TWI738981B - 基板收納容器 - Google Patents

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TWI738981B
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冨永公徳
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日商信越聚合物股份有限公司
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Abstract

本發明係一種基板收納容器(1)，其具備可收納基板(W)之容器本體(2)、及可自容器本體(2)之外部向內部空間供給氣體(G)之供氣構件(50)，且係將容器本體(2)形成為前開式箱，於底面(2f)安裝供氣構件(50)者；且供氣構件(50)藉由嵌合而可更換地連接有將內部空間之環境變更為不同狀態之功能單元(U；3R、3L、U1、U2、U3、U4)。 藉此，可提供一種能夠簡單地更換使內部空間之環境變化之功能單元的基板收納容器。

Description

基板收納容器
本發明係關於一種收納複數片基板之基板收納容器。
基板收納容器係將半導體晶圓等基板收納於內部空間，且使用於倉庫中之保管、半導體加工裝置間之搬送、工場間之輸送等。基板收納容器為使收納於內部空間之基板不被氧化或污染，有時將內部空間以氮氣等之惰性氣體或乾燥空氣置換。
作為此種基板收納容器，已知有如下所述者：具備收納複數片基板之容器本體、及裝卸自由地嵌合於容器本體之開口之蓋體，且於容器本體之底板，分別嵌著自容器本體之外部向內部空間供給氣體之供氣構件，縱向設置連通於供氣構件之中空之吹出噴嘴(功能單元；氣體置換單元)，且於吹出噴嘴之周壁，設置向基板吹出氣體之吹出孔(參照專利文獻1及2)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2016-004949號公報
[專利文獻2]日本專利特開2016-015421號公報
然而，於專利文獻1及2公開之基板收納容器中，以由功能單元與螺合構件夾住容器本體之方式，藉由螺合而安裝功能單元，因此於更換功能 單元時，於容器本體之內側及外側之兩側，必須進行安裝或拆卸作業，作業性較差。
因此，本發明係鑑於以上之問題而完成者，目的在於提供一種可簡單地更換使內部空間之環境變化之功能單元之基板收納容器。
(1)本發明之1個態樣係一種基板收納容器，其具備可收納複數片基板之容器本體、及可自上述容器本體之外部向內部空間供給氣體之供氣構件，且係將上述容器本體形成於前開式箱，於底面安裝上述供氣構件者；且上述供氣構件藉由嵌合而可更換地連接有將上述內部空間之環境變更為不同狀態之功能單元。
(2)於上述(1)之態樣中，上述供氣構件亦可具有過濾上述氣體之過濾構件。
(3)於上述(1)或(2)之態樣中，上述功能單元亦可為氣體置換單元，且包含：殼體構件，其儲存自上述供氣構件供給之上述氣體；外罩構件，其覆蓋上述殼體構件之開口；及吹出孔，其吹出於上述殼體構件及上述外罩構件之至少一者形成之上述氣體。
(4)於上述(1)或(2)之態樣中，上述功能單元亦可為閥單元，該閥單元包含使上述氣體可向上述內部空間流通之單向閥。
(5)於上述(1)或(2)之態樣中，上述功能單元亦可為使上述氣體無法向上述內部空間流通之閉塞單元。
(6)於上述(1)或(2)之態樣中，上述功能單元亦可為過濾器單元，且包含淨化供給至上述內部空間之上述氣體之過濾器構件。
(7)於上述(1)至(6)之任1個態樣中，上述氣體亦可為氮氣或乾燥空 氣。
根據本發明，可提供一種能簡單地更換使內部空間之環境變化之功能單元之基板收納容器。
1:基板收納容器
2:容器本體
2a:正面開口框
2b:背面壁
2c:右側壁
2d:左側壁
2e:頂面
2f:底面
3R:氣體置換單元
3L:氣體置換單元
4:蓋體
8:定位固定構件
9:偏移構件
21:支持片
22:位置限制部
23:握柄
25:頂凸緣
26:底板
27:貫通孔
28:止動件
29:安裝孔
31:殼體構件
31A:面部
31B:面部
31a．．．31z:第1吹出孔
32:外罩構件
32a．．．32f:第2吹出孔
33a．．．33z:第3吹出孔
34:過濾器構件
35:過濾器構件
50:供氣構件
50a:墊圈
51:過濾構件
52:止回閥
53:螺旋彈簧
54:閥殼體
60:排氣構件
81:凸緣
82:凸緣
83:凸緣
84A:O型環
84B:O型環
85:C型環
86:狹縫
87:端部
88:缺口
90:偏移板壓具
91:O型環
92:凹部
93:襯墊
94:O型環
95:偏移板
96:插入孔
110:單向閥
111:螺旋彈簧
112:閥殼體
113:閥座
114:凸緣
120:管塞主體
121:襯墊
122:安裝孔
130:過濾器構件
131:襯墊
132:安裝孔
133:過濾器殼體
140:過濾器構件
141:襯墊
142:安裝孔
143:過濾器殼體
311:連接具
312:止轉突起
313:定位突起
B:後方
F:正面
G:氣體
NL:法線
U:功能單元
U1:閥單元
U2:閉塞單元
U3:小徑過濾器單元
U4:大徑過濾器單元
W:基板
圖1係本發明之實施形態之基板收納容器之分解立體圖。
圖2係容器本體之前視圖。
圖3係容器本體之仰視圖。
圖4係容器本體之剖面俯視圖。
圖5係氣體置換單元之立體圖。
圖6係氣體置換單元之分解立體圖。
圖7係氣體置換單元之(a)前視圖、(b)俯視圖、(c)仰視圖、(d)後視圖。
圖8係氣體置換單元之圖7(a)之A-A剖視圖。
圖9係容器本體之(a)正面概略圖、(b)氣體置換單元之上部安裝部之放大立體圖、(c)氣體置換單元之下部安裝部之放大立體圖。
圖10係氣體置換單元之上部安裝部之放大立體圖。
圖11係氣體置換單元之(a)下部安裝部之放大圖、(b)剖面立體圖。
圖12係顯示自供氣構件流入之氣體之流動之剖面立體圖。
圖13係說明可更換之各種功能單元之概略圖。
圖14係連接了閥單元之狀態之下部安裝部之剖面立體圖。
圖15連接了閉塞單元之狀態之下部安裝部之(a)立體圖、(b)剖面立體圖。
圖16係連接了小徑過濾器單元之狀態之下部安裝部之(a)立體圖、(b)剖面立體圖。
圖17係連接了大徑過濾器單元之狀態之下部安裝部之(a)立體圖、(b)剖面立體圖。
以下，對本發明之實施形態，參照圖式詳細地進行說明。另，於本說明書之實施形態中，通過全體，對相同構件標註相同符號。又，於圖式中，以實線箭頭顯示正面F之方向及後方(背面壁)B之方向。又，左右指自正面F觀察之狀態。
對基板收納容器1進行說明。圖1係本發明之實施形態之基板收納容器1之分解立體圖。圖2係容器本體2之前視圖，圖3係容器本體2之仰視圖，圖4係容器本體2之剖面俯視圖。
圖1所示之基板收納容器1具有收納複數片基板W之容器本體2、及裝卸自由地安裝於該容器本體2之開口之蓋體4。作為收納於基板收納容器1之基板W，列舉直徑為300mm或450mm之半導體晶圓、遮罩玻璃等。
容器本體2係由正面開口框2a、背面壁2b、右側壁2c、左側壁2d、頂面2e及底面2f形成之所謂前開式箱型者。
蓋體4為安裝於容器本體2之正面開口框2a之開口者，以未圖示之密封墊對向於容器本體2之正面開口框2a之方式安裝。將該蓋體4安裝於容器本體2時，密封墊以密著於容器本體2與蓋體4之間之周緣部，維持基板收納容器1之內部空間之氣密性之方式構成。
於容器本體2之背面壁2b，於左右兩側形成有進而向後方B突出之突出部(參照圖4)。該突出部於將容器本體2之正面F之開口向上載置時，作 為腳部發揮功能。又，於容器本體2之背面壁2b之中央外側，顯示有成為收納之基板W之片數之輔助的刻度等(參照圖1)。
於容器本體2之右側壁2c及左側壁2d之外側之中央附近，分別安裝有於握持操作用發揮功能之握柄23。
又，於容器本體2之右側壁2c及左側壁2d之內側，分別設置有複數個水平支持收納之基板W的左右一對之支持片21，且於右側壁2c及左側壁2d之內側之後方B側，分別設置有於將基板W向後方B插入時限制基板W之插入位置之位置限制部22。
該左右一對之支持片21於上下方向以特定之間距排列，且各支持片21形成為支持基板W之周緣之細長板狀。於實施形態中，以可支持25片基板W之方式設置有支持片21，但基板W之最大收納片數不限於25片。
此時，基板W因於容器本體2根據需要以滿載狀態收納，或收納少於滿載狀態之數，或收納位置變化，故向容器本體2之收納片數及收納狀態根據基板收納容器1之使用態樣而各不相同。例如，亦存在複數片基板W偏向上方或下方收納，或每隔1個而收納之情況。
於容器本體2之頂面2e之外側，安裝有機器人凸緣等之頂凸緣25。該頂凸緣25例如把持於半導體製造工場之頂板搬送車，於製程間搬送，或於半導體加工裝置等之蓋體開閉裝置利用於定位。
於容器本體2之底面2f之外側，安裝有用以定位並載置容器本體2之底板26。
容器本體2或蓋體4、又、握柄23、頂凸緣25、底板26等之附屬品藉由包含所需樹脂之成形材料而射出成形，或藉由射出成形之複數個零件之組合而構成。作為包含於成形材料之樹脂，列舉例如聚碳酸酯、環烯烴聚 合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚醚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚縮醛、液晶聚合物之類熱可塑性樹脂或該等之合金等。
又，於該等樹脂中，根據需要而添加包含碳纖維、碳粉、碳奈米管、導電性聚合物等之導電性物質、或陰離子、陽離子、非離子系等之各種防帶電劑。再者，亦根據需要而添加紫外線吸收劑、或提高剛性之強化纖維等。另，容器本體2、蓋體4、握柄23、頂凸緣25及底板26等可為透明、不透明、半透明之任一者，但容器本體2及蓋體4較佳為透明。
此處，於容器本體2之底面2f，如圖3所示設置有3個供氣構件50與1個排氣構件60。該等供氣構件50及排氣構件60以藉由使氣體G流通於基板收納容器1之外部至內部空間或內部空間至外部，而抑制收納之基板W之表面之變質，或消除基板收納容器1之內部空間與外部之壓力差之方式發揮功能。
其中，2個供氣構件50設置於底面2f之後方B之左右兩側，又，1個供氣構件50與1個排氣構件60設置於底面2f之正面F附近之左或右側。且，於該等供氣構件50，連接有後述之各種功能單元U(參照圖13)。另，正面F附近之供氣構件50亦有作為排氣構件60使用之情形。
供氣構件50具有：墊圈50a，其安裝於形成於容器本體2之底面2f之凹部；過濾構件51，其安裝於墊圈50a之端部且具有通氣性；及止回閥52。墊圈50a由彈性體等之彈性樹脂構件形成。過濾構件51係過濾供給之氣體G，且去除塵埃者，使用不織布過濾器等。
止回閥52藉由螺旋彈簧53向閉止閥之方向施力，收容於閥殼體54。另，於本實施形態中，供氣構件50設為具有止回閥52者，但根據後述之功能單元U之種類，亦可為不具有止回閥52者。
另一方面，排氣構件60具有止回閥(未圖示)，且例如可藉由安裝濕度(或濃度)感測器，而於將基板收納容器1之內部空間以氣體G置換後，測定基板收納容器1之內部空間之濕度(或濃度)，且可進行向基板收納容器1之內部空間之氣體G之置換是否正常進行之管理。
接著，對使基板收納容器1之內部空間之環境變化之各種功能單元U之構成依序說明。圖13係說明可更換之各種功能單元U之概略圖。
作為功能單元U，列舉氣體置換單元3R、3L、閥單元U1、閉塞單元U2、小徑過濾器單元U3、大徑過濾器單元U4等。
(氣體置換單元3R、3L)
首先，對藉由氣體置換單元3R、3L將基板收納容器1之內部空間置換為氣體G之構成進行說明。圖5係氣體置換單元3R、3L之立體圖，圖6係氣體置換單元3R、3L之分解立體圖。圖7係氣體置換單元3R、3L之(a)前視圖、(b)俯視圖、(c)仰視圖、(d)後視圖。圖8係氣體置換單元3R、3L之圖7之A-A剖視圖。另，圖5至圖8對自正面F觀察右側之氣體置換單元3R予以顯示。
氣體置換單元3R、3L係將容器本體2之內部空間以氣體G置換者，以即便於插入基板W之狀態下亦不與基板W干涉之方式，以長度方向為縱向而裝備於容器本體2之後方B(背面壁2b或突出部附近)之左右兩側(參照圖1及圖2)。
該氣體置換單元3R、3L係於容器本體2之內部空間吹出氣體G者。作為吹出之氣體G，列舉惰性氣體或乾燥空氣。再者，作為惰性氣體，列舉氮氣、氬氣等，自成本方面而言較佳為氮氣。
對氣體置換單元3R、3L進而詳細地進行說明。其中，氣體置換單元 3L如圖2所示，因除了與氣體置換單元3R為左右對稱之點外，皆為相同形狀、構造，故省略說明。
圖5所示之氣體置換單元3R包含殼體構件31及外罩構件32，且形成為大致5角形柱狀，但形狀不限於此。又，氣體置換單元3R可由與容器本體2等同樣之樹脂形成，亦可由不同之樹脂形成。
殼體構件31以儲存氣體G之方式，形成為一側為開口之面之箱狀，且以覆蓋該開口之面之方式，藉由爪等之卡止機構(卡合機構)安裝有外罩構件32。以該等殼體構件31與外罩構件32，形成儲存氣體G之空間。
此處，殼體構件31具有以特定之角度交叉且大小不同之2個面部31A、31B。面部31A與31B之交叉角度係內角為120°至170°之範圍。又，面部31A之面積形成為大於較面部31B之面積。
於殼體構件31之下表面，突出設置有供來自供氣構件50之氣體G流入之圓筒狀之連接具311。於連接具311之附近，形成有停止氣體置換單元3R之左右方向之旋轉、進行旋轉方向之定位之止轉突起312(參照圖7)。另一方面，於殼體構件31之上表面，形成有用以定位固定於容器本體2之圓柱狀之定位突起313。
於殼體構件31之面部31A，如圖7(a)所示，橫長之大致矩形狀之吹出孔於縱方向(長度方向)由上至下依序於26個部位形成有第1吹出孔31a、31b、31c．．．31x、31y、31z(以下，根據需要稱為「第1吹出孔群31a-z」)。
於殼體構件31之面部31B，同樣橫長之大致矩形狀之吹出孔於縱方向(長度方向)由上至下依序作為第3吹出孔33a、33b、33c．．．33x、33y、33z(以下，根據需要稱為「第3吹出孔群33a-z」)形成於26個部位。
藉由將第1吹出孔群31a-z與第3吹出孔群33a-z分別形成於以特定之角度交叉之面部31A、31B，可使氣體G之吹出方向不同，氣體G易擴散至基板收納容器1之內部空間。
最上層之第1吹出孔31a之開口高度較第2層之第1吹出孔31b之開口高度稍大，即，第1吹出孔31a之開口面積較第1吹出孔31b之開口面積稍大。又，第1吹出孔31b至第1吹出孔31u之開口面積全部相等，第1吹出孔31v至第1吹出孔31y之開口面積較第1吹出孔31u之開口面積逐漸變大，第1吹出孔31z之開口面積較第1吹出孔31y之開口面積小。又，對於第3吹出孔群33a-z亦相同。
且，最下層之第1吹出孔31z及第3吹出孔33z位於較由容器本體2之最下層之支持片21支持之基板W更下方。但，位於較最下層之基板W更下方之第1吹出孔31z及第3吹出孔33z並未限於1個，亦可為複數個。
如此，第1吹出孔群31a-z及第3吹出孔群33a-z因增大下方側之開口面積，故即便自下方供給之氣體G之直進性較高，亦自第1吹出孔群31a-z及第3吹出孔群33a-z之下方經過上方均勻地吹出氣體G。又，因於最下層之基板W下亦形成有第1吹出孔31z及第3吹出孔33z，故於最下層之基板W與底面2f之間亦吹出氣體G，因此即便無塵室內之降流之空氣自容器本體2之正面F之開口部侵入內部，藉由於底面2f之上表面向正面F吹出之氣體G，亦不會必要以上地流入。
另一方面，於外罩構件32，如圖7(d)所示，大致矩形或正方形狀之吹出孔於縱方向(長度方向)自上至下依序作為第2吹出孔32a、32b．．．32e、32f(以下，根據需要稱為「第2吹出孔群32a-f」)而形成於6個部位。最上層之第2吹出孔32a之高度位置與第1吹出孔31c之高度位置大致相 同，以下，第2吹出孔32b與第1吹出孔31h，第2吹出孔32c與第1吹出孔31m，第2吹出孔32d與第1吹出孔31s，第2吹出孔32e與第1吹出孔31w，第2吹出孔32f與第1吹出孔31y，於大致相同高度分別一致。
此處，第1吹出孔群31a-z、第2吹出孔群32a-f及第3吹出孔群33a-z之各者之合計開口面積S1、S2、S3之比例可以收納於容器本體2之複數個基板W間之濕度的變化變得更小之方式調節。開口面積之調節可藉由準備第1吹出孔群31a-z、第2吹出孔群32a-f及第3吹出孔群33a-z之各吹出孔不同之殼體構件31及外罩構件32，或閉止適當之吹出孔而實施。
返回至圖4，氣體置換單元3R、3L因如上所述裝備於容器本體2之後方B(背面壁2b或突出部附近)之左右兩側，故為了使吹出之氣體G均勻地擴散至基板收納容器1之內部空間，基本上自第1吹出孔群31a-z及第3吹出孔群33a-z朝正面F側吹出，將空氣以氣體G置換。此時，因於較設置了第1吹出孔群31a-z及第3吹出孔群33a-z之位置更為後方B側之背面壁2b至右側壁2c或左側壁2d附近亦存在空氣，故較佳為亦自第2吹出孔群32a-f朝後方B吹出氣體G。
且，因較設置了第1吹出孔群31a-z及第3吹出孔群33a-z之位置更為正面F側之空間，與較設置了第1吹出孔群31a-z及第3吹出孔群33a-z之位置更為後方B側之空間相比相當大，故朝向正面F側之第1吹出孔群31a-z之合計開口面積S1及第3吹出孔群33a-z之合計開口面積S3較佳為大於朝向後方B側之第2吹出孔群32a-f之合計開口面積S2。
又，氣體置換單元3R、3L如上所述基本上朝正面F側吹出氣體G，但因裝備於右側壁2c或左側壁2d附近，故沿右側壁2c或左側壁2d朝向正面F之氣體G較少即可，相反，朝向容器本體2之中央之氣體G較佳為較多。因 此，第1吹出孔群31a-z之合計開口面積S1較佳為大於第3吹出孔群33a-z之合計開口面積S3。
若按照該等，則第1吹出孔群31a-z、第2吹出孔群32a-f及第3吹出孔群33a-z之各者之合計開口面積S1、S2、S3為S1：S2：S3=3：1：2等即可。
返回至圖6，於殼體構件31之內側，設置有具有通氣性之過濾器構件34，同樣於外罩構件32之內側，設置有具有通氣性之過濾器構件35。作為過濾器構件34、35，列舉例如不織布過濾器等。
且，自圓筒狀之連接具311導入之氣體G導入至由殼體構件31與外罩構件32形成之空間並儲存。儲存之氣體G經由過濾器構件34、35，自第1吹出孔群31a-z、第2吹出孔群32a-f及第3吹出孔群33a-z吹出至容器本體2之內部空間。
對氣體置換單元3R之向容器本體2之安裝方法進行說明。圖9係容器本體2之(a)正面概略圖、(b)氣體置換單元3R之上部安裝部之放大立體圖、(c)氣體置換單元3R之下部安裝部之放大立體圖。圖10係氣體置換單元3R之上部安裝部之放大立體圖。圖11係氣體置換單元3R之(a)下部安裝部之放大圖、(b)剖面立體圖。
氣體置換單元3R藉由定位固定構件8及偏移構件9而安裝於容器本體2。具體而言，氣體置換單元3R之上部安裝於定位固定構件8，氣體置換單元3R之下部安裝於偏移構件9。
因此，於容器本體2之背面壁2b之左右兩側，為了固定定位固定構件8，形成有圓形之貫通孔27，又，於貫通孔27之上部形成有止動件28。另一方面，於容器本體2之底面2f之左右兩側，為了固定偏移構件9，形成有 安裝孔29。該安裝孔29非為圓形而以連接大圓與小圓之大致橢圓形狀形成。
圖10所示之定位固定構件8係以細長之形狀，且一端側為大致板狀，另一端側為矩形之軸形成。於該軸之周圍，3個圓盤狀之凸緣81、82、83朝向另一端側形成。軸端之凸緣83與中間之凸緣82形成為較背面壁2b之貫通孔27之徑更小，插入至貫通孔27。於中間之凸緣82，形成小徑之階部，供嵌入O型環84A。於內側之凸緣81亦形成小徑之階部，供嵌入O型環84B。內側之凸緣81及O型環84B形成為較貫通孔27之徑更大，將定位固定構件8之另一端側插入至貫通孔27時，因O型環84B夾於容器本體2與凸緣81之間，故氣體G不會洩漏。
將定位固定構件8插入至貫通孔27後，於位於軸端之凸緣83與容器本體2之間之矩形之軸，夾入內側形成為矩形狀且外徑大於貫通孔27之C型環85，藉此經由貫通孔27將定位固定構件8固定於容器本體2。具體而言，一面將軸端之凸緣83向外側拉伸，一面將O型環84B於凸緣81與容器本體2之間壓緊，且藉由插入C型環85提高密封性。
又，定位固定構件8之一端側以向上方彎曲之板形狀形成細長之狹縫86。於該狹縫86，嵌入殼體構件31之定位突起313與止動件28。端部87進而向上部彎曲，於其進而前端形成有U字型之缺口88。
圖11所示之偏移構件9以於位於底面2f之內側之偏移板壓具90與位於底面2f之外側之偏移板95之間形成供流通氣體G之間隙之方式，隔著O型環94組裝。
於偏移板壓具90，形成有供殼體構件31之止轉突起312嵌入之凹部92，藉由將止轉突起312嵌入至凹部92，而決定旋轉之氣體置換單元3R之 方向及位置。又，於偏移板壓具90，形成有插入氣體置換單元3R之連接具311之插入孔96，連接具311隔著襯墊93而插入至插入孔96。於安裝孔29，該偏移板壓具90隔著O型環91嵌入。
偏移板95以俯視下供氣構件50之中心位於自襯墊93之中心位置偏離之位置之方式，形成有嵌入供氣構件50之凹部。
藉由此種構成，氣體置換單元3R首先將下部之連接具311安裝於偏移構件9，其後將上部之定位突起313安裝於定位固定構件8而安裝於容器本體2。
具體而言，自將氣體置換單元3R之下部之連接具311插入至襯墊93並傾斜之狀態，將氣體置換單元3R之上部之定位突起313自端部87側朝狹縫86壓入，藉此定位固定構件8彎曲，定位突起313嵌入至狹縫86。同時，定位突起313藉由亦抵接於止動件28，而決定於狹縫86內之位置，將氣體置換單元3R之上部定位固定。
對氣體G之流動進行說明。圖12係顯示自供氣構件50流入之氣體G之流動之剖面立體圖。另，氣體G之流動以箭頭表示。
於圖12中，自供氣構件50以高壓導入之氣體G通過過濾構件51，於偏移板壓具90與偏移板95之間隙流動，並朝向後方B之偏移板壓具90與氣體置換單元3R之下部之連接具311之連接部。
其後，氣體G一面進入氣體置換單元3R之儲存空間(參照圖8)，一面自第1吹出孔群31a-z、第3吹出孔群33a-z及第2吹出孔群32a-f吹出。此時，氣體G向朝向正面F側之中央附近及右側壁2c之方向、與朝向後方B側之背面壁2b之方向之不同之3個方向吹出(參照圖4)。
此處，對自第1吹出孔群31a-z向容器本體2之正面F側之中央附近吹 出之氣體G之方向及自第3吹出孔群33a-z向容器本體2之右側壁2c或左側壁2d吹出之氣體G之方向進行具體說明。
第1吹出孔群31a-z或第3吹出孔群33a-z之吹出開口之延長方向，即通過形成有第1吹出孔群31a-z或第3吹出孔群33a-z之面部31A或面部31B之中央之法線較佳為不與右側壁2c或左側壁2d交叉，且到達容器本體2之正面開口框2a之開口之範圍。更佳為於氣體置換單元3R之情形，面部31A之法線相對於自容器本體2之正面開口框2a之開口之法線NL(垂線)為10°至40°之範圍，面部31B之法線隔著自容器本體2之正面開口框2a之開口之法線NL(垂線)，為自中央側5°至右側壁2c側10°之範圍。另，於氣體置換單元3L之情形，與氣體置換單元3R對稱。
以成為此種範圍之方式，形成面部31A及面部31B(或第1吹出孔群31a-z及第3吹出孔群33a-z)，且將氣體置換單元3R、3L裝備於容器本體2之內部，藉此自各吹出孔吹出之氣體G不會與容器本體2之右側壁2c或左側壁2d碰撞而反射。因此，氣體G之氣流不會發生亂流，故可將容器本體2之內部空間以氣體G快速且確實地置換。
於蓋體4安裝於容器本體2之情形時，若對容器本體2以高壓供給氣體G，且充滿於內部空間，則氣體G自圖3所示之排氣構件60向容器本體2之外部流出。藉由該空氣之流出，將基板收納容器1之內部空間置換為吹掃氣體即氣體G。
另一方面，於未安裝蓋體4之情形時，來自未圖示之無塵室等外部裝置之降流之空氣自容器本體2之正面F流入，一面抵抗該空氣，一面將基板收納容器1之內部空間置換為吹掃氣體即氣體G。
(閥單元U1)
圖14係連接有閥單元U1之狀態之下部安裝部之剖面立體圖。
閥單元U1係包含單向閥110者，該單向閥110可使氣體G自供氣構件50向基板收納容器1之內部空間流通，但內部空間之氣體G不會回流至供氣構件50。
閥單元U1如圖14所示，由具有閥座113之大致圓筒狀之閥殼體112、與藉由螺旋彈簧111施力於閥座113之單向閥110構成。單向閥110及閥殼體112由氟系樹脂、彈性體、橡膠等具有特定彈性之各種材料形成。
上述之氣體置換單元3R、3L構成為向收納之基板W間均勻地吹出氣體G，與此相對，該閥單元U1於自供氣構件50供給之氣體G之壓力勝過螺旋彈簧111之作用力，而使單向閥110自閥座113分離時，使氣體G向基板收納容器1之內部空間流通，使用於不重視內部空間之氣體G之均勻性之情形等。
將閥單元U1連接於供氣構件50之情形時，於偏移構件9之插入孔96插入閥殼體112，以2個凸緣114嵌合卡止即可。
(閉塞單元U2)
圖15係連接有閉塞單元U2之狀態之下部安裝部之(a)立體圖、(b)剖面立體圖。
閉塞單元U2係使氣體G無法自供氣構件50向基板收納容器1之內部空間流通者。
閉塞單元U2如圖15所示，由蘑菇狀之管塞本體120、及具有安裝管塞本體120之棒狀部之安裝孔122且插入至插入孔96並嵌合卡止之襯墊121構成。管塞本體120由塑膠樹脂等形成，襯墊121由氟系樹脂、彈性體、橡膠等具有特定彈性之各種材料形成。
將閉塞單元U2連接於供氣構件50之情形時，於偏移構件9之插入孔96插入襯墊121並嵌合卡止，且將管塞本體120插入安裝於安裝孔122即可。
(小徑過濾器單元U3)
圖16係連接了小徑過濾器單元U3之狀態之下部安裝部之(a)立體圖、(b)剖面立體圖。
小徑過濾器單元U3係包含淨化自供氣構件50供給至基板收納容器1之內部空間之氣體G之過濾器構件130者。
小徑過濾器單元U3如圖16所示，由具有通氣性之過濾器構件130、具有接著或保持固定過濾器構件130之大徑圓筒部之二層圓筒狀之過濾器殼體133、及具有安裝過濾器殼體133之小徑圓筒部之安裝孔132且插入至插入孔96並嵌合卡止之襯墊131構成。過濾器殼體133由塑膠樹脂等形成，襯墊131由氟系樹脂、彈性體、橡膠等具有特定彈性之各種材料形成。又，過濾器構件130由不織布過濾器等形成。
將小徑過濾器單元U3連接於供氣構件50之情形時，於偏移構件9之插入孔96插入襯墊131並嵌合卡止，且將過濾器殼體133插入安裝於安裝孔132即可。另，小徑過濾器單元U3即便供給約10L/min之氣體G，通過壓損亦較小，因此即便僅以嵌合連接，亦不會有嵌合脫離之情況。
(大徑過濾器單元U4)
圖17係連接了大徑過濾器單元U4之狀態之下部安裝部之(a)立體圖、(b)剖面立體圖。
大徑過濾器單元U4與小徑過濾器單元U3相同，係包含淨化自供氣構件50供給至基板收納容器1之內部空間之氣體G之過濾器構件140者。
大徑過濾器單元U4如圖17所示，由具有通氣性之過濾器構件140、具有接著或保持固定過濾器構件140之大徑圓筒部之二層圓筒狀之過濾器殼體143、及具有安裝過濾器殼體143之小徑圓筒部之安裝孔142且插入至插入孔96並嵌合卡止之襯墊141構成。過濾器殼體143由塑膠樹脂等形成，襯墊141由氟系樹脂、彈性體、橡膠等具有特定彈性之各種材料形成。又，過濾器構件140由不織布過濾器等形成。
將大徑過濾器單元U4連接於供氣構件50之情形時，於偏移構件9之插入孔96插入襯墊141並嵌合卡止，且將過濾器殼體143插入安裝於安裝孔142即可。另，大徑過濾器單元U4之過濾器構件140之面積較小徑過濾器單元U3之過濾器構件130之面積約4倍大，故例如即便於供給約30L/min之大量之氣體G之情形時，亦可減小通過壓損。
上述之氣體置換單元3R、3L構成為向收納之基板W間均勻地吹出氣體G，與此相對，該小徑過濾器單元U3及大徑過濾器單元U4利用於基板收納容器1之內部空間之氣體G之均勻性不重要之情形等。另，氣體置換單元3R、3L由於為包含過濾器構件34、35者，故亦可改稱為過濾器單元3R、3L。
如以上，本發明之實施形態之基板收納容器1係一種基板收納容器1，其係如下所述者，具備：容器本體2，其可收納複數片基板W；及供氣構件50，其可自容器本體2之外部向內部空間供給氣體G；且將容器本體2形成於前開式箱，並於底面2f安裝供氣構件50，且供氣構件50可藉由嵌合而更換地連接有將內部空間之環境變更為不同狀態之功能單元U。
藉此，由於可於供氣構件50安裝各種功能單元U，故可自容器本體2簡單地安裝或拆卸功能單元U。於清洗容器本體2時，亦可容易地拆卸功 能單元U，且可清洗容器本體2內之各個角落。又，亦可簡單地清洗拆卸之功能單元U。
於實施形態中，供氣構件50具有過濾氣體之過濾構件51。藉此，於連接不具有過濾器之功能單元U之情形時，亦可抑制自功能單元U吹出含有塵埃之氣體G，又，於連接具有過濾器單元U2、U3等之過濾器之功能單元U之情形時，可雙重去除塵埃，且可延長功能單元U之過濾器更換間隔。再者，清洗容器本體2時所使用之清洗液等之液體可藉由疏水性之過濾構件51而防止液體之侵入。
於實施形態中，功能單元U為氣體置換單元3R、3L，該氣體置換單元3R、3L包含：殼體構件31，其儲存自供氣構件50供給之氣體G；外罩構件32，其覆蓋殼體構件31之開口；及吹出孔，其吹出形成於殼體構件31及外罩構件32之至少一者之氣體。藉此，自氣體置換單元3R、3L之吹出孔吹出之氣體G可朝向容器本體2之中央附近、側壁2c、2d、背面壁2b流動。
於實施形態中，功能單元U為閥單元U1，該閥單元U1包含可使氣體G向內部空間流通之單向閥110。藉此，於基板收納容器1之內部空間之氣體G之均勻性不重要之情形時，無須利用氣體置換單元3R、3L。
於實施形態中，功能單元U為使氣體G無法向內部空間流通之閉塞單元U2。藉此，可更確實地防止經由供氣構件50，於基板收納容器1之內部空間與外部之氛圍之間，氣體G或空氣等流通。
於實施形態中，功能單元U為過濾器單元U3、U4，該過濾器單元U3、U4包含淨化供給至內部空間之氣體G之過濾器構件。藉此，即便於所供給之氣體G包含塵埃，亦可以過濾器構件130、140捕獲，因此不會向 容器本體2內吹出塵埃，且不會污染基板收納容器1之內部空間。
於實施形態中，氣體G為氮氣或乾燥空氣。藉此，於向基板收納容器1之內部空間供給氣體G之情形時，因內部空間維持於惰性或低濕度，故基板W之表面不會變質。
(變化例)
於實施形態之氣體置換單元3R、3L中，第1吹出孔群31a-z、第3吹出孔群33a-z及第2吹出孔群32a-f之開口面積或數量或配置亦未限於實施形態，亦可構成為以可自沿底面2f之上表面吹入之降流空氣等之外部對向於空氣之方式，增加下方之吹出風量。
又，可藉由選擇性地封塞第2吹出孔群32a-f，或以追加穿設，而調整向正面F方向及後方B方向之吹出風量之比例。再者，可藉由變更偏移構件9之凹部92之位置，而變更氣體置換單元3R、3L之方向。或，可變更殼體構件31之2個面部31A、31B之交叉角度，或變更面積，而調整吹出方向及/或吹出風量之比例。另，該等變更可藉由對成形模具使用嵌套而對應。
又，殼體構件31亦可不於上部而於中央部定位固定，或，亦可於上部及中央部定位固定。此時，形成於背面壁2b之貫通孔27之位置可適當變更，定位固定構件8之形狀亦可適當變更。
於上述實施形態中，除了氣體置換單元3R、3L外，亦可具備複數個其他氣體置換單元，相反亦可為氣體置換單元3R或3L之任1者。又，氣體置換單元3R、3L並未限於後方B之左右之2部位，若於後方B之中央部存在不干涉基板W之區域，則亦可配置於該區域。
以上，對本發明之較佳實施形態進行了詳述，但本發明並非限定於 上述之實施形態，於申請專利範圍所記載之本發明主旨之範圍內，可進行各種變化、變更。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器本體
2f‧‧‧底面
3R‧‧‧氣體置換單元
9‧‧‧偏移構件
50‧‧‧供氣構件
93‧‧‧襯墊
96‧‧‧插入孔
110‧‧‧單向閥
111‧‧‧螺旋彈簧
112‧‧‧閥殼體
U1‧‧‧閥單元
U2‧‧‧閉塞單元
U3‧‧‧小徑過濾器單元

Claims (7)

  1. 一種基板收納容器，其特徵在於具備：容器本體，其可收納複數片基板，供氣構件，其可自上述容器本體之外部向內部空間供給氣體，偏移構件，其包含偏移板及偏移板壓具，且該偏移板形成有供嵌入上述供氣構件之凹部，及功能單元，其將上述內部空間之環境變更為不同狀態；且該基板收納容器係將上述容器本體形成為前開式箱，並於底面安裝上述供氣構件者；其中上述功能單元為氣體置換單元，藉由嵌合而可更換地連接於上述供氣構件；該氣體置換單元包含：殼體構件，其儲存自上述供氣構件供給之上述氣體，外罩構件，其覆蓋上述殼體構件之開口，及吹出孔，其吹出上述氣體，形成於上述殼體構件及上述外罩構件之至少一者；上述殼體構件具有：供來自上述供氣構件之氣體流入之連接具，及進行上述氣體置換單元之旋轉方向之定位之止轉突起；於上述偏移板壓具形成有：插入上述連接具之插入孔，及供上述止轉突起嵌入之凹部。
  2. 如請求項1之基板收納容器，其中 上述供氣構件具有過濾上述氣體之過濾構件。
  3. 如請求項1或2之基板收納容器，其中上述殼體構件具有以特定之角度交叉且面積不同之2個面部，於上述2個面部之各者，沿長度方向設有複數個上述吹出孔。
  4. 如請求項1或2之基板收納容器，其更具備定位固定構件，該定位固定構件包含軸部及具有狹縫的板狀部，且將上述功能單元定位固定於上述容器本體；於上述容器本體，形成有供上述軸部插入之貫通孔，及嵌入至上述狹縫之止動件；上述殼體構件更包含：嵌入至上述狹縫且抵接於上述狹縫之定位突起。
  5. 如請求項1或2之基板收納容器，其中上述偏移構件係以上述偏移板與上述偏移板壓具之間形成有供上述氣體流通之間隙之方式，介隔O型環而組裝。
  6. 如請求項1或2之基板收納容器，其中上述功能單元可更換為：包含可使上述氣體向上述內部空間流通之單向閥之閥單元、使上述氣體無法向上述內部空間流通之閉塞單元、或包含淨化供給至上述內部空間之上述氣體之過濾器構件之過濾器單元。
  7. 如請求項1或2之基板收納容器，其中上述氣體為氮氣或乾燥空氣。
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