JP3867564B2 - 積み重ねワークの分離方法および分離装置 - Google Patents
積み重ねワークの分離方法および分離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3867564B2 JP3867564B2 JP2001372300A JP2001372300A JP3867564B2 JP 3867564 B2 JP3867564 B2 JP 3867564B2 JP 2001372300 A JP2001372300 A JP 2001372300A JP 2001372300 A JP2001372300 A JP 2001372300A JP 3867564 B2 JP3867564 B2 JP 3867564B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- work
- workpieces
- suction
- lifted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は積み重ねワークの分離方法および分離装置、例えばセラミックユニットのような平板状ワークを1枚ずつ分離してピックアップする方法および装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、セラミック電子部品の製造工程において、焼成および研磨が終了したワーク(セラミックユニット)をワークガイドと呼ばれる筒状のケース内に積み重ねて収容しておき、このワークガイトから1枚ずつワークを吸引チャック装置などによって取り出し、所望の位置へ搬送することがある。
この場合、ワークガイドの中で積み重ねられたワークは面同士が密着しており、吸引チャック等でピックアップする際、ワーク間が一時的な真空状態になり、複数枚まとめてピックアップされることがある。
【0003】
図4は複数枚まとめてピックアップした状態を示し、Wはワーク、10はワークガイド、11は吸引チャック、12は突き上げ機構である。
吸引チャック11の吸着力は最上段のワークW1 にのみ作用し、2番目以後のワークW2 には、重力によりワーク間の空間を広げようとする力が作用する。しかし、空間の広がりに対してワーク間へのエアーの流れ込みが追いつかない場合、ワーク間は一時的に雰囲気(大気圧)に比べて減圧された状態となる。そこで、雰囲気圧力との圧力差による上向きの力が、ワークW2 にかかる重力以上になると、まとめてピックアップされることになる。
【0004】
まとめてピックアップされたワークW1 ,W2 は、ワーク間にエアーが流れ込むことで雰囲気圧力とワーク間圧力との差による力が減少し、ワークW2 にかかる重力以下になることで分離する。しかし、分離時間に比べてピックアップ時間が短い場合、複数のワークが一緒にワークガイド10から取り出され、2番目以後のワークW2 が搬送途中で落下して設備トラブルが発生するという問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなまとめてピックアップされる不具合を解消するため、ピックアップ作業を行う前に積み重ねたワークに横からエアーを吹き付け、ワーク間にエアーを送り込むことで、密着したワークを分離する方法が考えられる。
しかしながら、ワークにエアーを吹き付ける方法では、積み重ねられたワークが吹き飛んだり、バタついたりすることにより、ワークの割れや欠けが発生しやすい。例えば、厚みが0.1mm〜0.35mm程度の薄肉なセラミック板の場合、衝撃荷重に弱く、容易に割れてしまう。
【0006】
また、積み重ねられたワークにエアーを吹き付けても、ワーク間へのエアーの入り込み方にバラツキが生じるため、全てのワークに対して有効に働く方法ではない。また、2枚あるいはそれ以上のピックアップが発生した場合、エアーの吹き付けにより雰囲気圧力が増圧され、より分離しにくい方向に作用してしまうという問題があった。
【0007】
そこで、本発明の目的は、ピックアップ時におけるワークの吹き飛びやバタつきを抑え、ワークを短時間で分離して1枚ずつ確実にピックアップできる積み重ねワークの分離方法および分離装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、積み重ねられた複数の平板状ワークから、ピックアップ手段によって最上段のワークのみを分離してピックアップする方法において、側壁に吸引穴を有する筒状のワークガイドの内部に複数の平板状ワークを積み重ね、かつ上記積み重ねられたワークの上から2番目のワークの下面が上記吸引穴より低い位置となるように収容する工程と、上記ピックアップ手段によって最上段のワークの上面を吸着して持ち上げる工程と、上記ピックアップ手段によって持ち上げられたワークの下面が上記ワークガイド内であってかつ上記吸引穴より高い位置となるように、上記ピックアップ手段を所定高さまで上昇させた時点で、上記吸引穴から真空吸引し、上記ピックアップ手段によって持ち上げられたワークと持ち上げられずに残ったワークとの間の空間の雰囲気圧力を減圧する工程と、を有する積み重ねワークの分離方法を提供する。
【0009】
また、請求項3に係る発明は、内部に複数の平板状ワークを積み重ねて収容する筒状のワークガイドと、上記ワークガイドの中に収容されたワークから、最上段のワークの上面を吸着して持ち上げるピックアップ手段と、上記ワークガイドの側壁の所定高さ位置に設けられ、ワークガイド内の雰囲気圧力を減圧するべく真空吸引手段と接続された吸引穴と、上記積み重ねられたワークの上から2番目のワークの下面が上記吸引穴より低い位置となるように、上記積み重ねられたワークの高さを調整する高さ調整機構とを備え、上記ピックアップ手段によって最上段のワークをピックアップし、上記ピックアップ手段によって持ち上げられたワークの下面が上記ワークガイド内であってかつ上記吸引穴より高い位置となるように、上記ピックアップ手段を所定高さまで上昇させた時点で、上記吸引穴からの真空吸引により持ち上げられたワークと持ち上げられずに残ったワークとの間の空間の雰囲気圧力を減圧し、最上段のワークと2番目のワークとを分離することを特徴とする積み重ねワークの分離装置を提供する。
【0010】
まずピックアップ手段を降下させ、最上段のワークの上面を吸着して持ち上げる。この時、2枚目以後のワークも最上段のワークと一緒にまとめてピックアップされることがある。そこで、ワークを所定高さまで持ち上げた時点で、2番目以後のワークの下面側の雰囲気圧力を減圧する。減圧によってワーク間圧力と雰囲気圧力との差を減少させ、2番目以後のワークをその重力によって最上段のワークと分離させる。その結果、最上段のワークと2番目以後のワークとを短時間で分離でき、最上段のワークのみを確実にピックアップすることができる。
本発明は上記のように、ピックアップ時に雰囲気を減圧し、ワークが重力により分離するのを促進するものであるから、ワークの吹き飛びやバタつきによる割れや欠けを防止できる。また、本発明はワーク間に外部から力を加えて状態を変えるのではなく、ピックアップ作業エリアの環境を変える(雰囲気圧力を下げる)ため、すべてのワークに対して均等な効果を与えることができ、安定した分離効果を得ることができる。
【0011】
請求項2のように、最上段のワークの上面を吸着保持して持ち上げる際、所定高さだけ持ち上げて一旦停止させ、停止期間の間に持ち上げられたワークと持ち上げられずに残ったワークとの間の空間の雰囲気圧力を減圧するのが望ましい。
ピックアップ手段を連続的に上昇させながら分離させる方法もあるが、最上段のワークと一緒に持ち上げられた2番目以後のワークの下面側の空間容積が増加するので、雰囲気圧力の減圧に時間がかかる。そこで、ピックアップ手段を一旦停止させ、その間に吸引すれば、容積が変化しないので雰囲気圧力を効果的に減圧でき、2番目以後のワークを最上段のワークから短時間で分離することができる。
微小高さとは、短時間(例えば百msec〜数百msec)に減圧雰囲気を達成できる高さを言い、例えば1mm以下の高さがよい。
【0012】
請求項4のように、上記吸引穴を、ワークを間にしてその両側に対向して設けるのがよい。
この場合には、両側から真空吸引することで、雰囲気圧力を短時間で減圧でき、しかも減圧領域のむらが発生しにくい。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明にかかる積み重ねワークの分離装置の一例を示す。
この実施例で使用するワークWとは、例えば厚みが0.1mm〜0.35mmで、縦×横が30mm×20mm〜20mm×3mm程度の平板状セラミック焼成基板である。ワークWの表裏面は研磨されており、平滑である。
【0014】
複数枚のワークWがワークガイド1の中に積み重ねて収容されている。この実施例のワークガイド1は例えばカセットと呼ばれる筒形ケースであり、所定位置に垂直に固定されている。ワークガイド1の所定高さ位置には、対向する壁部にスリットなどからなる一対の吸引穴2が設けられ、これら吸引穴2は真空ポンプなどの真空吸引源3とソレノイドバルブ4を介して接続されている。ソレノイドバルブ4を開閉制御することで、ピックアップ作業エリア付近(例えばピックアップ前の最上段のワークW1 付近)の雰囲気圧力を減圧するタイミングを制御している。
【0015】
ワークガイド1の底部には、上下に昇降できる突き上げ機構5が設けられ、積み重ねられたワークWの底面が突き上げ機構5によって支えられている。突き上げ機構5は、吸引穴2が常にピックアップ作業エリア付近に対応するように、積み重ねられたワークWの高さを調整している。
【0016】
上記ワークガイド1の上部には、ワークガイド1の中に収容されたワークWから、最上段のワークW1 の上面を吸着して持ち上げる吸引チャック(ピックアップ手段)6が設けられている。この吸引チャック6は、公知のようにワークガイド1と図示しない作業部との間を往復移動し、ワークガイド1から1枚ずつワークWを真空吸引によりピックアップし、作業部へプレースするものである。
【0017】
次に、上記構成よりなる分離装置の動作を、図2を参照して説明する。
(a)は、吸引穴2が最上段のワークW1 付近に対応するように、複数のワークWが積み重ねて収容されたワークガイド1の中に、吸引チャック6が挿入され、最上段のワークW1 を吸着した状態を示す。
次に、(b)のように、吸引チャック6を上昇させると、ワークW間の密着力により複数枚(ここでは2枚)のワークがまとめてピックアップされることがある。そこで、ピックアップされた枚数に関係なく、吸引チャック6をワークガイド1内で所定時間だけ一旦停止させる。一旦停止時の高さhは、短時間で雰囲気圧力を減圧できるように、例えば1mm以下が望ましい。
次に、(c)のように、一旦停止の期間中に吸引穴2から真空吸引を行い、ピックアップ作業エリア付近の雰囲気圧力を減圧する。一旦停止の期間中、2枚目のワークW2 と他のワークWとの間に形成される空間は一定容積であるから、吸引穴2から真空吸引を行うことで、この空間を短時間で減圧できる。この減圧によって、最上段のワークW1 と2枚目のワークW2 とが分離され、2枚目のワークW2 は積み重ねられたワークWの上に落下する。
次に、(d)のように2枚目のワークW2 が分離された後、吸引穴2からの吸引を停止し、吸引チャック6は最上段のワークW1 を吸着したまま別の作業部へ搬送する。これと同時に、突き上げ機構5がワーク1枚分だけ上昇する。
以後、上記の動作を積み重ねたワークWがなくなるまで繰り返す。
【0018】
図3は、雰囲気圧力の減圧を行わない場合と減圧を行った場合とのピックアップ時におけるワーク間圧力の時間変化を示す。
図において、Pは時間とともに変化するワーク間圧力、PL はワーク間圧力の初期値、P0 は大気圧、PV は分離吸引圧、PW はワークの重力と釣り合う圧力である。したがって、P0 −PW は減圧がない場合に2枚のワークが分離する圧力、PV −PW は減圧がある場合に2枚のワークが分離する圧力を表す。t1 は減圧を行った時の分離時間、t2 は減圧を行わない時の分離時間である。
図3から明らかなように、ワーク間圧力Pが初期のワーク間圧力PL である時刻Taでワーク間へのエアーの流れ込みが開始するが、分離吸引(減圧)を行わない場合には、ワーク間圧力Pと重力による圧力PW との和が大気圧P0 と等しくなる時点Tb、つまりPがP0 −PW と等しくなるまでワークW1 とW2 は分離しない。すなわち、分離時間がt2 かかることになる。
これに対し、分離吸引(減圧)を行うと、大気圧による2枚目のワークW2 の持ち上げ力が減圧によって低下するので、ワーク間圧力Pと重力による圧力PW との和が減圧された雰囲気圧力PV と等しくなる時点Tc、つまりPがPV −PW になった時点で分離する。すなわち、分離時間はt1 で済むことになる。そのため、分離吸引を行わない場合に比べて分離時間を大幅に短縮できる。
【0019】
本発明者の実験によれば、1枚の重量が1.6×10-3(N)、寸法が20mm×3mm×0.15mmのワークWを使用し、ピックアップ作業を行ったところ、分離吸引を行わない場合には、分離時間t2 は10回平均で約350msec要していたが、分離吸引圧PV を−50kPaとした場合、分離時間t1 を10回平均で約30msecに短縮できた。
また、ピックアップされるワーク(セラミック基板)に割れや欠けなどの不良が殆ど発生しなかった。
【0020】
なお、ワークの分離時間t1 は、ワーク間の初期圧力PL 、雰囲気圧力、ワークの形状やサイズによって変動する。
ワークWは薄肉なセラミック基板に限るものではなく、半導体素子やリードフレームなどの金属板など如何なる部品であってもよい。特に、積み重ねた状態で、隣合う部品と密着しやすい表面が平滑な部品がよい。
また、吸引穴の位置および数は、対向する2箇所に限らず、周囲4箇所に設けてもよい。円板状のワークの場合には、3箇所あるいはそれ以上であってもよい。
【0021】
上記実施例では、筒状のワークガイドが一定位置に固定され、ワークガイドの底部に昇降可能に配置された突き上げ機構によってワークWを上昇させるようにしたが、有底のワークガイドにワークWを積み重ねて収容し、ワークガイド全体を上昇させてもよい。この場合には、吸引穴をワークガイドと別体の吸引ノズルに設け、ワークガイドに縦方向のスリット溝を設け、このスリット溝に臨むように吸引ノズルを一定高さ位置に設置すればよい。吸引ノズルの吸引力はスリット溝を介してワークガイド内のワークに作用する。
また、上記実施例では、吸引チャックにより最上段のワークを吸着し、所定位置まで上昇した時に一旦停止させ、停止期間中に吸引穴から真空吸引を行って雰囲気圧力を減圧するようにしたが、吸引チャックを低速度で連続的に上昇させながら雰囲気圧力を減圧しても、多少の時間増にはなるが、ほぼ同様な分離効果を発揮することができる。
【0022】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項1に係る発明によれば、ピックアップ手段によって最上段のワークの上面を吸着して持ち上げる際、ピックアップ手段を所定高さまで上昇させた時点で、持ち上げられたワークと持ち上げられずに残ったワークとの間の空間の雰囲気圧力を減圧し、最上段のワークと2番目以後のワークとを分離するようにしたので、短時間でワークを分離でき、最上段のワークのみを確実にピックアップすることができる。
また、本発明ではピックアップ時に雰囲気を減圧し、ワークが重力により分離するのを促進するものであるから、ワークには無理な負荷を与えずに済み、ワークの吹き飛びやバタつきによる割れや欠けを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる分離装置の一例の断面図である。
【図2】図1に示す分離装置の動作を示す工程図である。
【図3】分離動作におけるワーク間圧力の時間変化図である。
【図4】従来のピックアップ装置の断面図である。
【符号の説明】
W ワーク
1 ワークガイド
2 吸引穴
3 真空吸引源
4 ソレノイドバルブ
5 突き上げ機構(高さ調整機構)
6 吸引チャック(ピックアップ手段)
Claims (4)
- 積み重ねられた複数の平板状ワークから、ピックアップ手段によって最上段のワークのみを分離してピックアップする方法において、
側壁に吸引穴を有する筒状のワークガイドの内部に複数の平板状ワークを積み重ね、かつ上記積み重ねられたワークの上から2番目のワークの下面が上記吸引穴より低い位置となるように収容する工程と、
上記ピックアップ手段によって最上段のワークの上面を吸着して持ち上げる工程と、
上記ピックアップ手段によって持ち上げられたワークの下面が上記ワークガイド内であってかつ上記吸引穴より高い位置となるように、上記ピックアップ手段を所定高さまで上昇させた時点で、上記吸引穴から真空吸引し、上記ピックアップ手段によって持ち上げられたワークと持ち上げられずに残ったワークとの間の空間の雰囲気圧力を減圧する工程と、を有する積み重ねワークの分離方法。 - 最上段のワークの上面を吸着保持して持ち上げる際、所定高さだけ持ち上げて一旦停止させ、停止期間の間に持ち上げられたワークと持ち上げられずに残ったワークとの間の空間の雰囲気圧力を減圧することを特徴とする請求項1に記載の積み重ねワークの分離方法。
- 内部に複数の平板状ワークを積み重ねて収容する筒状のワークガイドと、
上記ワークガイドの中に収容されたワークから、最上段のワークの上面を吸着して持ち上げるピックアップ手段と、
上記ワークガイドの側壁の所定高さ位置に設けられ、ワークガイド内の雰囲気圧力を減圧するべく真空吸引手段と接続された吸引穴と、
上記積み重ねられたワークの上から2番目のワークの下面が上記吸引穴より低い位置となるように、上記積み重ねられたワークの高さを調整する高さ調整機構とを備え、
上記ピックアップ手段によって最上段のワークをピックアップし、上記ピックアップ手段によって持ち上げられたワークの下面が上記ワークガイド内であってかつ上記吸引穴より高い位置となるように、上記ピックアップ手段を所定高さまで上昇させた時点で、上記吸引穴からの真空吸引により持ち上げられたワークと持ち上げられずに残ったワークとの間の空間の雰囲気圧力を減圧し、最上段のワークと2番目のワークとを分離することを特徴とする積み重ねワークの分離装置。 - 上記吸引穴は、ワークを間にしてその両側に対向して設けられていることを特徴とする請求項3に記載の積み重ねワークの分離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001372300A JP3867564B2 (ja) | 2001-12-06 | 2001-12-06 | 積み重ねワークの分離方法および分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001372300A JP3867564B2 (ja) | 2001-12-06 | 2001-12-06 | 積み重ねワークの分離方法および分離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003171018A JP2003171018A (ja) | 2003-06-17 |
JP3867564B2 true JP3867564B2 (ja) | 2007-01-10 |
Family
ID=19181220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001372300A Expired - Fee Related JP3867564B2 (ja) | 2001-12-06 | 2001-12-06 | 積み重ねワークの分離方法および分離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3867564B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1693298A1 (en) * | 2005-02-18 | 2006-08-23 | Philip Morris Products S.A. | Apparatus and method for shrink wrapping containers |
CN108625047B (zh) * | 2018-06-22 | 2023-11-28 | 苏州澳拓美盛自动化设备有限公司 | 锁眼机工作站 |
CN112193870B (zh) * | 2020-09-27 | 2022-10-28 | 重庆三创印刷有限公司 | 一种具有防卡纸功能的印刷装置 |
-
2001
- 2001-12-06 JP JP2001372300A patent/JP3867564B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003171018A (ja) | 2003-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7811899B2 (en) | Method for laminating substrate and apparatus using the method | |
JP4580327B2 (ja) | 被処理体の取り出し方法及びプログラム記憶媒体並びに載置機構 | |
JP5733300B2 (ja) | 基板分離方法、半導体装置の製造方法、基板分離装置、ロードロック装置、及び、基板貼り合わせ装置 | |
TWI690038B (zh) | 半導體晶片的拾取裝置、半導體晶片的封裝裝置 | |
JP2003128279A (ja) | 板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方法 | |
JP7333807B2 (ja) | ボンディング設備におけるダイ移送のための装置及び方法 | |
JP3867564B2 (ja) | 積み重ねワークの分離方法および分離装置 | |
JP4030038B2 (ja) | 通気性ワーク取り出し・保持装置及び通気性ワークの取り扱い方法 | |
JP2003048620A (ja) | 板状部材の取出しハンド | |
JP2003206041A (ja) | 積重ねたシートのピックアップ方法と同装置 | |
JP2001114434A (ja) | 積重薄板の分離装置および方法 | |
JP2003118859A (ja) | 可撓性板状体の取出装置および取出方法 | |
JP4459023B2 (ja) | 基板保持装置 | |
JPH03297706A (ja) | 平坦物搭載取り除き装置 | |
JPS62210635A (ja) | 物体の分離方法及び装置 | |
JP2007073778A (ja) | 半導体チップのピックアップ方法及び装置 | |
JP2878469B2 (ja) | ワーク搬出装置 | |
JP3155861B2 (ja) | 薄板状基板の移送装置 | |
JPH1017172A (ja) | 積層紙の一枚切り出し方法および装置並びにその装置を用いたフレームスタッカー | |
JP3766536B2 (ja) | 基板の移送設備における重なり基板の分離装置 | |
KR20240003293A (ko) | 다이 이젝터와 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
JPH02175531A (ja) | 基板やシート状物体のハンドリング装置 | |
JP3455258B2 (ja) | リードフレーム供給装置 | |
JP2000062977A (ja) | 単板分離装置 | |
JPH0699386A (ja) | 真空吸着装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060105 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060718 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060818 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060919 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3867564 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131020 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |