CN208790634U - 一种物料传输自动线及其取料盒供料机 - Google Patents

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杨波
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Silicon electric semiconductor equipment (Shenzhen) Co., Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种取料盒供料机,包括箱体,所述箱体包括取料口和换料口,所述箱体内设置有若干用于安装取料盒的供料盘,所述供料盘上的取料盒正对取料口,所述换料口用于更换或补充供料盘上的取料盒,通过上述设置,多个供料盘可以分别进行供料,其中一个供料盘供料时,剩余供料盘可以通过换料口进行取料盒的更换或补充,取送料装置可以通过为止调整不断的从各个供料盘上取料,无需停机等待补充,供料效率高,本实用新型还公开了采用该取料盒供料机的物料传输自动线。

Description

一种物料传输自动线及其取料盒供料机
技术领域
本实用新型涉及晶圆检测设备领域,特别涉及一种物料传输自动线及其取料盒供料机。
背景技术
目前,公开号为CN108161251A的中国专利公开一种自动上下料系统,用于承载产品的钢环载体、用于放置钢环载体的钢环料盒、用于运载钢环料盒上下运动的Z轴升降运动单元、用于夹取钢环载体的取料单元、用于驱动取料单元直线运动的Y轴运动单元、用于对钢环载体定位定心的归正工位单元、用于旋转运载钢环载体的旋转运料单元以及载台单元,钢环料盒和归正工位单元位于Y轴运动单元的一侧且沿取料单元的运动方向呈前后布置,钢环料盒由下而上设有多层用于放置钢环载体的承载槽,钢环料盒的进出料口正对于取料单元的运行方向,载台单元位于Y轴运动单元的另一侧,旋转运料单元位于归正工位单元与载台单元之间。自动化实现对晶圆产品搬运上下料,同时提升晶圆搬运时点对点的精度。
这种自动上下料系统在使用时,当取料盒内的钢环载体取完时,系统需要停止等待更换取料盒或对取料盒进行补充,使效率降低。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种取料盒供料机,其具有供料效率高的优点。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种取料盒供料机,包括箱体,所述箱体包括取料口和换料口,所述箱体内设置有若干用于安装取料盒的供料盘,所述供料盘上的取料盒正对取料口,所述换料口用于更换或补充供料盘上的取料盒。
通过采用上述技术方案,多个供取料盒可以分别进行供料,其中一个供料盘供料时,剩余供料盘可以通过换料口进行取料盒的更换或补充,取送料装置可以通过为止调整不断的从各个供料盘上取料,无需停机等待补充,供料效率高。
进一步设置:所述箱体内设置有安装架,所述供料盘连接于安装架上的不同高度处。
通过采用上述技术方案,供料盘设置于不同高度,结构相近,取送料装置在调整时,只需通过将取送料装置进行升降,无需改变取料动作,结构合理,供料盘之间的切换迅速,效率高。
进一步设置:所述供料盘滑动连接于安装架上。
通过采用上述技术方案,送取料盒在供料时滑动至靠近取料口处,方便取送料装置进行取料操作,效率高,在需要换料时,将供料盘滑动至接近换料口处,进行更换或补充取料盒的操作,并且取料和换料进行错位,避免误操作,结构合理。
进一步设置:所述供料盘包括上料盘和下料盘,所述安装架包括下滑座和侧滑座,所述下滑座包括与下料盘连接的下滑块和带动下滑块滑动的丝杠传动组件;所述侧滑座包括与上料盘连接的上滑块和带动上滑块滑动的丝杠传动组件。
通过采用上述技术方案,设置高度不同的相互交错的上送取料盒和下送取料盒,需要取上送取料盒内产品时,将上送取料盒滑动至靠近取料口处,此时可以将下送取料盒滑动至靠近换料口处,方便人员进行操作;利用丝杠传动的原理对上料盘和下料盘进行移动,移动稳定,并且方便定位上料盘和下料盘位置,结构合理。
进一步设置:所述下料盘与下滑座之间设置有用于调节下料盘高度的升降机构。
通过采用上述技术方案,下料盘的高度可调节,方便适应不同高度的取料盒,结构合理。
进一步设置:所述供料盘上设置有若干相互平行的支撑架,所述支撑架的侧面设置为阶梯状,相邻支撑架相对的一侧具有高度相同的支撑面。
通过采用上述技术方案,取料盒在放置时,可以根据宽度选择支撑架侧面的不同梯级,取料盒在支撑架之间的放置更加稳定,供料盘对取料盒的尺寸适应性强。
进一步设置:所述箱体内设置有阻挡机构,所述阻挡机构阻挡于供料盘与取料口之间。
通过采用上述技术方案,阻挡机构在未取料时,阻挡机构阻挡供料盘,避免供料盘上待测原料滑落,并且在安装时,阻挡机构可以对取料盒进行限位,保证取料盒安装的准确。
进一步设置:所述阻挡机构包括固定于箱体的升降气缸和连接于升降气缸的输出端的阻挡架,所述阻挡架包括阻挡杆和滑动杆,所述供料盘上设置供滑动杆插入的滑动孔。
通过采用上述技术方案,利用气缸带动阻挡架升降,控制方便,滑动孔可对滑动杆远离升降气缸的一端进行阻挡,提高滑动杆阻挡时的稳定性,结构强度高。
本实用新型的另一目的是提供一种物料传输自动线,其具有检测效率高的优点。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种物料传输自动线,包括上述的取料盒供料机、从取料盒供料机取料的取送料装置、供取送料装置移动的滑轨和设置与滑轨两侧的若干检测台。
通过采用上述技术方案,多个供取料盒可以分别进行供料,其中一个供料盘供料时,剩余供料盘可以通过换料口进行取料盒的更换或补充,取送料装置可以通过为止调整不断的从各个供料盘上取料,无需停机等待补充,供料效率高。
综上所述,本实用新型具有以下有益效果:
具有多个供料盘,无需停机补充,送料效率高;供料盘通过丝杠传动机构带动,移动稳定,根据需要滑动至合适位置,方便人员操作和设备取料,检测效率高。
附图说明
图1是实施例1的在取料口一侧的整体机构示意图;
图2是图1 中A处放大图;
图3是实施例1隐藏箱体后安装架和供料盘的连接结构示意图;
图4是图3中B处放大图;
图5是实施例2隐藏箱盖后的结构示意图。
图中,1、箱体;2、箱门;3、供料盘;4、安装架;5、上料盘;6、下料盘;7、下滑座;8、侧滑座;9、丝杠传动组件;10、升降机构;11、支撑架;12、升降气缸;13、阻挡架;14、阻挡杆;15、滑动杆;16、取送料装置;17、滑轨;18、检测台。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
实施例1:一种取料盒出料机,如图1和图3所示,包括箱体1,箱体1的前后两侧分别为取料口和换料口,换料口处转动连接有箱门2。箱体1垂直于箱门2的两侧壁上固定有中隔板,中隔板上固定有安装架4,安装架4包括对称的水平的下滑座7和固定在下滑座7相离一侧的竖直的侧滑座8,下滑座7上水平滑动连接有的下出料盘,侧滑座8的上端水平滑动连接有上出料盘。下滑座7和侧滑座8的外侧包覆有遮挡板,遮挡板上开设有水平的缺口,用于供料盘3的滑动。
参照图3和图4,下料盘6包括下支撑板和固定在下支撑板上的四个具有阶梯形侧面的支撑架11,相邻支撑架11之间形成宽度不同的容纳空间,用于容纳不同尺寸的晶圆取料盒。相邻支撑架11之间设置有定位检测器,所述定位检测器用于定位取料取送料装置16的位置,保证取料的精确。
参照图3和图4,下滑座7内固定有两根下滑杆,下滑杆处滑动连接有下滑块,两侧下滑块的上侧螺纹连接有同步盘,同步盘固定有升降组件,下出料盘固定在升降组件上。升降组件包括固定于同步盘上的滑动筒、固定在下出料盘下侧的连接头以及滑动连接在滑动筒处的升降杆,升降杆的上端与出料盘固定,所述升降杆为螺杆,所述滑动筒内开设有与升降杆螺纹连接的内螺纹,滑动筒与升降杆形成丝杆螺母结构。
参照图3和图4,下滑杆旁固定有下滑机构,下滑机构包括下支撑座,转动连接在下支撑座处的下丝杠,固定在下支撑座的一端的侧面带动下丝杠转动的下平移电机,以及与下丝杠螺纹配合的下驱动块。下丝杠与下滑杆平行,下滑块朝向下丝杠的一侧开设有凵字形连接口,下驱动块嵌入连接口,下驱动块与连接口在沿下滑杆的滑动方向的前后两侧抵触,下驱动块移动带动下滑块沿下滑杆滑动。
参照图3,侧滑座8内固定有两根侧滑杆,侧滑杆处滑动连接有侧滑块,侧滑块的上侧与上料盘5螺纹连接。侧滑杆旁固定有侧滑机构,侧滑机构包括侧支撑座,转动连接在侧支撑座处的侧丝杠,固定在侧支撑座一端的侧面带动下丝杠转动的侧平移电机,以及与侧丝杠螺纹配合的下驱动块。侧丝杠与侧滑杆平行,下滑块朝向侧丝杠的一端开设有凵字形连接口,侧驱动块嵌入连接口,侧驱动块与连接口在沿侧滑杆的滑动方向的前后两侧抵触,侧驱动块移动带动侧滑块沿侧滑杆滑动。
参照图1和图2,箱体1内固定有阻挡机构,阻挡机构包括固定在箱体1内的升降气缸12,升降气缸12的输出端固定有伸缩杆,伸缩杆远离升降气缸12的一端螺纹连接有阻挡基板,阻挡基板上固定有滑动杆15和对供料盘3上的取料盒进行阻挡的阻挡杆14,升降气缸12上固定有升降架,升降架上开设有供滑动杆15滑动的导向孔。供料盘3上具有供滑动杆15插入的滑动孔,在供料盘3靠近换料口时,滑动杆15插入滑动孔,升降架供料盘3共同对的滑动杆15的位置进行限位,保证对待测物的阻挡具有足够的强度。
在装料时,打开箱门2,并控制需添加待测物的供料盘3向换料口滑移,阻挡机构的阻挡架13落下,滑动杆15插入滑动孔内,操作人员从换料口对供料盘3上的取料盒进行补充或更换,更换完成后,将阻挡机构升起。
使用时,从取料口方向,通过取送料装置16或者其他方式将供料盘3上取料盒内的待测物取出,当其中一个供料盘3被取完时,取完的供料盘3向换料口滑移,并改为从另一供料盘3取料,此时可以同时进行另一供料盘3上的取料盒补充或更换,从而能够持续的供料。
实施例2:一种物料传输自动线,如图5所示,包括滑轨17、在滑轨17上滑动的取送料装置16、位于取送料装置16两侧的实施例1中记载的取料盒送料机以及设置在滑轨17两侧的检测装置。
以上所述的实施方式,并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等,均应包含在该技术方案的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种取料盒供料机,其特征在于,包括箱体(1),所述箱体(1)包括取料口和换料口,所述箱体(1)内设置有若干用于安装取料盒的供料盘(3),所述供料盘(3)上的取料盒正对取料口,所述换料口用于更换或补充供料盘(3)上的取料盒。
2.根据权利要求1所述的取料盒供料机,其特征在于,所述箱体(1)内设置有安装架(4),所述供料盘(3)连接于安装架(4)上的不同高度处。
3.根据权利要求2所述的取料盒供料机,其特征在于,所述供料盘(3)滑动连接于安装架(4)上。
4.根据权利要求3所述的取料盒供料机,其特征在于,所述供料盘(3)包括上料盘(5)和下料盘(6),所述安装架(4)包括下滑座(7)和侧滑座(8),所述下滑座(7)包括与下料盘(6)连接的下滑块和带动下滑块滑动的丝杠传动组件(9);所述侧滑座(8)包括与上料盘(5)连接的上滑块和带动上滑块滑动的丝杠传动组件(9)。
5.根据权利要求4所述的取料盒供料机,其特征在于,所述下料盘(6)与下滑座(7)之间设置有用于调节下料盘(6)高度的升降机构(10)。
6.根据权利要求1所述的取料盒供料机,其特征在于,所述供料盘(3)上设置有若干相互平行的支撑架(11),所述支撑架(11)的侧面设置为阶梯状,相邻支撑架(11)相对的一侧具有高度相同的支撑面。
7.根据权利要求1所述的取料盒供料机,其特征在于,所述箱体(1)内设置有阻挡机构,所述阻挡机构阻挡于供料盘(3)与取料口之间。
8.根据权利要求7所述的取料盒供料机,其特征在于,所述阻挡机构包括固定于箱体(1)的升降气缸(12)和连接于升降气缸(12)的输出端的阻挡架(13),所述阻挡架(13)包括阻挡杆(14)和滑动杆(15),所述供料盘(3)上设置供滑动杆(15)插入的滑动孔。
9.一种物料传输自动线,其特征在于:包括如权利要求1~8任意一项所述的取料盒供料机、从取料盒供料机取料的取送料装置(16)、供取送料装置(16)移动的滑轨(17)和设置与滑轨(17)两侧的若干检测台(18)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110745530A (zh) * 2018-07-24 2020-02-04 深圳市矽电半导体设备有限公司 一种物料传输自动线及其自动进出料方法

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