JPH04171965A - 基板の滑落防止機構を備えた基板用カセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ガラス基板、その他各種の基板を互いに接触
しないように分離して支持するための基板用カセット、
殊に、収容した基板の滑落を防止した基板用カセットに
関するものである。

従来の技術 液晶表示用ガラス基板やプラズマ表示体用ガラス基板、
ハイブリッドＩＣ用セラミックス基板、サーマルヘッド
用セラミックス基板など各種の基板の製造工程において
は、基板を加工、処理、洗浄、輸送、保管するために、
各基板を互いに接触しないようにカセットに出入、収容
することが必要となる。

この目的の基板用カセットとして、枠体の１対の相対向
する側面を溝付き側板で形成し、両側板の対応する溝間
に基板を出入、収容しうるようにしたカセットが用いら
れている。

カセットの材質としては、たとえば、ガラス繊維入りポ
リフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ置
換ポリテトラフルオロエチレンなどが用いられている。

そのほか、ポリエーテルエーテルケトンを用いるとの提
案もなされている（特開昭６２−２４７３２３号公報、
特開昭６２−２７６８４９号公報参照）。

溝付き側板の形状、デザインには種々のものがあるが、
いずれも基本的には、側板基体から多数のリブ状の棚片
が張り出した形状を有している。

隣接するリブ状の棚片間の空隙が溝となり、ここに基板
が出入、収容されるわけである。

第６図は、従来の基板用カセットの代表的な例を示した
斜視図である。（１）は枠体であり、（１１）は底面側
フレーム、（１２）は天井側フレーム、（１３）は基板
ｆＢ）を受けとめる受は側フレームである。　　（２）
、　　＋２１は１対の相対向する側面を構成する溝付き
側板である。

基板用カセットは、基板（Ｂｌの出入時には開口側であ
る基板出入口（１ａｌが横を向くようにして使用し、基
板（Ｂｌの運搬時には基板出入口（１ａ）が上を向くよ
うにして使用するのが通常であるが、本明細書において
は、基板用カセットについては、基板出入口（１ａ）が
横を向くようにして使用する場合を基本とし、その基板
出入口（１ａ）側から見た図を正面図と定めることにす
る。

第６図においては、１対の相対向する側面を各３枚の溝
付き側板（２）で形成しているが、１対の相対向する側
面を各１枚の溝付き側板（２）で形成したり、１対の相
対向する側面を２枚とか４枚の溝付き側板（２）で形成
することもある。

上記構造のカセットに対する基板（Ｂ）の出入は、基板
出入口（１ａ）側からのシャトルアームの操作、背後側
からのプッシャーによる突き出し等の手段により自動的
に行うが、作業員が手で行う場合もある。いずれにして
も、基板（Ｂ）の出入操作は基板出入口（１ａ）が横を
向くように載置面上に配置して行われる。

溝付き側板（２）の背向部（２１）にはリブ状の棚片（
２２）が設けられている。該リブ状の棚片（２２）は、
本来相対向する溝付き側板ｆ２）、　＋２）の対向側に
だけ背向部（２１）から張り出すように設ければ足りる
はずであるが、背向部（２１）から一方向のみにリブ状
の棚片（２２）を張り出すようにすると、成形時あるい
は高温条件下での使用時に歪みや変形を生ずるおそれが
ある。そこで、本出願人においては、バランスを取るた
めに、背向部（２１）から両方向にリブ状の棚片（２２
）を張り出したカセットを市販している。

発明が解決しようとする課題 ところで、上述のように、カセットに対する基板（Ｂ）
の出入は、該基板（Ｂｌ　を作業台などの載置面上に横
向きに配置し、基板出入口（１ａ）側からのシャトルア
ームの操作、背後側からのブツシャ−による突き出し等
の手段により自動的に行ったり、作業員の手作業により
行ったりし、それが終了すると次の操作のため、または
搬出のためにアームまたは手により持ち上げて移動する
。

このとき、カセットの基板出入口（１ａ）側が下になる
ように傾（と、収納された基板（Ｂ）は傾斜に沿ってカ
セット内から外部に滑り落ちて破損する。それを防止す
るためには、常にカセットの基板出入口（１ａ）が下に
向かないように注意すると共に、カセットが水平姿勢を
保持するようにしなければならず、そのためには設備的
にもまた作業上においても、非常な努力を必要とする。

本発明は、このような状況に鑑み、収容された基板（Ｂ
ｌの滑落を確実に防止できる基板様カセットを提供する
ことを目的とするものである。

課題を解決するための手段 本発明の基板の滑落防止機構を備えた基板用カセットは
、 枠体（１１の１対の相対向する側面を溝付き側板ｆ２）
、　（２１で形成し、これら相対向する溝付き側板（２
１，＋２１の対応する溝間に基板（Ｂｌを出入、収容し
うるようにしたカセットにおいて、前記枠体（１）の基
板出入口（１ａｌの少なくとも一方の側縁側に、天井側
フレーム（１２）と底面側フレームｆｉｌ）とにその上
下端側が軸支された垂直軸（３１）と該垂直軸（３１）
に付設された係止翼（３２）とからなる基板係止手段（
３）を設け、 この基板係止手段（３）の垂直軸（３１）は底面側フレ
ーム（１１）よりも下方位置に突出しており、かつ垂直
軸（３１）は該垂直軸（３１）および底匡側または天井
側フレーム（１１）、　　（１２）に対応して設けられ
た急傾斜螺旋溝（４）−ピン（５）により上下動と同時
に回動可能とされており、 カセットを載置面上に置いたときには、前記垂直軸（３
１）の下端は載置面と当接して、底面側フレーム（１１
）の下面にまで押し上げられると共に、その際の垂直軸
（３１）の特定方向の回動により係止翼（３２）が基板
出入口（１ａ）を開放する方向に作動し、 載置面上に置かれたカセットを持ち上げたときには、前
記垂直軸（３１）は自重により回動しながら降下すると
共に、その際の垂直軸（３１）の反対方向の回動により
係止翼（３２）が基板出入口（１ａ）を閉止する方向に
作動するように構成したことを特徴とするものである。

以下本発明の詳細な説明する。

カセットは、フレームを枠状に組んだ枠体（１）で構成
されている。枠体（１）は、底面側フレーム（１１）、
天井側フレーム（１２）、および、基板（Ｂ）を受けと
める受は側フレーム（１３）で構成される。

受は側フレーム（１３）はストッパーまたは受は棒と称
することも多い。

そして枠体（１）の１対の相対向する側面は溝付き側板
（２１，（２１で形成される。これらの溝付き側板（２
）、　（２１の対応する溝間に基板（Ｂｌが出入または
収容されることになる。

上記溝付き側板（２）としては、背向部（２１）から所
定数のリブ状の棚片（２２）が両方向に張り出した形状
のものが用いられる。（２２Ｘｌ　はカセット内部側棚
片であり、（２２Ｙｌはカセット外部側棚片である。カ
セット外部側棚片（２２Ｙ）は構造上のバランスから設
けられる。

本発明の基板用カセットは、上記のようなカセットに、
収納された基板（Ｂ）の飛び出しを防止する基板係止手
段（３）を付設したものである。

基板係止手段（３）は、枠体（１）の基板出入口（１ａ
）の少なくとも一方の側縁側に設けた垂直軸（３１）と
、該垂直軸（３１）に付設された係止翼（３２）とから
なる、垂直、軸（３１）の上下端側は、天井側フレーム
（１２）の軸受け（６）と底面側フレーム（１１）の軸
受け（７）に軸支される。

基板係止手段（３）の垂直軸（３１）は、底面側フレー
ム（１１）よりも下方位置に突出するようにしておく。

またこの垂直軸（３１）は、該垂直軸（３１）および底
面側または天井側フレーム（１１１，（１２）に対応し
て設けられた急傾斜螺旋溝（４）−ピン（５）により上
下動と同時に回動可能に構成する。

係止翼（３２）は、垂直軸（３１）の表面の長手方向に
縁部で固設された短冊状の部材であり、該係止翼（３２
）によって、収納された基板（Ｂ）の飛び出しが防止さ
れる。

通常、螺旋溝（４）は垂直軸（３１）に設けられ、ビン
（５）は底面側または天井側フレームｆｉｌ）、　　ｆ
１２］に設けられるが、螺旋溝（４）を底面側または天
井側フレーム（１１）、　　（ｔｚｌに設け、ビン（５
）を垂直軸（３１）に設けるようにすることもできる。

カセットを載置面上に置いたときには、前記垂直軸（３
１）の下端は載置面と当接して底面側フレーム（１１）
の下面にまで押し上げられると共に、その際の垂直軸（
３１）の特定方向の回動により、係止翼（３２）が基板
出入口（１ａ）を開放する方向に作動する。

一方、載置面上に置かれたカセットを持ち上げたときに
は、前記垂直軸（３１）は自重により回動しながら降下
すると共に、その際の垂直軸（３１）の上記とは反対方
向の回動により、係止翼（３２）が基板出入口（１ａ）
を閉止する方向に作動する。

なお、螺旋溝（４）の上下両端側を垂直軸（３１）の中
心線方向に向かう直線溝（４ａ）、　　（４ａ）として
おくと、垂直軸（３１）に上下方向の力が加わらない限
りは、水平方向に力が加わっても垂直軸（３１）は回動
しないようになるので、基板ＦＢ＋の滑落防止がより確
実に図られる。

上記の垂直軸（３Ｉ）の材質は、後述するような樹脂で
あってもよいが、摺動部分があることから、摩耗に強い
金属を用いる方が一般的には好ましく、特にＳＵＳが好
適である。係止翼（３２）の材質は、金属、樹脂、その
他のいずれであってもよいが、係止翼（３２）には基板
（Ｂｌの端部が当接するので、この当接によって基板Ｃ
Ｂ＋に傷が付くことのないような材質を選択する。

枠体（１）および溝付き側板（２）を構成する樹脂とし
ては、使用目的に応じて必要な強度、耐熱性、耐溶剤性
、耐酸・耐アルカリ性等を有する溶融成形可能な樹脂が
選択され、たとλば、ポリイミド、ポリエーテルイミド
、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポ
リフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ置
換ポリテトラフルオロエチレン、ボリアリレート、ポリ
スルホン、ポリアリルスルホン、ポリエーテルスルホン
、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリエーテルアミド
、ポリプロピレンなど、あるいはこれらにガラス繊維、
カーボン繊維、アラミド繊維、セラミックス繊維、金属
繊維等を配合した繊維強化熱可塑性樹脂が用いられる。

溶融成形法としては、射出成形法、押出成形法、トラン
スファー成形法などが採用される。溶融成形にあたって
は、充填剤、安定剤、滑剤、その他の添加剤を配合する
こともできる。

上記構造のカセットに収容する基板（Ｂ）としては、ガ
ラス基板、セラミックス基板、金属芯基板、コンポジッ
ト基板、シリコン基板をはじめ各種の基板があげられる
。

作　　　用 本発明の基板用カセットの両側面を構成する溝付き側板
＋２＋、　（２１間に基板（Ｂｌ　を挿入すると、基板
４Ｂ＋の表面または裏面が棚片（２２）のうちカセット
内部側に張り出した棚片（２２Ｘｌ　に基板（Ｂ）が支
持される。

このようにして基板用カセットの中に複数枚の基板ｆＢ
］が収容され、加工、処理、洗浄、輸送などが行われる
。

これらの操作はカセットの基板出入口（１ａ）を横方向
に向けた姿勢で行われる。操作中はカセットは作業台や
処理台に載置されあるいは液槽内にもたらされる。

カセットが基板出入口（１ａ）を横方向に向けた姿勢で
載置面上に置かれると、基板出入口（１ａｌの少なくと
も一方の側縁側に設けられた基板係止手段（３）の垂直
軸（３１）の下端が載置面と当接し、垂直軸（３１）が
上方に向けて底面側フレーム（１１）の下面にまで押し
上げられる。

この際、垂直軸（３１１よび底面側または天井側フレー
ム（１１１，（１２）には、対応する急傾斜螺旋溝（４
）−ピン（５）が設けられているので、垂直軸（３１）
は回動しながら押し上げられる。そして垂直軸（３１）
に付設された係止翼（３２）が、基板出入口（１ａ）を
開放する方向に回動し、基板（Ｂ）の出入が自在となる
。

次の工程に移動させるためにカセットを持ち上げると、
載置面への垂直軸（３１）の当接は解除されるので、垂
直軸（３１）は自重で降下すると共に螺旋溝（４）に誘
導されて前記とは反対方向に回動する。そして垂直軸（
３１）に付設された係止翼（３２）が、基板出入口（１
ａｌを閉止する方向に回動し、基板［Ｂ）の飛び出しを
防止する。

なお、螺旋溝（４）の螺旋の傾斜は急であるので、垂直
軸（３１）に上下方向の力が加わったときは垂直軸（３
１）は回動するが、垂直軸（３１）に上下方向の力が加
わらない限りは、水平方向（基板ＣＢ＋が出入する方向
）に力が加わっても、垂直軸（３１）は回動しない、従
って、カセットの持ち上げ時にカセットが前傾姿勢とな
って基板（Ｂ）が係止翼（３２）側に滑ってきても、係
止翼（３２）はロックされた状態になっているので、基
板ＦＢ＋の飛び出しを生じない。殊に、螺旋溝（４）の
上下両端側を垂直軸（３１）の中心線方向に向かう直線
溝ｆ４ａ）、　（４ａ）としておくと、係止翼（３２）
のロックは完全なものとなる６ 係止翼（３２）による基板出入口（１ａｌの開放および
閉止は、作業員が何ら顧慮を払わなくても自動的に行わ
れるので、操作ミスあるいは治具によるカセット持ち上
げ時の姿勢制御の精度にかかわらず、カセットからの基
板（Ｂ）の滑落は確実に防止される。

実　　施　　例 次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。

実施例工 第１図は本発明の基板用カセットの一例を示した斜視図
である。

第２図は本発明の基板用カセットを持ち上げたときの基
板係止手段（３）の状態を示した要部の説明図であって
、（イ）は正面方向から見た場合、（ロ）はカセット内
面側が見た場合を示しである・ 第３図は本発明の基板用カセットを載置面上に置いたと
きの基板係止手段（３）の状態を示した要部の説明図で
あって、（イ）は正面方向から見た場合、（ロ）はカセ
ット内面側が見た場合を示しである。

第４図は本発明の基板用カセットを持ち上げたときの基
板係止手段（３）の状態を示した要部の部分断面図であ
り、第５図は基板用カセットを載置面上に置いたときの
基板係止手段（３）の状態を示す要部の部分断面図であ
る。

耐熱性樹脂（たとえばポリエーテルイミド）を射出成形
することにより、カセットを構成する各部材を得た。

（１）は枠体であり、第１図に示したように、底面側フ
レーム（１１）、天井側フレーム（１２）　、およびス
トッパーとしての受は側フレーム（１３）からなる。

（２）は溝付き側板であり、枠体（１）の１対の相対向
する側面を構成している。なお枠体（１１の両側面は、
それぞれ３枚の溝付き側板（２）を間隔をあけて組み込
むことにより構成されている。

１点鎖線で示した（Ｂ）は基板であり、上記溝付き側板
ｆ２）、　　（２１の対応する溝間に挿入される。

上記溝付き側板（２）としては、背向部（２１）から所
定数のリブ状の棚片（２２）が両方向に張り出したもの
を用いている。各棚片（２２）は、１枚の溝付き側板（
２）の中全体に設けである（分割して設けることもでき
る）　、　（２２Ｘ）はカセット内部側に張り出した棚
片、（２２Ｙ）はカセット外部側に張り出した棚片であ
る。

底面側フレーム（ｌｌ）には、後述の垂直軸（３１）を
嵌め込む軸受け（７）を埋設すると共に、該螺旋溝（４
）に嵌合して垂直軸（３１）の動きを規制するビン（５
）を埋め込んでおいた。また天井側フレーム（１２）に
も軸受け（６）を埋設しておいた。

（３）は枠体ｆｉｌの基板出入口（１ａ）の片方の側縁
側に設けた基板係止手段であって、垂直軸（３１）と係
止翼（３２）とから構成されている。

垂直軸（３１）としてはＳＯ５の丸棒を素材として使用
した。垂直軸（３１）の下部であって、フレーム＋１＋
を組み立てたときにちょうど底面側フレーム（１１）に
よって隠れる位置には、螺旋溝（４）を工作機械によっ
て切削して設けた。この螺旋溝（４）は、垂直軸（３１
）の平面視で９０６分だけ急勾配の螺旋状とし、螺旋の
上下両端側の部分は垂直軸（３１）の中心線方向に向か
う直線溝（４ａ）に形成した。

この垂直軸（３１）の−側の上下両端側を除く中央部分
の長手方向には係止翼（３２）嵌合固設用の長穴を予め
切削して設け、その長大に樹脂製の係止翼（３２）を予
め嵌め込んでおいた。

垂直軸（３１）の枠体（１）への装着は、カセットを組
み立てるときに行った。

上記の構造を有する基板用カセットにあっては、カセッ
トが持ち上げられているときは、第２図および第４図に
示すように、垂直軸（３１）はその自重により降下して
おり、該垂直軸（３１）に取り付けである係止翼（３２
）は基板出入口（１ａｌを閉止するように位置するので
、たとえカセットが前傾姿勢となっても、内部の基板Ｆ
Ｂ＋は係止翼（３２）に係止され、滑落することがない
。

カセットが水平面などの載置面に置かれると、第３図お
よび第５区に示すように、垂直軸（３１）の下端が載置
面に当接して垂直軸（３１）が上方に押し上げられると
共に回動し、それに従って係止翼（３２）も回動して基
板出入口（１ａ）が開放された状態になるので、基板出
入口（１ａ）からの基板（Ｂｌの出入が自在となる。

発明の効果 本発明の基板用カセットにおいては、カセットの基板出
入口（１ａｌに自動的に開閉する基板係止手段（３）を
設けであるので、カセットを載置面に置けば自動的に基
板出入口（１ａ）が開放されて基板（Ｂｌの出入ができ
、一方、カセットを次の処理工程に供したり持ち運んだ
りするため持ち上げたときには、自動的に基板出入口（
１ａ）が閉止されてロックされるので、カセットからの
基板ｆＢ）の滑落による破損事故は皆無となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基板用カセットの一例を示した斜視図
である。 第２図は本発明の基板用カセットを持ち上げたときの基
板係止手段（３）の状態を示した要部の説明図であって
、（イ）は正面方向から見た場合、（ロ）はカセット内
面側が見た場合を示しである。 第３図は本発明の基板用カセットを載置面上に置いたと
きの基板係止手段（３）の状態を示した要部の説明図で
あって、（イ）は正面方向から見た場合、（ロ）はカセ
ット内面側が見た場合を示しである６ 第４図は本発明の基板用カセットを持ち上げたときの基
板係止手段（３）の状態を示した要部の部分断面図であ
り、第５図は基板用カセットを載置面上に置いたときの
基板係止手段（３）の状態を示す要部の部分断面図であ
る。 第６図は、従来の基板用カセットの代表的な例を示した
斜視図である。 （１）・・・枠体、 （１ａ）・・・基板出入口、 （１１）・・・底面側フレーム、 （１２）・・・天井側フレーム、 （１３）・・・受は側フレーム、 （２）・・・溝付き側板、 （２工）・・・背肉部、 （２２）・・・リブ状棚片、 ＋２２Ｘ）・・・カセット内部側棚片、（２２Ｙｌ　・
・・カセット外部側棚片、（３）・・・基板係止手段、 （３１）・・・垂直軸、 （３２）・・・係止翼、 （４）・・・螺旋溝、 （４ａ）・・・直線溝、 （５）・・・ビン、 （６１，（７１・・・軸受け、 ＦＢ）・・・基板 特許出願人　　淀川化成株式会社 第１図 第２図 第３図 （イ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　（ロ）第４図　　　　　　　第５図 第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．枠体（１）の１対の対向する側面を溝付き側板（２
   ），（２）で形成し、これら相対向する溝付き側板（２
   ），（２）の対応する溝間に基板（Ｂ）を出入、収容し
   うるようにしたカセットにおいて、 前記枠体（１）の基板出入口（１ａ）の少なくとも一方
   の側縁側に、天井側フレーム（１２）と底面側フレーム
   （１１）とにその上下端側が軸支された垂直軸（３１）
   と該垂直軸（３１）に付設された係止翼（３２）とから
   なる基板係止手段（３）を設け、 この基板係止手段（３）の垂直軸（３１）は底面側フレ
   ーム（１１）よりも下方位置に突出しており、かつ垂直
   軸（３１）は該垂直軸（３１）および底面側または天井
   側フレーム（１１），（１２）に対応して設けられた急
   傾斜螺旋溝（４）−ピン（５）により上下動と同時に回
   動可能とされており、 カセットを載置面上に置いたときには、前記垂直軸（３
   １）の下端は載置面と当接して、底面側フレーム（１１
   ）の下面にまで押し上げられると共に、その際の垂直軸
   （３１）の特定方向の回動により係止翼（３２）が基板
   出入口（１ａ）を開放する方向に作動し、 載置面上に置かれたカセットを持ち上げたときには、前
   記垂直軸（３１）は自重により回動しながら降下すると
   共に、その際の垂直軸（３１）の反対方向の回動により
   係止翼（３２）が基板出入口（１ａ）を閉止する方向に
   作動するように構成したこと を特徴とする基板の滑落防止機構を備えた基板用カセッ
   ト。
2. ２．螺旋溝（４）の上下両端側を、垂直軸（３１）の中
   心線方向に向かう直線溝（４ａ），（４ａ）としてある
   請求項１記載の基板用カセット。