KR101076398B1 - 기판 이송 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치는 기판을 진공 흡착하여 픽업하는 블레이드와 블레이드에 연결된 진공 라인을 구비한다. 블레이드는 내부에 진공 통로가 형성되고, 각각 진공 통로와 연통된 센터 흡착홀과 다수의 사이드 흡착홀을 구비한다. 블레이드는 센터 흡착홀에 제공된 진공압을 이용하여 기판의 중앙부를 흡착하고, 사이드 흡착홀들에 제공된 진공압을 이용하여 기판의 주변부를 흡착한다. 이와 같이, 블레이드는 기판의 중심부 이외에 주변부도 함께 진공 흡착하므로, 기판의 중심부로 진공압이 집중되는 것을 방지한다. 이에 따라, 기판 이송 장치는 기판의 이송 과정에서 기판이 휘는 불량을 방지하고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 이송 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF TRANSFERRING THE SUBSTRATE}
본 발명은 반도체 소자의 제조 공정에서 기판을 반송하는 데 이용되는 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세히는, 진공압을 이용하여 기판을 픽업하는 기판 이송 장치 및 이의 기판 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 기판 상에 여러 단계의 공정을 거쳐 제조된다. 보통 각 공정 단계는 각 공정 단계별로 마련된 별개의 공정 챔버에서 이루어지므로, 공정 챔버들 간 해당 공정 단계를 수행하는 장치들 간에 기판 이송이 빈번하게 이루어진다.
공정 챔버들 간 또는 공정 장치들 간에 기판을 이송하는 기판 이송 장치는 진공압을 이용하여 기판을 흡착한 후 기판을 해당 공정 챔버나 수납용기로 이송한다. 이러한 기판 이송 장치는 기판이 안착되는 블레이드를 구비하고, 블레이드 내부에는 진공압이 제공되는 진공 통로가 형성된다.
일반적으로, 블레이드는 막대 형상을 가지며, 일단부에 기판의 중심부를 진공 흡착하기 위한 흡착홀이 형성된다. 이와 같이, 기판의 진공 흡착이 기판의 중심 부에서만 이루어지므로, 진공압이 기판의 중심부로 집중되어 기판의 중심부가 기판의 주변부 보다 아래로 휘어지는 불량이 발생한다.
본 발명의 목적은 기판의 휨을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기한 기판 이송 장치가 기판을 이송하는 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 이송 장치는, 적어도 하나의 블레이드, 진공 라인 및 진공 부재로 이루어진다.
블레이드는 내부에 진공 통로가 형성되고, 상기 진공 통로와 연통되어 기판의 중앙부를 진공 흡착하는 적어도 하나의 센터 흡착홀 및 상기 진공 통로와 연통되어 상기 기판의 주변부를 진공 흡착하는 다수의 사이드 흡착홀을 구비하며, 이동가능하다. 진공 라인은 상기 블레이드와 연결되고, 상기 진공 통로에 진공압을 제공한다. 진공 부재는 상기 진공 라인에 연결되고, 상기 진공 라인에 상기 진공압을 제공한다.
또한, 기판 이송 장치는 감지부를 더 포함할 수 있다. 감지부는 상기 진공 라인에 설치되고, 상기 진공 라인의 내부 압력을 센싱하며, 상기 진공 라인의 내부 압력이 기 설정된 기준 압력 범위를 벗어나는 경우 알람을 발생한다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 이송 방법은 다음과 같다. 먼저, 블레이드 내부에 형성된 진공 통로에 진공압을 제공 하여 상기 진공 통로와 연통된 상기 블레이드의 센터 흡착홀과 다수의 사이드 흡착홀에 진공압을 형성한다. 상기 블레이드 상면에 기판을 안착시킨다. 상기 센터 흡착홀에 형성된 진공압에 의해 상기 기판의 중심부가 상기 블레이드에 흡착됨과 동시에 상기 다수의 사이드 흡착홀에 형성된 진공압에 의해 상기 기판의 주변부가 상기 블레이드에 흡착된다. 상기 블레이드에 흡착된 상기 기판을 이송한다.
상술한 본 발명에 따르면, 블레이드는 기판의 중심부 뿐만 아니라 기판의 주변부도 진공 흡착하므로, 진공압이 기판의 중심부로 집중되어 기판의 중심부가 주변부보다 아래로 휘어지는 것을 방지한다. 이에 따라, 기판 이송 장치는 기판의 휨 불량 및 파손을 방지할 수 있다.
또한, 블레이드가 다수의 흡착홀을 통해 기판의 중심부 및 주변부를 진공 흡착하고 감지부가 진공 라인의 압력을 센싱하므로, 기판 이송 장치는 기판의 파손 여부와 기판이 정위치에 정상적으로 안착되었는지를 감지할 수 있다. 이에 따라, 기판 이송 장치는 이송 과정에서 기판의 파손을 방지하고, 기판의 파손을 사전에 감지할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 한편, 이하에서는 웨이퍼를 기판의 일례로 설명하나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 몸체(110)와 이동 아암(120) 및 블레이드(130)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 몸체(110)는 스테핑 모터 등의 구동 모터를 구비할 수 있고, 상기 이동 아암(120)의 동작을 제어하며, 승강 및 하강이 가능하다. 로봇 아암(120)은 상기 몸체(110)에 결합되어 상기 몸체(110)로부터 동력을 전달받고, 웨이퍼를 특정 위치로 이송하기 위해 상기 블레이드(130)의 위치를 변경시킨다. 즉, 상기 이동 아암(120)은 다수의 관절로 이루어지고, 상기 블레이드(130)와 결합하며, 상기 몸체(110)의 구동에 의한 회전 동작을 통해 상기 블레이드(130)의 위치를 조절한다.
상기 블레이드(130)는 상기 이동 아암(120)의 상단부에 결합 설치되고, 상기 웨이퍼를 진공 흡착하여 픽업한다. 상기 블레이드(130)는 상기 이동 아암(120)의 동작에 의해 수평 위치가 변경되며, 상기 몸체(110)의 구동에 의해 수직 위치가 변경된다.
이하, 도면을 참조하여 상기 블레이드(110)의 구성 및 동작에 대해 구체적으로 설명한다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타낸 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 블레이드(130)는 상기 이동 아암(120)의 상단부에 결합되는 연결부(131) 및 상기 연결부(131)로부터 연장된 지지 플레이 트(132)를 포함할 수 있다.
상기 지지 플레이트(132)는 상기 이동 아암(120)에 의해 수직 및 수평 위치가 변경되고, 상기 웨이퍼(10)의 하면을 진공 흡착하여 상기 웨이퍼(10)를 픽업한다.
구체적으로, 상기 지지 플레이트(132)는 센터 플레이트(132a)와 두 개의 사이드 플레이트(132b, 132c)를 포함할 수 있다. 상기 센터 플레이트(132a)는 상기 연결부(131)로부터 연장되어 막대 형상을 갖는다. 상기 센터 플레이트(132a)의 단부에는 센터 흡착홀(31)이 형성된다. 상기 흡착홀(31)은 상기 센터 플레이트(132a)의 상면에서 상기 웨이퍼(10)의 중심에 대응하여 위치한다. 이 실시예에 있어서, 상기 센터 플레이트(132a)는 하나의 흡착홀(31)을 구비하나, 다수의 흡착홀을 구비할 수도 있다.
상기 사이드 플레이트들(132b, 132c)은 상기 센터 플레이트(132a)로부터 각각 분기되어 상기 센터 플레이트(132a)와 동일한 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 사이드 플레이트들(132b, 132c)은 상기 센터 플레이트(132a)를 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 웨이퍼(10)의 주변부를 지지한다. 각 사이드 플레이트(132b, 132c)에는 적어도 하나 이상의 사이드 흡착홀(32a, 32b, 32c, 32d)이 형성된다. 이 실시예 있어서, 각 사이드 플레이트(132b, 132c)는 두 개의 사이드 흡착홀(32a, 32b, 32c, 32d)을 구비하나, 하나의 사이드 플레이트(132b, 132c)에 형성된 사이드 흡착홀(32a, 32b, 32c, 32d)의 개수는 사이드 플레이트(132b, 132c)의 길이 및 이송 효율에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다.
하나의 사이드 플레이트(132b, 132c)에 형성된 두 개의 사이드 흡착홀(32a, 32b, 32c, 32d)은 상기 사이드 플레이트(132b, 132c)의 길이 방향으로 서로 이격되어 배치된다. 상기 각 사이드 흡착홀(32a, 32b, 32c, 32d)은 상기 센터 흡착홀(31)을 중심으로 서로 다른 사이드 플레이트에 위치하는 사이드 흡착홀과 대각선 방향으로 위치한다.
한편, 상기 블레이드(130) 내부에는 상기 센터 흡착홀(31) 및 상기 사이드 흡착홀들(32a, 32b, 32c, 32d)과 연통되는 진공 통로(133)가 형성된다. 상기 진공 통로(133)는 상기 블레이드(130)의 형상과 동일한 형상으로 형성되며, 상기 사이드 흡착홀들(32a, 32b, 32c, 32d)은 상기 진공 통로(133)를 통해 서로 연통된다.
상기 블레이드(130)는 진공 라인(141)의 제1 단부와 연결 결합되고, 상기 진공 라인(141)은 상기 진공 통로(133)와 연통된다. 상기 진공 라인(141)의 제2 단부는 진공 펌프(150)와 연결되고, 상기 진공 펌프(150)는 대기압 이하의 압력에서 기체를 흡입하여 진공 상태로 만든다. 상기 진공 라인(141)은 상기 진공 펌프(150)의 구동에 의해 내부가 진공 상태로 되고, 상기 진공 펌프(150)의 진공압은 상기 진공 라인(141)을 통해 상기 지지 플레이트(132)의 진공 통로(133)에 제공된다. 상기 진공 통로(133)에 제공된 진공압은 상기 센터 흡착홀(31)과 상기 사이드 흡착홀들(32a, 32b, 32c, 32d)에 제공된다. 이에 따라, 상기 지지 플레이트(132) 상면에 안착된 웨이퍼(10)의 중심부가 상기 센터 흡착홀(31)에 흡착되고, 상기 웨이퍼(10)의 주변부가 상기 사이드 흡착홀들(32a, 32b, 32c, 32d)에 흡착된다.
이와 같이, 상기 블레이드(130)는 상기 웨이퍼(10)의 중심부를 흡착하는 센 터 흡착홀(31) 이외에 상기 웨이퍼(10)의 주변부를 흡착하는 다수의 사이드 흡착홀(32a, 32b, 32c, 32d)을 구비하므로, 웨이퍼(10)의 중심부로 진공압이 집중되는 것을 방지한다. 이에 따라, 상기 블레이드(130)는 진공 흡착이 웨이퍼(10)의 중심부로 집중되어 상기 웨이퍼(10)의 중심부가 주변부 보다 아래로 휘어지는 현상을 방지하고, 웨이퍼(10) 파손을 방지할 수 있다.
또한, 상기 블레이드(130)는 센터 흡착홀(31)과 다수의 사이드 흡착홀(32a, 32b, 32c, 32d)을 구비하므로, 상기 웨이퍼(10)를 진공 흡착하는 흡착 포인트가 다수개이다. 상기 흡착 포인트들은 상기 웨이퍼(10) 특정 부위에 집중되지 않고 상기 웨이퍼(10)의 중심부 및 주변부에 고루 배치되므로, 각 흡착 포인트를 통해 상기 웨이퍼(10)의 파손을 감지할 수 있다.
구체적으로, 상기 진공 라인(141)에는 상기 진공 라인(160) 내부의 진공압을 조절하는 레귤레이터(160) 및 상기 진공 라인(160) 내부의 진공압을 센싱하는 감지부(170)가 설치된다. 상기 레귤레이터(160)는 상기 진공 펌프(150)와 상기 감지부(170) 사이에 설치되고, 상기 진공 펌프(150)로부터의 진공압을 조절하여 상기 진공 통로(133)에 제공한다.
상기 감지부(170)는 상기 레귤레이터(160)와 상기 블레이드(130) 사이에 설치되고, 상기 진공 라인(141) 내부의 진공압을 센싱한다. 상기 감지무(170)는 센싱된 진공압이 기 설정된 상기 진공 라인(141)의 정상적인 진공압 범위, 즉, 기준 압력 범위 안에 들어가는 압력값인지를 판단하여 정상 범위를 벗어날 경우 알람을 발생한다. 여기서, 상기 기준 압력 범위는 상기 레귤레이터(160)에서 설정한 상기 진 공 라인(150)의 진공압 값에 근거하여 설정된다. 즉, 상기 기준 압력 범위는 상기 레귤레이터(160)에서 설정한 상기 진공 라인(141)의 진공압 값을 기준으로 정상적인 진공압으로 간주할 수 있는 오차 허용 범위 안에서 설정될 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 감지부(170)는 상기 기준 압력 범위와 센싱된 진공압 값을 비교하나, 상기 센싱된 진공압을 상기 레귤레이터(160)에서 설정한 상기 진공압과 동일한지 비교하여 이와 다를 경우 알람을 발생할 수도 있다.
여기서, 상기 레귤레이터(160)는, 상기 웨이퍼(10)가 상기 블레이드(130)의 정 위치에 정상적 안착되어 상기 웨이퍼(10)의 하면이 상기 블레이드(130) 상면과 정상적으로 밀착되었을 때 상기 웨이퍼(10)를 상기 블레이드(130)에 안정적으로 고정시키기 위한 상기 진공 라인(141) 내부의 적정 진공압을 설정한다.
즉, 상기 블레이드(130)의 각 흡착홀(31, 32a, 32b, 32c, 32d)이 형성된 부분들, 즉 상기 흡착 포인트들이 상기 웨이퍼(10)의 하면과 정상적으로 밀착될 경우, 상기 감지부(170)에서 센싱된 압력값은 상기 레귤레이터(160)에서 설정한 진공압과 동일하거나 상기 기준 압력 범위를 벗어나지 않는다.
그러나, 상기 웨이퍼(10)가 상기 블레이드(130) 상의 정 위치에 안착되지 않거나 상기 블레이드(130)의 상면에 대해 비스듬히 안착되는 경우, 또는 웨이퍼(10)가 파손되어 적어도 어느 하나의 흡착 포인트에 흡착되는 부분이 제거된 경우, 상기 블레이드(130)의 흡착홀들(31, 32a, 32b, 32c, 32d) 중 적어도 어느 하나를 통해 상기 진공 통로(133)에 외부 공기가 유입된다. 이러한 경우, 상기 감지부(170)에서 센싱된 압력값이 상기 기준 압력 범위를 벗어나며, 알람이 발생된다.
특히, 상기 블레이드(130)는 상기 흡착홀들(31, 32a, 32b, 32c, 32d)이 웨이퍼(10)의 중심부와 주변부에 대응하여 고루 분포되므로, 웨이퍼(10)의 정위치 여부와 정상 안착 여부 및 파손 여부를 보다 정확하게 감지할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 이송 장치(100)는 이송 과정에서 웨이퍼(10)가 파손되는 것을 방지할 수 있고, 상기 웨이퍼(10)의 주변부 일부분 만이 파손되더라도 이를 감지할 수 있다.
따라서, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 웨이퍼(10)를 안착시킬 특정 대상물, 예컨대, 상기 웨이퍼(10)를 수납하는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)과 같은 수납용기나 상기 웨이퍼(10) 공정시 상기 웨이퍼(10)를 지지하는 척(Chuck)이 위치하는 곳으로 이동하기 전에 상기 웨이퍼(10)의 파손을 사전에 감지하여 파손된 웨이퍼(10)가 해당 대상물에 적재되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 상기 기판 이송 장치(100)가 상기 웨이퍼(10)를 이송하는 과정을 구체적으로 설명한다.
도 3은 도 2에 도시된 블레이드에 정상적으로 웨이퍼가 안착된 상태를 나타낸 평면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 웨이퍼(10)가 상기 블레이드(10) 상면에 안착되면, 상기 블레이드(10)는 상기 진공 펌프(150)로부터 상기 진공 라인(141) 및 상기 진공 통로(133)를 통해 상기 센터 흡착홀(31)과 상기 사이드 흡착홀들(32a, 32b, 32c, 32d)에 형성된 진공압(VF)을 이용하여 상기 웨이퍼(10)를 흡착한다. 이어, 상기 웨이퍼(10)가 상기 블레이드(130)에 흡착 고정된 상태에서 상기 감지부(170)는 상기 진공 라인(141) 내부의 진공압(VF)을 센싱한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 웨이퍼(10)가 상기 블레이드(130)의 정 위치에 정상적으로 안착될 경우, 각 흡착 포인트에서 상기 웨이퍼(10)가 상기 블레이드(130)에 밀착된다. 따라서, 상기 감지부(170)에서 센싱한 압력값이 상기 기준 압력 범위를 벗어나지 않으므로, 상기 감지부(170)는 알람을 발생하지 않는다. 이에 따라, 상기 웨이퍼(10)가 정위치에 정상적으로 안착되고 파손되지 않았음을 감지할 수 있다.
도 4는 도 2에 도시된 블레이드에 파손된 웨이퍼가 안착된 상태를 나타낸 평면도이다.
도 4를 참조하면, 파손되어 일부분이 잘려 나간 웨이퍼(20)가 상기 블레이드(130)에 안착되고, 상기 블레이드(130)는 진공압(VF)을 이용하여 파손된 웨이퍼(20)를 흡착한다. 이때, 상기 파손된 웨이퍼(20)는 일측 단부가 잘려 나갔으므로, 잘려 나간 부분에 대응하는 흡착 포인트에서 상기 웨이퍼(20)와 상기 블레이드(130)가 밀착되지 못한다. 따라서, 상기 블레이드(130)는 상기 잘려 나간 부분에 대응하는 사이드 흡착홀(32a)을 통해 상기 진공 통로(133)로 공기가 유입되므로, 상기 진공 라인(141) 내부의 압력이 상기 진공 라인(141)의 정상 압력과 다르게 된다. 이에 따라, 상기 감지부(170)에서 센싱한 압력값이 상기 기준 압력 범위를 벗어나므로, 상기 감지부(170)는 알람을 발생하고, 상기 알람을 통해 상기 웨이퍼(20)의 파손을 사전에 감지할 수 있다.
도 5는 도 1에 도시된 기판 이송 장치가 웨이퍼를 척에 안착시키는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 5를 참조하면, 상기 블레이드(130)는 상기 웨이퍼(10)의 중심부와 주변부를 진공 흡착한 상태로 상기 웨이퍼(10)를 척(200)으로 이송한다. 상기 척(200)은 상기 웨이퍼(10)가 안착되는 스핀 헤드(210) 및 상기 스핀 헤드(210)를 지지하는 회전축(220)을 포함할 수 있다. 상기 스핀 헤드(210)에는 상기 웨이퍼(10)의 단부를 지지하는 다수의 지지핀(211)을 포함한다. 이와 같이, 상기 스핀 헤드(210)의 지지핀들(211)은 상기 웨이퍼(10)의 단부를 지지한다. 따라서, 상기 블레이드(130)의 진공 흡착이 상기 웨이퍼(10)의 중심부에 집중될 경우, 상기 웨이퍼(10)를 상기 지지핀들(211)에 안착시키거나 지지핀들(211)에 안착된 웨이퍼(10)를 픽업할 때, 웨이퍼(10)의 중심부가 주변부 보다 아래로 휘어질 수 있다. 그러나, 상기 블레이드(130)는 상기 웨이퍼(10)의 중심부와 주변부를 고르게 진공 흡착하므로, 상기 웨이퍼(10)를 상기 척(200)에 적재 또는 픽업 시 웨이퍼(10)의 중심부가 주변부 보다 아래로 휘어지는 현상을 방지하고, 웨이퍼(10)의 수평을 유지할 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 블레이드에 정상적으로 웨이퍼가 안착된 상태를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 블레이드에 파손된 웨이퍼가 안착된 상태를 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 기판 이송 장치가 웨이퍼를 척에 안착시키는 상태를 나타낸 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 기판 이송 장치 110 : 몸체
120 : 이동 아암 130 : 블레이드
141 : 진공 라인 150 : 진공 펌프
160 : 레귤레이터 170 : 감지부

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 내부에 진공 통로가 형성되고, 상기 진공 통로와 연통되어 기판의 중앙부를 진공 흡착하는 적어도 하나의 센터 흡착홀 및 상기 진공 통로와 연통되어 상기 기판의 주변부를 진공 흡착하는 다수의 사이드 흡착홀을 구비하며, 이동가능한 적어도 하나의 블레이드;
    상기 블레이드와 연결되고, 상기 진공 통로에 진공압을 제공하는 진공 라인;
    상기 진공 라인에 연결되고, 상기 진공 라인에 상기 진공압을 제공하는 진공 부재; 및
    상기 진공 라인에 설치되고, 상기 진공 라인의 내부 압력을 센싱하며, 상기 진공 라인의 내부 압력이 기 설정된 기준 압력 범위를 벗어나는 경우 알람을 발생하는 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 진공 라인에 설치되고, 상기 감지부와 상기 진공 부재 사이에 위치하며, 상기 진공 라인을 통해 상기 진공 통로로 제공되는 진공압을 조절하는 레귤레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 삭제
  5. 내부에 진공 통로가 형성되고, 상기 진공 통로와 연통되어 기판의 중앙부를 진공 흡착하는 적어도 하나의 센터 흡착홀 및 상기 진공 통로와 연통되어 상기 기판의 주변부를 진공 흡착하는 다수의 사이드 흡착홀을 구비하며, 이동가능한 적어도 하나의 블레이드;
    상기 블레이드와 연결되고, 상기 진공 통로에 진공압을 제공하는 진공 라인;
    상기 진공 라인에 연결되고, 상기 진공 라인에 상기 진공압을 제공하는 진공 부재;
    상기 블레이드와 결합하고, 상기 블레이드를 수평 이동시키는 수평 이동부; 및
    상기 수평 이동부와 결합하고, 상기 블레이드를 수직 이동시키는 수직 이동부를 포함하며,
    상기 블레이드는,
    상기 수평 이동부에 결합되는 연결부; 및
    상기 연결부로부터 연장되고, 상기 기판이 안착되는 지지 플레이트를 포함하고,
    상기 지지 플레이트는,
    상기 연결부로부터 연장되고, 상기 센터 흡착홀이 형성된 센터 플레이트; 및
    각각 상기 센터 플레이트로부터 분기되어 상기 센터 플레이트와 동일한 방향으로 연장되고, 상기 센터 플레이트를 사이에 두고 서로 마주하며, 각각 상기 사이드 흡착홀이 적어도 하나 형성된 적어도 두 개의 사이드 플레이트를 포함하고,
    각 사이드 플레이트은 적어도 두 개의 사이드 흡착홀을 구비하고,
    각 사이드 흡착홀은 상기 센터 흡착홀을 기준으로 서로 다른 사이드 플레이트에 위치하는 어느 하나의 흡착홀과 대각선 방향으로 위치하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 삭제
  7. 블레이드 내부에 형성된 진공 통로에 진공압을 제공하여 상기 진공 통로와 연통된 상기 블레이드의 센터 흡착홀과 다수의 사이드 흡착홀에 진공압을 형성하는 단계;
    상기 블레이드 상면에 기판을 안착시키는 단계;
    상기 센터 흡착홀에 형성된 진공압에 의해 상기 기판의 중심부가 상기 블레이드에 흡착됨과 동시에 상기 다수의 사이드 흡착홀에 형성된 진공압에 의해 상기 기판의 주변부가 상기 블레이드에 흡착되는 단계; 및
    상기 블레이드에 흡착된 상기 기판을 이송하는 단계를 포함하되;
    상기 진공 통로에 제공되는 진공압은 상기 진공 통로와 연통되는 진공 라인을 통해 제공되며,
    상기 기판을 진공 흡착하는 단계와 상기 기판을 이송하는 단계 사이에,
    상기 진공 라인의 내부 압력을 센싱하여 상기 기판이 상기 블레이드에 정상 안착 여부와 상기 기판의 파손 여부를 감지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 진공 라인의 내부 압력을 센싱하는 단계는,
    상기 진공 라인의 내부 압력을 센싱하는 단계; 및
    센싱한 압력값이 기 설정된 상기 진공 라인의 기준 압력 범위를 벗어나는지 체크하여 상기 센싱한 압력값이 상기 기준 압력 범위를 벗어나면 알람을 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 기준 압력 범위는 상기 진공 라인에 설치되어 상기 진공 라인의 압력을 설정하는 레귤레이터에 의해 설정된 압력값에 근거하여 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
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