CN114981487A - 镀覆装置、以及镀覆装置的动作控制方法 - Google Patents

镀覆装置、以及镀覆装置的动作控制方法 Download PDF

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Abstract

本发明使用于抑制颗粒的污染的镀覆装置的构成要素的配置以及动作控制最佳化。用于对基板进行镀覆处理的镀覆装置(1000)包含：第一机器人室(115)，收容用于输送搬入到镀覆装置(1000)的基板以及从镀覆装置(1000)搬出的基板的第一输送机器人(110)；镀覆室(405)，收容用于对基板进行镀覆处理的镀覆模块(400)；第一处理室(125)，收容用于对基板进行镀覆处理的前处理的前处理模块；第二机器人室(705)，收容用于在前处理模块与镀覆模块(400)之间输送基板的第二输送机器人(700)；第一门(117)，配置在第一机器人室(115)与第一处理室(125)之间；第二门(127)，配置在第一处理室(125)与第二机器人室(705)之间；以及控制模块(800)，构成为控制第一门(117)和第二门(127)的开闭，以使第一门(117)与第二门(127)不同时打开。

Description

镀覆装置、以及镀覆装置的动作控制方法
技术领域
本申请涉及镀覆装置、以及镀覆装置的动作控制方法。
背景技术
作为镀覆装置的一个例子已知有杯式电解镀覆装置。杯式电解镀覆装置具备用于对基板进行镀覆处理的镀覆模块。镀覆模块通过使被镀覆面朝向下方并保持基板(例如半导体晶圆)，使基板浸渍于镀覆液并对基板与阳极之间施压电压，来使导电膜在基板的表面析出。
杯式电解镀覆装置除了镀覆模块之外，还具备各种构成要素。例如，镀覆装置具备用于输送搬入到镀覆装置的基板以及从镀覆装置搬出的基板的第一输送机器人、和用于调整基板的槽口的方向的校准器。另外，镀覆装置具备用于进行镀覆处理的前处理的前处理模块、用于进行镀覆处理的后处理的后处理模块、以及用于在各模块间输送基板的第二输送机器人。
第一输送机器人将搬入到镀覆装置的基板输送到校准器，通过校准器将调整了槽口的方向的基板交给第二输送机器人。第二输送机器人将从第一输送机器人接受的基板输送到前处理模块，并将前处理结束的基板输送到镀覆模块。第二输送机器人将镀覆处理结束的基板输送到后处理模块，并将后处理结束的基板交给第一输送机器人。第一输送机器人将从第二输送机器人接受的基板从镀覆装置搬出。
专利文献1：日本特开2018－9215号公报
对于以往的镀覆装置来说，在用于抑制与镀覆处理相关地产生的颗粒的污染的构成要素的配置以及动作控制还有改善的余地。
即，在镀覆装置中，有在镀覆模块中产生起因于镀覆处理的颗粒，且颗粒从收容镀覆模块的空间混入到收容其它的构成要素的空间的担心。例如，在以往技术中，由于在第一输送机器人与第二输送机器人之间进行基板的交接，而有收容第一输送机器人的房室与收容第二输送机器人的房室成为连通状态的情况。由此，有若颗粒从收容第二输送机器人的房室混入收容第一输送机器人的房室，则颗粒附着在从镀覆装置搬出的基板的担心。这样的颗粒的污染导致进行了镀覆处理的基板的品质的恶化，其结果，有使生产成品率恶化的担心。
发明内容
因此，本申请的目的之一在于使用于抑制颗粒的污染的镀覆装置的构成要素的配置以及动作控制最佳化。
根据一实施方式，公开一种镀覆装置，是用于对基板进行镀覆处理的镀覆装置，包含：第一机器人室，收容第一输送机器人，该第一输送机器人用于输送搬入到上述镀覆装置的基板以及从上述镀覆装置搬出的基板；镀覆室，收容镀覆模块，该镀覆模块用于对基板进行镀覆处理；第一处理室，收容前处理模块，该前处理模块用于对基板进行镀覆处理的前处理；第二机器人室，收容第二输送机器人，该第二输送机器人用于在上述前处理模块与上述镀覆模块之间输送基板；第一门，配置在上述第一机器人室与上述第一处理室之间；第二门，配置在上述第一处理室与上述第二机器人室之间；以及控制装置，构成为控制上述第一门和上述第二门的开闭，以使上述第一门与上述第二门不同时打开。
附图说明
图1是表示本实施方式的镀覆装置的整体构成的立体图。
图2是表示本实施方式的镀覆装置的整体构成的俯视图。
图3是示意地表示第二输送机器人的手的构成的图。
图4是本实施方式的镀覆装置的动作控制的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下说明的附图中，对相同或者相应的构成要素标注相同的附图标记并省略重复的说明。
＜镀覆装置的整体构成＞图1是表示本实施方式的镀覆装置的整体构成的立体图。图2是表示本实施方式的镀覆装置的整体构成的俯视图。如图1、2所示，镀覆装置1000具备装载口100、第一输送机器人110、校准器120、镀覆模块400、清洗模块500、旋干机600、第二输送机器人700、以及控制模块800。
装载口100是用于将收纳于未图示的FOUP等盒的基板搬入到镀覆装置1000，或者从镀覆装置1000将基板搬出到盒的模块。装载口100与收容第一输送机器人110的第一机器人室115相邻地配置。在本实施方式中在水平方向并排地配置三台装载口100，但装载口100的数目以及配置任意。
第一输送机器人110是用于输送基板的机器人，构成为在装载口100、校准器120、以及旋干机600之间交接基板。第一输送机器人110收容于第一机器人室115。
校准器120是用于使基板的定向平面、槽口等位置对齐规定的方向的模块。校准器120是用于对基板进行镀覆处理的前处理的前处理模块的一种。校准器120收容于与第一机器人室115相邻的第一处理室125。在本实施方式中在上下方向并排地配置两台校准器120，但校准器120的数目以及配置任意。虽然在本实施方式中作为前处理模块的一个例子对校准器120进行了说明，但并不限定于此。前处理模块也可以包含用于对基板供给纯水或者脱气水的预湿模块。预湿模块通过以纯水或者脱气水等处理液润湿镀覆处理前的基板的被镀覆面，来将形成于基板表面的图案内部的空气置换为处理液。另外，前处理模块也可以包含用于对基板供给蚀刻处理液的预浸模块。预浸模块构成为实施利用硫酸或者盐酸等处理液对在镀覆处理前的基板的被镀覆面形成的种子层表面等所存在的电阻较大的氧化膜进行蚀刻除去并将镀覆基底表面清洗或者活性化的预浸处理。
镀覆模块400是用于对基板实施镀覆处理的模块。在本实施方式中，在上下方向并排配置两台并且在水平方向并排配置六台的共十二台镀覆模块400的组有两个，合计设置二十四台镀覆模块400，但镀覆模块400的数目以及配置任意。镀覆模块400收容于镀覆室405。
清洗模块500构成为为了除去在镀覆处理后的基板残留的镀覆液等而对基板实施清洗处理。在本实施方式中在第一处理室125配置一台清洗模块500，但清洗模块500的数目以及配置任意。清洗模块500是用于对基板进行镀覆处理的后处理的第一后处理模块的一种。
旋干机600是用于使清洗处理后的基板高速旋转使其干燥的模块。在本实施方式中在上下方向并排地配置两台旋干机，但旋干机的数目以及配置任意。旋干机600是用于对基板进行镀覆处理的后处理的第二后处理模块的一种。旋干机600收容于第二处理室605。在本实施方式中，示出了使用清洗模块500作为第一后处理模块，并使用旋干机600作为第二后处理模块的例子，但并不限定于此。并不限定于上述的例子，也能够使用用于对基板的外周部供给处理液的边缘背面冲洗模块，作为第一后处理模块或者第二后处理模块。
第二输送机器人700是用于在镀覆装置1000内的多个模块间输送基板的装置。具体而言，第二输送机器人700在包含校准器120的前处理模块、镀覆模块400、包含清洗模块500的第一后处理模块、包含旋干机600的第二后处理模块之间输送基板。第二输送机器人700收容于与第一处理室125、镀覆室405、第二处理室605相邻的第二机器人室705。
图3是示意地表示第二输送机器人的手的构成的图。如图3所示，第二输送机器人700具备第一手720、第二手730、用于保持第一手720以及第二手730的臂710。第一手720是用于输送进行镀覆处理之前的基板Wf的干燥专用手。第二手730是用于输送进行了镀覆处理之后的基板Wf的湿润专用手，配置在第一手720的下部。由此，能够防止镀覆液等液体从第二手730保持的基板Wf向第一手720滴垂。
第一机器人室115是需要保持最洁净的状态的区域。因此，第一机器人室115的内部一直维持为比镀覆模块400外部、第一处理室125、第二处理室605、第二机器人室705、以及镀覆室405都高的压力。另一方面，镀覆工序那样的湿润工序产生药液的蒸发所引起的分子等级的颗粒，所以镀覆室405成为最脏污的区域。因此，在镀覆室405的内部形成有负压。镀覆模块400内部被调整为压力按第一机器人室115、第一处理室125以及第二处理室605、第二机器人室705、镀覆室405的顺序降低。
控制模块800构成为控制镀覆装置1000的多个模块，例如能够由具备与操作人员之间的输入输出接口的一般的计算机或者专用计算机构成。控制模块800收容于控制室805。
在本实施方式的镀覆装置1000中，第一机器人室115、第一处理室125、第二处理室605、第二机器人室705、以及镀覆室405相互隔离。由此，镀覆装置1000实现分别在隔离的房室配置第一输送机器人110、校准器120以及清洗模块500、旋干机600、第二输送机器人700、以及镀覆模块400的微型环境。镀覆装置1000构成为仅在进行基板的交接时限定地开放各房室间的隔离。以下，对这一点进行说明。
控制模块800构成为控制分隔收容镀覆装置1000的各种构成要素的多个房室的门的开闭。具体而言，如图2所示，镀覆装置1000具备配置在第一机器人室115与第一处理室125之间的第一门117。控制模块800构成为控制第一门117的开闭。控制模块800例如在从第一输送机器人110向校准器120交接基板时，打开第一门117。
镀覆装置1000具备配置在第一处理室125与第二机器人室705之间的第二门127。控制模块800构成为控制第二门127的开闭。控制模块800例如在第二输送机器人700接受通过校准器120调整了槽口的方向的基板时，打开第二门127。
另外，镀覆装置1000具备配置在第二机器人室705与第二处理室605之间的第三门707。控制模块800构成为控制第三门707的开闭。控制模块800例如在将实施了镀覆处理的基板从第二输送机器人700交接给旋干机600时，打开第三门707。
另外，镀覆装置1000具备配置在第二处理室605与第一机器人室115之间的第四门607。控制模块800构成为控制第四门607的开闭。控制模块800例如在第一输送机器人110接受通过旋干机600实施了干燥处理的基板时，打开第四门607。
另外，镀覆装置1000具备配置在第二机器人室705与镀覆室405之间的多个第五门407。控制模块800构成为控制第五门407的开闭。控制模块800例如在第二输送机器人700将基板交接给镀覆模块400时，打开第五门407。
控制模块800构成为控制第一门117和第二门127的开闭，以使第一门117与第二门127不同时打开。并且，控制模块800构成为控制第三门707和第四门607的开闭，以使第三门707与第四门607不同时打开。
即，本实施方式的镀覆装置1000构成为抑制颗粒对需要保持最洁净的状态的第一机器人室115的污染。具体而言，镀覆装置1000构成为不在第一输送机器人110与第二输送机器人700之间进行基板的交接，而经由校准器120或者旋干机600进行基板的交接。这里，在从第一输送机器人110向校准器120交接基板时虽然打开第一门117，但此时关闭第二门127。另外，在第二输送机器人700接受通过校准器120调整了槽口的方向的基板时虽然打开第二门127，但此时关闭第一门117。并且，在将实施了镀覆处理的基板从第二输送机器人700交接给旋干机600时虽然打开第三门707，但此时关闭第四门607。并且，在第一输送机器人110接受通过旋干机600实施了干燥处理的基板时虽然打开第四门607，但此时关闭第三门707。
由此，第一机器人室115与第二机器人室705不会成为连通状态，所以能够抑制附着于第二输送机器人700的颗粒混入第一机器人室115。这样，本实施方式的镀覆模块400使构成要素的配置以及动作控制最佳化，所以能够抑制颗粒混入第一机器人室115，其结果，能够抑制颗粒附着在从镀覆模块400搬出的基板。
此外，控制模块800构成为对于第二门127和第五门407也同样地控制第二门127和第五门407的开闭以使两者不同时打开。并且，控制模块800构成为对于第三门707和第五门407也同样地控制第三门707和第五门407的开闭以使两者不同时打开。
接下来，对镀覆装置1000的一系列的动作控制的一个例子进行说明。图4是本实施方式的镀覆装置1000的动作控制的流程图。首先，镀覆装置1000在装载口100接受收纳于盒的基板(步骤102)。接着，镀覆装置1000通过第一输送机器人110从装载口100的盒取出基板(步骤104)。接着，控制模块800打开第一门117(步骤106)。接着，镀覆装置1000通过第一输送机器人110将基板交接给校准器120(第一交接步骤108)。接着，控制模块800关闭第一门117(步骤110)。
接着，镀覆装置1000通过校准器120使基板的定向平面、槽口等位置与规定的方向对齐(步骤112)。接着，控制模块800打开第二门127(步骤114)。接着，镀覆装置1000通过第二输送机器人700的第一手720从校准器120接受使方向对齐的基板(第一接受步骤116)。接着，控制模块800关闭第二门127(步骤118)。
接着，控制模块800打开第五门407(步骤120)。接着，镀覆装置1000通过第二输送机器人700的第一手720将基板交接给镀覆模块400(步骤122)。接着，控制模块800关闭第五门407(步骤124)。接着，镀覆装置1000通过镀覆模块400对基板实施镀覆处理(步骤126)。接着，控制模块800打开第五门407(步骤128)。接着，镀覆装置1000通过第二输送机器人700的第二手730从镀覆模块400接受基板(步骤130)。接着，控制模块800关闭第五门407(步骤132)。
接着，控制模块800打开第二门127(步骤134)。接着，镀覆装置1000通过第二输送机器人700的第二手730将基板交接给清洗模块500(步骤136)。接着，控制模块800关闭第二门127(步骤138)。接着，镀覆装置1000通过清洗模块500对基板实施清洗处理(步骤140)。
接着，控制模块800打开第二门127(步骤142)。接着，镀覆装置1000通过第二输送机器人700的第二手730从清洗模块500接受基板(步骤144)。接着，控制模块800关闭第二门127(步骤146)。
接着，控制模块800打开第三门707(步骤148)。接着，镀覆装置1000通过第二输送机器人700的第二手730将基板交接给旋干机600(第二交接步骤150)。接着，控制模块800关闭第三门707(步骤152)。
接着，镀覆装置1000通过旋干机600对基板实施干燥处理(步骤154)。接着，控制模块800打开第四门607(步骤156)。接着，镀覆装置1000通过第一输送机器人110接受实施了干燥处理的基板(第二接受步骤158)。接着，控制模块800关闭第四门607(步骤160)。接着，镀覆装置1000通过第一输送机器人110将基板输送给装载口100的盒(步骤162)。最后，镀覆装置1000从装载口100搬出收纳了基板的盒(步骤164)。
如以上那样，根据本实施方式，在实现了多个构成要素分别配置在隔离的房室的微型环境的镀覆装置中，隔离的房室间的门的开闭被控制为第一机器人室115与第二机器人室705不成为连通状态。由此，能够抑制附着于第二输送机器人700的颗粒混入第一机器人室115。
以上，对几个本发明的实施方式进行了说明，但上述的发明的实施方式是用于使本发明的理解变得容易的内容，并不对本发明进行限定。本发明当然能够在不脱离其主旨的范围内进行变更、改进，并且在本发明包含其等效物。另外，能够在能够解决上述的课题的至少一部分的范围、或者起到效果的至少一部分的范围内，进行权利要求书以及说明书所记载的各构成要素的任意的组合或者省略。
作为一实施方式，本申请公开一种镀覆装置，是用于对基板进行镀覆处理的镀覆装置，包含：第一机器人室，收容第一输送机器人，该第一输送机器人用于输送搬入到上述镀覆装置的基板以及从上述镀覆装置搬出的基板；镀覆室，收容镀覆模块，该镀覆模块用于对基板进行镀覆处理；第一处理室，收容前处理模块，该前处理模块用于对基板进行镀覆处理的前处理；第二机器人室，收容第二输送机器人，该第二输送机器人用于在上述前处理模块与上述镀覆模块之间输送基板；第一门，配置在上述第一机器人室与上述第一处理室之间；第二门，配置在上述第一处理室与上述第二机器人室之间；以及控制装置，构成为控制上述第一门和上述第二门的开闭，以使上述第一门与上述第二门不同时打开。
并且，作为一实施方式，本申请公开一种镀覆装置，还包含：第二处理室，收容后处理模块，该后处理模块用于对基板进行镀覆处理的后处理；第三门，配置在上述第二机器人室与上述第二处理室之间；以及第四门，配置在上述第二处理室与上述第一机器人室之间，上述控制装置构成为控制上述第三门和上述第四门的开闭，以使上述第三门与上述第四门不同时打开。
并且，作为一实施方式，本申请公开一种镀覆装置，上述第二输送机器人包含：第一手，用于输送进行镀覆处理之前的基板；以及配置在上述第一手的下部的第二手，用于输送进行了镀覆处理之后的基板。
并且，作为一实施方式，本申请公开一种镀覆装置，上述前处理模块包含用于调整基板的旋转方向的位置的校准器、用于对基板供给纯水或者脱气水的预湿模块、或者用于对基板供给蚀刻处理液的预浸模块的至少一个。
并且，作为一实施方式，本申请公开一种镀覆装置，上述后处理模块包含用于对基板供给清洗液的清洗模块、用于使基板旋转使其干燥的旋干机、用于向基板的外周部供给处理液的边缘背面冲洗模块的至少一个。
并且，作为一实施方式，本申请公开一种镀覆装置的动作控制方法，包含：打开配置在第一机器人室与第一处理室之间的第一门的步骤，其中，上述第一机器人室收容第一输送机器人，该第一输送机器人用于输送搬入到镀覆装置的基板以及从上述镀覆装置搬出的基板，上述第一处理室收容前处理模块，该前处理模块用于对基板进行镀覆处理的前处理；第一交接步骤，在打开上述第一门的步骤之后，通过上述第一输送机器人将基板交接给上述前处理模块；在上述第一交接步骤之后关闭上述第一门的步骤；在关闭上述第一门的步骤之后，打开配置在上述第一处理室与第二机器人室之间的第二门的步骤，其中，上述第二机器人室收容第二输送机器人，该第二输送机器人用于在镀覆模块与上述前处理模块之间输送基板，上述镀覆模块用于对基板进行镀覆处理；以及第一接受步骤，在打开上述第二门的步骤之后，通过上述第二输送机器人从上述前处理模块接受基板。
并且，作为一实施方式，本申请公开一种镀覆装置的动作控制方法，还包含：打开配置在上述第二机器人室与第二处理室之间的第三门的步骤，上述第二处理室收容后处理模块，该后处理模块用于对基板进行镀覆处理的后处理；第二交接步骤，在打开上述第三门的步骤之后，通过上述第二输送机器人将基板交接给上述后处理模块；在上述第二交接步骤之后关闭上述第三门的步骤；在关闭上述第三门的步骤之后，打开配置在上述第二处理室与上述第一机器人室之间的第四门的步骤；以及第二接受步骤，在打开上述第四门的步骤之后，通过上述第一输送机器人从上述后处理模块接受基板。
并且，作为一实施方式，本申请公开一种镀覆装置的动作控制方法，使用上述第二输送机器人的第一手进行第一接受步骤，上述第一手用于输送进行镀覆处理之前的基板，使用上述第二输送机器人的第二手进行第二交接步骤，上述第二手用于输送进行了镀覆处理之后的基板。
附图标记说明
110…第一输送机器人，115…第一机器人室，117…第一门，120…校准器，125…第一处理室，127…第二门，400…镀覆模块，405…镀覆室，407…第五门，500…清洗模块，600…旋干机，605…第二处理室，607…第四门，700…第二输送机器人，705…第二机器人室，707…第三门，720…第一手，730…第二手，800…控制模块，805…控制室，1000…镀覆装置。

Claims (8)

1.一种镀覆装置，是用于对基板进行镀覆处理的镀覆装置，包含：
第一机器人室，收容第一输送机器人，该第一输送机器人用于输送搬入到上述镀覆装置的基板以及从上述镀覆装置搬出的基板；
镀覆室，收容镀覆模块，该镀覆模块用于对基板进行镀覆处理；
第一处理室，收容前处理模块，该前处理模块用于对基板进行镀覆处理的前处理；
第二机器人室，收容第二输送机器人，该第二输送机器人用于在上述前处理模块与上述镀覆模块之间输送基板；
第一门，配置在上述第一机器人室与上述第一处理室之间；
第二门，配置在上述第一处理室与上述第二机器人室之间；以及
控制装置，构成为控制上述第一门和上述第二门的开闭，以使上述第一门与上述第二门不同时打开。
2.根据权利要求1所述的镀覆装置，其中，还包含：
第二处理室，收容后处理模块，该后处理模块用于对基板进行镀覆处理的后处理；
第三门，配置在上述第二机器人室与上述第二处理室之间；以及
第四门，配置在上述第二处理室与上述第一机器人室之间，
上述控制装置构成为控制上述第三门和上述第四门的开闭，以使上述第三门与上述第四门不同时打开。
3.根据权利要求1或者2所述的镀覆装置，其中，
上述第二输送机器人包含：第一手，用于输送进行镀覆处理之前的基板；以及配置在上述第一手的下部的第二手，用于输送进行了镀覆处理之后的基板。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的镀覆装置，其中，
上述前处理模块包含用于调整基板的旋转方向的位置的校准器、用于对基板供给纯水或者脱气水的预湿模块、或者用于对基板供给蚀刻处理液的预浸模块的至少一个。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的镀覆装置，其中，
上述后处理模块包含用于对基板供给清洗液的清洗模块、用于使基板旋转使其干燥的旋干机、用于向基板的外周部供给处理液的边缘背面冲洗模块的至少一个。
6.一种镀覆装置的动作控制方法，包含：
打开配置在第一机器人室与第一处理室之间的第一门的步骤，其中，上述第一机器人室收容第一输送机器人，该第一输送机器人用于输送搬入到镀覆装置的基板以及从上述镀覆装置搬出的基板，上述第一处理室收容前处理模块，该前处理模块用于对基板进行镀覆处理的前处理；
第一交接步骤，在打开上述第一门的步骤之后，通过上述第一输送机器人将基板交接给上述前处理模块；
在上述第一交接步骤之后关闭上述第一门的步骤；
在关闭上述第一门的步骤之后，打开配置在上述第一处理室与第二机器人室之间的第二门的步骤，其中，上述第二机器人室收容第二输送机器人，该第二输送机器人用于在镀覆模块与上述前处理模块之间输送基板，上述镀覆模块用于对基板进行镀覆处理；以及
第一接受步骤，在打开上述第二门的步骤之后，通过上述第二输送机器人从上述前处理模块接受基板。
7.根据权利要求6所述的镀覆装置的动作控制方法，其中，还包含：
打开配置在上述第二机器人室与第二处理室之间的第三门的步骤，其中，上述第二处理室收容后处理模块，该后处理模块用于对基板进行镀覆处理的后处理；
第二交接步骤，在打开上述第三门的步骤之后，通过上述第二输送机器人将基板交接给上述后处理模块；
在上述第二交接步骤之后关闭上述第三门的步骤；
在关闭上述第三门的步骤之后，打开配置在上述第二处理室与上述第一机器人室之间的第四门的步骤；以及
第二接受步骤，在打开上述第四门的步骤之后，通过上述第一输送机器人从上述后处理模块接受基板。
8.根据权利要求7所述的镀覆装置的动作控制方法，其中，
使用上述第二输送机器人的第一手进行第一接受步骤，该第一手用于输送进行镀覆处理之前的基板，
使用上述第二输送机器人的第二手进行第二交接步骤，该第二手用于输送进行了镀覆处理之后的基板。
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