KR101506605B1 - 유리기판 감지장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의하면, 유리기판을 이송시키는 이송장치에 유리기판의 상측면에 소정 간격 이격된 상태로 비접촉 구성되어 진공상태 제공시 유리기판 상측면의 세정액 유무에 따라 상이한 양의 외부 공기를 흡입하는 흡입부; 상기 흡입부에 진공상태를 제공하는 진공부; 및 상기 흡입부와 진공부의 사이에 구성되어 흡입부에 의해 흡입되는 외부 공기에 따른 흡입부 내부의 진공도 또는 진공부의 에어 압력을 측정하고 상기 진공도 또는 에어 압력의 가변 여부에 따라 유리기판의 이송 유무를 판단하는 진공도측정부를 포함하는 유리기판 감지장치가 제공된다.

Description

유리기판 감지장치{Apparatus capable for sensing glass substrate}
본 발명은 유리기판 감지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정표시장치 제조공정에 있어서 트랙 방식의 이송장치에 구성되어 유리기판의 이송 유무 상태를 유리기판과 비접촉한 상태에서 진공 또는 압력 변화를 통해 감지하여 유리기판의 감지오류와 스크래치를 방지할 수 있는 유리기판 감지장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치가 디스플레이 수단으로 각광받고 있는 현실에서, 액정표시장치는 패널의 내부에 주입된 액정의 전기적, 광학적 성질을 이용하여 디스플레이 기능을 수행하는데, 소형, 경량 및 저소비 전력 등의 장점에 의해 컴퓨터 모니터나 이동통신단말기 등의 다양한 분야에 폭넓게 응용되고 있는 추세이다.
이러한, 액정표시장치는 다양한 크기의 유리기판을 이용하여 제조되는데, 공정의 자동화를 위해서는 제조과정에서 유리기판의 이송 등을 감지하기 위한 다양한 센서들이 요구되는데, 이 가운데 식각장비에는 화학 에천트나 화학 스트리퍼 등의 화학 약품들이 많이 사용되어 일반적인 광센서의 적용이 어려워, 등록특허 10-0906979호와 10-0976173호 등에 개시된 바와 같이, 유리기판의 이송 등을 센싱하기 위해 주로 플리커 센서가 사용되었다.
여기서, 종래의 플리커 센서는, 감지대상물인 유리기판이 이송장치를 통해 이송 또는 반송시 아암 상단의 롤러에 접촉되어 아암을 회동시키는 경우에 아암 하단에 내장된 영구자석이 그 아래의 자력감지센서로부터 이격되어 감지가 이루어지도록 하고 있다.
그러나 상기와 같은 종래의 플리커 센서는, 감지대상물인 유리기판의 진입에 의해 움직이는 아암이 자석에 의해 복귀를 할 때 한번에 복귀 정지되는 것이 아니라 수직 상태를 지나서까지 회동되었다가 다시 반대로 수직상태를 지나기까지의 동작이 빠른 시간에 수차례 반복되어 진동과 같은 떨림 현상이 발생된 다음 정지되는데, 이러한 떨림이 정지되기 전까지 아암의 자석이 자력감지센서의 감지범위 내에 들어왔다가 나왔다를 반복하는 경우 감지오류가 발생하게 되는 문제점과 더불어, 영구자석과 자력감지센서의 떨림현상 발생시 또는 상기 롤러가 부식되어 회전이 정상적이지 않은 경우 유리기판의 하단부에 롤러와의 마찰에 따른 스크래치가 발생되는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 트랙 방식의 이송장치에 구성되어 유리기판의 이송 유무 상태를 유리기판과 비접촉한 상태에서 진공 또는 압력 변화를 통해 감지하여 기판의 감지오류와 스크래치를 방지할 수 있는 유리기판 감지장치를 제공하는 것이다.
한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 의하면, 유리기판을 이송시키는 이송장치에 유리기판의 상측면에 소정 간격 이격된 상태로 비접촉 구성되어 진공상태 제공시 유리기판 상측면의 세정액 유무에 따라 상이한 양의 외부 공기를 흡입하는 흡입부; 상기 흡입부에 진공상태를 제공하는 진공부; 및 상기 흡입부와 진공부의 사이에 구성되어 흡입부에 의해 흡입되는 외부 공기에 따른 흡입부 내부의 진공도 또는 진공부의 에어 압력을 측정하고 상기 진공도 또는 에어 압력의 가변 여부에 따라 유리기판의 이송 유무를 판단하는 진공도측정부를 포함하는 유리기판 감지장치가 제공된다.
여기서, 상기 흡입부는, 유리기판을 이송하는 이송장치에 고정되고 필러파이프를 통해 진공부에 연결되어 진공상태를 제공받는 흡입체; 상기 흡입체의 하측부에 형성되고 유리기판의 상측면에 세정액의 두께에 대응되는 간격 만큼 이격된 상태를 가지며 흡입체에 진공상태 제공시 유리기판이 이송되지 않는 경우에는 외부 공기를 흡입하여 필러파이프에 공급되도록 하고 유리기판이 이송되는 경우에는 유리기판 상측면의 세정액의 두께에 의해 입구가 폐쇄되어 외부 공기가 흡입되지 못하는 상태를 가지는 흡입공; 및 상기 흡입체의 일측면 또는 상측면에 상기 흡입공에 연통 가능한 상태로 형성되어 유리기판의 이송 여부와 관계없이 흡입체에 진공상태 제공시 외부 공기를 항상 흡입하여 필러파이프에 공급되도록 하는 압력조절공을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 흡입체는, 상측과 하측이 개구되고 내부에 중공부를 가지는 원통형상을 가지는 상태에서 상측 개구부에는 필러파이프가 연결되고 하측 개구부는 흡입공의 기능을 가지며 상측 개구부 일측에 중공부와 연통되도록 압력조절공이 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 진공도측정부는, 유리기판이 이송되지 않는 경우에는 유리기판 상측면의 세정액 두께에 의해 흡입부의 흡입공이 폐쇄되지 않으므로 상기 압력조절공과 흡입공을 통해서 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 제1진공도로 측정하고, 유리기판이 정상적으로 이송되는 경우에는 유리기판 상측면의 세정액 두께에 의해 흡입부의 흡입공이 폐쇄되므로 상기 압력조절공을 통해서만 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 제2진공도로 측정하며, 상기 제1진공도와 제2진공도를 통하여 유리기판의 이송 유무를 판단하는 신호를 발생시키는 것이 바람직하다.
따라서 본 발명에 의하면, 트랙 방식의 이송장치에 구성되어 유리기판의 이송 유무 상태를 유리기판과 비접촉한 상태에서 진공 또는 압력 변화를 통해 감지할 수 있어 유리기판의 감지오류와 스크래치를 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 감지장치의 구성을 나타낸 도면;
도 2는 도 1의 유리기판 감지장치에 있어서 흡입부를 나타낸 사시도;
도 3은 도 2의 흡입부를 나타낸 단면도; 및
도 4와 도 5는 도 2의 흡입부를 이용한 유리기판의 감지 방법을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 감지장치의 구성을 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 유리기판 감지장치에 있어서 흡입부를 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 2의 흡입부를 나타낸 단면도이다. 또한, 도 4와 도 5는 도 2의 흡입부를 이용한 유리기판의 감지 방법을 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 감지장치는, 유리기판(1)을 이송시키는 이송장치에 유리기판(1)의 상측면에 소정 간격 이격된 상태로 비접촉 구성되어 진공상태 제공시 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 유무에 따라 상이한 양의 외부 공기를 흡입하는 흡입부(110), 상기 흡입부(110)에 진공상태를 제공하는 진공부(120), 상기 흡입부(110)와 진공부(120)의 사이에 구성되어 흡입부(110)에 의해 흡입되는 외부 공기에 따른 흡입부(110) 내부의 진공도 또는 진공부(120)의 에어 압력을 측정하고 상기 진공도 또는 에어 압력의 가변 여부에 따라 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 진공도측정부(130) 및 상기 흡입부(110)와 진공부(120) 사이에 구성되어 상기 흡입부(110)를 통해 흡입된 외부 공기에 포함된 세정액(2)을 외부로 분리시키는 드레인부(140) 등을 포함한다.
여기서, 상기 이송장치는, 유리기판(1)의 제조를 위하여 유리기판(1)의 표면에 기계적 또는 화학적 처리 공정이 수반된 후 세정공정 등을 위하여 유리기판(1)을 다음 장치에 이송시키면서 표면을 세정하는 수단으로, 다수의 롤러와 상기 롤러들을 결합하는 롤러고정부 및 상기 롤러들과 접촉하는 유리기판(1)이 이송되도록 하는 회전구동부 등을 포함하며, 상기 롤러들의 상측면과 하측면에는 유리기판(1)의 표면에 세정액(2)을 분사하는 세정유닛 등이 더 구성되며, 이는 등록특허 10-0471683호 등에 개시된 바 있는, 공지의 구성이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 흡입부(110)는, 이송장치에 유리기판(1)의 상측면에 유리기판(1)에 분사되는 세정액(2)의 두께에 대응되는 간격 만큼 이격 설치되어 유리기판(1)의 세정액(2)이 흡입공(112)을 폐쇄하는 경우와 그렇지 않은 경우에 따라서 서로 다른 진공도를 발생시키는 비접촉 감지수단으로, 유리기판(1)을 이송하는 이송장치에 브라켓(B)을 통해 고정되고 필러파이프(P)를 통해 진공부(120)에 연결되어 진공상태를 제공받는 흡입체(111), 상기 흡입체(111)의 하측부에 형성되고 유리기판(1)의 상측면에 세정액(2)의 두께에 대응되는 간격 만큼 이격된 상태를 가지며 흡입체(111)에 진공상태 제공시 유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 외부 공기를 흡입하여 필러파이프(P)에 공급되도록 하고 유리기판(1)이 이송되는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2)의 두께에 의해 입구가 폐쇄되어 외부 공기가 흡입되지 못하는 상태를 가지는 흡입공(112) 및 상기 흡입체(111)의 일측면 또는 상측면에 상기 흡입공(112)에 연통 가능한 상태로 형성되어 유리기판(1)의 이송 여부와 관계없이 흡입체(111)에 진공상태 제공시 외부 공기를 항상 흡입하여 필러파이프(P)에 공급되도록 하는 압력조절공(113) 등을 포함한다.
즉, 상기 흡입부(110)는, 상기 이송장치를 통하여 공정과 공정 사이의 해당 장치에 연속적으로 공급되어지는 유리기판(1)의 표면에는 상기 세정유닛에 의해 소정의 두께를 가지면서 세정액(2)이 분사된 상태를 가지게 되는 것을 이용하여, 이송장치에 유리기판(1)으로부터 소정 높이 즉, 상기 세정액(2)의 두께에 대응되는 높이에 흡입체(111)의 흡입공(112)이 위치되도록 한 상태에서, 유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 흡입공(112)과 압력조절공(113) 모두를 통하여 외부 공기가 흡입되도록 하고, 유리기판(1)이 이송되는 경우에는 상기 흡입공(112)이 세정액(2)의 두께에 밀착 또는 잠긴 상태를 가짐에 따라 폐쇄되어 압력조절공(113)을 통해서만 외부 공기가 흡입되도록 하여, 필러파이프(P) 내부의 진공도가 가변되도록 할 수 있다.
여기서, 상기 흡입체(111)는 상측과 하측이 개구되고 내부에 중공부를 가지는 원통형상을 가지는 상태에서 상측 개구부에는 필러파이프(P)가 연결되고 하측 개구부는 흡입공(112)의 기능을 가지며 상측 개구부 일측에 중공부와 연통되도록 압력조절공(113)이 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 흡입체(111)는 상측과 하측이 개구되고 상측으로부터 하측을 향해 중공부의 면적이 넓어지는 나팔관을 형상을 가지는 상태에서 상측 개구부에는 필러파이프(P)가 연결되고 하측 개구부는 흡입공(112) 기능을 가지며 일측에 압력조절공(113)이 형성되어도 좋다.
여기서, 상기 압력조절공(113)은, 상기 흡입공(112)이 유리기판(1)의 세정액(2)에 의해 폐쇄되더라도 외부 공기가 흡입되도록 하여 진공부(120)의 과부하를 방지하는 것으로, 상기 흡입공(112)에 비하여 내경이 매우 작도록 형성된다.
이에, 상기 압력조절공(113)에 의하면, 상기 흡입공(112)을 통해 외부 공기가 흡입되지 않더라도 빠르게 외부 공기가 흡입되도록 하여(베르누이의 연속의 정리에 의함), 흡입공(112)을 통해 세정액(2)이 흡입되는 것을 억제하고, 또한, 같은 양의 외부 공기가 흡입되도록 하여 필러파이프(P)가 소정의 진공도를 지속적으로 유지하도록 할 수 있다.
한편, 상기 흡입부(110)는, 상기 흡입공(112)의 단부에 흡입가이드(114)가 더 설치되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 흡입가이드(114)는, 실리콘 재질로 구성되어 흡입공(112)을 통한 외부 공기의 흡입 동작시 강한 진공이 제공되어 유리기판(1)이 흡입공(112)의 단부에 흡착되더라도 유리기판(1)에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 흡입가이드(114)는, 흡입공(112)에 연통되는 몸체의 단부 즉, 세정액(2)에 밀착 또는 접착되는 부위가 소정 각도를 가지면서 경사면(115)을 가지도록 설계되어, 상기 흡입공(112)이 유리기판(1)의 상측면에 비스듬하게 위치되도록 할 수 있고, 이를 통하여, 흡입공(112)에 세정액(2)에 의한 유막이 형성되더라도 중력에 의해 아래로 토출되도록 할 수 있고, 이를 통하여, 세정액(2)이 흡입공(112)을 통해 필러파이프(P)로 공급되는 것을 억제할 수 있다.
여기서, 상기 흡입체(111)는, 상기 흡입공(112)의 단부가 상기 흡입가이드(114)의 경사면(115)과 동일하게 형성되도록 하여, 상기 흡입가이드(114) 없이도, 상기와 같은 효과를 가지는 것이 바람직하다.
따라서 상기 흡입부(110)에 의하면, 이송장치에 유리기판(1)의 상측면에 유리기판(1)에 분사되는 세정액(2)의 두께에 대응되는 간격 만큼 이격 설치된 상태에서 유리기판(1)의 세정액(2)이 흡입공(112)을 폐쇄하는 경우와 그렇지 않은 경우에 따라서 서로 다른 진공도를 발생시킴으로써, 후술된 진공도측정부(130)로 하여금 유리기판(1)에 직접 접촉되지 않은 상태에서도 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 신호가 발생되도록 할 수 있다.
상기 진공부(120)는, 흡입부(110)의 흡입체(111)에 필러파이프(P)를 통해 연결되어 흡입체(111)에 진공상태를 제공하는 것으로, 진공펌프 또는 일측에 필러파이프(P)가 연결되고 필러파이프(P)에 수직하게 유입구와 유출구를 가지는 벤츄리관의 유입구에 압축공기를 유입시키는 진공발생기가 결합되어 유입구에 유입된 압축공기가 유출구를 통해 유출시 필러파이프(P)를 통하여 흡입체(111)에 진공상태가 제공되도록 하는 이젝션 구조를 가지는 것이 바람직하다.
상기 진공도측정부(130)는, 상기 흡입부(110)와 진공부(120)의 사이의 필러파이프(P)에 구성되어 흡입부(110)에 흡입되는 외부 공기에 따른 필러파이프(P) 내부의 진공도를 측정하고 상기 진공도의 가변 여부에 따라 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 유리기판 이송 측정수단으로, 공지의 진공도게이지인 것이 바람직하다.
여기서, 상기 진공도측정부(130)는, 상기 흡입체(111) 또는 필러파이프(P) 내부의 진공도를 지속적으로 측정한다.
즉, 상기 진공도측정부(130)는, 상기 유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 두께에 의해 흡입부(110)의 흡입공(112)이 폐쇄되지 않으므로 상기 압력조절공(113)과 흡입공(112)을 통해서 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 제1진공도로 측정하고, 유리기판(1)이 정상적으로 이송되는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 두께에 의해 흡입부(110)의 흡입공(112)이 폐쇄되므로 상기 압력조절공(113)을 통해서만 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 제2진공도로 측정한다.
이에, 상기 진공도측정부(130)는, 상기 제1진공도와 제2진공도의 측정을 통하여 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 신호를 발생시킬 수 있다.
한편, 상기 진공도측정부(130)는, 상기 흡입부(110)와 진공부(120)의 사이의 필러파이프(P)에 구성되어 흡입부(110)에 흡입되는 외부 공기에 따른 진공부(120)의 에어 압력을 측정하고 상기 에어 압력의 가변 여부에 따라 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 유리기판 이송 측정수단으로, 공지의 압력게이지인 것이 바람직하다.
여기서, 상기 진공도측정부(130)는, 상기 필러파이프(P) 내부에 진공상태를 제공하는 진공부(120)의 에어 압력을 지속적으로 측정한다.
즉, 상기 진공도측정부(130)는, 상기 유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 두께에 의해 흡입부(110)의 흡입공(112)이 폐쇄되지 않으므로 상기 압력조절공(113)과 흡입공(112)을 통해서 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 가질 때의 진공부(120)의 에어 압력을 제1에어압력으로 측정하고, 유리기판(1)이 정상적으로 이송되는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 두께에 의해 흡입부(110)의 흡입공(112)이 폐쇄되므로 상기 압력조절공(113)을 통해서만 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 제2에어압력으로 측정한다.
이에, 상기 진공도측정부(130)는, 상기 제1에어압력과 제2에어압력의 측정을 통하여 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 신호를 발생시킬 수 있다.
예를 들어, 상기 진공도측정부(130)는, 상기 제1진공도를 제공하기 위한 진공부(120)에 설정된 제1에어압력이 0.2Mpa라고 가정할 때, 유리기판(1)이 이송되어 상기 제2진공도가 발생되면 진공부(120)에 설정된 에어 압력은 순간적으로 대략 2.5배 정도의 차이를 가지면서 0.5Mpa로 상승하게 되는데, 이때의 에어 압력의 변화를 제2에어압력으로 측정하여, 이를 유리기판(1)의 유무를 판단하는 신호로 발생시키게 된다.
따라서 상기 진공도측정부(130)에 의하면, 상기 흡입부(110)에 의해 유리기판(1)의 세정액(2)이 흡입공(112)을 폐쇄하는 경우와 그렇지 않은 경우에 발생되는 서로 다른 진공도 또는 에어 압력을 측정하여 유리기판(1)에 접촉되지 않고도 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 신호를 발생시킬 수 있다.
상기 드레인부(140)는, 상기 흡입부(110)와 진공부(120) 사이의 필러파이프(P)에 구성되어 상기 흡입부(110)의 흡입공(112)을 통해 세정액(2)이 흡입되는 경우 이를 외부로 분리시키는 드레인수단으로, 공지의 드레인세퍼레이터인 것이 바람직하다.
따라서 상기 드레인부(140)에 의하면, 흡입부(110)를 통해 세정액(2)이 흡입되어 진공부(120) 또는 진공도측정부(130)가 오동작되는 것을 미연에 방지할 수 있다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 감지장치를 이용한 유리기판 감지방법에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 유리기판(1)은 해당 장치의 처리 공정을 위해서 공정과 공정 사이에 이송장치를 통해 해당 장치로 이송되며, 이때, 유리기판(1)의 표면에는 세정유닛에 의해 세정액(2)이 분사되어 유리기판(1)의 상측면에는 세정액(2)이 소정 두께를 가지게 된다.
이때, 상기 이송장치에 상기와 같이 흡입부(110)의 흡입체(111) 하측면에 형성된 흡입공(112)의 단부가 유리기판(1)의 상측면에 상기 세정액(2)의 두께에 대응되는 간격을 가지며 이격 설치되고 진공부(120)에 의해 진공상태가 제공된다.
이 상태에서, 유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 세정액(2)의 두께에 의해 흡입공(112)이 폐쇄되지 않은 상태를 가지므로 흡입공(112)과 압력조절공(113)을 통해 외부 공기가 흡입되고, 유리기판(1)이 이송되는 경우에는 유리기판(1) 상측면에 분사되는 세정액(2)의 두께에 의해 흡입공(112)이 폐쇄된 상태를 가지므로 압력조절공(113)을 통해서만 외부 공기가 흡입된다.
이후, 진공도측정부(130)에 의해, 상기 흡입부(110)에 흡입되는 외부 공기에 따른 흡입부(110) 내부의 진공도 또는 진공부(120)의 에어 압력이 측정되고 상기 진공도 또는 에어 압력의 가변 여부 즉, 상기 흡입공(112)과 압력조절공(113) 모두를 통해서 외부 공기가 흡입될 때와 상기 흡입공(112)이 폐쇄되고 압력조절공(113)만을 통해서 외부 공기가 흡입될 때에 대응되는 진공도 또는 에어 압력의 가변 여부에 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 신호가 발생된다.
따라서 본 발명에 의하면, 이송장치를 통하여 공정과 공정 사이의 해당 장치에 연속적으로 공급되어지는 유리기판(1)의 표면에는 세정유닛에 의해 소정의 두께를 가지면서 세정액(2)이 분사되는 것을 이용하여, 상기와 같이 흡입부(110)가 유리기판(1)의 상측면에 상기 세정액(2)의 두께에 대응되는 간격을 가지며 이격 설치된 상태에서, 유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 세정액(2)의 두께에 의해 흡입공(112)이 폐쇄되지 않은 상태를 가지므로 흡입공(112)과 압력조절공(113)을 통해 외부 공기가 흡입되도록 하고 유리기판(1)이 이송되는 경우에는 유리기판(1) 상측면에 분사되는 세정액(2)의 두께에 의해 흡입공(112)이 폐쇄된 상태를 가지므로 압력조절공(113)을 통해서만 외부 공기가 흡입되도록 하는 동작을 통하여, 흡입부(110)의 진공도 또는 진공부(120)의 에어 압력 가변을 통하여 유리기판(1)의 이송 유무를 감지할 수 있다.
또한, 트랙 방식의 이송장치에 구성되어 유리기판(1)의 이송 유무 상태를 유리기판(1)과 비접촉한 상태에서 진공 또는 압력 변화를 통해 감지할 수 있어 유리기판(1)의 감지오류와 스크래치를 방지할 수 있다.
상술한 본 발명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시될 수 있다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 청구 범위와 청구 범위의 균등한 것에 의해 정해져야 한다.

Claims (10)

  1. 유리기판(1)을 이송시키는 이송장치에 유리기판(1)의 상측면에 소정 간격 이격된 상태로 비접촉 구성되어 진공상태 제공시 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 유무에 따라 상이한 양의 외부 공기를 흡입하는 흡입부(110);
    상기 흡입부(110)에 진공상태를 제공하는 진공부(120); 및
    상기 흡입부(110)와 진공부(120)의 사이에 구성되어 흡입부(110)에 의해 흡입되는 외부 공기에 따른 흡입부(110) 내부의 진공도 또는 진공부(120)의 에어 압력을 측정하고 상기 진공도 또는 에어 압력의 가변 여부에 따라 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 진공도측정부(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡입부(110)와 진공부(120) 사이에 구성되어 상기 흡입부(110)를 통해 흡입된 외부 공기에 포함된 세정액(2)을 외부로 분리시키는 드레인부(140)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 흡입부(110)는,
    유리기판(1)을 이송하는 이송장치에 브라켓(B)을 통해 고정되고 필러파이프(P)를 통해 진공부(120)에 연결되어 진공상태를 제공받는 흡입체(111);
    상기 흡입체(111)의 하측부에 형성되고 유리기판(1)의 상측면에 세정액(2)의 두께에 대응되는 간격 만큼 이격된 상태를 가지며 흡입체(111)에 진공상태 제공시 유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 외부 공기를 흡입하여 필러파이프(P)에 공급되도록 하고 유리기판(1)이 이송되는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2)의 두께에 의해 입구가 폐쇄되어 외부 공기가 흡입되지 못하는 상태를 가지는 흡입공(112); 및
    상기 흡입체(111)의 일측면 또는 상측면에 상기 흡입공(112)에 연통 가능한 상태로 형성되어 유리기판(1)의 이송 여부와 관계없이 흡입체(111)에 진공상태 제공시 외부 공기를 항상 흡입하여 필러파이프(P)에 공급되도록 하는 압력조절공(113)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 흡입체(111)는,
    상측과 하측이 개구되고 내부에 중공부를 가지는 원통형상을 가지는 상태에서 상측 개구부에는 필러파이프(P)가 연결되고 하측 개구부는 흡입공(112)의 기능을 가지며 상측 개구부 일측에 중공부와 연통되도록 압력조절공(113)이 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 흡입체(111)는,
    상측과 하측이 개구되고 상측으로부터 하측을 향해 중공부의 면적이 넓어지는 나팔관을 형상을 가지는 상태에서 상측 개구부에는 필러파이프(P)가 연결되고 하측 개구부는 흡입공(112) 기능을 가지며 일측에 압력조절공(113)이 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 압력조절공(113)은,
    상기 흡입공(112)에 비하여 내경이 작도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 흡입부(110)는,
    상기 흡입공(112)의 단부에 흡입가이드(114)가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 흡입가이드(114)는,
    상기 세정액(2)에 밀착 또는 접착되는 부위가 소정 각도를 가지면서 경사면(115)을 가지도록 설계되어 상기 흡입공(112)이 유리기판(1)의 상측면에 비스듬하게 위치되도록 하는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  9. 제3항에 있어서, 상기 진공도측정부(130)는,
    유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 두께에 의해 흡입부(110)의 흡입공(112)이 폐쇄되지 않으므로 상기 압력조절공(113)과 흡입공(112)을 통해서 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 제1진공도로 측정하고,
    유리기판(1)이 정상적으로 이송되는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 두께에 의해 흡입부(110)의 흡입공(112)이 폐쇄되므로 상기 압력조절공(113)을 통해서만 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 제2진공도로 측정하며,
    상기 제1진공도와 제2진공도를 통하여 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
  10. 제3항에 있어서, 상기 진공도측정부(130)는,
    유리기판(1)이 이송되지 않는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 두께에 의해 흡입부(110)의 흡입공(112)이 폐쇄되지 않으므로 상기 압력조절공(113)과 흡입공(112)을 통해서 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 가질 때의 진공부(120)의 에어 압력을 제1에어압력으로 측정하고,
    유리기판(1)이 정상적으로 이송되는 경우에는 유리기판(1) 상측면의 세정액(2) 두께에 의해 흡입부(110)의 흡입공(112)이 폐쇄되므로 상기 압력조절공(113)을 통해서만 유입되는 외부 공기에 의한 진공 상태를 제2에어압력으로 측정하며,
    상기 제1에어압력과 제2에어압력을 통하여 유리기판(1)의 이송 유무를 판단하는 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 유리기판 감지장치.
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