JP2005307274A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 装置のスループットを犠牲にすることなくめっき処理に加えて付加処理を行うことができ、また、低コストでアップグレードすることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板処理装置は、基板Wに対してめっき処理を行うめっき処理装置2と、基板Wに対して付加処理を行う付加処理装置3とを備えている。めっき処理装置2は、基板Wに対してめっき処理を行い基板の表面に金属を成膜するめっきユニット20と、基板Wを載置する基板載置台24,26と、めっき処理装置2内で基板Wを搬送する搬送装置28とを備えている。付加処理装置3は、めっき処理装置2に連結されており、基板Wに対して付加処理を行う付加処理ユニット30と、めっき処理装置2の基板載置台26と付加処理ユニット30との間で基板を搬送する搬送装置32とを備えている。
【選択図】 図4
【解決手段】 基板処理装置は、基板Wに対してめっき処理を行うめっき処理装置2と、基板Wに対して付加処理を行う付加処理装置3とを備えている。めっき処理装置2は、基板Wに対してめっき処理を行い基板の表面に金属を成膜するめっきユニット20と、基板Wを載置する基板載置台24,26と、めっき処理装置2内で基板Wを搬送する搬送装置28とを備えている。付加処理装置3は、めっき処理装置2に連結されており、基板Wに対して付加処理を行う付加処理ユニット30と、めっき処理装置2の基板載置台26と付加処理ユニット30との間で基板を搬送する搬送装置32とを備えている。
【選択図】 図4
Description
本発明は、基板に対してめっき処理を行うめっき装置を備えた基板処理装置に係り、特に半導体ウェハ、ガラス基板、インターポーザなどの電子用基板の表面にLSI配線や貫通プラグなどの配線をめっきにより形成するめっき装置を備えた基板処理装置に関するものである。
LSIなどの配線材料がアルミ系から銅系に移行するに伴い、配線形成方法も化学蒸着法(CVD)や物理蒸着法(PVD)のような乾式処理からめっき処理に変わりつつある。このようなめっき処理を行うめっき装置には新たな機能の付加がますます求められている。具体的には、めっき膜を加熱してグレイン(結晶粒)を成長させ安定化を促進するアニール機能、めっき後の表面段差を減少させるためのエッチング機能、めっき後の基板の表面を研削または研磨する機能、めっき膜の膜厚を測定または欠陥などを検出する検査機能などの付加処理が要望されている。特に、上述した付加処理のうち、めっき成膜直後のアニール処理は、銅めっき膜のグレインを一様に成長および安定化させ、グレインサイズの均一化とめっき膜比抵抗を下げるために幅広く行われるようになってきている。
図1は、従来のめっき装置を備えた基板処理装置の一例を示す。図1に示すように、この従来の基板処理装置においては、上述した付加処理装置としてのアニール装置800がめっき装置810から独立して配置されている。図1に示すめっき装置810は、4台のめっきユニット812と、2台のエッチング・洗浄ユニット814と、基板載置台816と、モニタ機能を有する基板載置台818と、搬送装置820,822とを備えている。また、アニール装置800は、アニールチャンバ802と、搬送装置804とを備えている。
このような従来の基板処理装置においては、めっき装置810とアニール装置800との間の基板の搬送は、基板搬送容器806をめっき装置810とアニール装置800との間で移動させることによりなされる。このため、めっき装置810とアニール装置800との間での基板の待機時間を一定に管理することが難しい。この待機時間が変動すると、最終的に得られるグレインサイズが基板の面内でばらつき、めっき膜の均質性を阻害する要因になるおそれがある。また、このような基板処理装置においては、めっき装置810とは別にアニール装置800が必要になる。
最近では、図2および図3に示すように、めっき装置とアニール装置とを一体化あるいはオンボード化することも行われている。図2に示す基板処理装置830は、装置の側面に接続されたアニールチャンバ832を備えており、このアニールチャンバ832への基板の搬送は搬送装置822により行われる。また、図3に示す基板処理装置834は、装置の内部のエッチング・洗浄ユニット814に隣接した位置にアニールチャンバ836を有しており、このアニールチャンバ832への基板の搬送は搬送装置822により行われる。
このような一体化された基板処理装置においては、図1に示す基板処理装置とは異なり、新たにアニール装置を設置する必要がないので生産設備のコストを軽減することが可能であり、また、一体化することでめっき処理とアニール処理との間の基板の待機時間を一定に管理できるので、めっき膜が室温放置下においても自然にグレイン成長することを避けることができる。
しかしながら、最近では、層間絶縁膜としてlow−k材と呼ばれる有機系多孔質材料が使われ始めており、これに伴い、上述した一体化によっても解決できない新たな技術的問題が発生している。low−k材は、加熱や電子線照射により分子間の結合がより強固になり、体積が収縮し(キュアされ)、めっき膜と下層との間の界面に応力集中が生じ、膜の信頼性を大幅に低下させる事例が認められている。
また、めっきによってLSI配線を製作する場合、配線サイズが65nmノード(線幅100nm以下)からさらに微細化された場合、配線に加わる熱履歴(サーマルバジェット)が従来よりも低くなり、強制アニール後においてもグレインがさらに成長してしまう事例も認められている。この理由は、low−kの熱伝導性が従来の絶縁膜材料よりも小さくなることが影響していると考えられる。
上述した問題を避けるためには、アニール処理の時間を長くせざるを得なくなり、めっき装置のスループットがアニール処理によって著しく下がってしまう。したがって、装置のスループットを大きく下げることなく、めっき処理に加えてアニール処理などの付加処理を行うことができる基板処理装置が要望されている。
また、めっき給電層(シード層)表面での自然酸化膜形成や有機汚染の問題が指摘されている。これらの問題は、めっき前工程からめっきまでの間の待機時間や基板の保管状態に依存するものである。
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、装置のスループットを犠牲にすることなくめっき処理に加えて付加処理を行うことができ、また、低コストでアップグレードすることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様によれば、基板に対してめっき処理を行い基板の表面に金属を成膜するめっき処理装置と、基板に対して付加処理を行う付加処理装置とを備えた基板処理装置が提供される。上記めっき処理装置は、上記付加処理装置に搬送する基板を載置する基板載置台を備えている。上記付加処理装置は、基板に対して付加処理を行う付加処理ユニットと、上記めっき処理装置の基板載置台と上記付加処理ユニットとの間で基板を搬送する搬送装置とを備えている。
本発明の第2の態様によれば、基板に対してめっき処理を行うめっき処理装置と、上記、基板に対して付加処理を行う付加処理装置とを備えた基板処理装置が提供される。上記めっき処理装置は、基板に対してめっき処理を行い基板の表面に金属を成膜するめっきユニットと、上記めっき処理装置内で基板を搬送する第1の搬送装置と、上記付加処理装置に搬送する基板を載置する基板載置台とを備えている。上記付加処理装置は、上記めっき処理装置に隣接して配置されており、基板に対して付加処理を行う付加処理ユニットと、上記めっき処理装置の基板載置台と上記付加処理ユニットとの間で基板を搬送する第2の搬送装置とを備えている。
上記めっき処理装置と上記付加処理装置を互いに独立して配置することが好ましい。
上記付加処理ユニットは、基板を加熱するアニールユニット、基板を洗浄する洗浄ユニット、基板をエッチングするエッチングユニット、基板を研磨する研磨ユニット、または基板の表面に形成されためっき膜の膜厚を測定する膜厚測定ユニットなどにより構成することができる。
上記めっき処理装置は、微細な凹凸構造を有する基板の凹部に上記金属を充填するものであることが好ましい。また、凹部に充填する金属は、少なくとも銅、コバルト、ニッケル、金、またはすずのいずれかを含むことが好ましい。
本発明の第3の態様によれば、基板に対して主処理を行う主処理装置と、基板に対して付加処理を行う付加処理装置とを備えた基板処理装置が提供される。前記主処理装置は、前記付加処理装置に搬送する基板を載置する基板載置台を備えている。前記付加処理装置は、基板に対して付加処理を行う付加処理ユニットと、前記主処理装置の基板載置台と前記付加処理ユニットとの間で基板を搬送する搬送装置とを備えている。
本発明によれば、めっき処理装置と付加処理装置との間の基板の搬送は、付加処理装置の第2搬送装置により行われるため、装置のスループットを犠牲にすることなく、めっき処理に加えて付加処理を行うことができる。また、めっき処理装置と付加処理装置とを独立に備えているので、付加処理装置を必要に応じていつでも低コストでアップグレードすることが可能となる。例えば、アニール処理について言えば、付加処理装置としてのアニール処理部の部分のみをレトロフィットまたはアップグレードすることにより対応することができる。また、例えば、アニールユニットの加熱機構をホットプレート型からランプ式、誘導加熱式、赤外線式、電子線照射式などの別方式に切り替える場合、従来の基板処理装置では基板処理装置全体の改造が必要になるが、本発明によれば、アニール処理部のみを差し替えることにより対応可能であり、アップグレードのためのコストや手間が大幅に軽減される。
以下、本発明に係る基板処理装置の実施形態について図4から図14を参照して詳細に説明する。なお、図4から図14において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
図4は、本発明の第1の実施形態における基板処理装置1を示す平面図である。基板処理装置1は、微細な凹凸構造を有する半導体ウェハなどの基板に対してめっき処理を行う矩形状のめっき処理装置2と、基板に対してアニール、エッチング、研磨などの付加処理を行う矩形状の付加処理装置3とを備えている。この付加処理装置3は、めっき処理装置2の長手方向端部に連結されている。
めっき処理装置2は、基板に対してめっき処理を行い基板の表面に金属を成膜する5台のめっきユニット20と、めっき後の基板をエッチング、洗浄、乾燥する2台のエッチング・洗浄ユニット22と、モニタ機能を有する基板載置台24と、付加処理装置3に隣接して配置された基板載置台26と、めっき処理装置2の長手方向に沿って走行可能な搬送装置28とを備えている。搬送装置28の片側には、基板載置台24、2台のめっきユニット20、1台のエッチング・洗浄ユニット22、基板載置台26が配置されており、この反対側には、3台のめっきユニット20、1台のエッチング・洗浄ユニット22が配置されている。
めっき処理装置2の長手方向の端部には、SMIF(Standard Manufacturing Interface)ポッドやFOUP(Front Opening Unified Pod)などの多数の基板を収納可能な基板搬送容器4が着脱自在に取り付けられる。搬送装置28は、上述しためっきユニット20、エッチング・洗浄ユニット22、基板載置台24,26、基板搬送容器4の間で基板を搬送する。
図4に示すように、付加処理装置3は、基板に対してアニール、エッチング、研磨をはじめとする付加処理を行う付加処理ユニット30と、めっき処理装置2の基板載置台26と付加処理ユニット30との間に配置された搬送装置32とを備えている。この搬送装置32は、めっき処理装置2の基板載置台26と付加処理ユニット30との間で基板を搬送する。
基板搬送容器4によりめっき処理装置2に導入された基板は、搬送装置28によりめっきユニット20に搬送され、ここでめっきされる。めっき後の基板は、搬送装置28によりエッチング・洗浄ユニット22に搬送され、ここで基板のエッジ(ベベル)部に付着しためっき膜のエッチングと基板の洗浄および乾燥が行われる。
めっき処理装置2での処理が完了した基板は、搬送装置28により基板載置台26に置かれ、付加処理装置3内の搬送装置32により付加処理ユニット30に導入される。付加処理ユニット30では、基板に対してアニール、エッチング、研磨をはじめとする付加処理が行われる。付加処理が完了した基板は、搬送装置32によりめっき処理装置2の基板載置台26に戻される。基板載置台26上の基板は、搬送装置28により基板搬送容器4に戻される。なお、基板搬送容器4はめっき処理装置2だけではなく付加処理装置3にも設けてもよい。この場合には、付加処理が完了した基板は、搬送装置32によって付加処理装置3に設けた基板搬送容器(図示せず)に直接戻される。
このように、本実施形態の基板処理装置によれば、多様化するめっき後の付加処理を低コストで行い、あるいはアップグレードすることができる。また、めっき前後の基板の待機時間やスループットに影響を与えることなく、基板処理装置を多機能化することが可能になる。
図5は、めっきユニット20の主要部を示す概略図である。図5に示すように、めっきユニット20は、水平方向に揺動自在な揺動アーム600を備え、この揺動アーム600の先端に電極ヘッド602が回転自在に支承されている。一方、電極ヘッド602の下方に位置して、表面(被めっき面)を上向きにして基板Wを保持する基板ステージ604が上下動自在に配置され、この基板ステージ604の上方には、該基板ステージ604の周縁部を囲繞するようにカソード部606が配置されている。
この例においては、電極ヘッド602として、その径が基板ステージ604の径よりわずかに小さい径を有するものを使用し、電極ヘッド602と基板ステージ604との相対位置を変化させることなく、基板ステージ604で保持した基板Wの表面(被めっき面)のほぼ全面にわたってめっきを行えるようにした例を示している。また、この例では、表面を上向きにして基板を保持してめっきを行うようにした、いわゆるフェースアップ方式を採用しためっきユニットに適用した例を示しているが、表面を下向きにして基板を保持してめっきを行うようにした、いわゆるフェースダウン方式を採用しためっきユニットや、基板を鉛直方向に配置してめっきを行うようにした、いわゆる縦置きタイプのめっきユニットにも本発明を適用することができる。
基板ステージ604の上面の周縁部には、内部に設けた真空通路604aに連通するリング状の真空吸着溝604bが設けられ、この真空吸着溝604bを挟んだ内外の両側に、シールリング608,610が装着されている。これにより、基板ステージ604の上面に基板Wを載置し、真空通路604aを介して真空吸着溝604b内を真空吸引することで、基板Wをその周縁部を吸着して保持するようになっている。
揺動アーム600は、図示しないサーボモータからなる上下動モータとボールねじを介して上下動し、図示しない旋回モータを介して、旋回(揺動)するようになっている。なお、モータの代わりに空気圧アクチュエータを使用してもよいことはもちろんである。
カソード部606は、例えば6分割されたカソード電極612と、このカソード電極612の上方を覆うように取付けた環状のシール材614とを有している。シール材614は、その内周縁部が内方に向け下方に傾斜し、かつ徐々に薄肉となって、内周端部が下方に垂下するように構成されている。これにより、基板ステージ604が上昇したときに、この基板ステージ604で保持した基板Wの周縁部にカソード電極612が押付けられて通電し、同時にシール材614の内周端部が基板Wの周縁部上面に圧接し、ここを水密的にシールして、基板の上面(被めっき面)に供給されためっき液が基板Wの端部から染み出すのを防止するとともに、めっき液がカソード電極612を汚染することを防止するようになっている。なお、この例では、カソード部606は、上下動不能で基板ステージ604と一体に回転するようになっているが、上下動自在で、下降した時にシール材614が基板Wの被めっき面に圧接するように構成してもよい。
電極ヘッド602は、ともに下方に開口した有底円筒状で、同心状に配置した回転ハウジング622と上下動ハウジング620とを有している。そして、回転ハウジング622は、揺動アーム600の自由端に取付けた回転体624の下面に固着されて該回転体624と一体に回転するよう構成されている。一方、上下動ハウジング620は、その上部において、回転ハウジング622の内部に位置して該回転ハウジング622と一体に回転し、相対的に上下動するように構成されている。上下動ハウジング620は、下端開口部を多孔質体628で閉塞することで、内部に円板状のアノード626を配置し、内部に該アノード626を浸漬させるめっき液Qを導入するアノード室630を区画形成している。
この多孔質体628は、この例では、多孔質材を3層に積層した多層構造となっている。すなわち、多孔質体628は、主にめっき液を保持する役割を果たすめっき液含浸材632と、このめっき液含浸材632の下面に取付けられた多孔質パッド634から構成され、この多孔質パッド634は、基板Wに直接接触する下層パッド634aと、この下層パッド634aとめっき液含浸材632との間に介装される上層パッド634bから構成されている。そして、めっき液含浸材632と上層パッド634bは、上下動ハウジング620の内部に位置し、下層パッド634aで上下動ハウジング620の下端開口部を閉塞するようになっている。このように、多孔質体628を多層構造とすることで、例えば基板Wと接触する多孔質パッド634(下層パッド634a)として、基板Wの被めっき面上の凹凸面を平坦化するのに十分な平坦性を有するものを使用することが可能となる。
この下層パッド634aは、基板Wの表面(被めっき面)と接触する面(表面)の平担性がある程度高く、めっき液が通過できる微細貫通穴を有し、少なくとも接触面が絶縁物もしくは絶縁性の高い物質で形成されていることが必要である。この下層パッド634aに要求される平担性は、例えば、最大粗さ(RMS)が数十μm以下程度である。
また、下層パッド634aに要求される微細貫通穴は、接触面での平坦性を保つために丸穴の貫通孔が好ましく、さらに、微細貫通穴の穴径や単位面積当たりの個数などは、めっきする膜質や配線パターンによって最適値が異なるが、両者とも小さい方が凹部内におけるめっき成長の選択性を向上させる上で好ましい。具体的な、微細貫通穴の穴径や単位面積当たりの個数としては、例えば、穴径30μm以下、好ましくは5〜20μmの微小貫通孔が、気孔率で50%以下の状態で存在すればよい。さらに、下層パッド634aは、ある程度の固さであることが好ましく、例えば、その引張り強度が5〜100kg/cm2、曲げ弾性強度が200〜10000kg/cm2程度であればよい。
この下層パッド634aは、さらに親水性の材料であることが好ましく、例えば以下に示す材料に対し親水化処理されたもの、または以下に示す材料に対する親水基を重合させたものが用いられる。このような材料の例としては、多孔ポリエチレン(PE)、多孔ポリプロピレン(PP)、多孔ポリアミド、多孔ポリカーボネートまたは多孔ポリイミドなどが挙げられる。このうち、多孔PE、多孔PP、多孔ポリアミド等は、超高分子のPE、PP、ポリアミド等の細かい粉を原料とし、これを押し固め、焼結成形することにより調製したものであり、フルダスS(三菱樹脂(株)製)、サンファインUF、サンファインAQ(ともに旭化成(株)製)、Spacy(スペイシーケミカル社製)等の商品名で市販されている。また、多孔ポリカーボネートは、例えば、ポリカーボネートフィルムにアクセラレーターで加速した高エネルギーの重金属(銅等)を貫通させ、これにより生成する直線上のトラック(軌跡)を選択的にエッチングすることにより調製されるものである。この下層パッド634aは、基板Wの表面と接触する面(表面)を圧縮加工、機械加工等により平坦化加工したものであってもよく、これにより、微小溝でのより高い優先析出が期待できる。
一方、めっき液含浸材632は、アルミナ、SiC、ムライト、ジルコニア、チタニア、コージライト等の多孔質セラミックスまたはポリプロピレンやポリエチレンの焼結体等の硬質多孔質体、あるいはこれらの複合体、さらには織布や不織布で構成される。例えば、アルミナ系セラミックスにあっては、ポア径30〜200μm、SiCにあっては、ポア径30μm以下、気孔率20〜95%、厚み1〜20mm、好ましくは5〜20mm、さらに好ましくは8〜15mm程度のものが使用される。この例では、例えば気孔率30%、平均ポア径100μmでアルミナ製の多孔質セラミックス板から構成されている。そして、この内部にめっき液を含有させることで、つまり多孔質セラミックス板自体は絶縁体であるが、この内部にめっき液を複雑に入り込ませ、厚さ方向にかなり長い経路を辿らせることで、めっき液の電気伝導率より小さい電気伝導率を有するように構成されている。
このようにめっき液含浸材632をアノード室630内に配し、このめっき液含浸材632によって大きな抵抗を発生させることで、銅層(めっき膜)の抵抗の影響を無視できる程度にし、基板Wの表面の電気抵抗による電流密度の面内差を小さくして、めっき膜の面内均一性を向上させることができる。
電極ヘッド602には、基板ステージ604で保持した基板Wの表面(被めっき面)に下層パッド634aを任意の圧力で押圧する、この例ではエアバッグ640からなる押圧機構が備えられている。つまり、この例では、回転ハウジング622の天井壁の下面と上下動ハウジング620の天井壁の上面との間に、リング状のエアバッグ(押圧機構)640が配置され、このエアバッグ640は、加圧流体導入管642を介して、加圧流体供給源(図示せず)に接続されている。
揺動アーム600を所定の位置(プロセス位置)に上下動できないように固定した状態で、エアバッグ640の内部を圧力Pで加圧することで、基板ステージ604で保持した基板Wの表面(被めっき面)に下層パッド634aを任意の圧力でより均一に押圧し、上記圧力Pを大気圧に戻すことで、下層パッド634aの押圧を解くことができる。
上下動ハウジング620には、この内部にめっき液を導入するめっき液導入管644と、加圧流体を導入する加圧流体導入管(図示せず)が取付けられており、アノード626の内部には、多数の細孔626aが設けられている。これにより、めっき液Qは、めっき液導入管644からアノード室630内に導入され、アノード室630の内部を加圧することで、アノード626の細孔626a内を通過してめっき液含浸材632の上面に達し、この内部から多孔質パッド634(上層パッド634bおよび下層パッド634a)の内部を通過して、基板ステージ604で保持した基板Wの上面に達する。
なお、アノード室630の内部は、化学反応により発生するガスも含むため、圧力が変化することがある。このため、アノード室630内の圧力は、プロセス中のフィードバック制御によりある設定値にコントロールされるようになっている。
ここで、アノード626は、例えば、銅めっきを行う場合にあっては、スライムの生成を抑制するため、含有量が0.03〜0.05%のリンを含む銅(含リン銅)で構成されているが、白金、チタン等の不溶解性金属あるいは金属上に白金等をめっきした不溶解性電極であってもよく、交換等が不要なことから、不溶解性金属あるいは不溶解性電極であることが好ましい。さらに、めっき液の流通のしやすさ等から、網状であってもよい。
カソード電極612はめっき電源650の陰極に、アノード626はめっき電源650の陽極にそれぞれ電気的に接続される。
次に、このめっきユニットでめっきを行う時の操作について説明する。まず、基板ステージ604の上面に基板Wを吸着保持した状態で、基板ステージ604を上昇させて、基板Wの周縁部をカソード電極612に接触させて通電可能な状態となし、さらに、基板Wの周縁部上面にシール材614を圧接させ、基板Wの周縁部を水密的にシールする。
一方、電極ヘッド602にあっては、アイドリングを行ってめっき液の置換および泡抜き等を行っている位置(アイドリング位置)から、めっき液Qを内部に保持した状態で、所定の位置(プロセス位置)に位置させる。すなわち、揺動アーム600を一旦上昇させ、さらに旋回させることで、電極ヘッド602を基板ステージ604の直上方位置に位置させ、しかる後、下降させて所定の位置(プロセス位置)に達した時に停止させる。そして、アノード室630内を加圧して、電極ヘッド602で保持しためっき液Qを多孔質パッド634の下面から吐出させる。次に、エアバッグ640内に加圧空気を導入して、下層パッド634aを下方に押付けて、基板ステージ604で保持した基板Wの上面(被めっき面)に下層パッド634aを所定の圧力で接触させる。
この下層パッド634aを基板Wの表面に接触させた状態で、下層パッド634aを、例えば毎秒1回転の速度で2回転させ基板Wの表面に擦り付けて、下層パッド634aの回転を停止させる。なお、下層パッド634aを固定しておいて、基板Wの方を回転させるようにしてもよいことはもちろんである。そして、下層パッド634aの回転を停止させた後、好ましくは、2秒以内にカソード電極612をめっき電源650の陰極に、アノード626をめっき電源650の陽極にそれぞれ接続し、これによって、基板Wの被めっき面へのめっきを開始する。
そして、所定時間めっきを継続した後、カソード電極612およびアノード626のめっき電源650との接続を解くとともに、アノード室630内を大気圧に戻し、さらにエアバッグ640内を大気圧に戻して、下層パッド634aの基板Wへの押圧を解く。そして、電極ヘッド602を上昇させる。
上記操作を、必要に応じて所定回数繰返し、基板Wの表面(被めっき面)に、配線用の微細凹部を埋めるのに十分な膜厚の銅層(めっき膜)を成膜したのち、電極ヘッド602を旋回させて元の位置(アイドリング位置)に戻す。なお、本実施形態では、基板の凹部に銅を充填する例について説明したが、コバルト、ニッケル、金やすずを凹部に充填することとしてもよい。
次に、付加処理ユニット30として基板を加熱するアニールユニットを設けた場合の例について説明する。図6は、付加処理ユニットとしてのアニールユニット30aを示す概略図である。このアニールユニット30aは、図6に示すように、複数のアニールチャンバ700を積層して構成されている。積層するアニールチャンバ700の数は、要求されるスループットやプロセス時間などから最適化された数とされる。
各アニールチャンバ700は、基板を加熱する加熱室702と、基板を冷却する冷却室704とを備えている。冷却室704にはシャッタ706,708が設けられている。加熱室702には、例えば400℃に基板を加熱するホットプレート710と、ホットプレート710の内部を貫通して上下方向に延び、上端に基板を載置保持する複数の昇降ピン712とが配置されている。冷却室704には、例えば冷却水を流して基板を冷却するクールプレート714と、クールプレート714の内部を貫通して上下方向に延び、上端に基板を載置保持する複数の昇降ピン716とが配置されている。
基板は、シャッタ706,708を通じて加熱室702の内部に搬入され、加熱室702内の昇降ピン712により保持される。そして、昇降ピン712を、基板とホットプレート710との間の距離が例えば0.1〜1.0mm程度となるまで下降させる。この状態で、ホットプレート710を介して基板を例えば400℃となるように加熱する。このとき、加熱室702内に酸化防止用のガスを導入して基板の酸化を防止しつつ、基板をアニールする。このアニールを、例えば数十秒〜60秒程度継続してアニールを終了する。基板の加熱温度は100〜600℃の範囲で選択される。
アニール終了後、基板は、冷却室704に移動され、冷却室704内の昇降ピン716により保持される。そして、昇降ピン716を、基板とクールプレート714との間の距離が例えば0〜0.5mm程度となるまで下降させる。この状態で、クールプレート714内に冷却水を導入することで、基板の温度が100℃以下となるまで、例えば10〜60秒程度、基板を冷却する。冷却終了後の基板は、付加処理装置3の搬送装置32により搬送され、基板搬送容器4に戻される。
次に、付加処理ユニット30として基板をエッチングおよび洗浄するエッチング・洗浄ユニットを設けた場合の例について説明する。図7は、付加処理ユニットとしてのエッチング・洗浄ユニット30bを示す概略図である。このエッチング・洗浄ユニット30bは、図7に示すように、基板Wを水平に保持して高速回転させる基板ステージ720と、基板ステージ720を回転させるモータ722と、基板ステージ720を取り囲む防水カバー724とを備えている。
このような構成において、基板Wの上下面に向かって超純水726、窒素または乾燥空気728、エッチング薬液または前処理薬液730が噴射される。これにより、基板Wの前処理、洗浄、エッチングを行うことができる。例えば、基板Wの外周部の余分な金属のエッチングや基板Wの表面のめっき段差の軽減を目的とするエッチングもできる。また、エッチング・洗浄後は、基板ステージ720を高速回転させることにより基板Wの乾燥を行うことができる。あるいは、リンサドライヤやドライガスを使用するスピン乾燥機などを用いることもできる。
次に、付加処理ユニット30として基板を研磨する研磨ユニットを設けた場合の例について説明する。図8は、付加処理ユニットとしての研磨ユニット30cを示す概略図である。この研磨ユニット30cは、図8に示すように、研磨パッド(または固定砥粒)740を上面に有する研磨テーブル742と、基板Wを保持して研磨テーブル742に押圧するトップリング744とを備えている。
研磨テーブル742は、その下方に配置されたスクロールモータ746に連結されており、並進回転運動を行うようになっている。また、トップリング744は、トップリングシャフト748を介して回転モータ750に連結されており、トップリングシャフト748を中心として回転するようになっている。
このような構成において、研磨パッド740の表面に研磨液(例えばスラリ752や超純水754)を供給しつつ、トップリング744により基板Wを研磨テーブル742に押圧して、基板Wの表面を平坦かつ鏡面状に研磨している。なお、このような化学機械研磨に限らず、固定砥粒による高速研削、電解エッチングによる粗研磨、通常の研削など、めっき後の基板の表面の段差を軽減するための処理を行うこともできる。
次に、付加処理ユニット30として基板の表面に形成されためっき膜の膜厚等を測定する検査ユニットを設けた場合の例について説明する。図9は、付加処理ユニットとしての検査ユニット30dを示す概略図である。この検査ユニット30dは、図9に示すように、基板Wの被めっき面を上向きにして基板Wを保持して水平面内で移動させるX−Yステージ760と、X−Yステージ760上の基板Wを検査するセンサ762とを備えている。
基板WはX−Yステージ760にチャックされ、基板Wの被めっき面にセンサ762を近接させて、X−Yステージ760を水平面内で移動させて、基板Wの表面を局所的に精査することができる。センサ762としては、膜厚センサ、パーティクルカウンタ、表面粗さセンサ、反射率センサ、画像認識センサなどを用いることができ、めっき膜、下地膜、または自然酸化膜の膜厚、表面汚染、めっき膜の反射率、表面粗さ、凹凸などをセンサ762で検出することができる。また、基板W上に形成された配線中の欠陥、例えば金属欠落やピットを特定エリアの画像変化や散乱強度の相対比較により検出することもできる。
図10は、本発明の第2の実施形態における基板処理装置101を示す平面図である。この基板処理装置101は、第1の実施形態における基板処理装置1と同様に、矩形状のめっき処理装置102を備えている。このめっき処理装置102は、第1の実施形態におけるめっき処理装置2の構成に加えて、前処理ユニット121を備えている。その他の点は、上述の第1の実施形態と同様である。
図11は、本発明の第3の実施形態における基板処理装置201を示す平面図である。この基板処理装置201は、第1の実施形態における基板処理装置1と同様に、矩形状のめっき処理装置202を備えている。このめっき処理装置202は、4台のめっきユニット20と、2台のエッチング・洗浄ユニット22と、モニタ機能を有する基板載置台224と、前処理ユニット121と、めっき処理装置202の長手方向に沿って走行可能な搬送装置28と、基板搬送容器4との間で基板を受け渡しする搬送装置223と、搬送装置28と搬送装置223との間に配置された基板載置台225とを備えている。基板載置台224は付加処理装置3に隣接して配置され、付加処理装置3内の搬送装置32は、この基板載置台224と付加処理ユニット30との間で基板を搬送する。
図12は、本発明の第4の実施形態における基板処理装置301を示す平面図である。この基板処理装置301は、矩形状のめっき処理装置302と、2つの付加処理装置303a,303bとを備えている。このめっき処理装置302は、4台のめっきユニット20と、2台のエッチング・洗浄ユニット22と、モニタ機能を有する基板載置台324と、めっき処理装置302の長手方向に沿って走行可能な搬送装置28と、基板搬送容器4との間で基板を受け渡しする搬送装置223と、搬送装置28と搬送装置223との間に配置された基板載置台225と、付加処理装置303aに隣接して配置された基板載置台326aと、付加処理装置303bに隣接して配置された基板載置台326bとを備えている。各付加処理装置303a,303b内の搬送装置32は、基板載置台326a,326bと付加処理ユニット30との間でそれぞれ基板を搬送する。
図13は、本発明の第5の実施形態における基板処理装置401を示す平面図である。この基板処理装置401は、凹部402aを有する矩形状のめっき処理装置402と、この凹部402a内に配置された付加処理装置403とを備えている。このめっき処理装置402は、4台のめっきユニット20と、2台のエッチング・洗浄ユニット22と、モニタ機能を有する基板載置台424と、めっき処理装置402の長手方向に沿って走行可能な搬送装置28と、基板搬送容器4との間で基板を受け渡しする搬送装置223と、搬送装置28と搬送装置223との間に配置された基板載置台225とを備えている。基板載置台225は、付加処理装置403に隣接して配置され、付加処理装置403内の搬送装置32は、この基板載置台225と付加処理ユニット30との間で基板を搬送する。
図14は、本発明の第6の実施形態における基板処理装置501を示す平面図である。この基板処理装置501は、めっき処理装置502と、めっき処理装置502の角部に配置された付加処理装置503とを備えている。このめっき処理装置502は、3台のめっきユニット20と、2台のエッチング・洗浄ユニット22と、付加処理装置503に隣接して配置された基板載置台526と、搬送装置528と、モニタ機能を有する基板載置台524と、基板搬送容器4との間で基板を受け渡しする搬送装置223と、めっき液などの薬液を管理する薬液管理部529とを備えている。図14に示すように、搬送装置528は、めっきユニット20、エッチング・洗浄ユニット22、前処理ユニット121、基板載置台526の中心に配置されており、本実施形態のめっき処理装置502内のユニットは、クラスター状にレイアウトされている。また、付加処理装置503内の搬送装置32は、基板載置台526と付加処理ユニット30との間で基板を搬送する。
上述の実施形態では、めっき処理装置と付加処理装置とを備えた基板処理装置について説明したが、本発明はめっき処理装置と付加処理装置との組み合わせに限られるものではない。基板に対して主処理を行う主処理装置(例えば、CMP装置や洗浄装置)と、基板に対して付加処理を行う付加処理装置との組み合わせに対しても本発明を適用することが可能である。
これまで本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。
1,101,201,301,401,501 基板処理装置
2,102,202,302,402,502 めっき処理装置
3,303a,303b,403,503 付加処理装置
4 基板搬送容器
20 めっきユニット
22 エッチング・洗浄ユニット
24,224,324,424,524 モニタ機能付基板載置台
26,225,326a,326b,526 基板載置台
28,32,223,528 搬送装置
30 付加処理ユニット
121 前処理ユニット
529 薬液管理部
2,102,202,302,402,502 めっき処理装置
3,303a,303b,403,503 付加処理装置
4 基板搬送容器
20 めっきユニット
22 エッチング・洗浄ユニット
24,224,324,424,524 モニタ機能付基板載置台
26,225,326a,326b,526 基板載置台
28,32,223,528 搬送装置
30 付加処理ユニット
121 前処理ユニット
529 薬液管理部
Claims (11)
- 基板に対してめっき処理を行い基板の表面に金属を成膜するめっき処理装置と、基板に対して付加処理を行う付加処理装置とを備えた基板処理装置において、
前記めっき処理装置は、前記付加処理装置に搬送する基板を載置する基板載置台を備え、
前記付加処理装置は、基板に対して付加処理を行う付加処理ユニットと、前記めっき処理装置の基板載置台と前記付加処理ユニットとの間で基板を搬送する搬送装置とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 基板に対してめっき処理を行うめっき処理装置と、前記めっき処理装置に隣接して配置された、基板に対して付加処理を行う付加処理装置とを備えた基板処理装置において、
前記めっき処理装置は、
基板に対してめっき処理を行い基板の表面に金属を成膜するめっきユニットと、
前記めっき処理装置内で基板を搬送する第1の搬送装置と、
前記付加処理装置に搬送する基板を載置する基板載置台と、
を備え、
前記付加処理装置は、
基板に対して付加処理を行う付加処理ユニットと、
前記めっき処理装置の基板載置台と前記付加処理ユニットとの間で基板を搬送する第2の搬送装置と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記めっき処理装置と前記付加処理装置は、互いに独立して配置されることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記付加処理ユニットは、基板を加熱するアニールユニットであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記付加処理ユニットは、基板を洗浄する洗浄ユニットであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記付加処理ユニットは、基板をエッチングするエッチングユニットであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記付加処理ユニットは、基板を研磨する研磨ユニットであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記付加処理ユニットは、基板の表面に形成されためっき膜の膜厚を測定する膜厚測定ユニットであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記めっき処理装置は、微細な凹凸構造を有する基板の凹部に前記金属を充填することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記金属は、少なくとも銅、コバルト、ニッケル、金、またはすずのいずれかを含むことを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 基板に対して主処理を行う主処理装置と、基板に対して付加処理を行う付加処理装置とを備えた基板処理装置において、
前記主処理装置は、前記付加処理装置に搬送する基板を載置する基板載置台を備え、
前記付加処理装置は、基板に対して付加処理を行う付加処理ユニットと、前記主処理装置の基板載置台と前記付加処理ユニットとの間で基板を搬送する搬送装置とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
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-
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- 2004-04-21 JP JP2004125920A patent/JP2005307274A/ja active Pending
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