JP2018003102A - 基板ホルダの検査装置、これを備えためっき装置、及び外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
外部接点部の外観の画像データ又は形状データを取得するように構成される。
した後、外観検査装置により再び検査をすることができる。これにより、洗浄によって基板ホルダが正常になったか否かを確認することができる。
以下、本発明の第1実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。図1は、第1実施形態に係る検査装置の概略全体配置図である。図1に示すように、この検査装置20は、1つ以上の基板ホルダ30を収納するように構成されたストッカ22と、基板ホルダ30を洗浄するためのクリーニング装置50と、基板ホルダ30の開閉を行い、基板ホルダ30に基板Wfを着脱するように構成されたフィキシングユニット60(基板脱着装置の一例に相当する)と、を備えている。ストッカ22と、クリーニング装置50と、フィキシングユニット60はこの順番に検査装置20内に配置される。基板Wfとしては、例えば検査用のダミー基板を使用することができる。ここで、ダミー基板とは、基板の表面に形成される導電膜厚が製品基板に比べてより厳密に管理された基板をいう。言い換えれば、ダミー基板とは、所望の導電膜厚を有するように管理された較正用基板である。
0が収容される。この基板ホルダ30を収容したストッカ22が検査装置20に搬入され、基板ホルダ30の状態が検査装置20で検査される。
る。続いて、押えリング37を時計回りに回転させて、押えリング37の突条部37aをクランパ34の内方突出部の内部(下側)に滑り込ませる。これにより、押えリング37とクランパ34にそれぞれ設けられたテーパ面を介して、第1保持部材31と第2保持部材32とが互いに締付けられてロックされ、基板Wfが保持される。基板Wfの保持を解除するときは、第1保持部材31と第2保持部材32とがロックされた状態において、押えリング37を反時計回りに回転させる。これにより、押えリング37の突条部37aが逆L字状のクランパ34から外されて、基板Wfの保持が解除される。
より、基板Wfを保持した基板ホルダ30が、基板側シール部材39及びホルダ側シール部材42にリークが発生していないか確認される。通電確認検査及びリークチェックが終了した後、フィキシングユニット60は第2保持部材32を第1保持部材31から取り外し、基板搬送装置70は、基板Wfを吸着して基板載置台74に戻す。以上で説明したように、通電確認装置で基板ホルダ30と基板Wfとの導通を確認するとき、又はリークチェック装置で基板ホルダ30のリークチェックを行うとき、基板Wfが基板搬送装置70により基板ホルダ30に搬送される。
ルダ30を洗浄し(ステップS106)、図10に示した基板ホルダ乾燥槽161で基板ホルダ30を乾燥する(ステップS107)。「クリーニング」が有効でないと判定された場合(ステップS105,No)、ステップS106及びステップ107はスキップされる。
部49、及び外部接点部38を介した基板Wfへの通電の確認を行う。より具体的には、例えば、電気接点44を基板Wfに接触させた状態で、外部接点部38の複数の接点部38a(図3参照)の2つに電流を流し、その配線抵抗を測定する。測定した配線抵抗を所定の閾値と比較し、閾値よりも大きい場合は、導通が正常でないと判定する。この判定結果は、制御装置90に送信される。「通電確認」が有効でないと判定された場合(ステップS114,No)、ステップS115はスキップされる。
ステップS121)。検査を繰り返すか否かは、作業員により、予め制御装置90に設定され得る。検査を繰り返すと判定された場合(ステップS121,Yes)、ステップS108に戻り、各検査が繰り返される。一方で、検査を繰り返さないと判定された場合(ステップS121,No)、基板ホルダ30はストッカ22に収納され(ステップS118)、検査装置20から搬出される(ステップS119)。
以下、本発明の第2実施形態について図面を参照して説明する。図15は、第2実施形態に係る検査装置20の概略全体配置図である。図15に示す検査装置20は、図1に示した検査装置20と比べて、基板ホルダ30を使用して基板Wfにめっき処理を行うめっき装置100と連結されている点が主に異なる。なお、図15においては、めっき装置100の具体的な構成は省略されている。また、この検査装置20は、複数のストッカ22を受け入れるストッカ設置部22aを備え、これらのストッカ22は、めっき装置100と検査装置20との間を移動可能に構成される。なお、本明細書において、検査装置20とめっき装置100との連結とは、検査装置20のストッカ22の出入り口とめっき装置100のストッカ22の出入り口とが連結していることを意味する。
、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲及び明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、又は省略が可能である。
22…ストッカ
22a…ストッカ設置部
24…トランスポータ
30…基板ホルダ
31…第1保持部材
32…第2保持部材
38…外部接点部
39…基板側シール部材
42…ホルダ側シール部材
44…電気接点
49…中継接点部
50…クリーニング装置
60…フィキシングユニット
70…基板搬送機構
80…外観検査装置
81…測定器
82…移動アーム
90…制御装置
100…めっき装置
Claims (12)
- 基板と接触して前記基板に電流を流すための電気接点と、前記基板の表面をシールするシール部材とを有し、前記基板を保持する基板ホルダを検査する検査装置であって、
前記基板ホルダを収納するストッカを設置するストッカ設置部と、
前記基板ホルダを洗浄するクリーニング装置と、
前記基板ホルダの開閉を行う基板脱着装置と、
前記シール部及び前記電気接点の少なくとも一つの外観の画像データ又は形状データを取得するように構成される外観検査装置と、
前記基板ホルダを、前記ストッカ、前記クリーニング装置及び前記外観検査装置の間で搬送する搬送機と、を有する、検査装置。 - 請求項1に記載された検査装置において、
前記基板ホルダは、前記基板を載置する面を有する第1保持部材と、前記シール部材及び前記電気接点を有し、且つ前記第1保持部材とともに前記基板を着脱自在に保持する第2保持部材と、を有し、
前記基板脱着装置は、前記第2保持部材を前記第1保持部材から取り外した状態で維持するように構成され、
前記外観検査装置は、前記シール部材及び前記電気接点の少なくとも一つの外観の画像データ又は形状データを取得する測定器と、前記測定器を前記第1保持部材と前記第2保持部材の間に移動させるアーム部と、を有する、検査装置。 - 請求項2に記載された検査装置において、
前記基板ホルダの第2保持部材は、前記電気接点と接触して外部電源からの電流を前記電気接点に供給する中継接点部を有し、
前記外観検査装置は、前記中継接点部の外観の画像データ又は形状データを取得するように構成される、検査装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載された検査装置において、
前記基板ホルダは、外部電源と電気的に接続され、前記外部電源からの電流を前記電気接点に供給する外部接点部を有し、
前記外観検査装置は、前記外部接点部の外観の画像データ又は形状データを取得するように構成される、検査装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載された検査装置において、
前記基板脱着装置にダミー基板を搬送するための基板搬送装置と、
前記基板脱着装置で前記ダミー基板を保持させた前記基板ホルダを受け入れて、前記電気接点と前記ダミー基板との導通を確認する通電確認装置と、を有する、検査装置。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載された検査装置において、
前記基板脱着装置にダミー基板を搬送するための基板搬送装置と、
前記基板脱着装置で前記ダミー基板を保持させた前記基板ホルダを受け入れて、前記シール部が前記ダミー基板の表面を正常にシールしているか否かを検査するリークチェック装置と、を有する、検査装置。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載された検査装置において、
前記搬送機、前記基板脱着装置、前記外観検査装置、及び前記クリーニング装置を制御する制御装置を有し、
前記制御装置は、前記外観検査装置における検査の前に、前記クリーニング装置に前記基板ホルダを洗浄させる、検査装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載された検査装置において、
前記搬送機、前記基板脱着装置、前記外観検査装置、及び前記クリーニング装置を制御する制御装置を有し、
前記制御装置は、前記外観検査装置における検査において前記基板ホルダが正常でないと判定されたとき、前記クリーニング装置に前記基板ホルダを洗浄させる、検査装置。 - 請求項8に記載された検査装置において、
前記制御装置は、前記外観検査装置における前記検査において前記基板ホルダが正常でないと判定されて前記クリーニング装置において前記基板ホルダが洗浄された後、前記外観検査装置に前記基板ホルダを再び検査させる、検査装置。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載された検査装置において、
前記検査装置は、前記基板ホルダを使用して前記基板にめっき処理を行うめっき装置と連結され、
前記ストッカは、前記めっき装置と前記検査装置の前記ストッカ設置部との間を移動可能に構成される、検査装置。 - 前記基板ホルダを使用して前記基板にめっき処理を行うめっき装置であって、
請求項1から9のいずれか一項に記載された検査装置を有する、めっき装置。 - 基板と接触して前記基板に電流を流すための電気接点と、前記基板の表面をシールするシール部材とを有し、前記基板を保持する基板ホルダの外観を検査する外観検査装置であって、
前記シール部及び前記電気接点の少なくとも一つの外観の画像データ又は形状データを取得して、前記基板ホルダの外観が正常か否かを判定するように構成された、外観検査装置。
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