CN110745530A - 一种物料传输自动线及其自动进出料方法 - Google Patents
一种物料传输自动线及其自动进出料方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110745530A CN110745530A CN201810821917.6A CN201810821917A CN110745530A CN 110745530 A CN110745530 A CN 110745530A CN 201810821917 A CN201810821917 A CN 201810821917A CN 110745530 A CN110745530 A CN 110745530A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- feeding
- box
- detected
- transfer
- feeding device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 118
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 title abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 49
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 43
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 3
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 239000006052 feed supplement Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/904—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with rotary movements only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0267—Pallets
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
本发明公开了一种物料传输自动线，包括供料装置、滑轨、取送料装置和检测装置，所述取送料装置与滑轨滑动连接，所述取送料装置包括滑动台、机械手臂、中转料箱以及辨识组件，通过上述设置，机械手臂将供料装置内的待测物取出，放入中转料箱，在将待测物放入检测装置时，机械手臂从中转料箱中直接取出，辨识然后送入检测装置，无需取送料装置进行多次的滑动，提高放置的效率，并且也减少能源的消耗，延长取送料装置的滑动寿命；取送料装置在对检测装置送料的时间较长，此时操作人员可以对供料装置进行补料，避免停机补料的过程，检测效率高；本发明还公开了该物料传输自动线的自动进出料方法。
Description
技术领域
本发明涉及自动化检测设备领域，特别涉及一种物料传输自动线及其自动进出料方法。
背景技术
目前，公开号为CN105321860B的中国专利公开了一种全自动进出料设备包括物料进出平台、滑轨、机械手臂以及设置于滑轨的旁侧的测试机台；物料进出平台适于送出或回收工作物件，其中工作物件包括载体以及位于载体上的多个待测物，且载体具有辨识码；在物料进出平台的辨识单元辨识完载体的辨识码后，物料进出平台的控制单元驱动机械手臂自物料进出平台取出工作物件，并在机械手臂沿滑轨移动至对应的测试机台时将工作物件置放于其内。
这种自动化进出料设备在使用时，需要待测物先送至辨识单元辨识后，机械手臂逐个送至测试机台，检测工作效率低。
发明内容
本发明的目的是提供一种物料传输自动线，其具有检测效率高的优点。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种物料传输自动线，包括供料装置、滑轨、取送料装置和检测装置，所述取送料装置与滑轨滑动连接，所述取送料装置包括滑动台、机械手臂、中转料箱以及辨识组件。
通过采用上述技术方案，机械手臂将供料装置内的待测物取出，放入中转料箱，在将待测物放入检测装置时，机械手臂从中转料箱中直接取出，辨识然后送入检测装置，无需取送料装置进行多次的滑动，提高放置的效率，并且也减少能源的消耗，延长取送料装置的滑动寿命；取送料装置在对检测装置送料的时间较长，此时操作人员可以对供料装置进行补料，避免停机补料的过程，检测效率高。
进一步设置：所述辨识组件包括放置待测物的转动盘、驱动转动盘转动的转动电机以及的对转动盘上待测物检测的辨识器。
通过采用上述技术方案，辨识器在辨识待测物的同时，对待测物的摆放方位进行检测，根据检测结果驱动转动电机进行转动，调节待测物方位，从而使机械手臂取料时产品方位一致，提高检测结果的准确性。
进一步设置：所述滑动台上设置有驱动电机，所述驱动电机的输出端连接有驱动轮，所述滑轨包括与驱动轮啮合的驱动齿条。
通过采用上述技术方案，通过驱动电机带动滑动台的移动，可以简单的将滑动台移动并定位至设定位置，控制准确。
进一步设置：所述驱动轮包括沿周向均匀分布的驱动柱，所述驱动齿条包括与驱动柱啮合的弧形驱动槽。
通过采用上述技术方案，驱动柱受力时作用力指向驱动柱的轴心，相对于齿轮齿条结构强度高，使用寿命长。
进一步设置：所述供料装置包括分别设置于的滑轨的两端的侧面若干取料盒供料机。
通过采用上述技术方案，取料盒供料机分别设置在滑轨的两侧，机械手臂的可以分别从两侧的取料盒供料机中取料，在未取料侧的取料盒供料机可以进行更换或补充，物料传输自动线可以保持持续运行，效率高；供料装置分别设置在滑轨的两端，分别靠近不同的检测装置，通过在不同侧就近取料，提高检测效率。
进一步设置：所述取料盒供料机包括箱体和高度不同的若干供料盘，所述箱体包括取料口和换料口，所述供料盘的出料端正对取料口，所述换料口用于更换或补充供料盘上待测物，所述供料盘滑动连接于箱体。
通过采用上述技术方案，供料盘分别位于不同的高度，在其中一个供料盘上的待测物在被机械手臂取料时，另一供料盘向远离取料方向滑动，进行更换或补充待测物，检测效率高。
进一步设置：所述检测装置包括光电测试机台、外观检查机台或上述机台的组合。
通过采用上述技术方案，检测装置对待测物的综合性能进行检测，提高检测结果的多样性。
进一步设置：所述检测装置包括朝向滑轨的二次供料口，用于将检测完成的待测物送出，取送料装置的机械手臂将二次送料口处的待测物送至中转料箱。
通过采用上述技术方案，将待测物从二次供料口放至中转料箱，根据控制中心控制，再送至合适的检测位置，功能合理。
本发明的另一目的是提供一种物料传输自动线的控制方法，其具有检测效率高的优点。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种物料传输自动线的控制方法，包括如下步骤：
人工将待测物放入供料装置；
利用取送料装置的机械手臂将待测物从供料装置中取出，放入中转料箱，当中转料箱中待测物数量达到设定值后停止取料；
利用机械手臂将中转料箱中的待测物取出，辨识机构将待测物辨识后，取送料装置沿滑轨滑动并通过机械手臂将待测物送至检测装置相应位置；重复该步骤直至中转料箱内无待测物或检测装置检测容量已满时停止向检测装置送料，复位至供料装置旁。
通过采用上述技术方案，取送料装置一次可以运送多个待测物，无需取送料装置进行多次的滑动，提高放置的效率，并且也减少能源的消耗，延长取送料装置的滑动寿命；取送料装置在对检测装置送料的时间较长，此时操作人员可以对供料装置进行补料，避免停机补料的过程，检测效率高
进一步设置：在辨识机构待测物进行辨识时对待测物的方位进行辨识，并进行转动调整。
通过采用上述技术方案，待测物被取走时时产品方位保持统一，提高检测结果的准确性。
综上所述，本发明具有以下有益效果：
1.取料装置包括机械手臂和中转料箱，待测物先在中转料箱中暂存后，统一进行送入，送入效率高，并且无需机械手臂持续来回运动，节省能源；
2.多个取料盒供料机的设置，可以操作人员分别进行添料，无需停机等待，提高效率，并且可以存储较多待测物，延长无人参与时间。
附图说明
图1是实施例1结构示意图；
图2是实施例1中取送料装置的结构示意图；
图3是实施例1中取送料装置的下侧滑动位置处的结构示意图；
图4是实施例1中取料盒送料机的结构示意图；
图5是实施例1中取料盒送料机的供料盘滑动结构示意图；
图6是实施例2的结构示意图；
图7是实施例3的结构示意图。
图中，1、供料装置；2、滑轨；3、取送料装置；4、检测装置；41、滑动台；42、机械手臂；43、中转料箱；44、辨识组件；441、转动盘；442、转动电机；443、辨识器；411、驱动电机；412、驱动轮；413、驱动齿条；414、驱动柱；415、驱动槽；11、箱体；12、供料盘。
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步详细说明。
实施例1：一种物料传输自动线，如图1所示，包括供料装置1、滑轨2、取送料装置3和检测装置4，以及控制供料装置1、取送料装置3和检测装置4的控制中心。检测装置4固定在滑轨2的的两侧。供料装置1包括位于滑轨2一端的两侧的两个取料盒供料机，取送料装置3从取料盒供料机中取出待测物并将待测物送至检测装置4处进行检测。检测装置4包括光电测试机台、外观检查机台或上述机台的组合。检测装置4包括朝向滑轨2的二次供料口，用于将检测完成的待测物送出，取送料装置3将二次送料口处的待测物送至中转料箱43。
取送料装置3，如图2所示，包括滑轨2、滑动盘、固定在滑动盘上的机械手臂42和中转料箱43，机械手臂42用于将待测原料送入中转料箱43以及将中转料箱43中原料取出送至检测装置4。
参照图2和图3，滑动盘上螺纹连接有驱动电机411，驱动电机411的输出端从滑动盘下方穿出，输出端上固定有驱动轮412，滑轨2上固定有与驱动轮412配合的驱动齿板，驱动轮412转动带动滑动盘沿滑轨2滑动。驱动轮412包括若干环状均匀分布圆柱状驱动柱414，驱动齿板上均匀分布有与驱动柱414配合的具有弧形槽底的驱动槽415，驱动轮412转动时，通过驱动柱414与驱动槽415侧壁抵触来带动驱动轮412移动，驱动柱414受力时作用力指向驱动柱414的轴心，相对于齿轮齿条结构强度高，使用寿命长。
参照图2，机械手臂42包括固定于滑动盘上的升降组件和连接于升降组件顶端的两个摆臂组件，所述摆臂组件包括转动连接在升降组件顶端的第一摆臂，和水平连接在第一摆臂远离升降组件一端的第二摆臂以及水平转动连接在第二摆臂远离第一摆臂一端的取料爪。两组摆臂组件分别用于拿取滑动方向两侧的待测物。取料爪包括转动连接在第二摆臂远离第一摆臂一端的的取料臂，取料臂上螺纹连接有托起待测物钢托的取料盘。
参照图2，中转料箱43包括支撑架、固定在支撑架上的中转取料盒以及固定在支撑架上的辨识组件44，辨识组件44位于取料盒的正上方。支撑架上固定有阻挡电机，阻挡电机的输出端朝向机械手臂42，阻挡电机的输出的端上固定有阻挡杆，阻挡杆在阻挡电机的带动下沿垂直面转动，转动路径经过中转取料盒与机械手臂42之间，阻挡机械手臂42进入中转料盒。
参照图4和图5，料盒出料机包括箱体11，箱体11的前后两侧分别为取料口和换料口，换料口处转动连接有箱门。箱体11垂直于箱门的两侧壁上固定有中隔板，中隔板上固定有安装架，安装架包括对称的水平的下滑座和固定在下滑座相离一侧的竖直的侧滑座，下滑座上水平滑动连接有的下出料盘，侧滑座的上端水平滑动连接有上出料盘。下滑座和侧滑座的外侧包覆有遮挡板，遮挡板上开设有水平的缺口，用于供料盘12的滑动。
参照图4和图5，下料盘包括下支撑板和固定在下支撑板上的四个具有阶梯形侧面的支撑架，相邻支撑架之间形成宽度不同的容纳空间，用于容纳不同尺寸的晶圆取料盒。相邻支撑架之间设置有定位检测器，所述定位检测器用于定位取料取送料装置3的位置，保证取料的精确。
参照图5，下滑座内固定有两根下滑杆，下滑杆处滑动连接有下滑块，两侧下滑块的上侧螺纹连接有同步盘，同步盘固定有升降组件，下出料盘固定在升降组件上。升降组件包括固定于同步盘上的滑动筒、固定在下出料盘下侧的连接头以及滑动连接在滑动筒处的升降杆，升降杆的上端与出料盘固定，所述升降杆为螺杆，所述滑动筒内开设有与升降杆螺纹连接的内螺纹，滑动筒与升降杆形成丝杆螺母结构。
参照图5，下滑杆旁固定有下滑机构，下滑机构包括下支撑座，转动连接在下支撑座处的下丝杠，固定在下支撑座的一端的侧面带动下丝杠转动的下平移电机，以及与下丝杠螺纹配合的下驱动块。下丝杠与下滑杆平行，下滑块朝向下丝杠的一侧开设有凵字形连接口，下驱动块嵌入连接口，下驱动块与连接口在沿下滑杆的滑动方向的前后两侧抵触，下驱动块移动带动下滑块沿下滑杆滑动。
参照图4和图5，侧滑座内固定有两根侧滑杆，侧滑杆处滑动连接有侧滑块，侧滑块的上侧与上料盘螺纹连接。侧滑杆旁固定有侧滑机构，侧滑机构包括侧支撑座，转动连接在侧支撑座处的侧丝杠，固定在侧支撑座一端的侧面带动下丝杠转动的侧平移电机，以及与侧丝杠螺纹配合的下驱动块。侧丝杠与侧滑杆平行，下滑块朝向侧丝杠的一端开设有凵字形连接口，侧驱动块嵌入连接口，侧驱动块与连接口在沿侧滑杆的滑动方向的前后两侧抵触，侧驱动块移动带动侧滑块沿侧滑杆滑动。
参照图4，箱体11内固定有阻挡机构，阻挡机构包括固定在箱体11内的升降气缸，升降气缸的输出端固定有伸缩杆，伸缩杆远离升降气缸的一端螺纹连接有阻挡基板，阻挡基板上固定有滑动杆和对供料盘12上的取料盒进行阻挡的阻挡杆，升降气缸上固定有升降架，升降架上开设有供滑动杆滑动的导向孔。供料盘12上具有供滑动杆插入的滑动孔，在供料盘12靠近换料口时，滑动杆插入滑动孔，升降架供料盘12共同对的滑动杆的位置进行限位，保证对待测物的阻挡具有足够的强度。
本实施例的自动进出料方法为：检测前时，先将两侧取料盒供料机补充满待测物，然后利用取送料装置3的机械手臂42将待测物从供料装置1中取出，放入中转料箱43，当中转料箱43中待测物数量达到设定值后停止取料；利用机械手臂42将中转料箱43中的待测物取出，辨识机构将待测物辨识后，先对待测物的方位进行辨识，并进行转动调整，取送料装置3沿滑轨2滑动并通过机械手臂42将待测物送至检测装置4相应位置；重复该步骤直至中转料箱43内无待测物或检测装置4检测容量已满时停止向检测装置4送料，复位至供料装置1旁进行取料。
在检测过程中，操作人员对未被机械手臂42取料的供料盘12进行缺料的补充。
对于需要多次检测或多设备检测的待测物，待测物从检测装置4的二次供料口被机械手臂42取走，送至中转料箱43，重复辨识送料的过程。
实施例2：一种物料传输自动线，如图6所示，供料装置1包括位于滑轨2两端端的两侧的四个取料盒供料机，取料盒供料机分别设置在滑轨2的两端，分别靠近不同的检测装置4，通过在不同侧就近取料，提高检测效率。
实施例3：一种物料传输自动线，如图7所示，供料装置1包括位于滑轨2一端的取料盒供料机，利用取料盒供料机多层供料盘12送料，操作人员只需要在单一取料盒供料机的换料口处进行待测物补充，无需在车间内移动，操作方便。
以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种物料传输自动线，包括供料装置(1)、滑轨(2)、取送料装置(3)和检测装置(4)，其特征在于：所述取送料装置(3)与滑轨(2)滑动连接，所述取送料装置(3)包括滑动台(41)、机械手臂(42)、中转料箱(43)以及辨识组件(44)。
2.根据权利要求1所述的物料传输自动线，其特征在于：所述辨识组件(44)包括放置待测物的转动盘(441)、驱动转动盘(441)转动的转动电机(442)以及的对转动盘(441)上待测物检测的辨识器(443)。
3.根据权利要求1所述的物料传输自动线，其特征在于：所述滑动台(41)上设置有驱动电机(411)，所述驱动电机(411)的输出端连接有驱动轮(412)，所述滑轨(2)包括与驱动轮(412)啮合的驱动齿条(413)。
4.根据权利要求3所述的物料传输自动线，其特征在于：所述驱动轮(412)包括沿周向均匀分布的驱动柱(414)，所述驱动齿条(413)包括与驱动柱(414)啮合的弧形驱动槽(415)。
5.根据权利要求1所述的物料传输自动线，其特征在于：所述供料装置(1)包括分别设置于的滑轨(2)的两端的侧面若干取料盒供料机。
6.根据权利要求5所述的物料传输自动线，其特征在于：所述取料盒供料机包括箱体(11)和高度不同的若干供料盘(12)，所述箱体(11)包括取料口和换料口，所述供料盘(12)的出料端正对取料口，所述换料口用于更换或补充供料盘(12)上待测物，所述供料盘(12)滑动连接于箱体(11)。
7.根据权利要求1所述的物料传输自动线，其特征在于：所述检测装置(4)包括光电测试机台、外观检查机台或上述机台的组合。
8.根据权利要求1所述的物料传输自动线，其特征在于：所述检测装置(4)包括朝向滑轨(2)的二次供料口，用于将检测完成的待测物送出，取送料装置(3)的机械手臂(42)将二次送料口处的待测物送至中转料箱(43)。
9.一种物料传输自动线的控制方法，其特征在于：包括如下步骤：
人工将待测物放入供料装置(1)；
利用取送料装置(3)的机械手臂(42)将待测物从供料装置(1)中取出，放入中转料箱(43)，当中转料箱(43)中待测物数量达到设定值后停止取料；
利用机械手臂(42)将中转料箱(43)中的待测物取出，辨识机构将待测物辨识后，取送料装置(3)沿滑轨(2)滑动并通过机械手臂(42)将待测物送至检测装置(4)相应位置；重复该步骤直至中转料箱(43)内无待测物或检测装置(4)检测容量已满时停止向检测装置(4)送料，复位至供料装置(1)旁。
10.根据权利要求9所述的物料传输自动线的控制方法，其特征在于：在辨识机构待测物进行辨识时对待测物的方位进行辨识，并进行转动调整。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810821917.6A CN110745530A (zh) | 2018-07-24 | 2018-07-24 | 一种物料传输自动线及其自动进出料方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810821917.6A CN110745530A (zh) | 2018-07-24 | 2018-07-24 | 一种物料传输自动线及其自动进出料方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110745530A true CN110745530A (zh) | 2020-02-04 |
Family
ID=69275570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810821917.6A Pending CN110745530A (zh) | 2018-07-24 | 2018-07-24 | 一种物料传输自动线及其自动进出料方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110745530A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110745522A (zh) * | 2018-07-24 | 2020-02-04 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种物料传输自动线及其取送料装置 |
Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW497116B (en) * | 1999-05-07 | 2002-08-01 | Infineon Technologies Ag | Equipment to process wafers |
| JP2002313879A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-25 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車システム及びウエハ搬送方法 |
| US20040234362A1 (en) * | 2001-12-27 | 2004-11-25 | Toshihiko Iijima | Work convey system, unmanned coney vehicle system, unmanned convey vehicle, and work convey method |
| TW200500283A (en) * | 2003-03-28 | 2005-01-01 | Hirata Spinning | Substrate transportation system |
| CN101788764A (zh) * | 2009-01-23 | 2010-07-28 | 东京毅力科创株式会社 | 涂覆显影装置 |
| CN105321860A (zh) * | 2014-06-27 | 2016-02-10 | 旺矽科技股份有限公司 | 全自动进出料设备及其控制方法 |
| CN107363497A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-11-21 | 东莞东舜自动化有限公司 | 一种多盘翻转供料机 |
| CN107365980A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-11-21 | 深圳丰盛装备股份有限公司 | 一种石墨舟自动装卸片设备 |
| TW201802298A (zh) * | 2016-07-04 | 2018-01-16 | 荏原製作所股份有限公司 | 基板固持器之檢查裝置、具備該檢查裝置之鍍覆裝置、及外觀檢查裝置 |
| CN207061296U (zh) * | 2017-06-19 | 2018-03-02 | 歌尔股份有限公司 | 一种自动收纳设备 |
| CN207282472U (zh) * | 2017-09-13 | 2018-04-27 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种晶圆检测设备的扩晶环自动上下料系统 |
| CN208790634U (zh) * | 2018-07-24 | 2019-04-26 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种物料传输自动线及其取料盒供料机 |
| CN209321955U (zh) * | 2018-07-24 | 2019-08-30 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种物料传输自动线 |
| CN110745522A (zh) * | 2018-07-24 | 2020-02-04 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种物料传输自动线及其取送料装置 |
-
2018
- 2018-07-24 CN CN201810821917.6A patent/CN110745530A/zh active Pending
Patent Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW497116B (en) * | 1999-05-07 | 2002-08-01 | Infineon Technologies Ag | Equipment to process wafers |
| JP2002313879A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-25 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車システム及びウエハ搬送方法 |
| US20040234362A1 (en) * | 2001-12-27 | 2004-11-25 | Toshihiko Iijima | Work convey system, unmanned coney vehicle system, unmanned convey vehicle, and work convey method |
| TW200500283A (en) * | 2003-03-28 | 2005-01-01 | Hirata Spinning | Substrate transportation system |
| CN101788764A (zh) * | 2009-01-23 | 2010-07-28 | 东京毅力科创株式会社 | 涂覆显影装置 |
| CN105321860A (zh) * | 2014-06-27 | 2016-02-10 | 旺矽科技股份有限公司 | 全自动进出料设备及其控制方法 |
| TW201802298A (zh) * | 2016-07-04 | 2018-01-16 | 荏原製作所股份有限公司 | 基板固持器之檢查裝置、具備該檢查裝置之鍍覆裝置、及外觀檢查裝置 |
| CN207061296U (zh) * | 2017-06-19 | 2018-03-02 | 歌尔股份有限公司 | 一种自动收纳设备 |
| CN107365980A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-11-21 | 深圳丰盛装备股份有限公司 | 一种石墨舟自动装卸片设备 |
| CN107363497A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-11-21 | 东莞东舜自动化有限公司 | 一种多盘翻转供料机 |
| CN207282472U (zh) * | 2017-09-13 | 2018-04-27 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种晶圆检测设备的扩晶环自动上下料系统 |
| CN208790634U (zh) * | 2018-07-24 | 2019-04-26 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种物料传输自动线及其取料盒供料机 |
| CN209321955U (zh) * | 2018-07-24 | 2019-08-30 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种物料传输自动线 |
| CN110745522A (zh) * | 2018-07-24 | 2020-02-04 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种物料传输自动线及其取送料装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110745522A (zh) * | 2018-07-24 | 2020-02-04 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种物料传输自动线及其取送料装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106809647B (zh) | 一种视觉定位的料件自动排板设备 | |
| CN101858728B (zh) | 量测设备及量测方法 | |
| CN108557453B (zh) | 移液吸头自动装载设备及其仓储机构 | |
| KR102039261B1 (ko) | 배터리셀 선별수납장치 | |
| CN209321955U (zh) | 一种物料传输自动线 | |
| CN109793662A (zh) | 一种颗粒形中药配方设备 | |
| CN109352303B (zh) | 喷嘴装配专机 | |
| CN106315177A (zh) | 用于自动化生产线的上料装置 | |
| CN113198689A (zh) | 一种点胶设备 | |
| CN103972590A (zh) | 卷绕机的自动收料和装盘装置 | |
| CN108583995A (zh) | 永磁产品自动分料装盒设备 | |
| CN212944180U (zh) | 电子元件自动测试设备 | |
| CN109047017A (zh) | 一种用于轴类零件的自动检测分选机 | |
| CN115026651A (zh) | 一种输出轴的全自动加工系统及其加工方法 | |
| CN109597294B (zh) | 一种钟表机芯自动组装线圈机 | |
| CN113019988B (zh) | 视觉检测设备 | |
| CN215546502U (zh) | 一种壳体和底盖的上料及装配自动化设备 | |
| CN110745530A (zh) | 一种物料传输自动线及其自动进出料方法 | |
| CN110626798A (zh) | 一种模组转盘设备 | |
| CN212041528U (zh) | 用于滚针轴承的检测装置 | |
| CN110745522A (zh) | 一种物料传输自动线及其取送料装置 | |
| CN208459573U (zh) | 电源定位固定装置和移动电源检测装置 | |
| CN110814694A (zh) | 实训用锂电池组件自动化装配装置 | |
| CN206493084U (zh) | 一种自动供料装置 | |
| CN110587585A (zh) | 一种可对玻片进行自由抓取的机械手装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: Longgang District of Shenzhen City, Guangdong province 518172 city street in the center city City Industrial Park Road No. 3 building E Tefalongfei business building two floor Applicant after: Silicon electric semiconductor equipment (Shenzhen) Co., Ltd Address before: Longgang District of Shenzhen City, Guangdong province 518172 city street in the center city City Industrial Park Road No. 3 building E Tefalongfei business building two floor Applicant before: SHENZHEN SIDEA SEMICONDUCTOR EQUIPMENT Co.,Ltd. |
|
| CB02 | Change of applicant information |