KR101978736B1 - 대상체 들뜸 방지용 정전척 - Google Patents
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Abstract
대상체 들뜸 방지용 정전척이 개시된다.
개시되는 대상체 들뜸 방지용 정전척은 챔버 내에 설치되어 대상체가 올려지는 정천척에 있어서, 상기 대상체가 얹혀지는 척 몸체; 상기 척 몸체 상단부의 에어가 흡입되는 에어 흡입관; 및 상기 에어 흡입관에 잔류된 잔류 에어를 그 외부로 통풍시켜 상기 척 몸체의 상단부로 상기 잔류 에어가 배출되는 것을 방지하는 잔류 처리 밸브;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 대상체 들뜸 방지용 정전척에 의하면, 흡입관의 잔류 에어가 정전척의 상면으로 배출되지 않으면서도 처리될 수 있어 정전척 상면에 얹혀진 대상체의 들뜸 현상이 방지되는 장점이 있다.
개시되는 대상체 들뜸 방지용 정전척은 챔버 내에 설치되어 대상체가 올려지는 정천척에 있어서, 상기 대상체가 얹혀지는 척 몸체; 상기 척 몸체 상단부의 에어가 흡입되는 에어 흡입관; 및 상기 에어 흡입관에 잔류된 잔류 에어를 그 외부로 통풍시켜 상기 척 몸체의 상단부로 상기 잔류 에어가 배출되는 것을 방지하는 잔류 처리 밸브;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 대상체 들뜸 방지용 정전척에 의하면, 흡입관의 잔류 에어가 정전척의 상면으로 배출되지 않으면서도 처리될 수 있어 정전척 상면에 얹혀진 대상체의 들뜸 현상이 방지되는 장점이 있다.
Description
본 발명은 대상체 들뜸 방지용 정전척에 관한 것이다.
정전척(ESC, Electro Static Chuck)이란, 정전기력(Electrostatic force)을 이용하여 디스플레이 패널, 웨이퍼와 같은 대상체를 고정하는 장치로, 종래의 기계적인 척에서의 웨이퍼와 클램프 집게의 접촉에 의한 입자 오염에 대한 문제가 없고, 환경에 구애받지 않아 현재 제조공정에서 많이 적용되고 있다.
이러한 정전척의 예로 제시될 수 있는 것이 아래에 제시된 특허문헌의 그 것들이다.
종래의 정전척을 포함한 아래의 특허문헌을 살펴보면, 정전척에 디스플레이 패널, 웨이퍼와 같은 대상체를 흡착 고정시킨다. 여기서 대상체가 정전척 상면에 흡착되도록 정전척 상면의 에어를 강하게 흡입하는 별도의 흡입관이 정전척에 형성되어 있다.
이러한 정전척을 사용하여 디스플레이 패널의 레이어(Layer) 합착 공정을 진행할 경우, 정전척이 상하로 존재하고 기포 발생 방지를 위해 챔버 내부가 진공인 진공 챔버 내에서 그 공정이 수행된다.
자세히, 상기 디스플레이 패널의 레이어(Layer) 합착 공정은 필름과 그 필름이 합착될 대상체를 상하 정전척에 각각 얼라인 시키고, 상기 필름에 붙은 보호필름과 상기 대상체에 붙은 보호필름을 제거한다. 그러나, 정전척의 정전기력으로는 상기 필름 또는 상기 대상체의 보호필름이 박리될 때 가해지는 힘을 견딜 수 없어 상기 흡입관의 흡입을 이용하여 정전척에서 상기 필름 또는 상기 대상체를 흡착 고정시킨다. 그런다음 챔버 내부를 진공 환경으로 조성할 때, 상기 흡입관의 기압과 상기 챔버 내의 기압의 차이가 발생한다. 이때, 상기 흡입관 내에 잔류된 에어에 의해 상기 진공 챔버의 기압보다 상기 흡입관 내의 기압이 더 높아지면 상기 흡입관 내부의 압력 팽창이 발생한다. 그러면 압력 팽창에 의해 흡입관 내에 잔류된 에어가 정전척의 상면에서 그 외부로 배출되려하면서 정전척의 상면에 흡착된 대상체나 필름이 뒤틀리는 문제가 발생되었다.
다시 말해, 흡입관에서 정전척 상면의 에어를 흡입하여 대상체가 흡착 고정된 상태에서 이후의 공정을 위해 챔버 내부를 진공 상태로 만들면, 흡입관에 에어가 잔류된다. 여기서, 흡입관의 잔류 에어가 상대적으로 기압이 낮아진 진공 상태의 챔버 내부 공간으로 이동하려 한다. 여기서, 이러한 잔류 에어가 정전척의 상면으로 배출되면서 대상체가 들뜨게 된다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 종래에는 흡입관에 잔류 에어가 배출될 수 있는 체크밸브를 달아 잔류 에어의 팽창력으로 체크밸브 내의 용수철을 수축시켜 잔류 에어가 체크밸브를 통해 흡입관 외부로 배출되도록 하였다. 그러나 체크밸브의 특성상, 잔류 에어의 팽창력이 그 내부에 형성된 용수철을 수축될 수 있는 임계값 이하일 경우, 용수철이 수축되지 않아 이 역시, 잔류 에어가 체크밸브를 통하여 흡입관 외부로 배출되지 못하는 단점이 있었고 이어서 잔류 에어가 정전척의 상면으로 배출되면서 대상체가 들뜨게 하는 문제를 다시 발생시켰다.
본 발명은 흡입관의 잔류 에어가 정전척의 상면으로 배출되지 않으면서도 처리될 수 있어 정전척 상면에 얹혀진 대상체의 들뜸 현상이 방지되는 대상체 들뜸 방지용 정전척을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척은 챔버 내에 설치되어 대상체가 올려지는 정천척에 있어서, 상기 대상체가 얹혀지는 척 몸체; 상기 척 몸체 상단부의 에어가 흡입되는 에어 흡입관; 및 상기 에어 흡입관에 잔류된 잔류 에어를 그 외부로 통풍시켜 상기 척 몸체의 상단부로 상기 잔류 에어가 배출되는 것을 방지하는 잔류 처리 밸브;를 포함하고, 상기 잔류 처리 밸브는 밸브 몸체와, 상기 밸브 몸체 내부에 삽입되되 상기 잔류 에어에 의해 밀려나갈 수 있는 밸브 볼과, 상기 밸브 몸체와 상기 척 몸체를 연결하고 상기 밸브 볼을 향해 상기 잔류 에어가 유동되도록 그 내부에 유동관이 형성된 연결체와, 상기 밸브 볼이 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 밀려나가 상기 밸브 몸체 내로 상기 잔류 에어가 유입되었을 때, 상기 잔류 에어가 상기 밸브 몸체 외부로 토출되도록 관통 형성된 통풍구와, 상기 통풍구를 통해 상기 잔류 처리 밸브 외부의 에어가 주입되지 않도록 하되 상기 통풍구를 통해 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어가 상기 밸브 몸체 외부로 방출될 수 있도록 하는 막음 부재와, 상기 밸브 볼을 중심으로 상기 연결체가 결합되는 측의 반대쪽에서 상기 밸브 몸체의 내부가 챔버 내부와 연통되도록 형성된 유입홀과, 상기 유동관의 상기 잔류 에어가 상기 유입홀의 모서리 부분에서 토출될 수 있도록 형성된 마모 방지 노즐을 포함하고, 상기 막음 부재는 자중에 의해 상기 통풍구의 개방된 부분을 막아주거나 상기 잔류 에어에 의해 들뜰 수 있는 막음 조절볼과, 상기 막음 조절볼이 내장되어 상기 막음 조절볼이 그 내부에서 수직 이동 가능하도록 내부가 빈 막음 몸체와, 상기 막음 조절볼이 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 들떴을 때, 상기 막음 몸체 내의 상기 잔류 에어가 상기 막음 몸체 외부로 토출되도록 형성된 막음 토출구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척에 의하면, 챔버 내에 설치되어 대상체가 올려지는 정천척에 있어서, 상기 대상체가 얹혀지는 척 몸체; 상기 척 몸체 상단부의 에어가 흡입되는 에어 흡입관; 및 상기 에어 흡입관에 잔류된 잔류 에어를 그 외부로 통풍시켜 상기 척 몸체의 상단부로 상기 잔류 에어가 배출되는 것을 방지하는 잔류 처리 밸브;를 포함하므로, 흡입관의 잔류 에어가 정전척의 상면으로 배출되지 않으면서도 처리될 수 있어 정전척 상면에 얹혀진 대상체의 들뜸 현상이 방지되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내부에 상단 정전척 및 대상체 들뜸 방지용 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내의 대상체 들뜸 방지용 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척의 상면에 대상체가 얹혀진 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 잔류 처리 밸브의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 벨브 볼이 잔류 유동관의 밸브 몸체측 개방된 부분을 막고 있는 모습을 보이는 도면.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 밸브 볼이 챔버측 개방홀 쪽으로 이동되어 잔류 에어가 통풍구를 통해 배출될 수 있는 모습을 보이는 도면.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재를 포함하는 대상체 들뜸 방지용 정전척을 정면에서 바라본 도면.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재가 일측 기울기 센서를 감지하고 타측 기울기 감지 부재가 타측 기울기 센서를 감지하여 척 몸체의 기울어진 정도를 측정하는 것을 나타낸 도면.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기울어진 척 몸체의 기울어진 정도를 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재가 측정하는 것을 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 잔류 처리 밸브의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 11은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 에어 흡입관에서 척 몸체 상단의 에어를 흡입하면서 벨브 볼이 밀착면에 밀착되어 잔류 유동관의 밸브 몸체측 개방된 부분을 막고, 막음 조절볼이 자중에 의해 통풍구의 개방된 부분을 막고 있는 모습을 보이는 도면.
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 에어 흡입관의 잔류 에어가 팽창되어 벨브 볼이 챔버측 개방홀 쪽으로 이동되고, 막음 조절볼이 통풍구의 개방된 부분에서 들떠 잔류 에어가 통풍구를 지나 막음 토출구를 통해 배출될 수 있는 모습을 보이는 도면.
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 도 12의 A에 대한 확대도.
도 14는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 챔버 내에 설치된 대상체 들뜸 방지용 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 15는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 일측 균형 부재 및 타측 균형 부재가 작동된 모습을 나타낸 도면.
도 16은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 일측 균형 부재 및 타측 균형 부재가 기울어진 대상체에 대한 거리를 각각 측정하는 모습을 나타낸 도면.
도 17은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 도 15의 B에 대한 확대도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내의 대상체 들뜸 방지용 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척의 상면에 대상체가 얹혀진 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 잔류 처리 밸브의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 벨브 볼이 잔류 유동관의 밸브 몸체측 개방된 부분을 막고 있는 모습을 보이는 도면.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 밸브 볼이 챔버측 개방홀 쪽으로 이동되어 잔류 에어가 통풍구를 통해 배출될 수 있는 모습을 보이는 도면.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재를 포함하는 대상체 들뜸 방지용 정전척을 정면에서 바라본 도면.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재가 일측 기울기 센서를 감지하고 타측 기울기 감지 부재가 타측 기울기 센서를 감지하여 척 몸체의 기울어진 정도를 측정하는 것을 나타낸 도면.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기울어진 척 몸체의 기울어진 정도를 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재가 측정하는 것을 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 잔류 처리 밸브의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 11은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 에어 흡입관에서 척 몸체 상단의 에어를 흡입하면서 벨브 볼이 밀착면에 밀착되어 잔류 유동관의 밸브 몸체측 개방된 부분을 막고, 막음 조절볼이 자중에 의해 통풍구의 개방된 부분을 막고 있는 모습을 보이는 도면.
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 에어 흡입관의 잔류 에어가 팽창되어 벨브 볼이 챔버측 개방홀 쪽으로 이동되고, 막음 조절볼이 통풍구의 개방된 부분에서 들떠 잔류 에어가 통풍구를 지나 막음 토출구를 통해 배출될 수 있는 모습을 보이는 도면.
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 도 12의 A에 대한 확대도.
도 14는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 챔버 내에 설치된 대상체 들뜸 방지용 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 15는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 일측 균형 부재 및 타측 균형 부재가 작동된 모습을 나타낸 도면.
도 16은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 일측 균형 부재 및 타측 균형 부재가 기울어진 대상체에 대한 거리를 각각 측정하는 모습을 나타낸 도면.
도 17은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 도 15의 B에 대한 확대도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내부에 상단 정전척 및 대상체 들뜸 방지용 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내의 대상체 들뜸 방지용 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척의 상면에 대상체가 얹혀진 모습을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 잔류 처리 밸브의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 벨브 볼이 잔류 유동관의 밸브 몸체측 개방된 부분을 막고 있는 모습을 보이는 도면이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 밸브 볼이 챔버측 개방홀 쪽으로 이동되어 잔류 에어가 통풍구를 통해 배출될 수 있는 모습을 보이는 도면이다.
도 1 내지 도 6을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척(100)은 챔버(10) 내에 설치되어 대상체(20)가 올려지는 정천척으로, 척 몸체(110)와, 에어 흡입관(130)과, 잔류 처리 밸브(120)를 포함한다.
상기 대상체(20)는 상기 척 몸체(110)의 상면(114)에 얹혀져 공정이 진행되는 것으로, 상기 챔버(10) 내에 설치된 상단 정전척(50)의 합착체(40)와 합착 공정을 통해 합착되며 예를 들어 웨이퍼나 디스플레이 패널로 제공될 수 있다.
여기서, 상기 합착 공정이란, 상기 상단 정전척(50)의 정전력에 의해 상기 대상체를 향해 상기 정전척(50)에 흡착된 상기 합착체(40)와 상기 대상체(20)가 척 몸체(110) 또는 상기 상단 정전척(50)의 상하 이동에 의해 서로 합착되는 것을 말한다.
상기 합착체(40)는 예를 들어, 상기 대상체(20)에 부착될 부착 필름으로 제공될 수 있다.
상기 척 몸체(110)는 그 상면(114)에 상기 대상체(20)가 얹혀지는 것으로, 바람직하게는 상기 대상체(20)보다 넓게 형성되어 상기 대상체(20)를 안전하게 받쳐준다.
상기 척 몸체(110)에는 후술 설명될 상기 에어 흡입관(130)으로 상기 척 몸체(110) 상단 공간의 에어를 유동시키는 복수 개의 흡입 홀(114)이 서로 이격된 채 형성되어 있다.
상기 흡입 홀(114)은 상기 상면(114)에서 상기 에어 흡입관(130)으로 연통되어 있으며, 상기 상면(114)의 개방된 부분에서 상기 에어가 흡입되어 상기 에어 흡입관(130)으로 유동된다.
상기 에어 흡입관(130)은 상기 척 몸체(110) 상단부의 상기 에어가 흡입되어 유동되는 것으로, 도 2에 도시된 바와 같이 복수 개의 상기 흡입 홀(114)과 연통되어있어 상기 에어 흡입관(130)에서 상기 에어가 흡입될 때, 척 몸체(110) 상단부의 상기 에어가 상기 흡입 홀(114)의 개방된 부분으로 유입되어 상기 에어 흡입관(130)으로 유동될 수 있다.
여기서, 상기 에어 흡입관(130)을 통해 상기 에어를 흡입시키는 장치는 상기 에어 흡입관(130)과 연결되되 챔버 내부(11) 또는 외부에 구비되어 상기 에어를 흡입하는 것으로, 예를 들어 고압의 에어 흡입이 가능한 에어 컴프레서와 같은 흡입기(미도시)로 제공될 수 있다.
상기 잔류 처리 밸브(120)는 상기 에어 흡입관(130)에 잔류된 잔류 에어를 그 외부로 통풍시켜 상기 척 몸체(110)의 상단부로 상기 잔류 에어가 배출되는 것을 방지하는 것으로, 밸브 몸체(123)와, 밸브 볼(121)과, 연결체(124)와, 통풍구(126)와, 유입홀(122)을 포함한다.
상기 밸브 몸체(123)는 상기 밸브 볼(121)이 그 내부 공간에서 이동될 수 있도록 내부가 빈 것으로, 후술 설명될 상기 연결체(124)와 결합된다.
이러한 상기 밸브 몸체(123)는 상기 밸브 볼(121)과 마찰에 의해 마모되는 것이 방지되도록 테프론(Teflon), 아세탈(acetal), 메탈(metal), 또는 다른 수지 재질로 형성될 수 있다.
상기 밸브 볼(121)은 상기 밸브 몸체(123) 내부에 삽입되되 상기 잔류 에어에 의해 밀려나갈 수 있는 재질로 형성된 것으로, 상기 밸브 몸체(123)와 마찰에 의해 마모되는 것이 방지되면서도 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 가벼운 힘에도 쉽게 밀려날 수 있는 재질인 폴리에테르에테르케톤(PEEK, polyetheretherketone) 또는 스테인라스(SUS, steel use stainless), 또는 다른 수지 재질로 형성될 수 있다.
상기 연결체(124)는 상기 밸브 몸체(123)와 상기 척 몸체(110)를 연결하는 것으로, 상기 척 몸체(110)를 연결하고 상기 밸브 볼(121)을 향해 상기 잔류 에어가 유동되도록 그 내부에 유동관(127)이 형성된 것으로, 예를 들어 메탈 또는 다른 금속으로 제작될 수 있다.
또한 상기 연결체(124)에는 상기 유동관(127)의 상기 밸브 볼(121) 쪽으로 개방된 측에서 상기 밸브 볼(121)의 원주를 따라 형성되어 상기 밸브 볼(121)과 밀착될 수 있는 곡선의 밀착면(125)이 형성되어 있다.
상기 유동관(127)은 상기 에어 흡입관(130)의 상기 잔류 에어가 그 내부로 유동되도록 상기 에어 흡입관(130)과 연결되어 있고, 상기 에어 흡입관(130)의 상기 잔류 에어는 상기 유동관(127)을 통해 상기 밸브 볼(121) 쪽으로 유동될 수 있다.
상기 통풍구(126)는 상기 밸브 볼(121)이 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 밀려나가 상기 밸브 몸체(123) 내로 상기 잔류 에어가 유입되었을 때, 상기 잔류 에어가 상기 밸브 몸체(123) 외부로 토출되도록 관통 형성된 것이다.
상기 통풍구(126)는 상기 밸브 볼(121)이 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 상기 유입홀(122)로 밀려나간 위치에서 상기 밸브 볼(121)과 상기 밀착면(125) 사이의 상기 밸브 몸체(123)에 형성된다.
상기 유입홀(122)은 상기 밸브 볼(121)을 중심으로 상기 연결체(124)가 결합되는 측의 반대쪽에서 상기 밸브 몸체(123)의 내부가 상기 챔버 내부(11)와 연통되도록 형성된 것으로, 상기 챔버(10) 내의 에어(진공 상태의 공기압)가 상기 밸브 몸체(123)로 유입될 수 있도록 한다.
이러한 상기 유입홀(122)은 상기 밸브 볼(121)의 지름보다 상대적으로 작은 너비로 형성되어 상기 밸브 볼(121)이 임의로 상기 밸브 몸체(123) 내부에서 빠져나가지 못하게 형성된다.
상기와 같이 형성된 상태에서 상기 대상체(20)가 상기 상면(114)에 얼라인되고 상기 흡입기가 작동되면, 상기 척 몸체(110)와 상기 대상체(20) 사이의 에어가 복수 개의 상기 흡입 홀(114)로 흡입됨과 동시에 상기 흡입기의 흡입력에 의해 도 5에 도시된 바와 같이 상기 밸브 볼(121)이 상기 밀착면(125)에 밀착되어 상기 유동관(127)을 막아준다. 그러면 상기 벨브 몸체의 에어가 상기 유동관(127)을 통해 상기 에어 흡입관(130)으로 흡입되는 현상을 막아준다.
이러한 상태에서 상기 챔버 내부(11)를 진공 상태로 만들면, 상기 에어 흡입관(130)에 상기 에어가 잔류되고, 나아가 상기 에어 흡입관(130)의 상기 잔류 에어가 상대적으로 기압이 낮은 상기 챔버 내부(10)로 이동하려 한다. 그러면 상기 에어 흡입관(130) 내에서 상기 잔류 에어의 팽창이 발생하면서 상기 유동관(127)으로 유동되면서 도 6에 도시된 바와 같이 상기 밸브 볼(121)을 상기 밀착면(125)에서 상기 유입홀(122) 쪽으로 밀게 된다. 그러면 상기 에어 흡입관(130)의 상기 잔류 에어가 상기 유동관(127)에서 상기 통풍구(126)을 지나 상기 챔버 내부(11)로 배출된다.
상기와 같이 상기 에어 흡입관(130)의 상기 잔류 에어가 상기 상면(114)으로 배출되지 않고 상기 통풍구(126)를 통해 배출되면, 상기 상면(114)에 얼라인된 상기 대상체(20)가 상기 잔류 에어에 의해 들떠 뒤틀려지는 현상을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이하에서는 상기 잔류 처리 밸브(120)가 상기 에어 흡입관(130)의 상기 잔류 에어를 처리하는 과정에 대하여 자세히 설명한다.
우선, 상기 대상체(20)가 상기 척 몸체(110)의 상기 상면(114)에 얼라인 된다.
그런 다음, 상기 대상체(20)를 상기 상면(114)에 밀착시키기 위해 상기 흡입기를 작동시킨다. 그러면, 상기 대상체(20)와 상기 척 몸체(110) 사이의 상기 에어가 개방된 상기 흡입 홀(114)을 통해 상기 에어 흡입관(130)으로 유입되면서 상기 상면(114)에 상기 대상체(20)가 밀착된다. 여기서, 상기 밸브 볼(121)은 도 5에 도시된 바와 같이 상기 흡입기의 흡입력에 의해 상기 밀착면(125)에 밀착되어 개방된 상기 유동관(127)을 막아준다. 그러면 상기 유동관(127)의 개방된 부분을 상기 밸브 볼(121)이 막아 상기 밸브 몸체(123) 내의 에어가 상기 유동관(127)을 통해 유입되는 것을 막아준다.
이러한 상태에서 상기 대상체(20)의 추후 공정을 위해 상기 챔버 내부(11)를 점차 진공상태로 만들면, 상기 에어 흡입관(130)에 상기 잔류 에어가 발생되고 상기 에어 흡입관(130) 내부가 상기 챔버 내부(11)보다 상대적으로 기압이 높아진다.
그러면 상기 에어 흡입관(130)의 상기 잔류 에어가 팽창되면서 상기 밀착면(125)에 밀착되었던 상기 밸브 볼(121)이 상기 유입홀(122) 쪽으로 밀려 이동된다.
그러면 도 6에 도시된 바와 같이 상기 유동관(127)의 개방된 부분이 열리고 상기 잔류 에어가 상기 유동관(127)에서 상기 통풍구(126)를 지나 상기 챔버 내부(11)로 배출될 수 있다.
상기와 같이 상기 에어 흡입관(130)과 상기 챔버 내부(11)의 기압차에 의해 상기 밸브 볼(121)이 스위치 역할을 하면서 상기 에어 흡입관(130)의 상기 잔류 에어가 상기 상면(114)으로 배출되지 않고 상기 통풍구(126)로 배출되어, 상기 상면(114)으로 상기 잔류 에어가 배출되는 현상을 방지할 수 있고, 이로 인해 상기 척 몸체(110)의 상기 상면(114)에 얼라인된 상기 대상체(20)가 들떠 뒤틀려지지 않고 그 상태를 유지할 수 있는 효과가 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고 여기서는 생략하기로 한다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재를 포함하는 대상체 들뜸 방지용 정전척을 정면에서 바라본 도면이고, 도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재가 일측 기울기 센서를 감지하고 타측 기울기 감지 부재가 타측 기울기 센서를 감지하여 척 몸체의 기울어진 정도를 측정하는 것을 나타낸 도면이고, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기울어진 척 몸체의 기울어진 정도를 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재가 측정하는 것을 나타낸 도면이다.
도 7 내지 도 9를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척(200)은 챔버(10) 내에 설치되어 대상체(10)가 올려지는 정천척으로, 척 몸체(210)와, 에어 흡입관(230)과, 잔류 처리 밸브(220)와, 일측 기울기 감지 부재(240)와, 타측 기울기 감지 부재(250)를 포함한다.
상기 척 몸체(210)에는 상기 척 몸체(210)의 일측에 내장 또는 부착되고 일정 자극 강도의 자성을 띄는 자성체로 형성된 일측 균형 소자(212)와, 상기 일측 균형 소자(212)와 수평인 선상에서 상기 척 몸체(210)의 타측에 내장 또는 부착되고 상기 일측 균형 소자(212)와 동일하게 일정 자극 강도의 자성을 띄는 자성체로 형성된 타측 균형 소자(213)가 형성되어 있다.
본 실시예에서의 일측 방향은 도 7의 상기 척 몸체(210)를 기준으로 상기 일측 기울기 감지 부재(240)가 형성된 측을 말하고, 본 실시예에서의 타측 방향은 도 7의 상기 척 몸체(210)를 기준으로 상기 타측 기울기 감지 부재(250)가 형성된 측을 말한다.
상기 일측 기울기 감지 부재(240)는 상기 척 몸체(210)와 일정간격 이격되도록 상기 척 몸체(210)의 일측에 배치되어 상기 일측 균형 소자(212)의 높낮이를 감지하는 것으로, 일측 기울기 몸체(242)와, 복수 개의 일측 감지 센서(241)를 포함한다.
상기 일측 기울기 몸체(242)는 상기 척 몸체(210)의 높이보다 상대적으로 높고 길게 형성되고 상기 척 몸체(210)와 일정 간격 이격되도록 상기 척 몸체(210)의 일측에 배치된다. 또한 상기 일측 기울기 몸체(242)에는 후술 설명될 상기 일측 감지 센서(241)가 복수 개 결합되어 있다.
상기 일측 감지 센서(241)는 자성을 띄는 상기 일측 균형 소자(212)를 인식할 수 있는 것으로, 예를 들어 일정 값 이상의 자성을 감지하는 홀센서로 제공될 수 있다.
이러한 상기 일측 감지 센서(241)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 일측 기울기 몸체(242)의 높이를 따라 상기 일측 기울기 몸체(242)에 일정 간격으로 복수개 형성된다.
상기와 같이 형성되면, 상기 일측 균형 소자(212)의 높낮이에 따라 복수 개의 상기 일측 감지 센서(241) 중 일부가 상기 일측 균형 소자(212)를 인식하고, 인식된 상기 일측 감지 센서(241)의 위치에 따라 상기 일측 균형 소자(212)의 높이를 측정한다.
상기 타측 기울기 감지 부재(250)는 상기 일측 기울기 감지 부재(240)와 대칭된 위치에 배치된 것으로, 상기 척 몸체(210)와 일정간격 이격되도록 상기 척 몸체(210)의 타측에 배치되어 상기 타측 균형 소자(213)의 높낮이를 감지한다. 이러한 상기 타측 기울기 감지 부재(250)는 타측 기울기 몸체(252)와, 복수개의 타측 감지 센서(251)를 포함한다.
상기 타측 기울기 몸체(252)는 상기 척 몸체(210)의 높이보다 상대적으로 길게 형성되고 상기 척 몸체(210)와 일정간격 이격되도록 상기 척 몸체(210)의 타측에 배치된다. 또한 상기 타측 기울기 몸체(252)에는 후술 설명될 상기 타측 감지 센서(251)가 복수 개 결합되어 있다.
상기 타측 감지 센서(251)는 자성을 띄는 상기 타측 균형 소자(213)를 인식할 수 있는 것으로, 예를 들어 일정 값 이상의 자성을 감지하는 홀센서로 제공될 수 있다.
이러한 상기 타측 감지 센서(251)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 타측 기울기 몸체(252)의 높이를 따라 상기 타측 기울기 몸체(252)에 일정 간격으로 복수개 형성된다.
상기와 같이 형성되면, 상기 타측 균형 소자(213)의 높낮이에 따라 복수 개의 상기 타측 감지 센서(251) 중 일부가 상기 타측 균형 소자(213)를 인식하고, 인식된 상기 타측 감지 센서(251)의 위치에 따라 상기 타측 균형 소자(213)의 높이를 측정한다.
상기와 같이 형성되면, 예를 들어 상기 척 몸체(210)가 수평이 아닌 다른 기울기로 기울면, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 일측 균형 소자(212)의 높이가 측정되었던 상기 일측 감지 센서(241)가 변경되고, 상기 타측 균형 소자(213)의 높이가 측정되었던 상기 타측 감지 센서(251)가 변경된다. 그러면 상기 척 몸체(210)의 수평이 맞지 않음을 판단할 수 있고 이를 작업자에게 알람 기능을 통해 알려줄 수 있다.
여기서, 알람 기능은 부저나 비상등, 다른 통신 프로그램 등을 이용한 알람 기능이 될 수 있다.
또한, 상기 일측 균형 소자(212)가 변동되는 높이에 따라 감지되는 상기 일측 감지 센서(241)를 카운팅하여 상기 일측 균형 소자(212)의 높이를 측정할 수 있고, 상기 타측 균형 소자(213)가 변동되는 높이에 따라 감지되는 상기 타측 감지 센서(251)를 카운팅하여 상기 타측 균형 소자(213)의 높이를 측정할 수 있고, 측정된 상기 일측 균형 소자(212)의 높이 및 상기 타측 균형 소자(213)의 높이를 이용하여 상기 척 몸체(210)의 기울기를 계산할 수도 있다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 잔류 처리 밸브의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 11은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 에어 흡입관에서 척 몸체 상단의 에어를 흡입하면서 벨브 볼이 밀착면에 밀착되어 잔류 유동관의 밸브 몸체측 개방된 부분을 막고, 막음 조절볼이 자중에 의해 통풍구의 개방된 부분을 막고 있는 모습을 보이는 도면이고, 도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 에어 흡입관의 잔류 에어가 팽창되어 벨브 볼이 챔버측 개방홀 쪽으로 이동되고, 막음 조절볼이 통풍구의 개방된 부분에서 들떠 잔류 에어가 통풍구를 지나 막음 토출구를 통해 배출될 수 있는 모습을 보이는 도면이고, 도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 도 12의 A에 대한 확대도이다.
도 10 내지 도 13을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척은 챔버 내에 설치되어 대상체가 올려지는 정천척으로, 척 몸체와, 에어 흡입관과, 잔류 처리 밸브(320)를 포함한다.
본 실시예에서의 상기 잔류 처리 밸브(320)는 상기 에어 흡입관에 잔류된 잔류 에어를 그 외부로 통풍시켜 상기 척 몸체의 상단부로 상기 잔류 에어가 배출되는 것을 방지하는 것으로, 밸브 몸체(323)와, 밸브 볼(321)과, 연결체(324)와, 통풍구(326)와, 유입홀(322)과, 막음 부재(328)와, 마모 방지 노즐(329)을 포함한다.
상기 밸브 몸체(323)는 상기 밸브 볼(321)이 그 내부 공간에서 이동될 수 있도록 내부가 빈 것으로, 후술 설명될 상기 연결체(324)와 결합된다.
이러한 상기 밸브 몸체(323)는 상기 밸브 볼(321)과 마찰에 의해 마모되는 것이 방지되도록 테프론(Teflon), 아세탈(acetal), 메탈(metal), 또는 다른 수지 재질로 형성될 수 있다.
상기 밸브 볼(321)은 상기 밸브 몸체(323) 내부에 삽입되되 상기 잔류 에어에 의해 밀려나갈 수 있는 재질로 형성된 것으로, 상기 밸브 몸체(323)와 마찰에 의해 마모되는 것이 방지되면서도 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 가벼운 힘에도 쉽게 밀려날 수 있는 재질인 폴리에테르에테르케톤(PEEK, polyetheretherketone) 또는 스테인라스(SUS, steel use stainless), 또는 다른 수지 재질로 형성될 수 있다.
상기 연결체(324)는 상기 밸브 몸체(323)와 상기 척 몸체를 연결하는 것으로, 상기 척 몸체를 연결하고 상기 밸브 볼(321)을 향해 상기 잔류 에어가 유동되도록 그 내부에 유동관(327)이 형성된 것으로, 예를 들어 메탈 또는 다른 금속으로 제작될 수 있다.
또한 상기 연결체(324)에는 상기 유동관(327)의 상기 밸브 볼(321) 쪽으로 개방된 측에서 상기 밸브 볼(321)의 원주를 따라 형성되어 상기 밸브 볼(321)과 밀착될 수 있는 곡선의 밀착면(325)이 형성되어 있다.
상기 유동관(327)은 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어가 그 내부로 유동되도록 상기 에어 흡입관과 연결되어 있고, 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어는 상기 유동관(327)을 통해 상기 밸브 볼(321) 쪽으로 유동될 수 있다.
상기 통풍구(326)는 상기 밸브 볼(321)이 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 밀려나가 상기 밸브 몸체(323) 내로 상기 잔류 에어가 유입되었을 때, 상기 잔류 에어가 상기 밸브 몸체(323) 외부로 토출되도록 관통 형성된 것이다.
상기 유입홀(322)은 상기 밸브 볼(321)을 중심으로 상기 연결체(324)가 결합되는 측의 반대쪽에서 상기 밸브 몸체(323)의 내부가 상기 챔버 내부와 연통되도록 형성된 것으로, 상기 챔버 내의 에어(진공 상태의 공기압)가 상기 밸브 몸체(323)로 유입될 수 있도록 한다.
상기 마모 방지 노즐(329)은 상기 유동관(327)의 상기 잔류 에어가 상기 유입홀(322)의 모서리 부분에서 토출될 수 있도록 형성된 것으로, 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어가 팽창되어 상기 밸브 볼(321)이 상기 밀착면(325)에서 상기 유입홀(322) 쪽으로 밀려나갈 때, 상기 유입관의 상기 잔류 에어 중 일부가 상기 마모 방지 노즐(329)을 따라 상기 유입홀(322)의 모서리 부분으로 이동되어 토출된다.
여기서, 상기 마모 방지 노즐(329)의 상기 유입홀(322) 쪽 개방된 부분(329a)이 상기 마모 방지 노즐(329)의 다른 부분보다 그 폭이 상대적으로 좁게 형성되어있어, 상기 마모 방지 노즐(329)의 상기 유입홀(322) 쪽 개방된 부분(329a)으로 상기 잔류 에어가 배출될 때 상기 잔류 에어의 기압이 높아지면서 상기 잔류 에어의 속력이 증가되어 배출된다.(베르누이법칙) 그러면, 상기 밸브 볼(321)을 밀어내는 힘이 상기 잔류 에어의 증가된 속력에 비례하여 커질 수 있다.
상기와 같이 형성되면, 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어가 팽창되어 상기 밸브 볼(321)이 상기 밀착면(325)에서 상기 유입홀(322) 쪽으로 밀려나갈 때, 상기 유입관의 상기 잔류 에어 중 일부가 상기 마모 방지 노즐(329)을 따라 상기 유입홀(322)의 모서리 부분으로 토출되면서 상기 밸브 볼(321)을 밀어낸다. 그러면, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 볼(321)과 상기 유입홀(322)의 모서리 부분에 갭(329b)이 발생되고 상기 밸브 볼(321)이 상기 유입홀(322)에 닿지 않게 된다.
다시 말해, 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어가 팽창되어 상기 밸브 볼(321)이 상기 밀착면(325)에서 상기 유입홀(322) 쪽으로 밀려나갈 때 상기 갭이 발생되어 상기 밸브 볼(321)이 상기 유입홀(322)의 모서리부분과 부딪히지 않게 된다. 그러면, 상기 밸브 볼(321)이 상기 유입홀(322)과 부딪히면서 발생되던 마모현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기 막음 부재(328)는 상기 통풍구(326)를 통해 상기 잔류 처리 밸브(320) 외부의 에어가 주입되지 않도록 하되 상기 통풍구(326)를 통해 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어가 상기 밸브 몸체(323) 외부로 방출될 수 있도록 하는 것으로, 막음 조절볼(328c)과, 막음 몸체(328a)와, 막음 토출구(328b)를 포함한다.
상기 막음 조절볼(328c)은 막음 부재(328)는 자중에 의해 상기 통풍구(326)의 개방된 부분을 막아주거나 상기 잔류 에어에 의해 들뜰 수 있는 것이다.
상기 막음 몸체(328a)는 상기 막음 조절볼(328c)이 내장되어 상기 막음 조절볼(328c)이 그 내부에서 수직 이동 가능하도록 내부가 빈 것으로, 상기 통풍구(326)의 개방된 부분에서 상기 밸브 몸체(323) 외부를 향해 돌출된 형상으로 형성되어 있다.
상기 막음 토출구(328b)는 상기 막음 조절볼(328c)이 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 들떴을 때, 상기 막음 몸체(328a) 내의 상기 잔류 에어가 상기 막음 몸체(328a) 외부로 토출되도록 형성된 것이다.
상기와 같이 형성되면, 평소에는 상기 막음 조절볼(328c)이 자중에 의해 상기 통풍구(326)의 개방된 부분을 막고있다가, 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어가 팽창되어 상기 밸브 볼(321)이 상기 밀착면(325)에서 상기 유입홀(322) 쪽으로 밀려나갈 때, 상기 잔류 에어에 밀려 상기 통풍구(326)의 개방된 부분에서 들뜨게 된다. 그러면 상기 잔류 에어가 상기 통풍구(326)를 지나 막음 토출구(328b)에 도달하면서 상기 막음 토출구(328b)를 지나 상기 챔버 내부로 배출된다.
상기와 같이 형성되면, 상기 통풍구(326)를 통해 상기 밸브 몸체(323) 내로 미세하게 유입되던 에어를 상기 막음 조절볼(328c)이 막아줄 수 있는 효과가 있다.
도 14는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 챔버 내에 설치된 대상체 들뜸 방지용 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 15는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 일측 균형 부재 및 타측 균형 부재가 작동된 모습을 나타낸 도면이고, 도 16은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 일측 균형 부재 및 타측 균형 부재가 기울어진 대상체에 대한 거리를 각각 측정하는 모습을 나타낸 도면이고, 도 17은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 도 15의 B에 대한 확대도이다.
도 14 내지 도 17을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척(400)은 챔버(10) 내에 설치되어 대상체(20)가 올려지는 정천척으로, 척 몸체(410)와, 에어 흡입관(430)과, 잔류 처리 밸브(420)와, 일측 균형 부재(460)와, 타측 균형 부재(470)를 포함한다.
상기 일측 균형 부재(460)와 상기 타측 균형 부재(470)는 대상체(20)가 상기 척 몸체(410)에 수직 하강시, 상기 대상체(20)의 균형을 판단할 수 있는 것이다.
자세히, 상기 일측 균형 부재(460)는 상기 척 몸체(410)의 중심을 기준으로 상기 척 몸체(410)의 일측에 내장되어 상기 척 몸체(410)의 상면을 향해 하강되는 상기 대상체(20)의 일측 저면과 상기 척 몸체(410) 사이의 거리를 측정하는 것이고, 상기 타측 균형 부재(470)는 상기 일측 균형 부재(460)와 수평인 선상에서 상기 척 몸체(410)의 중심을 기준으로 상기 척 몸체(410)의 타측에 내장되어 상기 척 몸체(410)의 상면을 향해 하강하는 상기 대상체(20)의 타측 저면과 상기 척 몸체(410) 사이의 거리를 측정하는 것이다.
본 실시예에서의 일측 방향은 도 14의 상기 척 몸체(410)의 중심을 기준으로 상기 일측 균형 부재(460)가 형성된 측을 말하고, 타측 방향은 도 14의 상기 척 몸체(410)의 중심을 기준으로 상기 타측 균형 부재(470)가 형성된 측을 말한다.
상기 일측 균형 부재(460)는 상기 척 몸체(410)의 상부를 향해 직선으로 일측 레이저 광(464)을 발사하고 상기 일측 레이저 광(464)에 상기 대상체(20)와 같은 물체가 인식되면 상기 일측 레이저 광(464)이 반사되는 거리로 상기 대상체(20)와 상기 척 몸체(410) 사이의 거리인 일측 거리 값을 출력하는 일측 거리 감지 센서(462)와, 상기 일측 거리 감지 센서(462)의 상기 일측 레이저 광(464)이 투과되는 재질로 형성되고 상기 척 몸체(410)의 상면으로부터 상기 일측 거리 감지 센서(462)를 보호하는 일측 보호창(463)과, 상기 일측 거리 감지 센서(462)에서 출력된 상기 일측 거리 값을 미리 준비된 제어 시스템으로 전송하는 일측 통신부(461)를 포함한다.
상기 일측 거리 감지 센서(462)는 예를 들어, 직선으로 레이저 광을 발사하고 상기 레이저 광에 인식된 물체의 거리를 측정하는 거리 측정용 레이저 센서로 형성될 수 있다.
상기 일측 보호창(463)은 상기 일측 레이저 광(464)이 투과될 수 있는 레이저 유리로 제작될 수 있다.
상기 일측 통신부(461)는 상기 제어 시스템과 유선 또는 무선으로 통신이 가능하며, 실시간으로 측정되는 상기 일측 거리 값을 상기 제어 시스템으로 바로 전송한다.
상기 타측 균형 부재(470)는 상기 척 몸체(410)의 상부를 향해 직선으로 타측 레이저 광(474)을 발사하고, 상기 타측 레이저 광(474)에 상기 대상체(20)와 같은 물체가 인식되면 그 반사되는 거리로 상기 대상체(20)와 상기 척 몸체(410) 사이의 거리인 타측 거리 값을 출력하는 타측 거리 감지 센서(472)와, 상기 타측 거리 감지 센서(472)의 상기 타측 레이저 광(474)이 투과되는 재질로 형성되고, 상기 척 몸체(410)의 상면으로부터 상기 타측 거리 감지 센서(472)를 보호하는 타측 보호창(471)과, 상기 타측 거리 감지 센서(472)에서 출력된 상기 타측 거리 값을 미리 준비된 상기 제어 시스템으로 전송하는 타측 통신부(473)를 포함한다.
상기 타측 거리 감지 센서(472)는 예를 들어, 직선으로 레이저 광을 발사하고 상기 레이저 광에 인식되는 물체의 거리를 측정하는 거리 측정용 레이저 센서로 형성될 수 있다.
상기 타측 보호창(471)은 상기 타측 레이저 광(474)이 투과될 수 있는 레이저 유리로 제작될 수 있다.
상기 타측 통신부(473)는 상기 제어 시스템과 유선 또는 무선으로 통신이 가능하며, 실시간으로 측정되는 상기 타측 거리 값을 상기 제어 시스템으로 바로 전송한다.
상기 제어 시스템은 상기 대상체 들뜸 방지용 정전척(400) 외부에 형성되는 것으로, 상기 일측 통신부(461) 및 상기 타측 통신부(473)와 유선 또는 무선으로 연결되며, 상기 대상체(20)가 상기 척 몸체(410)에 안착될 때, 상기 일측 균형 부재(460)에서 상기 대상체(20)에 대한 거리를 측정한 상기 일측 거리 값과 상기 타측 균형 부재(470)에서 상기 대상체(20)에 대한 거리를 측정한 상기 타측 거리 값을 비교하여 그 오차를 계산하고 상기 오차를 분석하여 상기 대상체(20)가 상기 척 몸체(410)에 수직 하강시, 상기 대상체(20)의 균형을 판단할 수 있는 것이다. 여기서, 상기 오차가 '0'에 가까울수록 상기 대상체(20)의 균형이 잘 맞다고 판단할 수 있다.
상기와 같이, 상기 척 몸체(410)의 상면으로 하강되는 상기 대상체(20)의 균형을 측정함으로써, 상기 대상체(20)가 상기 척 몸체(410)로 안전하게 하강되는지 판단할 수 있는 효과가 있다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 대상체 들뜸 방지용 정전척에 의하면, 흡입관의 잔류 에어가 정전척의 상면으로 배출되지 않으면서도 처리될 수 있어 정전척 상면에 얹혀진 대상체의 들뜸 현상이 방지될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
10 : 챔버
20 : 대상체
100 : 대상체 들뜸 방지용 정전척
110 : 척 몸체
120 : 잔류 처리 밸브
130 : 에어 흡입관
20 : 대상체
100 : 대상체 들뜸 방지용 정전척
110 : 척 몸체
120 : 잔류 처리 밸브
130 : 에어 흡입관
Claims (4)
- 챔버 내에 설치되어 대상체가 올려지는 정천척에 있어서,
상기 대상체가 얹혀지는 척 몸체;
상기 척 몸체 상단부의 에어가 흡입되는 에어 흡입관; 및
상기 에어 흡입관에 잔류된 잔류 에어를 그 외부로 통풍시켜 상기 척 몸체의 상단부로 상기 잔류 에어가 배출되는 것을 방지하는 잔류 처리 밸브;를 포함하고,
상기 잔류 처리 밸브는
밸브 몸체와,
상기 밸브 몸체 내부에 삽입되되 상기 잔류 에어에 의해 밀려나갈 수 있는 밸브 볼과,
상기 밸브 몸체와 상기 척 몸체를 연결하고 상기 밸브 볼을 향해 상기 잔류 에어가 유동되도록 그 내부에 유동관이 형성된 연결체와,
상기 밸브 볼이 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 밀려나가 상기 밸브 몸체 내로 상기 잔류 에어가 유입되었을 때, 상기 잔류 에어가 상기 밸브 몸체 외부로 토출되도록 관통 형성된 통풍구와,
상기 통풍구를 통해 상기 잔류 처리 밸브 외부의 에어가 주입되지 않도록 하되 상기 통풍구를 통해 상기 에어 흡입관의 상기 잔류 에어가 상기 밸브 몸체 외부로 방출될 수 있도록 하는 막음 부재와,
상기 밸브 볼을 중심으로 상기 연결체가 결합되는 측의 반대쪽에서 상기 밸브 몸체의 내부가 챔버 내부와 연통되도록 형성된 유입홀과,
상기 유동관의 상기 잔류 에어가 상기 유입홀의 모서리 부분에서 토출될 수 있도록 형성된 마모 방지 노즐을 포함하고,
상기 막음 부재는 자중에 의해 상기 통풍구의 개방된 부분을 막아주거나 상기 잔류 에어에 의해 들뜰 수 있는 막음 조절볼과, 상기 막음 조절볼이 내장되어 상기 막음 조절볼이 그 내부에서 수직 이동 가능하도록 내부가 빈 막음 몸체와, 상기 막음 조절볼이 상기 잔류 에어의 팽창에 의해 들떴을 때, 상기 막음 몸체 내의 상기 잔류 에어가 상기 막음 몸체 외부로 토출되도록 형성된 막음 토출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상체 들뜸 방지용 정전척. - 삭제
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ID=65906450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170119366A KR101978736B1 (ko) | 2017-09-18 | 2017-09-18 | 대상체 들뜸 방지용 정전척 |
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