JP7128385B1 - めっき装置、及びめっき装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
続いて、めっきモジュール400について説明する。なお、本実施形態に係るめっき装置1000が有する複数のめっきモジュール400は同様の構成を有しているので、1つのめっきモジュール400について説明する。
図5は、引き出しユニットの構成を説明するための上方斜視図である。図6は、引き出しユニットの構成を説明するための下方斜視図である。図7は、引き出しユニットの構成を説明するための切断斜視図である。図8は、引き出しユニットの構成を説明するための縦断面図である。図9は、引き出しユニットのバスバーの構成を説明するための切断斜視図である。以下、図4から図9を参照して、アノード61及び可変アノードマスク62が一体的された引き出しユニットについて説明する。
(a)引き出しユニット630を取り付ける前のめっき槽10を準備する工程。
(b)アノード61、可変アノードマスク62、及び、可変アノードマスク62を駆動する駆動軸624が少なくとも取り付けられた引き出しユニット630をめっき槽10の側壁の開口部10Aからめっき槽10の内部に挿入して、引き出しユニット630をめっき槽10の内部に設置する工程。
(c)アクチュエータ650をめっき槽10の側壁の外面に取り付ける工程。
(d)引き出しユニット630の駆動軸624の前端を、アクチュエータ650の出力軸651の先端に対して、ジョイント661、662、663を介して取り付ける工程。
なお、(c)、(d)の工程は、何れを先に実施してもよい。
(1)上記実施形態によれば、アノード61及び可変アノードマスク62を一体化した引き出しユニット630をめっき槽10から引抜くことができ、アノード及び可変アノードマスクのメンテナンス及び/又は交換を容易に行うことができる。また、前板と底板により引き出しを構成するので、アノード及び可変アノードマスクを出し入れする高さを簡易な構成で確保することができる。
(2)上記実施形態によれば、めっき槽10の外部で、可変アノードマスク62の駆動軸624と、アクチュエータ650の出力軸651とを、ジョイントを介して取り付け及び取り外すことができるので、引き出しユニット630をめっき装置10に容易に取り付け、めっき槽10から容易に取り外すことができる。
(3)上記実施形態によれば、可変アノードマスク62の駆動軸624をアクチュエータ650の出力軸651と平行に配置し、同一方向に移動させるため、可変アノードマスク62の駆動軸624と、アクチュエータ650の出力軸651との間をジョイント等で連結させるだけで良く、動力伝達機構を簡易に構成することができる。
[1]一形態によれば、 めっき液を保持するためのめっき槽と、 被めっき面を下向きにして基板を保持する基板ホルダと、 前記めっき槽に水平方向に引抜き自在に装着した引き出しユニットであり、前記めっき槽内で前記基板と対向するように配置されるアノードと、前記アノードを露出する開口部を有し前記開口部の開口寸法を調節可能な可変アノードマスクとを有する、引き出しユニットと、 を備える、めっき装置が提供される。
10A 開口部
11 基板ホルダ
20 オーバーフロー槽
60 隔膜
61 アノード
62 可変アノードマスク
62A 開口部
65 抵抗体
66 パドル
611 バスバー
612 突起
613 締結部材
621 ブレード
622 ブレード押え
623 カム円盤
623A 穴
623B 長穴
624 駆動軸
625 軸受
626 シール
627 シール固定部材
628 ピン
630 引き出しユニット
631 引き出し本体
632 前板
632A シール
632B シール
633 底板
633A ベース
633B 穴
634 把手
635 絶縁カバー
650 アクチュエータ
651 出力軸
655 ブラケット
661 第1のジョイント
662 第2のジョイント
663 締結部材
636 開口
637 シール固定部材
Claims (14)
- めっき液を保持するためのめっき槽と、
被めっき面を下向きにして基板を保持する基板ホルダと、
前記めっき槽に水平方向に引抜き自在に装着した引き出しユニットであり、前記めっき槽内で前記基板と対向するように配置されるアノードと、前記アノードを露出する開口部を有し前記開口部の開口寸法を調節可能な可変アノードマスクとを有する、引き出しユニットと、
前記めっき槽の側壁の外面に配置され、進退自在の出力軸を有するアクチュエータと、を備え、
前記可変アノードマスクは、前記開口部の開口寸法を調節する開口調節部材を有し、
前記引き出しユニットは、前記可変アノードマスクの前記開口調節部材を移動させる駆動軸を更に有し、
前記引き出しユニットの前記駆動軸は、前記めっき槽の側壁を貫通して、前記めっき槽の外部で、前記アクチュエータの前記出力軸に対して取り外し可能に連結され、前記アクチュエータの動力が前記引き出しユニットの前記駆動軸に伝達され、
前記アクチュエータの前記出力軸は、前記引き出しユニットの前記駆動軸に所定の距離を保って平行に配置され、前記アクチュエータの前記出力軸と同一方向に前記引き出しユニットの前記駆動軸を移動させる、
めっき装置。 - 請求項1に記載のめっき装置において、
前記めっき槽は、平面視において四角形であり、
前記引き出しユニットの前記駆動軸は、前記アクチュエータが配置される前記めっき槽の側壁の外面と隣接し直交する外面を通って前記めっき槽の外部に延びる、
めっき装置。 - 請求項1又は2に記載のめっき装置において、
前記引き出しユニットの前記駆動軸は、前記アクチュエータの前記出力軸にジョイントを介して取り外し可能に連結されている、
めっき装置。 - 請求項1から3の何れかに記載のめっき装置において、
前記引き出しユニットは、前記アノード及び前記可変アノードマスクが配置される底板と、前記めっき槽の側壁の一部を構成する前板と、を有し、
前記駆動軸は、前記前板を貫通しており、前記駆動軸は、前記めっき槽の外部で前記アクチュエータの前記出力軸に連結される、
めっき槽。 - 請求項4に記載のめっき装置において、
前記引き出しユニットは、前記前板を貫通して設けられ前記駆動軸を案内する軸受と、前記軸受の両端に設けられ前記駆動軸と前記軸受との間を密閉するシールと、を更に有する、めっき槽。 - 請求項4又は5に記載のめっき装置において、
前記引き出しユニットは、前記アノードに電気的に接続され前記アノードに給電するバスバーを有し、前記バスバーは、前記前板を貫通して前記めっき槽の外部に延びている、
めっき装置。 - 請求項4から6の何れかに記載のめっき装置において、
前記底板には、液抜き用の開口が設けられている、
めっき装置。 - 請求項3、請求項3を引用先に含む請求項4から7の何れかに記載のめっき装置において、
前記ジョイントは、
板状又は棒状の部材であり、前記駆動軸の一端に一体に設けられ又は前記駆動軸の一端に連結される第1部材と、
板状又は棒状の部材であり、前記出力軸の先端に一体に設けられ又は前記アクチュエータの前記出力軸の先端に連結される第2部材と、
前記第1部材と前記2部材とを着脱可能に連結する締結部材と、を有する、
めっき装置。 - 請求項8に記載のめっき装置において、
前記第1部材及び前記第2部材の少なくとも一方はクランクを有し、
前記駆動軸の前記一端と、前記アクチュエータの前記出力軸の先端とは異なる高さにある、めっき装置。 - 請求項8又は9に記載のめっき装置において、
前記締結部材は、ボルト又はねじである、めっき装置。 - 請求項1から3の何れかに記載のめっき装置において、
前記引き出しユニットは、前記アノード及び前記可変アノードマスクが配置される底板と、前記めっき槽の側壁の一部を構成する前板と、を有する、
めっき装置。 - めっき槽を準備し、
アノード及び可変アノードマスクを保持する底板と、前記めっき槽の側壁の一部を構成
する前板と、前記前板を貫通し前記可変アノードマスクを駆動する駆動軸とを少なくとも有する引き出しユニットを前記めっき装置に挿入し、
前記前板以外の部分で前記めっき槽の側壁の外面にアクチュエータを取り付け、前記アクチュエータの出力軸を前記引き出しユニットの前記駆動軸と所定の距離を保って平行に配置し、
前記アクチュエータの前記出力軸と同一方向に前記引き出しユニットの前記駆動軸を移動させるように、前記めっき槽の外部で、前記引き出しユニットの前記駆動軸を前記アクチュエータの出力軸に取り外し可能に連結する、
めっき装置の製造方法。 - 請求項12に記載の方法において、
前記めっき槽は、平面視において四角形であり、前記引き出しユニットの前記駆動軸は、前記アクチュエータが配置される前記めっき槽の側壁の外面と隣接し直交する外面を通って前記めっき槽の外部に延びる、方法。 - 請求項12又は13に記載の方法において、前記引き出しユニットは、前記アノードに給電するためのバスバーを更に有する、方法。
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