JP2009135205A - 収容容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポッド本体におけるドアとの当接面、及び当該当接面に応ずるドア側面にインフォパッドを配置することとし、当該インフォパッドによってドアが微小空間側に押し込まれた状態を検知することによって該インフォパッドによってもたらされる情報を検知することとする。
【選択図】図1A
Description
Claims (6)
- 被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、一対となる構成であって両構成の協働により前記被収容物の履歴を示すインフォパッドの一方の構成と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器を支持すると共に所定の方向に前記収容容器を移動可能な収容容器支持機構と、
外部空間と所定の大きさを有する開口部を除いて分離され、塵が管理されて前記被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、
前記蓋と当接して前記蓋を保持する保持機構及び前記インフォパッドの他方の構成を有し、前記所定の方向と直交し前記被収容物の延在面と平行な回転軸周りに回動可能であって、前記所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する姿勢と前記微小空間側に回動して前記所定の開口部を開放する姿勢との間を移動可能なドアと、
前記回転軸を介して、前記所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する姿勢を維持するように前記ドアを所定の保持力で保持すると共に前記回転軸周りに回動させることが可能な回転軸駆動機構と、
前記収容容器が前記収容容器支持機構によって前記ドアに向けて移動された際に、前記ドアが前記インフォパッドによって前記微小空間側に押圧されて前記トンネルを略閉鎖する姿勢を変化させたことを検知する検知手段と、を有することを特徴とする蓋開閉システム。 - 前記収容容器支持機構に前記収容容器をロードする位置近傍に前記外部空間の側の開口部である外部空間側開口部を有すると共に前記微小空間と連通して前記微小空間側に開口する前記所定の大きさを有する開口部と一致する微小空間側開口部を有するトンネルを更に有し、
前記ドア及び前記回転軸は前記トンネル内に配置されており、前記所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する前記ドアの姿勢は前記トンネルを略閉鎖する姿勢であることを特徴とする請求項1記載の蓋開閉システム。 - 被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、一対となる構成であって両構成の協働により前記被収容物の履歴を示すインフォパッドの一方の構成と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器を支持すると共に所定の方向に前記収容容器を移動可能な収容容器支持機構と、
外部空間と分離され、塵が管理されて前記被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、
前記収容容器支持機構に前記収容容器をロードする位置近傍に前記外部空間の側の開口部である外部空間側開口部を有すると共に前記微小空間と連通して前記微小空間側に開口する微小空間側開口部を有するトンネルと、
前記蓋と当接して前記蓋を保持する保持機構及び前記インフォパッドの他方の構成を有し、前記トンネル内に配置されて前記所定の方向と直交し前記被収容物の延在面と平行な回転軸周りに回動して前記トンネルを略閉鎖する状態を解除可能なドアと、
前記回転軸を介して、前記トンネルを略閉鎖する姿勢を維持するように前記ドアを所定の保持力で保持すると共に前記回転軸周りに回動させることが可能な回転軸駆動機構と、
前記収容容器が前記収容容器支持機構によって前記ドアに向けて移動された際に、前記ドアが前記インフォパッドによって前記微小空間方向に押圧されて前記トンネルを略閉鎖する姿勢を変化させたことを検知する検知手段と、を有することを特徴とする蓋開閉システム。 - 前記回転軸駆動機構は流体シリンダを含むことを特徴とする請求項1乃至3何れかに記載の蓋開閉システム。
- 前記検知手段は前記回転軸駆動手段の動作を検知する手段であることを特徴とする請求項1乃至4何れかに記載の蓋開閉システム。
- 被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能として、前記収容容器に対して前記被収容物を挿脱し、前記収容容器外部において前記被収容物に所定の処理を施す被収容物の処理方法であって、
塵が管理された微小空間と、
前記微小空間内に配置された被収容物の搬送機構と
前記微小空間に設けられた開口部を駆動機構によって付与される所定の保持力を保って略閉鎖すると共に前記蓋を保持可能なドアと、
前記収容容器を支持して前記収容容器を所定の方向に駆動し、前記蓋を前記ドアに保持させる支持機構と、を有する蓋開閉システムを用い、
前記収容容器を支持機構に支持させて当該支持機構に対して前記収容容器を固定し、
前記支持機構を駆動させて前記蓋を前記ドアに当接させて前記ドアに前記蓋を保持させ、
前記支持機構と前記ドアとを前記所定の方向において相対駆動させて、前記収容容器と前記蓋とを分離し、
前記蓋及びドアを前記所定の方向と直交し且つ前記被収容物の延在面に含まれる軸周りに回動させて前記収容容器の駆動領域から前記蓋及びドアを退避させ、
前記収容容器を前記所定の方向に駆動させて前記被収容物の挿脱位置に配置する工程を有し、
前記収容容器の本体及び前記ドアに分配して配置される一対となる構成からなるインフォパッドの両構成の協働によって前記被収容物の履歴を示す情報を得ることとし、前記蓋を前記ドアに当接させる際に前記インフォパッドに前記保持力に抗して前記ドアの略閉鎖姿勢を前記微小空間側に変化させ、前記変化を検知することによって前記インフォパッドからの情報を得ることを特徴とする被収容物の処理方法。
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