JP7082274B2 - ロードポート、及びロードポートにおけるマッピング処理方法 - Google Patents
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Description
1C…制御部
1Ca…容器判別部
2…搬送室
21…搬送ロボット
4…フレーム
41…開口部
3…FOUP
32…FOUPドア
34…スロット
5…載置テーブル
6…着座保持機構
7…牽引機構
8…ロードポートドア
9…ドア開閉機構
C…第2搬送容器(フレームカセット)
F…第2搬送対象物(リングフレーム)
M…マッピング機構
M1…マッピングセンサ
M2…マッパー
M3…マッピング移動部(マッピングアーム)
W…第1搬送対象物(ウェーハ)
Claims (7)
- 内部に搬送ロボットを備えた搬送室と共にEFEMを構成するロードポートであって、
起立姿勢で前記搬送室に併設され且つ第1搬送対象物が略水平姿勢で通過可能な開口部を有する平板状のフレームと、
複数の前記第1搬送対象物を多段状に収容可能なスロットを有する第1搬送容器を載置可能な載置テーブルと、
前記フレームの前記開口部を開閉可能なロードポートドアと、
外部から搬送されてきた前記第1搬送容器を前記載置テーブル上に保持する着座保持機構と、
前記ロードポートドアを前記搬送室側に後退したドア開放位置に移動させることにより前記フレームの前記開口部を開状態にするドア開閉機構と、
前記フレームに対して前方に突出する姿勢で配置された前記載置テーブル上で前記第1搬送容器を着座位置と搬送対象物受渡位置との間で前後方向に移動させる牽引機構と、
前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にした状態において、前記搬送対象物受渡位置にある前記第1搬送容器内の前記各スロットにおける前記第1搬送対象物の有無を含む状態に関する情報をマッピングするマッピング機構と、
前記着座保持機構、前記牽引機構、前記ドア開閉機構、及び前記マッピング機構の動作を司る制御部とを備え、
前記マッピング機構は、先端部にマッピングセンサを有するマッパーと、前記マッパーを支持し且つ開状態にある前記開口部を通じて前記第1搬送容器に前記第1搬送対象物が収容されていることを前記マッピングセンサで検知可能な第1マッピング位置に前記マッパーを移動させるマッピング移動部とを備えたものであり、
前記載置テーブルは、前記第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに収容可能な第2搬送容器を載置可能なものであり、
前記制御部は、前記第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに収容可能な第2搬送容器又は前記第1搬送容器を前記着座保持機構により前記載置テーブル上に保持する着座保持処理と、前記牽引機構によって前記載置テーブル上の前記第2搬送容器又は第1搬送容器を前記着座位置から前記搬送対象物受渡位置まで移動させる後方牽引処理と、前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にするドア開放処理と、開状態にある前記開口部を通じて前記マッパーを前記第1マッピング位置に位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第1マッピング処理と、開状態にある前記開口部を通じて前記第2搬送容器に前記第2搬送対象物が収容されていることを、前記第1マッピング処理で用いる前記マッピングセンサと共通の前記マッピングセンサで検知可能な第2マッピング位置に前記マッパーを位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第2マッピング処理とを実行可能であり、前記第1マッピング処理及び前記第2マッピング処理の何れか一方又は両方を選択的に実行することを特徴とするロードポート。 - 前記第1マッピング位置は、前記フレームのうち前記搬送室に対面する後壁面よりも前方に前記マッピングセンサが配置される位置であり、
前記第2マッピング位置は、前記フレームの前記後壁面よりも後方に前記マッピングセンサが配置される位置である請求項1に記載のロードポート。 - 前記制御部が、前記着座保持機構によって前記第1搬送容器又は前記第2搬送容器の何れを保持したかを判別する容器判別部を有し、
前記容器判別部が前記第2搬送容器を前記着座保持機構によって保持したと判断した場合、前記着座保持処理、前記ドア開放処理、前記後方牽引処理をこの順で実行した後に、前記第1マッピング処理及び前記第2マッピング処理の両方を実行する請求項2に記載のロードポート。 - 多段式スロットに複数枚の第1搬送対象物を格納可能な第1搬送容器と搬送室との間で前記第1搬送対象物を受け渡しするために用いられ、前記第1搬送容器の各スロットにおける第1搬送対象物の有無を含む状態に関する情報をマッピングするマッピング機構を備えたロードポートにおけるマッピング処理方法であって、
前記ロードポートは、第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに複数格納可能な第2搬送容器との間で前記第2搬送対象物を受け渡し可能に構成されており、
前記マッピング機構は、先端部にマッピングセンサを有するマッパーと、前記マッパーを支持し且つ前記第1搬送容器に前記第1搬送対象物が収容されていることを前記マッピングセンサで検知可能な第1マッピング位置に前記マッパーを移動させるマッピング移動部とを備えたものであり、
前記マッパーを前記第1マッピング位置に位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第1マッピング処理と、前記第2搬送容器に前記第2搬送対象物が収容されていることをマッピングセンサで検知可能な第2マッピング位置に前記マッパーを位置付けてマッピング処理を実行する第2マッピング処理の両方を実行し、前記第1搬送容器に前記第2搬送対象物が混載されているか否か、または前記第2搬送容器に前記第1搬送対象物が混載されているか否かを検知することを特徴とするロードポートにおけるマッピング処理方法。 - 内部に搬送ロボットを備えた搬送室と共にEFEMを構成するロードポートであって、
起立姿勢で前記搬送室に併設され且つ第1搬送対象物が略水平姿勢で通過可能な開口部を有する平板状のフレームと、
複数の前記第1搬送対象物を多段状に収容可能なスロットを有する第1搬送容器を載置可能な載置テーブルと、
前記フレームの前記開口部を開閉可能なロードポートドアと、
外部から搬送されてきた前記第1搬送容器を前記載置テーブル上に保持する着座保持機構と、
前記ロードポートドアを前記搬送室側に後退したドア開放位置に移動させることにより前記フレームの前記開口部を開状態にするドア開閉機構と、
前記フレームに対して前方に突出する姿勢で配置された前記載置テーブル上で前記第1搬送容器を着座位置と搬送対象物受渡位置との間で前後方向に移動させる牽引機構と、
前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にした状態において、前記搬送対象物受渡位置にある前記第1搬送容器内の前記各スロットにおける前記第1搬送対象物の有無を含む状態に関する情報をマッピングするマッピング機構と、
前記着座保持機構、前記牽引機構、前記ドア開閉機構、及び前記マッピング機構の動作を司る制御部とを備え、
前記マッピング機構は、先端部にマッピングセンサを有するマッパーと、前記マッパーを支持し且つ開状態にある前記開口部を通じて前記第1搬送容器に前記第1搬送対象物が収容されていることを前記マッピングセンサで検知可能な第1マッピング位置に前記マッパーを移動させるマッピング移動部とを備えたものであり、
前記載置テーブルは、前記第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに収容可能な第2搬送容器を載置可能なものであり、
前記制御部は、前記第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに収容可能な第2搬送容器又は前記第1搬送容器を前記着座保持機構により前記載置テーブル上に保持する着座保持処理と、前記牽引機構によって前記載置テーブル上の前記第2搬送容器又は第1搬送容器を前記着座位置から前記搬送対象物受渡位置まで移動させる後方牽引処理と、前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にするドア開放処理と、開状態にある前記開口部を通じて前記マッパーを前記第1マッピング位置に位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第1マッピング処理と、開状態にある前記開口部を通じて前記第2搬送容器に前記第2搬送対象物が収容されていることを前記マッピングセンサで検知可能な第2マッピング位置に前記マッパーを位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第2マッピング処理とを実行可能であり、前記第1マッピング処理及び前記第2マッピング処理の何れか一方又は両方を選択的に実行するように構成し、
前記第1マッピング位置は、前記フレームのうち前記搬送室に対面する後壁面よりも前方に前記マッピングセンサが配置される位置であり、
前記第2マッピング位置は、前記フレームの前記後壁面よりも後方に前記マッピングセンサが配置される位置であることを特徴とするロードポート。 - 内部に搬送ロボットを備えた搬送室と共にEFEMを構成するロードポートであって、
起立姿勢で前記搬送室に併設され且つ第1搬送対象物が略水平姿勢で通過可能な開口部を有する平板状のフレームと、
複数の前記第1搬送対象物を多段状に収容可能なスロットを有する第1搬送容器を載置可能な載置テーブルと、
前記フレームの前記開口部を開閉可能なロードポートドアと、
外部から搬送されてきた前記第1搬送容器を前記載置テーブル上に保持する着座保持機構と、
前記ロードポートドアを前記搬送室側に後退したドア開放位置に移動させることにより前記フレームの前記開口部を開状態にするドア開閉機構と、
前記フレームに対して前方に突出する姿勢で配置された前記載置テーブル上で前記第1搬送容器を着座位置と搬送対象物受渡位置との間で前後方向に移動させる牽引機構と、
前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にした状態において、前記搬送対象物受渡位置にある前記第1搬送容器内の前記各スロットにおける前記第1搬送対象物の有無を含む状態に関する情報をマッピングするマッピング機構と、
前記着座保持機構、前記牽引機構、前記ドア開閉機構、及び前記マッピング機構の動作を司る制御部とを備え、
前記マッピング機構は、先端部にマッピングセンサを有するマッパーと、前記マッパーを支持し且つ開状態にある前記開口部を通じて前記第1搬送容器に前記第1搬送対象物が収容されていることを前記マッピングセンサで検知可能な第1マッピング位置に前記マッパーを移動させるマッピング移動部とを備えたものであり、
前記載置テーブルは、前記第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに収容可能な第2搬送容器を載置可能なものであり、
前記制御部は、前記第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに収容可能な第2搬送容器又は前記第1搬送容器を前記着座保持機構により前記載置テーブル上に保持する着座保持処理と、前記牽引機構によって前記載置テーブル上の前記第2搬送容器又は第1搬送容器を前記着座位置から前記搬送対象物受渡位置まで移動させる後方牽引処理と、前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にするドア開放処理と、開状態にある前記開口部を通じて前記マッパーを前記第1マッピング位置に位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第1マッピング処理と、開状態にある前記開口部を通じて前記第2搬送容器に前記第2搬送対象物が収容されていることを前記マッピングセンサで検知可能な第2マッピング位置に前記マッパーを位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第2マッピング処理とを実行可能であり、前記第1マッピング処理及び前記第2マッピング処理の何れか一方又は両方を選択的に実行するように構成し、
さらに、前記制御部が、前記着座保持機構によって前記第1搬送容器又は前記第2搬送容器の何れを保持したかを判別する容器判別部を有し、前記容器判別部が前記第2搬送容器を前記着座保持機構によって保持したと判断した場合、前記着座保持処理、前記ドア開放処理、前記後方牽引処理をこの順で実行した後に、前記第1マッピング処理及び前記第2マッピング処理の両方を実行することを特徴とするロードポート。 - 内部に搬送ロボットを備えた搬送室と共にEFEMを構成するロードポートであって、
起立姿勢で前記搬送室に併設され且つ第1搬送対象物が略水平姿勢で通過可能な開口部を有する平板状のフレームと、
複数の前記第1搬送対象物を多段状に収容可能なスロットを有する第1搬送容器を載置可能な載置テーブルと、
前記フレームの前記開口部を開閉可能なロードポートドアと、
外部から搬送されてきた前記第1搬送容器を前記載置テーブル上に保持する着座保持機構と、
前記ロードポートドアを前記搬送室側に後退したドア開放位置に移動させることにより前記フレームの前記開口部を開状態にするドア開閉機構と、
前記フレームに対して前方に突出する姿勢で配置された前記載置テーブル上で前記第1搬送容器を着座位置と搬送対象物受渡位置との間で前後方向に移動させる牽引機構と、
前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にした状態において、前記搬送対象物受渡位置にある前記第1搬送容器内の前記各スロットにおける前記第1搬送対象物の有無を含む状態に関する情報をマッピングするマッピング機構と、
前記着座保持機構、前記牽引機構、前記ドア開閉機構、及び前記マッピング機構の動作を司る制御部とを備え、
前記マッピング機構は、先端部にマッピングセンサを有するマッパーと、前記マッパーを支持し且つ開状態にある前記開口部を通じて前記第1搬送容器に前記第1搬送対象物が収容されていることを前記マッピングセンサで検知可能な第1マッピング位置に前記マッパーを移動させるマッピング移動部とを備えたものであり、
前記載置テーブルは、前記第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに収容可能な第2搬送容器を載置可能なものであり、
前記制御部は、前記第1搬送対象物とは平面寸法が異なる第2搬送対象物を多段式スロットに収容可能な第2搬送容器又は前記第1搬送容器を前記着座保持機構により前記載置テーブル上に保持する着座保持処理と、前記牽引機構によって前記載置テーブル上の前記第2搬送容器又は前記第1搬送容器を前記着座位置から前記搬送対象物受渡位置まで移動させる後方牽引処理と、前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にするドア開放処理と、開状態にある前記開口部を通じて前記マッパーを前記第1マッピング位置に位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第1マッピング処理と、開状態にある前記開口部を通じて前記第2搬送容器に前記第2搬送対象物が収容されていることを前記マッピングセンサで検知可能な第2マッピング位置に前記マッパーを位置付けて前記マッピング機構によるマッピング処理を実行させる第2マッピング処理とを実行可能であり、
前記搬送対象物受渡位置に位置付けた前記載置テーブル上の前記第1搬送容器内における前記第1搬送対象物の中心位置と、前記搬送対象物受渡位置に位置付けた前記載置テーブル上の前記第2搬送容器内における前記第2搬送対象物の中心位置とが一致するように収容された状態で前記第1マッピング処理及び前記第2マッピング処理の何れか一方又は両方を選択的に実行することを特徴とするロードポート。
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