KR101256536B1 - 반송 장치 및 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 파지부에서 매달린 상태로 파지되는 물품의 흔들림을 방지할 수 있는 반송(搬送) 장치에 관한 것으로서, 안내 레일에 따라 이동하는 이동차에, 물품(2)를 매단 상태로 파지하는 파지부가 승강 구동 가능하게 구비되고, 파지부에서 매달린 상태로 파지되어 있는 물품의 측면부를 가압 지지하는 흔들림 방지체(23)가, 물품(2)의 측면부를 가압 지지하는 지지 위치와 물품의 측면부에 대한 가압 지지를 해제하는 해제 위치로 절환 가능하게 설치되며, 흔들림 방지체(23)는, 물품(2)의 측면부에 대하여 원근 방향으로 이동 가능하며 또한 물품의 측면부에 대한 접근하는 측으로 탄성 가압된 상태이며 또한 상하 축심 주위에서 회동 가능한 상태로 설치되어 있는 회동체(39)에서 물품의 측면부를 가압 지지하도록 구성되고, 흔들림 방지체(23)를 지지 위치로 절환한 상태에 있어서, 회동체(39)의 회동 동작을 저지하는 고정 상태와 회동체의 회동 동작을 허용하는 비고정 상태로 절환 가능한 회동체용 고정 수단(44)이 설치되어 있다.
반송 장치, 파지부, 이동차, 흔들림 방지체.

Description

반송 장치 및 반송 방법 {TRANSPORT APPARATUS AND TRANSPORT METHOD}
도 1은 반송 장치의 개략도이다.
도 2는 물품으로서의 용기를 나타낸 도면이다.
도 3은 반송 장치의 동작을 나타낸 개략 측면도이다.
도 4는 이동차의 측면도이다.
도 5는 이동차의 종단 정면도이다.
도 6은 이동차의 주요부를 나타낸 평면도이다.
도 7은 파지부에 있어서의 낙하 방지체 및 흔들림 방지체를 나타낸 측면도이다.
도 8은 파지부에 있어서의 낙하 방지체 및 흔들림 방지체를 나타낸 평면도이다.
도 9는 낙하 방지체 및 흔들림 방지체의 주요부를 나타낸 도면이다.
도 10은 흔들림 방지체의 주요부를 나타낸 단면도이다.
도 11은 상이한 형상을 가지는 용기에 대한 본 발명의 흔들림 방지체의 적용을 나타낸 주요부 단면도이다.
본 발명은, 안내 레일에 따라 이동하는 이동차에, 물품을 매단 상태로 승강 가능하게 파지하는 파지부가 구비되어 있는 반송 장치에 관한 것이다.
상기와 같은 반송 장치는, 예를 들면, 반도체 기판 등을 수납한 반송 용기를 물품으로 하여 이동차를 정지시킨 상태에서, 파지부에서 물품을 매달린 상태로 파지(hold)하여, 물품을 끌어올려 이동차를 이동시킴으로써, 반도체 기판 등을 제조하기 위한 복수개의 처리 장치에 대하여, 차례로, 반송 용기를 반송시키는 것이다.
종래의 장치에서는, 파지부에, 매달린 상태의 물품의 저면부의 하부 측에 위치하여, 물품의 저면부를 받아내는 즉 캐칭(catching) 가능한 캐칭 위치와 매단 상태의 상기 물품의 가로 측으로 퇴피하는 퇴피 위치로 구동 수단에서 위치 변경 조작 가능한 낙하 방지체가 구비되어 있다. 파지부에서 물품을 매달린 상태로 파지한 상태에서 이동차를 이동시킬 때는, 낙하 방지체를 캐칭 위치로 위치 변경시키고, 잘못하여 물품이 파지부로부터 벗어나도, 물품이 이동차로부터 낙하되지 않도록 하고 있다(예를 들면, 일본국 특개평 9(1997)-77455호 공보 참조).
상기 종래의 반송 장치에서는, 파지부에서 물품을 매달린 상태로 파지한 상태에서 이동차를 이동시킬 때, 낙하 방지체를 캐칭 위치로 위치 변경시킴으로써, 물품의 낙하에 대하여는 방지할 수 있지만, 파지부에서 매달린 상태로 파지되어 있는 물품의 흔들림에 대하여는 방지하지 못하고, 물품이 손상될 가능성이 있었다. 설명을 더하면, 이동차를 정지시킬 때나 이동차를 발진시킬 때나, 이동차의 이동 경로가 커브하고 있을 때 등에는, 이동차가 흔들리게 된다. 그리고, 이 이동차의 흔들림에 따라 파지부에 의해 매달린 상태로 파지되어 있는 물품이 흔들리게 되어, 상기 물품의 흔들림에 의해, 물품이 손상될 가능성이 있었다.
본 발명은, 이 점에 착안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 파지부에서 매달린 상태로 파지되는 물품의 흔들림을 방지할 수 있는 반송 장치를 제공하는 점에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본원발명에 의하면, 안내 레일에 따라 이동하는 이동차에, 물품을 매단 상태로 승강 가능하게 파지하는 파지부가 구비되어 있는 반송 장치로서,
상기 파지부에 의해 매달린 상태로 파지되어 있는 물품의 측면부를 가압 지지하는 흔들림 방지체가, 상기 물품의 측면부를 가압 지지하는 지지 위치와 상기 물품의 측면부에 대한 가압 지지를 해제하는 해제 위치로 절환 가능하게 설치되고, 상기 흔들림 방지체는, 상기 물품의 측면부에 대하여 원근 방향으로 이동 가능하며, 상기 물품의 측면부에 대하여 접근하는 방향으로 탄성 가압된 상태로, 상하 축심(軸芯) 주위에서 회동 가능한 회동체에 의해 상기 물품의 측면부를 가압 지지하도록 구성되고, 상기 흔들림 방지체를 상기 지지 위치로 절환한 상태에 있어서, 상기 회동체의 회동을 저지하는 고정 상태와 상기 회동체의 회동을 허용하는 비고정 상태로 절환 가능한 회동체용 고정 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 흔들림 방지체를 지지 위치로 절환하면, 회동체에서 파지부에서 매달린 상태로 파지되어 있는 물품의 측면부를 가압 지지하게 되므로, 그 회동체에 의한 가압 지지에 의해 물품의 흔들림을 방지할 수 있게 된다.
또한, 회동체용 고정 수단을 비고정 상태로 절환하면, 물품을 이동차에 대하여 상하 축심 주위에서 선회시킴으로써, 물품을 상하 축심 주위에서 움직일 수가 있게 된다. 따라서, 파지부에서 파지하고 있는 물품의 방향을, 탑재 위치의 방향에 대응하도록 조정을 행할 필요가 생겨도, 이동차의 이동 중에 이것을 행할 수 있으므로, 물품의 반송 시간의 단축을 도모할 수 있게 된다.
그리고, 물품의 방향의 조정을 행한 후, 회동체용 고정 수단에서 고정 상태로 절환함으로써, 회동 동작이 저지되어 있는 회동체에서 물품의 측면부를 가압 지지하여, 상하 축심 주위에서의 물품의 움직임도 저지한 상태로, 물품의 흔들림을 방지할 수 있게 된다.
따라서, 본원발명에 의하면, 이동차의 이동 중에, 물품의 흔들림을 방지하면서, 물품의 방향의 조정을 행할 수 있게 되어, 물품의 흔들림을 방지하면서, 반송 시간의 단축을 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있기에 이르렀다.
또 다른 본원발명에 의하면, 상기 파지부에 매단 상태의 상기 물품의 저면부의 하부 측에 위치하여, 상기 물품의 저면부를 캐칭할 수 있는 캐칭 위치와, 매단 상태의 상기 물품의 하부 측으로부터 퇴피하는 퇴피 위치로 구동 수단에서 위치 변경 조작 가능한 낙하 방지체가 구비되고,
상기 흔들림 방지체는, 상기 낙하 방지체를 상기 캐칭 위치로 위치 변경함으 로써 상기 지지 위치로 절환되고, 상기 낙하 방지체를 상기 퇴피 위치로 위치 변경함으로써 상기 해제 위치로 절환되도록, 상기 낙하 방지체에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
따라서, 흔들림 방지체를 지지 위치와 해제 위치로 절환하기 위한 구동 수단을 추가하지 않아도, 낙하 방지체를 캐칭 위치와 퇴피 위치로 위치 변경 조작되는 구동 수단을 이용하면서, 흔들림 방지체를 지지 위치와 해제 위치로 절환할 수 있으므로, 구성의 간소화를 도모할 수 있게 된다.
또 다른 본원발명에 의하면, 상기 낙하 방지체가, 상기 물품에 대하여 상기 이동차의 전후 방향의 전방측 개소와 후방측 개소의 각각에 설치되고, 상기 회동체가, 상기 물품의 측면부에 있어서의 상기 이동차 가로폭 방향의 중앙 부분을 가압 지지하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
이동차를 정지시킬 때나 이동차를 발진시킬 때 등에는, 이동차의 전후 방향으로 이동차가 흔들리게 되어, 물품의 흔들림은 이동차의 전후 방향에서 생길 가능성이 높다.
따라서, 물품의 흔들림이 생길 가능성이 높은 이동차의 전후 방향에서의 물품의 흔들림을 흔들림 방지체에 의해 방지할 수 있게 되어, 물품의 흔들림을 효과적으로 방지할 수 있다.
또, 상기 회동체를 고정 상태로 함으로써, 물품의, 전후 방향과는 수직의 가로 방향의 흔들림을 효과적으로 방지할 수 있다.
또 다른 본원발명에 의하면, 상기 낙하 방지체가, 상기 파지부에 설치된 수평 축심 주위의 요동에 의해, 상기 캐칭 위치와 상기 퇴피 위치로 위치 변경되도록 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 수평 축심 주위의 요동에 의해, 캐칭 위치와 퇴피 위치로 낙하 방지체를 위치 변경시킬 수 있으므로, 예를 들면, 물품의 측면부에 대하여 원근 방향, 즉 수평 방향에서의 이동에 의해, 낙하 방지체를 캐칭 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시키는 것과 비교하여, 수평 방향에서의 낙하 방지체의 이동량을 본작게 할 수 있게 된다.
따라서, 수평 방향에서의 낙하 방지체의 설치 스페이스를 작게 할 수 있게 되므로, 장치의 소형화를 도모하면서, 물품이 이동차로부터 낙하되는 것을 저지할 수 있게 된다.
또 다른 본원발명에 의하면, 상기 흔들림 방지체가, 상기 물품의 측면부에 대하여 원근 방향으로 선단부를 이동시키도록 요동 가능하게 축지지 되고, 탄성 가압 수단에 의해 물품의 측면부에 대하여 접근 방향으로 가압된 요동 부재를 구비하고, 그 요동 부재의 선단부에 상기 회동체가 상하 축심 주위에 회동 가능하게 장착되어 있는 것을 특징으로 한다.
흔들림 방지체를 지지 위치와 해제 위치로 절환하는 것은, 요동 부재를 물품의 측면부에 대하여 원근 방향으로 요동에 의해 행할 수 있으므로, 예를 들면, 물품의 측면부에 대하여 원근 방향, 즉 수평 방향에서의 이동에 의해 행하는 것과 비교하여, 수평 방향에서의 흔들림 방지체의 이동량을 작게 할 수 있어, 수평 방향에서의 흔들림 방지체의 설치 스페이스를 작게 할 수 있게 된다.
또 다른 본원발명에 의하면, 상기 회동체용 고정 수단이, 전기식 작동 수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
전기식 작동 수단을 설치하여, 그 전기식 작동 수단까지 전선을 배선함으로써, 회동체용 고정 수단을 구성할 수 있게 되어, 소형이며 간단한 회동체용 고정 수단을 얻을 수 있다.
또 다른 본원발명에 의하면, 물품의 반송 중에 필요에 따라서 물품의 자세를 세로축 주위에서 변경할 수 있기 때문에, 반송 시간을 단축할 수 있다. 또, 물품의 자세 변경 후, 회동체용 고정 수단을 고정 상태로 절환하므로, 물품의 흔들림을 방지하여, 이것에 의해 물품이 손상될 가능성을 낮게 할 수 있다.
[실시예]
본 발명에 의한 반송 장치에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
본 실시예에서는 반송하는 제품의 예로서 반도체 기판을 사용하지만, 반송 대상물은 이것에 한정되는 것은 아니다.
도 1과 도 3에 나타낸 바와 같이, 이 반송 장치는, 제조 도중의 반도체 기판을 수납한 용기(2)(물품)를, 반도체 기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 복수의 물품 처리부(1)에 반송한다. 반송 장치에는, 이동차(3)와, 그 이동차(3)에 용기(2)를 매단 상태로 파지(hold)하는, 파지부(4)에 구비된 승강 유닛(12)이 승강 가능하게 구비되어 있다.
상기 이동차(3)는, 정지한 상태에 있어서, 와이어(5)를 감거나 또는 푸는 것에 의해 파지부(4)의 승강 유닛(12)을 승강시켜, 물품 처리부(1)의 탑재대(1a)로부 터 용기(2)를 잡아 취하거나 물품 처리부(1)의 탑재대(1a)에 용기(2)를 탑재한다.
그리고, 이동차(3)는, 파지부(4)에 의해 용기(2)를 매달린 상태로 파지한 상태에서, 안내 레일(6)에 따라 이동하여, 용기 반입 개소로부터 복수의 물품 처리부(1)의 각각의 탑재대(1a)에, 또는, 물품 처리부(1)의 탑재대(1a)로부터 다른 물품 처리부(1)의 탑재대(1a)에, 또는, 복수의 물품 처리부(1) 각각의 탑재대(1a)로부터 용기 반출 개소로 반송한다.
상기 용기(2)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반도체 기판을 수납하기 위해서 횡측부가 개구된 용기 본체(2a)와, 이 개구 부분을 밀폐 상태로 닫는 덮개(2b)로 구성되어 있다.
그리고, 용기 본체(2a)의 상부에는, 파지부(4)에 의해 매달아 지지하기 위한 플랜지(7)가 형성되어 있다.
상기 이동차(3)는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 브래킷(8)에 의해 천정부에 고정되어 있는 안내 레일(6)에 따라 주행한다.
안내 레일(6)은, 전체적으로 수평의 상면과, 전체적으로 연직(鉛直)의 한 쌍의 측면을 가지고, 한 쌍의 측면 사이에는 공간이 형성되어 있다.
이동차(3)는, 도 5로 나타낸 바와 같이, 안내 레일(6)의 내측에 형성된 공간 내에 배치된, 리니어 모터식의 주행 차체(9)와, 이 주행 차체(9)에 대하여 전후의 연결봉(connecting rod)(10, 11)에 의해 연결되고, 안내 레일(6)의 하부에 위치하는 파지부(4)를 구비하고 있다.
상기 주행 차체(9)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 안내 레일(6)의 상면의 아 래 쪽에 고정된 마그넷(13)과, 이 마그넷(13)에 근접 대향시켜, 이동차(3)에 장비된 1차 코일(14)로 구성되는 리니어 모터를 구비하여, 이 리니어 모터에 의해 이동차(3)가 주행 추진력을 얻는다. 이들 마그넷(13)과 1차 코일(14)의 양쪽은 안내 레일(6)의 내측 공간 내에 위치한다.
상기 안내 레일(6)의 내측 공간 내에는, 주행 차체(9)에 구비된 주행륜(15)과 접하는 주행 안내면(16)과, 주행 차체(9)에 구비된 진동 방지륜(振止輪)(17)과 접하는 진동 방지 안내면(18)이 형성되어 있다.
또, 안내 레일(6)의 측면의 한쪽에 지지된 급전선(19)과, 이동차(3) 측에 지지된 수전(受電) 코일(20)이 설치되어 있다. 급전선(19)에 교류 전류를 흘리는 것에 의해 자계를 발생시켜, 이 자계에 의해 이동차(3) 측에서의 필요 전력을 수전 코일(20)에 발생시켜, 무접촉 상태로 급전이 행해진다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 파지부(4)에는, 주행 차체(9)에 대하여 전후의 연결봉(10, 11)에 의해 연결된 프레임(21)에 지지되어 플랜지(7)를 파지하는 매단 상태로 용기(2)를 지지하거나, 승강하는 승강 유닛(12)이 구비되어 있다.
상기 승강 유닛(12)은, 주행 차체(9)에 대하여 승강 가능한 승강체(25)와, 용기(2)의 플랜지(7)를 파지하는 작용 상태와 파지를 해제하는 해제 상태에 절환 가능하도록, 승강체(25)에 장착된 파지 유닛(24)을 가진다.
상기 승강체(25)는, 프레임(21)에 구비된 승강 조작 기구(27)에 의해 상하 방향으로 승강 가능하게 지지되어 있다.
그리고, 승강 조작 기구(27)은, 도 4~도 6에 나타낸 바와 같이, 드럼 구동용 모터 M1에 의해 상하 방향의 축심 주위에서 회전하는 회전 드럼(28)에 의해, 4개의 와이어(5)를 동시에 감고 또한 푸는 것이 가능하고, 회전 드럼(28)을 정역전시킴으로써, 이 4개의 와이어(5)에서 매달려 지지된 승강체(25)가 대략 수평 자세를 유지하면서 승강된다.
상기 파지 유닛(24)에는, 용기(2)의 플랜지(7)를 파지하는 한 쌍의 파지구(30)가 수평의 요동축 주위에서 요동 가능하게 설치되고, 이들 한 쌍의 파지구(30)가 파지 동작용 모터 M2에 의해 링크 기구(29)를 사이에 두고 서로 근접하는 방향으로 요동하여 플랜지(7)를 파지하는 파지 자세와, 한 쌍의 파지구(30)가 서로 떨어지는 방향으로 요동하여 파지를 해제하는 해제 자세로 절환 가능하게 구성되어 있다. 이 파지구(30)의 각각은 L자형의 암이다.
그리고, 이 파지 유닛(24), 세로 축심 주위에서 회전 가능하게 승강체(25)에 장착되고, 선회용 모터 M3에 의해 세로 축심 주위에서 선회 가능하게 구성되어 있다. 또한, 파지 유닛(24)을 주행 차체(9)에 대하여, 주행 차체(9)의 진행 방향과는 수직의 가로 방향으로 이동시키는 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 이 기구를, 도시하지 않지만 한 쌍의 연결봉(10, 11)와 파지부(4) 사이에 배치하는 것이 가능하다. 하나의 물체에 대하여 또 하나의 물체를 매달린 상태로 직선형으로 이동시키는 기구는 공지이며, 당업자의 지식의 범위에 포함되기 때문에, 자세하게는 설명하지 않지만, 연결봉(10, 11) 아래에 고정된 판과, 판에 설치된 한 쌍의 안내 레일과, 이 안내 레일에 매달린 상태로, 안내 레일 내를 슬라이드 가능하게 이동하여, 파지부(4)에 고정된 돌기와, 상기 판과 파지부(4)에 각각 설치되고, 서로 나사결합되는 나사축과, 이 나사축의 한쪽을 구동하는 모터가 구비되어 있다.
상기 파지부(4)는, 승강 유닛(12)에 더하여, 매달린 상태의 용기(2)의 저면부(2c)의 하부에 위치하여, 용기(2)의 저면부(2c)를 캐칭할 수 있는 캐칭 위치와, 매달린 상태의 용기(2)의 하부로부터 퇴피하는 퇴피 위치로 위치 변경 가능한 낙하 방지체(22)를 구비하고 있다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 각각의 낙하 방지체(22)는, 단면이 L자형으로 형성된 이동체(22a)와, 이동체(22a)에 고정된 한 쌍의 프레임(22b)과, 프레임(22b)에 고정된 판상체(22c)로 구성된다.
도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 낙하 방지체(22)의 이동체(22a)가, 이동차(3)에 대하여 전방측 개소 및 후방측 개소로부터 하부 측으로 연장 설치된 한 쌍의 세로 프레임 부분(31)의 각각에 대하여, 수평 축심(32)과 일체적으로 회동하도록 장착되어 있다.
그리고, 한 쌍의 이동체(22a)가, 수평 축심(32) 주위에 요동함으로써, 도 7에 있어서 실선으로 나타낸 캐칭 위치와, 점선으로 나타낸 퇴피 위치 사이에서 이동된다.
도 7은, 낙하 방지체(22)나 흔들림 방지체(23) 등을 나타내고, 그 외의 부재를 생략한 이동차(3)의 종단 측면부이며, 도 8은, 낙하 방지체(22)나 흔들림 방지체(23) 등을 나타내고, 그 외의 부재를 생략한 이동차(3)의 횡단 평면도이다.
한 쌍의 이동체(22a)를 캐칭 위치와 퇴피 위치로 위치 변경하기 위해서, 정역전 가능한 낙하 방지체용의 구동 수단으로서의 구동 모터(35), 이동차(3)의 전후 방향에 따르는 샤프트(33), 샤프트(33)의 회동에 의해 수평 축심(32)을 회동시키는 원통 캠(36) 및 캠 폴로어(37)가 설치되어 있다.
설명을 더하면, 샤프트(33)의 전단부 및 후단부의 각각에는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 원통 캠(36)이 설치되고, 수평 축심(32)의 일단부에는, 원통 캠(36)의 캠 홈(36a)에 안내되는 캠 폴로어(37)가 설치되어 있다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 수평 축심(32)은, 샤프트(33)의 축심과는 편위(offset)되어 있다.
그리고, 도 7에 나타낸 낙하 방지체용의 구동 모터(35)를 정회전 또는 역전시켜, 샤프트(33)를 타이밍 벨트(34)를 통하여 회동시킴으로써, 캠 폴로어(37)가 원통 캠(36)의 캠 홈(36a) 내에서 안내되어, 도 9에 나타낸 바와 같이, 수평 축심(32)이 회동하고, 이동체(22a)가 수평 축심(32) 주위에 요동된다. 도 9의 (A)는, 이동체(22a)를 캐칭 위치로 위치 변경했을 때의 각 부분의 위치를 나타내고 있고, 도 9의 (B)는, 이동체(22a)를 퇴피 위치로 위치 변경했을 때의 각 부분의 위치를 나타내고 있다.
또, 샤프트(33)의 가까운 곳에는, 샤프트(33)의 회동량을 검출함으로써, 낙하 방지체(22)가 캐칭 위치로 위치 변경된 상태와 낙하 방지체(22)가 퇴피 위치로 위치 변경된 상태를 검출하는 위치 변경 검출 센서(38)가 설치되어 있다.
이동체(22a)는, 이동차 가로폭 방향에 있어서, 세로 프레임 부분(31)의 일부를 노치한 부분에 장착되고, 수평 축심(32)은, 이동차 가로폭 방향의 대략 전체 길이에 걸쳐 설치되어 있다.
그리고, 샤프트(33)나 낙하 방지체용의 구동 모터(35) 등의 부재는, 세로 프레임 부분(31)이나 프레임(21)으로부터 하부 측으로 연장 설치되는 커버(42) 등에 의해 지지되어, 이동차 가로폭 방향의 일단 측에 설치되어 있다.
도 7~도 9에 나타낸 바와 같이, 파지부(4)에서 매달린 상태로 파지되어 있는 용기(2)의 측면부를, 이동차(3)의 전과 후의 양쪽 모두에 있어서, 가압하여 지지하는 흔들림 방지체(23)가 낙하 방지체(22)에 설치되어 있다. 이 흔들림 방지체(23)는, 낙하 방지체(22)를 캐칭 위치로 위치 변경함으로써, 용기(2)의 측면부를 가압하여 지지하는 지지 위치로 절환되어, 퇴피 위치로 위치 변경함으로써, 용기(2)의 측면부에 대한 가압에 의한 지지를 해제하는 해제 위치로 절환된다.
도 7과 8에 나타낸 바와 같이, 흔들림 방지체(23)는, 낙하 방지체(22)의 판상체(22c)에 고정된 브래킷(40)과 이 브래킷(40)에 설치된 상하 축심(43) 주위에서 요동 가능한 요동 부재(23a)와, 그 요동 부재(23a)의 선단부의 상하 축심 주위에 회동 가능하게 장착되어 용기(2)의 측면부에 맞닿는 롤러(39)를 구비하고 있다. 요동 부재(23a)는 용기(2)의 측면부에 대하여 원근 방향으로 롤러(39)를 이동시키도록 요동 가능하고, 탄성 수단인 토션 스프링(41)에 의해 용기(2)의 측면부에 대한 접근 측으로 탄성 가압되어 있다.
탄성 가압 수단으로서는, 토션 코일 스프링에 한정되는 것이 아니고, 수지 성형 부재, 판 스프링이나 코일 스프링 등의 각종의 탄성 부재가 적응 가능하다.
흔들림 방지체(23)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 용기(2)의 측면부에 있어서의 이동차 가로폭 방향의 중앙 부분을 롤러(39)에서 가압 지지하여, 롤러(39)의 회동을 허락함으로써, 상하 축심 주위에서의 용기(2)의 움직임이나 이동차 가로폭 방향에서의 용기(2)의 움직임을 허용하면서, 이동차(3)의 전후 방향에서의 용기(2)의 흔들림을 방지, 또는 경감한다. 롤러(39)는 우레탄(urethane)으로 형성되어 있지만, 우레탄의 다른 탄성 소재로 형성하는 것도 가능하다.
도 8에 있어서, 상하 축심 주위에서 움직인 용기(2)를 점선으로 나타내고 있다.
도 10에 나타낸 바와 같이, 흔들림 방지체(23)를 지지 위치로 절환한 상태에 있어서, 롤러(39)의 회동 동작을 저지하는 고정 상태와 롤러(39)의 회동 동작을 허용하는 비고정 상태로 절환 가능한 회동체 고정 수단(또는, 전기식 작동 수단)으로서의 전자 브레이크(44)가 설치되어 있다. 이 전자 브레이크(44)는, 요동 부재(23a)의 선단에 고정된 전자 코일부(44a)과, 롤러(39)와 일체로 회전 가능한 상하축(45)의 상단에 대하여 고정된 영구 자석, 또는 철 등의 자성체(44b)를 구비한다.
따라서, 전자 브레이크(44)는, 통전 상태에 있어서, 상하축(45), 즉 롤러(39)의 회동을 저지하는 고정 상태로 절환되어, 비통전 상태에 있어서, 롤러(39)의 회동을 허용하는 비고정 상태로 절환된다.
상기 이동차(3)의 주행 제어나 승강 유닛(12)의 승강 제어 등을 제어하는 제어부 C(도 5)가 설치되고, 이 제어부는, 설치 시설 측으로부터의 지령, 및 이동차(3)에 설치된 각종 센서의 검출 정보에 따라, 이동차(3)의 주행 제어나 파지 유닛(24)의 승강 제어 등을 제어한다.
다음에, 상기 이동차(3)의 구체적인 동작에 대하여 설명한다.
예를 들면, 하나의 물품 처리부(1)로부터 다른 물품 처리부(1)로 용기(2)를 반송하는 경우에는, 먼저, 최초의 물품 처리부(1)에 대하여 원하는 위치로 이동차(3)를 정지시킨다.
그리고, 낙하 방지체용의 구동 모터(35)를 작동시켜, 도 9의 (B)에 나타낸 바와 같이, 낙하 방지체(22)를 퇴피 위치로 위치 변경시킴으로써, 흔들림 방지체(23)를 해제 위치로 절환한 후, 도 3에 나타낸 바와 같이, 승강 유닛(12)을 내려, 물품 처리부(1)의 탑재대(1a)의 설정 탑재 위치(예를 들면, 중앙 위치)에 탑재된 용기(2)를 잡아 취한다.
파지 유닛(24)에 의해 용기(2)를 잡아 취하면, 승강 유닛(12)을 설정 높이까지 약간 상승시키고, 낙하 방지체용의 구동 모터(35)를 작동시켜, 도 9의 (A)에 나타낸 바와 같이, 낙하 방지체(22)를 캐칭 위치로 이동시킴으로써, 흔들림 방지체(23)를 지지 위치로 절환한다. 이 때, 한 쌍의 롤러(39)가 용기(2)와 맞닿는다.
그 후, 용기(2)를 반송 위치까지 상승시키기 위해, 파지 유닛(24)을 주행 차체(9)의 방향으로 끌어올린다.
그리고, 파지 유닛(24)에서 용기(2)를 파지시킨 상태로, 또한 전자 브레이크(44)가 비고정 상태에서, 이동차(3)를 안내 레일(6)에 따라 주행시킨다.
그 이동차(3)의 주행 중에, 필요에 따라서 용기(2)의 위치 조정을 행한 후, 전자 브레이크(44)를 고정 상태로 절환하여, 안내 레일(6)에 따라 주행시켜, 목적하는 물품 처리부(1)에 대한 원하는 위치로 이동차(3)를 정지시킨다.
그리고, 낙하 방지체용의 구동 모터(35)를 작동시켜, 도 9의 (B)에 나타낸 바와 같이, 낙하 방지체(22)를 퇴피 위치로 위치 변경하고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 파지 유닛(24)을 내림으로써, 물품 처리부(1)의 탑재대(1a)의 설정 탑재 위치(예를 들면, 중앙 위치)에 용기(2)를 탑재하도록 하고 있다.
용기(2)의 위치 조정에 대하여 설명을 더하면, 목적하는 물품 처리부(1)의 탑재대(1a)의 설정 탑재 위치가, 안내 레일(6)의 중심에 대하여 이동차 가로폭 방향으로 어긋나 있거나, 목적하는 물품 처리부(1)의 탑재대(1a)의 설정 탑재 위치의 방향이, 파지부(4)에서 파지되어 있는 물품의 방향과 다른 경우에는, 이동차(3)의 주행 중에, 먼저, 파지부(4)를 이동차 가로폭 방향으로 이동시키거나, 파지 유닛(24)을 주행 차체(9)에 대하여 세로 축심 주위에서 선회시킴으로써, 용기(2)의 위치 조정을 행한다.
그리고, 용기(2)의 위치 조정을 행한 후, 전자 브레이크(44)를 고정 상태에 절환하여, 제어 대상의 물품 처리부(1)에 대한 원하는 위치까지, 이동차(3)를, 파지부(4)에서 용기(2)를 파지시킨 상태로, 안내 레일(6)에 따라 주행시킨다.
〔다른 실시예〕
본 발명의 범위를 일탈하지 않고, 위에서 설명한 적합한 실시예를 변경하는 것이 가능하다. 다음에 그 몇가지 예를 기재한다.
(1) 용기(2)에는, 도 11에 나타낸 바와 같이, 그 저부분의 주변에 플랜지(2d)가 형성되어 있는 경우가 있다. 이 경우, 이 롤러(39)를 이 플랜지(2d)의 측면에 맞닿도록 롤러(39) 또는 용기(2)의 높이를 조정하는 것이 바람직하다. 플랜지(2d)는 상하 방향으로 뻗는 측면과 수평의 상면과 하면을 가진다. 롤러(39) 의 내측에는 상한(39c)을 가지는 공간(39b)이 형성되어 있다. 플랜지(2d)의 표면, 또는 하면과 공간(39b)의 상한(39c)의 상대 위치의 가능성으로서 다양한 경우가 고려된다. 플랜지(2d)의 하면이, 롤러(39)의 공간(39b)의 상한(39c)보다 위, 또는, 아래의 레벨에 위치하도록 롤러(39)나 용기(2)의 높이를 조정하는 것이 가능하다. 또한, 플랜지(2d)의 상면이, 롤러(39)의 공간(39b)의 상한(39c)보다 아래의 레벨에 위치하도록 롤러(39)나 용기(2)의 높이를 조정하는 것도 가능하다.
(2) 상기 실시예에서는, 낙하 방지체(22)나 흔들림 방지체(23)가, 용기(2)에 대하여 이동차(3)의 전방측 개소 및 후방측 개소의 각각에 설치되어 있지만, 예를 들면, 용기(2)에 대하여 이동차 가로폭 방향의 좌우 양측에 설치해도 되고, 흔들림 방지체(23)의 설치 위치는 적당히 변경이 가능하다.
(3) 상기 실시예에서는, 용기(2)에 대하여 전후에, 흔들림 방지용의 흔들림 방지체(23)를 설치하고 있지만, 흔들림 방지체(23)의 수에 대하여는, 적당히 변경이 가능하고, 하나나 3개 이상으로 해도 된다.
흔들림 방지체(23)를 하나로 할 때에는, 예를 들면, 낙하 방지체(22)를 하나로 하여, 용기(2)보다 후방측에만, 지지 위치와 해제 위치로 변경 가능한 흔들림 방지체(23)를 설치하여, 용기(2)보다 전방 측에, 용기(2)의 측면부를 맞대어 설치되는 고정되는 벽부를 설치하여, 하나의 흔들림 방지체(23)에서 용기(2)의 측면부를 고정되는 벽부에 맞대어 설치함으로써, 용기(2)의 측면부를 가압 지지하는 것이 가능해진다.
(4) 상기 실시예에서는, 낙하 방지체(22)가, 용기(2)에 대하여 이동차(3)의 전방측 개소 및 후방측 개소의 각각에 설치되어 있지만, 낙하 방지체(22)의 수에 대하여는, 하나나 3개 이상으로 해도 되고, 적당히 변경 가능하다.
낙하 방지체(22)를 하나로 할 경우에는, 예를 들면, 용기(2)에 대하여 이동차(3)의 후방측 개소에, 캐칭 위치로 위치 변경되었을 때에 용기(2)의 이동차 전후폭의 전체 길이에 걸친 낙하 방지체를 설치하고, 용기(2)에 대하여 이동차(3)의 전방측 개소에, 용기(2)의 측면부에 따른 고정되는 벽부를 설치하여, 하나의 낙하 방지체와 고정되는 벽부와의 협동 작용에 의해 용기(2)를 캐칭하는 것이 가능해진다.
(5) 상기 실시예에서는, 흔들림 방지체(23)가, 요동 부재(23a)를 설치하고 있지만, 예를 들면, 이 요동 부재(23a)에 대신하여, 용기(2)의 측면부에 대하여 원근 방향으로 선단부를 이동시키도록 이동 가능하게 지지되고, 또한 탄성 가압 수단에서 용기(2)의 측면부에 대한 접근 측으로 탄성 부세된 수평 이동 부재를 설치하여, 그 수평 이동 부재의 선단부에 롤러(39)를 상하 축심 주위에 회동 가능하게 장착하는 것도 가능하다.
(6) 상기 실시예에서는, 회동체용 고정 수단으로서 전기식 작동 수단으로서 전자 브레이크(44)가 사용되고 있지만, 회동체용 고정 수단은, 전기식 작동 수단에 한정되지 않고, 예를 들면, 도그 클러치(dog clutch)와 같은, 한 쌍이 서로 맞물리는 부분을 가지는 기계 브레이크로 구성하여 행하는 것도 가능하다.
(7) 상기 실시예에서는, 낙하 방지체(22)가, 수평 축심(32) 주위의 요동에 의해, 캐칭 위치와 퇴피 위치로 위치 변경되도록 설치되어 있지만, 용기(2)의 측면부에 대하여 원근 방향에서의 이동에 의해, 캐칭 위치와 퇴피 위치로 위치 변경되 도록 설치하는 것도 가능하다.
(8) 상기 실시예에서는, 하나의 낙하 방지체용의 구동 모터(35)에 의해, 한 쌍의 이동체(22a)를 캐칭 위치와 퇴피 위치로 위치 변경하도록 하고 있지만, 한 쌍의 이동체(22a)의 각각에, 캐칭 위치와 퇴피 위치로 위치 변경하기 위한 구동 모터를 설치하여 행하는 것도 가능하다.
(9) 상기 실시예에서는, 물품으로서 반도체 기판을 수납한 용기(2)를 반송하는 반송 장치를 예시했지만, 반송하는 물품은 적당히 변경이 가능하다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 반송 장치는, 안내 레일에 따라 이동하는 이동차에, 물품을 매단 상태로 파지하는 파지부가 승강 구동 가능하게 구비되고, 파지부에서 매달린 상태로 파지되어 있는 물품의 측면부를 가압 지지하는 흔들림 방지체가, 물품의 측면부를 가압 지지하는 지지 위치와 물품의 측면부에 대한 가압 지지를 해제하는 해제 위치로 절환 가능하게 설치되며, 흔들림 방지체는, 물품의 측면부에 대하여 원근 방향으로 이동 가능하며 또한 물품의 측면부에 대한 접근하는 측으로 탄성 가압된 상태이며 또한 상하 축심 주위에서 회동 가능한 상태로 설치되어 있는 회동체에서 물품의 측면부를 가압 지지하도록 구성되고, 흔들림 방지체(23)를 지지 위치로 절환한 상태에 있어서, 회동체의 회동 동작을 저지하는 고정 상태와 회동체의 회동 동작을 허용하는 비고정 상태로 절환 가능한 회동체용 고정 수단이 설치되어 있다.
전술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 파지부에서 매달린 상태로 파지되는 물 품의 흔들림을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 안내 레일을 따라 이동하는 이동차에, 물품을 매단 상태로 승강 가능하게 파지하는 파지부가 구비되어 있는 반송 장치로서,
    상기 파지부에 매달린 상태의 상기 물품의 저면부의 하부 측에 위치하여, 상기 물품의 저면부를 캐칭(catching)할 수 있는 캐칭 위치와, 매달린 상태의 상기 물품의 하부 측으로부터 퇴피하는 퇴피 위치로 구동 수단에 의해 위치 변경 조작 가능한 낙하 방지체가 구비되고,
    상기 파지부에 의해 매달린 상태로 파지되어 있는 물품의 측면부를 가압 지지하는 흔들림 방지체는, 상기 물품의 측면부를 가압 지지하는 지지 위치와 상기 물품의 측면부에 대한 가압 지지를 해제하는 해제 위치로 절환 가능하게 설치되고,
    상기 흔들림 방지체는, 상기 물품의 측면부에 대한 원근 방향으로 선단부를 이동시키도록 요동 가능하게 상기 낙하 방지체에 대하여 축 지지되고, 탄성 가압 수단에 의해 물품의 측면부에 대하여 접근 방향으로, 상기 낙하 방지체에 대하여 가압된 요동 부재를 구비하고, 상기 요동 부재의 선단부에 설치된 상하 축심 주위에 회동 가능한 회동체에 의해 상기 물품의 측면부를 가압 지지하도록 구성되고, 이 구성에 의해 상기 흔들림 방지체는, 상기 낙하 방지체를 상기 캐칭 위치로 위치 변경함으로써 상기 지지 위치로 절환되고, 상기 낙하 방지체를 상기 퇴피 위치로 위치 변경함으로써 상기 해제 위치로 절환되며,
    상기 흔들림 방지체를 상기 지지 위치로 절환한 상태에 있어서, 상기 회동체의 회동을 저지하는 고정 상태와 상기 회동체의 회동을 허용하는 비고정 상태로 절환 가능한 회동체용 고정 수단이 설치되어 있고,
    상기 회동체용 고정 수단은 상기 요동 부재의 상기 선단부에 고정된 전기식 작동 수단인,
    반송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 낙하 방지체는, 상기 물품에 대하여 상기 이동차의 전후 방향의 전방측 개소와 후방측 개소에 각각 설치되고,
    상기 회동체는, 상기 물품의 측면부에 있어서의 상기 이동차 가로폭 방향의 중앙 부분을 가압 지지하도록 설치되어 있는, 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 낙하 방지체는, 상기 파지부에 설치된 수평 축심 주위의 요동에 의해, 상기 캐칭 위치와 상기 퇴피 위치로 이동되도록 설치되어 있는, 반송 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 안내 레일을 따라 이동하는 이동차에, 물품을 매단 상태로 승강 가능하게, 세로축 주위에서 요동 가능하게 파지하는 파지부가 구비되어 있는 반송 장치로서, 상기 파지부에 매달린 상태의 상기 물품의 저면부의 하부 측에 위치하여, 상기 물품의 저면부를 캐칭(catching)할 수 있는 캐칭 위치와, 매달린 상태의 상기 물품의 하부 측으로부터 퇴피하는 퇴피 위치로 구동 수단에 의해 위치 변경 조작 가능한 낙하 방지체가 구비되고, 상기 파지부에 의해 매달린 상태로 파지되어 있는 물품의 측면부를 가압 지지하는 흔들림 방지체는, 상기 물품의 측면부를 가압 지지하는 지지 위치와 상기 물품의 측면부에 대한 가압 지지를 해제하는 해제 위치로 절환 가능하게 설치되고, 상기 흔들림 방지체는, 상기 물품의 측면부에 대한 원근 방향으로 선단부를 이동시키도록 요동 가능하게 상기 낙하 방지체에 대하여 축 지지되고, 탄성 가압 수단에 의해 물품의 측면부에 대하여 접근 방향으로 상기 낙하 방지체에 대하여 가압된 요동 부재를 구비하고, 상기 요동 부재의 선단부에 설치된 상하 축심 주위에 회동 가능한 회동체에 의해 상기 물품의 측면부를 가압 지지하도록 구성되고, 이 구성에 의해 상기 흔들림 방지체는, 상기 낙하 방지체를 상기 캐칭 위치로 위치 변경함으로써 상기 지지 위치로 절환되고, 상기 낙하 방지체를 상기 퇴피 위치로 위치 변경함으로써 상기 해제 위치로 절환되며, 상기 흔들림 방지체를 상기 지지 위치로 절환한 상태에 있어서, 상기 회동체의 회동을 저지하는 고정 상태와 상기 회동체의 회동을 허용하는 비고정 상태로 절환 가능한 회동체용 고정 수단이 설치되어 있고,
    상기 회동체용 고정 수단은 상기 요동 부재의 상기 선단부에 고정된 전기식 작동 수단인 반송 장치를 이용한 반송 방법에 있어서,
    상기 반송 방법은,
    상기 물품을 상기 파지부에 의해 파지하고;
    상기 파지부에 의해 상기 물품을 설정 높이까지 상승시키고;
    상기 낙하 방지체를 상기 캐칭 위치까지 이동시킴으로써, 상기 회동체에 상기 물품의 측면부를 가압 지지시키고;
    상기 파지부에 의해 상기 물품을 반송 위치까지 상승시키고;
    상기 이동차를 상기 안내 레일을 따라 이동시키고;
    상기 물품을 상기 세로축 주위에서 회전시키고;
    상기 이동차가 이동을 개시한 후에 상기 회동체용 고정 수단을 고정 상태로 절환하는,
    반송 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 전기식 작동 수단은 상기 요동 부재의 상기 선단부에 고정된 전자 코일부와, 상기 회동체와 일체로 회전 가능한 상하 축(軸)에 대하여 고정된 자성체를 구비하는 전자 브레이크인, 반송 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 전기식 작동 수단은 상기 요동 부재의 상기 선단부에 고정된 전자 코일부와, 상기 회동체와 일체로 회전 가능한 상하 축(軸)에 대하여 고정된 자성체를 구비하는 전자 브레이크인, 반송 방법.
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