CN215496650U - 一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统；采用电机丝杠实现活动门的上下升降、开关门气缸实现活动门的前后移动，使活动门通过门吸盘将FOUP门吸连，并通过门闩实现FOUP门与FOUP外壳的配合，从而实现FOUP的开闭；本系统还自带晶圆片状况检测功能，利用活动门带动FOUP门移动的过程，使检测传感器伸入FOUP内并同步升降，实现对晶圆片的扫描检测，后续可与上位机系统进行通讯。

Description

一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统。

背景技术

在半导体制造过程中，晶圆输送至关重要。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

为了确保不同制程间在输送的过程减少晶圆收到污染，生产中运用了各种标准运送容器，例如前开式晶圆盒(FOUP)。

前开式晶圆盒(FOUP、Front Opening Unified Pod)，是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器、并有一个前开式的门框专司容器的开闭，是一种专属于12寸(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。

FOUP输送时需要配合Loadport台使用，而Loadport是通过晶圆盒从处理装置中取放硅晶圆的晶圆盒装载端口。

随着工艺制成的发展，造成各种机台设备的多样化，更简单、更可靠、功能更多的开闭设备是目前市场的迫切需要。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

本实用新型目的在于背景技术提出的技术问题，而提供了一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统。

(二)技术方案

一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，包括设置在Loadport台后侧的背板，Loadport台顶部设置有移动台面，移动台面用于装载FOUP；移动台面上设置有盒锁，用于将FOUP固定在移动台面上；

背板下段设置有电机丝杠，电机丝杠上设置有滑动台、并可带动滑动台升降；滑动台上设置有开关门气缸，开关门气缸连接有活动门，开关门气缸伸缩带动活动门进行前后方向的移动；活动门前侧设置有门闩，用于打开或关闭FOUP的门；活动门前侧还设置有门吸盘，用于吸住FOUP的门；活动门外围设置有摆动架，摆动架底端连接有摆动气缸，摆动气缸伸缩带动摆动架产生偏转；摆动架顶部还向前设置有检测传感器。

优选的，盒锁连接有盒锁开闭气缸，盒锁开闭气缸连接有盒锁伸缩气缸。

优选的，门闩连接有门闩气缸。

优选的，移动台面与Loadport台顶部滑动连接，也可进行前后方向的移动。

优选的，摆动架下段与活动门下段转动连接，摆动气缸固定在滑动台上。

优选的，Loadport台顶部后端设置有固定架，背板上部和固定架对应设置有通口。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，采用电机丝杠实现活动门的上下升降、开关门气缸实现活动门的前后移动，使活动门通过门吸盘将FOUP门吸连，并通过门闩实现FOUP门与FOUP外壳的配合，从而实现FOUP的开闭；本系统还自带晶圆片状况检测功能，利用活动门带动FOUP门移动的过程，使检测传感器伸入FOUP内并同步升降，实现对晶圆片的扫描检测，后续可与上位机系统进行通讯。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的，保护一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的侧视图；

图2为本实用新型的结构图；

图3为本实用新型另一视角的结构图；

图4为本实用新型的爆炸图；

图5为移动台面的结构图。

图6为移动门的结构图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-背板，2-电机丝杠，3-开关门气缸，4-摆动气缸，5-盒锁，6-门闩气缸，7-活动门，8-门闩，9-门吸盘，10-移动台面，11-检测传感器，12-摆动架，13-Loadport台，14-FOUP，15-合锁开闭气缸，16-盒锁伸缩气缸。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”，其仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”，应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参看附图1、2、3、4，一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，包括装在Loadport台13后侧的背板1；

Loadport台13顶部设有移动台面10，移动台面10用于装载FOUP14；移动台面10上设有盒锁5，用于将FOUP14固定在移动台面10上；

背板1下段装有电机丝杠2，电机丝杠2上装有滑动台、并可带动滑动台升降；滑动台上装有开关门气缸3，开关门气缸3连接有活动门7，开关门气缸3伸缩带动活动门7进行前后方向的移动；活动门7前侧装有门闩8，用于打开或关闭FOUP14的门；活动门7前侧还装有门吸盘9，用于吸住FOUP14的门；活动门7外围设有摆动架12，摆动架12底端连接有摆动气缸4，摆动气缸4伸缩带动摆动架12产生偏转；摆动架12顶部还向前装有检测传感器11。

参看附图5，其中，盒锁5连接有盒锁开闭气缸15，盒锁开闭气缸15连接有盒锁伸缩气缸16，这样盒锁5可以向上伸出、并左右张开，从而把FOUP14固定在移动台面10上；

参看附图6，其中，门闩8连接有门闩气缸6，门闩气缸6驱动门闩8旋转，从而打开或关闭FOUP14的门；

其中，移动台面10与Loadport台13顶部滑动连接，也可进行前后方向的移动。

参看附图4，其中，摆动架12下段与活动门7下段转动连接，摆动气缸4固定在滑动台上。

下面说明本设备实现开门运行的过程：FOUP14放置到移动台面10上，并使其门面向后侧；盒锁5将FOUP14固定在移动台面10上；移动台面10向活动门7方向移动，使FOUP14的门与活动门7贴紧；门吸盘9利用真空吸力吸住FOUP14的门，使其与活动门7连接在一起，同时门闩8将FOUP14的门解锁打开；开关门气缸3平推活动门7向后移动，这样就使FOUP14的门与外壳脱离，这样晶圆的取放口即露出；然后电机丝杠2通过滑动台带着活动门7下降，而摆动气缸4驱动摆动架12产生偏转，使检测传感器11通过取放口伸进FOUP14内，这样检测传感器11在下降的同时对晶圆片状态进行扫描，检测是否存在缺片、叠片、斜片等问题；当活动门7完全移动后，晶圆全部开放，便于后续机台取出晶圆。

反之，按照上述步骤逆向，可以实现晶圆入FOUP14的反向操作。

参看附图4，Loadport台13顶部后端连接有固定架，背板1上部和固定架对应设有通口，便于活动门7、检测传感器11等进行工作。

需要说明的是，上述电气元件的控制方式为现有技术，为了避免叙述累赘，统一在此处说明；且本申请主要用来保护机械设备，所以文中不再详细解释控制方式和电路连接。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料过着特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，包括设置在Loadport台(13)后侧的背板(1)，其特征在于，所述Loadport台(13)顶部设置有移动台面(10)，移动台面(10)用于装载FOUP(14)；所述移动台面(10)上设置有盒锁(5)，用于将FOUP(14)固定在移动台面(10)上；

所述背板(1)下段设置有电机丝杠(2)，电机丝杠(2)上设置有滑动台、并可带动滑动台升降；所述滑动台上设置有开关门气缸(3)，开关门气缸(3)连接有活动门(7)，开关门气缸(3)伸缩带动活动门(7)进行前后方向的移动；所述活动门(7)前侧设置有门闩(8)，用于打开或关闭FOUP(14)的门；所述活动门(7)前侧还设置有门吸盘(9)，用于吸住FOUP(14)的门；所述活动门(7)外围设置有摆动架(12)，摆动架(12)底端连接有摆动气缸(4)，摆动气缸(4)伸缩带动摆动架(12)产生偏转；所述摆动架(12)顶部还向前设置有检测传感器(11)。

2.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，其特征在于，所述盒锁(5)连接有盒锁开闭气缸(15)，盒锁开闭气缸(15)连接有盒锁伸缩气缸(16)。

3.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，其特征在于，所述门闩(8)连接有门闩气缸(6)。

4.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，其特征在于，所述移动台面(10)与Loadport台(13)顶部滑动连接，也可进行前后方向的移动。

5.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，其特征在于，所述摆动架(12)下段与活动门(7)下段转动连接，摆动气缸(4)固定在滑动台上。

6.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统，其特征在于，所述Loadport台(13)顶部后端设置有固定架，背板(1)上部和固定架对应设置有通口。

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