KR20050006124A - 피처리체의 수납 용기 부재 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수매의 제1 피처리체를 보유 지지할 수 있는 개방형의 카세트를 수용할 수 있는 동시에, 상기 제1 피처리체보다도 대구경인 복수매의 제2 피처리체를 수용할 수 있는 크기를 갖는 박스 용기와, 상기 박스 용기의 내측벽에 설치되어 상기 복수매의 제2 피처리체를 다단으로 지지하는 지지부와, 상기 박스 용기의 개구부에 착탈 가능하게 설치된 개폐 덮개와, 상기 박스 용기의 바닥부에 착탈 가능하게 설치된 위치 결정 결합부를 구비한다. 상기 개폐 덮개는 상기 박스 용기를 밀폐 가능하게 되어 있다. 상기 위치 결정 결합부는 상기 카세트의 바닥부 하면에 설치된 위치 결정 부재와 결합하여 상기 카세트의 위치 결정을 행하는 것이 가능하다.

Description

피처리체의 수납 용기 부재{RECEIVING CONTAINER BODY FOR OBJECT TO BE PROCESSED}
일반적으로, IC나 LSI 등의 반도체 집적 회로를 제조하기 위해서는 반도체 웨이퍼에 대해 각종 성막 처리, 산화 확산 처리, 에칭 처리 등이 반복하여 행해진다. 각 처리를 행하기 위해 반도체 웨이퍼를 각 처리 장치 사이에서 반송할 필요가 있다. 이 경우, 주지와 같이, 수율 향상의 면에서 반도체 웨이퍼의 표면에 입자이나 자연 산화막이 부착 형성되는 것을 피할 필요가 있다. 그래서, 고집적화 및 고미세화의 요청이 커짐에 따라서, 웨이퍼의 반송에는 복수매의 웨이퍼를 수납할 수 있어 내부가 밀폐된 수납 용기 부재가 이용되는 경향이 있다. 이러한 종류의 수납 용기 부재로서, 일반적으로 FOUP(등록상표)가 알려져 있다(예를 들어 일본 특허 공개 평8-279546호 공보, 일본 특허 공개 평9-306975호 공보, 일본 특허 공개 평11-274267호 공보). 이 수납 용기 부재는 일측이 개구부로서 형성되고, 다른 측이 대략 반원통형으로 이루어진 박스 용기를 갖고 있다. 이 박스 용기의 내벽면에는 대략 등피치로 다단으로 지지부가 설치되어 있다. 각 지지부에 반도체 웨이퍼의 주연부가 적재되어 지지된다. 이에 의해, 대략 등피치로 다단으로 반도체 웨이퍼가 수납될 수 있다. 통상은, 하나의 수납 용기 부재 내에 25매 혹은 13매 정도의 웨이퍼가 수납될 수 있다.
이 박스 용기의 개구부에는 개폐 덮개가 착탈 가능하게 부착된다. 개폐 덮개가 장착되어 있을 때, 박스 용기는 어느 정도의 기밀 상태를 보유 지지할 수 있다. 예를 들어, 박스 용기의 내부는 청정 공기 혹은 N2가스 등의 불활성 가스 분위기에서 채워진다. 이 때, 수납된 웨이퍼는 외기에 거의 닿지 않는다.
개폐 덮개에는 로크 기구가 설치되어 있다. 이 로크 기구를 해제함으로써 개폐 덮개는 개구부로부터 이탈될 수 있도록 되어 있다.
그런데, 상기한 FOUP와 같은 수납 용기 부재는, 일반적으로 대구경의 웨이퍼, 예를 들어 직경이 300 ㎜(12인치)인 웨이퍼에 대해 이용된다. FOUP와 같은 수납 용기 부재는 소구경의 웨이퍼, 예를 들어 직경이 200 ㎜(8인치) 혹은 150 ㎜(6인치)인 웨이퍼에 대해서는 적용되고 있지 않다. 종래, 이와 같은 소구경의 웨이퍼에 대해서는, 이른바 밀폐 구조가 아닌 개방형의 카세트가 이용되고 있다. 이 개방형의 카세트 내에 대기에 노출된 상태에서 다단으로 웨이퍼가 수납되도록 되어 있다.
이와 같은 상황 하에 있어서, 집적 회로의 고집적화 및 고미세화의 한층 더 요청에 의해, 상술한 바와 같은 이른바 소구경의 웨이퍼의 반송시에도 입자 대책으로서 상기한 바와 같은 밀폐형의 수납 용기 부재를 이용하여 반송하는 요구가 발생해 왔다.
이 경우, 웨이퍼의 사이즈마다 다른 크기의 수납 용기 부재를 이용하는 것도 생각할 수 있다. 그러나, 여기서는 설비비의 증대를 초래해 버린다. 그래서, 이를 회피하기 위해, 대구경의 웨이퍼용 수납 용기 부재 내에 소구경의 웨이퍼용 개방형의 카세트를 지지 고정할 수 있도록 한 보조 지그가 제안되어 있다.
이와 같은 보조 지그로서는, 예를 들어 Micro Tool사제인 카세트 어댑터 AM-3004(등록상표)가 알려져 있다. 이 보조 지그는 도15에 도시한 바와 같이 반타원형의 베이스(2)를 갖고 있다. 이 베이스(2)의 주연부 상에 4개의 지지 기둥(4)이 기립하고 있다. 이 지지 기둥(4)의 상단부는, 예를 들어 300 ㎜ 웨이퍼와 대략 동일 직경의 반원호형 천정판(6)을 지지 고정하고 있다. 상기 베이스(2)의 대략 중앙부에는, 예를 들어 소구경의 웨이퍼인 200 ㎜ 웨이퍼용 카세트(C)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 돌기(8)가 설치되어 있다. 상기 카세트(C)는 위치 결정 돌기(8)에 의해 위치 결정되어 고정되도록 되고 있다.
또한, 베이스(2) 및 천정판(6)의 주연부에는, 예를 들어 폴리카보네이트 수지로 된 탄성을 갖는 보유 지지용 휠(10)이 설치되어 있다. 이 보유 지지용 휠(10)은 300 ㎜ 웨이퍼용 수납 용기 부재(도시하지 않음) 내의 웨이퍼 주연부를 적재 지지하기 위한 지지부에 끼워 넣도록 되어 있다. 이에 의해, 보조 지그 전체가 300 ㎜ 웨이퍼용 수납 용기 부재 내에 고정되도록 되어 있다. 즉, 300 ㎜ 웨이퍼를 수납하는 경우에는, 이 보조 지그를 취출한 상태에서 300 ㎜ 웨이퍼용 수납 용기 부재를 이용하고, 200 ㎜ 웨이퍼를 수납하는 경우에는 상기 보조 지그를 장착한 상태에서 300 ㎜ 웨이퍼용 수납 용기 부재를 이용하고, 보조 지그 내에 카세트(C)를 고정하여 이용하도록 되어 있다. 이에 의해, 1종류의 크기의 수납 용기 부재로 사이즈가 다른 2종류의 웨이퍼를 선택적으로 밀폐 상태로 수납할 수 있다.
그러나, 상기한 보조 지그에 있어서는, 다음과 같은 문제점이 있었다. 즉, 이 보조 지그를 이용하여 200 ㎜ 웨이퍼를 수납하였을 때의 200 ㎜ 웨이퍼의 중심과 보조 지그를 이용하지 않고 300 ㎜ 웨이퍼를 수납하였을 때의 300 ㎜ 웨이퍼의 중심과는 평면적으로 대략 동일 장소에 위치한다. 이로 인해, 200 ㎜ 웨이퍼를 수납하였을 때, 200 ㎜ 웨이퍼와 개폐 덮개 사이에 큰 빈 공간이 생겨 버린다. 이 결과, 200 ㎜ 웨이퍼가 카세트(C)의 내부에서 크고 슬라이드 이동해 버리는 경우가 있었다.
또한, 보유 지지용 휠(10)이 300 ㎜ 웨이퍼를 위한 지지부에 끼워 넣어질 때에 상기 지지부에 흠집이 나는 경우가 있다. 지지부에 흠집이 있으면, 300 ㎜ 웨이퍼를 이 지지부에 지지할 때에 이 웨이퍼 자체에 흠집이 발생할 수 있다. 또는, 지지부에 흠집이 있으면, 얇은 보유 지지용 휠(10) 자체가 파손되어 사용 불가능해 지는 경우도 있다.
본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피처리체를 기밀 상태로 수납할 수 있는 피처리체의 수납 용기 부재와 이를 이용한 처리 시스템에 관한 것이다.
도1은 본 발명의 일실시 형태에 관한 피처리체의 수용 용기 부재를 도시하는 사시도이다.
도2는 대구경의 피처리체가 수납되어 개폐 덮개가 제거되어 있는 수납 용기 부재의 상태를 도시하는 사시도이다.
도3은 소구경의 피처리체를 수납한 카세트를 수용하여 개폐 덮개가 제거되어 있는 수납 용기 부재의 상태를 도시하는 사시도이다.
도4는 소구경의 피처리체를 수납하는 카세트를 도시하는 사시도이다.
도5는 카세트가 수용된 상태의 수납 용기 부재를 도시하는 횡단면도이다.
도6은 위치 결정 결합부가 설치되어 있는 카세트 베이스 다이를 도시하는 사시도이다.
도7은 위치 결정 부재가 위치 결정 결합부에 끼워 맞추어진 상태를 도시하는 도면이다.
도8은 대구경 웨이퍼용 돌출 방지 부재를 도시하는 도면이다.
도9는 도8에 도시하는 돌출 방지 부재의 일부를 도시하는 사시도이다.
도10은 소구경 웨이퍼용 돌출 방지 부재를 도시하는 도면이다.
도11은 본 발명의 수납 용기 부재의 변형예를 나타내는 사시도이다.
도12는 본 발명의 처리 시스템의 일례를 나타내는 개략 구성도이다.
도13은 처리 시스템의 주요부를 도시하는 사시도이다.
도14a 및 도14b는 처리 시스템에 이용하는 피처리체 이동 적재 기구의 일례를 나타내는 도면이다.
도15는 수납 용기 부재에 이용하는 종래의 보조 지그의 일례를 나타내는 사시도이다.
본 발명은 이상과 같은 문제점에 착안하여 이를 유효하게 해결하기 위해 창안된 것이다. 본 발명의 목적은, 직경이 다른 대소의 피처리체를 선택적으로 수납할 때에 수납 중에 위치 어긋남 등을 발생시키는 일 없이, 게다가 대구경의 피처리체용 지지부를 손상시키는 일 없이 적정하게 수납하는 것이 가능한 피처리체의 수납 용기 부재 및 이를 이용한 처리 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명은 복수매의 제1 피처리체를 보유 지지할 수 있는 개방형의 카세트를 수용할 수 있는 동시에, 상기 제1 피처리체보다도 대구경인 복수매의 제2 피처리체를 수납할 수 있는 크기를 갖는 박스 용기와, 상기 박스 용기의 내측벽에 설치되어 상기 복수매의 제2 피처리체를 다단으로 지지하는 지지부와, 상기 박스 용기의 개구부에 착탈 가능하게 설치된 개폐 덮개와, 상기 박스 용기의 바닥부에 착탈 가능하게 설치된 위치 결정 결합부를 구비하고, 상기 개폐 덮개는 상기 박스 용기를 밀폐 가능하게 되어 있고, 상기 위치 결정 결합부는 상기 카세트의 바닥부 하면에 설치된 위치 결정 부재와 결합하여 상기 카세트의 위치 결정을 행하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 피처리체의 수납 용기 부재이다.
본 발명에 따르면, 박스 용기의 바닥부에 카세트를 위치 결정하는 위치 결정 결합부가 착탈 가능하게 설치되므로, 대구경 예를 들어 직경이 300 ㎜인 피처리체를 수납하는 경우에는 위치 결정 결합부를 제거한 상태에서 대구경의 피처리체의 주연부가 지지부에 지지되어 다단으로 수납될 수 있는 한편, 소구경 예를 들어 직경이 200 ㎜인 피처리체를 수납하는 경우에는 위치 결정 결합부를 부착한 상태에서 박스 용기 내에 개방형의 카세트가 위치 결정 결합부에서 위치 결정되면서 고정되어 상기 카세트 내에 소구경의 피처리체가 수납될 수 있다. 또한, 대구경의 피처리체의 지지부에 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
특히, 상기 제1 피처리체를 수납하는 상기 카세트가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때의 상기 제1 피처리체의 상기 개구부측 주연단부의 위치가 상기 제2 피처리체가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때의 상기 제2 피처리체의 상기 개구부측의 주연단부의 위치와 대략 일치하도록 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 개폐 덮개의 내측에 상기 제1 피처리체를 수용하는 상기 카세트가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때, 상기 카세트로부터 상기 제1 피처리체가 돌출되는 것을 방지하기 위한 제1 돌출 방지 부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 제1 돌출 방지 부재는 상기 개폐 덮개에 대해 착탈 가능한 것이 바람직하다.
혹은, 상기 개폐 덮개의 내측에 상기 제2 피처리체가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때, 상기 박스 용기로부터 상기 제2 피처리체가 돌출되는 것을 방지하기 위한 제2 돌출 방지 부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 경우도, 상기 제2 돌출 방지 부재는 상기 개폐 덮개에 대해 착탈 가능한 것이 바람직하다.
상기 박스 용기 내의 바닥부에 카세트 베이스 다이가 착탈 가능하게 수용되어 있는 경우, 상기 위치 결정 결합부는 상기 카세트 베이스 다이의 상면에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 경우, 바람직하게는 상기 카세트 베이스 다이의 주연부에는 상기 주연부로부터 출몰 가능하게 설치된 다이 고정 지그가 설치되어 있고, 상기 다이 고정 지그가 상기 박스 용기의 내측벽에 압박 접촉됨으로써 상기 카세트 베이스 다이가 상기 박스 용기 내에 고정되도록 되어 있다.
예를 들어, 상기 다이 고정 지그는 상기 카세트 다이의 주연부의 3군데에 각각 설치될 수 있다.
혹은, 본 발명은 복수매의 피처리체를 보유 지지할 수 있는 개방형의 카세트를 수용할 수 있는 크기를 갖는 박스 용기와, 상기 박스 용기의 개구부에 착탈 가능하게 설치된 개폐 덮개와, 상기 박스 용기의 바닥부에 설치된 위치 결정 결합부를 구비하고, 상기 개폐 덮개는 상기 박스 용기를 밀폐 가능하게 되어 있고, 상기 위치 결정 결합부는 상기 카세트의 바닥부 하면에 설치된 위치 결정 부재와 결합하여 상기 카세트의 위치 결정을 행하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 피처리체의 수납 용기 부재이다.
이 경우, 상기 개폐 덮개의 내측에 상기 피처리체를 수용하는 상기 카세트가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때, 상기 카세트로부터 상기 피처리체가 돌출되는 것을 방지하기 위한 돌출 방지 부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
혹은, 본 발명은 상기 어느 하나의 특징을 갖는 수납 용기 부재가 반송될 수 있는 용기 부재 반송 영역과, 불활성 가스 분위기 혹은 청정 가스 분위기로 된 피처리체 반송 영역과, 상기 용기 부재 반송 영역과 상기 피처리체 반송 영역을 구획하는 구획벽과, 상기 구획벽에 형성된 개구와, 상기 수납 용기 부재의 개구부가 상기 개구에 대해 상기 용기 부재 반송 영역측에서 마주 보도록 상기 수납 용기 부재가 적재되는 적재대와, 상기 용기 부재 반송 영역에 설치되어 외부와 연통 가능한 로드 포트와, 상기 용기 부재 반송 영역 내에 설치되어 상기 수납 용기 부재가 일시적으로 보관될 수 있는 스토커와, 상기 로드 포트와 상기 스토커와 상기 적재대 사이에서 상기 수납 용기 부재를 반송하는 용기 부재 반송 기구와, 상기 수용 용기 부재가 상기 적재대 상에 적재되어 있을 때, 상기 수용 용기 부재의 개폐 덮개를 개폐하는 개폐 기구와, 상기 피처리체 반송 영역 내에 설치되어 상기 수납 용기 부재에 수용된 피처리체의 크기에 대응하는 피처리체 보트와, 상기 피처리체 반송 영역 내에 설치되어 상기 피처리체에 소정의 열처리를 실시할 수 있는 처리 용기와, 상기 피처리체 보트를 승강시켜 상기 피처리체 보트를 상기 처리 용기에 대해 반출입하는 보트 승강 기구와, 상기 피처리체 보트와 상기 적재대 상에 적재된 상기 수납 용기 부재 사이에서 상기 피처리체를 이동 적재하는 피처리체 이동 적재 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 처리 시스템이다.
이하에, 본 발명에 관한 피처리체의 수납 용기 부재와 이를 이용한 처리 시스템의 일실시예를 첨부 도면을 기초로 하여 상세하게 서술한다.
도1은 본 실시 형태에 관한 피처리체의 수납 용기 부재를 도시하는 사시도이다. 도2는 대구경의 피처리체가 수납되어 개폐 덮개가 제거되어 있는 수납 용기 부재의 상태를 도시하는 사시도이다. 도3은 소구경의 피처리체를 수납한 카세트를 수용하여 개폐 덮개가 제거되어 있는 수납 용기 부재의 상태를 도시하는 사시도이다. 도4는 소구경의 피처리체를 수납하는 카세트를 도시하는 사시도이다. 도5는 카세트가 수용된 상태의 수납 용기 부재를 도시하는 횡단면도이다. 도6은 위치 결정 결합부가 설치되어 있는 카세트 베이스 다이를 도시하는 사시도이다. 도7은 위치 결정 부재가 위치 결정 결합부에 끼워 맞추어진 상태를 도시하는 도면이다.
도1 및 도2에 도시한 바와 같이, 수납 용기 부재(12)는 일측이 개구부(14)로서 형성되고, 다른 측이 대략 반타원 기둥형으로 이루어진 박스 용기(16)를 갖고 있다. 이 박스 용기(16)의 내벽면에는 대략 등피치로 다단으로 지지부(18)가 설치되어 있다. 지지부(18)는, 예를 들어 선반형 혹은 홈형으로 형성되어 있다. 각 지지부(18)에 대구경의 피처리체로서의 예를 들어 직경 300 ㎜의 반도체 웨이퍼(W1)의 주연부가 적재되어 지지된다. 이에 의해, 대략 등피치로 다단으로 대구경의 반도체 웨이퍼(W1)가 수용될 수 있다. 박스 용기(16)의 천정부에는 박스 용기(16)의 전체를 파지할 때에 잡기 위한 손잡이(21)가 설치되어 있다. 통상은, 하나의 박스 용기(16) 내에 25매 혹은 13매 정도의 대구경의 웨이퍼(W1)가 수용될 수 있다.
이 박스 용기(16)의 개구부(14)에는 사각형의 중공판형의 개폐 덮개(20)가 착탈 가능하게 부착되어 있고, 이 박스 용기(16) 내를 기밀 상태로 하고 있다. 이 박스 용기(16)의 내부는 N2가스 등의 불활성 가스나 청정 공기의 분위기로 채워지도록 되어 있다. 이 때, 수용된 웨이퍼(W1)는 외기에 거의 닿지 않는다.
이 개폐 덮개(20)에는 2개의 로크 기구(22)가 설치되어 있다. 이 로크기구(22)를 해제함으로써, 개폐 덮개(20)는 개구부(14)로부터 이탈 분리할 수 있도록 되어 있다. 구체적으로는, 각 로크 기구(22)는 개폐 덮개(20)의 높이 방향의 대략 중앙에 회전 가능하게 부착된 원판형의 로크판(24)을 갖고 있다. 이 로크판(24)에는 가늘고 긴 오목부형의 열쇠 홈(26)이 형성되어 있다. 또한, 로크판(24)에는 원호 운동을 직선 운동으로 변환하는 크랭크 기구(도시하지 않음)를 거쳐서 출몰핀(28)이 상하 방향으로 각각 설치되어 있다. 이에 의해, 이 로크판(24)을 정역 대략 90도 회전시킴으로써 상하의 출몰핀(28)이 각각 상하 방향으로 이동하도록 되어 있다.
출몰핀(28)의 선단부는, 로크시에는 도2에 도시한 바와 같이 박스 용기(6)의 개구부(14)를 구획하는 상연부 및 하연부의 핀 구멍(30)[도2에서는 하연부의 핀 구멍(30)만 도시함]에 삽입되어 결합하도록 되어 있다. 이에 의해, 로크시에는 개폐 덮개(20)가 개구부(14)로부터 떨어지지 않도록 되어 있다. 또한, 개구부(14)의 하연부 근방의 내측에는 홈부(32)가 형성되어 있다.
그리고, 개폐 덮개(20)의 내측면에는 상기 박스 용기(16) 내에 수납되는 웨이퍼의 돌출을 방지하기 위한 돌출 방지 부재(34)가 그 높이 방향에 따라서 설치되어 있다(도3 참조). 이 돌출 방지 부재(34)는, 예를 들어 할로겐이나 할로겐 화합물, 산, 알칼리 등에 대해 내구성이 큰 재료, 예를 들어 PEEK(폴리에테르에테르케톤) 등으로 이루어지는 판형의 부재이다. 또한, 돌출 방지 부재(34)의 웨이퍼와의 접촉면(36)은 대구경의 웨이퍼(W1)의 원주와 대략 동일 곡률의 곡면이 되도록 성형되어 있다.
또한, 돌출 방지 부재(34)는 합성 고무 등에 의해 성형되어도 좋으며, 즉 어느 정도의 탄성을 갖고 있어도 좋다. 또한, 돌출 방지 부재(34)에는 웨이퍼 주연부를 수용하는 원호형의 홈이 형성되어도 좋다.
그리고, 이 박스 용기(16)의 바닥부에는 도3 내지 도6에 도시한 바와 같이 카세트(C)에 위치 결정하기 위한 위치 결정 결합부(38)가 착탈 가능하게 설치되어 있다. 구체적으로는, 우선 상기 카세트(C)는 도3 및 도4에 도시한 바와 같이 소구경의 피처리체, 예를 들어 직경이 200 ㎜(8인치)인 반도체 웨이퍼(W2)를 다단으로 수용하는 것이다. 도4에서는 카세트(C)가 그 배면이 바닥에 접하고 있는 상태로 도시되어 있다. 카세트(C)는 전체가 개방된 박스 형상이다. 또한, 카세트(C)는 내약품성이나 내열성이 우수한 재료, 예를 들어 테플론(등록상표)에 의해 형성되어 있다.
그리고, 카세트(C)의 좌우의 내측벽에는 등피치로 다단으로 지지 선반(40)이 배열되어 있다. 각 지지 선반(40)에 소구경의 웨이퍼(W2)의 주연부가 적재되어 지지된다. 이 경우, 하나의 카세트(C)에 예를 들어 25매 정도의 소구경의 웨이퍼(W2)가 지지될 수 있다. 또한, 도3에서는 손잡이(21)의 도시가 생략되어 있다.
그리고, 카세트(C)의 바닥부의 하면에는 도4에 도시한 바와 같이, 예를 들어 대략 H자 형상으로 돌기되도록 형성된 위치 결정 부재(42)가 설치되어 있다. 이 돌기형의 위치 결정 부재(42)는 카세트(C) 자체의 변형을 방지하기 위한 보강 부재로서의 기능도 갖고 있다.
도3, 도5 및 도6에 도시한 바와 같이 카세트(C)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 결합부(38)는, 구체적으로는 박스 용기(16)의 바닥부에 착탈 가능하게 부착되는 카세트 베이스 다이(44) 상에 고정되어 있다. 위치 결정 결합부(38)는 소정의 간격을 사이에 두고 배치된 2매의 판 부재(46, 48)로 이루어진다. 양 판 부재(46, 48) 사이의 간극이 끼워 넣음 홈(50)으로 되어 있다. 양 판 부재(46, 48)의 길이(L1)는 도7에 도시한 바와 같이 카세트(C)의 바닥부 하면의 H형상의 위치 결정 부재(42)의 폭(L2)보다도 약간 작게 설정되어 있다. 한편, 상기 끼워 넣음 홈(50)의 폭(L3)은 상기 위치 결정 부재(42)의 두께(L4)보다도 약간 크게 설정되어 있다. 위치 결정 부재(42)를 도7에 도시한 바와 같이 위치 결정 결합부(38)로 끼워 넣음으로써, 카세트(C)가 위치 결정되면서 카세트 베이스 다이(44) 상에 설치되도록 되어 있다. 2매의 판 부재(46, 48)를 1매의 판 부재로 형성하여 그 대략 중앙에 상기 끼워 맞춤 홈(50)을 형성하도록 해도 좋다. 또한, 이 판 부재(46, 48)를 카세트 베이스 다이(44)에 대해 나사 등에 의해 위치 조정 가능하게 부착해도 좋다.
카세트 베이스 다이(44)는 박스 용기(16)의 바닥부의 크기보다도 약간 작은 크기로, 예를 들어 PC(폴리카보네이트) 등에 의해 대략 반타원형으로 성형되어 있다. 그리고, 카세트 베이스 다이(44)의 주연부에는 개구부(14)측의 각 단부와 개구부(14)로부터 먼 안측에 합계 3개의 다이 고정 지그(52, 54, 56)가 부착되어 있다(도5 참조).
구체적으로는, 각 다이 고정 지그(52, 54, 56)는 카세트 베이스 다이(44)에 고정된 고정 프레임(52A, 54A, 56A)을 갖고 있다. 각 고정 프레임(52A, 54A, 56A)에는 각각 조정 나사(52B, 54B, 56B)가 수평 방향으로 출몰 가능하게 설치되어 있다. 각 조정 나사(52B, 54B, 56B)에는 각각 압박 부재(52C, 54C, 56C)가 부착되어 있다. 각 조정 나사(52B, 54B, 56B)를 회전함으로써 각 압박 부재(52C, 54C, 56C)는 카세트 베이스 다이(44)보다 외측으로 이동될 수 있다. 압박 부재(52C, 54C, 56C)를 박스 용기(16)의 내벽에 압박 접촉시킴으로써, 카세트 베이스 다이(44)는 박스 용기(16) 내에 부착 고정된다.
각 압박 부재(52C, 54C, 56C)에는 2개의 안내 긴 구멍(58)이 형성되어 있다. 각 안내 긴 구멍(58)에는 고정 나사(60)가 삽입 관통되어 있다. 고정 나사(60)의 하단부는 카세트 베이스 다이(44)에 나사 삽입되도록 되어 있다. 따라서, 고정 나사(60)를 느슨한 상태에서, 상기 각 압박 부재(52C, 54C, 56C)는 상기 안내 긴 구멍(58)에 따른 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 각 압박 부재(52C, 54C, 56C)가 박스 용기(16)의 내벽에 압박 접촉된 상태에서, 각 고정 나사(60)를 체결함으로써, 카세트 베이스 다이(44)는 박스 용기(16) 내에 견고하면서 또한 확실하게 부착 고정될 수 있다. 이 경우, 안 쪽에 위치하는 압박 부재(56C)의 선단부는 박스 용기(16)의 곡면형의 벽면에 대응하여 곡면형으로 형성되어 있다.
또한, 도6에 도시한 바와 같이 카세트 베이스 다이(44)의 선단부측 [개구부(14)측]의 하면에는 하방을 향해 볼록한 결합 돌기(62)가 설치되어 있다. 결합 돌기(62)는 박스 용기(16)의 바닥부에 마련된 홈 부재(32)(도2 참조)에 끼워 넣어지도록 되어 있다.
여기서, 위치 결정 결합부(38)의 설치 위치는, 도5에 도시한 바와 같이 박스용기(16) 내에 수용된 카세트(C) 내에 수납된 소구경의 웨이퍼(W2)의 선단부측이 상기 돌출 방지 부재(34)에 대략 접촉하는 상태가 되는 위치로 설정되어 있다.
다음에, 상술한 바와 같이 형성된 수납 용기 부재(12) 내로 대구경의 웨이퍼(W1)와 소구경의 웨이퍼(W2)가 선택적으로 수납되는 경우에 대해 설명한다.
우선, 직경이 예를 들어 300 ㎜(12인치)인 대구경의 웨이퍼(W1)가 수납 용기 부재(12) 내로 수납되는 경우, 도2에 도시한 바와 같이 박스 용기(16) 내로는 카세트 베이스 다이(44) 등은 설치되지 않는다. 이 상태에서, 박스 용기(16)의 내벽에 설치되어 있는 각 지지부(18)에 대구경의 웨이퍼(W1)의 주연부가 적재된다. 이에 의해, 웨이퍼(W1)가 다단으로 지지된다.
그리고, 박스 용기(16)의 개구부(14)가 개폐 덮개(20)에 의해 폐쇄된다. 개폐 덮개(20)는 로크된다. 이 때, 개폐 덮개(20)에 설치된 돌출 방지 부재(34)가 대구경의 웨이퍼(W1)의 단부와 대략 접촉하는 상태가 된다. 이에 의해, 수납 용기 부재(12)가 반송될 때에 대구경의 웨이퍼(W1)가 내부에서 이동하거나 위치 어긋나거나 하는 것을 방지할 수 있다.
다음에, 직경이 예를 들어 200 ㎜(8인치)인 소구경의 웨이퍼(W2)가 수납 용기 부재(12)에 수납되는 경우에 대해 설명한다. 이 경우에는, 우선 도6에 도시되는 카세트 베이스 다이(44)가 빈 상태의 박스 용기(16) 내의 바닥부에 설치된다. 카세트 베이스 다이(44)의 상기 설치시에는 카세트 베이스 다이(44)가 박스 용기(16) 내의 바닥부에 수용된다. 이 때, 도6에 도시되는 결합 돌기(62)가 용기 바닥부의 홈부(32)(도2 참조)에 결합된다. 그리고, 각 다이 고정 지그(52, 54,56)의 조정 나사(52B, 54B, 56B)가, 각 압박 부재(52C, 54C, 56C)가 외측으로 이동하도록 회전된다.
각 다이 고정 지그(52, 54, 56)의 압박 부재(52C, 54C, 56C)의 선단부는 박스 용기(16)의 내측에 접촉되고, 또한 이에 견고하게 압박된다. 이 상태에서 각 고정 나사(60)를 체결함으로써 각 압박 부재(52C, 54C, 56C)가 고정된다. 이에 의해, 카세트 베이스 다이(44)는 박스 용기(16) 내의 바닥부에 고정된다. 카세트 베이스 다이(44)를 제거할 때에는 상기와는 반대의 조작을 행하면 된다.
이상과 같이 카세트 베이스 다이(44)가 장착 고정된 후, 직경이 200 ㎜인 웨이퍼(W2)를 수용할 수 있는 개방형의 카세트(C)가 상기 카세트 베이스 다이(44) 상에 장착된다. 이 경우, 상기 카세트(C)의 바닥부에 설치된 돌기형의 위치 결정 부재(42)(도4 참조)가 카세트 베이스 다이(44) 상의 위치 결정 결합부(38)(도6 참조)에 위치 조정되면서 끼워 맞추어진다(도7 참조).
이와 같이 하여, 카세트(C)는 카세트 베이스 다이(44) 상의 적정한 위치에 장착된다. 카세트(C) 내에 있어서, 직경이 200 ㎜인 소구경의 웨이퍼(W2)가 예를 들어 다단으로 적재된다. 이에 의해, 수납 용기 부재(12) 내에 소구경의 웨이퍼(W2)가 수납되어 보유 지지된다.
이 경우도, 박스 용기(16)의 개구부(14)는 개폐 덮개(20)로 폐쇄된다. 이 때, 도5에 도시한 바와 같이 개폐 덮개(20)에 설치되어 있는 돌출 방지 부재(34)가 카세트(C) 내의 웨이퍼(W2)의 단부와 대략 접촉한다. 따라서, 수납 용기 부재(12)가 반송될 때에 웨이퍼(W2)가 위치 어긋나거나 하여 돌출되는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이, 박스 용기(16) 내에 대해 카세트 베이스 다이(44) 및 카세트(C)를 장착하거나, 혹은 이를 제거하거나 함으로써 수납 용기 부재(12)에 대해 대구경의 웨이퍼[예를 들어 직경이 300 ㎜인 웨이퍼(W1)]와 소구경의 웨이퍼[예를 들어 직경이 200 ㎜인 웨이퍼(W2)]를 선택적으로 수납하는 것이 가능해진다.
또한, 카세트(C)가 장착되는 카세트 베이스 다이(44)는 이에 설치된 다이 고정 조정 지그(52, 54, 56)를 조작하는 것만으로 착탈된다. 따라서, 이 착탈 조작을 쉽게 행할 수 있다.
또한, 카세트 베이스 다이(44)를 박스 용기(16) 내에 장착할 때에, 대구경의 웨이퍼(W1)를 지지하기 위한 지지부(18)(도2 참조)가 이용되지 않는다. 따라서, 지지부(18)에 대해 손상을 부여하는 일도 없다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 돌출 방지 부재(34)는 웨이퍼와의 접촉면이 곡면 가공된 판형의 PEEK재이지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도8 내지 도10에 도시한 바와 같은 구조도 채용될 수 있다. 도8은 대구경 웨이퍼용 돌출 방지 부재를 도시하는 도면이다. 도9는 도8에 도시하는 돌출 방지 부재의 일부를 도시하는 사시도이다. 도10은, 소구경 웨이퍼용 돌출 방지 부재를 도시한 도면이다.
도8 및 도9에 도시하는 대구경 웨이퍼(W1)용 돌출 방지 부재(64)는 웨이퍼(W1)의 주연부에 접촉하는 한 쌍의 탄성 지지 아암(66)을 갖고 있다. 한 쌍의 탄성 지지 아암(66)은, 예를 들어 PEEK(폴리에테르에테르케톤) 등으로 이루어진다. 각 아암(66)은 굴곡 가능하며, 즉 어느 정도의 탄성을 갖고 있다. 이들 한쌍의 탄성 지지 아암(66)은 수평 방향으로 연장되고, 상기 개폐 덮개(20)의 상하 방향(높이 방향)에 따라서 소정의 피치로 웨이퍼(W1)의 수납 매수에 상당하는 수만큼 설치되어 있다. 그리고, 각 쌍의 탄성 지지 아암(66)의 선단부에는 웨이퍼(W1)의 상하면을 끼워 넣도록 하여 이를 보유 지지하는 수용 오목부(66A)가 형성되어 있다. 이에 의해, 웨이퍼(W1)의 주연부가 확실하게 보유 지지되도록 되어 있다. 즉, 이 탄성 지지 아암(66)에 의해 상기 대구경의 웨이퍼(W1)의 돌출을 방지할 수 있다.
도10에 도시하는 소구경 웨이퍼(W2)용 돌출 방지 부재(68)는, 예를 들어 PEEK로 이루어지는 2매의 얇은 탄성판 부재(70A, 70B)를 갖고 있다. 2매의 탄성판 부재(70A, 70B)의 주연부가 상기 탄성 지지 아암(66)을 끼워 넣은 상태에서 2매의 탄성판 부재(70A, 70B)가 나사(72)로 부착 고정된다. 결과적으로, 판 부재(70A, 70B)에 의해 상기 소구경의 웨이퍼(W2)의 돌출이 방지될 수 있다. 이 경우, 탄성 지지 아암(66) 대신에 별도의 다른 부재를 설치하도록 해도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에서는 대구경의 웨이퍼(W1)로서 직경 300 ㎜(12인치)의 웨이퍼가 이용되고, 소구경의 웨이퍼(W2)로서 직경 200 ㎜(8인치)의 웨이퍼가 이용되고 있지만, 이에 한정되지 않는다. 소구경의 웨이퍼(W2)로서, 예를 들어 직경 150 ㎜(6인치)의 웨이퍼를 이용할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 위치 결정 결합부(38)는 카세트 베이스 다이(44) 상에 설치되어 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 위치 결정 결합부(38)는 카세트 베이스 다이(44)를 이용하는 일 없이, 박스 용기(16)의 바닥부에 직접적으로 착탈 가능해도 좋다. 예를 들어, 위치 결정 결합부(38)는 박스 용기(16)의 바닥부에 나사 등으로 부착 고정할 수 있도록 되어 있어도 좋다.
또한, 상기 실시 형태의 수납 용기 부재(12)는 직경 300 ㎜의 웨이퍼(W1)와 직경 200 ㎜의 웨이퍼(W2)를 선택적으로 수납할 수 있지만, 이에 한정되지 않는다.
도11은 직경이 예를 들어 200 ㎜인 소구경의 웨이퍼(W2)만을 카세트(C)와 함께 수납할 수 있는 수납 용기 부재(80)를 도시하는 사시도이다.
수납 용기 부재(80)에 있어서, 박스 용기(82)는 카세트(C)를 수용할 수 있는 크기라면 된다. 따라서, 박스 용기(82)는 도2 및 도3에 도시하는 박스 용기(16)보다도 1회 정도 작게 성형되어 있다. 또한, 당연한 것으로서, 박스 용기(16)에는 대구경의 웨이퍼(W1)를 지지하는 지지부(18)가 설치되어 있지 않다.
또한, 위치 결정 결합부(38)를 착탈 가능하게 할 필요가 없으므로, 카세트 베이스 다이(44)(도3 참조)가 설치되어 있지 않다. 즉, 위치 결정 결합부(38)는 박스 용기(82) 내의 바닥부 상에 직접적으로 부착 고정되어 있다. 그리고, 상술한 바와 같이 이 위치 결정 결합부(38)를 이용하여 카세트(C)가 위치 결정되면서 부착되도록 되어 있다.
이에 대해, 박스 용기(82)의 개구부를 폐쇄하는 개폐 덮개(20)는 도2 및 도3에 도시한 것과 같은 치수를 갖고 있다. 따라서, 수납 용기 부재(80)의 개폐 덮개(20)의 로크 기구(22)(도2 참조)를 해제하기 위한 외부 기구는 도2 및 도3의 수납 용기 부재(12)의 로크 기구(22)의 해제용 외부 기구와 마찬가지일 수 있다. 또한, 도11에서는 손잡이의 기재가 생략되어 있다.
상술한 바와 같이 이 수납 용기 부재(80)에 따르면, 개방형의 카세트(C)에 수용된 소구경의 웨이퍼(W2)를 밀폐 상태로 수납하는 것이 가능해진다.
다음에, 상기한 바와 같은 수납 용기 부재(12, 80)에 수용되어 있는 웨이퍼(W1, W2)에 대해 소정의 열처리를 실시하기 위한 처리 시스템의 일례에 대해 설명한다.
도12는 본 실시 형태의 처리 시스템의 일례를 나타내는 개략 구성도이고, 도13은 상기 처리 시스템의 주요부를 도시하는 사시도이고, 도14a 및 도14b는 상기 처리 시스템에 이용되는 피처리체 이동 적재 기구의 일례를 나타내는 도면이다.
우선, 도12 및 도13에 도시한 바와 같이, 피처리체의 처리 시스템(90)의 전체가 예를 들어 스테인레스 등으로 이루어지는 하우징(92)으로 둘러싸여 있다. 하우징(92)의 내부는 전술한 수납 용기 부재(12, 80)를 반송하기 위한 용기 부재 반송 영역(94)과, 피처리체인 반도체 웨이퍼(W1, W2)를 반송하기 위한 피처리체 반송 영역으로서의 웨이퍼 반송 영역(96)으로 구획벽(98)에 의해 양분되어 있다. 상기 용기 부재 반송 영역(94) 내에는 청정 공기의 다운 플로우가 흐르고 있다. 상기 웨이퍼 반송 영역(96) 내에는 N2가스 등의 불활성 가스 혹은 청정 공기의 분위기로 채워져 있다. 이 처리 시스템(90)은 주로 수납 용기 부재(12, 80)를 시스템(90) 내에 대해 반입출시키기 위한 로드 포트(100)와, 수납 용기 부재(12, 80)를 일시적으로 저류하기 위한 스토커부(102)와, 수납 용기 부재(12, 80)와 피처리체 보트(104) 사이에서 반도체 웨이퍼(W1, W2)를 이동 적재하는 이동 적재스테이지(106)와, 피처리체 보트(104)에 보유 지지된 반도체 웨이퍼(W)에 대해 소정의 열처리를 실시하는 처리 용기(108)와, 상기 이동 적재 스테이지(106)의 웨이퍼 반송 영역측에 설치된 덮개 개폐 기구(110)에 의해 주로 구성된다.
상기 로드 포트(100)에 있어서, 하우징(92)에는 박스 반출입구(112)가 형성되어 있고, 항상 개방되어 있다. 이 박스 반출입구(112)의 외측에는 외부로부터 반송되어 온 수납 용기 부재(12, 80)를 적재하기 위한 외측 적재대(114)가 내측을 향해 슬라이드 가능하게 설치되어 있다.
한편, 상기 스토커(102)에는, 예를 들어 2열 2단으로 상기 수납 용기 부재(12, 80)가 일시적으로 적재되어 보관되는 선반 등이 설치되어 있다. 또한, 상기 이동 적재 스테이지(106)에 있어서, 양 영역(94, 96) 사이를 구획하는 구획벽(98)에는 수납 용기 부재(12, 80)의 개구부와 대략 동일한 크기로 이루어진 하나 혹은 복수의 개구(116)가 형성되어 있다. 이 개구(116)의 용기 부재 반송 영역측에는 하나의 적재대(118)가 수평하게 설치되어 있다. 적재대(118) 상에 적재되는 수납 용기 부재(12, 80)는 구획벽(98)측으로 압박됨으로써 고정될 수 있다. 또한, 이 개구(116)에는 이를 개폐하는 개폐 도어(120)가 설치되어 있다. 적재대(118)와 상기 로드 포트(100) 사이에는 엘리베이터 기능을 갖는 용기 부재 반송 기구(122)가 설치되어 있다. 이에 의해, 상기 로드 포트(100)와 스토커(102)와 적재대(106) 사이에서 상기 수납 용기 부재(12, 80)가 임의로 반송될 수 있다.
그리고, 이 개구(116)의 웨이퍼 반송 영역측의 바로 아래에는 수납 용기 부재(12, 80)의 개폐 덮개(20)와 개폐 도어(120)를 개폐하기 위한 상기 개폐기구(110)가 설치되어 있다. 이 개폐 기구(110)로서는, 예를 들어 전술한 일본 특허 공개 평8-279546호 공보에 개시된 개폐 기구나, 일본 특허 공개 평11-274267호 공보에 개시된 개폐 기구 등을 이용할 수 있다.
이 웨이퍼 반송 영역(96) 내에는 웨이퍼 보트와 같은 피처리체 보트(104)를 승강시키는 보트 승강 기구(124)가 설치되어 있다. 그리고, 보트 승강 기구(124)와 이동 적재 스테이지(106) 사이에는 선회 및 절곡(bending) 가능하게 이루어진 아암(126A)을 갖는 피처리체 이동 적재 기구(126)가 설치되어 있다. 이 피처리체 이동 적재 기구(126)는 승강 엘리베이터(128)에 의해 상하 이동 가능하게 되어 있다. 따라서, 피처리체 이동 적재 기구(126)의 아암(126A)을 절곡, 선회시키는 동시에 피처리체 이동 적재 기구(126)를 승강시킴으로써, 적재대(118) 상의 수납 용기 부재(12, 80)와 피처리체 보트(104) 사이에서 웨이퍼(W1, W2)의 이동 적재를 행할 수 있다.
피처리체 보트(104)는 예를 들어 석영으로 이루어지고, 예를 들어 1 내지 150매 정도의 웨이퍼를 소정의 피치로 다단으로 지지할 수 있도록 되어 있다. 구체적으로는, 피처리체 보트(104)로서, 예를 들어 직경이 300 ㎜인 대구경의 웨이퍼용 보트와, 예를 들어 직경이 200 ㎜인 소구경의 웨이퍼용 보트가 준비된다. 그리고, 처리해야 하는 웨이퍼의 크기에 따라서 어느 한 쪽의 보트가 선택적으로 이용된다.
또한, 이 웨이퍼 반송 영역(96)의 일측 부분의 상방에는 석영으로 된 원통체형의 처리 용기(108)가 배치되어 있다. 처리 용기(108)는 한번에 다수매의웨이퍼(W1 혹은 W2)에 대해 성막이나 산화 확산 등의 소정의 열처리를 실시하도록 되어 있다. 또한, 처리 용기(108)의 크기는 대구경의 웨이퍼(W1)를 수용할 수 있는 크기로 설정되어 있다. 이 처리 용기(108)의 하방에는 보트 승강 기구(124)에 의해 승강 가능하게 이루어진 캡(130)이 배치되어 있다. 이 캡(130) 상에 피처리체 보트(104)가 적재된다. 그리고, 캡(130)을 상승시킴으로써 피처리체 보트(104)는 처리 용기(108)의 하단부 개구부를 통해 처리 용기(108) 내로 로드될 수 있다. 피처리체 보트(104)가 로드되었을 때, 처리 용기(108)의 하단부 개구부는 상기 캡(130)에 의해 기밀하게 폐쇄되도록 되어 있다.
또한, 상기 처리 용기(108)의 하단부 개구부에는 슬라이드 이동하여 이를 폐쇄할 수 있는 셔터(132)가 설치되어 있다. 피처리체 이동 적재 기구(126)의 아암(126A)의 수는 복수개, 예를 들어 5개 정도이다. 이 때, 한 번에 최대 5매의 웨이퍼가 이동 적재될 수 있다. 여기서, 도14a 및 도14b는 1개의 아암(126A)의 일례를 나타내고 있다. 도14a는 아암의 평면도, 도14b는 아암의 단면도를 도시하고 있다. 이 아암(126A)의 선단부는 2 단계의 단차부를 갖고 있다. 넓은 쪽의 단차부는 대구경의 웨이퍼(W1)를 보유 지지하기 위한 대구경용 단차부(134A)로서 형성되어 있다. 좁은 쪽의 단차부는 소구경의 웨이퍼(W2)를 보유 지지하기 위한 소구경용 단차부(134B)로서 형성되어 있다.
이에 의해, 이 1종류의 아암(126A)은 대구경의 웨이퍼(W1)와 소구경의 웨이퍼(W2) 양방을 취급할 수 있다. 또한, 이 아암(126A)을 웨이퍼 크기에 따라서 바꾸도록 해도 좋은 것은 물론이다.
이와 같은 처리 시스템(90)을 형성함으로써, 수납 용기 부재(12) 내에 대구경의 웨이퍼(W1)와 소구경의 웨이퍼(W2) 중 어느 한 쪽의 웨이퍼가 수납되어 있어도[수용 용기(80) 내에는 소구경의 웨이퍼(W2)만이 수납됨] 개폐 덮개(110)는 1종류의 개폐 기구(110)에 의해 개폐될 수 있어 웨이퍼(W1 혹은 W2)는 각각의 사이즈에 대응한 피처리체 보트(104)에 적재되어 처리 용기(108) 내에서 소정의 열처리를 실시할 수 있다.
또한, 이 처리 시스템(90)의 구성은 단순한 일례에 지나지 않고, 이에 한정되지 않는 것은 물론이다.
또한, 여기서는 피처리체로서 반도체 웨이퍼를 예로 들어 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 유리 기판, LSD 기판 등에도 본 발명을 적용할 수 있다.

Claims (12)

  1. 복수매의 제1 피처리체를 보유 지지할 수 있는 개방형의 카세트를 수용할 수 있는 동시에, 상기 제1 피처리체보다도 대구경인 복수매의 제2 피처리체를 수납할 수 있는 크기를 갖는 박스 용기와,
    상기 박스 용기의 내측벽에 설치되어 상기 복수매의 제2 피처리체를 다단으로 지지하는 지지부와,
    상기 박스 용기의 개구부에 착탈 가능하게 설치된 개폐 덮개와,
    상기 박스 용기의 바닥부에 착탈 가능하게 설치된 위치 결정 결합부를 구비하고,
    상기 개폐 덮개는 상기 박스 용기를 밀폐 가능하게 되어 있고,
    상기 위치 결정 결합부는 상기 카세트의 바닥부 하면에 설치된 위치 결정 부재와 결합하여 상기 카세트의 위치 결정을 행하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 피처리체의 수납 용기 부재.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 피처리체를 수납하는 상기 카세트가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때의 상기 제1 피처리체의 상기 개구부측 주연단부의 위치가, 상기 제2 피처리체가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때의 상기 제2 피처리체의 상기 개구부측 주연단부의 위치와 대략 일치하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 개폐 덮개의 내측에 상기 제1 피처리체를 수용하는 상기 카세트가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때, 상기 카세트로부터 상기 제1 피처리체가 돌출되는 것을 방지하기 위한 제1 돌출 방지 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 돌출 방지 부재는 상기 개폐 덮개에 대해 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 개폐 덮개의 내측에 상기 제2 피처리체가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때, 상기 박스 용기로부터 상기 제2 피처리체가 돌출되는 것을 방지하기 위한 제2 돌출 방지 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2 돌출 방지 부재는 상기 개폐 덮개에 대해 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 박스 용기 내의 바닥부에는 카세트 베이스 다이가 착탈 가능하게 수용되어 있고,
    상기 위치 결정 결합부는 상기 카세트 베이스 다이의 상면에 설치되어 있는것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  8. 제7항에 있어서, 상기 카세트 베이스 다이의 주연부에는 상기 주연부로부터 출몰 가능하게 설치된 다이 고정 지그가 설치되어 있고,
    상기 다이 고정 지그가 상기 박스 용기의 내측벽에 압박 접촉됨으로써 상기 카세트 베이스 다이가 상기 박스 용기 내에 고정되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  9. 제8항에 있어서, 상기 다이 고정 지그는 상기 카세트 다이의 주연부의 3군데에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  10. 복수매의 피처리체를 보유 지지할 수 있는 개방형의 카세트를 수용할 수 있는 크기를 갖는 박스 용기와,
    상기 박스 용기의 개구부에 착탈 가능하게 설치된 개폐 덮개와,
    상기 박스 용기의 바닥부에 설치된 위치 결정 결합부를 구비하고,
    상기 개폐 덮개는 상기 박스 용기를 밀폐 가능하게 되어 있고,
    상기 위치 결정 결합부는 상기 카세트의 바닥부 하면에 설치된 위치 결정 부재와 결합하여 상기 카세트의 위치 결정을 행하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 피처리체의 수납 용기 부재.
  11. 제10항에 있어서, 상기 개폐 덮개의 내측에 상기 피처리체를 수용하는 상기 카세트가 상기 박스 용기 내에 수용되었을 때, 상기 카세트로부터 상기 피처리체가 돌출되는 것을 방지하기 위한 돌출 방지 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수납 용기 부재.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 수납 용기 부재가 반송될 수 있는 용기 부재 반송 영역과,
    불활성 가스 분위기 혹은 청정 가스 분위기로 된 피처리체 반송 영역과,
    상기 용기 부재 반송 영역과 상기 피처리체 반송 영역을 구획하는 구획벽과,
    상기 구획벽에 형성된 개구와,
    상기 수납 용기 부재의 개구부가 상기 개구에 대해 상기 용기 부재 반송 영역측에서 마주 보도록 상기 수납 용기 부재가 적재되는 적재대와,
    상기 용기 부재 반송 영역에 설치되어 외부와 연통 가능한 로드 포트와,
    상기 용기 부재 반송 영역 내에 설치되어 상기 수납 용기 부재가 일시적으로 보관될 수 있는 스토커와,
    상기 로드 포트와 상기 스토커와 상기 적재대 사이에서 상기 수납 용기 부재를 반송하는 용기 부재 반송 기구와,
    상기 수용 용기 부재가 상기 적재대 상에 적재되어 있을 때 상기 수용 용기 부재의 개폐 덮개를 개폐하는 개폐 기구와,
    상기 피처리체 반송 영역 내에 설치되어 상기 수납 용기 부재에 수용된 피처리체의 크기에 대응하는 피처리체 보트와,
    상기 피처리체 반송 영역 내에 설치되어 상기 피처리체에 소정의 열처리를 실시할 수 있는 처리 용기와,
    상기 피처리체 보트를 승강시켜 상기 피처리체 보트를 상기 처리 용기에 대해 반입출하는 보트 승강 기구와,
    상기 피처리체 보트와 상기 적재대 상에 적재된 상기 수납 용기 부재 사이에서 상기 피처리체를 이동 적재하는 피처리체 이동 적재 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
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