JP2023043097A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】各種部品間のシール性を向上させる基板収納容器を提供する。【解決手段】前面に開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体と、容器本体の外部から内部空間に気体を供給可能な気体置換ユニットと、を備える基板収納容器であって、各種部品９０，９５間に設けられた少なくとも１つのシール部材７は、環状のものであり、かつ、断面が各頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃに向かって３方向に延びる略三角形状である。また、シール部材７は、気体の圧力を受ける受圧部分が、各頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ間のうち断面の外形に沿った距離が最も長い部分７１Ａ～７１Ｂである。【選択図】図４

Description

本発明は、複数枚の基板を収納可能な基板収納容器に関する。

半導体ウエハなどの基板は、基板収納容器の内部空間に収納され、倉庫での保管、半導体加工装置間での搬送、工場間での輸送などに使用されている。このような基板収納容器として、前面に開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体と、容器本体の外部から内部空間に気体を供給可能な気体置換ユニットと、を備えるものが知られている（特許文献１及び２参照）。

そして、基板収納容器は、内部空間に収納した基板が酸化や汚染されないように、内部空間が窒素ガスなどの不活性ガスやドライエアで置換されることがある。そこで、基板収納容器を構成する各種部品間には、気体の漏れを防止するために、Ｏリングが設けられている（図８参照）。

国際公開第２０１８／１７９９６４号 特開２０１６－００４９４９号公報

基板収納容器には高いシール性が要求されているが、Ｏリングの場合、シール性を高めるためには、Ｏリングの潰し量を大きくする必要があるが、潰し量を大きくすると、Ｏリング自体の弾性による反発力も大きくなる。そのため、Ｏリングを介在させる部品同士を組み付ける際、作業者に過大な力（潰し力）を要し、組立作業性が悪化することがあり、小さな潰し量（潰し力）で、高いシール性の確保できる基板収納容器が求められている。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、各種部品間のシール性を向上させる基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る１つの態様は、前面に開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の外部から内部空間に気体を供給可能な気体置換ユニットと、を備える基板収納容器であって、各種部品間に設けられた少なくとも１つのシール部材は、環状のものであり、断面が各頂点に向かって３方向に延びる略三角形状である。
（２）上記（１）の態様において、前記シール部材は、３か所の頂点付近が少なくとも各種部品に接触してもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記シール部材は、前記気体の圧力が付加されると、各種部品に接触する接触箇所が増加してもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記シール部材は、前記気体の圧力を受ける受圧部分は、各頂点間のうち断面の外形に沿った距離が最も長い部分であってもよい。
（５）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記気体置換ユニットは、前記気体の流通又は遮断を行うチェックバルブを含むバルブユニットであってもよい。
（６）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記気体置換ユニットは、前記気体を吹出す吹出孔を上下方向に複数配列したタワーノズル型であってもよい。
（７）上記（１）から（６）までのいずれか１つの態様において、前記気体は、窒素ガス、ドライエア又はクリーンドライエアであってもよい。
（８）本発明に係る別の１つの態様は、前面に開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の外部から内部空間に気体を供給可能な気体置換ユニットと、前記気体置換ユニットを装着するオフセット部材と、を備える基板収納容器であって、前記オフセット部材は、オフセットプレート押さえと、オフセットプレートと、前記オフセットプレート押さえと前記オフセットプレートとの間に設けられたシール部材と、を含み、前記シール部材は、環状のものであり、断面が各頂点に向かって３方向に延びる略三角形状である。

本発明によれば、各種部品間のシール性を向上させる基板収納容器を提供することができる。

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す分解斜視図である。 気体置換ユニットの上部固定状態を示す断面斜視図である。 気体置換ユニットの下部固定状態を示す断面斜視図である。 図３におけるＡ部分を拡大した状態を示す拡大断面図である。 図４におけるシール部材の装着状態を簡略化して示す断面図である。 図５におけるシール部材の装着状態を模式化して示す模式図である。 シール部材の他の装着状態Ａを示す断面図である。 シール部材の他の装着状態Ｂを示す断面図である。 シール部材の他の装着状態Ｃを示す断面図である。 シール部材の他の装着状態Ｄを示す断面図である。 従来の基板収納容器における、図４と同様の部分を拡大した状態を示す拡大断面図である。 図８におけるシール部材の装着状態を簡略化して示す断面図である。

以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。また、図面中に、前面Ｆの方向及び後方（背面壁２ｂ）Ｂの方向を、実線矢印で示している。また、左右は、前面Ｆから見た状態を指すものとする。

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す分解斜視図である。
図１に示される基板収納容器１は、前面Ｆに開口部を有し、複数枚の基板を収納する容器本体２と、この容器本体２の開口部を閉鎖する蓋体４と、を備えている。

容器本体２は、前面開口枠２ａと、背面壁２ｂと、右側壁２ｃと、左側壁２ｄと、天面２ｅと、底面２ｆとで形成される、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものである。

容器本体２の背面壁２ｂには、更に後方Ｂに突出する突出部が左右両側に形成されている。この突出部は、容器本体２の前面Ｆの開口部を上向きにして載置される際に、脚部として機能する。また、容器本体２の背面壁２ｂの中央外側には、収納された基板の枚数の補助となる目盛りなどが表示される（図１参照）。

容器本体２の右側壁２ｃ及び左側壁２ｄの外側の中央付近には、握持操作用に機能するハンドル２３がそれぞれ取付けられている。

また、容器本体２の右側壁２ｃ及び左側壁２ｄの内側には、収納される基板を水平に支持する左右一対の支持片２１がそれぞれ複数設けられ、右側壁２ｃ及び左側壁２ｄの内側の後方Ｂ側には、基板を後方Ｂに向けて挿入した際に、基板の挿入位置を規制する位置規制部２２がそれぞれ設けられている。

この左右一対の支持片２１は、天面２ｅと底面２ｆとを結ぶ上下方向に所定のピッチで配列され、各支持片２１が基板の周縁を支持する細長い板状に形成されている。なお、実施形態では、２５枚の基板が支持できるように支持片２１が設けられているが、基板の最大収納枚数は２５枚に限らない。また、基板収納容器１に収納される基板としては、直径が３００ｍｍや４５０ｍｍの半導体ウエハ、マスクガラスなどが挙げられる。

このとき、基板は、容器本体２に必要に応じて満載状態で収納されたり、満載状態より少ない数が収納されたり、収納位置が変えられたりするため、容器本体２への収納枚数及び収納状態は、基板収納容器１の使用態様によって種々異なる。例えば、複数枚の基板が、上方又は下方に偏って収納されたり、１つ置きに収納されたりすることもある。

容器本体２の天面２ｅの外側には、ロボティックフランジなどのトップフランジ２５が取付けられている。このトップフランジ２５は、例えば、半導体製造工場の天井搬送車に把持され、工程間を搬送されたり、半導体加工装置などの蓋体開閉装置に位置決めに利用されたりする。

容器本体２の底面２ｆの外側には、容器本体２を位置決め、載置するためのボトムプレート２６が取付けられている。

一方、蓋体４は、容器本体２の前面開口枠２ａの開口部に対して、着脱自在に装着されるもので、シールガスケット（図示なし）が容器本体２の前面開口枠２ａに対向するように取付けられている。シールガスケットは、蓋体４を容器本体２に装着した際、容器本体２と蓋体４との間の周縁部に密着し、基板収納容器１の内部空間の気密性を維持するように構成されている。なお、この気密性が維持された基板収納容器１の内部空間の空気は、後述する気体置換ユニット３により気体で置換される。

そして、容器本体２や蓋体４、また、ハンドル２３、トップフランジ２５、ボトムプレート２６などの付属品は、所要の樹脂を含有する成形材料により射出成形されたり、射出成形された複数の部品の組み合わせにより構成されたりする。成形材料に含まれる樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイなどが挙げられる。

また、これら成形材料の樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマーなどからなる導電性物質やアニオン、カチオン、非イオン系などの各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。さらに、紫外線吸収剤や、剛性を向上させる強化繊維なども必要に応じて添加される。なお、容器本体２、蓋体４、ハンドル２３、トップフランジ２５及びボトムプレート２６などは、透明、不透明、半透明のいずれでもよい。

ところで、容器本体２の底面２ｆには、３つの給気弁５０（図３参照）と１つの排気弁（図示なし）とが設けられている。これらの給気弁５０及び排気弁は、基板収納容器１の外部から内部空間に又は内部空間から外部に気体を流通させることにより、収納した基板の表面の変質を抑制したり、基板収納容器１の内部空間と外部との圧力差を解消したりするように機能する。ただし、給気弁５０及び排気弁の数量や配置は、本実施形態に限られず、２つの給気弁５０と２つの排気弁とを設けるような配置であってもよいし、その他の数量及び配置であってもよい。

このうち、２つの給気弁５０が、底面２ｆの後方Ｂの左右両側に設けられている。これら２つの給気弁５０は、後述する気体置換ユニット３が気体を流通可能に接続されている。また、１つの給気弁５０と１つの排気弁とが、底面２ｆの前面Ｆ付近の左側又は右側に設けられている。給気弁５０は、逆止弁（図示なし）を有するとともに、通気性を有するフィルタ部材５１（図示なし）が取付けられている。

一方、排気弁は、逆止弁（図示なし）を有するとともに、例えば、湿度（又は濃度）センサを取付けることで、基板収納容器１の内部空間を気体で置換した後、基板収納容器１の内部空間における湿度（又は濃度）の測定を行うことができ、基板収納容器１の内部空間への気体の置換が正常に行われているかの管理を行うことができる。なお、吹出す気体としては、不活性ガスやドライエア又はクリーンドライエアが挙げられる。さらに、不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガスなどが挙げられるが、コスト面から窒素ガスが好ましい。また、内部空間の圧力は、最高で０．４ＭＰａ程度になることがある。

つぎに、気体置換ユニット３について説明する。
図２は、気体置換ユニット３の上部固定状態を示す断面斜視図である。図３は、気体置換ユニット３の下部固定状態を示す断面斜視図である。図４は、図３におけるＡ部分を拡大した状態を示す拡大断面図である。

気体置換ユニット３は、容器本体２の内部空間に気体を吹出すことで、内部空間を気体で置換するものである。この気体置換ユニット３は、基板が挿入された状態でも基板と干渉しないように、容器本体２の後方Ｂ（背面壁２ｂ又は突出部付近）の左右両側に、長手方向を上下方向（縦方向）にして設けられている（図１参照）。なお、右側の気体置換ユニット３と左右対称の位置には、図示されない左側の気体置換ユニット３が設けられている。

気体置換ユニット３は、ハウジング部材３１と、カバー部材３２とを含み（図３参照）、略五角形柱状に形成されているが、形状はこれに限られない。また、気体置換ユニット３は、容器本体２などと同様の樹脂で形成されても、異なる樹脂で形成されてもよい。

ハウジング部材３１は、気体を貯留するように、一方が開口した面となる箱状に形成されており、この開口した面を覆うように、カバー部材３２が、爪などの係止手段（係合手段）によって取付けられている。これらのハウジング部材３１とカバー部材３２とで、気体を貯留する空間が形成されている。

ここで、ハウジング部材３１は、所定の角度で交差し、大きさの異なる２つの面部を有している。なお、各面部の交差角度は、内角で１２０°から１７０°の範囲である。

ハウジング部材３１の下面には、給気弁５０からの気体が流れ込む円筒状の接続具３１１が突出して設けられている。なお、接続具３１１の近傍には、気体置換ユニット３の左右方向の回転を止め、回転方向の位置決めをする回止め突起（図示なし）が形成されている。

一方、ハウジング部材３１の上面には、容器本体２に位置決め固定するための円柱状の位置決め突起３１３が形成されている。

ハウジング部材３１の一方の面部には、横長の略矩形状の吹出孔が、上下方向（長手方向）に上から順に、第１吹出孔３１ａ，３１ｂ，３１ｃ・・・３１ｘ，３１ｙ，３１ｚ（以下、必要に応じて「第１吹出孔群３１ａ－ｚ」という。）が、等間隔（例えば、開口の中心間が１０ｍｍピッチ）で２６か所に形成されている。

また、ハウジング部材３１の他方の面部には、同じく横長の略矩形状の吹出孔が、上下方向（長手方向）に上から順に、第３吹出孔３３ａ，３３ｂ，３３ｃ・・・３３ｘ，３３ｙ，３３ｚ（以下、必要に応じて「第３吹出孔群３３ａ－ｚ」という。）として、等間隔（例えば、開口の中心間が１０ｍｍピッチ）で２６か所に形成されている。

第１吹出孔群３１ａ－ｚと、第３吹出孔群３３ａ－ｚとを、所定の角度で交差する各面部にそれぞれ形成することにより、気体の吹出方向を異ならせることができる。

そして、カバー部材３２には、略矩形又は正方形状の吹出孔が、上下方向（長手方向）に上から順に、第２吹出孔３２ａ，３２ｂ・・３２ｅ，３２ｆ（以下、必要に応じて「第２吹出孔群３２ａ－ｆ」という。）として６か所に形成されている。

このように、気体置換ユニット３は、気体を吹出す第１吹出孔群３１ａ－ｚ、第３吹出孔群３３ａ－ｚ及び第２吹出孔群３２ａ－ｆを上下方向に複数配列したタワーノズル型に構成されている。

なお、ハウジング部材３１の内側には、通気性を有するフィルタ部材３４が設けられており、同じくカバー部材３２の内側には、通気性を有するフィルタ部材３５が設けられている。フィルタ部材３４，３５としては、例えば、不織布フィルタや多孔質体などが挙げられる。

ここで、気体置換ユニット３の容器本体２への取付固定方法について説明する。

気体置換ユニット３は、位置決め固定部材８及びオフセット部材９により容器本体２に取付けられている。具体的には、気体置換ユニット３の上部が、位置決め固定部材８に取付けられ、気体置換ユニット３の下部が、オフセット部材９に取付けられている。

そのため、容器本体２の背面壁２ｂの左右両側には、位置決め固定部材８を固定するために、円形の貫通孔２７が形成されており、また、貫通孔２７の上部には、ストッパ２８が形成されている。一方、容器本体２の底面２ｆの左右両側には、オフセット部材９を固定するために、取付孔２９が形成されている。この取付孔２９は、円形でなく大きな円と小さな円を繋いだ略楕円形状で形成されている。

位置決め固定部材８は、図２に示すように、細長い形状で、一端側が略板状で、他端側が矩形の軸で形成されている。この軸の周囲には、３つの円盤状のフランジ８１，８２，８３が他端側に向かって形成されている。

軸端のフランジ８３と中間のフランジ８２は、背面壁２ｂの貫通孔２７の径より小さく形成され、貫通孔２７に挿入される。中間のフランジ８２には、小径の段部が形成され、Ｏリング８４Ａが嵌め込まれ、また、内側のフランジ８１にも、小径の段部が形成され、Ｏリング８４Ｂが嵌め込まれている。

なお、内側のフランジ８１及びＯリング８４Ｂは、貫通孔２７の径より大きく形成されており、位置決め固定部材８の他端側を貫通孔２７に挿入した際、容器本体２とフランジ８１の間にＯリング８４Ｂが挟まるため、気体が漏れることがない。

そして、位置決め固定部材８を貫通孔２７に挿入後、軸端のフランジ８３と容器本体２の間に位置する矩形の軸に、内側が矩形状に形成され、外径が貫通孔２７より大きいＣリング８５を挟むことにより、位置決め固定部材８が貫通孔２７を介して容器本体２に固定されている。

また、位置決め固定部材８の一端側は、上方に屈曲した板形状で、細長いスリット８６が形成されている。このスリット８６には、ハウジング部材３１の位置決め突起３１３とストッパ２８が嵌り込む。端部８７は、更に上部に湾曲し、その更に先端にはＵ字型の切欠き８８が形成されている。

一方、オフセット部材９は、図３に示すように、底面２ｆの内側に位置するオフセットプレート押さえ９０と、底面２ｆの外側に位置するオフセットプレート９５との間に、気体が流通する隙間が形成されるように、シール部材７を介して組立てられている。

オフセットプレート押さえ９０には、ハウジング部材３１の回止め突起が嵌まり込む凹部９２が形成されており、回止め突起が凹部９２に嵌まり込むことで、回転する気体置換ユニット３の方向及び位置が決まる。

また、オフセットプレート押さえ９０には、気体置換ユニット３の接続具３１１を差し込む穴が形成されており、接続具３１１は、パッキン９３を介して差し込まれている。このオフセットプレート押さえ９０は、容器本体２の取付孔２９にＯリング９１を介して嵌め込まれている。

つぎに、オフセットプレート９５は、平面視で、パッキン９３の中心位置からズレた位置に、給気弁５０の中心が位置するように、給気弁５０を嵌め込む凹部が形成されている。

このような構成により、気体置換ユニット３は、まず下部の接続具３１１がオフセット部材９に取付けられ、その後、上部の位置決め突起３１３が位置決め固定部材８に取付けられ、容器本体２に固定されている。

ここで、オフセットプレート押さえ９０とオフセットプレート９５との間に設けられたシール部材７について説明する。
図５は、図４におけるシール部材７の装着状態を簡略化して示す断面図である。図６は、図５におけるシール部材７の装着状態を模式化して示す模式図である。なお、図５－６において、中実矢印は、部品の組付方向を示し、白抜き矢印は、気体の加圧方向を示す。また、白抜丸は、シール部材７と各種部品との接触箇所を示す。

シール部材７は、全体が環状のものであり、その断面は各頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃに向かって３方向に延びる略三角形状（あるいは略Ｙ字状）を呈している（図４参照）。シール部材７は、このような形状により、少なくとも３か所の頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ付近が接触箇所（シール箇所）７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ，７２Ｄとして各種部材に接触可能になっている。

また、シール部材７における各頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ間の断面の外形に沿った距離は、頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の距離が最も長く、次に、頂点７１Ａと頂点７１Ｃとの間の距離が長く、頂点７１Ｂと頂点７１Ｃとの間の距離が最も短くなっている。

そして、頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の部分が、気体による加圧空間側を向くように、部品間の隙間に設けられている。また、頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の部分は、頂点７１Ｃに向かって凹状（円弧状）になっている。そのため、気体の圧力が付加されると、シール部材７は、まず頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の部分が押圧され、頂点７１Ｃ側へと変形（又は変位）する。

さらに、頂点７１Ｂと頂点７１Ｃとの間の部分は、頂点７１Ａに向かって凹状（円弧状）になっているため、気体の圧力が付加されると、これらの部分と部品との間に形成される空間が減少するように、シール部材７は変形する（あるいは、撓む）ようになる。

このシール部材７の形状を模式化して、単純化すると、図６に示すような、３つの頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃを有する単純な三角形状で表現することができる。このとき、頂点７１Ｃは、いずれかの部品に接触していてもよく、気体の流路が頂点７１Ｃ側に先細りになっていてもよい。

ここで、図８に示すような従来のＯリングを用いた場合、気体の圧力を受けた際、加圧空間側に向かって凸状（円弧状）になっているため、Ｏリングの表面における法線方向に負荷が加わることになり、加圧空間側の接触箇所から離れる方向（隙間の上辺及び左辺から離れる方向）に変形しようとするため（図９参照）、シール性が低下することになる。

しかしながら、本実施形態のシール部材７を用いる場合、気体の圧力を受けた際、頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の部分に負荷が加わることになり、加圧空間側の接触箇所から離れる方向（隙間の上辺及び左辺から離れる方向）ではなく、隙間の上辺及び下辺に沿って右辺側に変位する方向に変形しようとするため、シール性が維持される。

さらに、基板収納容器１の内部空間が加圧状態になる前までは、接触箇所７２Ｄが実際には接触しておらず、実質的に３か所でシール性が確保されている。そして、内部空間が加圧状態になると、気体の加圧によってシール部材７が変形することで、接触箇所７２Ｄも追加で接触し（図５参照）、４か所以上でシール性を維持することができるようになる。

最後に、シール部材７の他の装着状態について説明する。
図７Ａは、シール部材７の他の装着状態Ａを示す断面図である。図７Ｂは、シール部材７の他の装着状態Ｂを示す断面図である。図７Ｃは、シール部材７の他の装着状態Ｃを示す断面図である。図７Ｄは、シール部材７の他の装着状態Ｄを示す断面図である。

図７Ａの装着状態Ａは、部品間の鉛直方向の組付に対して隙間（気体通路）が直交する方向に延びるような形態であり、シール部材７の頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の部分が左方の加圧空間に面している。
図７Ｂの装着状態Ｂは、部品間の水平方向に組付に対して加圧側の隙間が直交する方向に延びるとともに、非加圧側の隙間がオフセットして鉛直方向に延びるような形態であり、シール部材７の頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の部分が上方の加圧空間に面している。

図７Ｃの装着状態Ｃは、部品間の水平方向に組付に対して加圧側の隙間が直交する方向に延びるとともに、非加圧側の隙間が水平方向に延びるような形態であり、シール部材７の頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の部分が上方の加圧空間に面している。
図７Ｄの装着状態Ｄは、部品間の水平方向の組付に対して加圧側の隙間が直交する方向に延びるとともに、非加圧側の隙間が水平方向に延び、さらに、これを接続する隙間が非加圧側に向かって先細るような形態であり、シール部材７の頂点７１Ａと頂点７１Ｂとの間の部分が上方の加圧空間に面している。

このように、本実施形態のシール部材７は、各種部品（部材）間の様々な組付形態において、使用することができる。なお、部品同士の組付は、嵌合、係止、係合、ネジ止めなど任意の手段を採用することができる。

上述したシール部材７は、フッ素ゴム、エラストマーなど一般的なＯリングに使用されている材料（ただし、シリコーンゴムは除く。）と同様のもので形成されているとよい。

以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、前面に開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体４と、容器本体２の外部から内部空間に気体を供給可能な気体置換ユニット３と、を備える基板収納容器１であって、各種部品間に設けられたシール部材７は、環状のものであり、断面が各頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃに向かって３方向に延びる略三角形状である。

また、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、前面に開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体４と、容器本体２の外部から内部空間に気体を供給可能な気体置換ユニット３と、気体置換ユニット３を装着するオフセット部材９と、を備える基板収納容器１であって、オフセット部材９は、オフセット押さえ９０と、オフセットプレート９５と、オフセットプレート押さえ９０とオフセットプレート９５との間に設けられたシール部材７と、を含み、シール部材７は、環状のものであり、断面が各頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃに向かって３方向に延びる略三角形状である。

これにより、シール部材７を設けた各種部品間のシール性を向上させる基板収納容器１を提供することができる。また、シール部材７を各種部品間に挟持する組立作業において、Ｏリングに比較して、潰し力を低減することができ、さらに、潰し量も半減することができ、作業性を向上させることができる。

実施形態のシール部材７は、３か所の頂点付近が少なくとも各種部品に接触する。これにより、シール部材７は、３か所の頂点付近が各種部品に接触することで、シール性を発現することができる。

実施形態のシール部材７は、気体の圧力が付加されると、各種部品に接触する接触箇所（シール箇所）が増加する。これにより、例えば、長期間押し潰された状態に放置されたり、熱が加わったりして、シール部材７が経時劣化したとしても、シール部材７は、気体の圧力が付加されると、各種部材に接触する接触箇所が増加するように変形することで、シール性を維持することができる。

実施形態のシール部材７は、気体の圧力を受ける受圧部分が、各頂点７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ間のうち断面の外形に沿った距離が最も長い部分７１Ａ～７１Ｂである。これにより、当該頂点７１Ａ～７１Ｂ間の受圧部分が撓むことになるが、接触箇所が離れる方向には撓むことがないため、シール性を維持することができる。つまり、気体の圧力を受けると、圧力を分散させて接触箇所７２Ａ，７２Ｂに対して更に潰し力が加わるようになる。特に、シール部材７の設置場所が先細り形状であると、よりシール性を向上させることになる。

実施形態では、気体は、窒素ガス、ドライエア又はクリーンドライエアである。これにより、基板収納容器１の内部空間が、不活性又は低湿度に維持されるため、基板の表面は変質することがない。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

（変形例）
上記実施形態では、シール部材７は、オフセットプレート押さえ９０とオフセットプレート９５との間に設けられたに設けられていたが、例えば、Ｏリング８４Ａ，８４Ｂのように位置決め固定部材８と容器本体２との間や、Ｏリング９１のようにオフセットプレート押さえ９０と容器本体２との間など、他の各種部品間に設けられもよく、また、容器本体２と蓋体４との間に設けられるガスケットに適用してもよい。

上記実施形態において、気体置換ユニット３の他に、他の気体置換ユニットを複数備えてもよいし、逆に、右側又は左側の気体置換ユニット３のいずれか１つであってもよい。また、他の気体置換ユニットとしては、例えば、気体の流通又は遮断を行うチェックバルブを含むバルブユニットであってもよい。

１ 基板収納容器
２ 容器本体、２ａ 前面開口枠、２ｂ 背面壁、２ｃ 右側壁、２ｄ 左側壁、２ｅ 天面、２ｆ 底面、２１ 支持片、２２ 位置規制部、２３ ハンドル、２５ トップフランジ、２６ ボトムプレート、２７ 貫通孔、２８ ストッパ、２９ 取付孔
３ 気体置換ユニット（給気部材）、３１ ハウジング部材、３１Ａ，３１Ｂ 面部、３１１ 接続具、３１３ 位置決め突起、３１ａ・・・３１ｚ 第１吹出孔、３２ａ・・・３２ｆ 第２吹出孔、３３ａ・・・３３ｚ 第３吹出孔、３２ カバー部材、３４，３５ フィルタ部材
４ 蓋体
５０ 給気弁、５１ フィルタ部材
６ 排気弁
７ シール部材、７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ 頂点、７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ，７２Ｃ 接触箇所、
８ 位置決め固定部材、８１，８２，８３ フランジ、８４Ａ，８４Ｂ Ｏリング ８５ Ｃリング、８６ スリット、８７ 端部、８８ 切欠き
９ オフセット部材、９０ オフセットプレート押さえ、９１ Ｏリング、９２ 凹部、９３ パッキン、９４ Ｏリング、９５ オフセットプレート
Ｆ 前面、Ｂ 後方

Claims (8)

1. 前面に開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、
   前記開口部を閉鎖する蓋体と、
   前記容器本体の外部から内部空間に気体を供給可能な気体置換ユニットと、を備える基板収納容器であって、
   各種部品間に設けられた少なくとも１つのシール部材は、環状のものであり、断面が各頂点に向かって３方向に延びる略三角形状である、
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記シール部材は、３か所の頂点付近が少なくとも各種部品に接触する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記シール部材は、前記気体の圧力が付加されると、各種部品に接触する接触箇所が増加する、
   ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記シール部材は、前記気体の圧力を受ける受圧部分が、各頂点間のうち断面の外形に沿った距離が最も長い部分である、
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
5. 前記気体置換ユニットは、前記気体の流通又は遮断を行うチェックバルブを含むバルブユニットである、
   ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
6. 前記気体置換ユニットは、前記気体を吹出す吹出孔を上下方向に複数配列したタワーノズル型である、
   ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
7. 前記気体は、窒素ガス、ドライエア又はクリーンドライエアである、
   ことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
8. 前面に開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、
   前記開口部を閉鎖する蓋体と、
   前記容器本体の外部から内部空間に気体を供給可能な気体置換ユニットと、
   前記気体置換ユニットを装着するオフセット部材と、を備える基板収納容器であって、
   前記オフセット部材は、オフセットプレート押さえと、オフセットプレートと、前記オフセットプレート押さえと前記オフセットプレートとの間に設けられたシール部材と、を含み、
   前記シール部材は、環状のものであり、断面が各頂点に向かって３方向に延びる略三角形状である、
   ことを特徴とする基板収納容器。

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