CN116666284B - 一种晶圆载入机 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及晶圆装载技术领域，尤其涉及一种晶圆载入机，包括：机架，机架上具有交接窗，交接窗适合晶圆盒前盖通过；承载台设置在机架上并与交接窗在同一侧，机架上并具有朝向交接窗方向移动的载板，载板用于放置晶圆盒；开门机构设置在机架上并在交接窗的另一侧位置处，其上具有解锁组件和吸附组件；检测框，与开门机构设置在同一侧，且顶部有用于检测晶圆的传感器组。本发明通过开门机构在检测框的内部区域可进出并且二者同步升降的设置，和开门机构将晶圆盒前盖移出交接窗外、检测框的传感器组伸入至交接窗内和升降检测，实现了对晶圆盒的解锁与检测的集成，二者之间互不干扰，提高了检测的可靠性，并且二者同步下降，也节省了驱动的能源利用。

Description

一种晶圆载入机
技术领域
本发明涉及晶圆装载技术领域，尤其涉及一种晶圆载入机。
背景技术
晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的制备过程中，必须使用晶圆盒装载晶圆并将晶圆运送到各个工位上进行不同种类的加工程序；在晶圆的加工过程中，需要设置晶圆载入机，用于将晶圆盒开启和对晶圆盒内晶圆的状态进行检测；
现有技术中，在对晶圆盒载入时，往往需要对晶圆盒进行解锁和检测，如申请公布号为CN114334754A的中国发明专利申请于2022年4月12日公开了一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统，如图1中所示，其在载台01上设置有与载台01上放置的晶圆盒对应的交接口02，在交接口02上设置有可活动的用于晶圆盒开门的交接板03，在交接板03上具有用于晶圆盒解锁的解锁组件04，还包括用于驱动交接板03转动的驱动组件05，通过解锁组件04将晶圆盒的门板打开，通过驱动组件05的驱动带动交接板03将晶圆盒的前盖打开。
再例如申请公布号为CN114300376A的中国发明专利申请于2022年4月8日公开了一种用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置，其在交接口上设置了竖向的滑轨011，并且在滑轨011上滑动设置了交叉伸缩组件012，在交叉伸组件012上具有对射传感器013，在交接口上还具有朝向伸缩组件012设置的激光距离传感器014，用于检测对射传感器013的移动距离；如此，通过对射传感器013的升降以及距离的检测来检测晶圆盒中晶圆的状况。
然而发明人在将上述解锁开门和检测装置集成在同一台机架上时，上述两种功能结合存在障碍，一方面交接板与交叉伸缩组件之间存在干涉，另一方面激光测距传感器也容易受到交接板的影响，导致检测结果受到一定程度的影响。
发明内容
鉴于以上技术问题中的至少一项，本发明提供了一种晶圆载入机，采用结构的改进实现晶圆盒的解锁与检测的集成。
根据本发明的第一方面，提供一种晶圆载入机，包括：
机架，所述机架上具有交接窗，所述交接窗的尺寸满足晶圆盒前盖通过的精度要求；
承载台，设置在所述机架上并且处于所述交接窗的一侧位置处，所述承载台上具有可朝向所述交接窗方向作靠近或远离动作的载板，所述载板用于晶圆盒的放置与定位；
开门机构，设置在所述机架上并且处于所述交接窗的另一侧位置处，所述开门机构朝向所述交接窗的一侧具有解锁组件和吸附组件；
检测框，与所述开门机构设置在所述机架的同一侧，且所述检测框顶部朝向所述交接窗的方向上凸起固定有用于检测晶圆的传感器组；
其中，所述开门机构在所述检测框的内部区域可进出并且二者同步升降设置，以实现所述开门机构将晶圆盒前盖移出所述交接窗外、检测框的所述传感器组伸入至所述交接窗内和升降检测。
在本发明的一些实施例中，所述载板上还具有定位销和到位检测组件，所述定位销与晶圆盒底部的定位槽对应设置，所述到位检测组件用于检测晶圆盒是否安装到位。
在本发明的一些实施例中，所述到位检测组件包括在所述载板的厚度方向可相对移动设置并凸起于所述载板表面的顶柱、一端固定在所述载板底部并且另一端与所述顶柱的底部抵接的弹片、以及固定在所述载板上用于检测所述弹片自由端动作的到位检测器。
在本发明的一些实施例中，所述载板上还具有与晶圆盒底部的锁槽对应的锁扣组件，所述锁扣组件包括呈L型并且凸出于所述载板的锁钩以及用于驱动所述锁钩转动的第一驱动件。
在本发明的一些实施例中，所述承载台内还具有用于驱动所述载板朝向靠近或者远离所述交接窗移动的第二驱动件，所述第二驱动件与所述载板之间通过弹簧抵持连接。
在本发明的一些实施例中，所述开门机构包括与所述交接窗适应的吸附板，所述吸附组件为吸盘组件。
在本发明的一些实施例中，所述解锁组件包括转动连接于所述吸附板上的T型钥匙、一端与所述T型钥匙连接的传动板、与所述传动板另一端转动连接的连杆，还包括转动连接于所述吸附板上的蜗轮，所述连杆的另一端转动连接于所述蜗轮上，还包括与所述蜗轮啮合的蜗杆驱动模组。
在本发明的一些实施例中，所述机架上还具有升降组件，所述升降组件上具有跟随所述升降组件同步升降的第一横向驱动组件和第二横向驱动组件，所述第一横向驱动组件与所述开门机构连接，所述第二横向驱动组件与所述检测框连接。
在本发明的一些实施例中，所述第二横向驱动组件的驱动方向倾斜设置，使得所述检测框在朝向靠近所述交接窗移动时，传感器组伸入至晶圆盒内部。
在本发明的一些实施例中，所述升降组件上还具有距离检测组件，包括转动连接在所述机架顶部和底部的同步轮，以及与两所述同步轮连接的同步带，所述同步带呈环形并且在所述同步带的一侧上具有与所述升降组件的移动端连接的连接件，两所述同步轮上还连接有编码器，用于记录所述同步带的移动距离。
在本发明的一些实施例中，所述检测框背向于所述机架的一侧设置有前盖检测组件；
所述前盖检测组件在所述检测框相对于所述交接窗伸入到位的时刻，识别到所述前盖的顶部边缘，且在所述时刻，所述开门机构将所述前盖移出交接窗外的动作执行到位而相对于所述机架静止；
在所述开门机构和检测框同步下降的过程中，所述前盖检测组件执行所述前盖的顶部边缘检测，在所述顶部边缘检测正常且所述开门机构和检测框同步上升的过程中，所述传感器组执行检测工作。
本发明的有益效果为：本发明通过开门机构在检测框的内部区域可进出并且二者同步升降的设置，和开门机构将晶圆盒前盖移出交接窗外、检测框的传感器组伸入至交接窗内和升降检测，实现了对晶圆盒的解锁与检测的集成，二者之间互不干扰，提高了检测的可靠性，并且二者同步下降，也节省了驱动的能源利用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明背景技术中晶圆传送盒解锁开门的系统的结构示意图；
图2为本发明背景技术中一种用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置的结构示意图；
图3为本发明实施例中晶圆载入机的结构示意图；
图4为本发明实施例中晶圆载入机的爆炸分解结构示意图；
图5为本发明实施例中开门机构的结构示意图；
图6为本发明实施例中检测框的结构示意图；
图7为本发明实施例中承载台的结构示意图；
图8为本发明实施例中前开式晶圆盒的结构示意图；
图9为本发明实施例中到位检测组件的结构示意图；
图10为本发明实施例中锁扣组件与第二驱动件的结构示意图；
图11为本发明实施例中吸附组件的结构示意图；
图12为本发明实施例中解锁组件的结构示意图；
图13为本发明实施例中升降组件的结构示意图；
图14为本发明实施例中距离检测组件的结构示意图；
图15为本发明实施例中开门机构将前盖移出交接窗外的动作过程示意图（前盖未示出）；
图16为本发明实施例中检测框被倾斜驱动的前后位置比对示意图；
图17为本发明实施例中前盖检测组件检测前盖顶部边缘的示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
如图3至图14所示的晶圆载入机，包括：机架1、承载台2、开门机构3和检测框4。具体请参考图3至图6所示，其中，
机架1上具有交接窗11，交接窗11的尺寸满足晶圆盒前盖通过的精度要求。如图3所示，交接窗11固定在机架1上，且其开口尺寸与晶圆盒的前盖尺寸适配，满足晶圆盒从中通过的要求，开口的位置与晶圆盒放置平稳后的位置相适应。
承载台2设置在机架1上并且处于交接窗11的一侧位置处，承载台2上具有可朝向交接窗11方向作靠近或远离动作的载板21，载板21用于晶圆盒的放置与定位。如图4所示，承载台2与机架1同样固定连接，其上具有载板21，主要作用是用于放置晶圆盒，并对晶圆盒进行定位固定，载板21可移动，在晶圆盒放置平稳后，载板21可带动晶圆盒朝向交接窗11方向靠近或远离。
开门机构3设置在机架1上并且处于交接窗11的另一侧位置处，开门机构3朝向交接窗11的一侧具有解锁组件31和吸附组件32。请参考图5所示，当晶圆盒放置平稳后，开门机构3通过解锁组件31和吸附组件32打开晶圆盒的前盖，吸附组件32先对晶圆盒前盖进行吸附牢固，再利用解锁组件31将晶圆盒前门打开。
检测框4与开门机构3设置在机架1的同一侧，且检测框4顶部朝向交接窗11的方向上凸起固定有用于检测晶圆的传感器组41。请参考图6所示，在开门机构3的周测具有检测框4，检测框4与开门机构3设置在机架1同一侧，在上述开门机构3将晶圆盒前盖打开后，通过检测框4上的传感器组41对晶圆盒内部的晶圆进行检测，可知晶圆盒内部情况。
其中，开门机构3在检测框4的内部区域可进出并且二者同步升降设置，以实现开门机构3将晶圆盒前盖移出交接窗11外、检测框4的传感器组41伸入至交接窗11内和升降检测。
请继续参考图3至图6所示，晶圆载入机的具体工作过程为，先将晶圆盒放置在具有载板21的承载台2上，载板21带动晶圆盒朝向靠近交接窗11的方向移动，当移动至设置位置时，开门机构3上的吸附组件32对晶圆盒的前盖进行真空吸附，使晶圆盒的前盖与开门机构3固定在一起，再通过开门机构3上的解锁组件31对晶圆盒前盖解锁，使前盖与晶圆盒分离，开门机构3将晶圆盒前盖移出交接窗11外，并将检测框4向交接窗11内移动，使检测框4顶部的传感器组41伸入至交接窗11内，最后通过升降检测框4，对晶圆盒的内部情况进行检测分析。
本发明通过开门机构3在检测框4的内部区域可进出并且二者同步升降的设置，和开门机构3将晶圆盒前盖移出交接窗11外、检测框4的传感器组41伸入至交接窗11内和升降检测，实现了对晶圆盒的解锁与检测的集成，二者之间互不干扰，提高了检测的可靠性，并且二者同步下降，也节省了驱动的能源利用。
在本发明的一些实施例中，载板21上还具有定位销22和到位检测组件23，定位销22与晶圆盒底部的定位槽22a对应设置，到位检测组件23用于检测晶圆盒是否安装到位。如图7所示，在载板21上具有定位销22与到位检测组件23。定位销22设置有三个，并且三个定位销22呈等边三角形的形状分布，一方面可以起到位置上的定位作用，另一方面还能起到止转的功能。到位检测组件23与定位销22配合设置，同样具有三个并呈三角形形状设置。如图8所示，在晶圆盒的底部具有圆周方向均匀分布的定位槽22a，定位槽22a与载板21上的定位销22适配，用来对晶圆盒进行固定。其中，定位销22的顶部呈圆锥形，定位槽22a的截面呈倒V型，两者形状适配，圆锥形的定位销22具有导向的作用，在放置过程中更加方便晶圆盒的滑入与固定，来提高对晶圆盒固定的可靠性。当晶圆盒放置在载板21上时，晶圆盒底部的定位槽22a与定位销22卡接，使晶圆盒放置平稳，放置平稳后的晶圆盒对到位检测组件23施压，进而检测到晶圆盒安装到位。
在本发明的一些实施例中，到位检测组件23包括在载板21的厚度方向可相对移动设置并凸起于载板21表面的顶柱23a、一端固定在载板21底部并且另一端与顶柱23a的底部抵接的弹片23b、以及固定在载板21上用于检测弹片23b自由端动作的到位检测器23c。如图9所示，在载板21的厚度方向可相对移动设置并凸起于载板21表面的顶柱23a，顶部用于晶圆盒放置平稳后对其施压，使其朝向载板21下方运动，并使顶柱23a底部对下方一端固定在载板21底部、另一端延伸至顶柱23a下方的弹片23b按压，弹片23b的自由端具有折弯部，折弯部与到位检测器23c的开口处相适配，当弹片23b被施压向下运动时，折弯处进入到位检测器23c开口处的监测区域内，到位检测器23c检测出晶圆盒安装到位。
在本发明的一些实施例中，载板21上还具有与晶圆盒底部的锁槽24a1对应的锁扣组件24，锁扣组件24包括呈L型并且凸出于载板21的锁钩24a以及用于驱动锁钩24a转动的第一驱动件24b。请参考图10所示，为防止晶圆盒放置在载板21上时出现位移，在载板21上设置锁扣组件24来对晶圆盒进行锁定。请继续参考图8所示，在晶圆盒底部设置有锁槽24a1，锁槽24a1与锁扣组件24中呈L型并且凸出于载板21的锁钩24a相适配，当晶圆盒放置平稳后，通过驱动第一驱动件24b使呈L型的锁钩24a转动，锁钩24a的端部卡入至锁槽24a1内，进而将晶圆盒锁定，进一步提高晶圆盒放置的可靠性。
在本发明的一些实施例中，承载台2内还具有用于驱动载板21朝向靠近或者远离交接窗11移动的第二驱动件25，第二驱动件25与载板21之间通过弹簧25a抵持连接。请继续参考图10所示，当上述锁扣组件24对晶圆盒进行锁定后，需将晶圆盒向靠近或者远离交接窗11移动，通过在承载台2上设置第二驱动件25，利用第二驱动件25驱动弹簧25a，弹簧25a带动载板21，进而使晶圆盒靠近或远离交接窗11。其中，通过弹簧25a将第二驱动件25与载板21连接，可实现柔性接触，一方面可使晶圆盒移动过程中稳定移动，减小移动中出现的震动，另一方面可使后续解锁时晶圆盒前盖与解锁机构的吸盘吸附的可靠性提高。
在本发明的一些实施例中，开门机构3包括与交接窗11适应的吸附板30，吸附组件32为吸盘组件。当晶圆盒在载板21上锁定安装，并通过第二驱动件25将晶圆盒朝向交接窗11移动至指定位置后，先利用开门机构3的吸附板30上的吸附组件32将晶圆盒的门进行吸附。其中，吸附组件32为吸盘组件，如图5所示，在吸附板30上具有两个以对角的方式布置的吸盘组件，并且吸盘的吸附面突出于吸附板30，请继续参考图11所示，在吸附板30的背面，两个吸盘组件连通，并与真空抽气装置相连，当晶圆盒的前盖与吸盘接触后，利用真空抽气装置对吸盘内部空气进行抽空，使吸盘将晶圆盒的前盖吸附住。
在本发明的一些实施例中，解锁组件31包括转动连接于吸附板30上的T型钥匙31a、一端与T型钥匙31a连接的传动板31b、与传动板31b另一端转动连接的连杆31c，还包括转动连接于吸附板30上的蜗轮31d，连杆31c的另一端转动连接于蜗轮31d上，还包括与蜗轮31d啮合的蜗杆驱动模组31f。如图5所示，在对晶圆盒前盖解锁时，将吸附板30上的T型钥匙31a，伸入至图3所示的晶圆盒前盖的矩形凹槽中，继续如图12所示，连杆31c的一端固定在蜗轮31d的最外侧，另一侧与传动板31b连接，传动板31b与T型钥匙31a连接，T型钥匙31a以中心为轴可旋转的固定在吸附板30内，通过驱动蜗杆驱动模组31f，使吸附板30中心位置上的蜗轮31d旋转，旋转的蜗轮31d带动连杆31c与传动板31b，传动板31b的旋转带动T型钥匙31a旋转，进而打开晶圆盒的前盖。
在本发明的一些实施例中，机架1上还具有升降组件5，升降组件5上具有跟随升降组件5同步升降的第一横向驱动组件51和第二横向驱动组件52，第一横向驱动组件51与开门机构3连接，第二横向驱动组件52与检测框4连接。如图13所示，在承载台2下方具有升降组件5，升降组件5与开门机构3和检测框4固定连接，通过升降组件5对开门机构3和检测框4进行上下位移，使检测框4上的传感器组41对晶圆盒内部情况进行检测。升降组件5的两侧分别上下固定连接有第一横向驱动组件51和第二横向驱动组件52，其中，第一横向驱动组件51与开门机构3连接，用来将吸附住晶圆盒前盖的开门机构3朝向远离晶圆盒的方向移动，为检测框4上的传感器组41对晶圆盒内部情况检测让位；第二横向驱动组件52与检测框4连接，用来朝向晶圆盒移动，并对开门后的晶圆盒内部进行检测。在本发明中通过升降组件5与第一横向驱动组件51和第二横向驱动组件52之间的固定连接，实现检测过程中操作更方便，检测精度更高的特点。
在本发明的一些实施例中，第二横向驱动组件52的驱动方向倾斜设置，使得检测框4在朝向靠近交接窗11移动时，传感器组41伸入至晶圆盒内部。请继续如图13所示，在对晶圆盒内部检测时，通过第二横向驱动组件52驱动方向倾斜的设置，可使检测框4在朝向靠近交接窗11移动时，位于检测框4顶部的传感器组41伸入至晶圆盒内部，更加方便的对晶圆盒内部情况进行检测。这里需要指出的是，在本发明实施例中驱动件及驱动组件的驱动形式具有多种形式，可以是步进电机、力矩电机或者是伺服电机，也可以是开关磁阻电机、直流无刷电机等其他形式来实现，直线驱动可以采用气缸、电机丝杆或者电机摆臂等形式来实现。
在开门机构3将晶圆盒前盖移除交接窗11外，以及开门机构3和检测框4同步升降的过程中，前盖均可能存在脱落的风险，或者即便当不完全脱落，而仅仅发生位置的轻微变动时，也会使得前盖无法有效的盖合至晶圆盒上；此种情况若不及时发现，伴随后续设备的运行，可能会发生晶圆盒或设备的损坏。
为了解决上述问题，基于第二横向驱动组件52的驱动方向倾斜设置的方案，作为上述实施例的优选，如图15~17所示，检测框4背向于机架1的一侧设置有前盖检测组件42；前盖检测组件42在检测框4相对于交接窗11伸入到位的时刻，识别到前盖的顶部边缘，且在该时刻，开门机构3将前盖移出交接窗11外的动作执行到位而相对于机架1静止；在开门机构3和检测框4同步下降的过程中，前盖检测组件42执行前盖的顶部边缘检测，在顶部边缘检测正常且开门机构3和检测框4同步上升的过程中，传感器组41执行检测工作。
在上述优选方案中，将开门机构3和检测框4同步的下降和上升过程分为两个不同的工作阶段，具体包括：
晶圆盒前盖的固定稳定性检测阶段：在该阶段，如图16所示，借助第二横向驱动组件52的驱动方向倾斜设置，而使得检测框4的轨迹会产生相对于开门机构3向下运动的过程，因此可使得前盖检测组件42可实现从识别不到前盖顶部边缘到识别到前盖顶部边缘的转变。当然，在此过程中检测框4会相对于交接窗11伸入到位，且到位时刻与上述检测到边缘的时刻是相同的。在该阶段，为了保证边缘检测的精准性，设定前盖检测组件42到达检测位时，开门机构3将前盖移出交接窗11外的动作执行到位而相对于机架1静止，如图15所示；其中，完成该静止动作的时长越短，对于生产效率的提升越是有益的。针对开门机构3将前盖移出交接窗11外的距离，可根据检测框4的运动轨迹进行选择，在满足不会与检测框4发生碰撞的情况下，越短的运动距离同样也是对生产效率的提升越是有益的。
在上述位置关系确定完成后，启动升降组件5而执行晶圆盒前盖固定稳定性的检测，具体地，检测依据为前盖顶部边缘是否始终能够有效被识别，由于顶部边缘的检测是在临界位置，因此轻微的位置变动均可造成无法获得检测结果的情况；当然，此处所指的检测结果是指前盖顶部边缘的检测结果，当采用的前盖检测组件42同样可能采集到其他结构时，可通过与前盖顶部边缘检测结果的差异性，而同样获得针对性的检测结果。其中，可对距离进行检测的组件形式均可根据实际情况来判断是否可用于本发明的前盖检测组件42中，从而通过设定的距离值而作为前盖检测的依据。
当前盖顶部边缘检测结果发生异常时，可停止设备而采取相应的措施，此处的措施包括但不限于开门机构3工作参数的调整，从而来保证对于前盖的固定效果；以及，升降组件5的工作参数调整，来降低设备的振动量等。在本发明中，还存在的一种情况在于，开门机构3将前盖移出交接窗11外的动作执行过程中，前盖已经发生位置的移动，当然，此种情况会造成顶部边缘始终无法被识别到，同样被认定为一种需要人工参与的异常情况。
在下降过程完成后，若伴随设备的运行及所产生的振动量，前盖状态若始终保持稳定，则认定其固定是可靠的，因此有序的执行后续阶段。
晶圆的检测阶段：在该阶段的执行过程中，传感器组41自下而上的对晶圆盒内部进行检测，可在检测完成后直接回到相对于交接窗11伸入的初始位置，后续的动作相对于前序动作反向进行即可完成前盖重新盖合至晶圆盒上的动作。
在上述方式中，传感器组41和前盖检测组件42交替工作，有效的保证了工作的效率；前盖检测组件42背向于晶圆盒，其安装和选择也更加容易，不会对晶圆造成影响。
在本发明的一些实施例中，升降组件5上还具有距离检测组件6，包括转动连接在机架1顶部和底部的同步轮61，以及与两同步轮61连接的同步带62，同步带62呈环形并且在同步带62的一侧上具有与升降组件5的移动端连接的连接件63，两同步轮61上还连接有编码器64，用于记录同步带62的移动距离。根据上述方案升降组件5带动检测框4上的传感器组41对晶圆盒内部进行检测的同时，升降组件5上还具有距离检测组件6，距离检测组件6上具有与机架1顶部和底部的同步轮61，以及与两同步轮61连接的同步带62，同步带62呈环形并且在同步带62的一侧上具有与升降组件5的移动端连接的连接件63，当升降组件5进行上下位移时，带动与升降组件5的移动端固定连接的连接件63移动，连接件63又与同步带62固定连接，进而升降组件5进行位移时，同步带62同样进行位移，在两同步轮61上还连接有编码器64，编码器64对同步带62的移动距离进行记录，并与检测框4上的传感器检测晶圆盒内部情况的数据进行结合 ，来分析晶圆盒中晶圆的存放情况。
本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种晶圆载入机，其特征在于，包括：
机架，所述机架上具有交接窗，所述交接窗的尺寸满足晶圆盒前盖通过的精度要求；承载台，设置在所述机架上并且处于所述交接窗的一侧位置处，所述承载台上具有可朝向所述交接窗方向作靠近或远离动作的载板，所述载板用于晶圆盒的放置与定位；开门机构，设置在所述机架上并且处于所述交接窗的另一侧位置处，所述开门机构朝向所述交接窗的一侧具有解锁组件和吸附组件；检测框，与所述开门机构设置在所述机架的同一侧，且所述检测框顶部朝向所述交接窗的方向上凸起固定有用于检测晶圆的传感器组；
其中，所述开门机构在所述检测框的内部区域可进出并且二者同步升降设置，以实现所述开门机构将晶圆盒前盖移出所述交接窗外、检测框的所述传感器组伸入至所述交接窗内和升降检测；所述机架上还具有升降组件，所述升降组件上具有跟随所述升降组件同步升降的第一横向驱动组件和第二横向驱动组件，所述第一横向驱动组件与所述开门机构连接，所述第二横向驱动组件与所述检测框连接；
所述第二横向驱动组件的驱动方向倾斜设置，使得所述检测框在朝向靠近所述交接窗移动时，传感器组伸入至晶圆盒内部；所述检测框背向于所述机架的一侧设置有前盖检测组件；所述前盖检测组件在所述检测框相对于所述交接窗伸入到位的时刻，识别到所述前盖的顶部边缘，且在所述时刻，所述开门机构将所述前盖移出交接窗外的动作执行到位而相对于所述机架静止；在所述开门机构和检测框同步下降的过程中，所述前盖检测组件执行所述前盖的顶部边缘检测，在所述顶部边缘检测正常且所述开门机构和检测框同步上升的过程中，所述传感器组执行检测工作；当所述前盖顶部边缘检测结果发生异常时，停止设备而采取相应的措施，所述措施至少包括所述开门机构工作参数的调整，从而来保证对于前盖的固定效果；以及，所述升降组件的工作参数调整，来降低设备的振动量；
针对所述开门机构将前盖移出交接窗外的距离，根据所述检测框的运动轨迹进行选择。
2.根据权利要求1所述的晶圆载入机，其特征在于，所述载板上还具有定位销和到位检测组件，所述定位销与晶圆盒底部的定位槽对应设置，所述到位检测组件用于检测晶圆盒是否安装到位。
3.根据权利要求2所述的晶圆载入机，其特征在于，所述到位检测组件包括在所述载板的厚度方向可相对移动设置并凸起于所述载板表面的顶柱、一端固定在所述载板底部并且另一端与所述顶柱的底部抵接的弹片、以及固定在所述载板上用于检测所述弹片自由端动作的到位检测器。
4.根据权利要求2所述的晶圆载入机，其特征在于，所述载板上还具有与晶圆盒底部的锁槽对应的锁扣组件，所述锁扣组件包括呈L型并且凸出于所述载板的锁钩以及用于驱动所述锁钩转动的第一驱动件。
5.根据权利要求2所述的晶圆载入机，其特征在于，所述承载台内还具有用于驱动所述载板朝向靠近或者远离所述交接窗移动的第二驱动件，所述第二驱动件与所述载板之间通过弹簧抵持连接。
6.根据权利要求1所述的晶圆载入机，其特征在于，所述开门机构包括与所述交接窗适应的吸附板，所述吸附组件为吸盘组件。
7.根据权利要求6所述的晶圆载入机，其特征在于，所述解锁组件包括转动连接于所述吸附板上的T型钥匙、一端与所述T型钥匙连接的传动板、与所述传动板另一端转动连接的连杆，还包括转动连接于所述吸附板上的蜗轮，所述连杆的另一端转动连接于所述蜗轮上，还包括与所述蜗轮啮合的蜗杆驱动模组。
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