JP7455608B2 - 洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
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Description
水がめっき液に混入する。この場合、硫酸過水が、めっき液の電解質を破壊してしまい、めっき液に悪影響を与えてしまう。したがって、カソード電極を洗浄するための薬液の選定は非常に重要である。
以下、本開示に係る2つの実施形態(第1及び第2実施形態)を例示して説明する。なお、以下で説明する図面において、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
以下に第1実施形態に係る洗浄装置ついて図面を参照しつつ説明する。まず、洗浄装置100で洗浄される基板ホルダ30の構成について説明する。次いで、本実施形態に係る洗浄装置100の構成を説明する。次いで、洗浄装置100における洗浄方法を説明する。
図1は、基板ホルダ30の分解斜視図である。図1に示すように、基板ホルダ30は、
例えば塩化ビニル製で矩形平板状の第1保持部材31と、この第1保持部材31に対して着脱自在に構成されるリング状の第2保持部材32(保持部材の一例に相当する)とを有している。この基板ホルダ30は、第1保持部材31と第2保持部材32とでウェハ等の基板Wfを挟み込むことで、基板Wfを保持する(図2参照)。なお、本開示では、基板ホルダとは、基板Wfを保持するための装置及びその装置の一部を意味する。つまり、第1保持部材31及び第2保持部材32も、基板ホルダと呼ぶことができる。基板ホルダ30の第1保持部材31の略中央部には、基板Wfを支持するための支持面33が設けられる。また、第1保持部材31の支持面33の外側には、支持面33の周囲に沿って、内方に突出する突出部を有する逆L字状のクランパ34が等間隔に複数設けられている。
れる。これにより、外側シール40は、シールホルダ36と支持ベース43との間をシールすることができる。内側シール39及び外側シール40は、シールホルダ36と、シールホルダ36にボルト等の締結具を介して取付けられるステンレス製の固定リング41との間に挟持されてシールホルダ36に取付けられている。
図4は、本開示に係る洗浄装置100を示す図であり、図5は、洗浄装置100のケース202の部分の概要を示す概略図である。洗浄装置100は、基板ホルダ30の電気接点50を洗浄するための装置である。図5を参照すると、洗浄装置100は、回転部材102と、アクチュエータ104と、洗浄モジュール200と、回転軸106と、フレーム108と、ベアリング110と、パッキン112と、フレキシブルカップリング113と、を備える。また、洗浄モジュール200は、ケース202を有する。以下、洗浄装置100の各構成要素について説明する。
2を保持する機能を有する。また、回転部材102の中心は、ケース202の外部に延びる回転軸106に固定されている。そして、回転軸106は、ケース202の外部に位置するフレーム108に取付けられたベアリング110に回転可能に支持されている。また、アクチュエータ104は、フレーム108に固定され、回転軸106とフレキシブルカップリング113を介して接続されている。これにより、アクチュエータ104は、回転部材102を回転させることができ、第2保持部材32を円周方向に回転させることができる。なお、アクチュエータ104は、一例として、防水のブラシレスモータである。また、回転軸106とケース202との間には、パッキン112が設けられていて、ケース202の内部の液体が外部に漏れることを抑止する。
は、配管156を流れる気体の流量を調整する機能を有する。
次に、図1及び図5を参照しながら、洗浄装置100における洗浄時の動作の一例を説明する。初期状態では、バルブ124、バルブ132、バルブ136、バルブ138、バルブ142、バルブ150、バルブ162は閉鎖されていて、アクチュエータ104は、停止している。また、ケース202は、クエン酸水溶液や、水等の液体を保持していない。そして、第2保持部材32は、第1保持部材31に取付けられている。
次いで、第2実施形態に係る洗浄装置400ついて図面を参照しつつ説明する。まず、第2実施形態に係る洗浄装置400の構成を説明する。次いで、洗浄装置400における洗浄方法を説明する。次いで、洗浄装置400の変形例を説明する。
図6は、洗浄装置100とは別の本開示に係る洗浄装置400を示す斜視図であり、図7は、洗浄装置400の洗浄槽520の内部に収容されるキャリア500の斜視図である。洗浄装置400は、上述した洗浄装置100と同様に、電気接点50を洗浄するための装置である。図6を参照すると、洗浄装置400は、洗浄槽520と、蓋404と、キャリア500(図8参照)とを備える。以下、洗浄装置400の各構成要素について説明する。
タンク540とを連通し、供給口408に近い方から順に、バルブ422とバルブ426とが配管412に取付けられている。これに対し、配管414は、排出口410とクエン酸タンク540とを連通し、排出口410に近い方から順に、バルブ420とバルブ424とが配管414に取付けられている。また、配管416は、配管414のバルブ420とバルブ424との間の部分と、ポンプ428の吸引口とを連通している。そして、配管418は、配管412のバルブ422とバルブ426との間の部分と、ポンプ428の排出口とを連通している。
1開口448に送風することができる。そして、第1開口448に送風された気体は、第2室530を通って、第2開口450からキャリア500に保持されている第2保持部材32に供給される。つまり、第2室530は、第1開口448から第2開口450までの流路を形成している。また、上述したように、第2保持部材32は、キャリア500のメッシュ板504によって支持されている。第2開口450から第2保持部材32に供給された気体は、メッシュ板504に設けられたメッシュによって洗浄槽520の内部で分散する。その結果、洗浄槽520の内部の温度を均一化することができる。また、2つのヒータ444は、第2室530に配置されている。このため、2つのヒータ444は、第2保持部材32に送風される気体を加熱することができる。
次に、図1及び図8を参照しながら、洗浄装置400における動作を説明する。初期状態では、一例として、第2保持部材32は、第1保持部材31に取付けられていて、バルブ420、バルブ422、バルブ424、バルブ426は閉鎖されている。また、洗浄槽520は、クエン酸水溶液や、水等の液体を保持していない。
の液体排出装置により、洗浄槽520の内部に水が排出される。
(第1変形例)
図10は、洗浄装置400の第1変形例を示す断面図である。図10に示されるように、洗浄装置400は、回転可能に構成された第1棒状部材466と、ノズル468を備えてもよい。この場合、ノズル468は、第1棒状部材466に取付けられ、第1棒状部材466と一体に回転可能に構成される。そして、ノズル468は、電気接点50に向かってクエン酸水溶液、水又は気体を噴射する機能を有する。また、キャリア500の複数のメッシュ板504には、第1棒状部材466が貫通するための貫通孔506がそれぞれ形成されている。
図11は、洗浄装置400の第2変形例を示す断面図である。図11に示されるように、
洗浄装置400は、回転可能に構成された第2棒状部材470と、攪拌部材472を備えてもよい。この場合、攪拌部材472は、薄板状の部材であり、第2棒状部材470に取付けられ、第2棒状部材470と一体に回転するように構成されている。また、キャリア
500の複数のメッシュ板504には、第2棒状部材470が貫通するための貫通孔506がそれぞれ形成されている。
上記の実施の形態の一部または全部は、以下の付記のようにも記載され得るが、以下には限られない。
付記1に係る洗浄方法は、基板をめっきするために前記基板と接触して前記基板に給電するための電気接点を有する基板ホルダの洗浄方法であって、前記基板ホルダの前記電気接点を、クエン酸水溶液により洗浄する洗浄工程を有する。
付記2に係る洗浄方法は、付記1に記載の洗浄方法において、前記基板ホルダは、外部電源に電気的に接続されるように構成される中継接点を有する第1保持部材と、前記電気接点を有する第2保持部材とを有し、前記洗浄工程の前に、前記第1保持部材と、前記第2保持部材とを分離する分離工程を有し、前記洗浄工程は、前記第1保持部材を洗浄せずに、前記第2保持部材を洗浄する。
付記3に係る洗浄方法によれば、付記1又は付記2に記載の洗浄方法において、前記クエン酸水溶液の中のクエン酸の質量パーセント濃度は、2%から30%である。
付記4に係る洗浄方法は、付記1から3のいずれか1つに記載の洗浄方法において、前記洗浄工程の前に、前記クエン酸水溶液を35度以上且つ55度以下に加熱する工程をさらに有する。
付記5に係る洗浄方法は、付記1から4のいずれか1つに記載の洗浄方法において、前記電気接点を有するリング状の保持部材を、円周方向に回転させる回転工程をさらに有し、前記洗浄工程は、前記回転工程の間に、前記電気接点に向かって前記クエン酸水溶液を噴射する工程を有する。
付記6に係る洗浄方法によれば、付記5に記載の洗浄方法において、前記洗浄工程は、前記回転工程の間に、前記電気接点の一部を前記クエン酸水溶液に浸漬する工程、を有する。
付記7に係る洗浄方法は、付記1から6のいずれか1つに記載の洗浄方法において、前記洗浄工程の前に、前記基板ホルダを水により洗浄する第1水洗工程をさらに有する。
付記8に係る洗浄方法は、付記5から7のいずれか1つに記載の洗浄方法において、前記回転工程の間で且つ前記洗浄工程の後に、前記基板ホルダを水により洗浄する第2水洗工程をさらに有する。
付記9に係る洗浄方法によれば、付記1から4のいずれか1つに記載の洗浄方法において、前記洗浄工程は、前記基板ホルダの少なくとも一部の部材であって、前記電気接点を有する保持部材の全体を、洗浄槽に保持された前記クエン酸水溶液に浸漬する浸漬工程を有する。
付記10に係る洗浄方法は、付記9に記載の洗浄方法において、前記浸漬工程の間に、前記洗浄槽の内部の前記クエン酸水溶液を排出口から排出し、前記排出口から排出された当該クエン酸水溶液を供給口から前記洗浄槽の内部に供給する工程を、さらに有する。
付記11に係る洗浄方法は、付記9又は付記10に記載の洗浄方法において、前記洗浄工程の前に、前記保持部材の全体を、前記洗浄槽に保持された水に浸漬する第1水洗工程をさらに有する。
付記12に係る洗浄方法は、付記9から11のいずれか1つに記載の洗浄方法において、前記洗浄工程の後に、前記保持部材の全体を、前記洗浄槽に保持された水に浸漬する第2水洗工程をさらに有する。
付記13に係る洗浄方法は、付記8又は付記12に記載の洗浄方法において、前記第2水洗工程の後に、前記基板ホルダを乾燥させる乾燥工程をさらに有する。
付記14に係る洗浄方法によれば、付記13に記載の洗浄方法において、前記乾燥工程は、ファンが、気体を前記保持部材に送風する送風工程と、前記保持部材に送風される前記気体をヒータが加熱する加熱工程と、を有する。
付記15に係る洗浄方法によれば、付記14に記載の洗浄方法において、前記乾燥工程は、前記ヒータが加熱した前記気体の温度を測定する工程と、測定された前記温度に基づいて、前記ヒータを制御し、前記保持部材に送風される前記気体の温度を調節する工程と、をさらに有する。
付記16に係る洗浄方法によれば、付記12に従属する付記14又は付記15に記載の洗浄方法において、前記送風工程は、前記ファンが、吸気口を介して前記洗浄槽の外部から吸引した気体を、第1開口に送風する工程と、前記第1開口に送風された気体が、前記第1開口から第2開口までの流路を構成する第2室を流れ、前記第2開口から、第1室に配置されている前記保持部材に向かって送風される工程と、前記ファンが、前記保持部材に向かって送風された後の気体であって前記第1室に位置している気体を吸気し、再び前記第1開口に送風する工程と、を有し、前記加熱工程は、前記第2室を流れる気体を加熱する工程を有する。
付記17に係る洗浄方法によれば、付記9又は付記9に従属する付記10から16のいずれか1つに記載の洗浄方法において、前記浸漬工程は、上下方向に並べられた複数のメッシュ板を有するキャリアの前記メッシュ板に支持された少なくとも1つの前記保持部材を、前記洗浄槽に保持された前記クエン酸水溶液に浸漬する工程を有する。
付記18に係る洗浄方法は、付記17に記載の洗浄方法において、前記複数のメッシュ板に支持され且つリング状をしている前記保持部材の内側を貫通するように位置する第1棒状部材が回転する第1回転工程と、前記第1回転工程の間に、前記第1棒状部材に取付けられたノズルが、前記第1棒状部材と一体に回転しながら、前記電気接点に向かって前記クエン酸水溶液、水又は気体を噴射する工程と、を有する。
付記19に係る洗浄方法は、付記17又は付記18に記載の洗浄装置において、前記複数のメッシュ板に支持され且つリング状をしている前記保持部材の内側を貫通するように位置する第2棒状部材が回転する第2回転工程と、前記第2回転工程の間に、前記第2棒状部材に取付けられている攪拌部材が、前記第2棒状部材と一体に回転することにより、前記洗浄槽の内部の液体を攪拌する工程と、をさらに有する。
付記20に係る洗浄装置は、めっき用に基板を保持し且つ前記基板に接触する電気接点を有するリング状の保持部材を保持するための回転部材と、前記回転部材を回転させることにより、前記保持部材を円周方向に回転させるためのアクチュエータと、前記回転部材により回転している前記保持部材を、クエン酸水溶液を用いて洗浄するための洗浄モジュールと、を備える。
付記21に係る洗浄装置によれば、付記20に記載の洗浄装置において、前記保持部材は、前記電気接点を有する第2保持部材であり、基板ホルダは、外部電源に電気的に接続されるように構成される中継接点を有する第1保持部材と、前記第2保持部材とを含んで構成される。
付記22に係る洗浄装置によれば、付記20又は付記21に記載の洗浄装置において、前記洗浄モジュールは、前記保持部材に向かって前記クエン酸水溶液を噴射するためのノズルを有する。
付記23に係る洗浄装置によれば、付記20から22のいずれか1つに記載の洗浄装置において、前記洗浄モジュールは、前記クエン酸水溶液を保持するケースを有し、前記保持部材の一部が、前記ケースが保持している前記クエン酸水溶液に浸漬されるように構成されている。
付記24に係る洗浄装置は、付記20から23のいずれか1つに記載の洗浄装置において、前記クエン酸水溶液を保持するためのクエン酸槽と、前記クエン酸槽に保持されている前記クエン酸水溶液を35度以上且つ55度以下に加熱するための恒温器と、前記クエン酸槽に保持されている前記クエン酸水溶液を、前記洗浄モジュールに圧送するためのポンプと、をさらに備える。
付記25に係る洗浄装置は、付記23に従属する付記24に記載の洗浄装置において、前記ケースに保持されている前記クエン酸水溶液を、前記クエン酸槽に排出するための排液管をさらに備える。
付記26に係る洗浄装置は、付記20から25のいずれか1つに記載の洗浄装置において、前記保持部材に向かって水を噴射するための液体ノズルをさらに備える。
付記27に係る洗浄装置は、付記20から26のいずれか1つに記載の洗浄装置において、前記保持部材に向かって気体を噴射するためのエアノズルをさらに備える。
付記28に係る洗浄装置は、付記20から27のいずれか1つに記載の洗浄装置において、前記保持部材に向かって温風を送風するための温風装置をさらに備える。
付記29に係る洗浄装置は、電気接点を有し且つ基板ホルダの少なくとも一部の部材である保持部材の、洗浄装置であって、クエン酸水溶液を保持し、前記保持部材が前記クエン酸水溶液に浸漬されるための洗浄槽を備える。
付記30に係る洗浄装置によれば、付記29に記載の洗浄装置において、前記基板ホルダは、外部電源に電気的に接続されるように構成される中継接点を有する第1保持部材と、前記電気接点を有する第2保持部材とを有し、前記保持部材は、前記第2保持部材である。
付記31に係る洗浄装置は、付記29又は付記30に記載の洗浄装置において、前記洗浄槽の内部に液体を供給するための供給口と、前記洗浄槽の内部から液体を排出するための排出口と、前記排出口から前記洗浄槽の内部の液体を吸引し、吸引した当該液体を前記供給口から前記洗浄槽の内部に供給するように構成されたポンプと、をさらに備える。
付記32に係る洗浄装置は、付記29から31のいずれか1つに記載の洗浄装置において、前記洗浄槽の内部に収容されるキャリアを備え、前記キャリアは、上下方向に並べられた複数のメッシュ板であって前記保持部材を支持するための複数のメッシュ板を有する。
付記33に係る洗浄装置は、付記32に記載の洗浄装置において、回転可能に構成された第1棒状部材と、前記電気接点に向かって前記クエン酸水溶液、水又は気体を噴射するためのノズルであって、前記第1棒状部材に取付けられ、前記第1棒状部材と一体に回転可能なノズルと、をさらに備え、前記複数のメッシュ板には、前記棒状部材が貫通するための貫通孔がそれぞれ形成されている。
付記34に係る洗浄装置は、付記32又は付記33に記載の洗浄装置において、回転可能に構成された第2棒状部材と、前記第2棒状部材に取付けられ、前記第2棒状部材と一体に回転することにより前記洗浄槽の内部の液体を攪拌するための攪拌部材と、をさらに備え、前記複数のメッシュ板には、前記第2棒状部材が貫通するための貫通孔がそれぞれ形成されている。
付記35に係る洗浄装置は、付記29から34のいずれか1つに記載の洗浄装置において、気体を前記保持部材に送風するためのファンと、前記保持部材に送風される前記気体を加熱するためのヒータと、をさらに備える。
付記36に係る洗浄装置は、付記35に記載の洗浄装置において、前記洗浄槽の内部の気体の温度を測定するための温度計と、前記温度計が測定した温度に基づいて、前記ヒータを制御するための温度調節器と、をさらに備える。
付記37に係る洗浄装置は、付記32に従属する付記36に記載の洗浄装置において、前記洗浄槽の内部に気体を供給するための吸気口と、前記洗浄槽の内部から気体を排気するための排気口と、前記洗浄槽を、前記キャリアが配置されるための第1室、及び第2室に分割するための仕切板と、前記仕切板に形成された第1開口及び第2開口と、を備え、前記第2室は、第1開口から第2開口までの流路であって、前記ヒータが配置されている流路を構成し、前記第1室は、第2室を介することなく、前記吸気口及び前記排気口と連通し、前記第2開口は、前記キャリアに隣接し、前記ファンは、前記第1室内部の気体及び前記吸気口を介して前記洗浄槽の外部から吸引した気体を、第1開口に送風することにより、前記第2開口から前記保持部材に向かって、前記第1室内部の気体及び前記吸気口を介して前記洗浄槽の外部から吸引した気体を送風するように構成されている。
31:第1保持部材
32:第2保持部材
50:電気接点
100:洗浄装置
102:回転部材
118:ポンプ
140:排液管
144:液体ノズル
154:エアノズル
166:温風装置
200:洗浄モジュール
202:ケース
204:ノズル
220:クエン酸槽
400:洗浄装置
408:供給口
410:排出口
428:ポンプ
438:吸気口
440:排気口
442:ファン
444:ヒータ
446:仕切板
448:第1開口
450:第2開口
460:温度計
462:温度調節器
466:第1棒状部材
468:ノズル
470:第2棒状部材
472:攪拌部材
500:キャリア
504:メッシュ板
520:洗浄槽
540:クエン酸タンク
900:廃液部
902:液体供給源
904:気体供給源
Wf:基板
Claims (17)
- 基板をめっきするために前記基板と接触して前記基板に給電するための電気接点を有する基板ホルダの洗浄方法であって、
前記基板ホルダの前記電気接点を、クエン酸水溶液により洗浄する洗浄工程を有し、
前記基板ホルダは、外部電源に電気的に接続されるように構成される中継接点を有する第1保持部材と、前記電気接点を有する第2保持部材とを有し、
前記洗浄工程の前に、前記第1保持部材と、前記第2保持部材とを分離する分離工程を有し、
前記洗浄工程は、前記第1保持部材を洗浄せずに、前記第2保持部材を洗浄する、
洗浄方法。 - 請求項1に記載の洗浄方法において、
前記クエン酸水溶液の中のクエン酸の質量パーセント濃度は、2%から30%である、
洗浄方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の洗浄方法において、
前記電気接点を有するリング状の保持部材を、円周方向に回転させる回転工程をさらに有し、
前記洗浄工程は、前記回転工程の間に、前記電気接点に向かって前記クエン酸水溶液を噴射する工程を有する、
洗浄方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の洗浄方法において、
前記洗浄工程の前に、前記基板ホルダを水により洗浄する第1水洗工程をさらに有する、
洗浄方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の洗浄方法において、
前記洗浄工程は、前記基板ホルダの少なくとも一部の部材であって、前記電気接点を有する保持部材の全体を、洗浄槽に保持された前記クエン酸水溶液に浸漬する浸漬工程を有する、
洗浄方法。 - 請求項5に記載の洗浄方法において、
前記洗浄工程の前に、前記保持部材の全体を、前記洗浄槽に保持された水に浸漬する第1水洗工程をさらに有する、
洗浄方法。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の洗浄方法において、
前記洗浄工程の後に、前記基板ホルダを水により洗浄する第2水洗工程と、
前記第2水洗工程の後に、前記基板ホルダを乾燥させる乾燥工程と、をさらに有する、
洗浄方法。 - 請求項3、5又は6に従属する請求項7に記載の洗浄方法において、
前記乾燥工程は、
ファンが、気体を前記保持部材に送風する送風工程と、
前記保持部材に送風される前記気体をヒータが加熱する加熱工程と、を有する、
洗浄方法。 - めっき用に基板を保持し且つ前記基板に接触する電気接点を有するリング状の保持部材を保持するための回転部材と、
前記回転部材を回転させることにより、前記保持部材を円周方向に回転させるためのアクチュエータと、
前記回転部材により回転している前記保持部材を、クエン酸水溶液を用いて洗浄するための洗浄モジュールと、を備え、
前記洗浄モジュールは、前記クエン酸水溶液を保持するケースを有し、
前記保持部材の一部が、前記ケースが保持している前記クエン酸水溶液に浸漬されるように構成されている、
洗浄装置。 - 請求項9に記載の洗浄装置において、
前記保持部材は、前記電気接点を有する第2保持部材であり、
基板ホルダは、外部電源に電気的に接続されるように構成される中継接点を有する第1保持部材と、前記第2保持部材とを含んで構成される、
洗浄装置。 - 請求項9又は請求項10に記載の洗浄装置において、
前記洗浄モジュールは、前記保持部材に向かって前記クエン酸水溶液を噴射するためのノズルを有する、
洗浄装置。 - 請求項9から11のいずれか1項に記載の洗浄装置において、
前記保持部材に向かって温風を送風するための温風装置をさらに備える、
洗浄装置。 - 電気接点を有し且つ基板ホルダの少なくとも一部の部材である保持部材の、洗浄装置であって、
クエン酸水溶液を保持し、前記保持部材が前記クエン酸水溶液に浸漬されるための洗浄
槽を備え、
前記洗浄槽の内部に収容されるキャリアを備え、
前記キャリアは、上下方向に並べられた複数のメッシュ板であって前記保持部材を支持するための複数のメッシュ板を有する、
洗浄装置。 - 請求項13に記載の洗浄装置において、
前記基板ホルダは、外部電源に電気的に接続されるように構成される中継接点を有する第1保持部材と、前記電気接点を有する第2保持部材とを有し、
前記保持部材は、前記第2保持部材である、
洗浄装置。 - 請求項13又は請求項14に記載の洗浄装置において、
回転可能に構成された第1棒状部材と、
前記電気接点に向かって前記クエン酸水溶液、水又は気体を噴射するためのノズルであって、前記第1棒状部材に取付けられ、前記第1棒状部材と一体に回転可能なノズルと、をさらに備え、
前記複数のメッシュ板には、前記棒状部材が貫通するための貫通孔がそれぞれ形成されている、
洗浄装置。 - 請求項13から15のいずれか1項に記載の洗浄装置において、
回転可能に構成された第2棒状部材と、
前記第2棒状部材に取付けられ、前記第2棒状部材と一体に回転することにより前記洗浄槽の内部の液体を攪拌するための攪拌部材と、をさらに備え、
前記複数のメッシュ板には、前記第2棒状部材が貫通するための貫通孔がそれぞれ形成されている、
洗浄装置。 - 請求項13から16のいずれか1項に記載の洗浄装置において、
気体を前記保持部材に送風するためのファンと、
前記保持部材に送風される前記気体を加熱するためのヒータと、をさらに備える、
洗浄装置。
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102544636B1 (ko) * | 2021-11-04 | 2023-06-20 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 도금 장치 및 콘택트 세정 방법 |
CN116097077B (zh) * | 2022-06-17 | 2024-02-27 | 株式会社荏原制作所 | 泄漏判定方法以及镀覆装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000189975A (ja) | 1998-12-24 | 2000-07-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極皮膜の除去方法およびその方法を用いた水浄化装置 |
JP2003142441A (ja) | 2001-11-02 | 2003-05-16 | Nec Electronics Corp | 洗浄方法および洗浄液 |
JP2005139558A (ja) | 2005-02-14 | 2005-06-02 | Ebara Corp | 基板めっき装置 |
JP2008045179A (ja) | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Ebara Corp | めっき装置及びめっき方法 |
US20130292254A1 (en) | 2012-03-28 | 2013-11-07 | Santosh Kumar | Methods and apparatuses for cleaning electroplating substrate holders |
JP2015041756A (ja) | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社東芝 | ウェハキャリアの洗浄方法 |
JP2018003102A (ja) | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社荏原製作所 | 基板ホルダの検査装置、これを備えためっき装置、及び外観検査装置 |
JP2018178176A (ja) | 2017-04-07 | 2018-11-15 | 株式会社荏原製作所 | 電気めっき装置および電気めっき装置における洗浄方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3379816B2 (ja) * | 1994-04-20 | 2003-02-24 | 株式会社ヤスヰ | 部品洗浄方法及びその洗浄装置 |
CN205613778U (zh) * | 2015-12-02 | 2016-10-05 | 石河子大学 | 实验室用超声波清洗器固定框 |
JP6833557B2 (ja) * | 2016-03-04 | 2021-02-24 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置及びめっき方法 |
JP6722532B2 (ja) * | 2016-07-19 | 2020-07-15 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および処理カップ洗浄方法 |
CN209932639U (zh) * | 2019-03-27 | 2020-01-14 | 东莞优乐家智能家电有限公司 | 一种网篮旋转式洗碗机 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000189975A (ja) | 1998-12-24 | 2000-07-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極皮膜の除去方法およびその方法を用いた水浄化装置 |
JP2003142441A (ja) | 2001-11-02 | 2003-05-16 | Nec Electronics Corp | 洗浄方法および洗浄液 |
JP2005139558A (ja) | 2005-02-14 | 2005-06-02 | Ebara Corp | 基板めっき装置 |
JP2008045179A (ja) | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Ebara Corp | めっき装置及びめっき方法 |
US20130292254A1 (en) | 2012-03-28 | 2013-11-07 | Santosh Kumar | Methods and apparatuses for cleaning electroplating substrate holders |
JP2015041756A (ja) | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社東芝 | ウェハキャリアの洗浄方法 |
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