CN220420550U - 一种晶圆装载设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆装载设备，包括：控制器；凸片检测传感器；机台，其上设有晶圆进出口；载台，相对晶圆进出口移动，其上设有底锁控件、支撑柱及放平检测元件；开合盖机构，包括升降移动模组、第二水平移动模组、延伸曲臂和拾取组件，升降移动模组和第二水平移动模组分别驱动延伸曲臂作升降、水平移动；拾取组件设置在延伸曲臂上，包括盖锁控件及抓取件；Mapping机构，包括安装架、第三水平移动模组和晶圆检测元件；安装架与延伸曲臂同步动作，第三水平移动模组设在安装架上并驱动晶圆检测元件水平移动。本实用新型能够保证可靠、高效地完成FOUP/FOSB的开盖和合盖动作，能够检测在晶圆上下料以及合盖时FOUP/FOSB的定位精度，能够对FOUP/FOSB内的晶圆进行计数。

Description

一种晶圆装载设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工配套设备技术领域，尤其涉及一种晶圆装载设备。

背景技术

在半导体制造行业中，生产出的晶圆通过FOUP/FOSB码放保存并输运到下一级进行加工，在加工前，需要打开FOUP/FOSB的盒盖，逐一取出晶圆，加工完成的晶圆再逐一码放到FOUP/FOSB中，满载后需要闭合FOUP/FOSB的盒盖。FOUP/FOSB是标准件，其底部设有定位孔和锁止孔，其盒盖上设有盒盖锁。目前，FOUP/FOSB的盒盖开合通过晶圆装载机可以基本实现自动化，但是，整个开合盖过程对控制精度要求特别高，在实际应用中仍存在较多问题，比如自动开盖动作可能导致FOUP/FOSB的水平度被破坏，导致晶圆的位置精度变差，不利于晶圆的抓取和后续的盒盖闭合。因此，提供更可靠、更高效、功能更多的晶圆装载机是目前市场的迫切需要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆装载设备，其能够保证可靠、高效地完成FOUP/FOSB的开盖和合盖动作，能够检测在晶圆上下料以及合盖时FOUP/FOSB的定位精度，能够对FOUP/FOSB内的晶圆进行计数。

为达到上述目的，本实用新型公开了一种晶圆装载设备，其包括：

机台，所述机台上设有晶圆进出口和安装平台，所述安装平台位于晶圆进出口的前端，所述安装平台上设有第一水平移动模组；

载台，所述第一水平移动模组驱动载台相对晶圆进出口移动；所述载台上设有与FOUP/FOSB底部锁孔配合的底锁控件、与FOUP/FOSB底部定位孔配合的支撑柱以及用于检测FOUP/FOSB底面水平度的放平检测元件；

开合盖机构，包括升降移动模组、第二水平移动模组、延伸曲臂和拾取组件，所述升降移动模组和第二水平移动模组位于安装平台下方，所述升降移动模组驱动第二水平移动模组上下移动；所述延伸曲臂位于晶圆进出口的后端，所述第二水平移动模组驱动延伸曲臂水平移动，所述拾取组件设置在延伸曲臂的顶端，且所述拾取组件可穿过晶圆进出口；所述拾取组件包括用于开合FOUP/FOSB的盒盖锁的盖锁控件以及用于抓取FOUP/FOSB的盒盖的抓取件；

Mapping机构，包括安装架、第三水平移动模组和用于检测晶圆数量的晶圆检测元件；所述安装架与延伸曲臂同步动作，且所述安装架不干涉拾取组件，所述第三水平移动模组设置在安装架上且位于拾取组件上方，所述第三水平移动模组驱动晶圆检测元件水平移动，所述晶圆检测元件可穿过晶圆进出口；

控制器，连接所述第一水平移动模组、锁止组件、放平检测元件、升降移动模组、第二水平移动模组、锁控组件、抓取组件、第三水平移动模组和晶圆检测元件。

优选地，所述第一水平移动模组和升降移动模组均包括导轨、丝杆、导块和电机，所述导轨和丝杆相互平行，所述导块滑动连接在导轨上，所述丝杆与导块螺纹连接，所述电机驱动丝杆转动；所述载台连接第一水平移动模组对应的导块，所述安装架连接升降移动模组对应的导块；

所述第二水平移动模组包括导柱、导套、活动板和第一气缸，所述导柱和第一气缸的推杆连接升降移动模组对应的导块，所述导套和第一气缸的座体安装在活动板上，所述导柱滑动连接在导套中；所述延伸曲臂连接活动板；

所述第三水平移动模组包括第二气缸、滑轨和滑块，所述滑轨和第二气缸的座体安装在安装架上，所述滑块滑动连接在滑轨上，且所述第二气缸的推杆与滑块连接，所述晶圆检测元件设置在滑块上。

优选地，所述支撑柱的高度大于FOUP/FOSB上的定位孔的深度；所述放平检测元件为光电传感器，且至少FOUP/FOSB底部四个边角的对应位置设有放平检测元件。

优选地，所述晶圆检测元件为对射光纤，且所述晶圆检测元件的发射器和接收器的连线为水平线；所述安装架上还设有一遮光罩，所述遮光罩靠近晶圆进出口的一侧设有避让口，所述对射光纤置于该遮光罩中且靠近避让口设置。

优选地，还包括设置在所述晶圆进出口上方的凸片检测元件，所述凸片检测元件为光电传感器，且所述凸片检测元件的检测方向为竖直向下，所述凸片检测元件连接控制器。

优选地，还包括在籍检测元件，所述在籍检测元件为对射光纤，所述在籍检测元件的发射器设置在晶圆进出口的上方，所述在籍检测元件的接收器设置在安装平台远离晶圆进出口的一端，且所述在籍检测元件的发射器和接收器对角设置；所述在籍检测元件连接控制器。

优选地，还包括用于防夹手检测组件，所述防夹手检测组件包括两组光电开关和两块反射镜，所述光电开关连接控制器；定义两组光电开关对应的投光器和受光器为第一投光器、第一受光器、第二投光器和第二受光器，定义两块反射镜为第一反射镜和第二反射镜，所述第一投光器和第二投光器设置在晶圆进出口的左上角，所述第一受光器和第二受光器设置在晶圆进出口的右下角，所述第一反射镜设置在晶圆进出口的右上角，所述第二反射镜设置在晶圆进出口的左下角，所述第一投光器发出的射线经第一反射器可到达第一受光器，所述第二投光器发出的射线经第二反射器可到达第二受光器。

优选地，还包括设置在所述晶圆进出口上方的显示组件，所述显示组件连接控制器。

优选地，还包括设置在机台底部的调平机构。

优选地，还包括设置在所述机台底部的安装调整机构，所述安装调整机构包括固定横条、水平移动组件以及两调平组件；所述水平移动组件包括水平调整座、第一限位螺丝、微调螺丝和连接套，所述水平调整座锁固在机台底部，所述水平调整座上设有竖直设置的第一长圆孔，所述第一限位螺丝穿过第一长圆孔后连接微调螺丝的固定部，所述连接套锁固在固定横条的中间位置，所述微调螺丝的旋转部插入连接套中，且所述微调螺丝的旋转部上设有与连接套抵接的限位部；两所述调平组件分别设置在固定横条的两端位置，所述调平组件包括调平座、调平螺丝、第二限位螺丝、导向台和导轮，所述导轮转动连接在机台的底部；所述导向台上设有竖直设置的第二长圆孔，所述第二限位螺丝穿过第二长圆孔后连接固定横条，所述导向台上设有与导轮配合的导槽；所述调平座置于导向台的下方，所述调平螺丝螺纹连接调平座，且所述调平螺丝的端头抵接导向台。

优选地，所述机台底部还设有若干可调节脚杯。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过载台定位并锁固FOUP/FOSB，通过开合锁机构打开FOUP/FOSB的盒盖并取出，同时通过设置放平检测元件检测FOUP/FOSB的放置水平度，只有FOUP/FOSB的水平度符合要求的情况下，才控制开合锁机构进行开合盖动作，以及晶圆的上下料，保证盒盖的顺利开合，保证晶圆顺利地上下料且晶圆不会与搬运装置和FOUP/FOSB干涉。此外，在开盖时，通过Mapping机构可以在上下移动盒盖时同步进行晶圆计数，提高效率。

2、支撑柱的高度大于FOUP/FOSB上的定位孔的深度，使得FOUP/FOSB不与载台面接触，避免FOUP/FOSB与载台面大面积接触，因为载台面难免磕碰变形，其变形不会影响FOUP/FOSB的水平度，利于保证FOUP/FOSB的水平度。而放平检测元件选用光电传感器，FOUP/FOSB与其不接触，利于保证其使用寿命。

附图说明

图1为FOUP/FOSB的示意图。

图2为FOUP/FOSB隐藏盒盖后的示意图。

图3为本实用新型的示意图。

图4为本实用新型隐藏局部机台和载台后的示意图。

图5为本实用新型另一视角的示意图。

图6为Mapping机构的示意图。

图7为防夹手检测组件的示意图。

图8为安装调整机构的示意图。

主要部件符号说明：

机台10，晶圆进出口11，安装平台12，第一水平移动模组13，可调节脚杯14；

显示组件21，凸片检测元件22；

载台30，底锁控件31，支撑柱32，放平检测元件33，通孔34；

在籍检测元件40，在籍检测元件的发射器41，在籍检测元件的接收器42；

升降移动模组51，导柱521，导套522，活动板523，延伸曲臂53，拾取组件54，盖锁控件541，抓取件542；

安装架61，第二气缸621，滑轨622，滑块623，晶圆检测元件63，遮光罩64；

防夹手检测组件70，第一投光器71，第一受光器72，第二投光器73，第二受光器74，第一反射镜75，第二反射镜76；

安装调整机构80，固定横条81，水平调整座82，第一长圆孔821，第一限位螺丝83，微调螺丝84，连接套85，调平座86，调平螺丝87，导向台88，第二长圆孔881，导槽882，导轮89；

FOUP/FOSB 90，盒盖91，晶圆92。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。

如图1～8所示，本实用新型公开了一种晶圆92装载设备，其包括：控制器、机台10、载台30、开合盖机构、Mapping机构、凸片检测元件22、在籍检测元件40、防夹手检测组件70、显示组件21和安装调整机构80。显示组件21连接控制器，用于显示设备的运行、故障等状态，也可以显示上述的机构、元件的反馈，利于机旁人员及时掌握设备状态，利于故障排除。显示组件21可以是显示屏，也可以是指示灯，显示组件21设置在晶圆进出口11上方，以便于查看。

机台10上设有一晶圆进出口11和一安装平台12，安装平台12位于晶圆进出口11的前端一侧，在安装平台12上设有第一水平移动模组13，第一水平移动模组13包括导轨、丝杆、导块和电机，电机连接控制器。导轨和丝杆相互平行，导块滑动连接在导轨上，丝杆与导块螺纹连接，电机驱动丝杆转动。载台30置于第一水平移动模组13对应的导块上，即第一水平移动模组13驱动载台30移动，载台30的移动方向为靠近或远离晶圆进出口11的方向。

载台30上设有底锁控件31、支撑柱32和放平检测元件33，支撑柱32与FOUP/FOSB90底部定位孔配合，以实现FOUP/FOSB 90的定位，底锁控件31则与FOUP/FOSB 90底部锁孔配合，以实现将FOUP/FOSB 90的位置锁止。因为FOUP/FOSB 90是标准件，故支撑柱32和底锁控件31的数量是恒定的，位置关系也是确定的，底锁控件31是现有技术，不再赘述，底锁控件31与控制器连接。特别地，在本案中，支撑柱32的高度要大于FOUP/FOSB 90底部定位孔的深度，即使得FOUP/FOSB 90的底面相对载台30的顶面悬空设置，载台30的顶面难免磕碰，有可能出现变形，而FOUP/FOSB 90如果直接置于载台30的顶面上，FOUP/FOSB 90底部与载台30接触面大，那就有极大可能出现FOUP/FOSB 90放不平的问题。而通过支撑柱32来支撑FOUP/FOSB 90，支撑柱32一般是3个，FOUP/FOSB 90在自身重力作用下，其可以与支撑柱32紧密配合，FOUP/FOSB 90的水平度控制会更简单。

放平检测元件33则用于检测FOUP/FOSB 90底面水平度，至少在FOUP/FOSB 90底面四个边角对应的点位设置放平检测元件33，以保证检测的可靠性。放平检测元件33优选光电传感器，且放平检测元件33置于载台30的顶面之下，载台30的顶面上设有供放平检测元件33暴露的通孔34，这般设置是为了避免放平检测元件33被磕碰损坏。通过多点检测FOUP/FOSB 90的底面，只有所有的放平检测元件33被触发才表明FOUP/FOSB 90的水平度达到要求。放平检测元件33连接控制器，通过显示组件21可以获知机盘人员FOUP/FOSB 90是否放平。

在籍检测元件40用于检测是否有FOUP/FOSB 90要进出载台30，在籍检测元件40为对射光纤，其中，在籍检测元件40的发射器41设置在晶圆进出口11的上方，在籍检测元件40的接收器42则设置在安装平台12远离晶圆进出口11的一端，且在籍检测元件40的发射器41和接收器对角设置为佳，以利于检测。在FOUP/FOSB 90置于载台30上后，在籍检测元件40的发射器41发出的光线应当会被FOUP/FOSB 90阻挡。在籍检测元件40连接控制器。在籍检测元件40的信号可以作为触发设备启动或预备的信号，利于节能。

开合盖机构包括升降移动模组51、第二水平移动模组、延伸曲臂53和拾取组件54，升降移动模组51和第二水平移动模组位于安装平台12下方，升降移动模组51同第一水平移动模组13，不再赘述。第二水平移动模组包括导柱521、导套522、活动板523和第一气缸，第一气缸连接控制器。导柱521和第一气缸的推杆连接在升降移动模组51对应的导块上，导套522和第一气缸的座体安装在活动板523上，导柱521滑动连接在导套522中。延伸曲臂53位于晶圆进出口11的后端，其的下端连接活动板523，其上端则连接拾取组件54。升降移动模组51带动拾取组件54上下移动，第二水平移动模组则带动拾取组件54相对晶圆进出口11移动。拾取组件54包括用于开合FOUP/FOSB 90的盒盖91锁的盖锁控件541以及用于抓取FOUP/FOSB 90的盒盖91的抓取件542，盖锁控件541和抓取件542均连接控制器。盖锁控件541是现有技术，不再赘述，抓取件542则采用真空吸盘。拾取组件54中至少盖锁控件541和抓取件542可伸入晶圆进出口11，以便于对FOUP/FOSB 90开合盖，并将盒盖91移动。当延伸曲臂53呈C字型时，只要延伸曲臂53的水平方向的臂段够长，甚至可以取消第一水平移动模组13，即使得载台30固定设置。

Mapping机构包括安装架61、第三水平移动模组和晶圆检测元件63。安装架61与升降移动模组51对应的滑块623连接，使得安装架61与延伸曲臂53同步动作，此外，需保证安装架61不干涉拾取组件54。第三水平移动模组设置在安装架61上且位于拾取组件54上方，其包括第二气缸621、滑轨622和滑块623，第二气缸621连接控制器。滑轨622和第二气缸621的座体安装在安装架61上，滑块623滑动连接在滑轨622上，且第二气缸621的推杆与滑块623连接，晶圆检测元件63设置在滑块623上。通过第二气缸621推动，晶圆检测元件63可穿过晶圆进出口11并伸入FOUP/FOSB 90中。晶圆检测元件63用于检测晶圆92数量，优选对射光纤，晶圆检测元件63的发射器和接收器的连线为水平线，且晶圆检测元件63的发射器和接收器不得碰撞晶圆92。当装载有晶圆92的FOUP/FOSB 90开盖后，开合盖机构带动盒盖91下移，Mapping机构同步下移，通过计算对射光纤通断次数即为晶圆92数量，此外，Mapping机构下移速度恒定时，对射光纤通断间隔也能判断出第几层有晶圆92缺失。同理，在晶圆92装载到FOUP/FOSB 90后，盒盖91需要上移，此时Mapping机构会先行进行晶圆92点数。为了避免外部光源干扰，还可以在安装架61上设置一遮光罩64，在遮光罩64靠近晶圆进出口11的一侧设有避让口，对射光纤置于该遮光罩64中且靠近避让口设置。

凸片检测元件22则设置在晶圆进出口11上方，凸片检测元件22连接控制器。凸片检测元件22优选光电传感器，其检测方向为竖直向下，在晶圆92上料到FOUP/FOSB 90时，如果晶圆92上料不到位，或者晶圆92被搬运装置给意外拖出一部分，使得晶圆92局部伸出了FOUP/FOSB 90，则该晶圆92可以被凸片检测元件22感应，进而报警，进行人工处理，或者通过控制专门的设备进行处理。

防夹手检测组件70用于避免开合盖时出现夹手的问题，防夹手检测组件70包括两组光电开关和两块反射镜，光电开关连接控制器定义两组光电开关对应的投光器和受光器为第一投光器71、第一受光器72、第二投光器73和第二受光器74，定义两块反射镜为第一反射镜75和第二反射镜76，第一投光器71和第二投光器73设置在晶圆进出口11的左上角，第一受光器72和第二受光器74设置在晶圆进出口11的右下角，第一反射镜75设置在晶圆进出口11的右上角，第二反射镜76设置在晶圆进出口11的左下角，第一投光器71发出的射线经第一反射器可到达第一受光器72，第二投光器73发出的射线经第二反射器可到达第二受光器74，这般设置后可以通过较少的元件在晶圆进出口11外周构成一个光检测围栏，保证使用效果的同时降低成本。在籍检测通过、放平检测通过且防夹手检测通过时，开合盖机构才能动作，从而避免出现夹手问题。

安装调整机构80设置在机台10底部，用于调平安装机台10，通过安装调整机构80可以使得机台10与晶圆92的加工设备绑定，方便两者对接。具体地，安装调整机构80包括固定横条81、水平移动组件以及两调平组件，固定横条81用于连接（一般螺栓连接）晶圆92的加工设备。水平移动组件包括水平调整座82、第一限位螺丝83、微调螺丝84和连接套85，水平调整座82锁固在机台10底部，在水平调整座82上设有竖直设置的第一长圆孔821，第一限位螺丝83穿过第一长圆孔821后连接微调螺丝84的固定部，旋紧第一限位螺丝83后，第一限位螺丝83和微调螺丝84的固定部可以夹紧水平调整座82，不可沿第一长圆孔821滑动。连接套85则锁固在固定横条81的中间位置，微调螺丝84的旋转部插入连接套85中，且微调螺丝84的旋转部在连接套85中可以转动；在微调螺丝84的旋转部上设有与连接套85抵接的限位部。通过旋动微调螺丝84的旋转部，可以将固定横条81水平推动微调。

两调平组件分别设置在固定横条81的两端位置，其包括调平座86、调平螺丝87、第二限位螺丝、导向台88和导轮89，导轮89转动连接在机台10的底部。在导向台88上设有竖直设置的第二长圆孔881，第二限位螺丝穿过第二长圆孔881后连接固定横条81，使得导向台88可以一定范围内上下移动。在导向台88上设有与导轮89配合的导槽，导轮89抵接在导槽中。调平座86锁固在导向台88的下方，调平螺丝87螺纹连接调平座86，且调平螺丝87的端头抵接导向台88，通过旋动导向台88，可以顶升导向台88。

另外，在机台10底部还设有若干可调节脚杯14，用于辅助安装调整机构80与晶圆92的加工设备，同时可以对机台10起到支撑作用。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆装载设备，其特征在于，包括：

机台，所述机台上设有晶圆进出口和安装平台，所述安装平台位于晶圆进出口的前端，所述安装平台上设有第一水平移动模组；

载台，所述第一水平移动模组驱动载台相对晶圆进出口移动；所述载台上设有与FOUP/FOSB底部锁孔配合的底锁控件、与FOUP/FOSB底部定位孔配合的支撑柱以及用于检测FOUP/FOSB底面水平度的放平检测元件；

开合盖机构，包括升降移动模组、第二水平移动模组、延伸曲臂和拾取组件，所述升降移动模组和第二水平移动模组位于安装平台下方，所述升降移动模组驱动第二水平移动模组上下移动；所述延伸曲臂位于晶圆进出口的后端，所述第二水平移动模组驱动延伸曲臂水平移动，所述拾取组件设置在延伸曲臂的顶端，且所述拾取组件可穿过晶圆进出口；所述拾取组件包括用于开合FOUP/FOSB的盒盖锁的盖锁控件以及用于抓取FOUP/FOSB的盒盖的抓取件；

Mapping机构，包括安装架、第三水平移动模组和用于检测晶圆数量的晶圆检测元件；所述安装架与延伸曲臂同步动作，且所述安装架不干涉拾取组件，所述第三水平移动模组设置在安装架上且位于拾取组件上方，所述第三水平移动模组驱动晶圆检测元件水平移动，所述晶圆检测元件可穿过晶圆进出口；

控制器，连接所述第一水平移动模组、锁止组件、放平检测元件、升降移动模组、第二水平移动模组、锁控组件、抓取组件、第三水平移动模组和晶圆检测元件。

2.根据权利要求1所述的晶圆装载设备，其特征在于：所述第一水平移动模组和升降移动模组均包括导轨、丝杆、导块和电机，所述导轨和丝杆相互平行，所述导块滑动连接在导轨上，所述丝杆与导块螺纹连接，所述电机驱动丝杆转动；所述载台连接第一水平移动模组对应的导块，所述安装架连接升降移动模组对应的导块；

所述第二水平移动模组包括导柱、导套、活动板和第一气缸，所述导柱和第一气缸的推杆连接升降移动模组对应的导块，所述导套和第一气缸的座体安装在活动板上，所述导柱滑动连接在导套中；所述延伸曲臂连接活动板；

所述第三水平移动模组包括第二气缸、滑轨和滑块，所述滑轨和第二气缸的座体安装在安装架上，所述滑块滑动连接在滑轨上，且所述第二气缸的推杆与滑块连接，所述晶圆检测元件设置在滑块上。

3.根据权利要求1所述的晶圆装载设备，其特征在于：所述支撑柱的高度大于FOUP/FOSB上的定位孔的深度；所述放平检测元件为光电传感器，且至少FOUP/FOSB底部四个边角的对应位置设有放平检测元件。

4.根据权利要求1所述的晶圆装载设备，其特征在于：所述晶圆检测元件为对射光纤，且所述晶圆检测元件的发射器和接收器的连线为水平线；所述安装架上还设有一遮光罩，所述遮光罩靠近晶圆进出口的一侧设有避让口，所述对射光纤置于该遮光罩中且靠近避让口设置。

5.根据权利要求1所述的晶圆装载设备，其特征在于：还包括设置在所述晶圆进出口上方的凸片检测元件，所述凸片检测元件为光电传感器，且所述凸片检测元件的检测方向为竖直向下，所述凸片检测元件连接控制器。

6.根据权利要求1所述的晶圆装载设备，其特征在于：还包括在籍检测元件，所述在籍检测元件为对射光纤，所述在籍检测元件的发射器设置在晶圆进出口的上方，所述在籍检测元件的接收器设置在安装平台远离晶圆进出口的一端，且所述在籍检测元件的发射器和接收器对角设置；所述在籍检测元件连接控制器。

7.根据权利要求1所述的晶圆装载设备，其特征在于：还包括用于防夹手检测组件，所述防夹手检测组件包括两组光电开关和两块反射镜，所述光电开关连接控制器；定义两组光电开关对应的投光器和受光器为第一投光器、第一受光器、第二投光器和第二受光器，定义两块反射镜为第一反射镜和第二反射镜，所述第一投光器和第二投光器设置在晶圆进出口的左上角，所述第一受光器和第二受光器设置在晶圆进出口的右下角，所述第一反射镜设置在晶圆进出口的右上角，所述第二反射镜设置在晶圆进出口的左下角，所述第一投光器发出的射线经第一反射器可到达第一受光器，所述第二投光器发出的射线经第二反射器可到达第二受光器。

8.根据权利要求1所述的晶圆装载设备，其特征在于：还包括设置在所述晶圆进出口上方的显示组件，所述显示组件连接控制器。

9.根据权利要求1所述的晶圆装载设备，其特征在于：还包括设置在所述机台底部的安装调整机构，所述安装调整机构包括固定横条、水平移动组件以及两调平组件；所述水平移动组件包括水平调整座、第一限位螺丝、微调螺丝和连接套，所述水平调整座锁固在机台底部，所述水平调整座上设有竖直设置的第一长圆孔，所述第一限位螺丝穿过第一长圆孔后连接微调螺丝的固定部，所述连接套锁固在固定横条的中间位置，所述微调螺丝的旋转部插入连接套中，且所述微调螺丝的旋转部上设有与连接套抵接的限位部；两所述调平组件分别设置在固定横条的两端位置，所述调平组件包括调平座、调平螺丝、第二限位螺丝、导向台和导轮，所述导轮转动连接在机台的底部；所述导向台上设有竖直设置的第二长圆孔，所述第二限位螺丝穿过第二长圆孔后连接固定横条，所述导向台上设有与导轮配合的导槽；所述调平座置于导向台的下方，所述调平螺丝螺纹连接调平座，且所述调平螺丝的端头抵接导向台。

10.根据权利要求9所述的晶圆装载设备，其特征在于：所述机台底部还设有若干可调节脚杯。