CN116234944A - 镀敷装置和镀敷装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

容易维护在面朝下式的镀敷装置的下部配置的镀敷装置和镀敷装置的制造方法。镀敷装置具备：镀敷槽，其用于保持镀敷液；基板保持架，其使被镀敷面向下而保持基板；以及拉出单元，其是在水平方向上拔出自如地装配于上述镀敷槽的拉出单元，且具有在上述镀敷槽内与上述基板相向配置的阳极和具有使上述阳极暴露的开口部并能够调节上述开口部的开口尺寸的可变阳极遮罩。

Description

镀敷装置和镀敷装置的制造方法

技术领域

本发明涉及镀敷装置和镀敷装置的制造方法。

背景技术

作为能够对基板实施镀敷处理的镀敷装置，公知有记载于日本特开2006-241599号公报(专利文献1)、美国专利第7351314号说明书(专利文献2)记载的那样的所谓的面朝下式或者杯式的镀敷装置。这样的镀敷装置具备：镀敷槽，其存积镀敷液并且配置有阳极；和基板保持架(也称为镀敷头)，其配置于比阳极靠上方而保持作为阴极的基板。

在这样的面朝下式的镀敷装置中，在构造上，阳极配置于镀敷槽的最下部，因此，在阳极更换等维护作业中，需要将阳极上部的零件全部拆卸。存在如下问题：针对该一系列的作业，作业性差，耗费时间，镀敷装置的运转率也恶化。日本特开2006-241599号公报(专利文献1)公开有在拔出自如地装配于镀敷槽的阳极保持体内保持阳极的结构。美国专利第7351314号说明书(专利文献2)公开一种结构，将镀敷槽分割为处理单元、障壁单元、电极单元这些单独的单元，在最下部的电极单元配置有阳极。

专利文献1：日本特开2006-241599号公报

专利文献2：美国专利第7351314号说明书

在面朝下式的镀敷装置中，为了防止由于基板上的种子层的电阻而使基板外周部比中央部厚地镀敷这种所谓的终端效应等，正在研究将能够调整开口尺寸的可变阳极遮罩配置于阳极的前表面，调整从阳极朝向基板的电场。这样的可变阳极遮罩，优选为了高效地调整从阳极朝向基板的电场而配置于阳极的附近，与阳极相同，可变阳极遮罩配置于镀敷槽的最下部。因此，可变阳极遮罩的维护也存在与阳极相同的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述内容而完成的，目的之一在于容易维护在面朝下式的镀敷装置的下部配置的部件。

根据本发明的一方面，提供一种镀敷装置，具备：镀敷槽，其用于保持镀敷液；基板保持架，其使被镀敷面向下而保持基板；以及拉出单元，其是在水平方向上拔出自如地装配于上述镀敷槽的拉出单元，且具有在上述镀敷槽内与上述基板相向配置的阳极和具有使上述阳极暴露的开口部并能够调节上述开口部的开口尺寸的可变阳极遮罩。

附图说明

图1是表示一实施方式所涉及的镀敷装置的整体结构的立体图。

图2是表示一实施方式所涉及的镀敷装置的整体结构的俯视图。

图3是用于对一实施方式所涉及的镀敷装置的镀敷模块的结构进行说明的剖视图。

图4是用于对一实施方式所涉及的镀敷装置的镀敷模块的结构进行说明的立体图。

图5是用于对拉出单元的结构进行说明的上方立体图。

图6是用于对拉出单元的结构进行说明的下方立体图。

图7是用于对拉出单元的结构进行说明的剖切立体图。

图8是用于对拉出单元的结构进行说明的纵剖视图。

图9是用于对拉出单元的汇流条的结构进行说明的剖切立体图。

图10是表示前板的密封件的配置的俯视图。

图11是表示接合件的变形例的示意图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式所涉及的镀敷装置1000进行说明。另外，附图是为了容易理解物体的特征而示意性地图示，不局限于各结构要素的尺寸比率等与实际相同的情况。此外，几个附图中作为参考用而图示X-Y-Z的正交坐标。在该正交坐标中，Z方向相当于上方，-Z方向相当于下方(重力作用的方向)。

图1是表示本实施方式的镀敷装置1000的整体结构的立体图。图2是表示本实施方式的镀敷装置1000的整体结构的俯视图。如图1和图2所示，镀敷装置1000具备装载口100、搬运机器人110、对准器120、预湿模块200、预浸模块300、镀敷模块400、清洗模块500、旋转清洗干燥器600、搬运装置700和控制模块800。

装载口100是用于向镀敷装置1000中搬入被收纳于未图示的FOUP等盒的晶圆(基板)、或者从镀敷装置1000中将基板搬出至盒的模块。在本实施方式中，四台装载口100沿水平方向排列配置，但装载口100的数量和配置方式是任意的。搬运机器人110是用于搬运基板的机器人，且构成为在装载口100、对准器120、预湿模块200和旋转清洗干燥器600之间交接基板。搬运机器人110和搬运装置700在搬运机器人110与搬运装置700之间交接基板时，能够经由临时放置台(未图示)进行基板的交接。

对准器120是用于使基板的定向平面、凹口等位置对准于规定方向的模块。在本实施方式中，两台对准器120在水平方向上排列配置，但对准器120的数量和配置方式是任意的。预湿模块200通过使镀敷处理前的基板的被镀敷面以纯水或者脱气水等处理液湿润，从而将形成于基板表面的图案内部的空气置换为处理液。预湿模块200通过在镀敷时将图案内部的处理液置换为镀敷液，从而实施容易对图案内部供给镀敷液的预湿式处理。在本实施方式中，两台预湿模块200在上下方向上排列配置，但预湿模块200的数量和配置方式是任意的。

预浸模块300构成为实施预浸处理，上述预浸处理例如利用硫酸、盐酸等处理液蚀刻除去形成于镀敷处理前的基板的被镀敷面上的种子层表面等所存在的电阻大的氧化膜而清洗或者活化镀敷基底表面。在本实施方式中，两台预浸模块300在上下方向上排列配置，但预浸模块300的数量和配置方式是任意的。镀敷模块400在基板上实施镀敷处理。在本实施方式中，存在两组在上下方向上排列配置三台并且在水平方向上排列配置四台的12台镀敷模块400，设置有合计24台镀敷模块400，但镀敷模块400的数量和配置方式是任意的。

清洗模块500构成为为了除去残留于镀敷处理后的基板的镀敷液等而对基板实施清洗处理。在本实施方式中，两台清洗模块500在上下方向上排列配置，但清洗模块500的数量和配置方式是任意的。旋转清洗干燥器600是用于使清洗处理后的基板高速旋转而使基板干燥的模块。在本实施方式中，两台旋转清洗干燥器600在上下方向上排列配置，但旋转清洗干燥器600的数量和配置方式是任意的。搬运装置700是用于在镀敷装置1000内的多个模块之间搬运基板的装置。控制模块800构成为控制镀敷装置1000的多个模块，能够通过例如具备与操作人员之间的输入输出接口的通常的计算机或者专用计算机构成。

对由镀敷装置1000进行的一系列的镀敷处理的一个例子进行说明。首先，在装载口100处搬入收纳于盒的基板。接着，搬运机器人110从装载口100的盒中取出基板，并向对准器120搬运基板。对准器120使基板的定向平面、凹口等位置对准于规定方向。搬运机器人110将通过对准器120对准了方向的基板向预湿模块200交接。

预湿模块200对基板实施预湿式处理。搬运装置700将实施了预湿式处理的基板向预浸模块300搬运。预浸模块300对基板实施预浸处理。搬运装置700将实施了预浸处理的基板向镀敷模块400搬运。镀敷模块400对基板实施镀敷处理。

搬运装置700将实施了镀敷处理的基板向清洗模块500搬运。清洗模块500对基板实施清洗处理。搬运装置700将实施了清洗处理的基板向旋转清洗干燥器600搬运。旋转清洗干燥器600对基板实施干燥处理。搬运机器人110从旋转清洗干燥器600接受基板，并将实施了干燥处理的基板向装载口100的盒搬运。最后，从装载口100搬出收纳有基板的盒。

另外，图1、图2中说明的镀敷装置1000的结构只不过是一个例子，镀敷装置1000的结构不限定于图1、图2的结构。

[镀敷模块]

接着，对镀敷模块400进行说明。另外，本实施方式所涉及的镀敷装置1000具有的多个镀敷模块400具有相同的结构，因此，对一个镀敷模块400进行说明。

图3是用于对一实施方式所涉及的镀敷装置的镀敷模块的结构进行说明的剖视图。图4是用于对一实施方式所涉及的镀敷装置的镀敷模块的结构进行说明的立体图。

本实施方式所涉及的镀敷装置1000使被称为面朝下式或者杯式的类型的镀敷装置。本实施方式所涉及的镀敷装置1000的镀敷模块400主要具备镀敷槽10、溢流槽20、保持基板Wf的也被称为镀敷头的基板保持架11、使基板保持架11旋转、倾斜和升降的旋转机构、倾斜机构和升降机构(省略图示)。其中，也可以省略倾斜机构。

本实施方式所涉及的镀敷槽10由在上方具有开口的有底容器构成。镀敷槽10具有底壁和从该底壁的外周缘向上方延伸的侧壁，该侧壁的上部开口。镀敷槽10具有存积镀敷液Ps的圆筒形状的内部空间。作为镀敷液Ps，只要是包含构成镀敷皮膜的金属元素的离子的溶液即可，其具体例没有特别限定。在本实施方式中，作为镀敷处理的一个例子，使用铜镀敷处理，作为镀敷液Ps的一个例子，使用硫酸铜溶液。此外，在本实施方式中，镀敷液Ps包含规定的添加剂。其中，不限定于该结构，镀敷液Ps也能够成为不包含添加剂的结构。

如图4所示，溢流槽20由在镀敷槽10的外侧配置的有底容器构成。溢流槽20暂时存积超过了镀敷槽10的上端的镀敷液Ps。在一个例子中，溢流槽20的镀敷液Ps从溢流槽20用的排出口(未图示)排出，暂时存积于储存罐(未图示)之后，再次返回镀敷槽10。

阳极61配置于镀敷槽10的内部的下部。阳极61的具体种类没有特别限定，能够使用溶解阳极、不溶解阳极。在本实施方式中，使用不溶解阳极来作为阳极61。该不溶解阳极的具体种类没有特别限定，能够使用铂、氧化铱等。在本实施方式中，在阳极61的上表面侧(基板Wf侧)设置有可变阳极遮罩62。

可变阳极遮罩62是具有使阳极61暴露的开口部62A，并通过开口部62A调节阳极61暴露的范围，由此调节从阳极61朝向基板Wf的电场的电场调节构件。如图4所示，本实施方式的可变阳极遮罩62具备多个叶片621，并通过与相机的光圈相同的机构来调整开口部62A的开口尺寸。针对可变阳极遮罩62的详情将后述。

隔膜60在镀敷槽10的内部且在可变阳极遮罩62的上方配置。镀敷槽10内部由隔膜60分隔为上下的室。将隔膜60的上侧的室称为阴极室，将隔膜60的下侧的室称为阳极室。在本实施方式中，隔膜60具有作为中性膜的第1膜63和作为离子交换膜的第2膜64。隔膜60的结构是一个例子，能够采用其他结构。第1膜63和第2膜64在各自的外周部中通过支架而固定于镀敷液10的内周面。从设置于镀敷槽10的底壁的液体供给口51对阳极室供给镀敷液Ps，并从设置于镀敷槽10的侧壁的液排出口52(在本实施方式中两个)排出镀敷液Ps。从未图示的液体供给口也对阴极室供给镀敷液，并从未图示的液排出口排出镀敷液。将包含催化剂等添加物的镀敷液Ps导入阴极室，将不包含添加物或者添加物浓度低的镀敷液Ps导入阳极室。隔膜60防止镀敷液中的金属离子从阳极室向阴极室透过并且防止镀敷液中的添加剂从阴极室向阳极室透过。

在镀敷槽10的内部且在比隔膜60靠上方处配置有多孔的电阻体65。具体而言，电阻体65由具有多个孔(细孔)的多孔的板构件构成。比电阻体65靠下侧的镀敷液Ps能够穿过电阻体65而向比电阻体65靠上侧流动。该电阻体65是为了实现形成于阳极61与基板Wf之间的电场的均匀化而设置的构件。通过将这样的电阻体65配置于镀敷槽10，能够容易实现形成于基板Wf的镀敷皮膜(镀敷层)的膜厚的均匀化。另外，电阻体65在本实施方式中不是必要的结构，本实施方式也能够成为不具备电阻体65的结构。

在镀敷槽10的内部且在基板Wf的附近(在本实施方式中，电阻体65与基板Wf之间)配置有桨叶66。桨叶66在大体与基板Wf的被镀敷面平行方向上往复运动而在基板Wf表面产生较强的镀敷液流。由此，能够使基板Wf的表面附近的镀敷液中的离子均匀化，能够提高形成于基板Wf表面的镀敷膜的面内均匀性。

[拉出单元]

图5是用于对拉出单元的结构进行说明的上方立体图。图6是用于对拉出单元的结构进行说明的下方立体图。图7是用于对拉出单元的结构进行说明的剖切立体图。图8是用于对拉出单元的结构进行说明的纵剖视图。图9是用于对拉出单元的汇流条的结构进行说明的剖切立体图。以下，参照图4～图9，对阳极61和可变阳极遮罩62成为一体的拉出单元进行说明。

在本实施方式中，如图4～图6所示，阳极61和可变阳极遮罩62作为拉出单元630而一体地构成。拉出单元630具备拉出主体631、阳极61、可变阳极遮罩62、驱动可变阳极遮罩62的驱动轴624、对阳极61供电的汇流条611。另外，汇流条611也可以不包含于拉出单元630。

如图4所示，拉出单元630构成为能够从在镀敷槽10的侧壁开口的开口部10A插入镀敷槽10的内部。在拉出单元630插入镀敷槽10内部，配置于镀敷槽10的内部的状态下，前板632关闭镀敷槽10的侧壁的开口部10A，作为镀敷槽10的侧壁的局部发挥功能，构成镀敷槽10的侧壁的局部。

拉出主体631由电绝缘材料形成，并具备底板633和前板632。另外，在本说明书中，有时将前板632侧称为前方，将底板633侧称为后方。底板633为板状的构件，且保持阳极61和可变阳极遮罩62。如图6所示，在底板633设置有排液用的开口636。该图中，作为在前后方向上延伸的一个狭缝而设置有开口636，但开口636也可以为任意的形状，也可以设置有多个。通过设置开口636，在从镀敷槽10拉出了拉出单元630时，能够减少残留在拉出单元630上的镀敷液的量，能够抑制镀敷液存积在拉出单元630上。

前板632安装于底板633的前端，构成镀敷槽10的侧壁的局部。前板632通过螺栓等紧固构件安装于底板633的前端。另外，前板632也可以与底板633一体地形成。在拉出单元630从镀敷槽10的侧壁的开口部10A插入并设置于镀敷槽10的内部时，前板632关闭开口部10A，构成镀敷槽10的侧壁的局部。拉出单元630配置、固定于镀敷槽10的内部的状态如图8所示。

拉出单元630的前板632例如能够通过螺栓、螺钉等任意的紧固构件而固定于镀敷槽10的侧壁。在前板632的后表面(内表面)或者镀敷槽10的侧壁的与前板632的内表面相向的外表面的部分，设置有密闭前板632与镀敷槽10的侧壁之间而用于防止镀敷液的泄漏的密封件632A。该密封件632A例如如图10所示那样以环状设置于前板632的内表面的外周部。

在前板632的前表面(外表面)设置有当使拉出单元630进出镀敷槽10时供作业者把持的把手634。把手634例如也可以通过螺栓、螺钉等的紧固而安装于前板632，也可以与前板632一体地形成。此外，在前板632的大体中央安装有绝缘罩635，上述绝缘罩635将贯通前板632而暴露的汇流条611(图6)覆盖。

阳极61为板状的电极，例如具有圆盘状的形状。如图9所示，阳极61具有设置于其背面中央的作为供电点的突起612。阳极61在设置在底板633上的基座633A上配置。例如，在基座633A的上表面设置有与阳极61的外形对应的凹部，阳极61嵌入并固定于该凹部。基座633A由电绝缘材料形成。此外，在基座633A上且在与阳极61的突起612对应的位置设置有孔633B。阳极61的突起612穿过孔633B而通过突起612的末端部与汇流条611机械连接和电连接。

汇流条611通过其一端(内侧端、后方端)与阳极61的突起612电连结和机械连结，并且其另一端侧贯通前板632，而在前板632的外表面侧暴露。构成为在汇流条611的另一端(外侧端、前方端)通过螺栓、螺钉等紧固构件613而固定有供电用的线缆。供电用的线缆从电源(省略图示)接受电力的供给。在前板632与汇流条611之间设置有防止镀敷液的泄漏的密封件632B。密封件632B通过密封件固定构件637而固定。在汇流条611的外侧端的四周，且在前板632上，如图8所示，安装有用于防止作业者触碰高电压部的绝缘罩635。绝缘罩635例如通过螺栓、螺钉等的紧固而安装于前板632。如图5、图8所示，覆盖汇流条611从前板632暴露的暴露部的绝缘罩635配置于前板632的前表面的宽度方向大致中央的稍下侧。

可变阳极遮罩62构成为，通过与相机的光圈机构相同的构造使多个叶片621移动，放大和缩小可变阳极遮罩62的开口部62A的开口尺寸。如图5和图9所示，可变阳极遮罩62具备：凸轮圆盘623，其在基座633A上以包围阳极61的外周的方式以规定距离相对于阳极61的面分离而配置；叶片压板622，其配置于凸轮圆盘623的上方；以及多个叶片621，其夹持于凸轮圆盘623与叶片压板622之间。

如图9所示，凸轮圆盘623为圆环状的构件，且配置在基座633A上。凸轮圆盘623在基座633A上能够旋转地配置。凸轮圆盘623例如嵌入设置于基座633上表面的凹部，且被支承为能够旋转。如图7所示，在凸轮圆盘623上设置有：孔623A，其卡合和固定有用于固定驱动轴624的销628；和长孔623B，其供设置于各叶片621的下表面的销(省略图示)卡合。凸轮圆盘623通过驱动轴624的前后运动而在基座633上旋转，通过该旋转使多个叶片621旋转，调节可变阳极遮罩62的开口部62A(图5)的开口尺寸。

如图5所示，叶片压板622是圆环状的构件，且具有比凸轮圆盘623的外径稍大的外径。如图9所示，叶片压板622配置于多个叶片621的上方。叶片压板622相对于基座633A无法旋转地固定。在叶片压板622的下表面设置有多个销(省略图示)。各销与设置于各叶片621的上表面的圆孔(省略图示)卡合，各叶片621能够绕销旋转。各叶片621在由于凸轮圆盘623的旋转而旋转时，绕叶片压板622的销旋转。另外，也可以是，在叶片压板622设置有圆孔，在各叶片621设置有销。

多个叶片621是与相机的光圈机构相同的构造的叶片，且绕可变阳极遮罩62的开口部62A配置。多个叶片621能够以放大和缩小可变阳极遮罩62的开口部62A的开口尺寸的方式移动，且安装于凸轮圆盘623和叶片压板622。

如图7所示，驱动轴624在驱动轴624的后端(内侧端)通过销628而固定于凸轮圆盘623。该例中，销628与设置于凸轮圆盘623的孔623A和设置于驱动轴624的后端的孔624A卡合，由此将驱动轴624与凸轮圆盘623连结。如图5所示，若致动器650的输出轴651在前后方向上往复，则驱动轴624经由接合件661、662、663而在与致动器650的输出轴651的移动方向平行且相同的方向上移动，凸轮圆盘623旋转。

如图7所示，驱动轴624穿过以贯通前板632的方式安装的圆筒状的轴承625而贯通前板632的外表面与内表面之间。更详细而言，驱动轴624贯通轴承625及其两端面的密封件626和密封件固定构件627而配置。密封件626密闭轴承625与驱动轴624之间，防止镀敷液从轴承625与驱动轴624之间向外部泄漏。该例中，密封件626配置于在轴承625的各端面设置的环状的槽的内部，并由密封件固定构件627按压而固定。密封件626例如能够采用绕环状的金属的芯材设置有树脂的全向密封件。通过采用全向密封件，能够使驱动轴624与驱动轴624之间的滑动电阻降低，使驱动轴624圆滑地前后运动。另外，根据装置的规格，密封件626能够成为O型环、其他任意形式的密封件。密封件固定构件627例如通过螺栓、螺钉等紧固构件而固定于轴承625的各端面。

驱动可变阳极遮罩62的驱动轴624由图4和图5所示的固定于镀敷槽10侧的致动器650驱动。另外，图5中，为了容易理解地示出致动器650与驱动轴624之间的机械连接关系，省略镀敷槽10而示出。如图4所示，致动器650在镀敷槽10的与设置有开口部10A的侧壁面邻接的侧壁面固定。致动器650例如使用托架655(图5)而安装于镀敷槽10的侧壁的外表面。

该例中，致动器650是在上部具备马达，在下部具备输出轴651，将马达的旋转转换为输出轴651的直线往复运动的结构。另外，致动器能够采用由流体(空气、油压等)驱动的类型、由螺线管等电磁力驱动的类型、其他任意的致动器。致动器650的输出轴651通过流体等的动力(在本实施方式中，马达的旋转)而能够在前后方向上往复运动。

在可变阳极遮罩62的驱动轴624的前端(外侧端)连结有第1接合件661，在致动器650的输出轴651的末端连结有第2接合件662。如图5所示，第1接合件661与第2接合件662通过螺栓、螺钉等任意的紧固构件663以可拆卸的方式连结，由此将来自致动器650的动力向驱动轴624传递。在本实施方式中，可变阳极遮罩62的驱动轴624与致动器650的输出轴651相互平行地配置。若致动器650的输出轴651在前后方向上往复运动，则可变阳极遮罩62的驱动轴624在与致动器650的输出轴651的移动方向平行且相同的方向上移动。

在本实施方式中，在第2接合件662设置有从上下引导第1接合件661的端部的引导部，使第1接合件661无法转动，并且能够使第1接合件661以稳定的姿势安装于第2接合件662。第1接合件661能够成为板状或者棒状的构件，能够与驱动轴624的前端一体地设置，或者通过螺栓、螺钉等任意的紧固构件而与驱动轴624的前端连结。第2接合件662能够成为板状或者棒状的构件，能够与输出轴651的末端一体地设置，或者通过螺栓、螺钉等任意的紧固构件而与输出轴651的末端连结。

在致动器650的输出轴651与可变阳极遮罩62的驱动轴624配置于不同的高度的情况下，如图11所示，也可以在第1接合件661和第2接合件662中的一者或者两者设置曲柄。例如，也可以以使第1接合件661的靠驱动轴624侧的端部与靠第2接合件662侧的端部的高度互不相同的方式设置有曲柄。例如，也可以以使第2接合件662的靠输出轴651侧的端部与靠第1接合件661侧的端部的高度互不相同的方式设置有曲柄。此外，第2接合件662的固定于输出轴651的部位与固定于第1接合件661的部位的高度也可以不同。

对上述说明的镀敷模块400的制造方法特别是拉出单元630向镀敷槽10安装的安装工序进行说明。拉出单元630向镀敷槽10安装的安装工序至少具有以下的工序。

(a)准备安装拉出单元630之前的镀敷槽10的工序。

(b)将至少安装有阳极61、可变阳极遮罩62和驱动可变阳极遮罩62的驱动轴624的拉出单元630从镀敷槽10的侧壁的开口部10A插入镀敷槽10的内部，并将拉出单元630设置于镀敷槽10的内部的工序。

(c)将致动器650安装于镀敷槽10的侧壁的外表面的工序。

(d)将拉出单元630的驱动轴624的前端相对于致动器650的输出轴651的末端经由接合件661、662、663而安装的工序。

另外，(c)、(d)的工序哪个先实施都可以。

这样，根据设置于镀敷槽10的拉出单元630，通过驱动致动器650，拉出单元630的驱动轴624在前后方向上移动，凸轮圆盘632旋转，多个叶片621旋转，由此调整可变阳极遮罩62的开口部62A的开口尺寸。

在维护阳极61和/或者可变阳极遮罩62时，在以下的步骤中从镀敷槽10拆卸拉出单元630。首先，解除拉出单元630的驱动轴624与致动器650的输出轴651之间的接合件。具体而言，拆卸将第1接合件661与第2接合件662紧固的紧固构件663。此外，拆卸将拉出单元630的前板623固定于镀敷槽10的侧壁的螺栓、螺钉等紧固构件。接合件的解除和前板的紧固构件的拆卸哪个先进行都可以。其后，从镀敷槽10拉出、拆卸拉出单元630。由此，能够不拆卸阳极61和/或者可变阳极遮罩62上方的镀敷槽10内的部件，就从镀敷槽10拆卸并维护阳极61和/或者可变阳极遮罩62。维护例如包括阳极、可变阳极遮罩和其他部件(汇流条等)的检查、清洁、部件更换、调整等。

根据上述的实施方式，至少起到以下的作用效果。

(1)根据上述实施方式，能够从镀敷槽10拔出使阳极61和可变阳极遮罩62一体化的拉出单元630，能够容易地进行阳极和可变阳极遮罩的维护和/或者更换。此外，通过前板和底板构成拉出结构，因此，能够通过简单的结构确保使阳极和可变阳极遮罩出入的高度。

(2)根据上述实施方式，能够在镀敷槽10的外部，经由接合件而安装和拆卸可变阳极遮罩62的驱动轴624和致动器650的输出轴651，因此，能够容易地将拉出单元630安装于镀敷装置10，容易地从镀敷槽10拆卸拉出单元630。

(3)根据上述实施方式，使可变阳极遮罩62的驱动轴624与致动器650的输出轴651平行地配置，并在相同的方向上移动，因此，仅通过接合件等连结可变阳极遮罩62的驱动轴624与致动器650的输出轴651之间即可，能够简单地构成动力传递机构。

根据上述的实施方式，至少掌握以下的形式。

[1]根据一形式，提供一种镀敷装置，具备：镀敷槽，其用于保持镀敷液；基板保持架，其使被镀敷面向下而保持基板；以及拉出单元，其是在水平方向上拔出自如地装配于上述镀敷槽的拉出单元，且具有在上述镀敷槽内与上述基板相向配置的阳极和具有使上述阳极暴露的开口部并能够调节上述开口部的开口尺寸的可变阳极遮罩。

根据该形式，能够从镀敷槽拔出使阳极和可变阳极遮罩一体化的拉出单元，能够容易地进行阳极和可变阳极遮罩的维护和/或者更换。

[2]根据一形式，还具备致动器，上述致动器配置于上述镀敷槽侧，并具有进退自如的输出轴，上述可变阳极遮罩具有调节上述开口部的开口尺寸的开口调节构件，上述拉出单元还具有驱动轴，上述驱动轴使上述可变阳极遮罩的上述开口调节构件移动，上述拉出单元的上述驱动轴在上述镀敷槽的外部，可拆卸地连结于上述致动器的上述输出轴，将上述致动器的动力向上述拉出单元的上述驱动轴传递。开口调节构件例如是通过与相机的光圈机构相同的构造而动作的多个叶片。

根据该形式，能够在镀敷槽的外部，从致动器的输出轴拆卸可变阳极遮罩的驱动轴，因此，能够容易地从镀敷槽拔出使阳极和可变阳极遮罩一体化得到的拉出单元。此外，在将拉出单元安装于镀敷槽时，能够在镀敷槽的外部，将拉出单元的驱动轴安装于致动器的输出轴，因此，能够容易地将使阳极和可变阳极遮罩一体化了的拉出单元安装于镀敷槽。

[3]根据一形式，上述拉出单元的上述驱动轴经由接合件而可拆卸地连结于上述致动器的上述输出轴。

根据该形式，能够在镀敷槽的外部解除接合件，从致动器的输出轴拆卸可变阳极遮罩的驱动轴，因此，能够容易地从镀敷槽拔出使阳极和可变阳极遮罩一体化得到的拉出单元。此外，能够在镀敷槽的外部，通过接合件，将可变阳极遮罩的驱动轴安装于致动器的输出轴。

[4]根据一形式，上述致动器的上述输出轴与上述拉出单元的上述驱动轴平行地配置，并使上述拉出单元的上述驱动轴在与上述致动器的上述输出轴相同的方向上移动。

根据该形式，使可变阳极遮罩的驱动轴在与致动器的输出轴相同的方向上移动，因此，通过接合件等连结可变阳极遮罩的驱动轴与致动器的输出轴之间即可，能够简单地构成动力传递机构。

[5]根据一形式，上述拉出单元具有：底板，其配置有上述阳极和上述可变阳极遮罩；和前板，其构成上述镀敷槽的侧壁的局部，上述驱动轴贯通上述前板，上述驱动轴在上述镀敷槽的外部与上述致动器的上述输出轴连结。

根据该形式，可变阳极遮罩的驱动轴贯通拉出单元的构成镀敷槽的侧壁的局部的前板，由此能够将可变阳极遮罩的驱动轴的一端取出至镀敷槽的外部，能够在镀敷槽的外部，容易地使可变阳极遮罩的驱动轴与致动器的输出轴之间的连接形成连结和解除连接。此外，拉出单元的前板构成镀敷槽的侧壁的局部，因此，不需要将用于使拉出单元出入的开口部和盖另外设置于镀敷槽。

[6]根据一形式，上述拉出单元还具有：轴承，其贯通上述前板而设置，并引导上述驱动轴；和密封件，其设置于上述轴承的两端，并密闭上述驱动轴与上述轴承之间。

根据该形式，能够防止镀敷液从镀敷槽的泄漏，并且将可变阳极遮罩的驱动轴的一端配置于镀敷槽的外部。

[7]根据一形式，上述拉出单元具有与上述阳极电连接并对上述阳极供电的汇流条，上述汇流条贯通上述前板而延伸至上述镀敷槽的外部。

根据该形式，能够从镀敷槽拔出使阳极、可变阳极遮罩、可变阳极遮罩的驱动轴和对阳极供电的汇流条一体化形成的拉出单元。此外，能够容易地在镀敷槽的外部将汇流条与外部的布线连接。

[8]根据一形式，在上述底板设置有排液用的开口。

根据该形式，在从镀敷槽拔出了拉出单元时，能够减少残留于拉出单元的镀敷液的量，能够抑制镀敷液存留于拉出单元。

[9]根据一形式，上述接合件具有：第1构件，其为板状或者棒状的构件，且与上述驱动轴的一端一体地设置或者与上述驱动轴的一端连结；第2构件，其为板状或者棒状的构件，且与上述输出轴的末端一体地设置或者与上述致动器的上述输出轴的末端连结；以及紧固构件，其将上述第1构件与上述2构件以能够装卸的方式连结。

根据该形式，能够通过简单的结构并且可靠性高的结构实现连结阳极遮罩的驱动轴与致动器的输出轴之间的接合件。

[10]根据一形式，上述第1构件和上述第2构件的至少一者具有曲柄，上述驱动轴的上述一端与上述致动器的上述输出轴的末端处于不同的高度。

根据该形式，即便在可变阳极遮罩的驱动轴与致动器的输出轴处于不同的高度的情况下，也能够简单且可靠性高地连结两者之间。

[11]根据一形式，上述紧固构件为螺栓或者螺钉。

根据该形式，能够简单且可靠性高地构成连结可变阳极遮罩的驱动轴与致动器的输出轴之间的接合件。

[12]根据一形式，上述拉出单元具有：底板，其配置有上述阳极和上述可变阳极遮罩；和前板，其构成上述镀敷槽的侧壁的局部。

根据该形式，通过底板和前板这样的简单的结构，能够容易确保收容比阳极具有厚度的可变阳极遮罩的高度方向空间。

[13]根据一形式，提供一种镀敷装置的制造方法，准备镀敷槽，将拉出单元插入上述镀敷装置，上述拉出单元至少具有：底板，其保持阳极和可变阳极遮罩；前板，其构成上述镀敷槽的侧壁的局部；以及驱动轴，其贯通上述前板并驱动上述可变阳极遮罩，在除上述前板以外的部分，将致动器安装于上述镀敷槽的侧壁的外表面，在上述镀敷槽的外部，将上述拉出单元的上述驱动轴可拆卸地连结于上述致动器的输出轴。

根据该形式，能够从镀敷槽拔出使阳极、可变阳极遮罩和可变阳极遮罩的驱动轴一体化得到的拉出单元，能够容易地进行阳极、可变阳极遮罩和可变阳极遮罩的驱动轴的维护和/或者更换。

[14]根据一形式，上述拉出单元还具有用于对上述阳极供电的汇流条。

根据该形式，能够从镀敷槽拔出使阳极、可变阳极遮罩、可变阳极遮罩的驱动轴和用于对阳极供电的汇流条一体化的拉出单元，能够容易地进行阳极、可变阳极遮罩、可变阳极遮罩的驱动轴和用于对阳极供电的汇流条的维护和/或者更换。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但上述的发明的实施方式是用于容易理解本发明的，不是对本发明进行限定。本发明能够不脱离其主旨地进行变更、改进，并且本发明包括其等效物是不言而喻的。此外，在能够将上述的课题的至少一部分解决的范围或者起到效果的至少一部分的范围内，能够进行实施方式和变形例的任意的组合，能够进行权利要求书和说明书记载的各结构要素的任意的组合或者省略。

日本特开2006-241599号公报(专利文献1)、美国专利第7351314号说明书(专利文献2)的包括说明书、权利要求书、附图和摘要在内的所有公开通过参照作为整体而引入本申请。

附图标记说明

10…镀敷槽；10A…开口部；11…基板保持架；20…溢流槽；60…隔膜；61…阳极；62…可变阳极遮罩；62A…开口部；65…电阻体；66…桨叶；611…汇流条；612…突起；613…紧固构件；621…叶片；622…叶片压板；623…凸轮圆盘；623A…孔；623B…长孔；624…驱动轴；625…轴承；626…密封件；627…密封件固定构件；628…销；630…拉出单元；631…拉出主体；632…前板；632A…密封件；632B…密封件；633…底板；633A…基座；633B…孔；634…把手；635…绝缘罩；650…致动器；651…输出轴；655…托架；661…第1接合件；662…第2接合件；663…紧固构件；636…开口；637…密封件固定构件。

Claims (14)

1.一种镀敷装置，其特征在于，具备：

镀敷槽，其用于保持镀敷液；

基板保持架，其使被镀敷面向下而保持基板；以及

拉出单元，其是在水平方向上拔出自如地装配于所述镀敷槽的拉出单元，且具有在所述镀敷槽内与所述基板相向配置的阳极和具有使所述阳极暴露的开口部并能够调节所述开口部的开口尺寸的可变阳极遮罩。

2.根据权利要求1所述的镀敷装置，其特征在于，

还具备致动器，所述致动器配置于所述镀敷槽侧，并具有进退自如的输出轴，

所述可变阳极遮罩具有调节所述开口部的开口尺寸的开口调节构件，

所述拉出单元还具有驱动轴，所述驱动轴使所述可变阳极遮罩的所述开口调节构件移动，

所述拉出单元的所述驱动轴在所述镀敷槽的外部，相对于所述致动器的所述输出轴可拆卸地连结于所述致动器的所述输出轴，将所述致动器的动力向所述拉出单元的所述驱动轴传递。

3.根据权利要求2所述的镀敷装置，其特征在于，

所述拉出单元的所述驱动轴经由接合件而可拆卸地连结于所述致动器的所述输出轴。

4.根据权利要求2或3所述的镀敷装置，其特征在于，

所述致动器的所述输出轴与所述拉出单元的所述驱动轴平行地配置，并使所述拉出单元的所述驱动轴在与所述致动器的所述输出轴相同的方向上移动。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的镀敷装置，其特征在于，

所述拉出单元具有：底板，其配置有所述阳极和所述可变阳极遮罩；和前板，其构成所述镀敷槽的侧壁的局部，

所述驱动轴贯通所述前板，所述驱动轴在所述镀敷槽的外部与所述致动器的所述输出轴连结。

6.根据权利要求5所述的镀敷装置，其特征在于，

所述拉出单元还具有：轴承，其贯通所述前板而设置，并引导所述驱动轴；和密封件，其设置于所述轴承的两端，并密闭所述驱动轴与所述轴承之间。

7.根据权利要求5或6所述的镀敷装置，其特征在于，

所述拉出单元具有与所述阳极电连接并对所述阳极供电的汇流条，所述汇流条贯通所述前板而延伸至所述镀敷槽的外部。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的镀敷装置，其特征在于，

在所述底板设置有排液用的开口。

9.根据权利要求3、引用权利要求3的权利要求4～8中任一项所述的镀敷装置，其特征在于，

所述接合件具有：

第1构件，其为板状或者棒状的构件，且与所述驱动轴的一端一体地设置或者与所述驱动轴的一端连结；

第2构件，其为板状或者棒状的构件，且与所述输出轴的末端一体地设置或者与所述致动器的所述输出轴的末端连结；以及

紧固构件，其将所述第1构件与所述2构件以能够装卸的方式连结。

10.根据权利要求9所述的镀敷装置，其特征在于，

所述第1构件和所述第2构件中至少一者具有曲柄，

所述驱动轴的所述一端与所述致动器的所述输出轴的末端处于不同的高度。

11.根据权利要求9或10所述的镀敷装置，其特征在于，

所述紧固构件为螺栓或者螺钉。

12.根据权利要求1～4中任一项所述的镀敷装置，其特征在于，

所述拉出单元具有：底板，其配置有所述阳极和所述可变阳极遮罩；和前板，其构成所述镀敷槽的侧壁的局部。

13.一种镀敷装置的制造方法，其特征在于，

准备镀敷槽，

将拉出单元插入所述镀敷装置，所述拉出单元至少具有：底板，其保持阳极和可变阳极遮罩；前板，其构成所述镀敷槽的侧壁的局部；以及驱动轴，其贯通所述前板并驱动所述可变阳极遮罩，

在除所述前板以外的部分，将致动器安装于所述镀敷槽的侧壁的外表面，

在所述镀敷槽的外部，将所述拉出单元的所述驱动轴可拆卸地连结于所述致动器的输出轴。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，

所述拉出单元还具有用于对所述阳极供电的汇流条。

Images