KR102075680B1 - 기판처리장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 척킹상태를 감지할 수 있는 기판처리장치 및 방법을 제공한다. 기판처리장치는 일측에 개구가 형성되고, 상기 개구를 개폐하는 도어가 설치되는 챔버, 상기 챔버 내에 배치되고, 내부에 공정이 수행되는 공간을 제공하는 하우징, 상기 하우징 내에 배치되는 몸체 및 상기 몸체로부터 위로 돌출되어 기판의 측부를 지지하는 척핀을 가지는 스핀헤드, 상기 스핀헤드의 상부에서 상기 스핀헤드에 지지된 상기 기판의 위치를 검출하는 비젼유닛, 그리고 상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 기판의 캡쳐 데이터와 기입력된 상기 기판의 기준데이터를 비교하여 상기 기판의 위치의 정상 유무를 감지하는 제어부를 포함하되, 상기 비젼유닛은 상기 척핀의 표면에 부착되는 구분마커를 포함한다. 이로 인해 비젼유닛은 기판의 척킹 상태를 검출할 수 있다.

Description

기판처리장치 및 방법{Apparatus and Method for treating substrate}
본 발명은 기판의 척킹상태를 감지할 수 있는 기판처리장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 사진, 식각, 애싱, 그리고 박막 증착등의 다양한 공정들이 수행된다. 이 같은 공정들은 생성된 오염물 및 파티클을 제거하기 위해 공정이 진행되기 전 또는 후 단계에서 기판을 세정하는 세정공정이 실시된다.
일반적으로 세정공정을 수행하는 장치는 낱장 단위의 기판을 세정하는 매엽식 기판 처리 장치가 사용된다. 이 같은 매엽식의 세정 장치는 기판의 저면을 지지하는 지지핀 및 측부를 지지하는 척핀이 제공되어 기판을 로딩한다. 이후 로딩된 기판으로 약액을 공급하여 기판을 세정한다.
그러나 기판반송부재의 오작동 또는 척핀의 오작동으로 인해 기판의 로딩은 도1과 같이 제대로 이루어지지 않는 경우가 종종 발생한다. 이 같이 기판의 로딩이 제대로 이루어지지 않는 상태에서 공정이 진행 시에는 기판의 파손 및 이의 주변 장치가 손상될 수 있다.
한국 특허 공개번호 10-2009-16964호
본 발명은 기판의 척킹 상태를 감지할 수 있는 기판처리장치 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예는 기판의 척킹상태를 감지할 수 있는 기판처리장치 및 방법을 제공한다. 기판처리장치는 일측에 개구가 형성되고, 상기 개구를 개폐하는 도어가 설치되는 챔버, 상기 챔버 내에 배치되고, 내부에 공정이 수행되는 공간을 제공하는 하우징, 상기 하우징 내에 배치되는 몸체 및 상기 몸체로부터 위로 돌출되어 기판의 측부를 지지하는 척핀을 가지는 스핀헤드, 상기 스핀헤드의 상부에서 상기 스핀헤드에 지지된 상기 기판의 위치를 검출하는 비젼유닛, 그리고 상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 기판의 캡쳐 데이터와 기입력된 상기 기판의 기준데이터를 비교하여 상기 기판의 위치의 정상 유무를 감지하는 제어부를 포함하되, 상기 비젼유닛은 상기 척핀의 표면에 부착되는 제1구분마커를 포함한다.
상기 비젼유닛은 상기 척핀에 대한 캡쳐 영상을 획득하는 촬영부재, 상기 캡쳐 영상을 획득 시 광을 조사하는 조명부재, 그리고 상기 캡쳐 영상으로부터 촬영된 상기 구분마커의 노출량을 상기 캡쳐 데이터로 연산하고, 상기 캡쳐 데이터를 상기 제어부에 전송하는 비젼처리부를 포함할 수 있다. 상기 도어는 투명 재질로 제공되고, 상기 비젼유닛은 상기 도어에 부착되는 반사방지마커를 더 포함할 수 있다. 상기 비젼유닛은 상기 하우징의 상면에 부착되는 제2구분마커를 더 포함할 수 있다. 상기 제1구분마커는 불투명 재질로 제공될 수 있다.
기판처리방법은 촬영부재가 기판을 지지하는 척핀에 대한 캡쳐영상을 획득하고, 상기 캡쳐영상을 비젼처리부로 전송하는 캡쳐단계, 상기 비젼처리부는 상기 캡쳐영상으로부터 상기 척핀의 표면에 부착된 제1구분마커의 노출량을 캡쳐데이터로 연산하여 상기 캡쳐데이터를 제어부로 전송하는 전송단계, 그리고 상기 제어부가 상기 캡쳐데이터와 기설정된 제1구분마커의 노출량에 대한 기준데이터를 비교하여 오차값을 연산하는 연산단계를 포함한다.
상기 연산단계 이후에는 상기 오차값이 기설정된 허용범위를 벗어나면, 상기 제어부가 알람을 발생하는 알람단계 및 상기 오차값이 기설정된 허용범위 내에 해당되면, 공정을 계속 진행하는 공정단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 비젼유닛은 기판의 척킹 상태를 검출할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면, 비젼유닛은 척핀에 부착된 구분마커의 노출량을 통해 기판의 척킹 상태를 정확하게 검출할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면, 하우징의 상면에 부착된 구분마커는 캡쳐영상에서 척핀에 대한 인식률을 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면, 도어에 부착된 구분마커는 도어로부터 반사되는 빛을 차단할 수 있다.
도1은 기판이 제대로 척킹되지 않는 상태를 보여주는 도면이다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다.
도3은 도2의 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도4는 도3의 구분마커가 부착된 하우징 및 스핀헤드를 보여주는 평면도이다.
도5는 도3의 기판처리장치를 이용하여 기판의 척킹 상태를 검출하는 과정을 보여주는 플로우 차트이다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
이하, 도1 내지 도5를 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다. 도2를 참조하면, 기판처리설비(1)는 인덱스모듈(10)과 공정처리모듈(20)을 가진다. 인덱스모듈(10)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다.
로드포트(140)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드포트(120)의 개수는 공정처리모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯(미도시)이 형성된다. 캐리어(130)로는 전면개방일체형포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정처리모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정챔버(260)를 가진다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송챔버(240)의 양측에는 각각 공정챔버(260)들이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측 및 타측에서 공정챔버(260)들은 이송챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송챔버(240)의 일측에는 복수 개의 공정챔버(260)들이 제공된다. 공정챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정챔버(260)들이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)의 내부에는 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공된다. 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개가 제공된다. 버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 마주보는 면 및 이송챔버(240)와 마주보는 면이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정처리모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 이의 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정처리모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정챔버(260) 간에, 그리고 공정챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다.
공정챔버(260)는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 기판처리장치(300)로 제공된다. 기판처리장치(300)는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 이와 달리 각각의 기판 처리 장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 기판처리장치(300)들은 서로 동일하고, 서로 상이한 그룹에 속하는 기판처리장치(300)의 구조는 서로 상이하게 제공될 수 있다.
기판처리장치(300)는 챔버(310), 하우징(320), 스핀헤드(340), 승강유닛(360), 분사유닛(380), 비젼유닛(400), 그리고 제어부를 포함한다.
챔버(310)는 내부에 기판을 처리하는 공간을 제공한다. 챔버(310)의 일측벽에는 개구(312)가 형성된다. 개구(312)는 기판이 반입되는 출입구로서 기능한다. 개구(312)에는 도어(314)가 설치된다. 도어(314)는 개구(312)를 개폐할 수 있다. 일 예에 의하면, 도어(314)는 외부에서 내부를 들여다 볼 수 있는 투명한 창으로 제공될 수 있다.
하우징(320)은 기판처리공정이 수행되는 공간을 가지며, 그 상부는 개방된다. 하우징(320)은 내부회수통(322), 중간회수통(324), 그리고 외부회수통(326)을 가진다. 각각의 회수통(322,324,326)은 공정에 사용된 약액들 중 서로 상이한 약액을 회수한다. 내부회수통(322)은 스핀헤드(340)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 중간회수통(324)은 내부회수통(322)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되며, 외부회수통(326)은 중간회수통(324)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부회수통(322)의 내측공간(322a), 중간회수통(324)과 내부회수통(322)의 사이공간(324a), 그리고 중간회수통(324)과 외부회수통(326)의 사이공간(326a)은 각각 내부회수통(322), 중간회수통(324), 그리고 외부회수통(326)으로 약액이 유입되는 유입구로서 기능한다. 일 예에 의하면, 각각의 유입구는 서로 상이한 높이에 위치될 수 있다. 내부회수통(324)은 제1약액을 회수할 수 있다. 외부회수통(326)은 제2약액을 회수할 수 있다. 중간회수통(324)은 제1약액 및 제2약액을 제외한 나머지 약액들을 회수할 수 있다. 각각의 회수통(322,324,326)에는 그 저면 아래 방향으로 수직하게 연장되는 회수라인(322b,324b,326b)이 연결된다. 각각의 회수라인(322b,324b,326b)은 각각의 회수통(322,324,326)을 통해 유입된 약액을 배출한다. 배출된 약액은 외부의 약액 재생시스템(미도시)을 통해 재사용될 수 있다.
스핀헤드(340)는 공정 진행 중 기판(W)을 지지하고 기판(W)을 회전시킨다. 스핀헤드(340)는 몸체(342), 지지핀(344), 척핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(342)의 저면에는 구동부(349)에 의해 회전가능한 지지축(348)이 고정결합된다.
지지핀(344)은 복수 개 제공된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지 핀(344)들은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판(W)의 후면 가장자리를 지지한다.
척핀(346)은 복수 개 제공된다. 척핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지핀(344)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척핀(346)은 스핀헤드(340)가 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 대기위치와 지지위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 대기위치는 지지위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 스핀헤드(340)에 로딩 또는 언로딩 시 척핀(346)은 대기위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행 시 척핀(346)은 지지위치에 위치된다. 지지위치에서 척핀(346)은 기판(W)의 측부와 접촉된다.
승강유닛(360)은 하우징(320)을 상하 방향으로 직선이동시킨다. 하우징(320)이 상하로 이동됨에 따라 스핀헤드(340)에 대한 하우징(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 하우징(320)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정결합된다. 기판(W)이 스핀 헤드(340)에 놓이거나, 스핀헤드(340)로부터 들어올려 질 때 스핀헤드(340)가 하우징(320)의 상부로 돌출되도록 하우징(320)은 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 약액의 종류에 따라 약액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 하우징(320)의 높이가 조절한다. 선택적으로, 승강유닛(360)은 스핀헤드(340)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
분사유닛(380)은 기판 상으로 복수의 약액들을 분사한다. 분사유닛(380)은 복수 개로 제공될 수 있다. 각각의 분사유닛(380)은 지지축(386), 지지대(392), 그리고 노즐(384)을 포함한다. 지지축(386)은 하우징의 일측에 배치된다. 지지축(386)은 그 길이방향이 상하방향으로 제공되는 로드 형상을 가진다. 지지축(386)은 구동부재(388)에 의해 회전 및 승강운동이 가능하다. 이와 달리 지지축(386)은 구동부재(388)에 의해 수평방향으로 직선이동 및 승강운동할 수 있다. 지지대(392)는 노즐(384)을 지지한다. 지지대(392)는 지지축(386)에 결합되고, 끝단 저면에는 노즐(384)이 고정 결합된다. 노즐(384)은 지지축(386)의 회전에 의해 스윙이동될 수 있다. 일 예에 의하면, 약액은 황산(H2SO4), 질산(HNO3), 암모니아(NH3), 린스액, 그리고 이소프로필 알코올(IPA)과 같은 유기용제일 수 있다.
비젼유닛(400)은 스핀헤드(340)에 지지된 기판(W)의 척킹상태를 검출한다. 비젼유닛(400)은 구분마커들(430), 촬영부재(410), 조명부재(420), 그리고 비젼처리부를 포함한다.
도4는 도3의 구분마커가 부착된 하우징 및 스핀헤드를 보여주는 평면도이다. 도4를 참조하면, 제1구분마커(430a)는 척핀(346)의 표면에 부착된다. 제1구분마커(430a)는 촬영부재(410)를 통해 촬영 시 식별이 용이한 마커일 수 있다. 일 예에 의하면, 제1구분마커(430a)는 불투명한 재질로 제공될 수 있다.
촬영부재(410)는 기판(W)을 지지하는 척핀(346)들에 대한 캡쳐 영상을 획득한다. 촬영부재(410)는 스핀헤드(340)의 상부에서 챔버(310)의 내측 모서리에 위치될 수 있다. 촬영부재(410)는 스핀헤드(340)를 사이에 두고, 도어(314)의 반대편에 위치될 수 있다. 조명부재(420)는 촬영부재(410)의 일측에 설치되고, 촬영부재(410)가 선명한 영상을 획득하도록 광을 출력한다.
비젼처리부는 촬영부재(410)로부터 제공된 캡쳐 영상을 분석하여 척핀(346)에 부착된 제1구분마커(430a)의 노출량을 캡쳐 데이터로 연산한다. 이를 위해 비젼처리부는 내부에 캡쳐 영상을 분석처리하는 비젼 알고리즘(미도시)을 구비할 수 있다. 비젼처리부는 산출된 캡쳐데이터를 제어부로 전송한다.
제어부는 비젼처리부로부터 전송된 캡쳐 데이터를 기입력된 기준데이터와 비교하여 오차값을 연산하고, 기판(W)의 척킹상태를 판단한다. 기준데이터는 기판(W)의 위치가 정상적으로 척킹된 기판(W)을 촬영하고, 이로부터 산출된 제1구분마커(430a)의 노출량이다. 제어부는 오차값이 허용범위를 벗어났다고 판단하는 경우, 알람을 발생하고 공정을 중단한다. 이와 달리 제어부는 오차값이 허용범위 내에 해당된다고 판단하는 경우, 공정은 계속 진행된다.
상술한 실시예에서는 제1구분마커(430a)가 척핀(346)에 부착되는 것으로 설명하였다. 그러나 선택적으로, 제2구분마커(430b)는 외부회수통(326)의 상면에 부착되고, 반사방지마커(480c)는 도어(314)에 부착될 수 있다. 외부회수통(326)에 부착된 제2구분마커(430b)는 캡쳐 영상을 획득 시 외부회수통(326) 내에 위치된 장치들의 인식률을 보다 높힐 수 있다. 이는 상부에서 바라볼 때 외부회수통(326)이 기판(W)을 지지하는 스핀헤드(340)를 감싸도록 제공되는 형상으로 제공되므로, 척핀(346)의 인식률을 보다 높힐 수 있다. 또한 도어(314)에 부착된 반사방지카머(430c)는 도어(314)로부터 반사되는 빛이 촬영부재(410)에 투영되는 것을 방지할 수 있다.
다음은 상술한 기판처리장치(300)를 이용하여 기판(W)의 척킹 상태를 검출하는 과정을 설명한다. 도5는 도3의 기판처리장치를 이용하여 기판(W)의 척킹 상태를 검출하는 과정을 보여주는 플로우 차트이다. 도5를 참조하면, 챔버(310)의 개구(312)가 개방되면, 메인로봇(244)은 기판(W)을 스핀헤드(340)의 지지핀에 안착시킨다. 척핀(346)들은 대기위치에서 지지위치로 이동되어 기판(W)의 측부를 지지한다. 촬영부재(410)는 지지위치로 이동된 척핀(346)들을 촬영하여 캡쳐영상을 획득한다(S10). 비젼처리부는 캡쳐영상으로부터 촬영된 제1구분마커(430a)의 노출량을 캡쳐데이터로 연산하고, 이를 제어부에 전송한다(S20). 제어부는 전송된 캡쳐데이터와 기입력된 기준데이터를 비교하고, 이에 대한 오차값을 계산한다(S30). 이후 제어부는 오차값이 허용범위 이내인지 아닌지를 판단하고(S40), 이를 통해 공정을 진행할 것인지 중단할 것인지를 결정한다(S50).
310: 챔버 320: 하우징
340: 스핀헤드 346: 척핀
400: 비젼유닛 410: 촬영부재
420: 조명부재 430: 구분마커

Claims (7)

  1. 일측에 개구가 형성되고, 상기 개구를 개폐하는 도어가 설치되는 챔버와;
    상기 챔버 내에 배치되고, 내부에 공정이 수행되는 공간을 제공하는 하우징과;
    상기 하우징 내에 배치되는 몸체 및 상기 몸체로부터 위로 돌출되어 기판의 측부를 지지하는 척핀을 가지는 스핀헤드와;
    상기 스핀헤드의 상부에서 상기 스핀헤드에 지지된 상기 기판의 위치를 검출하는 비젼유닛과;
    상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 기판의 캡쳐 데이터와 기입력된 상기 기판의 기준데이터를 비교하여 상기 기판의 위치의 정상 유무를 감지하는 제어부를 포함하되,
    상기 비젼유닛은,
    상기 척핀의 표면에 부착되는 제1구분마커와;
    상기 척핀에 대한 캡쳐 영상을 획득하는 촬영부재와;
    상기 캡쳐 영상으로부터 촬영된 상기 제1구분마커의 노출량을 상기 캡쳐 데이터로 연산하고, 상기 캡쳐 데이터를 상기 제어부에 전송하는 비젼처리부와;
    상기 캡쳐 영상을 획득 시 광을 조사하는 조명부재와;
    상기 도어에 부착되는 반사방지마커를 포함하되,
    상기 도어는 투명 재질로 제공되는 기판처리장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 비젼유닛은,
    상기 하우징의 상면에 부착되는 제2구분마커를 더 포함하는 기판처리장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1구분마커는 불투명 재질로 제공되는 기판처리장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
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