JP2012107311A - めっき装置、めっき処理方法及びめっき装置用基板ホルダの姿勢変換方法 - Google Patents
めっき装置、めっき処理方法及びめっき装置用基板ホルダの姿勢変換方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板を着脱可能に保持する基板ホルダ110を水平に載置するためのテーブル120と、めっき処理部130と、基板ホルダを保持する保持部を有し、テーブルとめっき処理部との間で基板ホルダを搬送するための基板ホルダ搬送部140と、を備え、テーブルは、基板ホルダの一端部を支持し、かつ水平方向に移動可能な水平移動機構121を有し、基板ホルダ搬送部は、基板ホルダの他端部が水平移動機構に支持された状態で、保持部を昇降させることにより、水平移動機構の水平方向の移動をともなって、基板ホルダを垂直状態から水平状態または水平状態から垂直状態に変換させる昇降機構を有することを特徴とするめっき装置。
【選択図】図5
Description
102 基板ホルダ開閉機構
110 基板ホルダ
111 ハンドルバー
112 ハンガー部
113 基板ホルダの下端部
114 給電接点
120 テーブル
121 水平移動機構
130 めっき処理部
140 基板ホルダ搬送部
141 アーム
142 リフター
143 クランパ
144 センサ
145 支柱部
146 アクチュエータ
500 基板
1100 ヘッド部
1200 第1のアクチュエータ
1300 第2のアクチュエータ
Claims (16)
- 基板を着脱可能に保持する基板ホルダを水平に載置するためのテーブルと、
めっき液を保持し、前記基板ホルダに着脱可能に保持された基板を垂直に浸漬させ、めっき処理を行うためのめっき処理部と、
前記基板ホルダを保持する保持部を有し、前記テーブルと前記めっき処理部との間で前記基板ホルダを搬送するための基板ホルダ搬送部と、を備え、
前記テーブルは、前記基板ホルダの一端部を支持し、かつ水平方向に移動可能な水平移動機構を有し、
前記基板ホルダ搬送部は、前記基板ホルダの他端部が前記水平移動機構に支持された状態で、前記保持部を昇降させることにより、前記水平移動機構の水平方向の移動をともなって、当該基板ホルダを垂直状態から水平状態または水平状態から垂直状態に変換させる昇降機構を有することを特徴とするめっき装置。 - 前記基板ホルダの前記基板ホルダ搬送部による保持の有無、及び又は前記基板ホルダと前記昇降機構との間の距離を検出する基板ホルダ検出部を有することを特徴とする請求項1記載のめっき装置。
- 前記保持部が前記基板ホルダを保持していないか、または前記基板ホルダと前記昇降機構との間の距離が基準値を外れたことを前記基板ホルダ検出部が検出した場合に、前記昇降機構の動作を停止する昇降機構制御部を有することを特徴とする請求項2記載のめっき装置。
- 前記基板ホルダは丸棒形状のハンドルバーを有し、前記保持部は前記ハンドルバーを保持することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記保持部は、前記ハンドルバーを回転自在に支持する形状であることを特徴とする請求項4に記載のめっき装置。
- 前記基板ホルダの他端部は、前記水平移動機構と接する部分の形状が半円形状であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記水平移動機構は、前記水平移動機構より吊り下げられた錘により、前記保持部の下降位置方向へと付勢されることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記基板ホルダ搬送部は、前記基板ホルダの搬送中に前記基板ホルダの振れを止めるクランパを有することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のめっき装置。
- 基板を着脱可能に保持する基板ホルダの姿勢を変換する方法であって、
前記基板ホルダの一端部を基板ホルダ搬送部の保持部により保持し、
前記基板ホルダ搬送部が前記基板ホルダをテーブル上に移動し、
前記保持部が下降し前記基板ホルダの他端部が前記テーブルが有する水平移動機構と接し、
前記保持部がさらに下降して前記水平移動機構が水平方向へと移動し、前記基板ホルダが垂直状態から水平状態へと移行する
ことを特徴とするめっき装置用基板ホルダの姿勢変換方法。 - 前記基板ホルダの前記基板ホルダ搬送部による保持の有無、及び又は前記基板ホルダと前記昇降機構との間の距離を検出し、前記基板ホルダ検出部が前記基板ホルダを前記保持部が保持していないか、または前記基板ホルダと前記昇降機構との間の距離が基準値を外れたことを検出した場合に、前記昇降機構の動作を停止すること、をさらに含むこと特徴とする請求項9記載のめっき装置用基板ホルダの姿勢変換方法。
- 前記基板ホルダ搬送部は、前記基板ホルダの他端部が前記水平移動機構と接した後、前記基板ホルダを所定角度傾けるために水平方向への移動を行うことを特徴とする請求項9に記載のめっき装置用基板ホルダの姿勢変換方法。
- 基板ホルダを保持する基板ホルダ搬送部により前記基板ホルダをテーブルに載置し、
前記テーブルに載置された前記基板ホルダに基板を装着して保持し、
前記基板ホルダ搬送部の保持部により前記基板ホルダの一端部を保持し、
前記基板ホルダ搬送部を上昇させるとともに前記テーブル上の水平移動機構を水平方向へと移動させて前記基板ホルダの姿勢を水平状態から垂直状態へと変換し、
前記基板ホルダ搬送部により前記基板ホルダをめっき液を保持するめっき処理部の上方へと移動し、
前記基板ホルダ搬送部により前記基板ホルダを下降させてめっき液へと浸漬させる
ことを特徴とするめっき処理方法。 - 基板を着脱可能に保持する基板ホルダを水平に載置するためのテーブルと、
めっき液を保持し、前記基板ホルダに着脱可能に保持された基板を垂直に浸漬させ、めっき処理を行うためのめっき処理部と、
前記基板ホルダを保持する保持部を有し、前記テーブルと前記めっき処理部との間で前記基板ホルダを搬送するための基板ホルダ搬送部と、
前記テーブルに載置された前記基板ホルダの基板ホルダ開閉機構とを備え、
前記基板ホルダは、回転可能な押え部材を有する可動保持部材と、前記可動保持部材とともに前記基板ホルダを挟持する前記可動保持部材が固定される固定保持部材とを有し、
前記基板ホルダ開閉機構は、
前記可動保持部材を押圧し、少なくとも一部が回転して前記可動保持部材を前記固定保持部材へと固定及び前記固定保持部材から固定解除するとともに前記可動保持部材を保持可能なヘッド部と、
前記ヘッド部を上下動させる第1のアクチュエータと、
前記ヘッド部の少なくとも一部を回転させる第2のアクチュエータと、
を有することを特徴とするめっき装置。 - 前記ヘッド部は、
回転可能な回転板と、
前記可動保持部材を保持可能な引き上げフックを備えて前記可動保持部材を押圧する押圧円板とを有し、
前記押え部材は耳部を有し、
前記固定保持部材はクランパを有し、
前記回転板はシャフトと接続され、前記シャフトを前記第2のアクチュエータが押し動かすことにより回転し、前記回転板の回転により前記押え部材を回転させ、
前記耳部は、前記押え部材の回転に応じて、
前記クランパと嵌合されて前記可動保持部材は前記固定保持部材へと固定され、または
前記引き上げフックの引き上げ位置に移動する
ことを特徴とする請求項13に記載のめっき装置。 - 前記ヘッド部は、前記基板の前記基板ホルダ上における位置を確認する基板位置検知手段を有することを特徴とする請求項14に記載のめっき装置。
- 前記押圧円板は前記可動保持部材を押圧する押し付けブロックを有し、前記押し付けブロックはあらかじめ圧縮されたスプリングを内部に備えることを特徴とする請求項14または15に記載のめっき装置。
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