JP6841687B2 - めっき装置およびめっき方法 - Google Patents
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Description
めの基板ホルダと、を有し、前記抵抗測定器は、前記基板ホルダにより基板を保持する前に、基板の電気抵抗を測定するように構成される。形態1によるめっき装置によれば、めっき処理を開始する直前に基板のエッジ部の電導層の電気抵抗を測定することで、基板の不良を発見することができる。時間経過とともに、基板のエッジ部の電導層に酸化膜が形成されたり、レジストから揮発した有機物が付着したりすることがあるので、めっき処理を開始する直前に基板の状態を判定することで、良好なめっき処理を行うことができる。
抵抗を測定するステップは、前記基板のエッジ部の電導層の複数個所の電気抵抗を測定するステップを有する。
を浸漬させる。めっきセル134において基板とアノードとの間に電圧を印加することにより、基板表面に銅めっき等のめっきが行われる。
部材66とがロックされた状態において、押えリング64を反時計回りに回転させる。これにより、押えリング64の突条部64aが逆L字状のクランパ67から外されて、基板の保持が解除される。
いては、図3に示したシール部材70のリップ部70aが当接する部分よりも外周側の領域をいい、基板Wの外周縁部から基板中心に向かって約5mmの範囲内、より好ましくは、約2mmの範囲内をいう。図4は、一実施形態による抵抗測定器200を概略的に示す側面図である。図5は、図4に示される抵抗測定器200を概略的に示す上面図である。一実施形態において、抵抗測定器200は、アライナ40またはフィキシングユニット120に配置することができる。あるいは、抵抗測定器200は、めっき装置内の専用の抵抗測定ステーションに設けるようにしてもよい。抵抗測定器200は、抵抗測定ヘッド202を備える。抵抗測定ヘッド202は、測定対象である基板Wとほぼ同じ直径、あるいは基板Wの直径よりも大きな直径を備える円板状の構造物とすることができる。抵抗測定ヘッド202は、図示しない移動機構により基板Wの面の垂直方向に移動可能に構成される。また、一実施形態として、抵抗測定ヘッド202は、抵抗測定ヘッド202の中心軸および基板Wの中心軸について回転可能に構成してもよい。
、支持軸部材206は、基板Wの表面に垂直な方向(図15における上下方向)に移動可能に構成される。支持軸部材206からは基板Wの表面に平行な方向に伸長部材208が延びている。伸長部材208は、基板Wの表面に平行な方向に伸縮可能に構成される。伸長部材208には、抵抗測定ヘッド202が取り付けられている。抵抗測定ヘッド202には、接触ピン204が取り付けられる。接触ピン204は、たとえば四探針法により抵抗測定を実現するプローブを備えるものとすることができる。接触ピン204は、基板Wのエッジ部に接触させることで、基板Wのエッジ部の電気抵抗を測定することができる。
ことで、図16Bに示されるように、次のエッジ部に接触ピン204の位置を合わせることができる。図16Bに示される状態において、支持軸部材206を基板Wのエッジ部に沿って移動させることで、基板Wのエッジ部の任意の場所における電気抵抗を測定できる。このように、図16A、図16Bおよび図17に示される実施形態による抵抗測定器200は、2つの抵抗測定ヘッド202を備えているので、角形基板の2つのエッジ部の電気抵抗を同時に測定することができる。かかる抵抗測定器200は、アライナ40またはフィキシングユニット120に配置することができる。あるいは、抵抗測定器200を、めっき装置内の専用の抵抗測定ステーションに設けるようにしてもよい。図16A、図16Bおよび図17に示される実施形態による抵抗測定器200は、抵抗測定器200に移動機構が備えられているので、基板Wを移動させるための機構は無くてもよい。
状の基板である。また、図20A、図20Bにおいては、図示の明瞭化のために基板Wと抵抗測定器200のみを図示しており、その他の構成は省略している。図21は、図20A、図20Bの抵抗測定器200の概略側面図である。図21に示されるように、抵抗測定器200は、支持軸部材206を備える。また、支持軸部材206は、基板Wの表面な平行な方向(図16A、図16Bにおける左右方向)に直線的に移動可能に構成される。さらに、支持軸部材206は、基板Wの表面に垂直な方向(図21における上下方向)に移動可能に構成される。支持軸部材206からは基板Wの表面に平行な方向に2つの伸長部材208が反対方向に延びている。それぞれの伸長部材208は、基板Wの表面に平行な方向に伸縮可能に構成される。それぞれの伸長部材208には、抵抗測定ヘッド202がそれぞれ取り付けられている。抵抗測定ヘッド202には、接触ピン204が取り付けられる。接触ピン204は、たとえば四探針法により抵抗測定を実現するプローブを備えるものとすることができる。接触ピン204は、基板Wのエッジ部に接触させることで、基板Wのエッジ部の電気抵抗を測定することができる。図21に示される実施形態においては、基板Wを保持する機構(たとえばアライナ40またはフィキシングユニット120など)に回転機構が備えられており、基板Wを回転させることが可能である。
抗値を複数回測定して、平均値をその領域における抵抗値としてもよい。
構成されたセンサ(分光光度計)、又は蛍光領域の光を照射してその反射光の強度をモニタするためのセンサ(蛍光反射膜厚計)を備えてもよい。
には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
45…エッジ部洗浄装置
60…基板ホルダ
120…フィキシングユニット
122…基板搬送装置
200…抵抗測定器
202…抵抗測定ヘッド
204…接触ピン
500…制御装置
W…基板
Claims (14)
- めっき装置であって、
めっき対象物である基板のエッジ部の電導層の電気抵抗を測定する抵抗測定器と、
基板を保持するための基板ホルダと、
を有し、
前記抵抗測定器は、基板のエッジ部の電導層に接触するように構成される少なくとも1つの四探針プローブを有し、
前記抵抗測定器は、前記基板ホルダにより基板を保持する前に、基板の電気抵抗を測定するように構成され、
前記基板のエッジ部は、めっき時に基板の電流を供給するための電気接点が接触し得る基板の周縁部の領域である、
めっき装置。 - 請求項1に記載のめっき装置であって、
前記抵抗測定器は、基板のエッジ部の電導層の複数個所の電気抵抗を測定するように構成される、
めっき装置。 - 請求項1または2に記載のめっき装置であって、
前記抵抗測定器は、基板のエッジ部の電導層に接触するように構成される接触ピンを有する、
めっき装置。 - 請求項3に記載のめっき装置であって、
前記接触ピンは、基板の周方向に移動可能に構成される、
めっき装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載のめっき装置であって、さらに、
基板の向きを所定の方向に合わせるためのアライナを有し、
前記抵抗測定器は、前記アライナに配置された基板の電気抵抗を測定するように構成される、
めっき装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載のめっき装置であって、さらに、
基板を前記基板ホルダに固定するためのフィキシングユニットを有し、
前記抵抗測定器は、前記フィキシングユニットに配置された基板の電気抵抗を測定するように構成される、
めっき装置。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のめっき装置であって、さらに、
前記抵抗測定器で測定された抵抗値を受け取る制御装置を有し、
前記制御装置は、受け取った前記抵抗値に基づいて、基板の状態を判断するように構成される、
めっき装置。 - 請求項1乃至7のいずれか一項に記載のめっき装置であって、さらに、
基板のエッジ部を洗浄するためのエッジ部洗浄装置を有する、
めっき装置。 - めっき対象物である基板のエッジ部の電導層の電気抵抗を測定する、少なくとも1つの四探針プローブを備える抵抗測定器と、
基板を保持するための基板ホルダと、コンピュータを備える制御装置と、を有するめっき装置において、
前記基板のエッジ部は、めっき時に基板の電流を供給するための電気接点が接触し得る基板の周縁部の領域であり、
めっき対象物である基板を基板ホルダに保持する前に、前記四探針プローブを前記基板のエッジ部の電導層に接触させて前記エッジ部の電導層の電気抵抗を測定するステップと、
測定した基板の電気抵抗に基づいて、前記基板の状態を判断するステップと、
を実行させるためのコンピュータプログラム。 - 請求項9に記載のコンピュータプログラムであって、
電気抵抗を測定するステップは、前記基板のエッジ部の電導層の複数個所の電気抵抗を測定するステップを有する、
コンピュータプログラム。 - 請求項9または10に記載のコンピュータプログラムであって、さらに、
基板のエッジ部を洗浄するステップを実行させるための、
コンピュータプログラム。 - 請求項9乃至11のいずれか一項に記載のコンピュータプログラムであって、さらに、
めっき処理後に、めっき処理した基板のエッジ部の電導層の電気抵抗を測定するステップを実行させるための、
コンピュータプログラム。 - 請求項9乃至12のいずれか一項に記載のコンピュータプログラムが記録された、コンピュータ読み取り可能な非一過性の記録媒体。
- めっき方法であって、
めっき対象物である基板を基板ホルダに保持する前に、少なくとも1つの四探針プローブを前記基板のエッジ部の電導層に接触させて前記エッジ部の電導層の電気抵抗を測定するステップと、
測定した基板の電気抵抗に基づいて、前記基板の状態を判断するステップと、
を有し、
前記基板のエッジ部は、めっき時に基板の電流を供給するための電気接点が接触し得る基板の周縁部の領域である、
めっき方法。
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