KR102369003B1 - 도금 장치 및 도금 장치의 동작 제어 방법 - Google Patents

도금 장치 및 도금 장치의 동작 제어 방법 Download PDF

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마사키 도미타
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

파티클의 콘타미네이션을 억제하기 위한 도금 장치의 구성 요소의 배치 및 동작 제어를 최적화한다.
기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 장치(1000)는, 도금 장치(1000)에 반입된 기판 및 도금 장치(1000)로부터 반출하는 기판을 반송하기 위한 제1 반송 로봇(110)을 수용한 제1 로봇실(115)과, 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 모듈(400)을 수용한 도금실(405)과, 기판에 도금 처리의 전처리를 행하기 위한 전처리 모듈을 수용한 제1 처리실(125)과, 전처리 모듈과 도금 모듈(400) 사이에서 기판을 반송하기 위한 제2 반송 로봇(700)을 수용한 제2 로봇실(705)과, 제1 로봇실(115)과 제1 처리실(125) 사이에 배치된 제1 도어(117)와, 제1 처리실(125)과 제2 로봇실(705) 사이에 배치된 제2 도어(127)와, 제1 도어(117)와 제2 도어(127)가 동시에 개방되지 않도록 제1 도어(117)와 제2 도어(127)의 개폐를 제어하도록 구성된 제어 모듈(800)을 포함한다.

Description

도금 장치 및 도금 장치의 동작 제어 방법
본원은, 도금 장치 및 도금 장치의 동작 제어 방법에 관한 것이다.
도금 장치의 일례로서 컵식의 전해 도금 장치가 알려져 있다. 컵식의 전해 도금 장치는, 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 모듈을 구비한다. 도금 모듈은, 피도금면을 하방을 향하게 하여 기판(예를 들어 반도체 웨이퍼)을 보유 지지하고, 기판을 도금액에 침지시켜서 기판과 애노드 사이에 전압을 인가함으로써, 기판의 표면에 도전막을 석출시킨다.
컵식의 전해 도금 장치는, 도금 모듈 외에, 다양한 구성 요소를 구비하고 있다. 예를 들어, 도금 장치는, 도금 장치에 반입된 기판 및 도금 장치로부터 반출하는 기판을 반송하기 위한 제1 반송 로봇과, 기판의 노치 방향을 조정하기 위한 얼라이너를 구비한다. 또한, 도금 장치는, 도금 처리의 전처리를 행하기 위한 전처리 모듈과, 도금 처리의 후처리를 행하기 위한 후처리 모듈과, 각 모듈간에서 기판을 반송하기 위한 제2 반송 로봇을 구비하고 있다.
제1 반송 로봇은, 도금 장치에 반입된 기판을 얼라이너에 반송하고, 얼라이너에 의해 노치의 방향이 조정된 기판을 제2 반송 로봇에 건네준다. 제2 반송 로봇은, 제1 반송 로봇으로부터 수취한 기판을 전처리 모듈에 반송하고, 전처리가 종료된 기판을 도금 모듈에 반송한다. 제2 반송 로봇은, 도금 처리가 종료된 기판을 후처리 모듈에 반송하고, 후처리가 종료된 기판을 제1 반송 로봇에 건네준다. 제1 반송 로봇은, 제2 반송 로봇으로부터 수취한 기판을 도금 장치로부터 반출한다.
일본 특허 공개 제2018-9215호 공보
종래의 도금 장치는, 도금 처리에 관련하여 발생하는 파티클의 콘타미네이션을 억제하기 위한 구성 요소의 배치 및 동작 제어에 개선의 여지가 있다.
즉, 도금 장치에 있어서는, 도금 모듈에 있어서 도금 처리에 기인하는 파티클이 발생하고, 도금 모듈이 수용된 공간으로부터 다른 구성 요소가 수용된 공간에 파티클이 혼입될 우려가 있다. 예를 들어, 종래 기술에서는, 제1 반송 로봇과 제2 반송 로봇 사이에서 기판의 전달을 행함으로써, 제1 반송 로봇을 수용하는 방과 제2 반송 로봇을 수용하는 방이 연통 상태로 되는 경우가 있다. 이에 의해, 파티클이 제2 반송 로봇을 수용하는 방으로부터 제1 반송 로봇을 수용하는 방에 혼입되면, 도금 장치로부터 반출되는 기판에 파티클이 부착될 우려가 있다. 이와 같은 파티클의 콘타미네이션은, 도금 처리된 기판의 품질 악화를 초래하고, 그 결과, 생산 수율을 악화시킬 우려가 있다.
그래서, 본원은, 파티클의 콘타미네이션을 억제하기 위한 도금 장치의 구성 요소의 배치 및 동작 제어를 최적화하는 것을 하나의 목적으로 하고 있다.
일 실시 형태에 의하면, 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 장치이며, 상기 도금 장치에 반입된 기판 및 상기 도금 장치로부터 반출하는 기판을 반송하기 위한 제1 반송 로봇을 수용한 제1 로봇실과, 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 모듈을 수용한 도금실과, 기판에 도금 처리의 전처리를 행하기 위한 전처리 모듈을 수용한 제1 처리실과, 상기 전처리 모듈과 상기 도금 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 제2 반송 로봇을 수용한 제2 로봇실과, 상기 제1 로봇실과 상기 제1 처리실 사이에 배치된 제1 도어와, 상기 제1 처리실과 상기 제2 로봇실 사이에 배치된 제2 도어와, 상기 제1 도어와 상기 제2 도어가 동시에 개방되지 않도록 상기 제1 도어와 상기 제2 도어의 개폐를 제어하도록 구성된 제어 장치를 포함하는, 도금 장치가 개시된다.
도 1은, 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는, 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 도시하는 평면도이다.
도 3은, 제2 반송 로봇의 핸드 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 4는, 본 실시 형태의 도금 장치의 동작 제어의 흐름도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 이하에서 설명하는 도면에 있어서, 동일 또는 상당하는 구성 요소에는, 동일한 부호를 부여해서 중복된 설명을 생략한다.
<도금 장치의 전체 구성>
도 1은, 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 도시하는 사시도이다. 도 2는, 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 도시하는 평면도이다. 도 1, 2에 도시한 바와 같이, 도금 장치(1000)는, 로드 포트(100), 제1 반송 로봇(110), 얼라이너(120), 도금 모듈(400), 세정 모듈(500), 스핀 린스 드라이어(600), 제2 반송 로봇(700) 및 제어 모듈(800)을 구비한다.
로드 포트(100)는, 도시하고 있지 않은 FOUP 등의 카세트에 수납된 기판을 도금 장치(1000)에 반입하거나, 도금 장치(1000)로부터 카세트에 기판을 반출하거나 하기 위한 모듈이다. 로드 포트(100)는, 제1 반송 로봇(110)을 수용하는 제1 로봇실(115)에 인접하여 배치된다. 본 실시 형태에서는 3대의 로드 포트(100)가 수평 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 로드 포트(100)의 수 및 배치는 임의이다.
제1 반송 로봇(110)은, 기판을 반송하기 위한 로봇이며, 로드 포트(100), 얼라이너(120) 및 스핀 린스 드라이어(600) 사이에서 기판을 전달하도록 구성된다. 제1 반송 로봇(110)은 제1 로봇실(115)에 수용된다.
얼라이너(120)는, 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 소정의 방향으로 맞추기 위한 모듈이다. 얼라이너(120)는, 기판에 도금 처리의 전처리를 행하기 위한 전처리 모듈의 1종이다. 얼라이너(120)는, 제1 로봇실(115)에 인접하는 제1 처리실(125)에 수용된다. 본 실시 형태에서는 2대의 얼라이너(120)가 상하 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 얼라이너(120)의 수 및 배치는 임의이다. 본 실시 형태에서는 전처리 모듈의 일례로서 얼라이너(120)를 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. 전처리 모듈은, 기판에 순수 또는 탈기수를 공급하기 위한 프리웨트 모듈을 포함하고 있어도 된다. 프리웨트 모듈은, 도금 처리 전의 기판의 피도금면을 순수 또는 탈기수 등의 처리액으로 적심으로써, 기판 표면에 형성된 패턴 내부의 공기를 처리액으로 치환한다. 또한, 전처리 모듈은, 기판에 에칭 처리액을 공급하기 위한 프리소크 모듈을 포함하고 있어도 된다. 프리소크 모듈은, 도금 처리 전의 기판의 피도금면에 형성한 시드층 표면 등에 존재하는 전기 저항이 큰 산화막을 황산이나 염산 등의 처리액으로 에칭 제거하여 도금 하지 표면을 세정 또는 활성화하는 프리소크 처리를 실시하도록 구성된다.
도금 모듈(400)은, 기판에 도금 처리를 실시하기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는, 상하 방향으로 2대 또한 수평 방향으로 6대 배열하여 배치된 12대의 도금 모듈(400)의 세트가 2개 있고, 합계 24대의 도금 모듈(400)이 마련되어 있지만, 도금 모듈(400)의 수 및 배치는 임의이다. 도금 모듈(400)은 도금실(405)에 수용된다.
세정 모듈(500)은, 도금 처리 후의 기판에 남는 도금액 등을 제거하기 위해서 기판에 세정 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 1대의 세정 모듈(500)이 제1 처리실(125)에 배치되어 있지만, 세정 모듈(500)의 수 및 배치는 임의이다. 세정 모듈(500)은 기판에 도금 처리의 후처리를 행하기 위한 제1 후처리 모듈의 1종이다.
스핀 린스 드라이어(600)는 세정 처리 후의 기판을 고속 회전시켜서 건조시키기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 2대의 스핀 린스 드라이어가 상하 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 스핀 린스 드라이어의 수 및 배치는 임의이다. 스핀 린스 드라이어(600)는 기판에 도금 처리의 후처리를 행하기 위한 제2 후처리 모듈의 1종이다. 스핀 린스 드라이어(600)는 제2 처리실(605)에 수용된다. 본 실시 형태에서는, 제1 후처리 모듈로서 세정 모듈(500)을 사용하고, 제2 후처리 모듈로서 스핀 린스 드라이어(600)를 사용하는 예를 나타냈지만, 이에 한정되지 않는다. 상기의 예에 한정되지 않고, 제1 후처리 모듈 또는 제2 후처리 모듈로서, 기판의 외주부에 처리액을 공급하기 위한 엣지 백 린스 모듈을 사용할 수도 있다.
제2 반송 로봇(700)은 도금 장치(1000) 내의 복수의 모듈간에서 기판을 반송하기 위한 장치이다. 구체적으로는, 제2 반송 로봇(700)은 얼라이너(120)를 포함하는 전처리 모듈, 도금 모듈(400), 세정 모듈(500)을 포함하는 제1 후처리 모듈, 스핀 린스 드라이어(600)를 포함하는 제2 후처리 모듈 사이에서 기판을 반송한다. 제2 반송 로봇(700)은 제1 처리실(125), 도금실(405), 제2 처리실(605)에 인접하는 제2 로봇실(705)에 수용된다.
도 3은, 제2 반송 로봇의 핸드 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 제2 반송 로봇(700)은 제1 핸드(720)와, 제2 핸드(730)와, 제1 핸드(720) 및 제2 핸드(730)를 보유 지지하기 위한 암(710)을 구비한다. 제1 핸드(720)는 도금 처리가 행해지기 전의 기판 Wf를 반송하기 위한 드라이 전용 핸드이다. 제2 핸드(730)는 도금 처리가 행해진 후의 기판 Wf를 반송하기 위한 웨트 전용 핸드이며, 제1 핸드(720)의 하부에 배치된다. 이에 의해, 제2 핸드(730)가 보유 지지하는 기판 Wf로부터 제1 핸드(720)에 도금액 등의 액체가 흘러내리는 것을 방지할 수 있다.
제1 로봇실(115)은 가장 깨끗한 상태를 유지할 필요가 있는 영역이다. 이 때문에, 제1 로봇실(115)의 내부는, 도금 모듈(400)의 외부, 제1 처리실(125), 제2 처리실(605), 제2 로봇실(705) 및 도금실(405)의 어느 것보다도 높은 압력으로 상시 유지되어 있다. 한편, 도금 프로세스와 같은 웨트 프로세스는 약액의 증발에 의한 분자 레벨의 파티클이 발생하므로, 도금실(405)은 가장 오염된 영역이 된다. 따라서, 도금실(405)의 내부에는 부압이 형성된다. 도금 모듈(400)의 내부는, 제1 로봇실(115), 제1 처리실(125) 및 제2 처리실(605), 제2 로봇실(705), 도금실(405)의 차례로 압력이 낮아지도록 조정되어 있다.
제어 모듈(800)은 도금 장치(1000)의 복수의 모듈을 제어하도록 구성되고, 예를 들어 오퍼레이터와의 사이의 입출력 인터페이스를 구비하는 일반적인 컴퓨터 또는 전용 컴퓨터로 구성할 수 있다. 제어 모듈(800)은 제어실(805)에 수용된다.
본 실시 형태의 도금 장치(1000)에 있어서, 제1 로봇실(115), 제1 처리실(125), 제2 처리실(605), 제2 로봇실(705) 및 도금실(405)은 서로 격리되어 있다. 이에 의해, 도금 장치(1000)는, 제1 반송 로봇(110), 얼라이너(120) 및 세정 모듈(500), 스핀 린스 드라이어(600), 제2 반송 로봇(700) 및 도금 모듈(400)이 각각, 격리된 방에 배치되어 있는 미니 인바이런먼트 환경을 실현하고 있다. 도금 장치(1000)는, 기판의 전달을 행할 때에만 각 방 사이의 격리를 한정적으로 개방하도록 구성된다. 이하, 이 점에 대해서 설명한다.
제어 모듈(800)은, 도금 장치(1000)의 다양한 구성 요소를 수용하는 복수의 방을 구획하는 도어의 개폐를 제어하도록 구성된다. 구체적으로는, 도 2에 도시한 바와 같이, 도금 장치(1000)는, 제1 로봇실(115)과 제1 처리실(125) 사이에 배치된 제1 도어(117)를 구비한다. 제어 모듈(800)은 제1 도어(117)의 개폐를 제어하도록 구성된다. 제어 모듈(800)은, 예를 들어 제1 반송 로봇(110)으로부터 얼라이너(120)로 기판을 전달할 때, 제1 도어(117)를 개방한다.
도금 장치(1000)는, 제1 처리실(125)과 제2 로봇실(705) 사이에 배치된 제2 도어(127)를 구비한다. 제어 모듈(800)은 제2 도어(127)의 개폐를 제어하도록 구성된다. 제어 모듈(800)은, 예를 들어 얼라이너(120)에 의해 노치의 방향이 조정된 기판을 제2 반송 로봇(700)이 수취할 때, 제2 도어(127)를 개방한다.
또한, 도금 장치(1000)는, 제2 로봇실(705)과 제2 처리실(605) 사이에 배치된 제3 도어(707)를 구비한다. 제어 모듈(800)은, 제3 도어(707)의 개폐를 제어하도록 구성된다. 제어 모듈(800)은, 예를 들어 도금 처리가 실시된 기판을 제2 반송 로봇(700)으로부터 스핀 린스 드라이어(600)로 전달할 때, 제3 도어(707)를 개방한다.
또한, 도금 장치(1000)는, 제2 처리실(605)과 제1 로봇실(115) 사이에 배치된 제4 도어(607)를 구비한다. 제어 모듈(800)은, 제4 도어(607)의 개폐를 제어하도록 구성된다. 제어 모듈(800)은, 예를 들어 스핀 린스 드라이어(600)에 의해 건조 처리가 실시된 기판을 제1 반송 로봇(110)이 수취할 때, 제4 도어(607)를 개방한다.
또한, 도금 장치(1000)는, 제2 로봇실(705)과 도금실(405) 사이에 배치된 복수의 제5 도어(407)를 구비한다. 제어 모듈(800)은, 제5 도어(407)의 개폐를 제어하도록 구성된다. 제어 모듈(800)은, 예를 들어 제2 반송 로봇(700)이 도금 모듈(400)에 기판을 전달할 때, 제5 도어(407)를 개방한다.
제어 모듈(800)은, 제1 도어(117)와 제2 도어(127)가 동시에 개방되지 않도록 제1 도어(117)와 제2 도어(127)의 개폐를 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 제어 모듈(800)은 제3 도어(707)와 제4 도어(607)가 동시에 개방되지 않도록 제3 도어(707)와 제4 도어(607)의 개폐를 제어하도록 구성된다.
즉, 본 실시 형태의 도금 장치(1000)는, 가장 깨끗한 상태를 유지할 필요가 있는 제1 로봇실(115)로의 파티클의 콘타미네이션을 억제하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 도금 장치(1000)는, 제1 반송 로봇(110)과 제2 반송 로봇(700) 사이에서 기판의 전달은 행하지 않고, 얼라이너(120) 또는 스핀 린스 드라이어(600)를 개재하여 기판의 전달을 행하도록 구성된다. 여기서, 제1 반송 로봇(110)으로부터 얼라이너(120)에 기판을 전달할 때에 제1 도어(117)는 개방되지만, 이때 제2 도어(127)는 폐쇄되어 있다. 또한, 얼라이너(120)에 의해 노치의 방향이 조정된 기판을 제2 반송 로봇(700)이 수취할 때에 제2 도어(127)는 개방되지만, 이때 제1 도어(117)는 폐쇄되어 있다. 또한, 도금 처리가 실시된 기판을 제2 반송 로봇(700)으로부터 스핀 린스 드라이어(600)로 전달할 때에 제3 도어(707)는 개방되지만, 이때 제4 도어(607)는 폐쇄되어 있다. 또한, 스핀 린스 드라이어(600)에 의해 건조 처리가 실시된 기판을 제1 반송 로봇(110)이 수취할 때에 제4 도어(607)는 개방되지만, 이때 제3 도어(707)는 폐쇄되어 있다.
이에 의해, 제1 로봇실(115)과 제2 로봇실(705)은 연통 상태로는 되지 않으므로, 제2 반송 로봇(700)에 부착된 파티클이 제1 로봇실(115)에 혼입되는 것을 억제할 수 있다. 이와 같이 본 실시 형태의 도금 모듈(400)은 구성 요소의 배치 및 동작 제어가 최적화되어 있으므로, 제1 로봇실(115)에 파티클이 혼입되는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 도금 모듈(400)로부터 반출되는 기판에 파티클이 부착되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 제어 모듈(800)은 제2 도어(127)와 제5 도어(407)에 대해서도 마찬가지로, 양자가 동시에 개방되지 않도록 제2 도어(127)와 제5 도어(407)의 개폐를 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 제어 모듈(800)은 제3 도어(707)와 제5 도어(407)에 대해서도 마찬가지로, 양자가 동시에 개방되지 않도록 제3 도어(707)와 제5 도어(407)의 개폐를 제어하도록 구성된다.
다음에, 도금 장치(1000)의 일련의 동작 제어의 일례를 설명한다. 도 4는, 본 실시 형태의 도금 장치(1000)의 동작 제어의 흐름도이다. 먼저, 도금 장치(1000)는, 카세트에 수납된 기판을 로드 포트(100)에 수용한다(스텝 102). 이어서, 도금 장치(1000)는, 제1 반송 로봇(110)에 의해 로드 포트(100)의 카세트로부터 기판을 취출한다(스텝 104). 이어서, 제어 모듈(800)은 제1 도어(117)를 개방한다(스텝 106). 이어서, 도금 장치(1000)는, 제1 반송 로봇(110)에 의해 기판을 얼라이너(120)로 전달한다(제1 전달 스텝 108). 이어서, 제어 모듈(800)은 제1 도어(117)를 폐쇄한다(스텝 110).
이어서, 도금 장치(1000)는, 얼라이너(120)에 의해 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 소정의 방향으로 맞춘다(스텝 112). 이어서, 제어 모듈(800)은 제2 도어(127)를 개방한다(스텝 114). 이어서, 도금 장치(1000)는, 방향을 맞춘 기판을 제2 반송 로봇(700)의 제1 핸드(720)에 의해 얼라이너(120)로부터 수취한다(제1 수취 스텝 116). 이어서, 제어 모듈(800)은 제2 도어(127)를 폐쇄한다(스텝 118).
이어서, 제어 모듈(800)은 제5 도어(407)를 개방한다(스텝 120). 이어서, 도금 장치(1000)는, 제2 반송 로봇(700)의 제1 핸드(720)에 의해 기판을 도금 모듈(400)로 전달한다(스텝 122). 이어서, 제어 모듈(800)은 제5 도어(407)를 폐쇄한다(스텝 124). 이어서, 도금 장치(1000)는, 도금 모듈(400)에 의해 기판에 도금 처리를 실시한다(스텝 126). 이어서, 제어 모듈(800)은 제5 도어(407)를 개방한다(스텝 128). 이어서, 도금 장치(1000)는, 제2 반송 로봇(700)의 제2 핸드(730)에 의해 기판을 도금 모듈(400)로부터 수취한다(스텝 130). 이어서, 제어 모듈(800)은 제5 도어(407)를 폐쇄한다(스텝 132).
이어서, 제어 모듈(800)은 제2 도어(127)를 개방한다(스텝 134). 이어서, 도금 장치(1000)는, 제2 반송 로봇(700)의 제2 핸드(730)에 의해 기판을 세정 모듈(500)로 전달한다(스텝 136). 이어서, 제어 모듈(800)은 제2 도어(127)를 폐쇄한다(스텝 138). 이어서, 도금 장치(1000)는, 세정 모듈(500)에 의해 기판에 세정 처리를 실시한다(스텝 140).
이어서, 제어 모듈(800)은 제2 도어(127)를 개방한다(스텝 142). 이어서, 도금 장치(1000)는, 제2 반송 로봇(700)의 제2 핸드(730)에 의해 기판을 세정 모듈(500)로부터 수취한다(스텝 144). 이어서, 제어 모듈(800)은 제2 도어(127)를 폐쇄한다(스텝 146).
이어서, 제어 모듈(800)은 제3 도어(707)를 개방한다(스텝 148). 이어서, 도금 장치(1000)는, 제2 반송 로봇(700)의 제2 핸드(730)에 의해 기판을 스핀 린스 드라이어(600)로 전달한다(제2 전달 스텝 150). 이어서, 제어 모듈(800)은 제3 도어(707)를 폐쇄한다(스텝 152).
이어서, 도금 장치(1000)는, 스핀 린스 드라이어(600)에 의해 기판에 건조 처리를 실시한다(스텝 154). 이어서, 제어 모듈(800)은 제4 도어(607)를 개방한다(스텝 156). 이어서, 도금 장치(1000)는, 건조 처리가 실시된 기판을 제1 반송 로봇(110)에 의해 수취한다(제2 수취 스텝 158). 이어서, 제어 모듈(800)은 제4 도어(607)를 폐쇄한다(스텝 160). 이어서, 도금 장치(1000)는, 제1 반송 로봇(110)에 의해 기판을 로드 포트(100)의 카세트에 반송한다(스텝 162). 마지막으로, 도금 장치(1000)는, 로드 포트(100)로부터 기판을 수납한 카세트를 반출한다(스텝 164).
이상과 같이, 본 실시 형태에 따르면, 복수의 구성 요소가 각각 격리된 방에 배치되어 있는 미니 인바이런먼트 환경을 실현한 도금 장치에 있어서, 제1 로봇실(115)과 제2 로봇실(705)이 연통 상태로 되지 않도록, 격리된 방 사이의 도어의 개폐가 제어된다. 이에 의해, 제2 반송 로봇(700)에 부착된 파티클이 제1 로봇실(115)에 혼입되는 것을 억제할 수 있다.
이상, 몇 가지의 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명해 왔지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는 그 등가물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에 있어서, 특허 청구 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는, 생략이 가능하다.
본원은, 일 실시 형태로서, 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 장치이며, 상기 도금 장치에 반입된 기판 및 상기 도금 장치로부터 반출하는 기판을 반송하기 위한 제1 반송 로봇을 수용한 제1 로봇실과, 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 모듈을 수용한 도금실과, 기판에 도금 처리의 전처리를 행하기 위한 전처리 모듈을 수용한 제1 처리실과, 상기 전처리 모듈과 상기 도금 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 제2 반송 로봇을 수용한 제2 로봇실과, 상기 제1 로봇실과 상기 제1 처리실 사이에 배치된 제1 도어와, 상기 제1 처리실과 상기 제2 로봇실 사이에 배치된 제2 도어와, 상기 제1 도어와 상기 제2 도어가 동시에 개방되지 않도록 상기 제1 도어와 상기 제2 도어의 개폐를 제어하도록 구성된 제어 장치를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 기판에 도금 처리의 후처리를 행하기 위한 후처리 모듈을 수용한 제2 처리실과, 상기 제2 로봇실과 상기 제2 처리실 사이에 배치된 제3 도어와, 상기 제2 처리실과 상기 제1 로봇실 사이에 배치된 제4 도어를 더 포함하고, 상기 제어 장치는, 상기 제3 도어와 상기 제4 도어가 동시에 개방되지 않도록 상기 제3 도어와 상기 제4 도어의 개폐를 제어하도록 구성되는, 도금 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 제2 반송 로봇은, 도금 처리가 행해지기 전의 기판을 반송하기 위한 제1 핸드와, 도금 처리가 행해진 후의 기판을 반송하기 위한, 상기 제1 핸드의 하부에 배치된 제2 핸드를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 전처리 모듈은, 기판의 회전 방향 위치를 조정하기 위한 얼라이너, 기판에 순수 또는 탈기수를 공급하기 위한 프리웨트 모듈 또는 기판에 에칭 처리액을 공급하기 위한 프리소크 모듈 중 적어도 하나를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 후처리 모듈은, 기판에 세정액을 공급하기 위한 세정 모듈, 기판을 회전시켜서 건조시키기 위한 스핀 린스 드라이어, 기판의 외주부에 처리액을 공급하기 위한 엣지 백 린스 모듈 중 적어도 하나를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 도금 장치에 반입된 기판 및 상기 도금 장치로부터 반출하는 기판을 반송하기 위한 제1 반송 로봇을 수용한 제1 로봇실과, 기판에 도금 처리의 전처리를 행하기 위한 전처리 모듈을 수용한 제1 처리실 사이에 배치된 제1 도어를 개방하는 스텝과, 상기 제1 도어를 개방하는 스텝 후에, 기판을 상기 제1 반송 로봇에 의해 상기 전처리 모듈로 전달하는 제1 전달 스텝과, 상기 제1 전달 스텝 후에 상기 제1 도어를 폐쇄하는 스텝과, 상기 제1 도어를 폐쇄하는 스텝 후에, 상기 제1 처리실과, 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 모듈과 상기 전처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 제2 반송 로봇을 수용한 제2 로봇실 사이에 배치된 제2 도어를 개방하는 스텝과, 상기 제2 도어를 개방하는 스텝 후에, 기판을 상기 제2 반송 로봇에 의해 상기 전처리 모듈로부터 수취하는 제1 수취 스텝을 포함하는, 도금 장치의 동작 제어 방법을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 제2 로봇실과, 기판에 도금 처리의 후처리를 행하기 위한 후처리 모듈을 수용한 제2 처리실 사이에 배치된 제3 도어를 개방하는 스텝과, 상기 제3 도어를 개방하는 스텝 후에, 기판을 상기 제2 반송 로봇에 의해 상기 후처리 모듈로 전달하는 제2 전달 스텝과, 상기 제2 전달 스텝 후에 상기 제3 도어를 폐쇄하는 스텝과, 상기 제3 도어를 폐쇄하는 스텝 후에, 상기 제2 처리실과 상기 제1 로봇실 사이에 배치된 제4 도어를 개방하는 스텝과, 상기 제4 도어를 개방하는 스텝 후에, 기판을 상기 제1 반송 로봇에 의해 상기 후처리 모듈로부터 수취하는 제2 수취 스텝을 또한 포함하는, 도금 장치의 동작 제어 방법을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 제1 수취 스텝은, 상기 제2 반송 로봇의 도금 처리가 행해지기 전의 기판을 반송하기 위한 제1 핸드를 사용하여 행해지고, 제2 전달 스텝은, 상기 제2 반송 로봇의 도금 처리가 행해진 후의 기판을 반송하기 위한 제2 핸드를 사용하여 행해지는, 도금 장치의 동작 제어 방법을 개시한다.
110 : 제1 반송 로봇
115 : 제1 로봇실
117 : 제1 도어
120 : 얼라이너
125 : 제1 처리실
127 : 제2 도어
400 : 도금 모듈
405 : 도금실
407 : 제5 도어
500 : 세정 모듈
600 : 스핀 린스 드라이어
605 : 제2 처리실
607 : 제4 도어
700 : 제2 반송 로봇
705 : 제2 로봇실
707 : 제3 도어
720 : 제1 핸드
730 : 제2 핸드
800 : 제어 모듈
805 : 제어실
1000 : 도금 장치

Claims (8)

  1. 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 장치이며,
    상기 도금 장치에 반입된 기판 및 상기 도금 장치로부터 반출하는 기판을 반송하기 위한 제1 반송 로봇을 수용한 제1 로봇실과,
    기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 모듈을 수용한 도금실과,
    기판에 도금 처리의 전처리를 행하기 위한 전처리 모듈을 수용한 제1 처리실과,
    상기 전처리 모듈과 상기 도금 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 제2 반송 로봇을 수용한 제2 로봇실과,
    상기 제1 로봇실과 상기 제1 처리실 사이에 배치된 제1 도어와,
    상기 제1 처리실과 상기 제2 로봇실 사이에 배치된 제2 도어와,
    상기 제1 도어와 상기 제2 도어가 동시에 개방되지 않도록 상기 제1 도어와 상기 제2 도어의 개폐를 제어하도록 구성된 제어 장치와,
    기판에 도금 처리의 후처리를 행하기 위한 후처리 모듈을 수용한 제2 처리실을 포함하고,
    상기 후처리 모듈은, 기판에 세정액을 공급하기 위한 세정 모듈, 기판을 회전시켜서 건조시키기 위한 스핀 린스 드라이어, 기판의 외주부에 처리액을 공급하기 위한 엣지 백 린스 모듈 중 적어도 하나를 포함하는, 도금 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 로봇실과 상기 제2 처리실 사이에 배치된 제3 도어와,
    상기 제2 처리실과 상기 제1 로봇실 사이에 배치된 제4 도어
    를 더 포함하고,
    상기 제어 장치는, 상기 제3 도어와 상기 제4 도어가 동시에 개방되지 않도록 상기 제3 도어와 상기 제4 도어의 개폐를 제어하도록 구성되는, 도금 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 반송 로봇은, 도금 처리가 행해지기 전의 기판을 반송하기 위한 제1 핸드와, 도금 처리가 행해진 후의 기판을 반송하기 위한, 상기 제1 핸드의 하부에 배치된 제2 핸드
    를 포함하는, 도금 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 전처리 모듈은, 기판의 회전 방향의 위치를 조정하기 위한 얼라이너, 기판에 순수 또는 탈기수를 공급하기 위한 프리웨트 모듈 또는 기판에 에칭 처리액을 공급하기 위한 프리소크 모듈 중 적어도 하나를 포함하는, 도금 장치.
  5. 삭제
  6. 도금 장치에 반입된 기판 및 상기 도금 장치로부터 반출하는 기판을 반송하기 위한 제1 반송 로봇을 수용한 제1 로봇실과, 기판에 도금 처리의 전처리를 행하기 위한 전처리 모듈을 수용한 제1 처리실 사이에 배치된 제1 도어를 개방하는 스텝과,
    상기 제1 도어를 개방하는 스텝 후에, 기판을 상기 제1 반송 로봇에 의해 상기 전처리 모듈로 전달하는 제1 전달 스텝과,
    상기 제1 전달 스텝 후에 상기 제1 도어를 폐쇄하는 스텝과,
    상기 제1 도어를 폐쇄하는 스텝 후에, 상기 제1 처리실과, 기판에 도금 처리를 행하기 위한 도금 모듈과 상기 전처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 제2 반송 로봇을 수용한 제2 로봇실 사이에 배치된 제2 도어를 개방하는 스텝과,
    상기 제2 도어를 개방하는 스텝 후에, 기판을 상기 제2 반송 로봇에 의해 상기 전처리 모듈로부터 수취하는 제1 수취 스텝을 포함하고,
    상기 도금 장치는, 기판에 도금 처리의 후처리를 행하기 위한 후처리 모듈을 수용한 제2 처리실을 포함하고,
    상기 후처리 모듈은, 기판에 세정액을 공급하기 위한 세정 모듈, 기판을 회전시켜서 건조시키기 위한 스핀 린스 드라이어, 기판의 외주부에 처리액을 공급하기 위한 엣지 백 린스 모듈 중 적어도 하나를 포함하는, 도금 장치의 동작 제어 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 로봇실과, 기판에 도금 처리의 후처리를 행하기 위한 후처리 모듈을 수용한 제2 처리실 사이에 배치된 제3 도어를 개방하는 스텝과,
    상기 제3 도어를 개방하는 스텝 후에, 기판을 상기 제2 반송 로봇에 의해 상기 후처리 모듈로 전달하는 제2 전달 스텝과,
    상기 제2 전달 스텝 후에 상기 제3 도어를 폐쇄하는 스텝과,
    상기 제3 도어를 폐쇄하는 스텝 후에, 상기 제2 처리실과 상기 제1 로봇실 사이에 배치된 제4 도어를 개방하는 스텝과,
    상기 제4 도어를 개방하는 스텝 후에, 기판을 상기 제1 반송 로봇에 의해 상기 후처리 모듈로부터 수취하는 제2 수취 스텝
    을 더 포함하는, 도금 장치의 동작 제어 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    제1 수취 스텝은, 상기 제2 반송 로봇의 도금 처리가 행해지기 전의 기판을 반송하기 위한 제1 핸드를 사용하여 행해지고,
    제2 전달 스텝은, 상기 제2 반송 로봇의 도금 처리가 행해진 후의 기판을 반송하기 위한 제2 핸드를 사용하여 행해지는, 도금 장치의 동작 제어 방법.
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