KR100771382B1

KR100771382B1 - 기판처리방법 및 그 장치

Info

Publication number: KR100771382B1
Application number: KR1020050059081A
Authority: KR
Inventors: 김준성; 지현
Original assignee: 오성엘에스티(주)
Priority date: 2005-07-01
Filing date: 2005-07-01
Publication date: 2007-10-30
Also published as: KR20070003259A

Abstract

본 발명은 기판처리장치를 제공하기 위한 것으로, 기판이 건조되는 챔버 내에서 기판을 처리하는 장치에 있어서, 기판 적재대 상면에 진공유로가 형성된 1개 이상의 지지핀과; 상기 진공유로와 연결되어 공기의 흡입상태를 감지하는 진공센서로 구성된다.

또한, 본 발명은 기판처리방법을 제공하기 위한 것으로, 상기와 같은 기판처리장치에서, 상기 진공센서를 온 시키 후, 상기 기판을 기판 적재대에 안착시키는 기판 안착단계와; 상기 기판 안착단계 후, 진공센서를 통해 기판이 제대로 안착되었는지를 감지하는 기판 안착상태 감지단계로 이루어진다.

진공센서, 진공유로, 정전기, 도전성, 기판

Description

기판처리방법 및 그 장치{Method for dealing with susbstrates and apparatus thereof}

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 기판처리장치의 개념도,

도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 기판처리장치에서 기판이 안착된 상태를 나타내는 평면도,

도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 기판처리방법의 흐름도이다.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♣

100: 기판 적재대 110: 기판

120: 지지핀 121: 진공유로

130: 진공센서

본 발명은 기판처리방법 및 그 장치에 관한 것으로, 특히 엘시디(LCD, Liquid Crystal Display)나 피디피(PDP, Plasma Display Penel) 등의 기판이 고르게 건조되고, 정전기에 의해 기판이 불량하게 건조되는 것을 방지하기 위한 기판처리방법 및 그 장치에 관한 것이다.

최근들어 정보처리 기기는 다양한 형태와 기능, 더욱 빨라진 정보처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있으며, 이러한 정보처리 장치는 가공된 정보를 표시하는 디스플레이 장치를 필요로 한다. 그러한 디스플레이 장치에 일예로 LCD나 PDP가 사용된다.

일반적으로 LCD나 PDP 패널을 위한 기판의 제조에 있어서, 세척액과 코팅 내에 함유된 용제를 제거하도록 세척 후의 코티의 도포 후에 기판을 건조 및 가열하기 위하여 건조 및 가열단계를 수행하는 것이 필수적이다. 상기의 건조나 가열고정을 수행하기 위해서는 해당 기판을 공정이 행하여지는 챔버(Chamber) 내로 이송시켜 안착시킨 후, 상기의 공정이 이루어진다.

그러나 종래의 기판을 처리하는 장치에서는 별도로 기판의 비정상 안착을 체크하는 장치가 없어서, 기판이 비정상적으로 안착된 경우에도 소정의 공정이 진행되어 기판이 불량하게 처리되는 경우가 종종 발생하며, 이는 생산성 저하 및 원가 상승의 요인이 된다는 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 불완전 안착을 감지할 수 있는 진공센서를 설치하여 기판을 안착상태를 조절하고, 기판 건조 시 생성되는 정전기 발생을 막아 불량기판의 발생을 방지할 수 있는 기판처리방법 및 그 장치를 제공하는데 있다.

본 발명에 따른 기판처리장치는 기판이 건조되는 챔버 내에서 기판을 처리하 는 장치에 있어서, 기판 적재대 상면에 진공유로가 형성된 다수 개의 지지핀과; 상기 진공유로와 연결되어 공기의 흡입상태를 감지하는 진공센서로 구성된다.

그리고, 상기 지지핀은 도전성 물질로 이루어지거나 도전성 물질이 도포된 것이 바람직하다.

또한, 상기 다수 개의 지지핀 중 적어도 1개 이상은 접지되어 있는 것이 바람직하다. 이는 기판 건조처리 과정에서 발생하는 정전기가 기판 불량을 일으키기 때문에 이를 방지하기 위함이다.

또한, 본 발명에 따른 기판처리방법은 상기와 같은 기판처리장치에서, 상기 진공센서를 온 시키 후, 상기 기판을 기판 적재대에 안착시키는 기판 안착단계와; 상기 기판 안착단계 후, 진공센서를 통해 기판이 제대로 안착되었는지를 감지하는 기판 안착상태 감지단계로 이루어진다.

그리고 상기 기판 안착상태 감지단계는 상기 기판의 면적에 해당하는 수만큼의 지지핀에 형성된 진공유로에서 하나라도 공기를 흡입하면 상기 진공센서에서 비정상 안착으로 판단하고, 상기 기판의 면적에 해당하는 수만큼의 지지핀에 형성된 진공유로 전부에서 공기를 흡입하지 못하면 정상 안착으로 판단하는 것을 특징으로 한다. 즉, 기판이 정상적으로 안착되어 있으면 별도의 알림표시가 나타나지 않으며, 비정상적으로 안착되었다고 판단되면 경보음 등의 알림표시로 작업자에 비정상 안착을 알리게 된다. 그러면 작업자는 해당 기판을 제거하거나 기판을 재안착시킨다든지 하는 등의 적절한 조치를 취하게 된다.

또한, 상기 기판 안착상태 감지단계는 상기 기판이 정상적으로 안착될 소정 위치에 해당하는 지지핀에 형성된 진공유로에서 공기를 흡입하면 상기 진공센서에서 비정상 안착으로 판단하고, 상기 기판이 정상적으로 안착될 소정 위치에 해당하는 지지핀에 형성된 진공유로에서 공기를 흡입하지 못하면 정상 안착으로 판단하는 과정으로 기판 안착상태를 감지할 수도 있다. 예를 들어 기판이 정상적으로 안착될 경우 기판의 네모리에 해당하는 지지핀만을 진공유로가 형성된 지지핀으로하여 네모리리에 해당하는 지지핀에 형성된 진공유로에서 중 어느 하나라도 공기를 흡입하면 비정상 안착으로 판단하고, 네모리의 소정 위치에 해당하는 지지핀에 형성된 진공유로에서 모두 공기를 흡입하지 못하면 정상안착으로 판단하는 것이다.

이하, 상기와 같은 본 발명, 기판처리장치의 기술적 사상에 따른 일실시예를 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 기판처리장치의 개념도이다.

이에 도시된 바와 같이, 기판 적재대(100) 상면에 1개 이상의 지지핀(120)이 구비되어 있고, 상기 지지판(120)은 내부 중심에 중공의 형태로 된 진공유로(121)가 형성되어 공기의 흡입상태를 감지하는 진공센서(130)와 연결되어 있다. 그리고 상기 지지핀(120) 위에 기판(110)이 안착된다. 또한, 상기 진공유로(121)를 통하여 공기 흡입되고, 그 흡입상태는 상기 진공유로(121)와 연결된 진공센서(130)를 통해 감지된다.

따라서 상기 기판(110)이 정상적으로 지지핀(120) 위에 안착이 되면, 상기 기판(110)과 상기 다수 개의 지지핀(120)은 완전 접촉이 되어 상기 지지핀(120)에 형성된 진공유로(121)를 통하여 공기가 흡입되지 못하는 상태가 된다. 상기와 같이 기판(110)의 넓이에 해당되는 수만큼의 지지핀(120)에 형성된 진공유로(121) 모두에서 공기가 흡입되지 않는 상태가 정상적 안착상태이다.

반면, 기판(110)이 기울지게 안착되는 등 비정상적 안착이 된 경우는 기판(110)의 넓이에 해당되는 수만큼의 지지핀(120) 중 적어도 하나 이상에서 접촉이 제대로 이루어지지 않아서 적어도 하나 이상의 진공유로(121)에서는 공기가 흡입되는 상태가 된다.

또한, 상술한 바와 같이 기판(110)이 정상적으로 안착될 경우의 소정 위치에 해당하는 지지핀(110)에 형성된 진공유로(121)에서 공기를 흡입하면 상기 진공센서(130)에서 비정상 안착으로 판단하고, 상기 기판(110)이 정상적으로 안착될 소정 위치에 해당하는 지지핀(120)에 형성된 진공유로(121)에서 공기를 흡입하지 못하면 정상 안착으로 판단하는 과정으로 기판 안착상태를 감지할 수도 있다.

상기와 같이 기판(110)이 정상적 안착상태(도 2a)와 비정상적 안착상태(도 2b)를 나타낸 것이 도 2에 도시되어 있다.

한편, 기판(110)의 정상적 안착이 이루어져 건조처리 공정이 수행되는 동안 종종 퓸(fume)이 발생되는데, 상기의 퓸은 정전기에 의해 기판에 달라붙게 되어 불량기판 발생의 원인이 된다. 그리하여 상기의 지지핀(120)을 도전성 물질로 구성하거나, 도전성 물질로 코팅하여 사용하는 것이 바람직하다. 그리고 상기의 다수 개의 지지핀(120) 중 적어도 하나 이상의 지지핀(120)을 접지하여 정전기 발생을 방지할 수 있다.

상기의 도전성 물질을 보통 전도성 고분자를 사용할 수 있다. 그러한 예로는 폴리설파나이트릴(Poly sulfurnitrile), 폴리파이롤(Poly pyrrole), 폴리-피-페닐렌(Poly p-phenylyene), 폴리페닐렌 설파이드(Poly phenylene sulfide), 폴리아닐린(Poly aniline) 등이 있다.

즉, 도전성 물질로 이루어지거나, 도전성 물질로 도포된 지지핀(120)을 접지하여 정전기의 발생을 방지함으로써 상기의 효과를 거둘 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 기판처리방법은 다음과 같은 과정을 통해 수행된다.

이에 도시된 바와 같이, 상기와 같은 기판처리장치를 온(on)시킨 후, 기판(110)을 상기 기판 적재대(100)에 형성된 지지핀(120) 위에 안착시킨다(S10, S20). 기판(110)이 안착되고, 상기 지지핀(120)에 형성된 진공유로(121)를 통해 공기가 흡입되면 상기 진공유로(121)와 연결된 진공센서(130)에서는 공기의 흡입상태를 감지하여 기판(110)이 정상적 안착상태인지 비정상적 안착상태인지를 판별하게 된다(S30).

상기의 과정(S30)을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

우선 기판(110)의 넓이에 해당하는 수만큼의 지지핀(120)에 형성된 진공유로(121)가 작동하여 공기를 흡입한다. 이는 사전에 기판(110)의 넓이를 조사하여 그 넓이에 대응되게 적소에 해당 수의 진공유로(121)를 작동시킨다. 적소란 의미는 기판(110)이 건조처리가 최적의 조건에서 수행되는 위치를 말한다. 상기 적소에서 작동되는 진공유로(121)는 기판(110)이 정상적으로 안착되었으면 상기 해당 수의 진공유로(121) 전부는 공기의 흡입이 일어나지 않는다. 이는 기판(110)과 진공유로 (121)가 접촉되어 공기의 흡입을 막기 때문이다. 이 경우는 상기 진공유로(121)와 연결된 진공센서(130)에서 아무런 표시도 나타나지 않는다. 이는 정상적인 안착을 의미하므로 그 후의 공정을 수행하면 된다.

반면, 상기의 진공유로(121) 중 어느 하나라도 공기의 흡입이 이루어지면 기판(110)의 비정상 안착으로 판단하여 경보음 등의 알림표시를 발생토록 하여 작업자가 알 수 있게 한다.

또한, S30의 과정은 다음과 같이 수행되기도 한다.

상기 기판(110)이 정상적으로 안착될 소정 위치에 해당하는 지지핀(120)에 형성된 진공유로(121)에서 공기를 흡입하면 상기 진공센서(130)에서 비정상 안착으로 판단하고, 상기 기판이 정상적으로 안착될 소정 위치에 해당하는 지지핀(120)에 형성된 진공유로(121)에서 공기를 흡입하지 못하면 정상 안착으로 판단한다. 그리하여 비정상 안착인 경우는 상술한 바와 같이, 경보음 등의 알림표시를 발생토록 하여 작업자가 알 수 있게 한다.

상기 S30의 과정에서 기판(110)이 안착이 비정상적으로 판단되면, 작업자는 진공센서(130)의 알림표시를 통하여 비정상 안착을 알 수 있고, 따라서 작업자는 해당 기판(110)을 제거하거나 재안착시키는 등의 적절한 조치를 취한다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 기판처리방법 및 그 장치는 첫째, 기판의 불완전 안착을 감지할 수 있는 진공센서를 설치하여 기판을 안착상태를 조절함으로써, 기판의 불량발생을 줄일 수 있어 기판의 생산성 향상 및 수율저하 방지, 원가 절감 등의 효과가 있다,

또한, 기판이 안착되는 지지핀을 접지함으로써, 기판 전조 처리 시 발생되는 정전기 발생을 줄임으로써 불량기판을 발생을 줄일 수 있는 효과도 있다.

Claims

삭제
기판이 건조되는 챔버 내에서 기판을 처리하는 장치에 있어서,

기판 적재대 상면에 진공유로가 형성된 1개 이상의 지지핀과;

상기 진공유로와 연결되어 공기의 흡입상태를 감지하는 진공센서로 이루어지며, 상기 지지핀은 도전성 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리장치

상기 지지핀은 도전성 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제2항에 있어서,

기판이 건조되는 챔버 내에서 기판을 처리하는 장치에 있어서,

기판 적재대 상면에 진공유로가 형성된 1개 이상의 지지핀과;

상기 진공유로와 연결되어 공기의 흡입상태를 감지하는 진공센서로 이루어지며, 상기 지지핀은 도전성 물질로 도포된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제2항 또는 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 지지핀 중 적어도 1개 이상은 접지되어 있는 것을 특징으로 기판처리장치.
삭제
제2항 내지 제3항 중 어느 한 항에서와 같은 기판처리장치에서 상기 진공센서를 온 시킨 후, 상기 기판을 기판 적재대에 안착시키는 기판 안착단계와;

상기 기판 안착단계 후, 진공센서를 통해 기판이 제대로 안착되었는지를 감지하는 기판 안착상태 감지단계로 이루어지며,

상기 기판 안착상태 감지단계는 상기 기판의 면적에 해당하는 수만큼의 지지핀에 형성된 진공유로에서 하나라도 공기를 흡입하면 상기 진공센서에서 비정상 안착으로 판단하고, 상기 기판의 면적에 해당하는 수만큼의 지지핀에 형성된 진공유로 전부에서 공기를 흡입하지 못하면 정상 안착으로 판단하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
제2항 내지 제3항 중 어느 한 항에서와 같은 기판처리장치에서 상기 진공센서를 온 시킨 후, 상기 기판을 기판 적재대에 안착시키는 기판 안착단계와;

상기 기판 안착단계 후, 진공센서를 통해 기판이 제대로 안착되었는지를 감지하는 기판 안착상태 감지단계로 이루어지며,

상기 기판 안착상태 감지단계는 상기 기판이 정상적으로 안착될 소정 위치에 해당하는 지지핀에 형성된 진공유로에서 공기를 흡입하면 상기 진공센서에서 비정상 안착으로 판단하고, 상기 기판이 정상적으로 안착될 소정 위치에 해당하는 지지핀에 형성된 진공유로에서 공기를 흡입하지 못하면 정상 안착으로 판단하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.