KR102435392B1 - 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치 - Google Patents

반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고정베이스 상에 검수 지그를 고정하여 가스 공급라인의 고정리브를 플랜지의 기준리브에 위치시켜 가스 공급라인의 정확도를 검사하므로 반도체 제조장비의 가스 유입라인에 고정시 가스 누출의 위험을 미연에 방지할 수 있는 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치에 관한 것이다.

Description

반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치{Gas line inspection device for semiconductor manufacturing equipment}
본 발명은 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가스 공급라인의 정확도를 검사하는 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 생산하는 공정은 노광, 식각, 확산, 증착 등의 공정을 선택적으로 수행하는 일련의 과정에 의해서 이루어지고, 웨이퍼의 표면에 형성된 패턴은 포토레지스트 패턴을 이용하여 필요한 부분만 남기고 박막의 일부를 식각 공정으로 제거하여 형성한다.
반도체 소자의 집적도가 증가함에 따라 미세한 패턴을 형성하기에 유리한 이방성 특성을 나타내는 건식 식각(dry etching)이 주로 이용된다. 상기 건식 식각은 공정챔버 내에 공정가스로 사용되는 반응 가스를 주입하고 고주파 전력을 인가하여 플라스마 상태를 형성하고, 상기 반응 가스로부터 이온을 발생시켜 상기 박막을 식각하는 것이다.
이렇게 상기 공정챔버에 순도가 높은 공정가스를 공급하기 위하여 반도체 제조 장비용 가스 공급 라인이 사용되고 있다.
그런데 반도체 제조 장비용 가스 공급 라인에서 공정챔버에 공정가스를 공급하기 위해서 가스 공급라인이 연결되는데 상기 가스 공급라인을 연결하는 부분에 일반적으로 금속의 파이프를 사용한다.
상기 가스 공급라인은 연결되는 라인의 위치가 다르기 때문에 일정 각도로 절곡되어 형성되는 것이 일반적이며, 가스 공급라인의 플랜지 단부와 공정챔버의 공급라인의 단부가 정확하게 맞아야 한다.
그러나, 상기와 같이 금속재질의 파이프는 제작되는 과정에서 각도가 미세하게 더 굽혀지거나 덜 굽혀지면서 소정의 오차가 발생하게 되며, 일거한 오차를 바로 잡지 않은 상태에서 가스 공급라인을 설치하게 되면 유해 가스가 누설되어 생산라인에 경보신호가 발생하여 모든 생산공정이 멈추게 되어 그 피해는 매우 커지게 된다.
대힌민국 공개특허공보 제10-2006-0111192호(2006.10.26. A)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 고정베이스 상에 검수 지그를 고정하여 가스 공급라인의 고정리브를 플랜지의 기준리브에 위치시켜 가스 공급라인의 정확도를 검사하므로 반도체 제조장비의 가스 유입라인에 고정시 가스 누출의 위험을 미연에 방지할 수 있는 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치를 제공함에 있다.
본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치는, 바닥면에 안착되며 일정 간격으로 고정공이 형성되는 고정베이스; 상기 고정베이스의 고정공에 가스 공급라인의 길이 또는 절곡상태에 따라 선택적으로 고정되는 검수 지그; 상기 검수 지그의 상부에 고정되어 가스 공급라인의 고정리브와 밀착되어 정확도를 검사하는 플랜지; 일정 길이로 절곡 형성되어 반도체 제조 방비의 가스 유입라인에 연결되며 양측 단부에 고정리브가 형성되는 가스 공급라인을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 검수 지그는, 상기 고정공에 볼트체결에 의해 고정되는 고정판; 상기 고정판의 상부에는 절곡된 상태의 가스 공급라인을 수용할 수 있도록 일정 높이로 연장되어 일체로 형성되는 수직판; 상기 수직판의 상단부에 관통형성되어 플랜지를 고정하는 고정공; 상기 수직판의 후방에 수직으로 고정되어 수직판의 변형을 방지하는 보강판을 포함하고, 상기 플랜지는, 상기 수직판의 일측면에 밀착되는 몸체; 상기 몸체의 후방에 형성되어 고정공과 일치되는 고정홀; 상기 몸체의 전방에 고정리브의 외경과 동일하도록 외향으로 확장되는 기준리브를 포함하며, 상기 기준리브와 고정리브 사이에 형성되어 가스 공급라인의 정확도 측정시 고정리브가 기준리브의 표면에 접촉되지 않게 하여 손상을 방지하는 고무링이 더 구비된다.
상기 고정공은, 상기 가스 공급라인의 절곡상태에 따라 플랜지를 선택적으로 고정하도록 일정 높이 간격으로 관통 형성된다.
상기 검수 지그에 고정된 플랜지와 상기 가스 공급라인의 양측 단부에 형성된 고정리브에 고정되어 상기 가스 공급라인의 정확도를 측정하는 측정 클램프가 더 구비되고, 상기 측정 클램프는, 상단 클램프; 상기 상단 클램프의 상부에 힌지축에 의해 회전 가능하게 결합되는 하단 클램프; 상기 상,하단 클램프의 내측에 형성되어 플랜지의 기준리브와 가스 공급라인의 고정리브를 수용하는 수용공간; 상기 상,하단 클램프를 고정하는 고정수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 플랜지의 외주면에 외향으로 적어도 하나 이상 돌출형성되어 가스 공급라인의 정확도를 검사하는 검사 확인부가 더 구비되며, 상기 검사 확인부는, 상기 플랜지의 외경으로부터 외향으로 1mm 벗어난 위치에 형성된다.
본 발명에 의하면, 고정베이스 상에 검수 지그를 고정하여 가스 공급라인의 고정리브를 플랜지의 기준리브에 위치시켜 가스 공급라인의 정확도를 검사하므로 반도체 제조장비의 가스 유입라인에 고정시 가스 누출의 위험을 미연에 방지할 수 있어 안전성을 향상시키는 효과가 있는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치의 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치의 평면구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 검수 지그를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 검수 지그에 플랜지가 고정된 상태의 평단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 플랜지와 가스 공급라인 사이에 고무링이 위치한 상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 플랜지와 가스 공급라인을 측정 클램프로 고정하는 상태도이다.
도 7은 본 발명에 따른 플랜지의 단부에 검사 확인부가 구비된 상태도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 다양한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에 기재된 실시 예는 다양하게 변형될 수 있다. 특정한 실시예가 도면에서 묘사되고 상세한 설명에서 자세하게 설명될 수 있다. 그러나 첨부된 도면에 개시된 특정한 실시 예는 다양한 실시 예를 쉽게 이해하도록 하기 위한 것일 뿐이다. 따라서 첨부된 도면에 개시된 특정 실시 예에 의해 기술적 사상이 제한되는 것은 아니며, 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 균등물 또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성요소들은 상술한 용어에 의해 한정되지는 않는다. 상술한 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 명세서에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
한편, 본 명세서에서 사용되는 구성요소에 대한 "모듈" 또는 "부"는 적어도 하나의 기능 또는 동작을 수행한다. 그리고 "모듈" 또는 "부"는 하드웨어, 소프트웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합에 의해 기능 또는 동작을 수행할 수 있다. 또한, 특정 하드웨어에서 수행되어야 하거나 적어도 하나의 프로세서에서 수행되는 "모듈" 또는 "부"를 제외한 복수의 "모듈들" 또는 복수의 "부들"은 적어도 하나의 모듈로 통합될 수도 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
그 밖에도, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치의 전체 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치의 평면구성도이다.
본 발명 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치는, 바닥면에 안착되며 일정 간격으로 고정공(110)이 형성되는 고정베이스(100); 상기 고정베이스(100)의 고정공(110)에 가스 공급라인(400)의 길이 또는 절곡상태에 따라 선택적으로 고정되는 검수 지그(200); 상기 검수 지그(200)의 상부에 고정되어 가스 공급라인(400)의 고정리브(410)와 밀착되어 정확도를 검사하는 플랜지(300); 일정 길이로 절곡 형성되어 반도체 제조 방비의 가스 유입라인에 연결되며 양측 단부에 고정리브(410)가 형성되는 가스 공급라인(400)을 포함한다.
상기 고정베이스(100)는 바닥면으로부터 일정 높이 이격되게 설치되며, 상기 검수 지그(200)가 고정되도록 일정 간격을 유지하도록 격자형의 고정공(110)이 관통 형성된다.
상기 고정공(110)은 미리 설정된 가스 공급라인(400)의 규격에 따라 검수 지그(200)가 선택적으로 고정될 수 있는 조건을 가진다.
상기 검수 지그(200)는, 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 고정베이스(100)에 형성된 고정공(110)에 안착되어 볼트체결에 의해 고정되는 고정판(210)이 구비된다.
상기 고정판(210)의 상부에 수직으로 연장되어 일체로 형성되는 수직판(220)이 구비되며, 상기 수직판(220)의 높이는 가스 공급라인(400) 단부의 절곡되는 상태에 따라 달라지는 높이를 모두 수용할 수 있어야 한다.
상기 수직판(220)의 상단부에는 플랜지(300)를 고정할 수 있는 고정공(230)이 관통 형성되며, 상기 고정공(230)은 플랜지(300)가 선택적으로 고정될 수 있도록 일정 높이 간격으로 관통형성된다.
상기 수직판(220)의 후방에는 보강판(240)이 수직으로 고정되어 수직판(220)의 흔들림 및 변형을 방지하게 된다.
또한, 상기 플랜지(300)는 검수 지그(200)에 고정되는 것으로, 상기 수직판(220)의 일측면에 밀착되는 몸체(310)가 구비된다.
상기 몸체(310)의 후방 중앙부에는 탭가공되어 있는 고정홀(320)이 형성된다.
상기 몸체(310)의 전방에는 가스 공급라인(400)의 고정리브(401)의 외경과 동일하도록 기준리브(330)가 확장 형성된다.
상기 가스 공급라인(400)은 일정 직경의 파이프로서, 내부에 가스가 공급되는 유로가 형성되어 있다.
상기 가스 공급라인(400)의 양측 단부는 플랜지(300)의 기준리브(330)의 직경과 동일한 직경의 고정리브(410)가 확장 형성된다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 기준리브(330)와 고정리브(410) 사이에는 고무링(500)이 장착된다.
상기와 같이 고무링(500)이 장착됨으로써 가스 공급라인(400)의 정확도 측정시 고정리브(410)가 기준리브(330)의 표면에 접촉되지 않게 하여 가스 공급라인(400)의 손상을 방지하게 된다.
또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 플랜지(300)의 기준리브(330)와 상기 가스 공급라인(400)의 양측 단부에 형성된 고정리브(410)에 고정되어 상기 가스 공급라인(400)의 정확도를 측정하는 측정 클램프(600)가 더 구비될 수 있다.
상기 측정 클램프(600)는, 상단 클램프(610)와 하단 클램프(620)로 이루어져 기준리브(330)와 고정리브(410)를 수용하면서 플랜지(300)와 가스 공급라인(400)을 고정하게 된다.
상기 측정 클램프(600)를 통해 기준리브(330)와 고정리브(410)를 수용하여 고정하게 되면 정확도 검사에 있어서 정상범주로 인식할 수 있고, 상기 측정 클램프(600)를 통해 기준리브(330)와 고정리브(410)를 고정할 수 없으면 오차범위를 벗어나 불량으로 인식할 수 있다.
또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 플랜지(300)의 외주면에 외향으로 적어도 하나 이상 돌출형성되어 가스 공급라인(400)의 정확도를 검사하는 검사 확인부(700)가 더 구비될 수 있다.
상기 검사 확인부(700)는 플랜지(300)의 기준리브(330)의 외주면에 고정되어 외향으로 0.5~1mm의 길이로 연장되며, 가스 공급라인(400)의 고정리브(110)를 플랜지(300)의 기준리브(330)측으로 위치시킬 때, 고정리브(110)의 단부가 검사 확인부(700)에 접촉되면 불량으로 인식되고, 고정리브(110)가 검사 확인부(700)에 접촉되지 않으면 정상범위로 인식하게 된다.
즉, 본 발명은 고정베이스(100) 상에 검수 지그(200)를 고정하여 가스 공급라인(400)의 고정리브(410)를 플랜지(300)의 기준리브(330)에 위치시켜 가스 공급라인(400)의 정확도를 검사하여 반도체 제조장비의 가스 유입라인에 고정시 가스 누출의 위험을 미연에 방지할 수 있는 것이다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 될 것이다.
100: 고정베이스
200: 검수지그
210: 고정판
220: 수직판
230: 고정공
240: 보강판
300: 플랜지
310: 몸체
320: 고정홀
330: 기준리브
400: 가스 공급라인
500: 고무링
600: 측정 클램프
610: 상단 클램프
620: 하단 클램프
640: 고정수단
700: 검사 확인부

Claims (5)

  1. 바닥면에 안착되며 일정 간격으로 고정공(110)이 형성되는 고정베이스(100);
    상기 고정베이스(100)의 고정공(110)에 가스 공급라인(400)의 길이 또는 절곡상태에 따라 선택적으로 고정되는 검수 지그(200);
    상기 검수 지그(200)의 상부에 고정되어 가스 공급라인(400)의 고정리브(410)와 밀착되어 가스 공급라인(400)의 길이 또는 절곡상태의 정확도를 검사하는 플랜지(300);
    일정 길이로 절곡 형성되어 반도체 제조 방비의 가스 유입라인에 연결되며 양측 단부에 고정리브(410)가 형성되는 가스 공급라인(400)을 포함하며,
    상기 검수 지그(200)는,
    상기 고정공(110)에 볼트체결에 의해 고정되는 고정판(210);
    상기 고정판(210)의 상부에는 절곡된 상태의 가스 공급라인(400)을 수용할 수 있도록 일정 높이로 연장되어 일체로 형성되는 수직판(220);
    상기 수직판(220)에 관통형성되어 플랜지(300)를 고정하는 고정공(230);
    상기 수직판(220)의 후방에 수직으로 고정되어 수직판(220)의 변형을 방지하는 보강판(240)을 포함하고,
    상기 플랜지(300)는,
    상기 수직판(220)의 일측면에 밀착되는 몸체(310);
    상기 몸체(310)의 후방에 형성되어 고정공(230)과 일치되는 고정홀(320);
    상기 몸체(310)의 전방에 고정리브(410)의 외경과 동일하도록 외향으로 확장되는 기준리브(330)를 포함하며,
    상기 기준리브(330)와 고정리브(410) 사이에 장착되어 가스 공급라인(400)의 정확도 측정시 고정리브(410)가 기준리브(330)의 표면에 접촉되지 않게 하여 손상을 방지하는 고무링(500)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정공(230)은,
    상기 가스 공급라인(400)의 절곡상태에 따라 플랜지(300)를 선택적으로 고정하도록 일정 높이 간격으로 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 검수 지그(200)에 고정된 플랜지(300)와 상기 가스 공급라인(400)의 양측 단부에 형성된 고정리브(410)에 고정되어 상기 가스 공급라인(400)의 정확도를 측정하는 측정 클램프(600)가 더 구비되고,
    상기 측정 클램프(600)는,
    상단 클램프(610);
    상기 상단 클램프(610)의 상부에 힌지축에 의해 회전 가능하게 결합되는 하단 클램프(620);
    상기 상,하단 클램프(610)(620)의 내측에 형성되어 플랜지(300)의 기준리브(330)와 가스 공급라인(400)의 고정리브(410)를 수용하는 수용공간;
    상기 상,하단 클램프(610)(620)를 고정하는 고정수단(640)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 플랜지(300)의 외주면에 외향으로 적어도 하나 이상 돌출형성되어 가스 공급라인(400)의 정확도를 검사하는 검사 확인부(700)가 더 구비되며,
    상기 검사 확인부(700)는, 상기 플랜지(300)의 외경으로부터 외향으로 1mm 벗어난 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 가스 공급라인 검사장치.
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