보유 지지 부재측에 기체를 공급하기 위한 개구부를 갖는다.
압입 흡착 실린더에 의하면, 제2 보유 지지 부재의 압박 및 흡착의 양쪽을 행할 수 있다.
[18] [16] 또는 [17]에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 선회 기구는, 상기 제2 지지판을 회전시키기 위한 제1 전동 모터를 갖는다.
제1 전동 모터에 의해 제2 지지판을 정확하게 회전시킬 수 있다.
[19] [16] 내지 [18] 중 어느 하나에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 직동 기구는, 제2 전동 모터와, 제2 전동 모터의 동력을 직선 방향으로 변환하는 회전 직동 변환 기구를 갖고, 상기 제2 전동 모터는 전자기 브레이크를 갖는다. 이 경우, 제2 전동 모터에 의해 제2 홀더 보유 지지 장치를 원하는 위치까지 정확하게 이동할 수 있고, 또한, 전자기 브레이크에 의해 제2 홀더 보유 지지 장치의 위치를 고정할 수 있다.
[20] [16] 내지 [19] 중 어느 하나에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 제2 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제2 보유 지지 부재의 측면에 맞닿고, 상기 제2 지지판의 면 내에서의 상기 제2 보유 지지 부재의 위치 결정을 하기 위한 수평 위치 결정 장치를 더 갖는다.
수평 위치 결정 장치에 의해, 제2 보유 지지 부재를 제2 지지판의 면 내에서 정확하게 위치 결정할 수 있다. 이에 의해, 반송 로봇에 의한 제2 보유 지지 부재에의 기판의 장착을 정확하게 행할 수 있다.
[21] [16] 내지 [20] 중 어느 하나에 기재된 기판 착탈 장치에 있어서, 상기 제2 지지판은, 직사각 형상이며, 다각형 형상의 상기 제2 보유 지지 부재를 지지하도록 구성되어 있다.
다각형 형상의 제2 보유 지지 부재에 의해, 직사각형의 대형 기판의 보유 지지를 적절하게 행할 수 있다.
[22] 본 발명의 일 형태에 관한 도금 장치는, 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치와, 상기 기판 착탈 장치에 있어서 상기 기판을 보유 지지한 상기 기판 홀더를 받아들여서, 상기 기판에 도금 처리를 실시하는 도금 처리부를 구비하고, 상기 기판 착탈 장치는, 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 제1 홀더 보유 지지 장치와, 제1 홀더 보유 지지 장치에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 제2 홀더 보유 지지 장치를 구비한다.
이 도금 장치에 의하면, 상기 [1]에서 설명한 것과 동일한 작용 효과를 발휘한다. 또한, 기판이 적절하게 보유 지지된 기판 홀더를 사용하여 도금 처리를 행할 수 있으므로, 도금 처리의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 특히, 박형이면서 대형의 기판을 기판 홀더로 적절하게 보유 지지하여, 도금 처리를 양호하게 행할 수 있다.
[23] 본 발명의 일 형태에 관한 제어 장치는, 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치의 제어 장치이며, 제1 홀더 보유 지지 장치에 의해 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 지지한 상태에서, 상기 제2 보유 지지 부재에 상기 기판을 고정시키고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 선회시키는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치를 상기 제1 홀더 보유 지지 장치를 향하여 직진시키는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 것을 포함하는 처리를 실행한다.
이 제어 장치에 의하면, 상기 [1]에서 설명한 것과 동일한 작용 효과를 발휘한다.
[24] 본 발명의 일 형태에 관한 기록 매체는, 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치의 제어 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체이며, 제1 홀더 보유 지지 장치에 의해 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와는 대략 직교하는 제2 자세로 지지한 상태에서, 상기 제2 보유 지지 부재에 상기 기판을 고정시키고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 선회시키는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치를 상기 제1 홀더 보유 지지 장치를 향하여 직진시키는 것, 제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 것을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장하고 있다.
이 제어 장치에 의하면, 상기 [1]에서 설명한 것과 동일한 작용 효과를 발휘한다.
이상, 몇 가지의 예에 기초하여 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명하였지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이고, 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는, 그 균등물이 포함되는 것은 물론이다. 예를 들어, 대형 기판의 형상은 직사각형에 한정되지 않고, 정사각형이어도 되고, 그 이외의 다각형 형상, 예를 들어, 오각형이나 육각형이어도 된다. 또한, 원형 형상의 기판을 기판 홀더에 탈착하는 기판 탈착 장치에도 본 발명이 적용할 수 있는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에서, 특허 청구 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는, 생략이 가능하다.
본원은, 2016년 12월 22일 출원의 일본 특허 출원 번호 제2016-249631호에 기초하는 우선권을 주장한다. 2016년 12월 22일 출원의 일본 특허 출원 번호 제2016-249631호의 명세서, 특허 청구 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시 내용은, 참조에 의해 전체로서 본원에 포함된다.
일본 특허 공개 제2016-117917호 공보(특허문헌 1), 일본 특허 제4179707호 공보(특허문헌 2), 일본 특허 공개 제2009-270167호 공보(특허문헌 3), 일본 특허 공개 제2016-127069호 공보(특허문헌 4)의 명세서, 특허 청구 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시는, 참조에 의해 전체로서 본원에 포함된다.
1: 기판 홀더
25: 카세트 테이블
25a: 카세트
27: 기판 반송 장치
28: 주행 기구
29: 기판 탈착 기구
30: 스토커
32: 프리웨트조
33: 프리소크조
34: 프리린스조
35: 블로우조
36: 린스조
37: 기판 홀더 반송 장치
38: 오버플로우조
39: 도금조
50: 세정 장치
50a: 세정부
100: 도금 장치
110: 언로드부
120: 처리부
120A: 전처리·후처리부
120B: 처리부
175: 컨트롤러
175A: CPU
175B: 메모리
175C: 제어부
300: 프론트 플레이트
301: 전면
302: 배면
303: 개구부
310: 프론트 플레이트 본체
311: 배선 버퍼부
311a: 배선 구멍
312: 페이스부
313: 두꺼운 부분
320: 설치부
330: 아암부
331: 커넥터
331a: 외부 접속 접점쌍
331a1: 제1측의 외부 접속 접점
331a2: 제2측의 외부 접속 접점
332: 위치 결편
332a: 위치 결정 구멍
340: 클램프
340a: 걸림 결합부
342: 레버
350: 고정 부재
361: 이너 시일
362: 아우터 시일
363: 시일 홀더
363a: 배선 홈
364: 시일 홀더
365: 케이블 통로
370: 콘택트
371: 도전판
390: 위치 정렬 핀
400: 백 플레이트
401: 전면
402: 배면
410: 백 플레이트 본체
420: 클립부
421: 클립
421a: 갈고리부
421b: 긴 구멍
421c: 환 구멍
422: 토션 스프링
422a: 다리부
422b: 다리부
422c: 권회부
423: 고정부
423b: 규제면
423b: 안내면
424: 고정축
430: 걸림 결합 받이부
430a: 돌출부
470: 버튼
471: 힘 받이부
472: 탄성 부분
473: 설치부
474: 누름 부재
475: 체결 부재
490: 위치 정렬편
601: 도전선
602: 피복
1000: 기판 착탈 장치
1100: 홀더 스테이션
1111: 다리부
1112: 지주
1113: 하부 횡단판
1114: 상부 횡단판
1115: 플랜지
1116: 돌출부
1117: 제1 설치 부재
1118: 제2 설치 부재
1120: 아암 받침부
1120a: 오목부
1120b: 오목부
1121: 통전 확인 장치
1121a: 커넥터측 접점쌍
1121a1: 제1측의 커넥터측 접점
1121a2: 제2측의 커넥터측 접점
1121b: 실린더측 접점쌍
1121b1: 제1측의 실린더측 접점
1121b2: 제2측의 실린더측 접점
1121c: 통전 실린더
1122: 핀 구멍
1123: 위치 결정 핀
1200: 선회 장치
1210: 지지판부
1210a: 지지판
1211: 액추에이터
1212: 액추에이터
1213: 액추에이터(압입 흡착 실린더)
1213a: 흡반
1213b: 로드
1213c: 개구부
1213d: 통로
1213e: 피스톤
1213g: 각 배관
1213g: 배관
1213h: 흡인 통로
1213i: 에어 챔버
1213j: 다이어프램
1214: 진공 장치
1215: 액추에이터
1216: 수평 위치 결정 장치
1216a: 로드
1216b: 에어 실린더
1217: 수평 위치 결정 장치
1217a: 로드
1217b: 에어 실린더
1231: 플랜지
1232: 본체
1240: 선회 기구
1241: 프레임
1241a: 측벽
1241b: 측벽
1244a: 베어링
1244b: 베어링
1242: 전동 모터
1243: 지지판 선회축
1245a: 연결 기구
1250: 안내 부재
1251: 연결판
1252: 안내부
1260: 직동 기구
1261: 전동 모터
1262: 연결 기구
1263: 전자기 브레이크
1264: 볼 나사
1265: 너트
1266: 베이스
1300: 서포트 장치
1301: 베이스
1302: 지주
1303: 상부 횡단 빔
1310: 본체 패널
1320: 지지판
1321: 로드
1321b: 에어 실린더
1322: 로드
1322a: 플랜지 부재
1322b: 에어 실린더
1323: 고정 장치
1323a: 누름 부재
1323b: 로드
1323c: 에어 실린더
1323d: 누름부
1400: 베이스
1500: 레일
1510: 레일부

Claims (24)

  1. 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치이며,
    상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 제1 홀더 보유 지지 장치와,
    제1 홀더 보유 지지 장치에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와 상기 제1 자세와는 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 제2 홀더 보유 지지 장치
    를 구비하는, 기판 착탈 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 자세는, 상기 기판 착탈 장치의 설치면에 대하여 수직인 자세인,
    기판 착탈 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 홀더 보유 지지 장치의 반대측에서 상기 제1 보유 지지 부재를 지지하기 위한 제1 지지판과,
    상기 제1 보유 지지 부재를 상기 제1 지지판에 보유 지지하기 위한 고정 기구
    를 갖는 서포트 장치를 더 구비하는, 기판 착탈 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 서포트 장치는, 상기 제1 지지판 중 상기 제1 보유 지지 부재가 지지되는 측과 반대측의 면에 연결된 복수의 로드를 갖고, 상기 복수의 로드의 이동에 의해 상기 제1 지지판이 이동 가능한, 기판 착탈 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 고정 기구는, 상기 제1 보유 지지 부재의 면에 겹치는 위치와, 상기 제1 보유 지지 부재의 면에 겹치지 않는 위치 간에 회전 가능한 압박 부재를 갖는 기판 착탈 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제1 보유 지지 부재는, 아암부를 갖고,
    상기 제1 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제1 보유 지지 부재의 아암부를 지지하는 아암 받침부를 더 갖고, 상기 제1 보유 지지 부재는, 상기 아암 받침부로 현가되는, 기판 착탈 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 아암 받침부는, 상기 제1 보유 지지 부재의 상기 아암부에 설치된 위치 결정 구멍에 걸림 결합하기 위한 위치와, 상기 위치 결정 구멍에 걸림 결합하지 않는 위치 간에 이동 가능한 위치 결정 핀을 갖는
    기판 착탈 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 아암 받침부는, 상기 제1 보유 지지 부재의 커넥터를 통한 상기 기판의 전기적인 도통을 검사하기 위한 통전 확인 장치를 갖고, 상기 통전 확인 장치는, 상기 커넥터의 복수의 외부 접속 접점쌍에 있어서의 외부 접속 접점 간의 저항값을 측정하는, 기판 착탈 장치.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 제1 지지판은, 직사각 형상이며, 다각형 형상의 상기 제1 보유 지지 부재를 지지하도록 구성되어 있는, 기판 착탈 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    제2 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제1 홀더 보유 지지 장치에 지지된 상기 제1 보유 지지 부재에 설치된 클램프를 작동시켜서 상기 제1 보유 지지 부재에 상기 제2 보유 지지 부재를 보유 지지시키기 위한 제1 액추에이터를 갖는 기판 착탈 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 보유 지지 부재를 지지하기 위한 제1 지지판을 갖고,
    상기 제1 액추에이터는, 상기 제1 지지판에 수직인 방향으로 이동하는 제1 봉형 부재를 갖고, 그 제1 봉형 부재에 의해 상기 클램프에 연결된 레버를 압박하고, 상기 제1 보유 지지 부재의 상기 클램프를 상기 제1 지지판에 평행인 축의 둘레로 회전시키는, 기판 착탈 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 봉형 부재는, 에어 실린더로 구동되는 피스톤인, 기판 착탈 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    제2 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제2 보유 지지 부재를 지지하기 위한 제2 지지판과, 상기 제2 지지판에 설치된 제2 액추에이터를 갖고, 상기 제2 액추에이터는, 상기 제2 보유 지지 부재에 설치된 클립을 작동시켜서, 클립에 상기 기판을 보유 지지시키는, 기판 착탈 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제2 액추에이터는, 상기 제2 지지판에 수직인 방향으로 이동하는 제2 봉형 부재를 갖고, 그 제2 봉형 부재에 의해 상기 제2 보유 지지 부재의 클립을 상기 제2 지지판에 평행인 축의 둘레로 회전시키는, 기판 착탈 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제2 봉형 부재는, 에어 실린더로 구동되는 피스톤인, 기판 착탈 장치.
  16. 제1항에 있어서,
    제2 홀더 보유 지지 장치는,
    상기 제2 보유 지지 부재를 지지하기 위한 제2 지지판과,
    상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제2 지지판에 보유 지지하기 위한 흡착 장치와,
    상기 제2 지지판을 선회시키기 위한 선회 기구와,
    상기 제2 지지판을 상기 제1 홀더 보유 지지 부재에 대하여 접근 및 이격시키는 직동 기구
    를 갖는 기판 착탈 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 흡착 장치는, 압입 흡착 실린더를 갖고,
    상기 압입 흡착 실린더는, 상기 제2 보유 지지 부재에 압박되는 흡반과, 상기 흡반에 개구하여 상기 제2 보유 지지 부재측에 기체를 공급하기 위한 개구부를 갖는 기판 착탈 장치.
  18. 제16항 또는 제17항에 있어서,
    상기 선회 기구는, 상기 제2 지지판을 회전시키기 위한 제1 전동 모터를 갖는 기판 착탈 장치.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 직동 기구는, 제2 전동 모터와, 제2 전동 모터의 동력을 직선 방향으로 변환하는 회전 직동 변환 기구를 갖고, 상기 제2 전동 모터는 전자기 브레이크를 갖는 기판 착탈 장치.
  20. 제16항에 있어서,
    제2 홀더 보유 지지 장치는, 상기 제2 보유 지지 부재의 측면에 맞닿고, 상기 제2 지지판의 면 내에서의 상기 제2 보유 지지 부재의 위치 결정을 하기 위한 수평 위치 결정 장치를 더 갖는, 기판 착탈 장치.
  21. 제16항에 있어서,
    상기 제2 지지판은, 직사각 형상이며, 다각형 형상의 상기 제2 보유 지지 부재를 지지하도록 구성되어 있는, 기판 착탈 장치.
  22. 도금 장치이며,
    기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치와,
    상기 기판 착탈 장치에 있어서 상기 기판을 보유 지지한 상기 기판 홀더를 받아들여서, 상기 기판에 도금 처리를 실시하는 도금 처리부를 구비하고,
    상기 기판 착탈 장치는,
    상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 제1 홀더 보유 지지 장치와,
    제1 홀더 보유 지지 장치에 대하여 접근 및 이격하도록 직진 이동 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와 상기 제1 자세와는 직교하는 제2 자세로 보유 지지 가능하고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 제2 홀더 보유 지지 장치를 구비하는,
    도금 장치.
  23. 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치의 제어 장치이며,
    제1 홀더 보유 지지 장치에 의해 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 것,
    제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와는 직교하는 제2 자세로 지지한 상태에서, 상기 제2 보유 지지 부재에 상기 기판을 고정시키고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 선회시키는 것,
    제2 홀더 보유 지지 장치를 상기 제1 홀더 보유 지지 장치를 향하여 직진시키는 것,
    제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 것
    을 포함하는 처리를 실행하는 제어 장치.
  24. 기판 홀더의 제1 및 제2 보유 지지 부재 사이에 기판을 끼움 지지하여 보유 지지하는 기판 착탈 장치의 제어 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체이며,
    제1 홀더 보유 지지 장치에 의해 상기 제1 보유 지지 부재를 제1 자세로 지지하는 것,
    제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를, 상기 제1 자세와는 직교하는 제2 자세로 지지한 상태에서, 상기 제2 보유 지지 부재에 상기 기판을 고정시키고, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 자세로 선회시키는 것,
    제2 홀더 보유 지지 장치를 상기 제1 홀더 보유 지지 장치를 향하여 직진시키는 것,
    제2 홀더 보유 지지 장치에 의해, 상기 제2 보유 지지 부재를 상기 제1 보유 지지 부재에 대하여 밀어붙여서, 상기 제1 보유 지지 부재와 상기 제2 보유 지지 부재를 서로 고정시키는 것
    을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체.
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